JPH11265967A - Lsi実装基板の構造及びその製造方法 - Google Patents
Lsi実装基板の構造及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 特定条件のスチフナを実装基板の裏面に取り
付けることにより、実装基板の表面での組立作業を従来
と同じ条件で行っても、構造上の信頼性に問題を残さな
いLSI実装基板の構造及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 ベアチップ実装を行うLSI実装基板に
おいて、LSIの実装サイズに応じて、実装基板の裏側
にLSIと同じあるいは近似した外形、または、複数の
LSIに対応した外形、所要厚さのスチフナを、表側で
LSIで使用したアンダーフィル材と同じ効果の接着剤
を用いて、固定したことを、また、その固定に際して、
特に、前記アンダーフィル材と接着剤とを同時キュアす
ることを特徴とする。
付けることにより、実装基板の表面での組立作業を従来
と同じ条件で行っても、構造上の信頼性に問題を残さな
いLSI実装基板の構造及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 ベアチップ実装を行うLSI実装基板に
おいて、LSIの実装サイズに応じて、実装基板の裏側
にLSIと同じあるいは近似した外形、または、複数の
LSIに対応した外形、所要厚さのスチフナを、表側で
LSIで使用したアンダーフィル材と同じ効果の接着剤
を用いて、固定したことを、また、その固定に際して、
特に、前記アンダーフィル材と接着剤とを同時キュアす
ることを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、LSI実装基板の
構造及びその製造方法に関し、特に、ベアチップ実装を
行うLSI実装基板の構造及びその製造方法に関する。
構造及びその製造方法に関し、特に、ベアチップ実装を
行うLSI実装基板の構造及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、ベアチップ実装は、BGA(ボー
ルグリッドアレイ)やCSP(チップサイズパッケー
ジ)などのLSIケースへの搭載手段として使われてい
る。また、ビルドアップ基板上に複数のベアチップを搭
載するMCM(マルチチップモジュール)としても利用
されている。
ルグリッドアレイ)やCSP(チップサイズパッケー
ジ)などのLSIケースへの搭載手段として使われてい
る。また、ビルドアップ基板上に複数のベアチップを搭
載するMCM(マルチチップモジュール)としても利用
されている。
【0003】特に、LSIを多ピンBGAに搭載する場
合は、LSIの外形も大きくなり、更に、BGA自体を
PWB(プリント配線基板)に実装するために、LSI
とPWBの熱膨張差が大きく、構造上の信頼性に影響を
与えることが解っている。例えば、日本IBMでは、3
5×35(mm)□のBGA式のビルドアップ基板上に
13.5×13.5(mm)□のLSIをフリップチッ
プ実装して、それをPWBに実装した場合には、BGA
基板の反りにより、LSI中央から半田バンプの破壊が
発生することを既に解明している。
合は、LSIの外形も大きくなり、更に、BGA自体を
PWB(プリント配線基板)に実装するために、LSI
とPWBの熱膨張差が大きく、構造上の信頼性に影響を
与えることが解っている。例えば、日本IBMでは、3
5×35(mm)□のBGA式のビルドアップ基板上に
13.5×13.5(mm)□のLSIをフリップチッ
プ実装して、それをPWBに実装した場合には、BGA
基板の反りにより、LSI中央から半田バンプの破壊が
発生することを既に解明している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このように、BGAの
実装上の問題のために、PWBへの二次実装に影響があ
り、ビルドアップ基板上への13.5×13.5(m
m)□のLSIのフリップチップ実装においてさえ、信
頼性に影響を与える現状の実装方法において、今後のL
SIチップの大型化に際しては、その構造上の信頼性
に、より大きな問題を与えることになろう。
実装上の問題のために、PWBへの二次実装に影響があ
