JP2000207895A - フラッシュ・メモリ集積回路用トリムビット回路 - Google Patents

フラッシュ・メモリ集積回路用トリムビット回路

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JP2000207895A JP438099A JP438099A JP2000207895A JP 2000207895 A JP2000207895 A JP 2000207895A JP 438099 A JP438099 A JP 438099A JP 438099 A JP438099 A JP 438099A JP 2000207895 A JP2000207895 A JP 2000207895A
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memory
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ピーター・ホルツマン
Jr James Brennan
ジェームズ・ブレナン・ジュニア
Anthony Dunne
アンソニー・ダンヌ
Hieu Van Tran
ヒュー・ヴァン・トラン
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    • G11C29/78Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)
  • Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フラッシュ・メモリ集積回路用のトリムビッ
ト回路を提供すること。 【解決手段】 本発明は、フラッシュ・メモリ・トリム
セル行およびトリムセル差動増幅回路を含む。このトリ
ムセル差動増幅回路は、フラッシュ・メモリ・トリムセ
ルをプログラミングすることなしに、トリムビットをラ
ッチに直列にシフトインさせること、およびトリムビッ
トを直列にシフトアウトさせることができる。トリムビ
ットの最終的な設定を、高電圧バッファによってプログ
ラミングすることができる。この回路を制御するため
に、非オーバーラップ・クロック発振器および追加のロ
ジックがさらに含まれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は一般には集積回路の
分野に関し、詳細には、フラッシュ・メモリ集積回路の
生産歩留りを向上させるために使用するヒューズ回路に
関する。
【0002】
【従来の技術】製造環境に起因する粒子欠陥が、フラッ
シュ・メモリ集積回路、特に高密度メモリ・アレイを有
するフラッシュ・メモリ集積回路の障害を引き起こすこ
とがある。その結果、製品テストでの歩留りが低下し、
不良部品のコストをカバーするために満足できる最終製
品のコストがかなり増大する。生産歩留りを向上させる
ためには、冗長修復(行、列、またはブロック)として
一般に知られる手法を使用して、不良メモリ部分の使用
を回避する。正にこのような目的のために集積回路に含
まれる対応する冗長メモリ部分をその代りに使用する。
【0003】冗長回路は一般に、入力されたアドレスを
記憶された冗長アドレスと比較して一致するものがある
かどうかを調べるヒューズ回路を使用してメモリの不良
部分のアドレスを記憶する。一致するものが見つかった
場合には冗長アレイが使用可能となり、主アレイが使用
不可となる。冗長アドレスを使用可能または使用不可に
するために一般に、イネーブル・ヒューズが含まれる。
【0004】冗長アドレスの記憶に加えて、このヒュー
ズ回路を、電圧基準、精密発振器などのその他の回路の
設定の記憶に使用することもできる。製品テストでは、
生産歩留りを向上させるためにこのヒューズ回路でこれ
らの回路をトリムすることができる。一例では、ヒュー
ズ回路はトリム回路と、フラッシュ・メモリのヒューズ
はフラッシュ・メモリ・トリムセルとされる。
【0005】従来のいくつかの例では抵抗ヒューズを、
不良アドレスを記憶するためのプログラマブル部品とし
て使用する。このヒューズは、テスト・イネーブリング
回路でヒューズに高電流を流すことによって切断され
る。しかし、ヒューズをプログラミングできるのは1度
だけである。ヒューズを切断するのに必要な電流は通
常、高電流であるので、切換えスイッチは大型のもので
なければならず、したがってこれに必要なチップ領域も
大きくなる。
【0006】その他の例では、消去可能なプログラマブ
ル・リードオンリー・メモリ(「EPROM」)技術を
使用する。しかし、この例によれば、EPROMヒュー
ズもプログラミングできるのは1度だけである。さらに
EPROMは プログラミング電荷を保持するために、
プログラミング後にヒューズを覆う複雑なシールディン
グを必要とする。
【0007】その他の例では、電気的に消去可能なプロ
グラマブル・リードオンリー・メモリ(「EEPRO
M」)を、(一般に周知の)インバータ・モードで使用
する。すなわち読出しモードでセルが、PMOS、NM
OS、抵抗などのいくつかの負荷要素用の電流シンクの
働きをする。このデバイスのゲートは一般に2Vに保た
れ、ソースは接地に、ドレインは負荷要素に結合され
る。負荷要素の電圧がメモリ・セルの出力となる。
