JP2002130282A

JP2002130282A - 動圧軸受装置、回転装置および偏向走査装置

Info

Publication number: JP2002130282A
Application number: JP2000324881A
Authority: JP
Inventors: Hideyuki Nishida; 秀之西田; Masayoshi Asami; 政義浅見; Ichiro Maekawa; 一郎前川; Mikio Nakasugi; 幹夫中杉; Nobuo Nakajima; 中島　　伸夫; Michihiro Kugioka; 通弘釘岡; Hiromasa Masuda; 博雅増田
Original assignee: Canon Inc; Canon Precision Inc
Current assignee: Canon Inc; Canon Precision Inc
Priority date: 2000-10-25
Filing date: 2000-10-25
Publication date: 2002-05-09

Abstract

(57)【要約】【課題】動圧軸受装置のオイルの漏出を防ぐ。【解決手段】動圧軸受装置の軸１とスリーブ２の間の
軸受間隙に充填されたオイル６は、軸受間隙への空気の
巻き込み等によって漏出するおそれがある。そこで、ス
リーブ２の開口端にテーパ部を設け、その表面を鏡面２
ｄとすることで、オイルに対する非濡れ面を形成し、そ
の下に濡れ面である粗面２ｅを設けることで、開口端に
這い上がる油滴６ｃを液面６ｄに落下させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザプリンタや
バーコード読取装置のスキャナ光学系等に用いられる動
圧軸受装置、回転装置および偏向走査装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】レーザプリンタやバーコード読取装置に
おいて、レーザビームによって感光体を走査するための
スキャナ光学系は、高速回転する回転多面鏡を支える軸
受部に、安定した滑らかな回転が得られる動圧軸受を用
いる。また、光ディスクや磁気ディスク等の情報記憶機
器においても、高速で回転するディスクを支える軸受
に、動圧軸受が幅広く使用されてきている。

【０００３】図５は、一従来例による偏向走査装置を示
すもので、これは、軸１０１を軸受孔内に回転自在に支
持するスリーブ１０２と、スリーブ１０２の下端に固定
されて前記軸受孔を封鎖する固定板１０３およびこれに
支持されたスラスト板１０４と、スリーブ１０２の軸受
孔の内側面と軸１０１の外側面の間や、スラスト板１０
４と軸１０１の端面の間に充填されたオイルを有し、軸
１０１の端面は摩擦抵抗の低い材料によって形成され、
スラスト板１０４とともにスラスト軸受を構成する。

【０００４】軸１０１の上部にはフランジ部材１１０が
固定され、反射面１１１ａを有する回転多面鏡１１１
は、フランジ部材１１０上に載置され、押えバネによっ
て押圧されて、フランジ部材１１０およびロータ１１２
と一体的に結合されている。

【０００５】ロータ１１２は、永久磁石１１２ａとこれ
を支持するヨーク１１２ｂを有する。スリーブ１０２に
は回路基板１１４が固定され、回路基板１１４にはステ
ータ１１３のステータコア１１３ｂが立設支持される。
ステータコア１１３ｂに巻回されたステータコイル１１
３ａは、ロータ１１２の永久磁石１１２ａに対向してお
り、両者によって、回転多面鏡１１１を回転駆動するモ
ータが構成されている。

【０００６】スリーブ１０２の軸受孔の上端部には油た
まり１０２ａが設けられ、これによって、軸受孔内のオ
イルの液面の暴れに対して冗長性を確保している。ま
た、スリーブ１０２の下端部および中央部にもそれぞれ
大径部が設けられ、これらはオイルの動圧損失を低減す
るための逃げ部１０２ｂ、１０２ｃを構成し、上端の油
たまり１０２ａと中央の逃げ部１０２ｃの間と、中央の
逃げ部１０２ｃと下端の逃げ部１０２ｂの間には、それ
ぞれヘリングボーン状の動圧発生溝１０５ａ、１０５ｂ
が形成されている。

【０００７】スラスト板１０４の上面にはスパイラル溝
が形成されており、軸１０１の上端部はスリーブ１０２
の軸受孔より上方に突出し、フランジ部材１１０による
回転多面鏡１１１の結合部を構成している。