り、ビルドアップ基板上への13.5×13.5(m
m)□のLSIのフリップチップ実装においてさえ、信
頼性に影響を与える現状の実装方法において、今後のL
SIチップの大型化に際しては、その構造上の信頼性
に、より大きな問題を与えることになろう。
【0005】そこで、既に特開平6−244242号公
報や特開平6−204654号公報において、LSIの
周囲あるいは裏面に枠状の補強板を取り付けることが提
唱されているが、これらは、何れもリフロー時のPWB
の反りを補強板の強固さで強制的に抑えようとしたもの
である。また、実開平2−101546号公報におい
て、長尺基板に対してLSIを取り囲むように補強フレ
ームを取り付けLSIとともに樹脂封止することが提唱
されている。
報や特開平6−204654号公報において、LSIの
周囲あるいは裏面に枠状の補強板を取り付けることが提
唱されているが、これらは、何れもリフロー時のPWB
の反りを補強板の強固さで強制的に抑えようとしたもの
である。また、実開平2−101546号公報におい
て、長尺基板に対してLSIを取り囲むように補強フレ
ームを取り付けLSIとともに樹脂封止することが提唱
されている。
【0006】これらに対して、本発明は、リフロー時の
反りを抑えるためではなく、実装後の構造上の信頼性を
確保することを目的としてなされたもので、特定条件の
スチフナを実装基板の裏面に取り付けることにより、実
装基板の表面での組立作業を従来と同じ条件で行って
も、構造上の信頼性に問題を残さないLSI実装基板の
構造及びその製造方法を提供するにある。
反りを抑えるためではなく、実装後の構造上の信頼性を
確保することを目的としてなされたもので、特定条件の
スチフナを実装基板の裏面に取り付けることにより、実
装基板の表面での組立作業を従来と同じ条件で行って
も、構造上の信頼性に問題を残さないLSI実装基板の
構造及びその製造方法を提供するにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】このため、本発明では、
ベアチップ実装を行うLSI実装基板において、LSI
の実装サイズに応じて、実装基板の裏側にLSIと同じ
あるいは近似した外形、または、複数のLSIに対応し
た外形、所要厚さのスチフナを、表側でLSIで使用し
たアンダーフィル材と同じ効果の接着剤を用いて、固定
したことを特徴とする。
ベアチップ実装を行うLSI実装基板において、LSI
の実装サイズに応じて、実装基板の裏側にLSIと同じ
あるいは近似した外形、または、複数のLSIに対応し
た外形、所要厚さのスチフナを、表側でLSIで使用し
たアンダーフィル材と同じ効果の接着剤を用いて、固定
したことを特徴とする。
【0008】この場合、前記スチフナの材料としては、
前記LSIと熱膨張係数の同じ、あるいは、近似したシ
リコン板を用いることが、あるいは、前記LSI側の実
装条件(例えば、LSI強度)や、前記スチフナ自体の
外形、厚みに応じて、前記LSIとは熱膨張係数の異な
る材料を選択して用いることが、その実施の形態として
好ましい。更には、前記スチフナの接着剤は、前記スチ
フナの外形、厚みなどの状況に応じて前記アンダーフィ
ル材とは異なる物性値のものを使用することも可能であ
る。
前記LSIと熱膨張係数の同じ、あるいは、近似したシ
リコン板を用いることが、あるいは、前記LSI側の実
装条件(例えば、LSI強度)や、前記スチフナ自体の
外形、厚みに応じて、前記LSIとは熱膨張係数の異な
る材料を選択して用いることが、その実施の形態として
好ましい。更には、前記スチフナの接着剤は、前記スチ
フナの外形、厚みなどの状況に応じて前記アンダーフィ
ル材とは異なる物性値のものを使用することも可能であ
る。
【0009】また、本発明では、ベアチップ実装を行う
LSI実装基板の製造方法において、LSIの実装サイ
ズに応じて、実装基板の裏側にLSIと同じあるいは近
似した外形、または、複数のLSIに対応した外形、所
要厚さのスチフナを、表側でLSIで使用したアンダー
フィル材と同じ効果の接着剤を用いて、固定する際に、
前記アンダーフィル材と接着剤とを同時キュアすること
を特徴とする。
LSI実装基板の製造方法において、LSIの実装サイ
ズに応じて、実装基板の裏側にLSIと同じあるいは近
似した外形、または、複数のLSIに対応した外形、所
