JP2000200409A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JP2000200409A JP2000200409A JP11314674A JP31467499A JP2000200409A JP 2000200409 A JP2000200409 A JP 2000200409A JP 11314674 A JP11314674 A JP 11314674A JP 31467499 A JP31467499 A JP 31467499A JP 2000200409 A JP2000200409 A JP 2000200409A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 0.4 〜0.8memu ／cm2 程度の低残留磁化膜厚
積において、高保磁力と低媒体ノイズを共に実現した磁
気記録媒体の提供。 【解決手段】 磁気記録媒体は、非磁性基体１１上にス
パッタリング法により非磁性のＣｒ系合金下地層１３，
非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金中間層１４及びＣｏ系合金磁
性層１５を順に形成したものであり、組成比ａ，ｂ，ｃ
をそれぞれ原子％とすると、Ｃｏ系合金磁性層がＣｏ
100-a-b-c Ｃｒa Ｔａb Ｐｔc なる組成式で表されて成
る。15≦ａ≦25、２≦ｂ≦６、及び３≦ｃ≦12とする
と、Ｐｔの組成比ｃが12原子％まで比較的大きくなって
いるため、保磁力はより高くなるものの、Ｃｒの組成比
ａが15〜25％と比較的大きくなっているため、媒体ノイ
ズの低減にも効果がある。
積において、高保磁力と低媒体ノイズを共に実現した磁
気記録媒体の提供。 【解決手段】 磁気記録媒体は、非磁性基体１１上にス
パッタリング法により非磁性のＣｒ系合金下地層１３，
非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金中間層１４及びＣｏ系合金磁
性層１５を順に形成したものであり、組成比ａ，ｂ，ｃ
をそれぞれ原子％とすると、Ｃｏ系合金磁性層がＣｏ
100-a-b-c Ｃｒa Ｔａb Ｐｔc なる組成式で表されて成
る。15≦ａ≦25、２≦ｂ≦６、及び３≦ｃ≦12とする
と、Ｐｔの組成比ｃが12原子％まで比較的大きくなって
いるため、保磁力はより高くなるものの、Ｃｒの組成比
ａが15〜25％と比較的大きくなっているため、媒体ノイ
ズの低減にも効果がある。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、ハードディスク等の磁
気記録媒体に関し、特に、Ｃｒ系合金下地層とＣｏ系合
金磁性層との間に非磁性Ｃｏ−Ｃｒ系合金中間層を設け
た磁気記録媒体に関する。
気記録媒体に関し、特に、Ｃｒ系合金下地層とＣｏ系合
金磁性層との間に非磁性Ｃｏ−Ｃｒ系合金中間層を設け
た磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、取り扱う情報量の増加や装置の小
型化に伴い、コンピュータをはじめとする情報機器用記
録装置においては高記録密度化の要求が一層高まってい
る。磁気記録装置においても、情報を読み書きする磁気
ヘッドの高密度化と共に、情報が読み書きされる磁気記
録媒体の高記録密度化が進んでいる。
型化に伴い、コンピュータをはじめとする情報機器用記
録装置においては高記録密度化の要求が一層高まってい
る。磁気記録装置においても、情報を読み書きする磁気
ヘッドの高密度化と共に、情報が読み書きされる磁気記
録媒体の高記録密度化が進んでいる。
【０００３】従来の磁気記録媒体は、例えば、非磁性基
板上にＣｒ下地層，ＣｏＣｒＴａ合金磁性層、Ｃ系保護
層を成膜したものが知られているが、必要とされる高保
磁力（Ｈc ）と低残留磁化膜厚積（膜厚ｔと残留磁化Ｍ
r の積ｔＭr ）の磁気特性を得ることができないため、
3.0 Ｇbits／inch2 以上の高記録密度に対応できない。
特に、残留磁化膜厚積（ｔＭr ）が0.5memu ／cm2 以下
の薄い磁性膜媒体において2500Ｏｅ以上の保磁力（Ｈc
）と0.7 を超える保磁力角形比Ｓ* を得ることが難し
くなっている。高保磁力、低残留磁化膜厚積、高角形比
は高密度記録化にとって必要な条件である。
板上にＣｒ下地層，ＣｏＣｒＴａ合金磁性層、Ｃ系保護
層を成膜したものが知られているが、必要とされる高保
磁力（Ｈc ）と低残留磁化膜厚積（膜厚ｔと残留磁化Ｍ
r の積ｔＭr ）の磁気特性を得ることができないため、
3.0 Ｇbits／inch2 以上の高記録密度に対応できない。
特に、残留磁化膜厚積（ｔＭr ）が0.5memu ／cm2 以下
の薄い磁性膜媒体において2500Ｏｅ以上の保磁力（Ｈc
