JP2023519705A

JP2023519705A - 被覆基材

Info

Publication number: JP2023519705A
Application number: JP2022559548A
Authority: JP
Inventors: ジュリーフーベルト，; ヴィルジニーメルシエ，; 玲大臼井
Original assignee: AGC Glass Europe SA
Current assignee: AGC Glass Europe SA
Priority date: 2020-04-02
Filing date: 2021-04-01
Publication date: 2023-05-12
Also published as: WO2021198445A1; EP4126779A1

Abstract

本発明は、２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を含み、少なくとも１つの表面に機能性コーティングが設けられた被覆基材であって、透明基材には、機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯｘ、ＴｉＯｙ、及びＺｒＯｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物のマグネトロンスパッタリングされたトップコートが設けられ、トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、１０～６５原子％のケイ素、８～３８原子％のチタン、２５～８０原子％のジルコニウムを含み、トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有することを特徴とする被覆基材、この被覆基材を提供する方法、及びその使用に関する。【選択図】なし

Description

本発明は、機能性コーティングと、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚを含む混合金属酸化物のマグネトロンスパッタリングされたトップコートとが設けられた被覆基材、上記被覆基材の提供方法、及びトップコートの使用に関する。

マグネトロンスパッタリングされた誘電体層を含むものなどの機能性コーティングは、典型的には、それらの製造、輸送、加工、保管、及び／又は取り扱いの間に化学的損傷及び機械的損傷を受けやすいことが知られている。この限定された機械的抵抗性、耐薬品性、及び耐食性によって、外部環境と接触するそれらの実現可能な使用は通常は限定される。

高い化学的耐久性又は機械的耐久性、又は化学的耐久性と機械的耐久性との両方を有するコーティングを有するグレージングを提供する種々の試みが行われている。

国際公開第２００９１１５５９６Ａ１号パンフレットは、マグネトロンを用いて真空中で堆積された薄層の組立体を含み、耐光性及び／又は低排出特性を有する本質的に透明なグレージングであって、表面保護層が、酸化チタンと、ＺｒＯ_２、ＳｉＯ_２、Ｃｒ_２Ｏ_３を含む群から選択される少なくとも１つの別の高硬度金属酸化物とを含む層を含む、グレージングに関する。上記開示のグレージングは、変色又は真珠光沢などの光学的欠陥を発生させることなく、５５０℃で５分間の熱処理に耐えることができる。混合酸化物中、酸化チタンは少なくとも４０重量％存在する。表面層は、１５～５０重量％の比率の酸化ジルコニウムを含む。

国際公開第２０１００３１８０８Ａ１号パンフレットは、真空下の陰極スプレーによって堆積された少なくとも１つの層を含むグレージングであって、上記層が１つ以上の酸化物を含み、酸化チタンの重量比が少なくとも４０％及び９５％以下である、グレージングに関する。問題となる層の厚さ、及び場合により金属酸化物を含有する別の層の厚さは、厚さ４ｍｍの透明「フロート」ガラスシート上で上記層によって少なくとも１５％の反射及び少なくとも６０％の光透過率が得られるように選択される。問題となる層又は層系は、同じ種類の光学的性質を有する製品を得るために熱分解によって作製された層と同等の機械的抵抗性及び／又は耐薬品性をさらに有する。

しかし、上記の解決策では、典型的な乾式ブラシ試験及び／又はＡｕｔｏｍａｔｉｃＷｅｔＲｕｂＴｅｓｔ（ＡＷＲＴ）において、輸送及び保管条件中に遭遇する摩耗に対する十分な機械的耐久性が得られない。

国際公開第２０１８２０２５９５Ａ１号パンフレットは、基材、基材の少なくとも１つの面の少なくとも一部の上に設けられた軟質コーティング、軟質コーティングの上の上記面の少なくとも一部の上に設けられる保護ゾルゲルコーティングを含む被覆基材、そのような被覆基材の製造方法、及びそのような被覆基材を含むグレージングユニットに関する。ゾルゲルコーティングは、酸化チタン、酸化ケイ素、及び場合により酸化ビスマス及び／又は酸化セリウムの混合物を、０．１０～３の範囲の酸化チタンＴｉＯ_２／酸化ケイ素ＳｉＯ_２の理論重量比で含む。酸化ジルコニウムが存在する場合、酸化ジルコニウム／酸化ケイ素の比は０．１０～３の範囲である。酸化チタン／酸化ジルコニウムの比は０．１０～１０の範囲である。ゾルゲルコーティングの厚さは、典型的には５０～５００ｎｍの範囲である。この解決策は、保護層の非常に厚い層が形成されることが主な欠点であり、ゾルゲルコーティングを硬化させるための追加の必須の加熱ステップが必要であり、製造ラインの変更が必要であるのでさらなる製造の制約を伴う。すなわち、ゾルゲルコーティングによって被覆基材が保護される前に、損傷が生じる可能性がある中間ステップが必要となる。

改善された機械的抵抗性、耐薬品性、及び耐食性を有する機能性コーティングが設けられるが、そのコーティングの放射率及び／又は審美性に大きな影響は生じない被覆基材、特にガラス基材の開発が依然として必要である。

改善された機械的抵抗性、耐薬品性、及び耐食性を有する機能性コーティングが設けられるが、そのコーティングの放射率及び審美性に大きな影響は生じず、すなわち、前記機能性コーティングの光学的性質は維持される被覆基材、特にガラス基材の開発が依然として必要である。

本発明の目的は、２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を含み、少なくとも１つの表面に機能性コーティングが設けられた被覆基材であって、透明基材には、機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物のマグネトロンスパッタリングされたトップコートが設けられ、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有することを特徴とする被覆基材を提供することである。

上記被覆基材を製造する方法も提供される。

熱処理された被覆基材及び複数のグレージングユニットが提供される。

本トップコートは、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含むマグネトロンスパッタリングされた混合金属酸化物であり、
トップコートは、不純物を含めて合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素（Ｓｉ），
－８～３８原子％のチタン（Ｔｉ）、
－２５～８０原子％のジルコニウム（Ｚｒ）、
を含み、
トップコートは０．１～１０ｎｍの厚さを有する。

不純物は、上記金属から実質的に分離できない追加の金属と見なされる。これは特に、イットリウム及び／又はハフニウムの場合である。これらの追加の金属が存在する場合、それらの含有量は、依然として比較的制限され、全体の１原子％を超えず、通常は０．８原子％未満で残存する。これらは、トップコートの有効含有量の計算には考慮されない。上記有効含有量は、本発明の範囲内の機械的耐久性を提供するチタン、ジルコニウム、及びケイ素の寄与のみの合計として考えられる。＜２．０原子％、或いは＜１．０原子％の量の微量元素としてアルミニウムが存在することができる。

本発明の幾つかの実施形態では、トップコート中のＳｉ、Ｔｉ、及びＺｒの上記範囲は、互いに独立して変動することができる。或いはＳｉの量は１５～６０原子％の範囲であってよい。或いはＴｉの量は１０～３５原子％の範囲であってよい。或いはＺｒの量は３０～７０原子％の範囲であってよい。したがってこれらの量は、各金属の場合で独立して変動することができ、但し、合計は、不純物を含めて１００原子％の金属である。

各金属の量は、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ）、Ｘ線蛍光（ＸＲＦ）などの当業者が利用可能な方法によって求めることができる。これらの分析は、当技術分野において周知の通常手順を用いてスパッタリングされたトップコート上で行うことができる。

これらの量は、最適なトップコートを与え、驚くべきことに、輸送又は保管が必要な機能性コーティングの摩耗に対する優れた機械的耐久性が得られる。予想外なことに、国際公開第２００９１１５５９６Ａ１号パンフレットの教示に反して、請求される範囲内でチタンがケイ素及びジルコニウムの両方と同時に用いられる場合、＞４０％のチタンの酸化物の量では必要な耐久性が得られないことが分かった。

本トップコートは、０．１～１０．０ｎｍ、或いは０．５～５．０ｎｍ、或いは２．０～５．０ｎｍの範囲の厚さを有することができる。

このような厚さによって、改善された機械的耐久性が得られ、同時に、下にある機能性コーティングに対する光学的寄与は最小限になることができる。透明基材の任意選択の熱処理によって除去されたり変性したりすることがないという点で、トップコートは永続的なものである。下にある機能性コーティングの光学的性質に対する悪影響もない。

請求される範囲内の本トップコート材料の屈折率ｎは、その最終組成によって左右されるが、波長５５０ｎｍにおいて１．９０～２．２５の範囲となることができる。

透明基材は、ガラス基材、又はプラスチック基材、例えばポリ（メチルメタ）アクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、又はそれらの混合物であってよい。Ｔが１０％を超える場合、或いは２０％を超える場合、或いは３０％を超える場合に、基材の透明性が考慮される。

ほとんどの場合、透明基材はガラス基材である。

ガラスは、従来のフロートガラス又は板ガラスなどのあらゆる種類のものであってよく、あらゆる光学的性質、例えば、１０％を超える可視透過率、紫外透過率、赤外透過率、及び／又は全太陽エネルギー透過率のあらゆる値を有するあらゆる組成であってよい。

