JP2000206440A - 動圧軸受装置およびこれを用いた光偏向走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 動圧軸受装置の軸受間隙に充填された潤滑用
オイルの減量を防ぐ。 【解決手段】 回転多面鏡１とともに回転する回転軸３
とスリーブ２の間の軸受間隙には潤滑用オイル１１が充
填され、回転軸３の回転とともに発生する動圧によっ
て、スリーブ２と回転軸３の間を非接触に保つ。回転軸
３は、軸方向にのびる中空孔３ｄと、これを軸受間隙に
連通させる第１、第２の連通孔３ｅ，３ｆを備えてお
り、軸受間隙の潤滑用オイル１１が減少すると、中空孔
３ｄ内に密封された補給用オイル１２が自動的に連通孔
３ｅ，３ｆから補給される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザビームプリ
ンタやバーコード読取装置等の光ビームを高速走査する
ための回転多面鏡等を回転支持する動圧軸受装置および
これを用いた光偏向走査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】レーザビームプリンタやバーコード読取
装置等に用いられる光偏向走査装置は、高速回転する回
転多面鏡によってレーザビーム等の光ビームを偏向走査
する。レーザビームプリンタ等の画像形成装置において
は、回転多面鏡によって得られた走査光を回転ドラム上
の感光体に結像させて静電潜像を形成し、感光体の静電
潜像を現像装置によってトナー像に顕像化し、これを記
録紙の記録媒体に転写して定着装置へ送り、記録媒体上
のトナーを加熱定着させることで印刷（プリント）が行
なわれる。

【０００３】近年、このような光偏向走査装置ではます
ます高速化や高精細化が進み、これに対応するために、
回転多面鏡の軸受部には、低騒音で回転精度の高い非接
触型の動圧流体軸受が用いられている。特に高速回転の
ものは、動作流体として空気を用いたいわゆる空気式が
主流であるが、装置の小型薄型化や低コスト化が要求さ
れる今日では、空気の替わりにオイルを用いたオイル式
の動圧流体軸受が採用されつつある。

【０００４】図５は、一従来例による動圧軸受装置を示
すもので、これは、複数の反射面１０１ａを有する回転
多面鏡１０１と一体的に回転する軸１０２と、これを回
転自在に嵌合させたスリーブ１０３を有し、スリーブ１
０３は軸受ハウジング１０４と一体である。スリーブ１
０３の下端には、軸１０２の下端をスラスト方向に支持
する球面部１０６ａを備えたスラスト板１０６が固定さ
れ、軸１０２の上部にはフランジ１０７が固着されてい
る。回転多面鏡１０１は、押えバネ等を含む弾性押圧機
構１０８によってフランジ１０７の上面に押圧されてこ
れと一体化され、軸１０２とともに回転するように構成
されている。

【０００５】フランジ１０７の外周部には、ロータマグ
ネット１０９を保持するヨーク１０９ａが固着されてお
り、ロータマグネット１０９は、軸受ハウジング１０４
に固定されたモータ基板１０５上のステータコイル１１
０に対向するように配設されている。図示しない駆動回
路から供給される駆動電流によってステータコイル１１
０が励磁されると、ロータマグネット１０９が軸１０２
および回転多面鏡１０１とともに高速回転する。

【０００６】スリーブ１０３は、軸１０２の回転によっ
て軸１０２との間に流体膜を形成し、該流体膜の動圧に
よって軸１０２を非接触で回転支持する動圧流体軸受を
構成する。軸１０２の外周面には、軸１０２の下端から
上向きに間隔を置いて、第１の動圧発生溝１０２ａと、
第２の動圧発生溝１０２ｂが形成されている。また、ス
ラスト板１０６の上面にも、軸１０２の下端と対向する
部位に動圧スラスト軸受を構成する浅溝（図示せず）が
設けられている。