【0008】トリム・ビットを発生させる従来の方法
は、EEPROMセルをアレイから離れた領域に置くと
いうものである。読出しとプログラミングは並列に実施
される。しかし、この方法の問題点は、EEPROMセ
ルがアレイ中のセルと適正に整合(match) しないこと
である。さらに、大量のトリムビットを使用するときに
は、並列読出し/プログラミング・モードに大規模な回
路が必要となる。
【0009】従来技術のW.IpおよびG.Perle
gosの米国特許第4,617,651号、ならびに
G.SmarandoluおよびG.Perlegos
の米国特許第4,538,245号のヒューズ部品は、
1度だけプログラミング可能なヒューズであり、何回も
プログラミング可能な本発明のフラッシュ・メモリ・ヒ
ューズとは異なる。このフラッシュ・メモリ・ヒューズ
によって、冗長回路およびトリム可能回路を何度もプロ
グラミングすることが可能となり、ヒューズの駆動に高
電流が不必要になる。さらに、米国特許第4,617,
651号および米国特許第4,538,245号では、
ヒューズ部品のプログラミングが並列に実施されるが、
本発明ではロードおよびプログラミングが直列に実施さ
れる。直列ロードでは、かなりの量の空間を節約するこ
とができ、これは、大量のトリムビットを使用するとき
に顕著である。
【0010】従来技術のDavid Sowardsの
米国特許第5,148,395号では、EEPROMヒ
ューズがスタンド・アローン型であり、アレイの外側に
ある。さらに、これを動作させるのに大きな支持回路を
必要とする。
【0011】従来技術のHieu Van Tranお
よびTrevor Blythの米国特許第5,64
2,316号では、EEPROMヒューズは主アレイと
同じ列ドライバでプログラミングされる。そのため列冗
長方式をとることができない。さらに、集積回路性能の
特性づけにトリムビットを使用するため、EEPROM
ヒューズを最初にプログラミングしなければならない。
本発明では、トリムビットをラッチに直列にロードし、
そこで、トリムビットを記憶し、集積回路の特性づけに
使用することができるため、本発明にはこのことは当て
はまらない。さらにフラッシュ・メモリ・ヒューズのプ
ログラミング、消去、および読出しは別個のドライバに
よって実行される。そのため列冗長方式をとることがで
きる。フラッシュ・メモリ・ヒューズはアレイに組み込
まれ、その結果、アレイ中のフラッシュ・メモリ・セル
と整合する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、フラッシュ
・メモリ集積回路の生産歩留りを向上させるためのヒュ
ーズ回路を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明はフラッシュ・メ
モリ・トリムセル行を含むトリムビット回路である。フ
ラッシュ・メモリ・トリムセルは、フラッシュ・メモリ
・アレイのセルに整合するように、フラッシュ・メモリ
・アレイの近くにこれと整列して置かれる。フラッシュ
・メモリ・トリムセルは、フラッシュ・メモリに整合さ
せるため、障壁となるダミーのトリムセル行および列に
よって取り囲まれる。それぞれのフラッシュ・メモリ・
トリムセル対は、トリムビットを供給するトリムセル差
動増幅回路に結合される。その結果、フラッシュ・メモ
リ・トリムセルとトリムセル差動増幅回路の対はヒュー
ズとみなされる。トリムビット回路は、フラッシュ・メ
モリ・トリムセルの読出し、プログラミング、および消
去を実施するように設計される。これらの操作と、フラ
ッシュ・メモリ・アレイの読出し、プログラミング、ま
たは消去とが相互に影響し合うことはない。トリムビッ
ト回路はさらに、プログラミングおよび読出しでトリム
ビットを直列にロードおよびアンロードすることを特徴
とする。そのため、フラッシュ・メモリ・トリムセルを
プログラミングする必要なしに、直列ロードを使用して
トリムビットを制御することもできる。これによって、
集積回路の生産およびテスト段階におけるテストおよび
特性づけの時間を短縮することができる。
【0014】本発明の特徴および利点は、本発明の以下
の詳細な説明から明らかとなろう。
【0015】
【発明の実施の形態】生産歩留りを高めるためにフラッ
シュ・メモリ・デバイス中で使用されるフラッシュ・メ
モリ・トリムビット回路の装置および方法を詳細に説明
する。フラッシュ・メモリ・デバイスについては、本出
願と同時に提出され、本発明の譲受人に譲渡されたJa
mes Brennan,Jr.他の「A Recor
ding and Playback Integra
ted System forAnalog Non−
Volatile Flash Memory」という
名称の同時係属米国特許出願第09/004798号に
記載されている。本発明を、デジタル記憶システムなど
のその他の記憶システムとともに使用することもできる
ことを理解されたい。例示的なフラッシュ・メモリ・セ
ルの動作が、「SuperFlash EEPROM
Technology」というタイトルのデータシート
(SST DATA BOOK,17.1−17.7ペ
ージ,1995年5月)に記載されている。
【0016】図1、2(これらは一体で、連結される)
は、トリムビット回路100の好ましい実施形態を示す