ガラス基材は、ソーダ石灰ガラス、ホウケイ酸ガラス、鉛ガラス、又はアルミノシリケートガラスであってよい。基材は、通常の透明、着色、又は超透明（すなわち、より低いＦｅ含有量及びより高い透過率）のガラス基材であってよい。ガラス基材のさらなる例としては、透明、緑色、ブロンズ色、又は青緑色のガラス基材が挙げられる。

ガラスは、アニールガラス、強化ガラス、又は熱強化ガラスであってよい。

透明ガラス基材は、０．５ｍｍ～約１５ｍｍ、或いは１ｍｍ～約１０ｍｍ、或いは１ｍｍ～約８ｍｍの範囲の厚さを有することができる。

透明ガラス基材は、０．５～２ｍｍの範囲の厚さを有する場合に本発明に適していると見なすこともできる。

透明基材は、典型的には２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有し、第１の表面の少なくとも一部に機能性コーティングが設けられる。

輸送中、保管中、取り扱い中、処理中及び／又は最終的な使用中の機械的及び／又は化学的損傷から上記機能性コーティングを保護するために、透明基材の少なくとも１つの表面上に設けられた機能性コーティングの少なくとも一部の上に、かつそれと接触して本トップコートが堆積される。

透明基材の第２の表面に、同じ又は異なる機能性コーティングを被覆することができる。このような場合、本トップコートは、２つの被覆された表面のいずれか一方又は両方の上に設けられた機能性コーティングの上、すなわち、第１の表面又は第２の表面の上のコーティングのいずれか１つ、又は第１及び第２の表面の両方のコーティングの上に設けることができる。

本発明の範囲内で、「機能性コーティング」という用語は、基材の１つ以上の物理的性質、例えば、光学的、熱的、化学的、又は機械的性質を変化させるコーティングを意味する。このような機能性コーティングは、後の処理中に基材から取り外すことは意図されていない。機能性コーティングは、典型的には永続的又は「取り外しできない」コーティングである。

機能性コーティングは、ソーラーコントロールコーティング、伝導性コーティング、反射防止コーティング、装飾コーティング及び／又は低放射率コーティングであってよい。

機能性コーティングは、単層、又は薄層のスタック、すなわち多層コーティングであってよく、１つ以上の金属、非金属、半金属、半導体、若しくは合金、化合物、複合材料、それらの組み合わせ、又はブレンドを含むことができる。

本発明において薄層のスタックを議論する場合、典型的には、最初に基材上に第１の層が取り付けられ、その次に第２の層が基材上の第１の層の上に取り付けられると理解される。位置の連続する順序は、基材を基準に進んで最上層まで考慮される。

本発明の範囲内で、「下方」、「下」、「下部」という用語は、基材から始まる層の順序内で次の層と向かい合う層の相対位置を示している。本発明の範囲内で、「上」、「上部」という用語は、基材から始まる層の順序内で次の層と向かい合う層の相対位置を示している。

本発明の範囲内で、スタック中の層の相対位置は、必ずしも層間の直接接触を示すものではない。すなわち、第１及び第２の層の間に、ある中間層を設けることができる。例えば、本発明の目的が脅かされるのでなければ、基材の「上に堆積された」第１の層は、第１の層の膜と基材との間に位置する同じ又は異なる組成の１つ以上の別のコーティング層の存在を排除するものではない。

幾つかの場合では、１つの層は、実際には数個の複数の個別の層で構成されてよい。

本トップコートは、透明基材の第１の表面の上に設けられた機能性コーティングに対して上方の位置にあると理解される。すなわち、本トップコートは、基材の第１の堆積表面に対して透明基材から最も離れて位置し、典型的には空気と接触する。

本トップコートは、機能性コーティングの上の最上層であり、上記機能性コーティングの最後の層と直接接触する。ほとんどの場合、機能性コーティングの最後の層によって、機械的及び／又は化学的耐久性は付与されない。このような場合、本トップコートによって、機能性コーティングの機械的及び化学的耐久性が付与される。

幾つかの場合では、機能性コーティングは最初に、ある程度の機械的及び／又は化学的耐久性を付与する最上層を含むことができる。このような場合、本トップコートによって、特に摩耗を考慮して、機能性コーティングのさらに優れた機械的及び化学的耐久性が付与される。

機能性コーティングは、１０～１０００ｎｍの範囲の厚さを有することができる。

特に記載がなければ、ここですべての層の厚さは、幾何学的層厚さである。

本発明のある実施形態では、機能性コーティングはソーラーコントロールコーティングであってよく、ここで、ソーラーコントロールコーティングは、可視、赤外、又は紫外のエネルギーを反射又は吸収するコーティングを含む。

本発明のある実施形態では、機能性コーティングは、導電性コーティング、例えば、導電性加熱窓のコーティング、又はアンテナとして機能できる単一フィルム若しくは多層フィルムのコーティングであってよい。

機能性コーティングは、典型的には可視波長エネルギー、例えば、約４００ｎｍ～約７８０ｎｍはコーティングを透過することができるが、より短波長の太陽赤外エネルギー及び／又は熱赤外エネルギーは反射することができ、典型的には建築用グレージングの断熱特性の改善が意図される、低放射率コーティングであってよい。「低放射率」は、約０．３未満、或いは約０．２未満の放射率を意味する。

機能性コーティングは、単層金属酸化物コーティング、多層金属酸化物コーティング、非金属酸化物コーティング、又は多層コーティングであってよい。

本発明のある実施形態では、単層金属酸化物コーティングとしては、アルミニウム、ガリウム、又はハフニウムでドープされた酸化亜鉛；亜鉛及びスズの混合酸化物；フッ素又はアンチモンで場合によりドープされた酸化スズ；場合によりスズでドープされた酸化インジウムなどを含むコーティングが挙げられる。

本発明のある実施形態では、多層金属酸化物コーティングとしては、高屈折率材料の少なくとも１つの層と、低屈折率材料の少なくとも１つの層とを含むコーティング、すなわち、交互に変化する屈折率を有する材料の層を有するコーティングが挙げられる。このようなコーティングは、典型的には、低屈折率又は高屈折率を有する材料の第１の層と、高屈折率又は低屈折率を有する材料の第２の層と、低屈折率又は高屈折率を有する材料の第３の層と、高屈折率又は低屈折率を有する材料の第４の層と、任意選択の保護層と含むコーティングで表される。低屈折率は、典型的には屈折率＜１．８、又は典型的には＜１．７であり、一方、高屈折率は、典型的には屈折率＞１．８、又は典型的には≧１．９若しくは≧２．０である。幾つかの層は、１．７から＜１．９までで構成される中間の屈折率を有することができる。屈折率は、典型的には５５０ｎｍの波長において考慮される。

本発明のある実施形態では、機能性コーティングは、ｎ個の赤外反射（ＩＲ）層とｎ＋１個の誘電体層との交互配列を、それぞれのＩＲ層が２つの誘電体層で囲まれるように含む多層コーティングであってもよく、ｎ≧１である。

ＩＲ層は、銀、金、パラジウム、白金、又はそれらの合金でできていてよい。機能層は、２～３０ｎｍ、或いは５～２０ｎｍ、或いは７～１８ｎｍの厚さを有することができる。これらの厚さの範囲によって、所望の低放射率及び／又はソーラーコントロール機能及び／又は伝導率を実現しながら、良好な光透過率を維持することができる。

誘電体層は、典型的には、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｉ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｂｉ、Ｔａ、Ｈｆ、Ｍｇ、Ｎｂ、Ｙ、Ｇａ、Ｓｂ、Ｍｇ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｂ、又はそれらの混合物の酸化物、窒化物、酸窒化物、又は酸炭化物を含むことができる。

本発明のある実施形態では、誘電体層は、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｉ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｎｉ、Ｃｒ、又はそれらの混合物の酸化物、窒化物、酸窒化物、又は酸炭化物を含むことができる。或いは、誘電体層は、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｉ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｎｂ、Ｓｂ、Ｎｉ、Ｃｒ、又はそれらの混合物の酸化物、窒化物、酸窒化物を含むことができる。

これらの材料は、最終的にドープすることができ、ドーパントの例としては、アルミニウム、ジルコニウム、又はそれらの混合物が挙げられる。ドーパント又はドーパント混合物は、最大１５重量％の量で存在することができる。

誘電体材料の典型的な例としては、ケイ素をベースとする酸化物、ケイ素をベースとする窒化物、酸化亜鉛、酸化スズ、混合酸化亜鉛スズ、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化ニオブ、窒化アルミニウム、酸化ビスマス、混合窒化ジルコニウムケイ素、及びこれらの少なくとも２つの混合物、例えば酸化ジルコニウムチタンが挙げられるが、これらに限定されるものではない。

誘電体層は、上記材料を含む本質的にからなる複数の個別の層からなることができる。

誘電体層はそれぞれ０．１～２００ｎｍ、或いは０．１～１５０ｎｍ、或いは１～１２０ｎｍ、或いは１～８０ｎｍの範囲の厚さを有することができる。異なる誘電体層は異なる厚さを有することができる。すなわち、第１の誘電体層は、第２又は第３又はあらゆる別の誘電体層の厚さと同じ又は異なる、より大きい又はより小さい厚さを有することができる。

