JP2000200854A - 半導体構造及び電子部品実装方法 - Google Patents

半導体構造及び電子部品実装方法

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JP2000200854A JP11000755A JP75599A JP2000200854A JP 2000200854 A JP2000200854 A JP 2000200854A JP 11000755 A JP11000755 A JP 11000755A JP 75599 A JP75599 A JP 75599A JP 2000200854 A JP2000200854 A JP 2000200854A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、プリント配線板とCSPとのはん
だ接続信頼性が向上でき、はんだバンプにダメージを与
えることなく搬送用トレイに収納できる半導体構造及び
電子部品実装方法を提供することを課題とする。 【解決手段】 バンプを有するその他のパッドよりも広
い面積のパッドが部品コーナー部に形成されかつはんだ
バンプ16を有しないバンプなしパッドを有する半導体
構造及び電子部品実装方法、また、予めプリント配線板
12にはんだボール18を配置しておき、リフローソル
ダリング後にはんだ接続強度を補強する補強バンプ24
を他のバンプよりも広い接続面積で形成し、部品とプリ
ント配線板12との接続信頼性を向上させる電子部品実
装方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の実装技
術に関し、特にボールグリッドアレイやチップサイズパ
ッケージ、あるいはチップスケールパッケージと呼ばれ
るようなフェースダウンボンディング部品(以下CSP
(Chip Scale Package))に用いる
半導体構造及び電子部品実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ボールグリッドアレイやチップサ
イズパッケージ、あるいはチップスケールパッケージと
呼ばれるようなフェースダウンボンディング部品(以下
CSP)のはんだ接続信頼性の向上手段として、CSP
部品コーナー部に補強用のバンプを設ける従来技術が、
例えば、特開平10−92965号公報(第1従来技
術)や特開平10−56093号公報(第2従来技術)
等より報告されている。しかしながら、第1、第2従来
技術では、部品コーナー部はプリント配線板からの応力
が集中する箇所であるため、装置落下衝撃等の大きな応
力が加わった場合、接続面積の広い補強用バンプでない
とそのはんだ接続部は容易に破壊してしまう。このた
め、携帯電子機器のような装置落下場面が予想される機
器においては、仮に部品コーナー部にバンプを有してい
たとしても、樹脂等でプリント配線板と接着する、ある
いはプリント配線板が撓まないような強固な装置構造に
することにより、接続部の破壊を回避している。しか
し、樹脂等の接着補強の場合、その接着工程が必要とな
ってしまう他、接着後の修理が不可能であり好ましくな
く、また強固な装置構造による回避手法は、小型・軽量
化が必須である携帯電子機器においては筐体も薄型・軽
量化が必要となるため限界があり、優れた手法とは言え
ない。また、上述の回避手段として、部品コーナー部
に、他の電極よりも径の大きなボール、あるいは突起を
付ける従来技術が、特開平9−162241号公報(第
3従来技術)や特開平9−307022号公報(第4従
来技術)より報告されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第3、
第4従来技術では、実際の自動搭載場面を考えると、図
5に示すように電極のコプラナリティが異なるため、補
強用バンプ100はプリント配線板110と接続されて
もその他の電極バンプ130は未はんだとなる可能性が
非常に高く、実用化は困難であるという問題点があっ
た。このため、CSP120のはんだボールがないタイ
プの部品であるランドグリッドアレイ部品では補強用パ
ッドが実用化されているが、CSP120では実用化の
例がない。さらに、上述のCSP120が図3に示すよ
うなフルマトリクス電極配置、あるいはそれに近い電極
配置で、しかも部品外形端まで配置されているような構
造の場合、一般のCSP120用の搬送用トレイでは、
はんだボールに非接触でCSP120をCSP120用
の搬送用トレイに収納することができないため、部品コ
ーナー部に補強用バンプ100を配置することは困難で
あり、また、仮に専用トレイを製作するとしても納期を
要し費用が高いという問題点があった。