【０００７】軸１０２の回転とともに、スリーブ１０３
との間の軸受間隙に充填されたオイル等の動作流体１１
１が各動圧発生溝１０２ａ，１０２ｂの中央部に吸い込
まれ、高圧領域を発生させる。この高圧領域によって軸
１０２とスリーブ１０３がラジアル方向に非接触な状態
で支持される。このように非接触で回転するため、例え
ば金属接触を伴なう滑り軸受に比べて低騒音および高い
回転精度などのすぐれた軸受特性を得られるばかりでな
く、組立部品点数の点からも転がり軸受等に比べて小型
化・低コスト化できるという利点を有する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、光偏向走査装置の運転を続けると、軸
受間隙に充填されたオイル等の動作流体が、回転中の動
的アンバランスや高速回転時の遠心力等に起因する溢れ
出しや飛散、あるいは長期間高温環境下で使用した場合
には蒸発等の様々な原因で徐々に減少し、劣化する。オ
イル等を補給しないと、次第に潤滑性能が低下して、軸
受の回転性能が損われて、軸受の摩耗、消費電流値の上
昇等をひき起こし、最終的には、油膜切れによる軸受の
かじり等のために光偏向走査装置の光学性能が著しく劣
化し、短命化を招くという未解決の課題がある。

【０００９】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、軸受間隙に充填され
たオイル等の動作流体が、溢れ出しや飛散、あるいは蒸
発等によって減少しても、減量分を自動的に補給し、す
ぐれた軸受性能を長期間にわたって安定して維持するこ
とのできる高性能でしかも長寿命である動圧軸受装置お
よびこれを用いた光偏向走査装置を提供することを目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の動圧軸受装置は、相対的に回転自在に嵌合
する軸部材およびスリーブ部材と、前記軸部材または前
記スリーブ部材と一体的に結合された回転部材を有し、
前記軸部材と前記スリーブ部材の間の軸受間隙に動作流
体が充填されており、前記軸部材が、補給用の流体を密
封する密閉空所と該密閉空所を前記軸受間隙に連通させ
る少なくとも１個の連通孔を備えていることを特徴とす
る。

【００１１】相対的に回転自在に嵌合する軸部材および
スリーブ部材と、前記軸部材または前記スリーブ部材と
一体的に結合された回転部材を有し、前記軸部材と前記
スリーブ部材の間の軸受間隙に動作流体が充填されてお
り、前記スリーブ部材が、補給用の流体を密封する密閉
空所と該密閉空所を前記軸受間隙に連通させる少なくと
も１個の連通孔を備えていることを特徴とする動圧軸受
装置でもよい。

【００１２】軸受間隙に充填された動作流体によって連
通孔が閉鎖されているとよい。

【００１３】動圧発生用の浅溝より上方で連通孔が軸受
間隙に連通しているとよい。

【００１４】補給用の流体の水位が動作流体の水位より
上であるとよい。

【００１５】補給用の流体と動作流体が同じオイルであ
るとよい。

【００１６】補給用の流体と動作流体が粘度の異なるオ
イルであってもよい。

【００１７】

【作用】軸部材は密閉された中空孔等の密閉空所を備え
ており、ここに補給用オイル等の補給用の流体が充填さ
れる。軸部材の中空孔等を軸受間隙に連通させる連通孔
は、軸受間隙に充填された潤滑用オイル等の動作流体に
よって完全に密閉されているため、補給用の流体の液面
にかかる圧力と大気圧が釣り合い、補給用の流体の水位
が動作流体の水位より高い位置にあっても、補給用の流
体が軸受間隙に連続的に流れ出すことはない。これによ
って、補給用の流体の水位を動作流体の水位よりも高い
位置で一定に保つことができる。

【００１８】この状態で回転部材を回転起動、または停
止させるとき、動作流体に働く遠心力等によって動作流
体の飛散や溢れ出し等が起こり、また、長期間使用する
と蒸発等のために動作流体が減少して水位が下がる。す
ると、それまで連通孔を塞いでいた動作流体の水位が下
がるため、連通孔が外気中に露出することになり、補給
用の流体の液面にかかる圧力と大気圧が釣り合いを失
い、補給用の流体は自重によって軸部材の中空孔側から
軸受間隙に排出され、同時に、連通孔を通って中空孔側
に外部の空気が流入してくる。空気は補給用の流体であ
るオイル等よりも比重が軽いので、気泡となって中空孔
を上昇し、空気溜まりを形成する。

【００１９】補給用の流体が流出し続け、動作流体の水
位が上昇して連通孔が完全に塞がれて大気から遮断され
たとき、補給用の流体の液面にかかる圧力と大気圧の釣
り合いが生じ、その状態で補給用の流体の流出が自動的
に止まる。