ブロック図である。図1によれば、トリムビット回路1
00は、(2×N+2)列、(M+3)行のメモリ・セ
ルを有する主アレイ105を含む。ただしN、Mは正の
整数である。主アレイ105は、(例えば3行の)ダミ
ー行110および(例えば2列の)ダミー列115を一
般に主アレイ105の最下部に含む。ダミー行の間かつ
ダミー列の間には、メモリ・トリムセル1251〜12
Pの行がある(Pは正の整数)。隣接するトリムセル
の対(例えば1251と1252、1253と12
4、...、125P-1と125P)はそれぞれ、対応
するトリムセル差動増幅回路1301〜130Nに結合さ
れる。トリムセル差動増幅回路1301〜130Nはそれ
ぞれ、直列入力端子SERINおよび直列出力端子SE
ROUTを含む。最初のトリムセル差動増幅回路130
1 の直列入力端子SERINには端子TRIMSERI
Nが結合され、トリムセル差動増幅回路1301〜13
N-1の直列出力端子SEROUTは次のトリムセル差
動増幅回路1302〜130Nに結合される(すなわちデ
イジー・チェーン構成をとる)。
【0017】以下の論議では明確にするため、フラッシ
ュ・メモリ・トリムセル(すなわちトリムセル対)12
1、1252、およびトリムセル差動増幅回路1301
に関して述べる。しかしその記述は、対応するその他の
フラッシュ・メモリ・トリムセル対およびトリムセル差
動増幅回路(すなわちトリムセル1253、1254およ
びトリムセル差動増幅器1302、...、トリムセル
125P-1、125P およびトリムセル差動増幅器13
N)にも同じように適用できる。
【0018】本発明のトリムビット回路100は4つの
主要な動作モード、すなわち読出し、プログラム、消
去、およびシフト・モードを含む。最初の3つの動作モ
ードの信号は、TRIMLOGIC回路135(図5参
照)によって生成される。シフト動作モードの信号は、
TRIMCLK回路140(図6参照)によって生成さ
れる。TRIMVSUP回路145は、セレクト・ゲー
ト電圧TRIMSGおよび共通ソース電圧TRIMCS
をフラッシュ・メモリ・トリムセル行1251 −125
Pに与える(図7参照)。次に、図1、2のさまざまな
ブロックをより詳細に説明する。
【0019】図3に、図1、2のトリムセル差動増幅回
路130の回路図を示す。図1、2および図3によれ
ば、トリムセル差動増幅回路130は、デバイスM4お
よびM5を有する第1のラッチ205を含む。デバイス
M4およびM5はそれぞれ、デバイスM8およびM7に
よってゲートされる。フラッシュ・メモリ・トリムセル
1251および1252が、TRIMINB端子およびT
RIMIN端子をそれぞれ経由して第1のラッチ205
のデバイスM7およびM8に結合される。第1のラッチ
205は、両方向スイッチSW1に結合された出力21
0を有する。一実施形態では、両方向スイッチSW1
が、ソースおよびドレインが互いに結合されたNチャネ
ル・デバイスおよびPチャネル・デバイスを含む。信号
P1が、スイッチSW1のNチャネル・デバイスのゲー
トに、その補信号P1BがPチャネル・デバイスのゲー
トに結合される。信号P1B、P2BおよびP3Bはそ
れぞれ、信号P1、P2およびP3の補信号である。
【0020】トリムセル差動増幅回路はさらに、トリム
ビット出力TRIMXを出力する第2のラッチ215を
含む。第2のラッチ215は、スイッチSW21と、ス
イッチSW21に並列に接続されたインバータI1、I
2とが組み合わさったものである。トリムセル差動増幅
回路130はさらに、直列入力端子SERINからスイ
ッチSW3、ラッチ215およびスイッチSW22を通
って直列出力端子SEROUTに達するシフト・パスを
含む。
【0021】読出しモードでは、フラッシュ・メモリ・
トリムセル1251および1252のソースが接地に結合
され、フラッシュ・メモリ・トリムセル1251 および
1252 のゲートが選択される。信号TRIMPROG
Bがハイレベルのとき、この信号によって、トリムセル
1251および1252のドレイン電流がデバイスM5お
よびM4に流れる。トリムセル1251および1252
使用して差動電流が生成され、これが、トリムセル差動
増幅回路130に加えられ、増幅される。具体的には、
フラッシュ・メモリ・トリムセル1251および1252
のうちの一方がプログラミングされており、しきい電圧
が高く、その結果、ドレイン電流は小さい。フラッシュ
・メモリ・トリムセル1251および1252のうちの他
方は消去されており、しきい電圧が低く、そのためドレ
イン電流は大きい。例えば、TRIMINがハイレベ
ル、TRIMINBがローレベルである場合(TRIM
PROGBはハイレベルとする)、デバイスM5がオフ
状態、デバイスM4がオン状態となり、これによって出
力210およびTRIMXがハイレベルとなる。一方、
TRIMINがローレベル、TRIMINBがハイレベ
ルである場合、デバイスM5がオン状態、デバイスM4
がオフ状態となり、その結果、出力210およびTRI
MXがローレベルとなる。さらに読出しモードでは、信
号P1がハイレベルとなり、両方向スイッチSW1をオ
ン状態にし、信号P2およびP3がローレベルとなり、
スイッチSW21およびSW3をそれぞれオフ状態にす
る。トリムビットは、トリムビット出力TRIMXに供
給される。