【0004】本発明は斯かる問題点を鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、プリント配線板と
CSPとのはんだ接続信頼性が向上でき、はんだバンプ
にダメージを与えることなく搬送用トレイに収納できる
半導体構造及び電子部品実装方法を提供する点にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に記載
の要旨は、ボールグリッドアレイやチップサイズパッケ
ージ、あるいはチップスケールパッケージと呼ばれるよ
うなフェースダウンボンディング部品に用いられ、プリ
ント配線板と前記フェースダウンボンディング部品との
はんだ接続信頼性が向上でき、はんだバンプにダメージ
を与えることなく搬送用トレイに収納できる半導体構造
であって、その他のバンプに比べ広い接続面積を有し、
プリント配線板との接続強度を補強する補強バンプを備
えることを特徴とする半導体構造に存する。また本発明
の請求項2に記載の要旨は、ボールグリッドアレイやチ
ップサイズパッケージ、あるいはチップスケールパッケ
ージと呼ばれるようなフェースダウンボンディング部品
に用いられ、プリント配線板と前記フェースダウンボン
ディング部品とのはんだ接続信頼性が向上でき、はんだ
バンプにダメージを与えることなく搬送用トレイに収納
できる半導体構造であって、予めプリント配線板に配置
されたはんだボールと、リフローソルダリング後に他の
バンプよりも広い接続面積で形成された、はんだ接続強
度を補強する補強バンプとを有することを特徴とする半
導体構造に存する。また本発明の請求項3に記載の要旨
は、ボールグリッドアレイやチップサイズパッケージ、
あるいはチップスケールパッケージと呼ばれるようなフ
ェースダウンボンディング部品に用いられ、プリント配
線板と前記フェースダウンボンディング部品とのはんだ
接続信頼性が向上でき、はんだバンプにダメージを与え
ることなく搬送用トレイに収納できる半導体構造であっ
て、前記フェースダウンボンディング部品の部品コーナ
ー部に形成されはんだバンプを有しないパッドであるバ
ンプなしパッドの面積が、バンプを有するその他のパッ
ドよりも広い面積を有するように構成されていることを
特徴とする半導体構造に存する。また本発明の請求項4
に記載の要旨は、前記プリント配線板上にはんだペース
トを印刷後、補強用のはんだボールを自動搭載し、前記
バンプなしパッドを複数個有する前記フェースダウンボ
ンディング部品を自動搭載し、リフローソルダリングを
行うことにより構成されていることを特徴とする請求項
1乃至3のいずれか一項に記載の半導体構造に存する。
また本発明の請求項5に記載の要旨は、ボールグリッド
アレイやチップサイズパッケージ、あるいはチップスケ
ールパッケージと呼ばれるようなフェースダウンボンデ
ィング部品に用いられ、プリント配線板と前記フェース
ダウンボンディング部品とのはんだ接続信頼性が向上で
き、はんだバンプにダメージを与えることなく搬送用ト
レイに収納できる半導体構造を用いた電子部品実装方法
であって、その他のバンプに比べ広い接続面積を有し、
プリント配線板との接続強度を補強する補強バンプを前
記フェースダウンボンディング部品上に形成することを
特徴とする電子部品実装方法に存する。また本発明の請
求項6に記載の要旨は、ボールグリッドアレイやチップ
サイズパッケージ、あるいはチップスケールパッケージ
と呼ばれるようなフェースダウンボンディング部品に用
いられ、プリント配線板と前記フェースダウンボンディ
ング部品とのはんだ接続信頼性が向上でき、はんだバン
プにダメージを与えることなく搬送用トレイに収納でき
る半導体構造を用いた電子部品実装方法であって、予め
プリント配線板にはんだボールを配置する工程と、リフ
ローソルダリング後にはんだ接続強度を補強する補強バ
ンプを、他のバンプよりも広い接続面積で形成する工程
とを有することを特徴とする電子部品実装方法に存す
る。また本発明の請求項7に記載の要旨は、ボールグリ
ッドアレイやチップサイズパッケージ、あるいはチップ
スケールパッケージと呼ばれるようなフェースダウンボ
ンディング部品に用いられ、プリント配線板と前記フェ
ースダウンボンディング部品とのはんだ接続信頼性が向
上でき、はんだバンプにダメージを与えることなく搬送
用トレイに収納できる半導体構造を用いた電子部品実装
方法であって、バンプを有するその他のパッドよりも広
い面積を有し、かつはんだバンプを有しないパッドであ
るバンプなしパッドを、前記フェースダウンボンディン
グ部品の部品コーナー部に形成する工程を有することを
特徴とする電子部品実装方法に存する。また本発明の請
求項8に記載の要旨は、前記プリント配線板上にはんだ
ペーストを印刷後、補強用のはんだボールを自動搭載
し、前記バンプなしパッドを複数個有する前記フェース