【００２０】このように、動作流体が減少して水位が下
がっても常に補給用の流体が補給されるので、半永久的
に動作流体の水位は一定の位置、つまり動作流体が連通
孔を完全に閉鎖する位置に保たれる。すなわち、軸受間
隙には常に必要量の動作流体が満たされることとなり、
潤滑用オイル等の減少による軸受損失や軸受のかじり等
のトラブルを生じることはない。

【００２１】また、前記連通孔の下方に第２の連通孔が
設けられていれば、高粘度オイル等の表面張力の高い流
体を補給用の流体として用いた場合でも、該流体と空気
の出入りをスムーズに行なうことができる。従って、各
連通孔の径を小さくできる。すなわち、補給用の流体の
流出が下部の第２の連通孔から行なわれるため、排出さ
れた流体の分だけ軸部材の中空孔内の気圧が大気圧より
低くなり、上部の連通孔からの空気の流入を促しやす
い。

【００２２】詳しく説明すると、上部の連通孔と下部の
連通孔を通って補給用の流体がスムーズに循環できるた
め、軸部材の中空孔等から排出される補給用の流体と流
入する空気が連通孔の中でお互いにぶつかり合うことが
なく、連通孔が１個である場合と比べて、確実に補給が
できる。従って、連通孔を小径にすることができる。

【００２３】動作流体と補給用の流体は同じオイルであ
ってもよいが、長期間使用すると潤滑用オイル等の動作
流体の粘度が上昇することを考慮して、補給用の流体に
潤滑用オイル等より低粘度のオイルを使用するのが望ま
しい。

【００２４】軸部材に補給用の流体を密封する中空孔等
の密閉空所を設ける替わりに、スリーブ部材に補給用の
流体を密封する密閉空所を設けてもよい。この構成は、
軸部材の回転中も補給用の流体が回転による遠心力の影
響を受けることがないため、軸部材と一体的に回転する
回転多面鏡がバランスを維持できるという点で優れてい
る。また、スリーブ部材に補給用の流体を貯蔵する空所
を設けるため、軸部材にそれを設ける場合に比べて、補
給用の流体の貯蔵スペースを大きくとり、より多くの補
給用の流体を貯蔵することができるという利点も付加さ
れる。

【００２５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００２６】図１は第１の実施の形態による動圧軸受装
置を含む光偏向走査装置の主要部を示すもので、これ
は、多角柱形状の側面に複数の反射面１ａを有する回転
多面鏡１と、図４に示す光学箱５０と一体である軸受ハ
ウジングに支持されたスリーブ部材であるスリーブ２
と、該スリーブ２に回転自在に嵌合する軸部材である回
転軸３と、該回転軸３に固着された回転部材であるロー
タボス４と、その下面に一体的に結合されたロータフレ
ーム５ａと、前記軸受ハウジングと一体であるモータ基
板６に固定されたステータコイル７を有し、該ステータ
コイル７はロータフレーム５ａの内周面に支持されたロ
ータマグネット５とともに回転多面鏡１を回転させるモ
ータを構成する。回転多面鏡１は押え板８によってロー
タボス４に押圧され、ロータボス４とロータフレーム５
ａとロータマグネット５等を含む回転部と一体化されて
いる。

【００２７】モータ基板６上の駆動回路と制御回路を経
て供給された駆動電流によってステータコイル７が励磁
されると、ロータマグネット５が回転軸３や回転多面鏡
１とともに回転し、回転多面鏡１の反射面１ａに照射さ
れたレーザビーム等の光ビームを偏向走査する。

【００２８】スラスト板９はスリーブ２に固着され、回
転軸３の下端部３ａをスラスト方向に支持する。回転軸
３とスリーブ２およびスラスト板９の間の軸受間隙に
は、動作流体である潤滑用オイル１１が充填されてい
る。回転軸３の円筒面には、第１、第２の動圧発生用の
くさび状の浅溝３ｂ，３ｃが刻設されている。

【００２９】回転軸３が回転すると、潤滑用オイル１１
は浅溝３ｂ，３ｃの中央部に取り込まれ、潤滑用オイル
１１の圧力が高まって回転軸３をスリーブ２から離間し
て非接触で支持する。