要厚さのスチフナを、表側でLSIで使用したアンダー
フィル材と同じ効果の接着剤を用いて、固定する際に、
前記アンダーフィル材と接着剤とを同時キュアすること
を特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)以下、本発
明の第1の実施の形態を、図1を参照して具体的に説明
する。ここには、LSIをベアチップ実装した実装基板
が示されており、LSIとプリント基板との接続信頼性
を向上させる目的で、以下のような構成を持っている。
即ち、図1において、符号1はベアチップ実装用のLS
Iを示し、LSIの裏面にバンプをエリア状に配列した
もので、ピッチを縮めなくても、多ピン化が可能な構造
である。これは、最近では、外形が10×10(mm)
□以下のLSIにおいて、携帯端末などに使用されてい
る。しかし、当面の本発明の実施の形態では、20×2
0(mm)□以上のLSIを想定している。なお、一般
的にLSIの厚みは0.6mm程度である。
明の第1の実施の形態を、図1を参照して具体的に説明
する。ここには、LSIをベアチップ実装した実装基板
が示されており、LSIとプリント基板との接続信頼性
を向上させる目的で、以下のような構成を持っている。
即ち、図1において、符号1はベアチップ実装用のLS
Iを示し、LSIの裏面にバンプをエリア状に配列した
もので、ピッチを縮めなくても、多ピン化が可能な構造
である。これは、最近では、外形が10×10(mm)
□以下のLSIにおいて、携帯端末などに使用されてい
る。しかし、当面の本発明の実施の形態では、20×2
0(mm)□以上のLSIを想定している。なお、一般
的にLSIの厚みは0.6mm程度である。
【0011】また、符号2は有機材料を用いたプリント
配線基板で、ベアチップ実装に対応するために、最近で
は、コア材の両面に微細配線の可能なビルドアップ層を
形成したビルドアップ基板が使用されており、LSIの
バンプピッチ:200μmに対応できるようになってき
ている。なお、この実施の形態では、PWB外形は問わ
ないが、PWBの厚みとしては、一般的な1.6mm程
度までを対象として考えている。
配線基板で、ベアチップ実装に対応するために、最近で
は、コア材の両面に微細配線の可能なビルドアップ層を
形成したビルドアップ基板が使用されており、LSIの
バンプピッチ:200μmに対応できるようになってき
ている。なお、この実施の形態では、PWB外形は問わ
ないが、PWBの厚みとしては、一般的な1.6mm程
度までを対象として考えている。
【0012】符号3はアンダーフィルで、LSIとプリ
ント基板の接続信頼性を上げるために、LSIとプリン
ト基板の間の半田バンプ以外の空間をエポキシなどの樹
脂で固めたものである。アンダーフィル3により、LS
Iとプリント基板は一体化されて、多少の熱膨張差は、
剥離、破壊などの構造上の問題とは関係がなくなり、温
度の変化による寸法変化を抑制するようになる。
ント基板の接続信頼性を上げるために、LSIとプリン
ト基板の間の半田バンプ以外の空間をエポキシなどの樹
脂で固めたものである。アンダーフィル3により、LS
Iとプリント基板は一体化されて、多少の熱膨張差は、
剥離、破壊などの構造上の問題とは関係がなくなり、温
度の変化による寸法変化を抑制するようになる。
【0013】符号4は本発明に係わるスチフナで、この
実施の形態では、LSIと同形状のシリコンチップを、
プリント基板の裏側において、線対称の位置に貼り付け
ている。このスチフナ4は、できるだけシリコンに熱膨
張係数が近いものがよい。厚さ、外形についても、表側
のLSIと同じものが好ましい。つまり、上述のLSI
に関していえば、20×20(mm)□で、厚さ:0.
6mmのシリコン板が適当である。なお、そのLSIお
よびプリント基板の各厚み、強度、熱膨張係数差、外形
などを考慮して、前記スチフナ4の材料にアルミナ、窒
化アルミ、Cu/Wなどを使用することも可能である。
実施の形態では、LSIと同形状のシリコンチップを、
プリント基板の裏側において、線対称の位置に貼り付け
ている。このスチフナ4は、できるだけシリコンに熱膨
張係数が近いものがよい。厚さ、外形についても、表側
のLSIと同じものが好ましい。つまり、上述のLSI
に関していえば、20×20(mm)□で、厚さ:0.