）と0.7 を超える保磁力角形比Ｓ* を得ることが難し
くなっている。高保磁力、低残留磁化膜厚積、高角形比
は高密度記録化にとって必要な条件である。
【０００４】ところで、保磁力を増大させる目的で、Ｐ
ｔを添加した合金磁性層を持つ磁気記録媒体が知られて
いるが、Ｐｔを添加すると、高保磁力が得られる反面、
媒体ノイズが増大してしまうという欠点がある。最近、
ＭＲヘッドと呼ばれる高感度再生ヘッドの実用化によ
り、媒体から発生する再生ノイズの低減が必須となって
おり、Ｐｔの過剰な添加は制限される。
ｔを添加した合金磁性層を持つ磁気記録媒体が知られて
いるが、Ｐｔを添加すると、高保磁力が得られる反面、
媒体ノイズが増大してしまうという欠点がある。最近、
ＭＲヘッドと呼ばれる高感度再生ヘッドの実用化によ
り、媒体から発生する再生ノイズの低減が必須となって
おり、Ｐｔの過剰な添加は制限される。
【０００５】他方、特開平８−３２９４４４号公報に
は、非磁性下地層と例えばＣｏ80Ｃｒ12Ｐｔ6 Ｔａ2 の
Ｃｏ系合金磁性層との間に非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金中
間層を成膜した磁気記録媒体が提案されている。非磁性
のＣｏ−Ｃｒ系合金中間層により、Ｃｏ系合金磁性層の
初期成長層の特性が改良されて高保磁力と低媒体ノイズ
の磁気記録媒体が得られる。
は、非磁性下地層と例えばＣｏ80Ｃｒ12Ｐｔ6 Ｔａ2 の
Ｃｏ系合金磁性層との間に非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金中
間層を成膜した磁気記録媒体が提案されている。非磁性
のＣｏ−Ｃｒ系合金中間層により、Ｃｏ系合金磁性層の
初期成長層の特性が改良されて高保磁力と低媒体ノイズ
の磁気記録媒体が得られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
Ｃｏ−Ｃｒ系合金中間層を含む磁気記録媒体において
は、残留磁化膜厚積（ｔＭr ）が0.5memu ／cm2 よりも
高い値であるため、なおも高密度記録には不十分となっ
ている。
Ｃｏ−Ｃｒ系合金中間層を含む磁気記録媒体において
は、残留磁化膜厚積（ｔＭr ）が0.5memu ／cm2 よりも
高い値であるため、なおも高密度記録には不十分となっ
ている。
【０００７】そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、0.
4 〜0.8memu ／cm2 程度の低残留磁化膜厚積において、
高保磁力と低媒体ノイズを共に実現した磁気記録媒体を
提供することにある。
4 〜0.8memu ／cm2 程度の低残留磁化膜厚積において、
高保磁力と低媒体ノイズを共に実現した磁気記録媒体を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の講じた手段は、非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金
中間層を含む磁気記録媒体において、Ｃｏ系合金磁性層
の組成比を改善したところにある。
め、本発明の講じた手段は、非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金
中間層を含む磁気記録媒体において、Ｃｏ系合金磁性層
の組成比を改善したところにある。
【０００９】即ち、本発明は、非磁性基体上にスパッタ
リング法により非磁性のＣｒ系合金下地層，非磁性のＣ
ｏ−Ｃｒ系合金中間層及びＣｏ系合金磁性層を順に形成
し、ａ，ｂ，ｃをそれぞれ原子％とすると、上記Ｃｏ系
合金磁性層がＣｏ100-a-b-cＣｒa Ｔａb Ｐｔc なる組
成式で表されて成る磁気記録媒体において15≦ａ≦25、
２≦ｂ≦６、及び３≦ｃ≦12を満足することを特徴とす
る。
リング法により非磁性のＣｒ系合金下地層，非磁性のＣ
ｏ−Ｃｒ系合金中間層及びＣｏ系合金磁性層を順に形成
し、ａ，ｂ，ｃをそれぞれ原子％とすると、上記Ｃｏ系
合金磁性層がＣｏ100-a-b-cＣｒa Ｔａb Ｐｔc なる組
成式で表されて成る磁気記録媒体において15≦ａ≦25、
２≦ｂ≦６、及び３≦ｃ≦12を満足することを特徴とす
る。
【００１０】非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金中間層により、
高保磁力と低媒体ノイズとが全体的に改善される。かか
る状態において、組成比ｂを抑えながら、Ｐｔの組成比
ｃが12原子％まで比較的大きくなっているため、保磁力
はより高くなるものの、媒体ノイズも大きくなるおそれ
もあるが、その分、Ｃｒの組成比ａが15〜25％と比較的
大きくなっているため、媒体ノイズの低減に効果があ
る。従って、低残留磁化膜厚積において、高保磁力と低