【００３０】回転軸３は、その上端において開口する軸
方向の中空孔３ｄと、該中空孔３ｄを軸受間隙に連通さ
せる第１、第２の連通孔３ｅ，３ｆを備えており、中空
孔３ｄの開口端はキャップ１０によって塞がれている。

【００３１】中空孔３ｄとキャップ１０によって形成さ
れた密閉空所には補給用の流体である補給用オイル１２
が密封され、各連通孔３ｅ，３ｆは軸受間隙の潤滑用オ
イル１１によって閉鎖されている。

【００３２】従って、密閉空所の補給用オイル１２の液
面にかかる圧力と大気圧が釣り合い、補給用オイル１２
の水位が潤滑用オイル１１の水位より高い位置にあって
も、補給用オイル１２側から潤滑用オイル１１側に流れ
出すことはない。これによって、補給用オイル１２側の
水位を潤滑用オイル１１側の水位よりも高い位置で一定
に保つことができる。

【００３３】上方に位置する第１の連通孔３ｅは、潤滑
用オイル１１の必要量を考慮して上方の第２の動圧発生
用の浅溝３ｃより上側に設けてある。これは、各浅溝３
ｂ，３ｃが常に潤滑用オイル１１によって満たされてい
る状態を維持し、回転軸３の回転中の動圧効果を強化す
るためである。

【００３４】また、補給用オイル１２の自重分で注油を
おこなうものであるため、補給用オイル１２の水位は必
ず上方の第１の連通孔３ｅより上にある必要がある。

【００３５】潤滑用オイル１１と補給用オイル１２は同
じオイルであってもよいが、長期間使用して潤滑用オイ
ル１１の粘度が上昇することを考慮して、補給用オイル
１２に潤滑用オイル１１より低粘度のオイルを使用する
のが望ましい。

【００３６】回転軸３が回転および起動、停止を繰り返
すたびに、潤滑用オイル１１に働く遠心力等によって潤
滑用オイル１１が飛散したり、溢れ出しが起こり、さら
には、長期間使用することによる蒸発等で潤滑用オイル
１１が減少し水位が下がる。すると、上部の第１の連通
孔３ｅが露出して外気にさらされることになり、補給用
オイル１２の液面にかかる圧力と大気圧が釣り合いを失
い、それまで大気圧と均衡が保たれていた補給用オイル
１２が自重によって連通孔３ｅから外へ出ようとする。
他方、第１の連通孔３ｅからは大気圧によって、図２の
矢印Ａで示すように、空気が中空孔３ｄに進入してく
る。空気は補給用オイル１２よりも比重が軽いので、気
泡となって補給用オイル１２内を上昇し、回転軸３の上
端に空気溜まりを形成する。これと同時に、補給用オイ
ル１２は自重により下部の第２の連通孔３ｆから軸受間
隙に流れ出し、潤滑用オイル１１の水位が上昇し続け
る。このように上昇した潤滑用オイル１１の水位は、上
部の第１の連通孔３ｅを完全に密閉したとき、補給用オ
イル１２の液面にかかる圧力と大気圧が釣り合い、自動
的に止まりその状態を保持する。

【００３７】すなわち、潤滑用オイル１１が減少して液
面が下がっても、常に補給用オイル１２が新たに補給さ
れるので、半永久的に潤滑用オイル１１の水位は一定の
位置、つまり潤滑用オイル１１が上部の連通孔３ｅを完
全に密閉した位置に保たれる。その結果、回転軸３とス
リーブ２およびスラスト板９の間の軸受間隙には常に必
要量の潤滑用オイル１１が満たされており、長期間使用
しても潤滑用オイル１１の減少による軸受損失や軸受の
短命化、軸受のかじり等による回転不良等を生じるおそ
れはない。

【００３８】このように長期間すぐれた軸受性能を維持
する動圧軸受装置を回転多面鏡１の軸受部に用いること
で、高性能かつ長寿命な光偏向走査装置を実現できる。

【００３９】図３は第２の実施の形態を示す。これは、
スリーブ２２の上部に補給用の流体である補給用オイル
３２のための貯蔵スペース２２ａと、該貯蔵スペース２
２ａを軸受間隙に連通させる第１、第２の連通孔２２
ｂ，２２ｃを設けたものであり、補給用オイル３２の貯
蔵スペース２２ａをキャップ３０によって完全に密閉し
て密閉空所を構成する。回転軸３、動圧発生用の浅溝３
ｂ，３ｃ、スラスト板９等は第１の実施の形態と同様で
あるから同一符号で表わし、説明は省略する。