6mmのシリコン板が適当である。なお、そのLSIお
よびプリント基板の各厚み、強度、熱膨張係数差、外形
などを考慮して、前記スチフナ4の材料にアルミナ、窒
化アルミ、Cu/Wなどを使用することも可能である。
【0014】また、符号5は接着剤で、スチフナ4をプ
リント基板2の裏面に固定するものである。接着剤の条
件としては、スチフナをプリント基板に貼り付けること
により、(スチフナ+接着剤)がプリント基板2に対し
て半田付けすることでアンダーフィルを施したLSIと
同じ挙動(反りに関していえば、反対向きの相殺応力の
発生)を示すことが望ましい。
リント基板2の裏面に固定するものである。接着剤の条
件としては、スチフナをプリント基板に貼り付けること
により、(スチフナ+接着剤)がプリント基板2に対し
て半田付けすることでアンダーフィルを施したLSIと
同じ挙動(反りに関していえば、反対向きの相殺応力の
発生)を示すことが望ましい。
【0015】次に、それぞれの構成要素の役割と結び付
について説明する。LSIとプリント基板の熱膨張係数
は、それぞれ、3ppmと15ppm程度である。これ
らを180℃の共晶点を持った半田で接合して、室温
(20℃)まで冷却した場合、プリント基板2の収縮が
大きく、両者の接合位置は変化しようがないために、バ
イメタル(異種金属の貼り合わせ)と同じで、プリント
基板2の端が下向きに反るように力を受ける。
について説明する。LSIとプリント基板の熱膨張係数
は、それぞれ、3ppmと15ppm程度である。これ
らを180℃の共晶点を持った半田で接合して、室温
(20℃)まで冷却した場合、プリント基板2の収縮が
大きく、両者の接合位置は変化しようがないために、バ
イメタル(異種金属の貼り合わせ)と同じで、プリント
基板2の端が下向きに反るように力を受ける。
【0016】具体的には、LSIは、その一辺が20m
mの幅であり、それが9.6μm収縮する場合に、PW
B(プリント基板2)は、48μm収縮しようとする。
しかし、LSIの直下は、LSIとPWBが半田接合が
されているため、PWBは収縮することができず、PW
Bの裏面との収縮差により反りを発生しようとする。一
般に、LSIの外形が小さい場合は、収縮差も小さく、
従って、発生する反りも少ないので、反った場合の剥
離、破壊などの悪影響が殆ど接合部分に及ばないから、
最近では、アンダーフィルで全体を固める方法が取られ
ている(図4を参照)。これは、アンダーフィルを硬化
させる時にも同様に発生している(アンダーフィルは通
常150℃程度の雰囲気で硬化させるため、その後、室
温に戻した時には、同様の応力が残っていることにな
る)。
mの幅であり、それが9.6μm収縮する場合に、PW
B(プリント基板2)は、48μm収縮しようとする。
しかし、LSIの直下は、LSIとPWBが半田接合が
されているため、PWBは収縮することができず、PW
Bの裏面との収縮差により反りを発生しようとする。一
般に、LSIの外形が小さい場合は、収縮差も小さく、
従って、発生する反りも少ないので、反った場合の剥
離、破壊などの悪影響が殆ど接合部分に及ばないから、
最近では、アンダーフィルで全体を固める方法が取られ
ている(図4を参照)。これは、アンダーフィルを硬化
させる時にも同様に発生している(アンダーフィルは通
常150℃程度の雰囲気で硬化させるため、その後、室
温に戻した時には、同様の応力が残っていることにな
る)。
【0017】しかし、上述のように、48μmと9.8
μmとの収縮差が出たときの反り量では、従来のアンダ
ーフィルだけの効果で、接続信頼性の確保は期待できな
い。この点に関して、本発明では、その反りの力を更に
抑制するために、例えば、シリコンと同じ熱膨張係数
で、同じ外形のスチフナを貼り付けている。
μmとの収縮差が出たときの反り量では、従来のアンダ
ーフィルだけの効果で、接続信頼性の確保は期待できな
い。この点に関して、本発明では、その反りの力を更に
抑制するために、例えば、シリコンと同じ熱膨張係数
で、同じ外形のスチフナを貼り付けている。
【0018】このように、スチフナが同じ熱膨張係数、
同じ外形であることにより、プリント基板を挟んだ表裏
の熱収縮量が同じとなり、LSIに垂直な方向での変
位、反りは相殺され、極端に緩和される。一方で、LS
Iに水平な方向の残留応力は大きくなるが、表裏に力を
分散させることができることと、アンダーフィルの効果
が、垂直方向よりも水平方向に大きいことなどから、単
に反りを発生させるよりは、明らかに接続信頼性を向上
させることができる。
同じ外形であることにより、プリント基板を挟んだ表裏
の熱収縮量が同じとなり、LSIに垂直な方向での変
位、反りは相殺され、極端に緩和される。一方で、LS
Iに水平な方向の残留応力は大きくなるが、表裏に力を
分散させることができることと、アンダーフィルの効果
が、垂直方向よりも水平方向に大きいことなどから、単
に反りを発生させるよりは、明らかに接続信頼性を向上
させることができる。
【0019】しかし、同じシリコンで、スチフナの外形
を大きくした場合、今度は、逆に裏側のスチフナ側の収
縮量が大きくなり、全体として、逆に反るために、予期
したスチフナの効果が得にくくなる。このため、できる
だけLSIに対するスチフナの外形と接着位置は、同じ
にすることが望ましい。ただし、スチフナにシリコン以
外の材質を用いた場合、例えば、熱膨張係数が9ppm