媒体ノイズを共に実現でき、高記録密度を得ることがで
きる。
高保磁力と低媒体ノイズとが全体的に改善される。かか
る状態において、組成比ｂを抑えながら、Ｐｔの組成比
ｃが12原子％まで比較的大きくなっているため、保磁力
はより高くなるものの、媒体ノイズも大きくなるおそれ
もあるが、その分、Ｃｒの組成比ａが15〜25％と比較的
大きくなっているため、媒体ノイズの低減に効果があ
る。従って、低残留磁化膜厚積において、高保磁力と低
媒体ノイズを共に実現でき、高記録密度を得ることがで
きる。
【００１１】Ｃｏ−Ｃｒ系合金中間層としては、Ｔｉ，
Ｖ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ及びＷよりなる群か
ら選ばれる１種又は２種以上の元素を添加して成るもの
を採用できる。
Ｖ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ及びＷよりなる群か
ら選ばれる１種又は２種以上の元素を添加して成るもの
を採用できる。
【００１２】また、Ｃｒ系合金下地層としては、Ｔｉ，
Ｖ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ及びＷよりなる群か
ら選ばれる１種又は２種以上の元素を添加して成るもの
を採用できる。
Ｖ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ及びＷよりなる群か
ら選ばれる１種又は２種以上の元素を添加して成るもの
を採用できる。
【００１３】特に、本発明を、Ｃｏ系合金磁性層の膜厚
（ｔ）と残留磁化（Ｍr ）の積（ｔＭr ）が0.5memu ／
cm2 以下の磁気記録媒体に適用した場合には、より一層
の高密度記録が可能となる。
（ｔ）と残留磁化（Ｍr ）の積（ｔＭr ）が0.5memu ／
cm2 以下の磁気記録媒体に適用した場合には、より一層
の高密度記録が可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を添付図
面に基づいて説明する。
面に基づいて説明する。
【００１５】図１は本発明の実施形態に係る磁気記録媒
体の断面図である。非磁性基体１１はアルミニウム合金
基板であり、その上に厚さ10μm のＮｉ−Ｐ無電界めっ
き層１２が成膜されており、その円周方向にテクスチャ
ー加工が施されている。このＮｉ−Ｐ無電界めっき層１
２の上に膜厚470 Åの下地層１３、Ｃｏ−Ｃｒ系合金中
間層１４、膜厚180 ÅのＣｏ系合金磁性層１５、カーボ
ン保護層１６が順次ＤＣマグネトロンスパッタ法で成膜
されている。成膜温度は250 °Ｃ、スパッタ時のアルゴ
ン圧力は10mTorr と一定にした。Ｒ／Ｗ特性確認用サン
プルには、カーボン保護層１５上にフッ素化カーボン系
の液体潤滑層１７を塗布した。磁性特性の評価には、純
Ｎｉにより校正され最大印加磁場を5000Ｏｅとした振動
試料型磁気計を適用した。膜厚の測定は、触針式段差計
を用いた。
体の断面図である。非磁性基体１１はアルミニウム合金
基板であり、その上に厚さ10μm のＮｉ−Ｐ無電界めっ
き層１２が成膜されており、その円周方向にテクスチャ
ー加工が施されている。このＮｉ−Ｐ無電界めっき層１
２の上に膜厚470 Åの下地層１３、Ｃｏ−Ｃｒ系合金中
間層１４、膜厚180 ÅのＣｏ系合金磁性層１５、カーボ
ン保護層１６が順次ＤＣマグネトロンスパッタ法で成膜
されている。成膜温度は250 °Ｃ、スパッタ時のアルゴ
ン圧力は10mTorr と一定にした。Ｒ／Ｗ特性確認用サン
プルには、カーボン保護層１５上にフッ素化カーボン系
の液体潤滑層１７を塗布した。磁性特性の評価には、純
Ｎｉにより校正され最大印加磁場を5000Ｏｅとした振動
試料型磁気計を適用した。膜厚の測定は、触針式段差計
を用いた。
【００１６】〔実施例１〕実施例１の磁気記録媒体で
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐ
ｔ3 とした。中間層１４の膜厚は０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐ
ｔ3 とした。中間層１４の膜厚は０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。
【００１７】〔実施例２〕実施例２の磁気記録媒体で
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層としてＣｏ76Ｃｒ17Ｔａ4 Ｐｔ3
とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変化さ
せたものを試作した。実施例１と組成元素を比較する
と、磁性層のＣｒ組成比を２原子％だけ少なくした分、
Ｃｏ組成比を２原子％だけ増やしたものである。