２つのＩＲ機能層が存在する場合（ｎ＝２の場合、第２の誘電体層は、２つのＩＲ機能層の間に挟まれるので、「内部誘電体層」と呼ぶことができる。

３つのＩＲ機能層が存在する場合（ｎ＝３の場合）、第２及び第３の誘電体層は、それぞれ２つのＩＲ機能層の間に挟まれるので、「内部誘電体層」と呼ぶことができる。

多層コーティングは、少なくとも１つのＩＲ層の下にシード層を含むことができ、及び／又はコーティングは、少なくとも１つのＩＲ層の上にバリア層を含むことができる。シード層は、典型的には、ＩＲ材料の良好な品質の膜の形成を促進するために設けられ、すなわち、ＩＲ材料の均一で安定な層を得るために設けられる。バリア層は、典型的には、その上のあらゆる層の形成によって誘発される劣化からのＩＲ材料の保護を促進するため、例えば、ＩＲ層の品質を低下させることがある酸素又は酸素含有種から保護し、熱処理による劣化からも保護するために設けられる。

所与のＩＲ層には、シード層若しくはバリア層のいずれか、又はその両方を設けることができる。第１のＩＲ層には、シード層及びバリア層のいずれか一方又は両方を設けることができ、第２のＩＲ層には、シード層及びバリア層のいずれか一方又は両方を設けることができ、そのようにさらに続けることができる。このような構成は互いに排他的なものではない。シード層及び／又はバリア層は、０．１～３５ｎｍ、或いは０．５～２５ｎｍ、或いは０．５～１５ｎｍ、或いは０．５～１０ｎｍの厚さを有することができる。

多層コーティングは、少なくとも１つの機能層の上に、かつそれと接触して設けられる＜１５ｎｍ、或いは＜９ｎｍの厚さを有する犠牲材料の薄層を含むこともできる。犠牲材料の例としては、チタン、亜鉛、ニッケル、クロム、Ｎｉの酸化物、Ｎｉ合金の酸化物、Ｃｒの酸化物、Ｃｒ合金の酸化物、ＮｉＣｒＯ_ｘ、ＮｉＣｒＯ_ｘＮ_ｙ、酸化亜鉛、酸化スズ、又はその他の適切な材料、又はそれらの混合物が挙げられる。

被覆物品の透過率を選択的に変化させるために調節された吸収層を誘電体層に設けることができる。ある例では、色に悪影響を与えることなく被覆物品の透過率が大幅に調節されるように、上記吸収層の厚さを調節することができる。吸収層の例としては、Ｎｉ、Ｃｒ、ＮｉＣｒ、ＮｉＣｒＮ_ｘ、ＮｉＣｒＷ、ＣｒＮ、ＺｒＮ、ＴｉＮ、Ｔｉ、Ｚｒ、ＮｉＯ_ｘなどが挙げられる。少なくとも１つのＩＲ層が吸収層の上に位置するように、このような吸収層を配置することができ、場合により、このような吸収層は、窒化ケイ素を含む第１及び第２の層の間に挟まれそれらに接触することができる。吸収層は０．５～１０ｎｍの範囲の厚さを有することができる。

多層コーティングは、場合により、Ｔｉ、Ｚｒの酸化物、又は４５～６５重量％のＴｉを有するＴｉ及びＺｒの混合酸化物；又はＳｉ、Ａｌの酸化物；又はＺｒ及びＡｌの酸化物；又はＳｉ、Ａｌの窒化物を含む最上層をすでに含むことができる。このような最上層を本トップコートと交換したり、このような最上層の上に本トップコートを取り付けたりすることができる。

低放射率コーティングとして機能する多層コーティングの第１の例は、少なくとも１つの銀層を含み、ただし基材／ＭｅＯ／ＺｎＯ：ＡｌＳｉ／Ａｇ／ＡｌＳｉ－ＭｅＯの順序であり、ここでＭｅＯは、ＳｎＯ_２、ＴｉＯ_２、Ｉｎ_２Ｏ_３、Ｂｉ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、Ｔａ_２Ｏ_５、ＳｉＯ_２、若しくはＡｌ_２Ｏ_３、又はそれらの混合物などの金属酸化物である。

低放射率コーティングとして機能する多層コーティングの第２の例は、窒化ケイ素を含む第１の誘電体層と；第１のＮｉ又はＮｉＣｒを含む層と；銀を含む赤外（ＩＲ）反射層と；第２のＮｉ又はＮｉＣｒを含む層と；窒化ケイ素を含む第２の誘電体とを含む。このような多層コーティングは、場合により、ＳｉＺｒの混合（酸）窒化物又はＴｉＺｒの混合酸化物のトップコートを含むことができる。

多層コーティングの第３の例は、
第１及び第２の層に接触しそれらの間に挟まれた赤外（ＩＲ）反射層を含み、上記第２の層はＮｉＣｒＯｘを含み；
少なくとも、ＮｉＣｒＯｘを含む上記第２の層は、上記赤外（ＩＲ）反射層に近い上記第２の層の第１の部分が上記赤外（ＩＲ）反射層から離れている上記第２の層の第２の部分よりも酸化されないように、段階的に酸化されている。

多層コーティングの第４の例は：誘電体層と；誘電体層の上に位置する酸化亜鉛を含む第１の層と；酸化亜鉛を含む第１の層の上に、かつそれと接触して位置する銀を含む赤外（ＩＲ）反射層と；ＩＲ反射層の上に、かつそれと接触して位置するＮｉＣｒの酸化物を含む層と；ＮｉＣｒの酸化物を含む層の上に、かつそれと接触して位置する酸化亜鉛を含む第２の層と；酸化亜鉛を含む第２の層の上に位置する別の誘電体層とを含む。

多層コーティングの第５の例は：第１の誘電体層と；少なくとも第１の誘電体層の上に位置する銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層と；少なくとも第１のＩＲ反射層及び第１の誘電体層の上に位置する酸化亜鉛を含む第１の層と；酸化亜鉛を含む第１の層の上に、かつそれと接触して位置する銀を含む第２のＩＲ反射層と；第２のＩＲ反射層の上に、かつそれと接触して位置するＮｉＣｒの酸化物を含む層と；ＮｉＣｒの酸化物を含む層の上に、かつそれと接触して位置する酸化亜鉛を含む第２の層と；少なくとも、酸化亜鉛を含む第２の層の上に位置する別の誘電体層とを含む。

多層コーティングの第６の例は：第１の誘電体層と；誘電体層の上に位置する酸化亜鉛を含む第１の層と；酸化亜鉛を含む第１の層の上に、かつそれと接触して位置する銀を含む赤外（ＩＲ）反射層と；ＩＲ層の上に位置する酸化亜鉛を含む第２の層と；酸化亜鉛を含む第２の層の上に位置する第２の誘電体層とを含む。第１及び第２の誘電体層は、複数の層を含むことができ、特に、酸化亜鉛中の種々の組成の層、すなわち、酸化亜鉛、アルミニウムでドープされた酸化亜鉛の層、又は重量基準で０．５～２の範囲の比Ｓｎ／Ｚｎ、若しくは重量基準で０．０２～０．５の範囲の比Ｓｎ／Ｚｎを有する亜鉛及びスズの混合酸化物の層；窒化ケイ素の層；酸化チタンの層を含むことができる。酸化亜鉛を含む第１及び第２の層も、酸化亜鉛中で種々の組成を有することができ、すなわち特に、酸化亜鉛；アルミニウムでドープされた酸化亜鉛；亜鉛及びスズの混合酸化物；亜鉛、チタン、及びアルミニウムの混合酸化物の層を有することができる。

多層コーティングの第７の例は、順番に：第１の誘電体層；銀を含む第１のＩＲ層；第２の誘電体層；第２のＩＲ層；第３の誘電体層を含む。第１、第２、及び第３の誘電体層は、複数の層を含むことができ、特に、酸化亜鉛中の種々の組成の層、すなわち、酸化亜鉛、アルミニウムでドープされた酸化亜鉛の層、又は重量基準で０．５～２の範囲の比Ｓｎ／Ｚｎ、若しくは重量基準で０．０２～０．５の範囲の比Ｓｎ／Ｚｎを有する亜鉛及びスズの混合酸化物の層；亜鉛、チタン、及びアルミニウムの混合酸化物の層；窒化ケイ素の層；酸化チタンの層を含むことができる。幾つかの場合では、ＩＲ層には、独立して、Ｔｉ、Ｎｉ、ＮｉＣｒなどの金属バリア層を設けることができる。

多層コーティングの第８の例は、順番に：第１の誘電体層；銀を含む第１のＩＲ層；第２の誘電体層；第２のＩＲ層；第３の誘電体層；第３のＩＲ層；第４の誘電体層を含む。第１、第２、第３、及び第４の誘電体層は、複数の層を含むことができ、特に、酸化亜鉛中の種々の組成の層、すなわち、酸化亜鉛、アルミニウムでドープされた酸化亜鉛の層、又は重量基準で０．５～２の範囲の比Ｓｎ／Ｚｎ、若しくは重量基準で０．０２～０．５の範囲の比Ｓｎ／Ｚｎを有する亜鉛及びスズの混合酸化物の層；亜鉛、チタン、及びアルミニウムの混合酸化物の層；窒化ケイ素の層；酸化チタンの層を含むことができる。幾つかの場合では、ＩＲ層には、独立してＴｉ、Ｎｉ、ＮｉＣｒなどの金属バリア層を設けることができる。