【０００８】このように構成された動圧軸受装置におい
て、軸１０１が回転するとスリーブ１０２の軸受孔に設
けられた動圧発生溝１０５ａ、１０５ｂの作用でオイル
に動圧が発生し、軸１０１はスリーブ１０２の軸受孔に
非接触で回転する。またスラスト方向についてもスラス
ト板１０４に設けられたスパイラル溝の作用で動圧が発
生し、軸１０１が浮上した状態で支持される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、動圧軸受の動圧を発生する動作流体と
してオイル等の液体を用いると、初期組立においてスリ
ーブ１０２と軸１０１とを嵌合させる際に、軸受の内部
に空気が巻き込まれることがある。巻き込まれた空気が
逃げ部１０２ｂ、１０２ｃに大量に滞留すると、回転に
よって装置温度が上昇したり、高地などの低圧の場所に
装置を設置した時に、逃げ部１０２ｂ、１０２ｃから空
気が軸受間隙のオイル内に入り込み、その結果気泡状に
なった空気が、軸受開口部から外部に抜けるときにいっ
しょにオイルを持ち出すことがある。

【００１０】装置の起動／停止を繰り返すと、上記のよ
うに軸受開口部よりオイルが漏れ出し、そのオイルが、
フランジ部材１１０、ヨーク１１２ｂを伝って、これら
の回転に伴なう遠心力で飛散し、機器の動作不具合を起
こす。

【００１１】このため、オイルの漏出防止部を軸に付設
したり（特開平６−３１１６９６号公報参照）、漏出し
たオイルを吸収する油吸収シートを介在させる（特開平
８−７５０１１号公報参照）等の工夫がなされている
が、漏出防止効果が不充分であったり、組立が複雑化す
る等の問題が残っている。

【００１２】本発明は上記従来の技術の有する未解決の
課題に鑑みてなされたものであり、軸受間隙のオイル等
動作流体の漏出を効果的に回避できる高性能で安定性に
すぐれた動圧軸受装置、回転装置および偏向走査装置を
提供することを目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の動圧軸受装置は、相対的に回転自在に嵌合
する軸およびスリーブと、両者の間の軸受間隙で動圧を
発生する動作流体を有し、前記軸および前記スリーブの
少なくとも一方が、前記動作流体の液面と前記スリーブ
の開口端の間に、前記動作流体に対する親和性の低い非
濡れ面と前記親和性の高い濡れ面を備えていることを特
徴とする。

【００１４】非濡れ面が、軸およびスリーブの少なくと
も一方の嵌合部を局部的に鏡面化することによって形成
されているとよい。

【００１５】非濡れ面が、軸およびスリーブの少なくと
も一方の嵌合部に局部的に撥油処理を施すことによって
形成されていてもよい。

【００１６】濡れ面が、軸およびスリーブの少なくとも
一方の嵌合部を局部的に粗面化することによって形成さ
れているとよい。

【００１７】濡れ面が、軸およびスリーブの少なくとも
一方の嵌合部に局部的に親油処理を施すことによって形
成されていてもよい。

【００１８】スリーブが、その開口端に向かって先細り
であるテーパ部を有し、該テーパ部に非濡れ面が設けら
れているとよい。

【００１９】スリーブのテーパ部に隣接する部位に濡れ
面が設けられているとよい。

【００２０】本発明の回転装置は、上記の動圧軸受装置
と、該動圧軸受装置の軸またはスリーブと一体であるロ
ータを有するモータを備えていることを特徴とする。

【００２１】本発明の偏向走査装置は、上記の動圧軸受
装置と、該動圧軸受装置によって回転支持された回転多
面鏡を備えていることを特徴とする。

【００２２】

【作用】スリーブの開口部からオイル等の動作流体が漏
出するのを防ぐために、スリーブおよび軸の少なくとも
一方の嵌合部の表面を局部的に鏡面化あるいは撥油処理
またはその双方を施すことで、オイル等に対して親和性
の低い非濡れ面を形成する。

【００２３】非濡れ面によって撥かれたオイル等がスリ
ーブの内部へ落下するようにテーパ面を設けておくこと
で、軸受間隙からオイル等が漏出するのを防ぐことがで
きる。