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層としてＣｏ76Ｃｒ17Ｔａ4 Ｐｔ3
とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変化さ
せたものを試作した。実施例１と組成元素を比較する
と、磁性層のＣｒ組成比を２原子％だけ少なくした分、
Ｃｏ組成比を２原子％だけ増やしたものである。
【００１８】〔実施例３〕実施例３の磁気記録媒体で
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ61Ｃｒ37Ｔａ2 、磁性層としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4
Ｐｔ3 とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで
変化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較
すると、中間層１４には第３元のＴａが２原子％だけ添
加されている。
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ61Ｃｒ37Ｔａ2 、磁性層としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4
Ｐｔ3 とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで
変化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較
すると、中間層１４には第３元のＴａが２原子％だけ添
加されている。
【００１９】〔実施例４〕実施例４の磁気記録媒体で
は、下地層１３としてＣｒ92Ｗ8 、中間層１４としてＣ
ｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐｔ
3 とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変化
させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較する
と、下地層１３はＭｏの代わりにＷが８原子％だけ添加
されており、Ｃｒ組成比を２原子％だけ増やしたもので
ある。
は、下地層１３としてＣｒ92Ｗ8 、中間層１４としてＣ
ｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐｔ
3 とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変化
させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較する
と、下地層１３はＭｏの代わりにＷが８原子％だけ添加
されており、Ｃｒ組成比を２原子％だけ増やしたもので
ある。
【００２０】〔実施例５〕実施例５の磁気記録媒体で
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ67Ｃｒ19Ｔａ2 Ｐ
ｔ12とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較す
ると、磁性層１５は、Ｃｏ組成比を７原子％，Ｔａ組成
比を２原子％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を９原子％
だけ増やしたものである。
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ67Ｃｒ19Ｔａ2 Ｐ
ｔ12とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較す
ると、磁性層１５は、Ｃｏ組成比を７原子％，Ｔａ組成
比を２原子％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を９原子％
だけ増やしたものである。
【００２１】〔実施例６〕実施例６の磁気記録媒体で
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ69Ｃｒ20Ｔａ3 Ｐ
ｔ8 とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較す
ると、磁性層１５は、Ｃｏ組成比を５原子％，Ｔａ組成
比を１原子％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を５原子
％，Ｃｒ組成比を１原子％だけ増やしたものである。
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ69Ｃｒ20Ｔａ3 Ｐ