ダウンボンディング部品を自動搭載し、リフローソルダ
リングを行うことを特徴とする請求項5乃至7のいずれ
か一項に記載の電子部品実装方法に存する。また本発明
の請求項9に記載の要旨は、前記プリント配線板に前記
はんだペーストを印刷する工程と、はんだボールを自動
搭載する工程と、前記はんだバンプの付いていない前記
バンプなしパッドを有する前記フェースダウンボンディ
ング部品を自動搭載してリフローソルダリングを行う工
程と、前記プリント配線板と前記フェースダウンボンデ
ィング部品とのはんだ接続強度を補強する前記補強バン
プを、その他バンプよりも広い接続面積で形成する工程
とを有することを特徴とする請求項7に記載の電子部品
実装方法に存する。
【0006】
【発明の実施の形態】以下に示す各実施形態は、ボール
グリッドアレイやチップサイズパッケージ、あるいはチ
ップスケールパッケージと呼ばれるようなフェースダウ
ンボンディング部品(以下CSP)に用いる半導体構造
及び電子部品実装方法において、バンプを有するその他
のパッドよりも広い面積のパッドが部品コーナー部に形
成され、かつはんだバンプを有しない点に特徴を有す
る。また、予めプリント配線板にはんだボールを配置し
ておく半導体構造及び電子部品実装方法により、リフロ
ーソルダリング後にはんだ接続強度を補強する補強バン
プを他のバンプよりも広い接続面積で形成し、部品とプ
リント配線板との接続信頼性を向上させる点に特徴を有
している。以下、本発明の各種実施形態を図面に基づい
て詳細に説明する。
【0007】(第1実施形態)図1は本発明にかかる半
導体構造の第1実施形態を説明するための図である。プ
リント配線板12上にはんだペースト14を印刷後、補
強用はんだボール18を自動搭載し、はんだバンプ16
を有さず、かつはんだバンプ16を有するその他のパッ
ドよりも広い面積のバンプなしパッド22を複数個有す
るCSP20を自動搭載し、リフローソルダリングを行
うことにより構成される点に特徴を有している。これに
より、プリント配線板12とCSP20とのはんだ接続
強度を補強する補強バンプ24を、他のバンプに比べ広
い接続面積で形成することを可能とすることができる。
このとき、搭載される補強用はんだボール18は、CS
P20のはんだバンプ16の高さと近いほど良い。
【0008】図2は図1の半導体構造を作成する本発明
にかかる電子部品実装方法を説明するための工程フロー
図である。図2(a)に示すようにプリント配線板12
にはんだペースト14を印刷する工程を実行後、図2
(b)に示すようにバルクフィーダー等により補強用は
んだボール18を自動搭載する工程を実行する。その
後、図2(c)に示すように、はんだバンプ16の付い
ていないバンプなしパッド22を複数個有するCSP2
0を自動搭載し、リフローソルダリングを行うことによ
り、プリント配線板12とCSP20とのはんだ接続強
度を補強する補強バンプ24を、その他バンプよりも広
い接続面積で形成することを可能とする(図2(d)参
照)。
【0009】以上説明したように、第1実施形態によれ
ば、CSP20において、プリント配線板12との接続
強度を補強する補強バンプ24を、その他のバンプに比
べ広い接続面積で形成することにより、プリント配線板
12とCSP20とのはんだ接続信頼性を向上させるこ
とができる。これにより、樹脂等による補強工程や、筐
体等による補強機構が省略可能となるといった効果を奏
する。
【0010】図4はフルマトリクス状、あるいはそれに
近い状態で、かつ部品外形端まではんだバンプが配置さ
れたCSPの上面図である。図4に示すようなフルマト
リクス状、あるいはそれに近い状態で、かつ部品外形端
まではんだバンプ16が配置されたCSP20におい
て、その部品コーナー部にはんだバンプ16を設けない
で済むようになる。これにより、はんだバンプ16にダ
メージを与えることなく搬送用トレイに収納することが
可能となり、はんだバンプ16の損傷による自動搭載機
の誤認識を防ぐことができ、またそれを恐れて部品コー
ナー部の電極を削減する必要もなくなるといった効果を
奏する。
【0011】(第2実施形態)図3は本発明にかかる半
導体構造及び電子部品実装方法の第2実施形態を説明す
るための図である。自動搭載後にリフローソルダリング
され、さらにロボットや人手等によりはんだ量の補給が
必要な大型部品30あるいは大型部品電極32、または
接着剤等により接続補強が必要な部品において、そのは
んだ接続部にリフローソルダリング前にはんだ量補給用
ボール34,…,34を自動搭載することにより、はん
だ量補給工程を省略することが可能となる。
【0012】(第3実施形態)前述の補強用はんだボー
ル18を、ボール形状でなくその他の形状にし、自動搭
載後リフローソルダリングすることでも、第1及び第2
