JP2016525054A - 日射調整グレイジング - Google Patents
日射調整グレイジング Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016525054A JP2016525054A JP2016516158A JP2016516158A JP2016525054A JP 2016525054 A JP2016525054 A JP 2016525054A JP 2016516158 A JP2016516158 A JP 2016516158A JP 2016516158 A JP2016516158 A JP 2016516158A JP 2016525054 A JP2016525054 A JP 2016525054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- functional
- oxide
- silicon oxide
- layers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title abstract description 15
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 254
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 104
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims abstract description 72
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 54
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 54
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims abstract description 52
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 40
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 38
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 33
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 62
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 57
- GZCWPZJOEIAXRU-UHFFFAOYSA-N tin zinc Chemical compound [Zn].[Sn] GZCWPZJOEIAXRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 27
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 24
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 21
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 14
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 7
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000009304 pastoral farming Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 41
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 32
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 23
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 23
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 15
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 13
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 11
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- PMTRSEDNJGMXLN-UHFFFAOYSA-N titanium zirconium Chemical compound [Ti].[Zr] PMTRSEDNJGMXLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VOSJXMPCFODQAR-UHFFFAOYSA-N ac1l3fa4 Chemical compound [SiH3]N([SiH3])[SiH3] VOSJXMPCFODQAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 4
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 4