【００２４】非濡れ面に隣接してその下方にオイル等に
対して親和性の高い粗面等の濡れ面を設ければ、非濡れ
面によって撥かれたオイル等がスリーブの内部へ落下し
やすくなり、漏出防止効果を大幅に強化できる。

【００２５】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００２６】図１は第１の実施の形態による動圧軸受装
置を用いた回転装置を示すもので、これは、後述する偏
向走査装置において光ビームを偏向走査するための反射
面１１ａを有する回転多面鏡１１を回転駆動するための
モータを有する。

【００２７】軸１はフランジ部材１０を介して永久磁石
１２ａとヨーク１２ｂからなるロータ１２および回転多
面鏡１１と一体化され、スリーブ２は、ステータコイル
１３ａおよびステータコア１３ｂからなるステータ１３
と一体的に結合されている。

【００２８】ステータコア１３ｂは多極のポールシュウ
を有し、各ポールシュウにステータコイル１３ａが巻回
されている。多極に磁化された永久磁石１２ａの回転位
置により順次通電が切り替えられ、ロータ１２とステー
タ１３との間に回転力を発生する。

【００２９】ステータコイル１３ａが巻回されたステー
タコア１３ｂは、駆動回路を構成する回路部品とともに
回路基板１４に固定され、回路基板１４は、スリーブ２
と一体化されている。このようなロータ部とステータ部
をそれぞれ個別に作成し、モータとしての総組が行なわ
れる。このとき、スリーブ２内に、オイル注油装置によ
り規定量の動圧発生用の動作流体であるオイル６が注油
され、その後に、スリーブ２内に軸１が挿入されてモー
タが完成する。

【００３０】このモータの軸受部は、前述のように、軸
１を軸受孔内に回転自在に嵌合させるスリーブ２と、ス
リーブ２の下端に固定されて前記軸受孔を封鎖する固定
板３およびこれに支持されたスラスト板４と、スリーブ
２の軸受孔の内側面と軸１の外側面の間や、スラスト板
４と軸１の端面の間に充填されたオイル６によって構成
される動圧軸受装置である。

【００３１】スリーブ２の軸受孔の上端部には油たまり
２ａが設けられ、下端部および中央部はそれぞれ大径部
による逃げ部２ｂ、２ｃとなっており、上端の油たまり
２ａと中央の逃げ部２ｃの間と、中央の逃げ部２ｃと下
端の逃げ部２ｂの間には、それぞれヘリングボーン状の
動圧発生溝５ａ、５ｂが形成されている。また、スラス
ト板４の上面にはスパイラル溝が形成されている。

【００３２】このように構成された動圧軸受装置におい
て、軸１が回転するとスリーブ２の軸受孔に設けられた
動圧発生溝５ａ、５ｂの作用でオイル６に動圧が発生
し、軸１はスリーブ２の軸受孔に非接触で回転する。ま
たスラスト方向についてもスラスト板４に設けられたス
パイラル溝の作用で動圧を発生し軸１が浮上した状態で
支持される。

【００３３】図２に示すように、スリーブ２の上端の開
口部は、軸１との間隙が、上方に向かって先細りとなる
ように形成されたテーパ部を備えており、該テーパ部の
表面は鏡面化され、オイル６に対する親和性すなわち濡
れ性の低い非濡れ面である鏡面２ｄとなっている。

【００３４】また、スリーブ２の鏡面２ｄの下端に続く
油たまり２ａの上部内壁は、鏡面２ｄとは逆に、オイル
６に対する親和性が高く濡れ易いように、所定の表面粗
さに加工（粗面化）された濡れ面である粗面２ｅとなっ
ている。これらの面の加工法については、特開平１１−
９３９４２号公報に記載されているような、ダイヤモン
ドバイトを用いた切削法等を適用できる。

【００３５】通常スリーブ２内のオイル６は、図２の
（ｂ）に示すように、軸１の外面とスリーブ２の内面に
それぞれ油膜６ａ、６ｂを形成している。前述のモータ
の組立工程において、スリーブ２に軸１を嵌挿してオイ
ル６を注入するときに軸受内に空気が巻き込まれ、気泡
となって滞留すると、装置の運転中に軸受内部が昇温し
たり、高地等の低圧の場所で使用したときに、気泡とい
っしょにオイルがスリーブ２の開口部より漏出しようと
する。このとき、軸１が静止状態にあれば、スリーブ２
のテーパ部が鏡面２ｄとなっているため、スリーブ２の
開口端に這い上がったオイルは油滴６ｃを形成し、落下
する。また、重力でテーパ部から直接落ちなかった油滴
は、テーパ部に沿って、矢印Ａに示すように、油たまり
２ａの粗面２ｅの親油性によって引き寄せられるように
落ちてきて、オイル６の液面６ｄに戻る。