ｔ8 とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較す
ると、磁性層１５は、Ｃｏ組成比を５原子％，Ｔａ組成
比を１原子％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を５原子
％，Ｃｒ組成比を１原子％だけ増やしたものである。
【００２２】〔実施例７〕実施例７の磁気記録媒体で
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ61Ｃｒ25Ｔａ2 Ｐ
ｔ12とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較す
ると、磁性層１５は、Ｃｏ組成比を１３原子％，Ｔａ組
成比を２原子％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を９原子
％，Ｃｒ組成比を６原子％だけ増やしたものである。
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ61Ｃｒ25Ｔａ2 Ｐ
ｔ12とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較す
ると、磁性層１５は、Ｃｏ組成比を１３原子％，Ｔａ組
成比を２原子％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を９原子
％，Ｃｒ組成比を６原子％だけ増やしたものである。
【００２３】〔実施例８〕実施例８の磁気記録媒体で
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ67Ｃｒ15Ｔａ6 Ｐ
ｔ12とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較す
ると、磁性層１５は、Ｃｏ組成比を７原子％，Ｃｒ組成
比を４原子％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を９原子
％，Ｔａ組成比を２原子％だけ増やしたものである。
は、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ10、中間層１４として
Ｃｏ58Ｃｒ42、磁性層１５としてＣｏ67Ｃｒ15Ｔａ6 Ｐ
ｔ12とした。中間層１４の膜厚を０から約500 Åまで変
化させたものを試作した。実施例１と組成元素を比較す
ると、磁性層１５は、Ｃｏ組成比を７原子％，Ｃｒ組成
比を４原子％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を９原子
％，Ｔａ組成比を２原子％だけ増やしたものである。
【００２４】〔比較例１〕比較例１の磁気記録媒体で
は、中間層１４を含まず、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ
10を、磁性層としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐｔ3 と用いた
ものである。実施例１の中間層１４を除いた構造となっ
ている。
は、中間層１４を含まず、下地層１３としてＣｒ90Ｍｏ
10を、磁性層としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐｔ3 と用いた
ものである。実施例１の中間層１４を除いた構造となっ
ている。
【００２５】〔比較例２〕比較例２の磁気記録媒体で
は、中間層１４を含まず、下地層として純Ｃｒを、磁性
層としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐｔ3 を用いたものであ
る。
は、中間層１４を含まず、下地層として純Ｃｒを、磁性
層としてＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐｔ3 を用いたものであ
る。
【００２６】〔比較例３〕比較例３の磁気記録媒体で
は、下地層として純Ｃｒ、中間層１４としてＣｏ63Ｃｒ
37、磁性層としてＣｏ80Ｃｒ12Ｔａ2 Ｐｔ6 とした。磁
性層１５の膜厚を200 Åから約460 Åまで変化させたも
のを試作した。
は、下地層として純Ｃｒ、中間層１４としてＣｏ63Ｃｒ
37、磁性層としてＣｏ80Ｃｒ12Ｔａ2 Ｐｔ6 とした。磁
性層１５の膜厚を200 Åから約460 Åまで変化させたも
のを試作した。
【００２７】図２は、実施例１〜８と比較例１，２にお
ける保磁力の中間層膜厚依存性を示すグラフで、図３
は、実施例１〜８と比較例１，２における保磁力角形比
Ｓ* の中間層膜厚依存性を示すグラフである。
ける保磁力の中間層膜厚依存性を示すグラフで、図３