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- UHUUYVZLXJHWDV-UHFFFAOYSA-N trimethyl(methylsilyloxy)silane Chemical compound C[SiH2]O[Si](C)(C)C UHUUYVZLXJHWDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Si 3 N 4 Inorganic materials 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910007717 ZnSnO Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 2
- 102100032047 Alsin Human genes 0.000 description 1
- 101710187109 Alsin Proteins 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N alumanylidynesilicon Chemical compound [Al].[Si] CSDREXVUYHZDNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 239000012707 chemical precursor Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N silanol Chemical compound [SiH3]O SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000012686 silicon precursor Substances 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
− 光透過(LT)は、グレイジングによって透過される発光物D65/2°の入射光束のパーセントである。
− 光反射(LR)は、グレイジングによって反射される発光物D65/2°の入射光束のパーセントである。これは、コーティング側面(LRc)または基板側面(LRg)上で測定することができる。
− エネルギー透過(ET)は、規格EN410にしたがって算出される、グレイジングによって透過される入射エネルギー放射のパーセントである。
−エネルギー反射(ER)は、規格EN410によって算出される、グレイジングによって反射される入射エネルギー放射のパーセントである。これは、コーティング側面(ERc)または基板側面(ERg)上で測定することができる。
− 日射透過率(SFまたはg)は、グレイジングによって部分的に直接透過され、かつグレイジングによって部分的に吸収され、次いで、グレイジングに関するエネルギー供給源の反対方向に放射される入射エネルギー放射のパーセントである。これは、本明細書において、規格EN410によって算出される。
− U値および放射率(εまたはE)は、規格EN673およびISO 10292によって算出される。
− CIELAB 1976値(L*a*b*)は、色を定義するために使用される。これは、発光物D65/10°によって測定される。
−
− オームパースクエア(Ω/□)で表されるシート抵抗(R2またはRs)は、薄フィルムの電気抵抗を測定する。
− 値が「a〜bに含まれる」と記載される場合、それらはaまたはbと等しくてもよい。
− 複数のグレイジングにおけるコーティング積層の配置は、グレイジング面の標準連続番号に従って与えられ、面1は、建築物または車両の外側であり、および面4(二重グレイジング)または面6(三重グレイジング)は内側である。
・ 低い放射率とともに高い光透過が熱損失を制限する(単一機能層構成積層:LT≧73%、ε≦0.074、またはε≦0.044、好ましくは、ε≦0.024;二重機能層構成積層:LT>68%、ε≦0.038、好ましくは、ε≦0.025)。
・ 日射透過率調節:低いSFであるが低すぎないSFによって、太陽放射のエネルギー部分が通過し、冬季に自由エネルギーを利用することができる(例えば、単一機能層構成積層:55%〜65%のSF)。またはより低いSFは、日光による過剰な過熱のリスクを低減することができる(例えば、二重機能層構成積層:SF<41%)。
・ U≦1.3W/(m2K)、またはU≦1.2W/(m2K)、好ましくは、U≦1.1W/(m2K)、またはU≦1.0W/(m2K)のU値を達成することが可能な断熱能力。
・ 透過または反射における、単一または複数のグレイジングにおける中性色。以下の単一グレイジングにおける好ましい値を有する。
透過:−6≦a*≦+5 −6≦b*≦+6
反射コーティング側面:−6≦a*≦+6 −25≦b*≦10
反射基板側面:−5≦a*≦+3 −20≦b*≦+4
・ 熱処理されること、コーティング積層が高温を受け得ること、またはいずれの熱処理も行わずに使用されることの可能性。
・ 欠陥のない美的態様。熱処理をしない場合、または熱処理後に曇りが非常に限定的または存在せず、かつ熱処理後に許容できない斑点がない。
・ 場合によっては、熱処理後の実質的に不変の光学的およびエネルギー的特性の保存によって、熱処理された、または熱処理されていない製品を互いの付近で使用することが可能となる(「自己適合性」)。単一および/または複数のグレイジングで、透過および反射における色の変化がないか、ほとんどなく(ΔE*≦8、好ましくは≦5、より好ましくは≦2)、および/または光およびエネルギー透過および反射値における変化がないか、ほとんどない(Δ=|(熱処理前の値)−(熱処理後の値)|≦5、好ましくは≦3、より好ましくは≦2)。
・ 熱処理を行わない使用のため、またはいずれかの熱処理前の時間間隔のための十分な化学的耐性。特に、ISO 6270−1:1998によるクリーブランド試験(50℃まで加熱される脱イオン水のタンクから生じる蒸気への曝露)の結果において、1日後、好ましくは3日後に肉眼で見られる変色がない。
・ 十分な機械的耐性。特に、例えば、湿潤ブラシ試験(以下に説明される)によって試験される摩耗耐性は、3未満のスコアを生じる。