【0022】シフト・モードでは、信号P1がローレベ
ルとなり、スイッチSW1をオフ状態にし、第1のラッ
チ205をシフト・パスから切り離す。P3を使用可能
にすることによってトリムビットが、(例えばプログラ
ミング、読出しなどのために)直列入力端子SERIN
から直列にシフトインされる。その後、P3が使用不可
に、P2が使用可能にされて、第2のラッチ215にト
リムビットが記憶され、直列出力端子SEROUTにト
リムビットが供給される。
【0023】本発明を用いて、変更しなければならない
トリムビットを、トリムセル差動増幅回路130の直列
入力端子SERIN上で直列にシフトインし、第2のラ
ッチ215に記憶する。フラッシュ・メモリ・トリムセ
ル行1251−125Pをプログラミングすることなく、
新規のトリムビットの設定を使用して、集積回路中のト
リム可能部品を特性づけたり、または欠陥のある列およ
び/または行を修正することができる。集積回路中のト
リム可能部品には、電圧基準、精密発振器などがある。
ただしこれらに限定されるわけではない。トリム可能回
路の一例が、本発明の譲受人に譲渡されたKhan他の
米国特許第5,243,239号に記載されている。
【0024】プログラミング・モードでは最初に、(例
えばトリムビットを直列にシフトインさせることによっ
て)トリムビットが第2のラッチ215に記憶され、ト
リムビット出力TRIMXに現れる。プログラミング・
モードでは信号TRIMPROGBはローレベルとな
り、トリムセル1251および1252から第1のラッチ
205が切り離される。トリムビット出力TRIMX
は、2つのフラッシュ・メモリ・トリムセル1251
よび1252のうちの一方のプログラミング電流をオン
状態に切り換えるのに使用される。プログラミング電流
はVBPROGによって設定される。プログラミングし
ていないほうのフラッシュ・メモリ・トリムセルのドレ
インは電源電圧にまで引き上げられる。例えば、トリム
ビット出力TRIMXがハイレベルである場合、デバイ
スM3がオン状態、デバイスM10がオフ状態となり
(デバイスM1およびM2はオン状態とする)、TRI
MINB端子およびトリムセル1251 のドレインをハ
イレベルに引き上げる。TRIMXがハイレベルである
と、デバイスM6がオフ状態、デバイスM9がオン状態
となり、TRIMIN端子を介してトリムセル1252
のドレインにプログラミング電流が供給される。
【0025】消去モードでは、フラッシュ・メモリ・ト
リムセル1251および1252の共通ソースが接地に結
合され、ゲートがVERASEに結合される。一実施形
態ではVERASEは15ボルトである。さらに、消去
モードまたは任意選択のパワー・ダウン・モードでは、
信号S0がハイレベルに引き上げられ、(デバイスM1
がオフ状態となり)電源電圧が回路から切り離される。
任意選択の試験モードでも信号S0はハイレベルに引き
上げられ、トリムビット出力TRIMXをゼロに設定す
る。
【0026】表1に、前述の各種モードにおけるトリム
セル差動増幅回路130の制御信号を示す。 信号 読出し プログラム 消去 シフト・ モード ・モード モード モード TRIMPROGB VCC VSS VCC VCC S0 VSS VSS VCC VSS VBPROG VSS 〜VT VSS VSS P1 VCC VSS VCC VSS P2 VSS VCC VSS clock P3 VSS VSS VSS clockb VT=エンハンスメントNチャネルMOSFETのしきい電圧 clock=クロック信号電圧 clockb=逆クロック信号電圧 VSS=内部接地電圧 VCC=内部電源電圧 表1.トリムセル差動増幅回路のモードおよび制御信号電圧
【0027】図4に、図1、2のTRIMLOGIC回
路135の回路図を示す。図4によれば、TRIMLO
GIC回路135は、図1、2のトリムセル差動増幅回
路130の制御ロジックを含む。TRIMLOGIC回
路135の入出力(「I/O」)関数は以下の式で記述
される。 TRMPROG=(/)TRIMPROGB=(/)P
RB×A8T WRITE=((/)CLEARB×A8T)+(A8
T×(/)PRB) S0=(A8T×(/)CLEARB)+(/)PDB
+(/)TESTB 上記中(/)は反転を示す。
【0028】信号A8Tは、トリムセル差動増幅回路1
30のプログラミング・モードおよび消去モードを使用
可能にする一般的な信号である。すなわち信号A8T
は、プログラミング・モードおよび消去モードではハイ
レベルに設定され、その他のモードではローレベルに設
定される。また信号PRBは、読出しモードではハイレ
ベルに設定され、プログラミング・モードではローレベ
ルに設定される。これらの信号は協力して信号TRMP
ROGを生成する。信号WRITEは、プログラミング
・モードまたは消去モードで生成される。信号S0は、
消去モードまたはテスト・モード(TESTB信号)に
あるとき、あるいは集積回路がパワー・ダウン・モード
(PDB信号)にあるときにハイレベルに設定される。
【0029】図5に、図1のTRIMCLK回路140
の回路図を示す。図5によれば、TRIMCLK回路1
40は、信号P1、P2、P3およびそれらの逆信号P
1B、P2B、P3Bを有する3つのクロック位相を供