多種多様の多層コーティングに、機械的損傷に対して保護するトップコートの利点が得られる本被覆基材を提供することができる。同時に、光学的性質は、上記トップコートを有しないコーティングと比較して許容できる変動の範囲内を維持し、デルタＴ＜２％、デルタＲ＜２％、及びデルタＥ＜５となる。

被覆基材の製造方法は、順番に：
１．２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を提供するステップ、
２．透明基材の第１の表面の少なくとも一部の上に機能性コーティングを堆積するステップ、
３．機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含むトップコートをマグネトロンスパッタリング技術によって堆積するステップであって、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有するステップ、
を少なくとも含む。

マグネトロンスパッタリングを用いるトップコートの堆積ステップによって、透明基材の上に先に機能性コーティングを設ける既存の製造ラインにプロセスを容易に一体化することができる。マグネトロン堆積によって、０．１～１０ｎｍの厚さを有するトップコート層を堆積することもできる。このような薄層は、機能性コーティングの化学的耐久性及び光学的性質に悪影響を与えることなく必要な機械的耐久性を付与するのに有効であることが分かっている。

機能性コーティングは、典型的には、化学蒸着（ＣＶＤ）、大気圧ＣＶＤ（ＡＰＣＶＤ）、低圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）、プラズマ強化化学蒸着（ＰＥＣＶＤ）、ＬＰＣＶＤ（低圧化学蒸着）、物理蒸着、マグネトロンスパッタリング、イオンアシスト蒸着によって基材上に堆積することができる。

同じ機能性コーティングの個別の層は、異なる堆積方法によって形成することができる。しかし典型的には、これらは同じ技術を用いて堆積することができる。

幾つかの場合では、機能性コーティングの少なくとも１つの層はマグネトロンスパッタリングによって堆積することができる。幾つかの場合では、機能性コーティングのすべての層がマグネトロンスパッタリングによって堆積される。

トップコートはマグネトロンスパッタリングを用いて堆積される。ＣＶＤ又はゾルゲル方法と比較して、マグネトロンスパッタリングによって堆積される場合に、機械的及び化学的耐久性を付与するためのトップコートの効率が最適となる。マグネトロンスパッタリングによって堆積された層は、０．１～１０ｎｍ、或いは０．５～５．０ｎｍ、或いは２．０～５．０ｎｍの範囲の厚さにおいて、あらゆる加熱又は追加のプロセスステップを先に行うことなく有効となる。このように堆積された層によって、機能性コーティングの光学的性質に悪影響が生じることもなく、デルタＴ＜２％、デルタＲ＜２％、及びデルタＥ＜５となる。

マグネトロンスパッタリングを用いるトップコートの堆積は、少なくとも３つのチタン、ジルコニウム、又はケイ素の元素を得るために、金属又はセラミックのいずれかのターゲットを用いて行うことができる。

少なくとも３つの元素は、１つ以上のセラミック又は金属のターゲットのいずれかから独立して供給することができる。機能性コーティング上にマグネトロンスパッタリングによって堆積されたトップコートが少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含み、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、トップコートは０．１～１０ｎｍの厚さを有するのであれば、種々の組み合わせ及び同時スパッタリングの代案が存在することができる。

金属ターゲットは、チタン、ジルコニウム、又はケイ素の少なくとも１つを含むことができる。金属ターゲットは、チタン、ジルコニウム、又はケイ素の２つ以上を含むことができる。

セラミックターゲットは、チタン、ジルコニウム、又はケイ素の少なくとも１つの酸化物を含むことができる。セラミックターゲットは、チタン、ジルコニウム、又はケイ素の２つ以上の酸化物を含むことができる。

セラミックターゲットは、チタン、ジルコニウム、又はケイ素から選択される２つの元素を含むことができ、金属ターゲットは第３の元素を含むことができる。

幾つかの場合では、スパッタリングされるトップコートの１つの元素は、セラミックターゲット及び金属ターゲットの両方から同時に得ることができる。

セラミックターゲットは、金属の少なくとも１つの酸化物と、少なくとも１つの別の金属の金属形態とを含むことができる。

セラミックターゲットは、チタン又はジルコニウムの少なくとも１つの酸化物と、金属形態のケイ素とを含むことができる。

そのような場合、上記３つの元素は、組み合わせて用いられる複数の独立したターゲットから得ることができ、これは同時スパッタリングとも呼ばれ、それぞれのターゲットがセラミック又は金属のターゲットである。

２つ以上のターゲットからのスパッタリング又は堆積は、所望の機械的耐久性のために調整可能な、少なくともケイ素、チタン、及びジルコニウムを含む種々のトップコートが得られるという利点を有する。これは、堆積速度の調節が可能であり、及び／又は処理中に消費される材料に応じてあるターゲットから別のターゲットに容易に交換可能であるという利点も有する。これは、スパッタリング中に用いられるガスの働きとしてトップコートの化学量論を調節できる利点も有する。

別の場合では、上記３つの元素は１つのターゲットから得ることができる。

セラミックターゲットは、少なくとも上記３つの元素の酸化物を含むことができ、又は金属ターゲットは少なくとも金属形態の上記３つの元素を含むことができる。

セラミックターゲットは、チタン及びジルコニウムの酸化物と、金属形態のケイ素とを含むことができる。

少なくともケイ素、チタン、及びジルコニウムを含む１つのターゲットからのスパッタリング又は堆積は、再現可能で均一なトップコートが得られるという利点を有する。

トップコートは、典型的にはアルゴン又は酸素又はその両方を含むガス流中でスパッタリングされる。トップコートの必要な化学量論を得るために、各ガスの種々の混合物を得ることができる。

本トップコートのさらなる利点の１つは、熱処理を実施可能なことであり、そのため、このような熱処理により機能性コーティングが保護される。

熱処理が行われない場合でさえもトップコート自体で保護が得られるので、熱処理ステップは、単に任意選択であり、被覆基材の最終用途に必要なときに考慮される。

熱処理された被覆基材の製造方法は、順番に：
１．２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を提供するステップ、
２．透明基材の第１の表面の少なくとも一部の上に機能性コーティングを堆積するステップ、
３．機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含むトップコートをマグネトロンスパッタリング技術によって堆積するステップであって、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有するステップ、
４．被覆基材の熱処理を行うステップ、
を少なくとも含む。

本発明の別の実施形態と両立する本方法の幾つかの実施形態では、トップコート中のＳｉ、Ｔｉ、及びＺｒの上記範囲は、互いに独立して変動することができる。或いはＳｉの量は１５～６０原子％の範囲であってよい。或いはＴｉの量は１０～３５原子％の範囲であってよい。或いはＺｒの量は３０～７０原子％の範囲であってよい。したがってこれらの量は、各金属の場合で独立して変動することができ、但し、合計は、不純物を含めて１００原子％の金属である。

本発明の範囲内で、ステップが順番に存在する場合、それらが記載の順序で行われることを意味することが意図される。しかし、その順序内に追加の中間ステップを加えることができる。このような追加の中間ステップは、洗浄、輸送、移動、測定、切断などであってよい。

熱処理は、曲げ（湾曲としても知られる）、アニール（強化としても知られる）、又は強化プロセス中に生じるものの中の１つであってよい。

適切な熱処理の１つは、熱処理の種類及びガラスシートの厚さにより、被覆ガラスシートを空気中、少なくとも５６０℃、例えば５６０℃～７００℃の間、特に約６４０℃～６７０℃の温度に、約３、４、６、８、１０、１２、又はさらには１５分間加熱することを含む。この処理は、加熱ステップの後に、ガラスの表面と中心との間の応力差を発生させるための急冷ステップを含むことができ、これによって衝撃が加わった場合に、このいわゆる強化ガラスシートは小さな断片に安全に破壊される。冷却ステップがあまり強くない場合、ガラスは単に熱強化され、いずれの場合も、より良好な機械的抵抗性が得られる。

さらなる熱処理は、１）曲げ、２）強化、３）着色セラミック印刷若しくは銀バスバー印刷の焼結、４）真空二重グレージングの真空封止、及び５）湿式コーティングされた低反射コーティング若しくはアンチグレアコーティングの焼成などのプロセスステップにおいて示されることがある。

両面被覆基材を製造するための第１の方法は、順番に：
１．２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を提供するステップ、ただし第１の表面は露出している、
２．透明基材の第１の表面の少なくとも一部の上に第１の機能性コーティングを堆積するステップ、
３．第１の機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含むトップコートをマグネトロンスパッタリング技術によって堆積するステップであって、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有するステップ、
４．第２の表面が露出するように基材を裏返すステップ、
５．透明基材の第２の表面の少なくとも一部の上に第２の機能性コーティングを堆積して、両面被覆透明基材を形成するステップ、
６．場合により第２のトップコートを堆積するステップと、
７．場合により両面被覆透明基材の熱処理を行うステップ、
を少なくとも含む。

両面被覆基材を製造するための第２の方法は、順番に：
１．２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を提供するステップ、ただし第１の表面は露出している、
２．透明基材の第１の表面の少なくとも一部の上に第１の機能性コーティングを堆積するステップ、
３．第１の機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含むトップコートをマグネトロンスパッタリング技術によって堆積するステップであって、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有するステップ、
４．第２の表面が露出するように基材を裏返すステップ、
５．透明基材の第２の表面の少なくとも一部の上に第２の機能性コーティングを堆積して、両面被覆透明基材を形成するステップ、
６．場合により、第２の機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含むトップコートをマグネトロンスパッタリング技術によって堆積するステップであって、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有するステップ、
７．場合により両面被覆透明基材の熱処理を行うステップ、
を少なくとも含む。