(i)27〜45nmの厚さを有する、亜鉛スズ混合酸化物の層と、
(ii)1〜8nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛の層と、
(iii)7〜16nmの厚さを有する、銀をベースとする機能層と、
(iv)1〜32nm、好ましくは1〜18nm、より好ましくは1〜5nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛のバリア層と、
(v)15〜35nmの厚さを有する、亜鉛スズ混合酸化物の層または酸化亜鉛をベースとする層と、
(vi)20〜50nm、好ましくは20〜30nmの厚さを有する、有利にはPECVDによって析出された酸化ケイ素の層と、
(vii)任意選択的に、2〜10nmの厚さを有する、チタンジルコニウム混合酸化物の層と
を少なくとも含んでなるか、またはそれらからなる。
(i)25〜35nmの厚さを有する、酸化チタンの層と、
(ii)1〜8nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛の層と、
(iii)10〜16nmの厚さを有する、銀をベースとする機能層と、
(iv)1〜18nm、好ましくは1〜5nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛のバリア層と、
(v)5〜35nmの厚さを有する、酸化チタンをベースとする層と、
(vi)任意選択的に、亜鉛スズ混合酸化物の層と、
(vii)任意選択的に、窒化ケイ素の層と、
(層(vi)は、層(vii)がない場合、多くとも35nmの厚さを有するか、または
層(vii)は、層(vi)がない場合、多くとも35nmの厚さを有するか、または
層(vi)および(vii)は、一緒に多くとも35nmの厚さを有する)
(viii)層(vi)と、存在する場合、層(vii)との20〜45nmの全厚さに対して、多くとも45nmの厚さを有する、有利にはPECVDによって析出された酸化ケイ素の層と、
(ix)任意選択的に、2〜10nmの厚さを有する、チタンジルコニウム混合酸化物の層と
を少なくとも含んでなるか、またはそれらからなる。
(i)27〜45nmの厚さを有する、亜鉛スズ混合酸化物の層と、
(ii)1〜8nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛の層と、
(iii)7〜16nmの厚さを有する、銀をベースとする機能層と、
(iv)1〜35nm、好ましくは1〜18nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛のバリア層と、
(v)20〜100nm、好ましくは20〜80nmの厚さを有する、有利にはPECVDによって析出された酸化ケイ素の層と、
(vi)任意選択的に、2〜10nmの厚さを有する、チタンジルコニウム混合酸化物の層と
を少なくとも含んでなるか、またはそれらからなる。
(i)27〜45nmの厚さを有する、亜鉛スズ混合酸化物の層と、
(ii)1〜8nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛の層と、
(iii)7〜16nmの厚さを有する、銀をベースとする機能層と、
(iv)1〜18nm、好ましくは1〜8nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛のバリア層と、
(v)任意選択的に、5〜20nmの厚さを有する、亜鉛スズ混合酸化物の層または酸化亜鉛をベースとする層と、
(vi)20〜125nm、好ましくは20〜100nmの厚さを有する、有利にはPECVDによって析出された酸化ケイ素の層と、
(vii)1〜8nmの厚さを有し、層(viii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛の層と、
(viii)7〜16nmの厚さを有する、銀をベースとする機能層と、
(ix)1〜18nm、好ましくは1〜8nmの厚さを有し、層(viii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛のバリア層と、
(x)適切に一緒にされる場合、10〜70nmの厚さを有する、亜鉛スズ混合酸化物の層または/および酸化亜鉛をベースとする層と、
(xi)任意選択的に、2〜10nmの厚さを有する、チタンジルコニウム混合酸化物の層と
を少なくとも含んでなるか、またはそれらからなる。
(i)27〜45nmの厚さを有する、亜鉛スズ混合酸化物の層と、
(ii)1〜8nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛の層と、
(iii)7〜16nmの厚さを有する、銀をベースとする機能層と、
(iv)1〜18nm、好ましくは1〜8nmの厚さを有し、層(iii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛のバリア層と、
(v)適切に一緒にされる場合、10〜70nmの厚さを有する、亜鉛スズ混合酸化物の層または/および酸化亜鉛をベースとする層と、
(vi)1〜8nmの厚さを有し、層(vii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛の層と、
(vii)7〜16nmの厚さを有する、銀をベースとする機能層と、
(viii)1〜18nm、好ましくは1〜8nmの厚さを有し、層(vii)と接触する、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛のバリア層と、
(ix)任意選択的に、5〜20nmの厚さを有する、亜鉛スズ混合酸化物の層または酸化亜鉛をベースとする層と、