の材料を使用した場合は、7×7(mm)□程度の外形
の板を使用した方が反りについての発生応力の適正が保
てることになる。
を大きくした場合、今度は、逆に裏側のスチフナ側の収
縮量が大きくなり、全体として、逆に反るために、予期
したスチフナの効果が得にくくなる。このため、できる
だけLSIに対するスチフナの外形と接着位置は、同じ
にすることが望ましい。ただし、スチフナにシリコン以
外の材質を用いた場合、例えば、熱膨張係数が9ppm
の材料を使用した場合は、7×7(mm)□程度の外形
の板を使用した方が反りについての発生応力の適正が保
てることになる。
【0020】(第2の実施の形態)本発明の他の実施の
形態を図2に示す。ここでは、一つのプリント基板2上
に大型のLSIを複数、実装する場合、スチフナ4を、
前述の実施の形態のように各LSIに対応してプリント
基板2の裏面に接着剤5で貼り付けても良いが、構造上
の簡素化のために、大きなスチフナを複数のLSIに対
応して、装着しても良い。この場合、LSIの強度、ピ
ッチ、サイズなど、プリント基板2に対するLSIの実
装条件によりスチフナの条件、例えば、材質、外形、厚
さなどを変える必要がある。
形態を図2に示す。ここでは、一つのプリント基板2上
に大型のLSIを複数、実装する場合、スチフナ4を、
前述の実施の形態のように各LSIに対応してプリント
基板2の裏面に接着剤5で貼り付けても良いが、構造上
の簡素化のために、大きなスチフナを複数のLSIに対
応して、装着しても良い。この場合、LSIの強度、ピ
ッチ、サイズなど、プリント基板2に対するLSIの実
装条件によりスチフナの条件、例えば、材質、外形、厚
さなどを変える必要がある。
【0021】なお、上述の実施の形態において、スチフ
ナ4の接着剤5は、前記スチフナの外形、厚みなどの状
況に応じて、アンダーフィル材3とは異なる物性値のも
のを使用することも可能である。
ナ4の接着剤5は、前記スチフナの外形、厚みなどの状
況に応じて、アンダーフィル材3とは異なる物性値のも
のを使用することも可能である。
【0022】(第3の実施の形態)次に、本発明のLS
I実装基板の製造方法について、その実施の形態を説明
する。図3には、上から順に、実装の順序工程が図解さ
れている。即ち、最初に、プリント基板2上の、LSI
を搭載する箇所に、半田を印刷する。そして、その上に
所要のLSI1をマウントした後、半田をリフローし
て、前記LSIとプリント基板とを接合する。
I実装基板の製造方法について、その実施の形態を説明
する。図3には、上から順に、実装の順序工程が図解さ
れている。即ち、最初に、プリント基板2上の、LSI
を搭載する箇所に、半田を印刷する。そして、その上に
所要のLSI1をマウントした後、半田をリフローし
て、前記LSIとプリント基板とを接合する。
【0023】また、スチフナ取付け用の治具6にスチフ
ナ4と接着剤5をセットしておき、その治具7の上に、
LSIを接合したプリント基板2を、そのLSIに対応
したプリント基板2の裏側に位置して、載せる。このよ
うに治具6にプリント基板2をセットしたら、LSIの
下にアンダーフィル3を、気泡が発生しないように注入
する。そして、最後に表裏のアンダーフィル3、接着剤
5を、同時キュアにより硬化させる。
ナ4と接着剤5をセットしておき、その治具7の上に、
LSIを接合したプリント基板2を、そのLSIに対応
したプリント基板2の裏側に位置して、載せる。このよ
うに治具6にプリント基板2をセットしたら、LSIの
下にアンダーフィル3を、気泡が発生しないように注入
する。そして、最後に表裏のアンダーフィル3、接着剤
5を、同時キュアにより硬化させる。
【0024】このように、同時キュアすることで、製造
段階でも、基板の反返りを防止し、接合部分の剥離、破
壊するなどを回避することができる。
段階でも、基板の反返りを防止し、接合部分の剥離、破
壊するなどを回避することができる。
【0025】
【発明の効果】本発明は、以上詳述したようになり、P
WBの変形を抑制し、LSIにかかる垂直方向の応力を
減らすことができるから、プリント基板上に大型のLS
Iをベアチップ実装する上でも、十分な構造上の信頼性
を得ることができる。
WBの変形を抑制し、LSIにかかる垂直方向の応力を
減らすことができるから、プリント基板上に大型のLS
Iをベアチップ実装する上でも、十分な構造上の信頼性
を得ることができる。
【図1】本発明の第1の実施の形態を示す模式的な縦断
側面図である。
側面図である。
【図2】同じく、本発明の第2の実施の形態を示す模式
的な縦断側面図である。
的な縦断側面図である。
【図3】本発明の製造方法を示す第3の実施の形態の順
序工程の説明図である。
序工程の説明図である。
【図4】従来例の模式的な縦断側面図である。
1 LSI 2 プリント基板(PWB) 3 アンダーフィル 4 スチフナ 5 接着剤 6 治具
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI // H01L 25/04 25/18
Claims (5)
- 【請求項1】 ベアチップ実装を行うLSI実装基板に
おいて、LSIの実装サイズに応じて、実装基板の裏側
にLSIと同じあるいは近似した外形、または、複数の
LSIに対応した外形、所要厚さのスチフナを、表側で
LSIで使用したアンダーフィル材と同じ効果の接着剤