したがって、このような第１及び第２の方法によって、第１の表面の少なくとも一部の上に第１の機能性コーティングが設けられ、第２の表面の少なくとも一部の上に第２の機能性コーティングが設けられた透明基材を提供することができ、第１又は第２の機能性コーティングの少なくとも１つには、本明細書に記載のトップコートが設けられる。

このような状況で、第１及び第２の機能性コーティングは、同じ場合も異なる場合もあり、特に前述の機能性コーティングから選択される。

透明基材の反対側の第２の表面上へのコーティングを可能にするのに十分な機械的耐久性を有する機能性コーティングが得られるという点で、本トップコートはさらに有用であることが分かる。

前述の別の方法と両立する幾つかの場合では、熱処理のステップは、裏返すステップの前又は後に行うことができ、すなわち、第２の機能性コーティングを設ける前に被覆透明基材に熱処理を行うことができる。

したがって、本発明は、機能性コーティングと、少なくともチタン、ジルコニウム、及びケイ素を含むマグネトロンスパッタリングされた混合金属酸化物のトップコートとを含む熱処理された被覆グレージングも提供し、トップコートは、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含み、
トップコートは、不純物を含めて合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートは０．１～１０ｎｍの厚さを有する。

被覆基材が、製造された場合の光学的及び／又はエネルギー的性質を損なうことなく、強化又は曲げの種類の熱処理に耐えることができる場合、上記機能性コーティング及び／又は被覆基材は「熱処理可能」又は「強化可能」と呼ぶことができる。

幾つかの場合では、機能性コーティングは「自己適合性」（ｓｅｌｆ－ｍａｔｃｈａｂｌｅ）であってよい。これは、被覆基材に対して強化又は曲げの種類の熱処理を行う場合に、光学的及び／又はエネルギー的性質の変化がない又はごくわずかであることを意味する。

典型的には、被覆基材の色を規定するためにＣＩＥＬＡＢ１９７６の値（Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊）が用いられる。これらは、光源Ｄ６５／１０°を用いて測定される。

は、熱処理中の色の変化、すなわち熱処理前と熱処理後との間の色の差を表す。

透過及び反射においてΔＥ^＊≦５、或いは≦２である場合、及び／又は光の透過及び反射並びにエネルギーの値の変化がない又はわずかである場合、すなわち１つのグレージング中の熱処理前後の値の差が≦５、或いは≦２のままである場合に、「自己適合性」（ｓｅｌｆ－ｍａｔｃｈａｂｉｌｉｔｙ）を考慮することができる。

機能性コーティングが自己適合性である場合、本トップコートは、その下に配置されるそのような機能性コーティングの自己適合性を変化させない。

これは、同じ用途の場合、例えば建物の外観において、非熱処理製品と熱処理製品とを隣同士に配置できるという利点を有する。これは、定義されるような自己適合性が、非熱処理製品と熱処理製品との間で保証される間、熱処理される製品上にのみ、又は熱処理されない製品上にのみトップコートを設けることができるという利点も有する。

本トップコートは、基材から最も離れた周囲環境に接触することが考慮される。本発明の別の場合と両立する特定の場合にのみ、被覆基材には、トップコートの上に、かつそれと接触して少なくとも１つの一時保護層をさらに設けることができる。以下に説明されるように、このような「一時（ｔｅｍｐｏｒａｒｙ）」保護層は、典型的には基材の洗浄又は熱処理によって除去される。

本発明のある実施形態では、一時保護層としては、炭素一時保護層、ポリマー一時保護層、剥離可能な保護層が挙げられる。

炭素一時保護層としては、通常０．５～１５ｎｍ、或いは１～１０ｎｍ、或いは１～７ｎｍ、及びそれらの間のあらゆる値の厚さを有するマグネトロンスパッタリングによって設けられる層が挙げられる。このような炭素保護コーティングは、典型的には透明基材の熱処理によって除去され、比色方法によって測定して、例えば９９～１００％の比率で除去される。

ポリマー一時保護層としては、ポリビニルアルコール、ポリエチレン、アクリルなどを含むポリマーコーティング組成物の蒸発又は反応の生成物によって設けられる層が挙げられ、これは水性洗浄、溶剤洗浄、蒸気除去、熱分解、又は燃焼によって後に除去することができる。このようなポリマーコーティング組成物は、液体溶液、エマルジョン、懸濁液、スラリー、又は分散液であってよい。

剥離可能な保護層としては、ポリアミド液体組成物から形成されるコーティングなどが挙げられる。

一時保護コーティングは、例えば洗浄、燃焼、熱分解、又は剥離によって除去することができる。一時保護コーティングの除去の前又は後に、基材を加工することができ、例えば、切断、トリミング、曲げ、成形、及び／又は製造物品中への組み込みを行うことができる。

したがって、上記方法はいずれも、被覆基材上に炭素層を堆積するステップをさらに含むことができる。

炭素保護トップコートは、スパッタリング方法によって堆積することもできるという利点を有し、したがって、大きな技術的制約が生じることなく同じ処理中に含めることができる。

本発明は、前述の種々の実施形態に記載される少なくとも１つの被覆基材を含む複層グレージングユニットを提供する。

複層グレージングユニットとしては、二重若しくは三重のグレージング又は積層グレージングが挙げられ、ここで被覆基材は、被覆されている場合もされていない場合もある１つ以上の別のガラスシートと関連している。グレージングの被覆面は、複層グレージングの場合では２つのガラスシートの間の空間と接触して配置することができ、積層グレージングの場合では接触層と接触して配置することができる（Ｐ２又はＰ３）。

その機械的抵抗性及び耐薬品性のため、複層グレージングユニット中に組み込まれる前に被覆基材の被覆面は、必ずしもエッジ除去を行う必要はなく、複層グレージングユニットの外面上に配置して、すなわち建物又は乗り物の外部環境又は内部環境と面して接触して（Ｐ１又はＰ４）、それに十分な機械的抵抗性及び耐薬品性さえ得ることができる。したがって、薄層のスタックは、建物又は乗り物の内部に面するガラス基材の表面上に設けることができる（１つの非積層ガラスシートのＰ２、又は積層ガラス若しくは二重グレージングユニットのＰ４）。幾つかの場合では、外部（Ｐ１）に接触してコーティングスタックを配置することができる。

本発明の被覆基材は、非常に顕著な湾曲を有する及び／又は複雑な形状（二重湾曲、Ｓ字型湾曲など）を有するガラスの必要性が増加している、建築用グレージング（ドア、窓、陳列棚、絶縁ガラス（ＩＧ）窓ユニットなど）、電化製品用途（冷蔵庫のドア、オーブンのドアなど）、及び輸送用途（乗り物の窓、天窓、風防ガラス、側窓）において有用となる場合がある。

幾つかの場合では、被覆基材は強化することができる。その安全性及び強度の結果として、強化されたガラスは、窓、シャワー室のドア、建築用ガラス製ドア及びテーブル、冷蔵庫のトレイ、防弾ガラスの構成要素として、並びにさまざまな種類の皿及び調理道具などの要求の厳しい種々の用途に用いられる。

したがって、本被覆基材は、幾つかの場合では任意選択の熱処理の前後の両方で、耐久性が高く、すなわち後述のある種の化学的及び／又は機械的試験に耐えることができる。本明細書に請求される被覆基材上に取り付けられた機能性コーティングによって実現される耐久性を失うことなく、光学パラメーターを最適化することができる。

「化学的耐久性」又は「化学的耐久性の」は、本明細書において専門用語の「化学安定性」又は「耐薬品性」と同義で用いられる。

「機械的耐久性」又は「機械的耐久性の」は、本明細書において専門用語の「機械的安定性」又は「機械的抵抗性」と同義で用いられる。

本発明は、少なくとも１０％だけ、或いは少なくとも２０％だけ、或いは少なくとも４０％だけ耐摩耗性を増加させることによって耐久性を増加させるための、機能性コーティングが設けられた透明基材のトップコートの使用を提供し、ここで、トップコートは、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含むマグネトロンスパッタリングされた混合金属酸化物であり、
トップコートは、不純物を含めて合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、トップコートは０．１～１０ｎｍの厚さを有する。

本発明の別の実施形態と両立する本使用の幾つかの実施形態では、トップコート中のＳｉ、Ｔｉ、及びＺｒの上記範囲は、互いに独立して変動することができる。或いはＳｉの量は１５～６０原子％の範囲であってよい。或いはＴｉの量は１０～３５原子％の範囲であってよい。或いはＺｒの量は３０～７０原子％の範囲であってよい。したがってこれらの量は、各金属の場合で独立して変動することができ、但し、合計は、不純物を含めて１００原子％の金属である。

機械的安定性は、当業者には周知の以下の摩耗試験方法により評価した。

Ｃｌｅｖｅｌａｎｄ試験（３、７、及び１０日）、気候室試験（３、７、及び１０日）、塩水噴霧試験（２、５、及び１０日）などの化学的耐久性の別の試験を行った。以下の比較例１及び２のものなどの最上層を用いて得られた標準結果と同等であったので、これらの結果の概要は詳細には説明しない。