給する。これらの3つの位相にある信号はトリムセル差
動増幅回路130で使用される。クロック位相P1は、
読出しモードまたはテスト・モードでトリムビット出力
TRIMXにトリムビットを送るのに使用される。その
他のモードでは信号P1はローレベルに設定される。ク
ロック位相P2は、図3の第2のラッチ215にトリム
ビットを記憶し、直列出力端子SEROUTにこのトリ
ムビットを供給するのに使用される。テスト・モードま
たは読出しモードでは信号P2はローレベルに設定され
る。信号P3は、シフト・モードで直列入力端子SER
INからトリムビットをシフトインさせるのに使用され
る。クロック位相と入力の関係は以下の式で記述され
る。 P1=((/)SHIFT×(/)TRIMPROG)
+PD P2=((CLK×SHIFT)+TRIMPROG)
×(/)P1 P3=(/)((CLK×SHIFT)+TRIMPR
OG)×P1
【0030】クロック位相P2およびP3は、非オーバ
ラップ・クロック発振器によって生成される。この発振
器は、トリムセル差動増幅回路130でのシフト操作に
必要である。これらの信号間の関係を図7のタイミング
図に示す。図3および図7によれば、シフト・モードで
は、SHIFT信号が時刻605にハイレベルに、CL
Kが時刻610にローレベルになると(このときTRI
MPROGはローレベル)、信号P3は時刻615にハ
イレベルとなり、直列入力端子SERIN上でトリムビ
ットをシフトインさせる。CLKが時刻620で再びハ
イレベルになると、信号P2が時刻625にハイレベル
となり、トリムビット出力TRIMXにトリムビットを
供給し、さらに、直列出力端子SEROUTにトリムビ
ットをシフトアウトさせる。CLKが時刻620でハイ
レベルになると、一方で信号P3が時刻630でローレ
ベルに戻り、第2のラッチ215および直列出力端子S
EROUTから直列入力端子SERINが切り離され
る。
【0031】図6に、図1のTRIMVSUP回路14
5の回路図を示す。図6によればTRIMVSUP回路
145は、読出しモードおよびプログラミング・モード
で、セレクト・ゲート電圧TRIMSGおよび共通ソー
ス電圧TRIMCSをフラッシュ・メモリ・トリムセル
行1251−125Pに供給する。
【0032】読出しモードでは、信号WRITEがロー
レベルに設定され、高電圧バッファHVBUFが高電圧
デバイスM3およびM4を選択する。その結果、信号V
SGがTRIMSGに送られ、TRIMCSがローレベ
ル(接地)に引き下げられる。プログラミング・モード
または消去モードでは、WRITEはハイレベルに設定
され、高電圧バッファHVBUFは高電圧デバイスM1
およびM2をオン状態にする。その結果、信号SG1が
TRIMSGに送られ、信号CS1がTRIMCSに送
られる。表2に、各種モードのTRIMVSUPの出力
電圧および制御信号電圧を示す。 信号 読出し プログラミング 消去モード シフト・ モード ・モード モード WRITE VSS VCC VCC VSS TRIMSG VSG VSG VERASE VSG TRIMCS VSS VCSPROG VSS VSS 表2.TRIMVSUPの出力電圧および制御電圧
【0033】電圧VSGはセレクト・ゲート電圧であ
り、一般に、プログラミング・モードでは2.3V、読
出しモードでは4.5Vである。VERASEは消去電
圧であり、一般に15Vである。VCSPROGは共通
ソース・プログラミング電圧であり、その値は一般に1
2Vである。
【0034】本発明の応用例が、本出願と同時に提出さ
れ、本発明の譲受人に譲渡されたHieu Van T
ranおよびJames Brennan,Jr.の
「Method and Apparatus of
Column Redundancy for Non
−volatile Analog and Mult
ilevel Memory Integrated
Circuits」という名称の同時係属米国特許出願
第09/005098号に記載されている。図8、9
は、本発明との使用に適した不揮発性メモリ用の列冗長
回路を示すブロック図である。図8、9に示すとおりメ
モリ・アレイは、主アレイ705および列冗長アレイ7
10を含む。この実施形態では列冗長アレイが、主アレ
イ705の右側に組み込まれているが、冗長列は主アレ
イ列と全く同じものなので、全体のメモリ・アレイ中の
どこに冗長アレイを配置してもよい。
【0035】図8、9に示した実施形態では主アレイ7
05が、8列から成る200個のグループに編成された
1600個の列を含み、それぞれの列は、200個の列
ドライバCOLDRV0〜COLDRV199のうちの
1つを介してそれぞれ駆動され、それぞれの列ドライバ
は、これに連結された8つの列のうちの1列を、それぞ
れの列ドライバに結合された8:1MUXを介して駆動
する。冗長アレイ710は、(8列から成る2つのグル
ープに編成された)16個の列を含む。主アレイと同様
に、冗長アレイの2つの列はそれぞれ、2つの列ドライ
バCOLDRVR0およびCOLDRVR1のうちの一
方を介して駆動され、それぞれの列ドライバは、これに
連結された8つの列のうちの1列を、それぞれの列ドラ
イバに結された8:1MUXを介して駆動する。
【0036】図8、9の好ましい実施形態は、アナログ
・サンプルの記憶/再生システムで使用される。したが