を用いて、固定したことを特徴とするLSI実装基板の
構造。 - 【請求項2】 前記スチフナの材料としては、前記LS
Iと熱膨張係数の同じ、あるいは、近似したシリコン板
を用いることを特徴とする請求項1に記載のLSI実装
基板の構造。 - 【請求項3】 前記スチフナの材料としては、前記LS
I側の実装条件や、前記スチフナ自体の外形、厚みに応
じて、前記LSIとは熱膨張係数の異なる材料を選択し
て用いることを特徴とする請求項1に記載のLSI実装
基板の構造。 - 【請求項4】 前記スチフナの接着剤は、前記スチフナ
の外形、厚みなどの状況に応じて前記アンダーフィル材
とは異なる物性値のものを使用することを特徴とする請
求項1〜3の何れかに記載のLSI実装基板の構造。 - 【請求項5】 ベアチップ実装を行うLSI実装基板の
製造方法において、LSIの実装サイズに応じて、実装
基板の裏側にLSIと同じあるいは近似した外形、また
は、複数のLSIに対応した外形、所要厚さのスチフナ
を、表側でLSIで使用したアンダーフィル材と同じ効
果の接着剤を用いて、固定する際に、前記アンダーフィ
ル材と接着剤とを同時キュアすることを特徴とするLS
I実装基板の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10066830A JPH11265967A (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | Lsi実装基板の構造及びその製造方法 |
FR9903217A FR2781604A1 (fr) | 1998-03-17 | 1999-03-16 | Structure de carte de montage de lsi et son procede de fabrication |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10066830A JPH11265967A (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | Lsi実装基板の構造及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11265967A true JPH11265967A (ja) | 1999-09-28 |
Family
ID=13327156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10066830A Pending JPH11265967A (ja) | 1998-03-17 | 1998-03-17 | Lsi実装基板の構造及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11265967A (ja) |
FR (1) | FR2781604A1 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002026250A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Denso Corp | 積層回路モジュールの製造方法 |
US6492715B1 (en) | 2000-09-13 | 2002-12-10 | International Business Machines Corporation | Integrated semiconductor package |
US6643397B1 (en) | 1999-09-22 | 2003-11-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing method, image processing apparatus and image forming apparatus |
WO2006087769A1 (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-24 | Fujitsu Limited | パッケージ実装モジュールおよびパッケージ基板モジュール |
JP2007088293A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Fujitsu Ltd | 基板の反り低減構造および基板の反り低減方法 |
JP2009238867A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Aisin Aw Co Ltd | 合成樹脂製の実装プリント基板 |
JP2010087145A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fdk Corp | 電子部品実装基板 |
US7768140B2 (en) | 2006-10-03 | 2010-08-03 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP5708489B2 (ja) * | 2009-08-20 | 2015-04-30 | 日本電気株式会社 | 互いに絶縁された金属性の電源側およびグランド側補強部材を有する半導体装置 |