ＡｕｔｏｍａｔｉｃＷｅｔＲｕｂＴｅｓｔ（ＡＷＲＴ－１０、５０、１００、２５０、５００及び１０００サイクル）又は乾式ブラシ試験（２５０、５００サイクル）などの機械的耐久性の典型的な試験を行った。すべて首尾良く合格したので、結果の概要は詳細には説明せず、より過酷な摩耗条件にさらされる本明細書の摩耗試験が行われる。

機能性コーティングの放射率及び審美性を測定したが、本トップコートによる影響はなかったので、これらについても説明しない。光学的性質は依然として許容される変化の範囲内であり、トップコートを有しない機能性コーティングと比較した場合、Ｄ６５／１０°光源又はＤ６５／２°光源を用いて、デルタＴ＜２％、デルタＲ＜２％、及びデルタＥ＜５である。

摩耗試験
摩耗試験は、規格のＩＳＯ１１９９８：１９９８に記載されるように行われる乾式摩耗試験であり、９００ｇの研磨パッドを用いて少なくとも１０００サイクル行われる。本発明の場合、これらのサイクルは、液体を全く加えずに乾燥試料に対して行われる。

この試験は、熱処理（本明細書では「焼き付け」と呼ばれる）が行われた後の試料に対しても行った。実施した典型的な試験では、少なくとも２５０サイクルが考慮される。

試験結果は、基準試料の画定された等級との比較において試料を目視評価することで得られる。内部等級は、摩耗試験の場合、０～１０の範囲が設定され、許容される値は７～１０である。１つの値は、典型的には１回の実験の少なくとも３つの試料の平均である。以下の表中の比較例は、各「回」の実験の手順の内部検証として、本発明による実施例に準拠して作製した（以下の表中に設定される）。

本摩耗試験は、当技術分野において周知の典型的なＡＷＲＴ又は乾式ブラシ試験よりも過酷で摩耗性の高い条件が得られる。

薄層スタックの１つのスタックが設けられたグレージングの本実施例に用いられる透明基材は、標準的なフロートソーダ石灰であり、透明で、厚さ４ｍｍであり、コーティング堆積の前に十分に清浄にした。

熱処理条件（又は焼き付け条件）は、６７０℃の温度の対流炉の内部に試料を４～５分間入れることを含む。

以下の表中：
Ａｇは、銀を表し
ＡＺＯ２％は、２重量％酸化アルミニウムでドープされた酸化亜鉛を含むセラミックターゲットから得られる、アルミニウムでドープされた酸化亜鉛の層を表し、
ＳｉＮは、窒化ケイ素Ｓｉ_３Ｎ_４の層を表し、
ＴｉＯは、ＴｉＯ_ｎ（ｎは１．６５～１．８５である）のセラミックターゲットから得られる準化学量論の酸化チタンの層であり、
ＴＺＯは、６５重量％のＴｉＯ_２及び３５重量％のＺｒＯ_２の比率を有する（７４原子％のＴｉ及び２６原子％のＺｒが得られる）ＴｉＯ_ｘ／ＺｒＯ_２で構成されるＴｉＺｒＯ_ｘのセラミックターゲットから得られるチタンジルコニウム混合酸化物の層であり、
ＺｎＯは、亜鉛金属ターゲットから得られるドーパントを有しない酸化亜鉛の層を表し、
ＺＳＯ５は、５２重量％のＺｎ及び４８重量％のＳｎを含む金属ターゲットから得られる混合された亜鉛－スズの層を表し、
バリア層（銀層の上にあり、かつそれと接触する）としてのＺＴＡＯは、ＺｎＯが８５～９５重量％、ＴｉＯ_ｘが５～１５重量％、及びＡｌ_２Ｏ_３が１．５～３重量％の比率のＺｎＯ：ＴｉＯ_ｘ：Ａｌ_２Ｏ_３で構成されるセラミックターゲットから得られ、接触層中でＺｎ：Ｔｉ：Ａｌが８６．３：１０．４：３．３原子％の組成が得られる、亜鉛チタンアルミニウム酸化物の層であり、
シード層（銀層の下に接触する）としてはＺＴＡＯは、Ｚｎが８８．８重量％、Ｔｉが９．５重量％、及びＡｌが１．７重量％の比率の金属ターゲットから得られる、亜鉛チタンアルミニウム酸化物の層である。

特に記載がなければ、シード層の標準的な堆積方法は、酸素及びアルゴンの８０／２０混合物のガス流に基づく。十分な化学量論のＳｉ_３Ｎ_４を得るのに十分なＮ_２を有するアルゴン及びＮ_２の混合ガス流中で窒化ケイ素をスパッタリングした。

特に記載がなければ、すべての厚さで、厚さのばらつきが＜５％となることができる。

実施例１～８は、前述のＩＲ層を含む多層コーティングの第６の例に対応する。実施例９は、前述のＩＲ層を含む多層コーティングの第７の例に対応する。

実施例１～４－比較例Ｃ１～Ｃ４
以下のスタックを得た：
ガラス／ＺＳＯ５（２５．４ｎｍ）／ＺＴＡＯ（９．０ｎｍ）／Ａｇ（１８．０ｎｍ）／ＺＴＡＯ（５．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（１６．５ｎｍ）／ＳｉＮ（２０．０ｎｍ）／トップコート（５．０ｎｍ）。

実施例１～４では、請求される範囲内で表１に示される種々の量の原子％でＳｉ、Ｔｉ及びＺｒを含むトップコートを得るために、６５重量％のＴｉＯｙ及び３５重量％のＺｒＯｚセラミックターゲットと、６５～３５重量％の比率のＳｉ－ＺｒＯ_２のセラミックターゲットとの同時スパッタリングを用いて、本発明の一実施形態によるトップコートを作製した（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）。

比較例１～４では、請求される範囲の外で表１中に示されるように種々の量の原子％でトップコートがＳｉ、Ｔｉ及びＺｒを含むようにトップコートを作製した。

種々の試験結果を表１中に示す（それぞれの実施例及び比較例で複数回繰り返した試験の平均値）。結果は、機械的抵抗性に関して実施例１～４が比較例Ｃ１～Ｃ４よりも良好であり、焼き付けの前後の両方で摩耗試験で≧７の値を有することを明確に示している。

比較例１は、６５重量％のＴｉＯｙ及び３５重量％のＺｒＯｚのセラミックターゲットを用いてスパッタリングして、当技術分野において得られる典型的なＴｉＺｒＯトップコートであり（０原子％のＳｉ）であり、＜６の値を有した。

比較例２は、６５～３５重量％の比率のＳｉ－ＺｒＯ_２のセラミックターゲットを用いたＳｉＺｒＯトップコート（０原子％のＴｉ）であり、＜６の値を有した。

比較例３及び４では、２５原子％未満のＺｒ（及び比較例３の場合６５原子％を超えるＳｉ）を有するトップコートが得られ、焼き付けなしで＜８の値、焼き付け後に≦６の値を有した。

混合金属酸化物トップコート中のＳｉ、Ｔｉ、及びＺｒのそれぞれの本発明の量によって、焼き付け前後の両方で、従来実現できなかったレベルで、耐摩耗性に関するトップコートの性能を大きく改善することができる。

耐摩耗性は、すべての化学的耐久性試験の同等の性能と組み合わされ、コーティングの光学的性能に悪影響は生じない。表１中（焼き付けなしの耐摩耗性）に示されるように比較例１に対する実施例１～４の耐摩耗性の増加により、トップコートによって耐久性が改善される。

実施例５－比較例Ｃ５
以下のスタックを得た：
ガラス／ＺＳＯ５（２４．５ｎｍ）／ＺｎＯ（５．０ｎｍ）／Ａｇ（１７．０ｎｍ）／ＡＺＯ（７．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（２１．０ｎｍ）／ＳｉＮ（２２．０ｎｍ）／トップコート（４．０ｎｍ）。

実施例５では、請求される範囲内の３３．０原子％のＳｉ、１９．３原子％のＴｉ、及び４７．７原子％のＺｒを含むトップコートを得るために、１８．５重量％のＴｉＯｙ、７０．４重量％のＺｒＯｚ、及び１１重量％の金属Ｓｉ（並びにターゲット中に存在する（Ｙ_２Ｏ_３）不純物）のセラミックターゲットのスパッタリングを用いて、本発明の一実施形態によるトップコートを作製した（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）。

比較例５では、トップコートは、６５重量％のＴｉＯｙ及び３５重量％のＺｒＯｚのセラミックターゲットを用いてスパッタリングして、当技術分野において得られる典型的なＴｉＺｒＯトップコート（０原子％のＳｉ）であった。

種々の試験の結果を表２中に示す（それぞれの実施例及び比較例で複数回繰り返した試験の平均値）。結果は、実施例５のグレージングが最良の機械的抵抗性を有することを明確に示している。このトップコートは、４１．７％（８．５対６．０）だけ耐摩耗性を増加させることによって耐久性を改善し、コーティングの光学的性能に悪影響は生じていない。

実施例６－比較例Ｃ６
以下のスタックを得た：
ガラス／ＴｉＯ（１９．０ｎｍ）／ＺＴＡＯ（９．０ｎｍ）／Ａｇ（１２．０ｎｍ）／ＺＴＡＯ（５．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（１８．０ｎｍ）／ＳｉＮ（１８．０ｎｍ）／トップコート（５．０ｎｍ）