【００３６】軸１が回転した場合は、軸１に付着した油
膜６ａが、遠心力で変形し、油滴６ｃとなって鏡面２ｄ
を有するテーパ部に向かって飛ばされる。テーパ部に当
たった油滴６ｃは、テーパ部の撥油性によってはじかれ
て、上記と同様に矢印Ａで示すように親油面である粗面
２ｅに引き寄せられるように落ちてくる。その結果、ス
リーブ２の開口部に付着したオイルはすべて液面６ｄに
戻ることになる。

【００３７】このようにスリーブの開口部またはこれに
対向する軸の表面を局部的に鏡面化して撥油性を持たせ
た非濡れ面を設け、これに隣接して親油性の高い粗面等
の濡れ面を設けることによって、回転装置の起動／停止
といった繰り返しの使用状態においても軸受間隙のオイ
ルが漏れ出すのを確実に防ぎ、オイルの漏出による周辺
機器の汚染や機器の動作不具合を回避できる。

【００３８】高価な油吸収シートを使用する必要もな
く、極めて簡単かつ低コストでオイル漏れを防ぐことが
できるため、回転装置や偏向走査装置の高性能化と低価
格化に貢献できる。

【００３９】図３は第２の実施の形態を示すもので、ス
リーブ２２の開口部に上方に向かって先細りのテーパ部
が設けられ、このテーパ部とそれに続く油たまり２２ａ
の内壁の折り返し部が、動作流体であるオイル２６に濡
れにくいように鏡面化され、さらに撥油性を高めるため
に、シリコン系の撥油剤で撥油処理した非濡れ面である
撥油面２２ｄとなっている。スリーブ２２の油たまり２
２ａの内壁の中央部は、オイル２６に濡れ易いように親
油剤で表面処理した濡れ面である親油面２２ｅである。

【００４０】また、スリーブ２２の油たまり２２ａの内
壁の下部は、オイル２６に対する撥油性を与えるために
シリコン系の撥油剤で表面処理した撥油面２２ｆであ
る。

【００４１】加えて軸２１の表面にも、スリーブ２２の
テーパ部に対向する部位に、シリコン系の撥油剤で表面
処理した非濡れ面である撥油面２１ａが設けられてい
る。また、必要であれば、軸２１の撥油面２１ａの下方
に、前述と同様の親油面を設けてもよい。

【００４２】図３の（ｂ）に示すように、スリーブ２２
内のオイル２６は、スリーブ２２の油たまり２２ａの内
壁と軸２１の表面にそれぞれ油膜２６ａ、２６ｂを形成
している。すなわち、軸２１の表面では、オイルが濡れ
広がっているが、撥油剤を塗布した撥油面２１ａの境界
で、油膜２６ａが切れており、同様に、スリーブ２２の
油たまり２２ａの内壁の中央部の親油面２２ｅの油膜２
６ｂも撥油面２２ｆとの境界で途切れるために、スリー
ブ２２の油たまり２２ａ内で、内径円周上に油の帯が形
成される。

【００４３】オイルがスリーブ２２の開口部より漏出し
ようとするとき、軸２１が静止状態にあれば、スリーブ
２２のテーパ部と、軸２１上の撥油面２１ａとの間で、
両面によって油滴２６ｃが撥かれるため、重力によって
油たまり２２ａの液面２６ｄへ落下する。

【００４４】一方重力でスリーブ２２のテーパ部から直
接落ちなかった油滴は、テーパ部に沿って、親油面２２
ｅに引き寄せられるように落ちてきて、ここに集められ
る。集められた油滴は表面張力で成長していくが、やが
て表面張力で自重を支え切れなくなり、液面２６ｄに戻
る。