は、実施例１〜８と比較例１，２における保磁力角形比
Ｓ* の中間層膜厚依存性を示すグラフである。
【００２８】図２から明らかなように、中間層１４を具
備しない比較例１，２の保磁力（約2600Ｏｅ）に比べて
中間層１４を具備する実施例１〜８の保磁力の方が薄い
膜厚（約10Å以上約100 Å以下）においていずれも同等
以上に高くなっている。
備しない比較例１，２の保磁力（約2600Ｏｅ）に比べて
中間層１４を具備する実施例１〜８の保磁力の方が薄い
膜厚（約10Å以上約100 Å以下）においていずれも同等
以上に高くなっている。
【００２９】実施例１は、中間層１４の膜厚０〜約50Å
の中間付近に2800Ｏｅ程度のピーク値を持っている。実
施例２は、実施例１に対し磁性層のＣｒ組成比を２原子
％だけ少なくした分、Ｃｏ組成比を２原子％だけ増やし
たものであるから、中間層１４の膜厚が約60Å以上にお
いて、実施例１よりも保磁力が向上するものの、約60Å
以下では保磁力が逆に低下している。低残留磁化膜厚
積，高保磁力，低媒体ノイズを得るには、Ｃｏ組成比を
増やすよりもＣｒ組成比を増やす方が良い。また、Ｐｔ
組成比は最低３原子％とすることが好ましい。
の中間付近に2800Ｏｅ程度のピーク値を持っている。実
施例２は、実施例１に対し磁性層のＣｒ組成比を２原子
％だけ少なくした分、Ｃｏ組成比を２原子％だけ増やし
たものであるから、中間層１４の膜厚が約60Å以上にお
いて、実施例１よりも保磁力が向上するものの、約60Å
以下では保磁力が逆に低下している。低残留磁化膜厚
積，高保磁力，低媒体ノイズを得るには、Ｃｏ組成比を
増やすよりもＣｒ組成比を増やす方が良い。また、Ｐｔ
組成比は最低３原子％とすることが好ましい。
【００３０】実施例３は、実施例１に対し、中間層１４
にＴａを２原子％だけ含んでいる。
にＴａを２原子％だけ含んでいる。
【００３１】中間層１４にＴａが添加された実施例３で
は、中間層１４の膜厚25Å付近に3000Ｏｅを超えるピー
クを持っているものの、中間層１４が厚くなる程、急激
に保磁力が低下している。
は、中間層１４の膜厚25Å付近に3000Ｏｅを超えるピー
クを持っているものの、中間層１４が厚くなる程、急激
に保磁力が低下している。
【００３２】実施例４は、実施例１と比較すると、下地
層１３はＭｏの代わりにＷが８原子％だけ添加されてお
り、Ｃｒ組成比を２原子％だけ増やしたものである。下
地層１３にＭｏの代わりにＷが添加された実施例４で
は、中間層１４の膜厚が薄くなる程、急激に保磁力が高
くなり、０Å付近で3400Ｏｅを超える値を示している。
層１３はＭｏの代わりにＷが８原子％だけ添加されてお
り、Ｃｒ組成比を２原子％だけ増やしたものである。下
地層１３にＭｏの代わりにＷが添加された実施例４で
は、中間層１４の膜厚が薄くなる程、急激に保磁力が高
くなり、０Å付近で3400Ｏｅを超える値を示している。
【００３３】実施例５は、実施例１と比較すると、磁性
層１５は、Ｃｏ組成比を７原子％，Ｔａ組成比を２原子
％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を９原子％だけ増やし
たものである。Ｐｔ組成比が12原子％と比較的大きいた
め、中間層１４の膜厚０〜約500 Åのいずれでも、3000
Ｏｅを超える保磁力を示しながら、特に、70Å以下の膜
厚では3500Ｏｅを超える値であり、20Å付近でピーク値
約4100Ｏｅを持つ。
層１５は、Ｃｏ組成比を７原子％，Ｔａ組成比を２原子
％だけ少なくした分、Ｐｔ組成比を９原子％だけ増やし
たものである。Ｐｔ組成比が12原子％と比較的大きいた
め、中間層１４の膜厚０〜約500 Åのいずれでも、3000
Ｏｅを超える保磁力を示しながら、特に、70Å以下の膜
厚では3500Ｏｅを超える値であり、20Å付近でピーク値
約4100Ｏｅを持つ。
【００３４】実施例６は、実施例１と比較すると、磁性
層１５は、Ｃｏ組成比を５原子％，Ｔａ組成比を１原子
％だけ少なくした分、Ｃｒ組成比を１原子％，Ｐｔ組成
比を５原子％だけ増やしたものである。実施例６では、
実施例５に比しＰｔ組成比が少ないため、それより保磁
力が低くなっているが、実施例１に比しＰｔ組成比は多
いので、実施例１の保磁力よりも高くなっている。
層１５は、Ｃｏ組成比を５原子％，Ｔａ組成比を１原子
％だけ少なくした分、Ｃｒ組成比を１原子％，Ｐｔ組成
比を５原子％だけ増やしたものである。実施例６では、
実施例５に比しＰｔ組成比が少ないため、それより保磁
力が低くなっているが、実施例１に比しＰｔ組成比は多
いので、実施例１の保磁力よりも高くなっている。
【００３５】実施例７は、実施例５と比較すると、磁性
層１５は、Ｃｏ組成比を６原子％だけ少なくした分、Ｃ
ｒ組成比が６原子％だけ増やしたものであるため、媒体
ノイズの低減につながるものの、Ｃｒ組成比が比較的高