実施例６では、請求される範囲内で表３に示される原子％の量のＳｉ、Ｔｉ、及びＺｒを含むトップコートを得るために、６５重量％のＴｉＯｙ及び３５重量％のＺｒＯｚのセラミックターゲット、及び６５～３５重量％の比率のＳｉ－ＺｒＯ_２のセラミックターゲットとの同時スパッタリングを用いて、本発明の一実施形態によるトップコートを作製した（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）。

比較例６では、トップコートは、６５重量％のＴｉＯｙ及び３５重量％のＺｒＯｚのセラミックターゲットを用いてスパッタリングして、当技術分野において得られる典型的なＴｉＺｒＯトップコート（０原子％のＳｉ）であった。

種々の試験の結果を表３中に示す（それぞれの実施例及び比較例で複数回繰り返した試験の平均値）。結果は、実施例６のグレージングが最良の機械的抵抗性を有することを明確に示している。このトップコートは、８７．５％（９．０対４．８）だけ耐摩耗性を増加させることによって耐久性を改善し、コーティングの光学的性能に悪影響は生じていない。

実施例７－比較例Ｃ７
以下のスタックを得た：
ガラス／ＴｉＯ（２３．０ｎｍ）／ＺｎＯ（５．０ｎｍ）／Ａｇ（１２．０ｎｍ）／ＡＺＯ（５．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（１６．０ｎｍ）／ＳｉＮ（１８．０ｎｍ）／トップコート（４．０ｎｍ）

実施例７では、請求される範囲内で３３．０原子％のＳｉ、１９．３原子％のＴｉ、及び４７．７原子％のＺｒを含むトップコートを得るために、１８．５重量％のＴｉＯｘ、７０．４重量％のＺｒＯｘ、及び１１重量％の金属Ｓｉ（並びにターゲット中に存在する（Ｙ_２Ｏ_３）不純物）のセラミックターゲットのスパッタリングを用いて、本発明の一実施形態によるトップコートを作製した（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）。

比較例７では、トップコートは、６５重量％のＴｉＯｙ及び３５重量％のＺｒＯｚのセラミックターゲットを用いてスパッタリングして、当技術分野において得られる典型的なＴｉＺｒＯトップコート（０原子％のＳｉ）であった。

種々の試験の結果を表４中に示す（それぞれの実施例及び比較例で複数回繰り返した試験の平均値）。結果は、実施例７のグレージングが最良の機械的抵抗性を有することを明確に示している。このトップコートは、７３．６％（９．２対５．３）だけ耐摩耗性を増加させることによって耐久性を改善し、コーティングの光学的性能に悪影響は生じていない。

実施例８－比較例Ｃ８
以下のスタックを得た：
ガラス／ＺＳＯ５（１７．０ｎｍ）／ＴＺＯ（１６．６ｎｍ）／ＺｎＯ（５．０ｎｍ）／Ａｇ（１０．０ｎｍ）／ＡＺＯ（７．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（１６．０ｎｍ）／ＳｉＮ（１７．０ｎｍ）／トップコート（４．０ｎｍ）

実施例８では、請求される範囲内で３３．０原子％のＳｉ、１９．３原子％のＴｉ、及び４７．７原子％のＺｒを含むトップコートを得るために、１８．５重量％のＴｉＯｙ、７０．４重量％のＺｒＯｚ、及び１１重量％の金属Ｓｉ（並びにターゲット中の（Ｙ_２Ｏ_３）不純物）のセラミックターゲットのスパッタリングを用いて本発明の一実施形態によるトップコートを作製した（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）。

比較例８では、トップコートは、６５重量％のＴｉＯｙ及び３５重量％のＺｒＯｚのセラミックターゲットを用いてスパッタリングして、当技術分野において得られる典型的なＴｉＺｒＯトップコート（０原子％のＳｉ）であった。

種々の試験の結果を表５中に示す（それぞれの実施例及び比較例で複数回繰り返した試験の平均値）。結果は、実施例８のグレージングが最良の機械的抵抗性を有することを明確に示している。このトップコートは、２４．３％（９．２対７．４）だけ耐摩耗性を増加させることによって耐久性を改善し、コーティングの光学的性能に悪影響は生じていない。

実施例９－比較例Ｃ９
以下のスタックを得た：
ガラス／ＺＳＯ５（３６．９ｎｍ）／ＺｎＯ（５．０ｎｍ）／Ａｇ（１２．９ｎｍ）／ＡＺＯ（７．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（２１．０ｎｍ）／ＳｉＮ（３６．７ｎｍ）／ＺＳＯ５（２１．０ｎｍ）／ＺｎＯ（５．０ｎｍ）／Ａｇ（１３．８ｎｍ）／ＡＺＯ（７．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（７．７ｎｍ）／ＳｉＮ（２０．０ｎｍ）／トップコート（４ｎｍ）

実施例９では、請求される範囲内で３３．０原子％のＳｉ、１９．３原子％のＴｉ、及び４７．７原子％のＺｒを含むトップコートを得るために、１８．５重量％のＴｉＯｙ、７０．４重量％のＺｒＯｚ、及び１１重量％の金属Ｓｉ（並びにターゲット中の（Ｙ_２Ｏ_３）不純物）のセラミックターゲットのスパッタリングを用いて本発明の一実施形態によるトップコートを作製した（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）。

比較例９では、トップコートは、６５重量％のＴｉＯｙ及び３５重量％のＺｒＯｚのセラミックターゲットを用いてスパッタリングして、当技術分野において得られる典型的なＴｉＺｒＯトップコート（０原子％のＳｉ）であった。

種々の試験の結果を表６中に示す（それぞれの実施例及び比較例で複数回繰り返した試験の平均値）。結果は、実施例８のグレージングが最良の機械的抵抗性を有することを明確に示している。このトップコートは、５５．９％（９．２対５．９）だけ耐摩耗性を増加させることによって耐久性を改善し、コーティングの光学的性能に悪影響は生じていない。

実施例１０及び１１－比較例Ｃ１０
比較例Ｃ１０の場合、以下のスタックを得た：
ガラス／ＺＳＯ５（３８．５ｎｍ）／ＺｎＯ：Ａｌ（３．０ｎｍ）／Ａｇ（９．５ｎｍ）／ＡＺＯ（５．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（１６．０ｎｍ）／ＳｉＮ（２２．０ｎｍ）／ＴＺＯ（３．０ｎｍ）。ＴＺＯは、６５重量％のＴｉＯｙ及び３５重量％のＺｒＯｚのセラミックターゲットを用いてスパッタリングして当技術分野において得られる（０原子％のＳｉ）。

実施例１０の場合、以下のスタックを得た：
ガラス／ＺＳＯ５（３８．５ｎｍ）／ＺｎＯ：Ａｌ（３．０ｎｍ）／Ａｇ（９．５ｎｍ）／ＡＺＯ（５．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（１６．０ｎｍ）／ＳｉＮ（２２．０ｎｍ）／トップコート（３ｎｍ）。トップコートは、請求される範囲内で３３．０原子％のＳｉ、１９．３原子％のＴｉ、及び４７．７原子％のＺｒを含むトップコートを得るために、１８．５重量％のＴｉＯｙ、７０．４重量％のＺｒＯｚ、及び１１重量％の金属Ｓｉ（並びにターゲット中の（Ｙ_２Ｏ_３）不純物）のセラミックターゲットのスパッタリングを用いて本発明の一実施形態により作製した（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）。

実施例１１の場合、以下のスタックを得た：
ガラス／ＺＳＯ５（３８．５ｎｍ）／ＺｎＯ：Ａｌ（３．０ｎｍ）／Ａｇ（９．５ｎｍ）／ＡＺＯ（５．０ｎｍ）／ＺＳＯ５（１６．０ｎｍ）／ＳｉＮ（２２．０ｎｍ）／ＴＺＯ（３．０ｎｍ）／トップコート（３ｎｍ）

実施例１１では、ＴＺＯは、６５重量％ＴｉＯｙ及び３５重量％ＺｒＯｚのセラミックターゲットを用いてスパッタリングして当技術分野において得られ（０原子％のＳｉ）、トップコートは、請求される範囲内で３３．０原子％のＳｉ、１９．３原子％のＴｉ、及び４７．７原子％のＺｒを含むトップコートを得るために、１８．５重量％のＴｉＯｙ、７０．４重量％のＺｒＯｚ、及び１１重量％の金属Ｓｉ（並びにターゲット中の（Ｙ_２Ｏ_３）不純物）のセラミックターゲットのスパッタリングを用いて本発明の一実施形態により作製した（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）．

したがって実施例１０は、比較例Ｃ１０のＴＺＯ初期トップコートをＳｉ、Ｔｉ、Ｚｒの混合酸化物の本トップコートと交換した比較例Ｃ１０の別の変形であり、実施例１１は、初期ＴＺＯトップコートの上面上にＳｉ、Ｔｉ、Ｚｒの混合酸化物の本トップコートを設けた比較例Ｃ１０の変形である。

表７中の比色結果は、光透過率値及び色の差が依然として許容される範囲内であり、デルタＴ＜２％、デルタＲ＜２％、及びデルタＥ＜５であることを示している。

結果は、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｒの混合酸化物のトップコートの機械的抵抗性が、比較例Ｃ１０の典型的なＴＺＯトップコートよりも優れていることも示している。