【００４５】また、軸２１が回転中は、スリーブ２２の
開口部においては軸２１にオイルが付着する心配がな
い。撥油処理を施していない部分で軸２１に付着したオ
イルは、オイルの粘性で液面２６ｄに戻されるか、ある
いは遠心力で飛ばされても、油たまり２２ａ内で捕捉さ
れ、開口部から漏れ出すことはない。

【００４６】このようにして、回転装置の起動／停止と
いった繰り返しの使用状態において、スリーブの開口部
より油が漏れ出すことを防止することができる。本実施
の形態によれば、軸側にも撥油処理が施されているた
め、オイルが持つ添加剤として濡れ性を良くした油を使
用した場合に起こり易い、軸を這い上がるオイルに対し
ても濡れを防止することができる。その他の点は、第１
の実施の形態と同様である。

【００４７】図４は偏向走査装置の主要部を示すもの
で、これは、レーザ光等の光ビーム（光束）を発生する
光源５１と、前記光ビームを回転多面鏡１１の反射面１
１ａに線状に集光させるシリンドリカルレンズ５１ａと
を有し、前記光ビームを回転多面鏡１１の回転によって
偏向走査し、結像光学系である結像レンズ系５２を経て
回転ドラム上の感光体５３に結像させる。結像レンズ系
５２は球面レンズ５２ａ、トーリックレンズ５２ｂ等を
有し、感光体５３に結像する点像の走査速度等を補正す
るいわゆるｆθ機能を有する。

【００４８】前記モータによって回転多面鏡１１が回転
すると、その反射面１１ａは、回転多面鏡１１の軸線ま
わりに等速で回転する。前述のように光源５１から発生
され、シリンドリカルレンズ５１ａによって集光される
光ビームの光路と回転多面鏡１１の反射面１１ａの法線
とがなす角、すなわち該反射面１１ａに対する光ビーム
の入射角は、回転多面鏡１１の回転とともに経時的に変
化し、同様に反射角も変化するため、感光体５３上で光
ビームが集光されてできる点像は回転ドラムの軸方向
（主走査方向）に移動（走査）する。

【００４９】結像レンズ系５２は、回転多面鏡１１にお
いて反射された光ビームを感光体５３上で所定のスポッ
ト形状の点像に集光するとともに、該点像の主走査方向
への走査速度を等速に保つように設計されたものであ
る。

【００５０】感光体５３に結像する点像は、回転多面鏡
１１の回転による主走査と、感光体５３を有する回転ド
ラムがその軸まわりに回転することによる副走査に伴な
って、静電潜像を形成する。

【００５１】感光体５３の周辺には、感光体５３の表面
を一様に帯電するための帯電装置、感光体５３の表面に
形成される静電潜像をトナー像に顕像化するための現像
装置、前記トナー像を記録紙に転写する転写装置（いず
れも不図示）等が配置されており、光源５１から発生す
る光ビームによる記録情報が記録紙等にプリントされ
る。

【００５２】検出ミラー５４は、感光体５３の表面にお
ける記録情報の書き込み開始位置に入射する光ビームの
光路よりも主走査方向上流側において光ビームを反射し
て、フォトダイオード等を有する受光素子５５の受光面
に導入する。受光素子５５はその受光面が前記光ビーム
によって照射されたときに、走査開始位置（書き出し位
置）を検出するための走査開始信号を出力する。

【００５３】光源５１は、ホストコンピュータからの情
報を処理する処理回路から与えられる信号に対応した光
ビームを発生する。光源５１に与えられる信号は、感光
体５３に書き込むべき情報に対応しており、処理回路
は、感光体５３の表面において結像する点像が作る軌跡
である一走査線に対応する情報を表す信号を一単位とし
て光源５１に与える。この情報信号は、受光素子５５か
ら与えられる走査開始信号に同期して送信される。

【００５４】なお、回転多面鏡１１、結像レンズ系５２
等は光学箱５０に収容され、光源５１等は光学箱５０の
側壁に取り付けられる。光学箱５０に回転多面鏡１１、
結像レンズ系５２等を組み付けたうえで、光学箱５０の
上部開口に図示しないふたを装着する。