いので、保磁力が低下している。しかし、100 Å以下に
おいて2700Ｏｅを超える保磁力となっている。Ｃｒ組成
比は２５原子％以下に抑えることが望ましい。
層１５は、Ｃｏ組成比を６原子％だけ少なくした分、Ｃ
ｒ組成比が６原子％だけ増やしたものであるため、媒体
ノイズの低減につながるものの、Ｃｒ組成比が比較的高
いので、保磁力が低下している。しかし、100 Å以下に
おいて2700Ｏｅを超える保磁力となっている。Ｃｒ組成
比は２５原子％以下に抑えることが望ましい。
【００３６】実施例８は、実施例５と比較すると、磁性
層１５は、Ｃｒ組成比を４原子％だけ少なくした分、Ｔ
ａ組成比が４原子％だけ増やしたものである。Ｔａ組成
比が増加しているため、Ｃｒ組成比の減少が保磁力向上
に直結していない。Ｔａ組成比は６原子％以下に抑える
ことが望ましい。
層１５は、Ｃｒ組成比を４原子％だけ少なくした分、Ｔ
ａ組成比が４原子％だけ増やしたものである。Ｔａ組成
比が増加しているため、Ｃｒ組成比の減少が保磁力向上
に直結していない。Ｔａ組成比は６原子％以下に抑える
ことが望ましい。
【００３７】図３から明らかなように、比較例１，２の
保磁力角型比Ｓ* は0.62以下であるが、これに比べて、
実施例１〜８の保磁力角型比Ｓ* の方が高く、特に中間
層１４の膜厚が200 Å以下では、ピークが現れ、約65Å
では保磁力角型比Ｓ* が0.73以上と高い。いずれにして
も、中間層１４の存在によって角型比Ｓ* が改善してい
る。
保磁力角型比Ｓ* は0.62以下であるが、これに比べて、
実施例１〜８の保磁力角型比Ｓ* の方が高く、特に中間
層１４の膜厚が200 Å以下では、ピークが現れ、約65Å
では保磁力角型比Ｓ* が0.73以上と高い。いずれにして
も、中間層１４の存在によって角型比Ｓ* が改善してい
る。
【００３８】図４は実施例１と比較例３における保磁力
の磁性膜厚依存性を示すグラフである。
の磁性膜厚依存性を示すグラフである。
【００３９】実施例１も比較例３も中間層１４を含む構
造となっている。ところが、一般に、磁性層１５のＰｔ
組成比を増加すると、保磁力は高まるものの、媒体ノイ
ズも大きくなってしまう。また、Ｃｒの組成比を増加す
ると、媒体ノイズの低減に効果がある。実施例１の磁性
層１５はＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐｔ3 となっており、比較
例３の磁性層（Ｃｏ80Ｃｒ12Ｔａ2 Ｐｔ6 ）に比し、Ｐ
ｔ組成比が少なく、且つＣｒ組成比が多くなっているた
め、比較例３よりも低媒体ノイズであるが、かかる場合
でも、図３から明らかなように、磁性膜厚200 Å以下で
は実施例１の保磁力は比較例３のそれよりも高く、2500
Ｏｅ以上となっている。即ち、残留磁化膜厚積（ｔＭr
）が0.4 〜0.8memu ／cm2 においては実施例１の方が
比較例３よりも高保磁力で低媒体ノイズとなっている。
特に、0.5memu ／cm2 以下では顕著である。
造となっている。ところが、一般に、磁性層１５のＰｔ
組成比を増加すると、保磁力は高まるものの、媒体ノイ
ズも大きくなってしまう。また、Ｃｒの組成比を増加す
ると、媒体ノイズの低減に効果がある。実施例１の磁性
層１５はＣｏ74Ｃｒ19Ｔａ4 Ｐｔ3 となっており、比較
例３の磁性層（Ｃｏ80Ｃｒ12Ｔａ2 Ｐｔ6 ）に比し、Ｐ
ｔ組成比が少なく、且つＣｒ組成比が多くなっているた
め、比較例３よりも低媒体ノイズであるが、かかる場合
でも、図３から明らかなように、磁性膜厚200 Å以下で
は実施例１の保磁力は比較例３のそれよりも高く、2500
Ｏｅ以上となっている。即ち、残留磁化膜厚積（ｔＭr
）が0.4 〜0.8memu ／cm2 においては実施例１の方が
比較例３よりも高保磁力で低媒体ノイズとなっている。
特に、0.5memu ／cm2 以下では顕著である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、非磁性
のＣｒ系合金下地層と非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金中間層
と、Ｃｏ100-a-b-c Ｃｒa Ｔａb Ｐｔc なる組成式で表
されて成るＣｏ系合金磁性層とを備えた磁気記録媒体に
おいて、ａ，ｂ，ｃの組成比を相互選定した点に特徴を
有するものである。即ち、15≦ａ≦25、２≦ｂ≦６、３
≦ｃ≦12とすると、組成比ｂを抑えながら、Ｐｔの組成
比ｃが比較的大きくなっているため、保磁力はより高く
なると共に、Ｃｒの組成比ａが比較的大きくなっている
ため、媒体ノイズの低減を図ることができる。それ故、
高記録密度を得ることができる。
のＣｒ系合金下地層と非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金中間層