Claims

２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を含み、少なくとも１つの表面に機能性コーティングが設けられた被覆基材であって、透明基材には、機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物のマグネトロンスパッタリングされたトップコートが設けられ、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有することを特徴とする被覆基材。
トップコートの混合金属酸化物が１５～６０原子％のケイ素を含む、請求項１に記載の被覆基材。
トップコートの混合金属酸化物が１０～３５原子％のチタンを含む、請求項１に記載の被覆基材。
トップコートの混合金属酸化物が２５～７０原子％のジルコニウムを含む、請求項１に記載の被覆基材。
機能性コーティングが、ソーラーコントロールコーティング、伝導性コーティング、反射防止コーティング、装飾コーティング、及び／又は低放射率コーティングである、請求項１～４のいずれか一項に記載の被覆基材。
機能性コーティングが、単層金属酸化物コーティング、多層金属酸化物コーティング、非金属酸化物コーティング、又は多層コーティングである、請求項１～５のいずれか一項に記載の被覆基材。
単層金属酸化物コーティングが、アルミニウム、ガリウム、又はハフニウムでドープされた酸化亜鉛；亜鉛及びスズの混合金属酸化物；場合によりフッ素又はアンチモンでドープされた酸化スズ；場合によりスズでドープされた酸化インジウムなどを含む、請求項６に記載の被覆基材。
多層金属酸化物コーティングが、高屈折率材料の少なくとも１つの層、及び低屈折率材料の少なくとも１つの層を含む、請求項６に記載の被覆基材。
多層コーティングが、ｎ個の赤外反射（ＩＲ）層とｎ＋１個の誘電体層との交互配列を、それぞれのＩＲ層が２つの誘電体層で囲まれるように含み、ｎ≧１である、請求項６に記載の被覆基材。
多層コーティングが、
ａ．少なくとも１つの銀層、ただし基材／ＭｅＯ／ＺｎＯ：ＡｌＳｉ／Ａｇ／ＡｌＳｉ－ＭｅＯの順序であり、ここでＭｅＯは、ＳｎＯ_２、ＴｉＯ_２、Ｉｎ_２Ｏ_３、Ｂｉ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、Ｔａ_２Ｏ_５、ＳｉＯ_２、若しくはＡｌ_２Ｏ_３、又はそれらの混合物などの金属酸化物である；
又は
ｂ．窒化ケイ素を含む第１の誘電体層と；第１のＮｉ又はＮｉＣｒを含む層と；銀を含む赤外（ＩＲ）反射層と；第２のＮｉ又はＮｉＣｒを含む層と；窒化ケイ素を含む第２の誘電体層；
又は
ｃ．第１及び第２の層に接触し、かつそれらの間に挟まれた赤外（ＩＲ）反射層、ここで前記第２の層はＮｉＣｒＯｘを含み；少なくとも、ＮｉＣｒＯｘを含む前記第２の層は、前記赤外（ＩＲ）反射層に近い前記第２の層の第１の部分が前記赤外（ＩＲ）反射層から離れている前記第２の層の第２の部分よりも酸化されないように、段階的に酸化されている；
又は
ｄ．誘電体層；誘電体層の上に位置する酸化亜鉛を含む第１の層；酸化亜鉛を含む第１の層の上に、かつそれと接触して位置する銀を含む赤外（ＩＲ）反射層；ＩＲ反射層の上に、かつそれと接触して位置するＮｉＣｒの酸化物を含む層；ＮｉＣｒの酸化物を含む層の上に、かつそれと接触して位置する酸化亜鉛を含む第２の層；酸化亜鉛を含む第２の層の上に位置する別の誘電体層；
又は
ｅ．第１の誘電体層；少なくとも第１の誘電体層の上に位置する銀を含む第１の赤外（ＩＲ）反射層；少なくとも第１のＩＲ反射層及び第１の誘電体層の上に位置する酸化亜鉛を含む第１の層；酸化亜鉛を含む第１の層の上に、かつそれと接触して位置する銀を含む第２のＩＲ反射層；第２のＩＲ反射層の上に、かつそれと接触して位置するＮｉＣｒの酸化物を含む層；ＮｉＣｒの酸化物を含む層の上に、かつそれと接触して位置する酸化亜鉛を含む第２の層；少なくとも、酸化亜鉛を含む第２の層の上に位置する別の誘電体層；
又は
ｆ．第１の誘電体層；誘電体層の上に位置する酸化亜鉛を含む第１の層；酸化亜鉛を含む第１の層の上に、かつそれと接触して位置する銀を含む赤外（ＩＲ）反射層；ＩＲ層の上に位置する酸化亜鉛を含む第２の層；酸化亜鉛を含む第２の層の上に位置する第２の誘電体層；
又は
ｇ．第１の誘電体層；銀を含む第１のＩＲ層；第２の誘電体層；第２のＩＲ層；第３の誘電体層、ここで第１、第２、及び第３の誘電体層は複数の層を含むことができる；
又は
ｈ．第１の誘電体層；銀を含む第１のＩＲ層；第２の誘電体層；第２のＩＲ層；第３の誘電体層；第３のＩＲ層；第４の誘電体層、ここで第１、第２、第３、及び第４の誘電体層は複数の層を含むことができる、
を含む請求項９に記載の被覆基材。
第１の表面の少なくとも一部の上の第１の機能性コーティング、及び第２の表面の少なくとも一部の上の第２の機能性コーティングを有し、第１又は第２の機能性コーティングの少なくとも１つには、請求項１～１０のいずれか一項に記載のトップコートが設けられる、請求項１～１０のいずれか一項に記載の被覆基材。
炭素一時保護層、ポリマー一時保護層、剥離可能な保護層などの少なくとも１つの一時保護層が、混合金属酸化物のマグネトロンスパッタリングされたトップコートの上に、かつそれと接触してさらに設けられる、請求項１～１１のいずれか一項に記載の被覆基材。
２つの互いに反対側の表面を有する透明基材を含み、少なくとも１つの表面に機能性コーティングが設けられる、熱処理された被覆基材であって、透明基材には、機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物のマグネトロンスパッタリングされたトップコートが設けられ、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有することを特徴とする被覆基材。
請求項１～１２のいずれか一項に記載の少なくとも１つの被覆基材を含む複層グレージングユニット。
被覆基材の製造方法であって、順番に：
（１）２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を提供するステップ、
（２）透明基材の第１の表面の少なくとも一部の上に機能性コーティングを堆積するステップ、
（３）機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含むトップコートをマグネトロンスパッタリング技術によって堆積するステップであって、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有するステップ、
を少なくとも含む、製造方法。
熱処理された被覆基材の製造方法であって、順番に：
（１）２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を提供するステップ、
（２）透明基材の第１の表面の少なくとも一部の上に機能性コーティングを堆積するステップ、
（３）機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含むトップコートをマグネトロンスパッタリング技術によって堆積するステップであって、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有するステップ、
（４）被覆基材の熱処理を行うステップ、
を少なくとも含む、製造方法。
両面被覆基材を製造する方法であって、順番に：
（１）２つの主要な互いに反対側にある第１及び第２の表面を有する透明基材を提供するステップ、ただし第１の表面は露出している、
（２）透明基材の第１の表面の少なくとも一部の上に第１の機能性コーティングを堆積するステップ、
（３）第１の機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含むトップコートをマグネトロンスパッタリング技術によって堆積するステップであって、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有するステップ、
（４）第２の表面が露出するように基材を裏返すステップ、
（５）透明基材の第２の表面の少なくとも一部の上に第２の機能性コーティングを堆積して、両面被覆透明基材を形成するステップ、
（６）任意選択的に、第２の機能性コーティングの上に、かつそれと接触して、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含む混合金属酸化物を含むトップコートをマグネトロンスパッタリング技術によって堆積するステップであって、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有するステップ、
（７）任意選択的に前記両面被覆透明基材の熱処理を行うステップ、
を少なくとも含む、製造方法。
マグネトロンスパッタリング技術による少なくともケイ素、チタン、及びジルコニウムを含むトップコートの堆積が、少なくとも３つのチタン、ジルコニウム、又はケイ素の元素を得るために金属又はセラミックのいずれかのターゲットを用いて行われる、請求項１５～１７のいずれか一項に記載の方法。
マグネトロンスパッタリング技術による少なくともケイ素、チタン、及びジルコニウムを含むトップコートの堆積が、チタン及びジルコニウムの酸化物と、金属形態のケイ素とを含むセラミックターゲットを用いて行われる、請求項１５～１７のいずれか一項に記載の方法。
耐摩耗性を少なくとも１０％増加させることによって耐久性を改善するための、機能性コーティングが設けられた透明基材のためのトップコートの使用であって、トップコートが、少なくともＳｉＯ_ｘ、ＴｉＯ_ｙ、及びＺｒＯ_ｚ（ここでｘ、ｙ、ｚは１．８～２．２の範囲である）を含むマグネトロンスパッタリングされた混合金属酸化物であり、
トップコートが、合計で１００原子％の金属に対して、
－１０～６５原子％のケイ素、
－８～３８原子％のチタン、
－２５～８０原子％のジルコニウム、
を含み、
トップコートが０．１～１０ｎｍの厚さを有する、使用。