【００５５】

【発明の効果】本発明は上述のとおり構成されているの
で、次に記載するような効果を奏する。

【００５６】軸受間隙からのオイル等動作流体の漏出を
極めて効果的に回避し、オイル等の漏出による回路基板
等の汚染を防ぐ。また、回転多面鏡を回転駆動する回転
装置や偏向走査装置等に用いた場合の光学系の汚染防止
に役立つとともに、漏出オイルが周辺機器の動作を阻害
するのを防ぐことができる。

【００５７】これによって、長期間高い軸受性能を維持
できる安定性にすぐれた動圧軸受装置を実現できる。

【００５８】このような動圧軸受装置を用いることで、
回転多面鏡を回転駆動する回転装置や偏向走査装置の高
性能化と耐久性の向上に貢献できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施の形態を示す模式断面図である。

【図２】図１の装置の軸とスリーブの一部を拡大して示
すもので、（ａ）はその拡大部分断面図、（ｂ）は油滴
が落下する様子を示す図である。

【図３】図２の実施の形態による軸とスリーブの一部を
拡大して示すもので、（ａ）はその拡大部分断面図、
（ｂ）は油滴が落下する様子を示す図である。

【図４】偏向走査装置全体を説明する図である。

【図５】一従来例を示す模式断面図である。

【符号の説明】

１、２１軸２、２２スリーブ２ａ、２２ａ油たまり２ｂ、２ｃ逃げ部２ｄ鏡面２ｅ粗面４スラスト板６、２６オイル１０フランジ部材１１回転多面鏡１１ａ反射面１２ロータ１３ステータ１４回路基板２１ａ、２２ｄ、２２ｆ撥油面２２ｅ親油面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者浅見政義東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者前川一郎東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者中杉幹夫東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者中島伸夫東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者釘岡通弘東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者増田博雅東京都目黒区中根２丁目４番19号キヤノン精機株式会社内Ｆターム(参考） 3J011 AA07 BA04 CA02 JA02 KA02 KA03 MA07 MA23 QA11 RA03 5H607 AA12 BB01 BB09 BB14 BB17 BB25 CC05 DD03 GG09 GG12 GG15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】相対的に回転自在に嵌合する軸およびス
リーブと、両者の間の軸受間隙で動圧を発生する動作流
体を有し、前記軸および前記スリーブの少なくとも一方
が、前記動作流体の液面と前記スリーブの開口端の間
に、前記動作流体に対する親和性の低い非濡れ面と前記
親和性の高い濡れ面を備えていることを特徴とする動圧
軸受装置。
【請求項２】非濡れ面が、軸およびスリーブの少なく
とも一方の嵌合部を局部的に鏡面化することによって形
成されていることを特徴とする請求項１記載の動圧軸受
装置。
【請求項３】非濡れ面が、軸およびスリーブの少なく
とも一方の嵌合部に局部的に撥油処理を施すことによっ
て形成されていることを特徴とする請求項１または２記
載の動圧軸受装置。
【請求項４】濡れ面が、軸およびスリーブの少なくと
も一方の嵌合部を局部的に粗面化することによって形成
されていることを特徴とする請求項１ないし３いずれか
１項記載の動圧軸受装置。
【請求項５】濡れ面が、軸およびスリーブの少なくと
も一方の嵌合部に局部的に親油処理を施すことによって
形成されていることを特徴とする請求項１ないし４いず
れか１項記載の動圧軸受装置。
【請求項６】スリーブが、その開口端に向かって先細
りであるテーパ部を有し、該テーパ部に非濡れ面が設け
られていることを特徴とする請求項１ないし５いずれか
１項記載の動圧軸受装置。
【請求項７】スリーブのテーパ部に隣接する部位に濡
れ面が設けられていることを特徴とする請求項６記載の
動圧軸受装置。
【請求項８】請求項１ないし７いずれか１項記載の動
圧軸受装置と、該動圧軸受装置の軸またはスリーブと一
体であるロータを有するモータを備えていることを特徴
とする回転装置。
【請求項９】請求項８記載の回転装置と、該回転装置
によって回転駆動される回転多面鏡を備えていることを
特徴とする偏向走査装置。
【請求項１０】請求項１ないし７いずれか１項記載の
動圧軸受装置と、該動圧軸受装置によって回転支持され
た回転多面鏡を備えていることを特徴とする偏向走査装
置。