CN113524703A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-10-22 | 安徽金诚复合材料有限公司 | 一种塑料前舱盖内外板涂胶粘接方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7094975B2 (en) * | 2003-11-20 | 2006-08-22 | Delphi Technologies, Inc. | Circuit board with localized stiffener for enhanced circuit component reliability |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0278254A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-19 | Sharp Corp | 半導体装置 |
US5239448A (en) * | 1991-10-28 | 1993-08-24 | International Business Machines Corporation | Formulation of multichip modules |
-
1998
- 1998-03-17 JP JP10066830A patent/JPH11265967A/ja active Pending
-
1999
- 1999-03-16 FR FR9903217A patent/FR2781604A1/fr active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6643397B1 (en) | 1999-09-22 | 2003-11-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image processing method, image processing apparatus and image forming apparatus |
JP2002026250A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Denso Corp | 積層回路モジュールの製造方法 |
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WO2006087769A1 (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-24 | Fujitsu Limited | パッケージ実装モジュールおよびパッケージ基板モジュール |
JPWO2006087769A1 (ja) * | 2005-02-15 | 2008-07-03 | 富士通株式会社 | パッケージ実装モジュールおよびパッケージ基板モジュール |
US7919856B2 (en) | 2005-02-15 | 2011-04-05 | Fujitsu Limited | Package mounted module and package board module |
JP4500348B2 (ja) * | 2005-02-15 | 2010-07-14 | 富士通株式会社 | パッケージ実装モジュールおよびパッケージ基板モジュール |
JP2007088293A (ja) * | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Fujitsu Ltd | 基板の反り低減構造および基板の反り低減方法 |
JP4585416B2 (ja) * | 2005-09-22 | 2010-11-24 | 富士通株式会社 | 基板の反り低減構造および基板の反り低減方法 |
US7768140B2 (en) | 2006-10-03 | 2010-08-03 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2009238867A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Aisin Aw Co Ltd | 合成樹脂製の実装プリント基板 |
JP2010087145A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Fdk Corp | 電子部品実装基板 |
JP5708489B2 (ja) * | 2009-08-20 | 2015-04-30 | 日本電気株式会社 | 互いに絶縁された金属性の電源側およびグランド側補強部材を有する半導体装置 |
CN113524703A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-10-22 | 安徽金诚复合材料有限公司 | 一种塑料前舱盖内外板涂胶粘接方法 |
CN113524703B (zh) * | 2021-07-19 | 2023-05-23 | 安徽金诚复合材料有限公司 | 一种塑料前舱盖内外板涂胶粘接方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2781604A1 (fr) | 2000-01-28 |
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