【００４０】上方の第１の連通孔２２ｂは上方の浅溝３
ｃより上に設けることが望ましい。また、補給用オイル
３２の水位は必ず上方の連通孔２２ｂより上である必要
がある。

【００４１】動作流体である潤滑用オイル３１と補給用
オイル３２は同じオイルであってもよいが、長期間使用
して潤滑用オイル３１の粘度が上昇することを考慮して
補給用オイル３２に潤滑用オイル３１より低粘度のオイ
ルを使用するのが望ましい。

【００４２】スリーブ２２の上部に補給用オイル３２の
ための貯蔵スペース２２ａを設け、補給用オイル３２を
充填しているので、回転軸３の回転中も補給用オイル３
２が回転による遠心力の影響を受けることがなく、回転
軸３と一体的に回転する回転多面鏡１がバランスを保つ
点ですぐれている。また、スリーブ２２に補給用オイル
３２を密封する密閉空所を設けるものであるから、回転
軸３に補給用オイルを貯蔵するスペースを設ける場合に
比べて、補給用オイル３２の貯蔵スペースを大きくと
り、より多くの補給用オイル３２を貯蔵することが可能
である。

【００４３】本実施の形態によれば、回転多面鏡のバラ
ンスを向上させ、かつ、補給用オイルの貯蔵スペースを
増大させて、より多くの補給用オイルを蓄積することが
できるという利点が付加される。

【００４４】その他の点は第１の実施の形態と同様であ
る。

【００４５】図４は光偏向走査装置全体を示すもので、
これは、レーザ光等の光ビーム（光束）を発生する光源
５１と、前記レーザ光を回転多面鏡１の反射面１ａに線
状に集光させるシリンドリカルレンズ５１ａとを有し、
前記光ビームを回転多面鏡１の回転によって偏向走査
し、結像光学系である結像レンズ系５２を経て回転ドラ
ム上の感光体５３に結像させる。結像レンズ系５２は球
面レンズ５２ａ、トーリックレンズ５２ｂ等を有し、感
光体５３に結像する点像の走査速度等を補正するいわゆ
るｆθ機能を有する。

【００４６】前記モータによって回転多面鏡１が回転す
ると、その反射面１ａは、回転多面鏡１の軸線まわりに
等速で回転する。前述のように光源５１から発生され、
シリンドリカルレンズ５１ａによって集光される光ビー
ムの光路と回転多面鏡１の反射面１ａの法線とがなす
角、すなわち該反射面１ａに対する光ビームの入射角
は、回転多面鏡１の回転とともに経時的に変化し、同様
に反射角も変化するため、感光体５３上で光ビームが集
光されてできる点像は回転ドラムの軸方向（主走査方
向）に移動（走査）する。

【００４７】結像レンズ系５２は、回転多面鏡１におい
て反射された光ビームを感光体５３上で所定のスポット
形状の点像に集光するとともに、該点像の主走査方向へ
の走査速度を等速に保つように設計されたものである。

【００４８】感光体５３に結像する点像は、回転多面鏡
１の回転による主走査と、感光体５３を有する回転ドラ
ムがその軸まわりに回転することによる副走査に伴なっ
て、静電潜像を形成する。

【００４９】感光体５３の周辺には、感光体５３の表面
を一様に帯電するための帯電装置、感光体５３の表面に
形成される静電潜像をトナー像に顕像化するための現像
装置、前記トナー像を記録紙に転写する転写装置（いず
れも不図示）等が配置されており、光源５１から発生す
る光ビームによる記録情報が記録紙等にプリントされ
る。

【００５０】検出ミラー５４は、感光体５３の表面にお
ける記録情報の書き込み開始位置に入射する光ビームの
光路よりも主走査方向上流側において光ビームを反射し
て、フォトダイオード等を有する受光素子５５の受光面
に導入する。受光素子５５はその受光面が前記光ビーム
によって照射されたときに、走査開始位置（書き出し位
置）を検出するための走査開始信号を出力する。