って以下の議論ではアナログ不揮発性メモリへの適用を
仮定する。好ましい実施形態のアナログ不揮発性メモリ
・セルは一般に、1/250程度またはそれ以上の分解
能でアナログ・サンプルを記憶することができる。先に
述べたアレイ・サイズの図8、9の実施形態の記憶容量
は240秒である。この記録時間に必要なセル数は、音
声サンプリング・レート8kHzの逆数で除して、24
0秒/125マイクロ秒=1.92Mセルである。各セ
ルは125マイクロ秒である。1.92M個のセルを得
るのに、本明細書ではアレイを1600列、1200行
に分割しているが、その他の分割、サンプル・レートお
よび記録時間も当然のことながら可能である。
【0037】このアレイには、外部から行アドレスだけ
でアクセスすることができる。アレイのそれぞれの行は
8走査に分割される。それぞれの走査は25ミリ秒すな
わち200セルに等しい。25ミリ秒は音声分解能であ
り、音声信号は8kHzでサンプリングされるが、1度
に200個のサンプルが200個のセルに記憶されるの
で、音声サンプルは、25ミリ秒のアナログ信号の時間
インクリメントで受け取られ、記憶され、再生される。
したがって行全体を、8回の走査でプログラミングした
り、または読み取ったりすることができる。したがって
列ドライバは200個のセルを同時に駆動する。そのた
め、列ドライバの数は前述のように200個である。2
00個の列ドライバを1600個の列に接続するのには
したがって8:1MUXが必要となる。
【0038】図8、9の実施形態の中心部分として6セ
ットのヒューズ7151〜7156があり、これらのセッ
トはそれぞれ、対応する出力TRIMBIT0〜TRI
MBIT10を有する11個のヒューズ(FUSE0〜
FUSE10)を有する。6セットのヒューズ7151
〜7156のそれぞれのヒューズ(FUSE0〜FUS
E10)は、図1のフラッシュ・メモリ・トリムセル対
(例えば1251 と1252)およびトリムセル差動増
幅回路(例えば1301)に対応する。主アレイ705
の不良な列を冗長アレイ710の列で置き換える作業は
工場製品テストの時点で実施される。まず、主アレイお
よび冗長アレイ中の不良列を識別し、不良列のアドレス
を、1セットまたは複数セットのヒューズにプログラミ
ングする。ヒューズをプログラミングした後、主アレイ
中の不良列がアドレスされるたびに、主アレイ705中
の不良列を冗長アレイ710中の正常な列で置き換え
る。
【0039】冗長列比較器REDCOLCOMPは、6
セットのヒューズ7151〜7156中にプログラミング
された列アドレスを、(内部的に生成された)現在の列
アドレスAC10..AC0と比較し、完全に一致した
ものを検出すると、列冗長制御ロジックREDCOLL
OGに信号を出力する。列冗長制御ロジックREDCO
LLOGは、NORゲートNOR1およびインバータI
NV1を制御し、トランジスタN2をオン状態に、トラ
ンジスタN1をオフ状態にすることによって通常のメモ
リ・セルの代わりに冗長メモリ・セルを活動状態にする
信号を出力する。不良な列よりもヒューズ・セットのほ
うが多い場合には、未使用のヒューズ・セットは、境界
外アドレスを有するようにプログラミングされる。境界
外アドレスとは、主アレイ705のアドレス可能な領域
(すなわち1200行)を超えるアドレスである。アド
レス線が11本の場合、2000行以上にアドレスする
ことができるので、境界外アドレスを十分に提供するこ
とができる。
【0040】行デコーダXDECは一般的な2進デコー
ダ、行カウンタROWCTRは一般的な並列ロード2進
カウンタである。行カウンタROWCTRへのアドレス
は、並列ロード信号PARLDの出現時に並列にロード
され、それぞれの行の最後の(8番目の)走査の終わり
にROWCLK信号によって次の行に増分される。XD
ECは、行アドレスA10..A0を受け取る一般的な
行デコーダであり、2進デコーディングを実施して、R
OW0〜ROW1199のうちの1行を選択する。
【0041】列MUXカウンタCMCTRは一般的な3
ビット2進カウンタであり、リセット信号RESETに
よってリセットされる。列MUXデコーダCMDEC
は、列MUXアドレス・ビットCM2..CM0を受け
取る一般的な2進デコーダであり、2進デコーディング
を実施して、それぞれの列ドライバによって制御された
8つの列のうちの1列を選択する。NANDゲートNA
ND1は、サンプル・クロックPHINとCRQ199
の論理積をとることによって列MUXクロックを供給す
る。CRQ199は、ハイレベルになったときに、カウ
ントが200に達したこと、すなわち現在の走査が終了
し、次の走査を開始しなければならないことを指示す
る。列MUXデコーダCMDECは走査デコーダであ
り、それぞれの列MUXカウンタが進んだときに、列M
UXを次の走査に進ませる。
【0042】本発明は、トリムビットをラッチに直列に
ロードし、そこでこれらを記憶し、集積回路の特性づけ
に使用することができるという利点を有する。さらに、
フラッシュ・メモリ・ヒューズのプログラミング、消
去、および読出しは別個のドライバによって実行され
る。そのため列および/または行冗長方式をとることが
できる。フラッシュ・メモリ・ヒューズはアレイ中に組
み込まれ、したがってアレイ中のフラッシュ・メモリ・