(x)10〜125nm、好ましくは20〜100nmの厚さを有する、有利にはPECVDによって析出された酸化ケイ素の層と、
(xi)任意選択的に、2〜10nmの厚さを有する、チタンジルコニウム混合酸化物の層と
を少なくとも含んでなるか、またはそれらからなる。
ZnSnOx 亜鉛スズ混合酸化物
ZSO5 約52−48重量%の亜鉛スズの割合の亜鉛スズ混合酸化物
ZnO:Al 酸素雰囲気で金属標的から析出された、アルミニウムがドーピングされた酸化亜鉛
AZO 中性雰囲気でセラミック標的から析出された、アルミニウムがドーピングされた酸化亜鉛
AlSiN アルミニウムシリコン混合窒化物
ZnSnOx:Al アルミニウムがドーピングされた亜鉛スズ混合酸化物
TiOx チタンの準化学量論的酸化物
AlN 窒化アルミニウム
SiN 窒化ケイ素
本発明によらない以下の薄層の積層は、ガラス基板上で磁電管スパッタリングによって析出された。
本発明によらない以下の薄層の積層は、ガラス基板上で磁電管スパッタリングによって析出された。
金属質チタンバリアを含む表Iによる単一銀および二重銀コーティング積層は、厚さ3mmのガラス基板上に析出された。酸化ケイ素層は、中空カソードPECVDによって析出され、積層の他の層は、磁電管スパッタリングによって析出された。これらは、本発明によるコーティング積層ではない。
表IIによる単一銀コーティング積層は、厚さ3mmのガラス基板上に析出された。本発明による実施例1〜5の酸化ケイ素層は、中空カソードPECVDによって析出され、本発明によらない比較例10および11の酸化ケイ素層は、磁電管スパッタリングによって析出された。積層の他の層は、磁電管スパッタリングによって析出された。
表IIIによる二重銀コーティング積層は、厚さ3mmのガラス基板上に析出された。本発明による実施例6〜8の酸化ケイ素層は、中空カソードPECVDによって析出され、本発明によらない比較例12および13の酸化ケイ素層は、磁電管スパッタリングによって析出された。積層の他の層は、磁電管スパッタリングによって析出された。
本発明による以下の薄層の積層は、厚さ4mmのガラス基板上に析出された。
実施例9と同様であるが、SiO2が存在せず、したがって、本発明によらない積層は、磁電管スパッタリングによって、厚さ4mmのガラス基板上に析出された。
本発明による以下の薄層の積層は、厚さ4mmのガラス基板上に析出された。
実施例10と同様であるが、SiO2が存在せず、したがって、本発明によらない積層は、磁電管スパッタリングによって、厚さ4mmのガラス基板上に析出された。
「ブラシ試験」または「湿潤ブラシ試験」は、こすり洗いすることによって生じる浸食に対するコーティングの耐性を評価するために使用される。この試験の完全な詳細は、ASTM規格D2486−00に開示される。コーティングされたガラスの試料に、試験方法Aを実行した。試料を、1000サイクルの間、毛ブラシを用いて、(脱ミネラル水で)湿潤こすり洗いした。次いで、それらの劣化を肉眼で観察し、比較した。得点は、1〜5で割り当てられ、1は劣化がないことを意味し、5は非常に劣化したこと(全コーティング剥離)を意味する。
「洗浄試験」は、洗浄によって生じる浸食に対するコーティングの耐性を評価するために使用される。40×50cmの正方形の試料を、脱ミネラル水で作動される工業用ガラス洗濯機に導入する。試料が回転ブラシと接触している間、前方移動は60秒間停止される。試験1では、ブラシは同時にスイッチを切られるが、試験2では、それらが回転し続ける。両方の場合において、水は作動し続ける。
「テイバー試験」は、摩擦によって生じる浸食に対するコーティングの耐性を評価するために使用される別の試験である。10×10cmの正方形の試料は、65〜75rpmの速度で回転する板金上で維持される。2本の平行の加重されたアームのそれぞれは、水平軸のまわりを自由に回転する1つの特定の小さいアブレーシブホイールを有する。ホイールは、フェルトストライプ(DIN 68861により、ホイールに取り付けられて、Erichsenによって供給される)によって被覆される。それぞれのホイールは、500gの質量である、それぞれのアームに適用された重量下で試験される試料の上に位置する。試料は、湿潤(脱ミネラル水で)こすり洗い、または乾燥されてもよい。アブレーシブホイールと回転支持板の組み合わせは、試料上でアブレーシブクラウンを作成し、これは、コーティング硬度に多少一致する。全500回の回転後に試験を受けた各試料に1〜6の得点が与えられ、1は高度に耐性のコーティングを示す最良の得点であり、6は最低の得点である。
「自動ウェブ摩擦試験」(AWRT)は、再び、浸食に対するコーティングの耐性を評価するために使用される試験である。綿布で被覆されたピストン(参照:ADSOLによって供給されるCODE 40700004)をコーティングと接触させ、表面上で振動させる。ピストンは、直径17mmの指に作用する33Nの力を有するように重量を有する。コーティングされた表面上の綿の摩耗は、一定数のサイクル後、コーティングに損害を与える(剥離する)。試料上で離れた距離において、試験を250および500サイクル実行する。変色および/またはひっかき傷が試料上で見られるかを決定するため、人工の空の下で試料を観察する。AWRT得点は1〜10の規模で与えられ、10は高度に耐性のコーティングを示す最良の得点である。
Claims (19)
- 赤外線を反射するn層の機能層およびn+1層の誘電層であって、n≧1であり、各機能層は誘電層によって包囲されている、赤外線を反射するn層の機能層およびn+1層の誘電層を含んでなる薄層の積層がコーティングされた透明な基板を含んでなるグレイジングにおいて、機能層の上の少なくとも1層の誘電層が酸化ケイ素から本質的になる層を含んでなること、および前記積層が、いずれかの機能層であって、その直接上の前記誘電層に酸化ケイ素層を有するいずれかの機能層の上にあり、かつそれと直接接触する酸化亜鉛をベースとするバリア層を含んでなることを特徴とする、グレイジング。