実施形態と同様の効果が得られる。
【0013】なお、本発明が上記各実施形態に限定され
ず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態は
適宜変更され得ることは明らかである。また上記構成部
材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、
本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等にするこ
とができる。また、各図において、同一構成要素には同
一符号を付している。
【0014】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、以下に掲げる効果を奏する。第1の効果は、CSP
において、プリント配線板との接続強度を補強する補強
バンプを、その他のバンプに比べ広い接続面積で形成す
ることにより、プリント配線板とCSPとのはんだ接続
信頼性を向上させる点である。これにより、樹脂等によ
る補強工程や、筐体等による補強機構が省略可能とな
る。第2の効果は、図4に示すようなフルマトリクス
状、あるいはそれに近い状態で、かつ部品外形端までは
んだバンプが配置されたCSPにおいて、そのコーナー
部にはんだバンプを有さない点である。これにより、は
んだバンプにダメージを与えることなく搬送用トレイに
収納することが可能となり、はんだバンプの損傷による
自動搭載機の誤認識を防ぐことができ、またそれを恐れ
てコーナー部の電極を削減する必要もなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる半導体構造及び電子部品実装方
法の第1実施形態を説明するための図である。
【図2】図1の半導体構造を作成する本発明にかかる電
子部品実装方法を説明するための工程フロー図であっ
て、同図(a)ははんだペーストを印刷する工程、同図
2(b)ははんだボールを自動搭載する工程、同図
(c)(d)は、CSPを自動搭載し、リフローソルダ
リングを行うことにより、補強バンプを形成する工程を
それぞれ示している。
【図3】本発明にかかる半導体構造及び電子部品実装方
法の第2実施形態を説明するための図である。
【図4】フルマトリクス状、あるいはそれに近い状態
で、かつ部品外形端まではんだバンプが配置されたCS
Pの上面図である。
【図5】第3、第4従来技術における自動搭載状態を説
明するための図である。
【符号の説明】
12…プリント配線板 14…はんだペースト 16…はんだバンプ 18…補強用はんだボール 20…CSP(Chip Scale Packag
e) 22…バンプなしパッド 24…補強バンプ

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ボールグリッドアレイやチップサイズパ
    ッケージ、あるいはチップスケールパッケージと呼ばれ
    るようなフェースダウンボンディング部品に用いられ、
    プリント配線板と前記フェースダウンボンディング部品
    とのはんだ接続信頼性が向上でき、はんだバンプにダメ
    ージを与えることなく搬送用トレイに収納できる半導体
    構造であって、 その他のバンプに比べ広い接続面積を有し、プリント配
    線板との接続強度を補強する補強バンプを備えることを
    特徴とする半導体構造。
  2. 【請求項2】 ボールグリッドアレイやチップサイズパ
    ッケージ、あるいはチップスケールパッケージと呼ばれ
    るようなフェースダウンボンディング部品に用いられ、
    プリント配線板と前記フェースダウンボンディング部品
    とのはんだ接続信頼性が向上でき、はんだバンプにダメ
    ージを与えることなく搬送用トレイに収納できる半導体
    構造であって、 予めプリント配線板に配置されたはんだボールと、 リフローソルダリング後に他のバンプよりも広い接続面
    積で形成された、はんだ接続強度を補強する補強バンプ
    とを有することを特徴とする半導体構造。
  3. 【請求項3】 ボールグリッドアレイやチップサイズパ
    ッケージ、あるいはチップスケールパッケージと呼ばれ
    るようなフェースダウンボンディング部品に用いられ、
    プリント配線板と前記フェースダウンボンディング部品
    とのはんだ接続信頼性が向上でき、はんだバンプにダメ
    ージを与えることなく搬送用トレイに収納できる半導体
    構造であって、 前記フェースダウンボンディング部品の部品コーナー部
    に形成されはんだバンプを有しないパッドであるバンプ
    なしパッドの面積が、バンプを有するその他のパッドよ
    りも広い面積を有するように構成されていることを特徴