セルに整合する。
【0043】ある例示的な実施形態を添付図面に示し説
明してきたが、当業者であれば、その他のさまざまな修
正を想起しうるので、このような実施形態が、幅広い本
発明を例示するものであるにすぎず、これを限定するも
のではないこと、および本発明が、図示し記述した特定
の構造および配置に限定されるものでないことを理解さ
れたい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 トリムビット回路の好ましい実施形態を示す
ブロック図である。
【図2】 トリムビット回路の好ましい実施形態を示す
ブロック図である。
【図3】 図1、2のトリムセル差動増幅回路の回路図
である。
【図4】 図1、2のTRIMLOGIC回路の回路図
である。
【図5】 図1、2のTRIMCLK回路の回路図であ
る。
【図6】 図1、2のTRIMVSUP回路の回路図で
ある。
【図7】 さまざまな信号間の関係を示すタイミング図
である。
【図8】 本発明との使用に適した不揮発性メモリ用の
列冗長回路を示すブロック図である。
【図9】 本発明との使用に適した不揮発性メモリ用の
列冗長回路を示すブロック図である。
【符号の説明】
100 トリムビット回路 105 主アレイ 110 ダミー行 115 ダミー列 125 フラッシュ・メモリ・トリムセル 130 トリムセル差動増幅回路 135 TRIMLOGIC回路 140 TRIMCLK回路 145 TRIMVSUP回路 205 第1のラッチ 210 出力 215 第2のラッチ 705 主アレイ 710 列冗長アレイ 715 ヒューズ・セット
フロントページの続き (72)発明者 ジェームズ・ブレナン・ジュニア アメリカ合衆国・95070・カリフォルニア 州・サラトガ・ソベイ メドーズ コー ト・14123 (72)発明者 アンソニー・ダンヌ アメリカ合衆国・95014・カリフォルニア 州・カッパチーノ・ノースコーヴ スクエ ア・20273 (72)発明者 ヒュー・ヴァン・トラン アメリカ合衆国・95148・カリフォルニア 州・サン ホゼ・コルトウッド ドライ ブ・2741 Fターム(参考) 5B025 AA01 AB01 AC01 AD13 5L106 AA10 CC05 CC09 CC13 CC17 CC32 CC34 GG06 GG07

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリ・トリムセル対に分割されたメモ
    リ・トリムセル行、および前記メモリ・トリムセル対に
    それぞれが結合した複数の回路を含み、その回路がそれ
    ぞれ、対応するメモリ・トリムセル対にプログラミング
    された値に基づいて第1のパスを経由してトリムビット
    を出力し、前記回路がそれぞれ、前記対応するメモリ・
    トリムセル対を並列にプログラミングするために第2の
    パスを経由してトリムビットをロードするラッチを有す
    ることを特徴とするフラッシュ・メモリ集積回路用トリ
    ムビット回路。
  2. 【請求項2】 それぞれの回路の前記第1のパスが、 出力および前記メモリ・トリムセル対に結合した入力を
    含む第2のラッチ、および前記第2のラッチの前記出力
    に結合されたスイッチを含み、そのスイッチが、読出し
    モードで使用可能にされてトリムビットを供給し、プロ
    グラミング・モードでは使用不可にされて、前記トリム
    ビット出力から前記第1のパスを切り離すことを特徴と
    する請求項1に記載のトリムビット回路。
  3. 【請求項3】 それぞれの回路の前記第2のパスが、 入力端子、およびその入力端子と前記第1のラッチに結
    合された第2のスイッチを含み、その第2のスイッチ
    が、読出しモードでは使用不可にされて前記第1のラッ
    チから前記入力端子を切り離し、シフト・モードでは使
    用可能にされて、前記入力端子からのトリムビットを前
    記第1のラッチにロードすることを特徴とする請求項1
    に記載のトリムビット回路。
  4. 【請求項4】 複数の行および列を有するメモリ・セル
    ・アレイをさらに含み、前記メモリ・トリムセル行が前
    記メモリ・セル・アレイの一部分であることを特徴とす
    る請求項1に記載のトリムビット回路。
  5. 【請求項5】 前記メモリ・トリムセル行が前記アレイ
    の最下部にあることを特徴とする請求項1に記載のトリ
    ムビット回路。
  6. 【請求項6】 前記メモリ・セル・アレイと前記メモリ
    ・トリムセル行の間に位置し、前記メモリ・セル・アレ
    イと前記メモリ・トリムセル行の間の障壁となるダミー
    のメモリ・セル行および列をさらに含むことを特徴とす
    る請求項4に記載のトリムビット回路。
  7. 【請求項7】 入力線、ならびに 直列入力端子、直列出力端子およびトリムビット出力端
    子をそれぞれが有する複数の回路を含み、前記入力線
    が、前記複数の回路の最初の回路の前記直列入力端子に
    結合され、それぞれの回路の前記直列出力端子が次の回
    路の前記直列入力端子に結合され、前記複数の回路にト
    リムビットを直列にロードおよびアンロードすることが