と、Ｃｏ100-a-b-c Ｃｒa Ｔａb Ｐｔc なる組成式で表
されて成るＣｏ系合金磁性層とを備えた磁気記録媒体に
おいて、ａ，ｂ，ｃの組成比を相互選定した点に特徴を
有するものである。即ち、15≦ａ≦25、２≦ｂ≦６、３
≦ｃ≦12とすると、組成比ｂを抑えながら、Ｐｔの組成
比ｃが比較的大きくなっているため、保磁力はより高く
なると共に、Ｃｒの組成比ａが比較的大きくなっている
ため、媒体ノイズの低減を図ることができる。それ故、
高記録密度を得ることができる。
【００４１】特に、Ｃｏ系合金磁性層の膜厚（ｔ）と残
留磁化（Ｍr ）の積（ｔＭr ）が0.5memu ／cm2 以下の
磁気記録媒体に適用した場合には、より一層の高密度記
録が可能となる。
留磁化（Ｍr ）の積（ｔＭr ）が0.5memu ／cm2 以下の
磁気記録媒体に適用した場合には、より一層の高密度記
録が可能となる。
【図１】本発明の実施形態に係る磁気記録媒体の断面図
である。
である。
【図２】実施例１〜８と比較例１，２における保磁力の
中間層膜厚依存性を示すグラフである。
中間層膜厚依存性を示すグラフである。
【図３】実施例１〜８と比較例１，２における保磁力角
型比Ｓ* の中間層膜厚依存性を示すグラフである。
型比Ｓ* の中間層膜厚依存性を示すグラフである。
【図４】実施例１と比較例３における保磁力の磁性膜厚
依存性を示すグラフである。
依存性を示すグラフである。
１１…非磁性基体 １２…Ｎｉ−Ｐ無電界めっき層 １３…下地層 １４…Ｃｏ−Ｃｒ系合金中間層 １５…Ｃｏ系合金磁性層 １６…カーボン保護層 １７…フッ素化カーボン系の液体潤滑層
Claims (4)
- 【請求項１】 非磁性基体上にスパッタリング法により
非磁性のＣｒ系合金下地層，非磁性のＣｏ−Ｃｒ系合金
中間層及びＣｏ系合金磁性層を順に形成し、ａ，ｂ，ｃ
をそれぞれ原子％とすると、前記Ｃｏ系合金磁性層がＣ
ｏ100-a-b-cＣｒa Ｔａb Ｐｔc なる組成式で表されて
成る磁気記録媒体において、 15≦ａ≦25、２≦ｂ≦６、及び３≦ｃ≦12を満足するこ
とを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１に記載の磁気記録媒体におい
て、前記Ｃｏ−Ｃｒ系合金中間層は、Ｔｉ，Ｖ，Ｚｒ，
Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ及びＷよりなる群から選ばれる
１種又は２種以上の元素を添加して成ることを特徴とす
る磁気記録媒体。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載の磁気記録
媒体において、Ｃｒ系合金下地層は、Ｔｉ，Ｖ，Ｚｒ，
Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ及びＷよりなる群から選ばれる
１種又は２種以上の元素を添加して成ることを特徴とす
る磁気記録媒体。 - 【請求項４】 請求項１乃至請求項３のいずれか一項に
記載の磁気記録媒体において、前記Ｃｏ系合金磁性層の
膜厚（ｔ）と残留磁化（Ｍr ）の積（ｔＭr）が0.5memu
／cm2 以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11314674A JP2000200409A (ja) | 1998-11-06 | 1999-11-05 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31601998 | 1998-11-06 | ||
| JP10-316019 | 1998-11-06 | ||
| JP11314674A JP2000200409A (ja) | 1998-11-06 | 1999-11-05 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000200409A true JP2000200409A (ja) | 2000-07-18 |
Family
ID=26568031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11314674A Pending JP2000200409A (ja) | 1998-11-06 | 1999-11-05 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000200409A (ja) |
-
1999
- 1999-11-05 JP JP11314674A patent/JP2000200409A/ja active Pending
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