    とする半導体構造。
  4. 【請求項4】 前記プリント配線板上にはんだペースト
    を印刷後、補強用のはんだボールを自動搭載し、前記バ
    ンプなしパッドを複数個有する前記フェースダウンボン
    ディング部品を自動搭載し、リフローソルダリングを行
    うことにより構成されていることを特徴とする請求項1
    乃至3のいずれか一項に記載の半導体構造。
  5. 【請求項5】 ボールグリッドアレイやチップサイズパ
    ッケージ、あるいはチップスケールパッケージと呼ばれ
    るようなフェースダウンボンディング部品に用いられ、
    プリント配線板と前記フェースダウンボンディング部品
    とのはんだ接続信頼性が向上でき、はんだバンプにダメ
    ージを与えることなく搬送用トレイに収納できる半導体
    構造を用いた電子部品実装方法であって、 その他のバンプに比べ広い接続面積を有し、プリント配
    線板との接続強度を補強する補強バンプを前記フェース
    ダウンボンディング部品上に形成することを特徴とする
    電子部品実装方法。
  6. 【請求項6】 ボールグリッドアレイやチップサイズパ
    ッケージ、あるいはチップスケールパッケージと呼ばれ
    るようなフェースダウンボンディング部品に用いられ、
    プリント配線板と前記フェースダウンボンディング部品
    とのはんだ接続信頼性が向上でき、はんだバンプにダメ
    ージを与えることなく搬送用トレイに収納できる半導体
    構造を用いた電子部品実装方法であって、 予めプリント配線板にはんだボールを配置する工程と、 リフローソルダリング後にはんだ接続強度を補強する補
    強バンプを、他のバンプよりも広い接続面積で形成する
    工程とを有することを特徴とする電子部品実装方法。
  7. 【請求項7】 ボールグリッドアレイやチップサイズパ
    ッケージ、あるいはチップスケールパッケージと呼ばれ
    るようなフェースダウンボンディング部品に用いられ、
    プリント配線板と前記フェースダウンボンディング部品
    とのはんだ接続信頼性が向上でき、はんだバンプにダメ
    ージを与えることなく搬送用トレイに収納できる半導体
    構造を用いた電子部品実装方法であって、 バンプを有するその他のパッドよりも広い面積を有し、
    かつはんだバンプを有しないパッドであるバンプなしパ
    ッドを、前記フェースダウンボンディング部品の部品コ
    ーナー部に形成する工程を有することを特徴とする電子
    部品実装方法。
  8. 【請求項8】 前記プリント配線板上にはんだペースト
    を印刷後、補強用のはんだボールを自動搭載し、前記バ
    ンプなしパッドを複数個有する前記フェースダウンボン
    ディング部品を自動搭載し、リフローソルダリングを行
    うことを特徴とする請求項5乃至7のいずれか一項に記
    載の電子部品実装方法。
  9. 【請求項9】 前記プリント配線板に前記はんだペース
    トを印刷する工程と、 はんだボールを自動搭載する工程と、 前記はんだバンプの付いていない前記バンプなしパッド
    を有する前記フェースダウンボンディング部品を自動搭
    載してリフローソルダリングを行う工程と、 前記プリント配線板と前記フェースダウンボンディング
    部品とのはんだ接続強度を補強する前記補強バンプを、
    その他バンプよりも広い接続面積で形成する工程とを有
    することを特徴とする請求項7に記載の電子部品実装方
    法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6787924B2 (en) 2001-02-13 2004-09-07 Nec Corporation Semiconductor device capable of preventing solder balls from being removed in reinforcing pad

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6787924B2 (en) 2001-02-13 2004-09-07 Nec Corporation Semiconductor device capable of preventing solder balls from being removed in reinforcing pad
JP2003347457A (ja) * 2002-05-24 2003-12-05 Kyocera Corp 配線基板

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