    できることを特徴とするフラッシュ・メモリ集積回路用
    トリムビット回路。
  8. 【請求項8】 それぞれの回路が、 前記直列入力端子に結合された第1のスイッチ、前記第
    1のスイッチと前記トリムビット出力端子の間に結合さ
    れた第1のラッチ、ならびに前記第1のスイッチおよび
    前記直列出力端子に結合された第2のスイッチを含むこ
    とを特徴とする請求項7に記載のトリムビット回路。
  9. 【請求項9】 それぞれのスイッチが、 ゲート、ソースおよびドレインを有する第1の導電型の
    第1のデバイス、ならびにゲート、ソースおよびドレイ
    ンを有する第2の導電型の第2のデバイスを含み、 前記第1および第2のデバイスのソースおよびドレイン
    が互いに結合され、制御信号が、前記第1のデバイスの
    ゲートに結合され、前記制御信号の補信号が前記第2の
    デバイスのゲートに結合されることを特徴とする請求項
    8に記載のトリムビット回路。
  10. 【請求項10】 前記第1のラッチが、 第3のスイッチ、および前記第3のスイッチと並列に結
    合された1対のインバータを含むことを特徴とする請求
    項8に記載のトリムビット回路。
  11. 【請求項11】 メモリ・トリムセル行をさらに含み、
    メモリ・トリムセル対がそれぞれ対応する前記複数の回
    路に結合されることを特徴とする請求項8に記載のトリ
    ムビット回路。
  12. 【請求項12】 それぞれの回路がさらに、 対応するメモリ・トリムセル対に結合された差動ラッ
    チ、ならびに前記差動ラッチおよび前記トリムビット出
    力端子に結合された第3のスイッチを含み、前記第3の
    スイッチが読出しモードでは使用可能にされ、前記対応
    するメモリ・トリムセル対に基づいて前記トリムビット
    出力を供給し、その他の全てのモードでは使用不可にさ
    れ、前記トリムビット出力端子から前記差動ラッチを切
    り離すことを特徴とする請求項11に記載のトリムビッ
    ト回路。
  13. 【請求項13】 第1および第2のフラッシュ・メモリ
    ・トリムセル、およびトリムビット回路を含み、前記ト
    リムビット回路が、 前記第1および第2のフラッシュ・メモリ・トリムセル
    に結合され、前記第1および第2のフラッシュ・メモリ
    ・トリムセルのしきい電圧に応じた差動出力を供給する
    第1のラッチ、前記差動出力に結合された第1のスイッ
    チ、および前記第1のスイッチに結合され、読出しモー
    ドで、前記差動出力に基づいたトリムビット出力を供給
    する第2のラッチを含むことを特徴とするヒューズ回
    路。
  14. 【請求項14】 前記トリムビット回路が、 入力端子、 前記入力端子および前記第2のラッチに結合され、シフ
    ト・モードで使用可能にされて、前記入力端子上でトリ
    ムビットを前記第2のラッチに結合する第2のスイッ
    チ、ならびに前記第2のラッチに結合され、シフト・モ
    ードで前記トリムビットをシフトアウトする出力端子を
    含むことを特徴とする請求項13に記載のヒューズ回
    路。
  15. 【請求項15】 前記入力端子からシフトインされた前
    記トリムビットの値に応じて前記第1および第2のフラ
    ッシュ・メモリ・トリムセルのうちの1つをプログラミ
    ングする回路をさらに含むことを特徴とする請求項14
    に記載のヒューズ回路。
  16. 【請求項16】 前記第2のラッチが、 第3のスイッチ、および前記第3のスイッチと並列に結
    合された1対のインバータを含むことを特徴とする請求
    項15に記載のヒューズ回路。
  17. 【請求項17】 前記第1、第2、第3のスイッチがそ
    れぞれ、 ゲート、ソースおよびドレインを有する第1の導電型の
    第1のデバイス、ならびにゲート、ソースおよびドレイ
    ンを有する第2の導電型の第2のデバイスを含み、 前記第1および第2のデバイスのソースおよびドレイン
    が互いに結合され、制御信号が、前記第1のデバイスの
    ゲートに結合され、前記制御信号の補信号が前記第2の
    デバイスのゲートに結合されることを特徴とする請求項
    16に記載のヒューズ回路。
  18. 【請求項18】 前記第1のラッチが、ゲート、ソース
    およびドレインをそれぞれが有する第1の導電型の第1
    および第2のデバイスを含むことを特徴とする請求項1
    3に記載のヒューズ回路。
  19. 【請求項19】 前記第1および第2のフラッシュ・メ
    モリ・トリムセルがそれぞれ、ゲート、ソースおよびド
    レインを含み、前記第1のフラッシュ・メモリ・トリム
    セルのドレインが、前記第1のデバイスのドレインおよ
    び前記第2のデバイスのゲートに結合され、前記第2の
    フラッシュ・メモリ・トリムセルのドレインが、前記第
    2のデバイスのドレイン、前記第1のデバイスのゲート
    および前記差動出力に結合されることを特徴とする請求
    項18に記載のヒューズ回路。
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