- 酸化ケイ素から本質的になる前記層が、10nmを超える厚さを有することを特徴とする、請求項1に記載のグレイジング。
- 前記積層が、それぞれの機能層の上にあり、かつそれと直接接触する酸化亜鉛をベースとするバリア層を含んでなることを特徴とする、請求項1または2に記載のグレイジング。
- 前記バリア層が、任意選択的にアルミニウムでドーピングされた酸化亜鉛からなることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載のグレイジング。
- 前記バリア層が、多くとも35nm、好ましくは1〜25nmの厚さを有することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載のグレイジング。
- 前記第1の誘電層が、前記基板から出発して、前記基板と直接接触する酸化物の層を含んでなることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載のグレイジング。
- 前記基板と直接接触する前記酸化物の層が、亜鉛スズ混合酸化物の層または酸化チタンの層であることを特徴とする、請求項6に記載のグレイジング。
- 前記基板と直接接触する前記酸化物の層が、少なくとも10nmの厚さを有することを特徴とする、請求項6または7に記載のグレイジング。
- 前記赤外線を反射する機能層が、銀をベースとする層であることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか一項に記載のグレイジング。
- 機能層の下のそれぞれの誘電層が、前記機能層と直接接触する酸化亜鉛をベースとする層を含んでなることを特徴とする、請求項1〜9のいずれか一項に記載のグレイジング。
- 前記酸化亜鉛をベースとする層が、多くとも15nm、好ましくは1〜10nmの厚さを有することを特徴とする、請求項10に記載のグレイジング。
- 機能層より上の少なくとも1つの誘電層が、酸化亜鉛をベースとするバリア層と、酸化ケイ素から本質的になる層との間に、前記バリア層および前記酸化ケイ素から本質的になる層とは異なる金属酸化物の少なくとも1つの層を含んでなることを特徴とする、請求項1〜11のいずれか一項に記載のグレイジング。
- 最後の誘電層が、酸化亜鉛をベースとするバリア層と、酸化ケイ素から本質的になる層との間に、亜鉛スズ混合酸化物または酸化チタンの少なくとも1つの層を含んでなることを特徴とする、請求項1〜12のいずれか一項に記載のグレイジング。
- 前記酸化ケイ素から本質的になる層が、プラズマ強化化学蒸着(PECVD)によって得られることを特徴とする、請求項1〜13のいずれか一項に記載のグレイジング。
- 前記酸化ケイ素から本質的になる層が、632nmの波長において1E−4未満の減衰係数、少なくとも1.466の屈折率、および多くとも3原子%の炭素含有量を有することを特徴とする、請求項1〜14のいずれか一項に記載のグレイジング。
- 赤外線を反射するn層の機能層およびn+1層の誘電層であって、n≧1であり、各機能層は誘電層によって包囲されている、赤外線を反射するn層の機能層およびn+1層の誘電層を含んでなる薄層の積層により透明基板をコーティングする方法において、機能層より上の少なくとも1つの誘電層の一部として、プラズマ強化化学蒸着(PECVD)によって、酸化ケイ素から本質的になる層を析出するステップと、いずれかの機能層であって、その直接上の前記誘電層に酸化ケイ素層を有するいずれかの機能層の上にあり、かつそれと直接接触する酸化亜鉛をベースとするバリア層を析出するステップとを含んでなることを特徴とする方法。
- 前記酸化ケイ素から本質的になる層の析出が、低圧PECVDによって実行されることを特徴とする、請求項16に記載の方法。
- 前記酸化ケイ素から本質的になる層の析出が、マイクロ波供給源、中空カソード供給源またはデュアルビームプラズマ供給源を使用するPECVDによって実行されることを特徴とする、請求項16または17に記載の方法。
- 前記酸化ケイ素から本質的になる層以外の前記積層の前記薄層の析出が、磁電管スパッタリングによって実行されることを特徴とする、請求項16〜18のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP13197207.7 | 2013-12-13 | ||
EP13197207 | 2013-12-13 | ||
PCT/EP2014/061115 WO2014191485A2 (en) | 2013-05-30 | 2014-05-28 | Solar control glazing |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016525054A true JP2016525054A (ja) | 2016-08-22 |
JP6433489B2 JP6433489B2 (ja) | 2018-12-05 |
Family
ID=49917433
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016516158A Active JP6433489B2 (ja) | 2013-12-13 | 2014-05-28 | 日射調整グレイジング |