【００５１】光源５１は、ホストコンピュータからの情
報を処理する処理回路から与えられる信号に対応した光
ビームを発生する。光源５１に与えられる信号は、感光
体５３に書き込むべき情報に対応しており、処理回路
は、感光体５３の表面において結像する点像が作る軌跡
である一走査線に対応する情報を表す信号を一単位とし
て光源５１に与える。この情報信号は、受光素子５５か
ら与えられる走査開始信号に同期して送信される。

【００５２】なお、回転多面鏡１、結像レンズ系５２等
は光学箱５０に収容され、光源５１等は光学箱５０の側
壁に取り付けられる。光学箱５０に回転多面鏡１、結像
レンズ系５２等を組み付けたうえで、光学箱５０の上部
開口に図示しないふたを装着する。

【００５３】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。

【００５４】軸受間隙に充填された潤滑用オイル等の動
作流体の減量に起因するトラブルを回避して、すぐれた
軸受性能を長期間にわたって安定して維持する動圧軸受
装置を実現できる。このような動圧軸受装置を回転多面
鏡の軸受部等に用いることで、光偏向走査装置の高性能
化と長寿命化に大きく貢献できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態による光偏向走査装置の主要
部を示すもので、（ａ）はその模式部分断面図、（ｂ）
は（ａ）の動圧軸受装置を拡大して示す部分拡大断面図
である。

【図２】図１の装置の潤滑用オイルが減少した状態を示
す図である。

【図３】第２の実施の形態による動圧軸受装置を示す断
面図である。

【図４】光偏向走査装置全体を説明する図である。

【図５】一従来例による光偏向走査装置の主要部を示す
模式部分断面図である。

【符号の説明】

１ 回転多面鏡 ２，２２ スリーブ ３ 回転軸 ３ｂ，３ｃ 浅溝 ３ｄ 中空孔 ３ｅ，３ｆ，２２ｂ，２２ｃ 連通孔 ４ ロータボス ５ ロータマグネット ７ ステータコイル ９ スラスト板 １０，３０ キャップ １１，３１ 潤滑用オイル １２，３２ 補給用オイル ２２ａ 貯蔵スペース

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 相対的に回転自在に嵌合する軸部材およ
   びスリーブ部材と、前記軸部材または前記スリーブ部材
   と一体的に結合された回転部材を有し、前記軸部材と前
   記スリーブ部材の間の軸受間隙に動作流体が充填されて
   おり、前記軸部材が、補給用の流体を密封する密閉空所
   と該密閉空所を前記軸受間隙に連通させる少なくとも１
   個の連通孔を備えていることを特徴とする動圧軸受装
   置。
2. 【請求項２】 相対的に回転自在に嵌合する軸部材およ
   びスリーブ部材と、前記軸部材または前記スリーブ部材
   と一体的に結合された回転部材を有し、前記軸部材と前
   記スリーブ部材の間の軸受間隙に動作流体が充填されて
   おり、前記スリーブ部材が、補給用の流体を密封する密
   閉空所と該密閉空所を前記軸受間隙に連通させる少なく
   とも１個の連通孔を備えていることを特徴とする動圧軸
   受装置。
3. 【請求項３】 軸受間隙に充填された動作流体によって
   連通孔が閉鎖されていることを特徴とする請求項１また
   は２記載の動圧軸受装置。
4. 【請求項４】 軸部材およびスリーブ部材のうちの少な
   くとも一方が、動圧発生用の浅溝を備えていることを特
   徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の動圧軸受
   装置。
5. 【請求項５】 動圧発生用の浅溝より上方で連通孔が軸
   受間隙に連通していることを特徴とする請求項４記載の
   動圧軸受装置。
6. 【請求項６】 補給用の流体の水位が動作流体の水位よ
   り上であることを特徴とする請求項１ないし５いずれか
   １項記載の動圧軸受装置。
7. 【請求項７】 補給用の流体と動作流体が同じオイルで
   あることを特徴とする請求項１ないし６いずれか１項記
   載の動圧軸受装置。
8. 【請求項８】 補給用の流体と動作流体が粘度の異なる
   オイルであることを特徴とする請求項１ないし６いずれ
   か１項記載の動圧軸受装置。
9. 【請求項９】 請求項１ないし８いずれか１項記載の動
   圧軸受装置によって回転支持された回転多面鏡と、該回
   転多面鏡を回転駆動するモータと、前記回転多面鏡に向
   かって光ビームを発生させる光源を有する光偏向走査装
   置。