JP2016516153A Active JP6419164B2 (ja) | 2013-12-13 | 2014-05-28 | 低放射率および抗日射グレイジング |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016516153A Active JP6419164B2 (ja) | 2013-12-13 | 2014-05-28 | 低放射率および抗日射グレイジング |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP6433489B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3072957B1 (fr) * | 2017-10-30 | 2019-10-18 | Saint-Gobain Glass France | Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001324601A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-22 | Asahi Glass Co Ltd | 反射防止体 |
WO2014185420A1 (ja) * | 2013-05-14 | 2014-11-20 | 旭硝子株式会社 | 保護膜、反射性部材、および保護膜の製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1476379B (zh) * | 2000-09-29 | 2010-05-12 | 日本板硝子株式会社 | 低辐射率的透明多层体 |
US7217460B2 (en) * | 2004-03-11 | 2007-05-15 | Guardian Industries Corp. | Coated article with low-E coating including tin oxide interlayer |
-
2014
- 2014-05-28 JP JP2016516158A patent/JP6433489B2/ja active Active
- 2014-05-28 JP JP2016516153A patent/JP6419164B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001324601A (ja) * | 2000-05-12 | 2001-11-22 | Asahi Glass Co Ltd | 反射防止体 |
WO2014185420A1 (ja) * | 2013-05-14 | 2014-11-20 | 旭硝子株式会社 | 保護膜、反射性部材、および保護膜の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016533311A (ja) | 2016-10-27 |
JP6433489B2 (ja) | 2018-12-05 |
JP6419164B2 (ja) | 2018-11-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10562813B2 (en) | Solar control glazing | |
JP6117179B2 (ja) | 熱処理可能コートガラスペイン | |
JP6408565B2 (ja) | 低放射率および抗日射グレイジング | |
JP4532826B2 (ja) | 被覆済み物品の製法及びそれにより製造された被覆済み物品 | |
JP4965254B2 (ja) | 反射防止膜を含む透明基板 | |
CA2706395C (en) | Low emissivity coating with low solar heat gain coefficient, enhanced chemical and mechanical properties and method of making the same | |
JP5249054B2 (ja) | 反射光がニュートラル色を示す、反射防止コーティングを備える透明な基板 | |
US9896377B2 (en) | Low-emissivity and anti-solar glazing | |
EP3004015B1 (en) | Low-emissivity glazing | |
TW201223905A (en) | Temperable three layer antireflective coating, coated article including temperable three layer antireflective coating, and/or method of making the same | |
TW201211175A (en) | Temperable three layer antireflective coating, coated article including temperable three layer antireflective coating, and/or method of making the same | |
JP2015519275A (ja) | 太陽光制御グレージング | |
EP2382164A1 (en) | Heat treatable coated glass pane | |
EP1646591A1 (en) | Coated glass | |
JP6433489B2 (ja) | 日射調整グレイジング | |
JP2023519705A (ja) | 被覆基材 | |
WO2024094999A1 (en) | Luminescent coated substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170501 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181012 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181106 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6433489 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |