JP2000195893A - 半導体装置用ワイヤ - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】高集積小型半導体チップを搭載した小型、軽量
かつ薄型半導体パッケージの製造に有利であると共に、
ワイヤスィーピング現象またはショート現象を効果的に
減少させることができる半導体装置用ワイヤを提供す
る。 【解決手段】半導体装置用ワイヤ3の外周面(表面)に、
少なくとも一つ以上の連続または不連続溝を、長さ方向
に直線状あるいは螺旋状に形成してワイヤボンディング
の時に形成されるボール32の大きさ(体積)がワイヤ
の外見上直径に対して相対的に小さく形成されるように
構成する。
かつ薄型半導体パッケージの製造に有利であると共に、
ワイヤスィーピング現象またはショート現象を効果的に
減少させることができる半導体装置用ワイヤを提供す
る。 【解決手段】半導体装置用ワイヤ3の外周面(表面)に、
少なくとも一つ以上の連続または不連続溝を、長さ方向
に直線状あるいは螺旋状に形成してワイヤボンディング
の時に形成されるボール32の大きさ(体積)がワイヤ
の外見上直径に対して相対的に小さく形成されるように
構成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置用ワイ
ヤに関し、より詳しくは、半導体装置に使用されるワイ
ヤの外周面に線状の溝、または多様な紋の溝を形成させ
ることによって、ワイヤの外見外形は維持させながら単
位長さ当たりの実質重量(または実質体積)は減少さ
せ、ワイヤボンディング時に、ボンディング地点に形成
されるボ−ルの直径及び体積が相対的に減少する半導体
装置用ワイヤに関する。
ヤに関し、より詳しくは、半導体装置に使用されるワイ
ヤの外周面に線状の溝、または多様な紋の溝を形成させ
ることによって、ワイヤの外見外形は維持させながら単
位長さ当たりの実質重量(または実質体積)は減少さ
せ、ワイヤボンディング時に、ボンディング地点に形成
されるボ−ルの直径及び体積が相対的に減少する半導体
装置用ワイヤに関する。
【0002】
【従来の技術】一般的に、半導体装置は図1に示したよ
うに、電子回路が集積されている半導体チップ1と、半
導体チップ1の信号を外部に伝達するためのリード2
と、リード2と半導体チップ1とを電気的に接続するワ
イヤ3と、半導体チップ1の回路動作時に発生する熱を
外部に効率的に放出するために半導体チップ1の底面に
設置される選択的な構成要素としてのヒートシンク4
と、半導体チップ1とその他の構成部品等を有害な外部
環境から保護するための樹脂封止部5とで構成される。
うに、電子回路が集積されている半導体チップ1と、半
導体チップ1の信号を外部に伝達するためのリード2
と、リード2と半導体チップ1とを電気的に接続するワ
イヤ3と、半導体チップ1の回路動作時に発生する熱を
外部に効率的に放出するために半導体チップ1の底面に
設置される選択的な構成要素としてのヒートシンク4
と、半導体チップ1とその他の構成部品等を有害な外部
環境から保護するための樹脂封止部5とで構成される。
【0003】上記のような半導体装置を含む多様な種類
の半導体装置の大部分は、半導体チップ1上の電極パッ
ドとリード2、または、導電性トレース(図示せず)と
を電気的に接続するための手段として金、アルミニウ
ム、またはこれらの合金でなるボンディングワイヤ3を
使用しており、従来のボンディングワイヤ3は図2に示
されたようにその断面が円形になっている。
の半導体装置の大部分は、半導体チップ1上の電極パッ
ドとリード2、または、導電性トレース(図示せず)と
を電気的に接続するための手段として金、アルミニウ
ム、またはこれらの合金でなるボンディングワイヤ3を
使用しており、従来のボンディングワイヤ3は図2に示
されたようにその断面が円形になっている。
【0004】近年、急速な半導体装置の小型化及び高性
能化の傾向に伴い、半導体チップ1の大きさも急速に小
型化されており、相対的に半導体チップ1に形成される
電極パッドの大きさも小さくなると共に、前記電極パッ
ドと電極パッドの間の距離も狭くなってきている。 従
って、ワイヤボンディング時に、ワイヤ3の端部を溶融
させ形成されるボールの大きさも小さくし、電極パッド
間でのショートを防止するために、ワイヤ3の直径もま
た、縮小させる必要が発生している。
能化の傾向に伴い、半導体チップ1の大きさも急速に小
型化されており、相対的に半導体チップ1に形成される
電極パッドの大きさも小さくなると共に、前記電極パッ
ドと電極パッドの間の距離も狭くなってきている。 従
って、ワイヤボンディング時に、ワイヤ3の端部を溶融
させ形成されるボールの大きさも小さくし、電極パッド
間でのショートを防止するために、ワイヤ3の直径もま
た、縮小させる必要が発生している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ワイヤの直径
の縮小がなされると、半導体チップ1の電極パッドとリ
−ド2、または、導電性トレースとを接続するワイヤル
ープがモールディング時の溶融樹脂による充填圧によっ
てスィーピング(sweeping)を起こすか、またはショー
トする等の不良が発生する可能性が増大する。
の縮小がなされると、半導体チップ1の電極パッドとリ
−ド2、または、導電性トレースとを接続するワイヤル
ープがモールディング時の溶融樹脂による充填圧によっ
てスィーピング(sweeping)を起こすか、またはショー
トする等の不良が発生する可能性が増大する。
【0006】また、電極パッドサイズの縮小は通常、半
導体チップ1のサイズの小型化に伴って行われるので、
同一の大きさのリードフレーム、または回路基板を使用
する時、ボンディングワイヤ3の長さもそれに伴い長く
なるので、ワイヤ3の直径を縮小したもので、ワイヤの
ボンディングループ長さが増加すれば、ボンディング時
か、あるいはその後続工程においてワイヤショート現象
や、前記のようなワイヤスィーピング(Sweeping)現象を
引き起こすという問題が増大するようになる。
導体チップ1のサイズの小型化に伴って行われるので、
同一の大きさのリードフレーム、または回路基板を使用
する時、ボンディングワイヤ3の長さもそれに伴い長く
なるので、ワイヤ3の直径を縮小したもので、ワイヤの
ボンディングループ長さが増加すれば、ボンディング時
か、あるいはその後続工程においてワイヤショート現象
や、前記のようなワイヤスィーピング(Sweeping)現象を
引き起こすという問題が増大するようになる。
【0007】そこで、本発明は上記従来の半導体装置用
ワイヤにおける問題点に鑑みてなされたものであって、
半導体チップの電極パッドと、リードまたは導電性トレ
ース間を電気的に接続するワイヤボンディング時、ボン
ディング地点に形成されるボールの直径(または体積)
を減少させ、ボンディング時、あるいはその後続工程に
おいてワイヤスィーピング現象やショート現象を効果的
に防止することのできる半導体装置用ワイヤを提供する
ことを目的とする。
ワイヤにおける問題点に鑑みてなされたものであって、
半導体チップの電極パッドと、リードまたは導電性トレ
ース間を電気的に接続するワイヤボンディング時、ボン
ディング地点に形成されるボールの直径(または体積)
を減少させ、ボンディング時、あるいはその後続工程に
おいてワイヤスィーピング現象やショート現象を効果的
に防止することのできる半導体装置用ワイヤを提供する
ことを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】前記本発明の目的を達成
するために、本発明によれば、ワイヤの外周面に、外見
外径は維持させながらも単位長さ当たりの実質重量また
は体積を減少させるために少なくとも一つの溝を有する
ことを特徴とする半導体装置用ワイヤが提供される。
するために、本発明によれば、ワイヤの外周面に、外見
外径は維持させながらも単位長さ当たりの実質重量また
は体積を減少させるために少なくとも一つの溝を有する
ことを特徴とする半導体装置用ワイヤが提供される。
【0009】
【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる半導体装置
用ワイヤの実施の形態の具体例を図面を参照しながら説
明する。
用ワイヤの実施の形態の具体例を図面を参照しながら説
明する。
【0010】図3は、本発明の第1の実施例による半導
体装置用ワイヤを示す斜視図であり、図4は、図3の半
導体装置用ワイヤの断面図で、図示した例では、端面が
円形であるワイヤ3の外周面(表面)に4個の連続溝3
1が線対称及び点対称(隣接した溝31の間の角度が9
0°をなすように形成)をなすように形成されており、
前記各々の溝31は、ワイヤ3の長さ方向と平行に連続
的に形成されている。
体装置用ワイヤを示す斜視図であり、図4は、図3の半
導体装置用ワイヤの断面図で、図示した例では、端面が
円形であるワイヤ3の外周面(表面)に4個の連続溝3
1が線対称及び点対称(隣接した溝31の間の角度が9
0°をなすように形成)をなすように形成されており、
前記各々の溝31は、ワイヤ3の長さ方向と平行に連続
的に形成されている。
【0011】しかし、本発明において、前記溝31の数
及び形状は制限的ではなく、溝31がワイヤ3の単位長
さ当たり、実質体積(重量)を減少させると共に、ワイ
ヤ3のワイヤ強度を過度に低下させない限り、1個、2
個、3個、5個、またはそれ以上であっても差し支えは
なく、直径の左右、両側に線対称、または円の中心に点
対称形状に形成させてもよい。
及び形状は制限的ではなく、溝31がワイヤ3の単位長
さ当たり、実質体積(重量)を減少させると共に、ワイ
ヤ3のワイヤ強度を過度に低下させない限り、1個、2
個、3個、5個、またはそれ以上であっても差し支えは
なく、直径の左右、両側に線対称、または円の中心に点
対称形状に形成させてもよい。
【0012】また、図示した例では、溝31がワイヤ3
の長さ方向に沿って連続的な形態で形成されている例を
示しているが、本発明はこれに限定せず、前記条件を満
足すれば、図9に示したように不連続な多数の溝31を
ワイヤ3の長さ方向に沿って相互に対向した2列にして
同一位置に形成させてもよく、図8に示したようにワイ
ヤ3の長さ方向に沿って交互に多数の不連続な溝31を
2列に形成させてもよい。また、不連続な溝31は、ワ
イヤ3の長さ方向に沿って1列、2列、3列、4列等の
多数の列に形成してもよい。また、これら不連続な溝3
1はワイヤ31の長さ方向に沿って同一位置で相互に点
対称または線対称に形成してもよい。
の長さ方向に沿って連続的な形態で形成されている例を
示しているが、本発明はこれに限定せず、前記条件を満
足すれば、図9に示したように不連続な多数の溝31を
ワイヤ3の長さ方向に沿って相互に対向した2列にして
同一位置に形成させてもよく、図8に示したようにワイ
ヤ3の長さ方向に沿って交互に多数の不連続な溝31を
2列に形成させてもよい。また、不連続な溝31は、ワ
イヤ3の長さ方向に沿って1列、2列、3列、4列等の
多数の列に形成してもよい。また、これら不連続な溝3
1はワイヤ31の長さ方向に沿って同一位置で相互に点
対称または線対称に形成してもよい。
【0013】さらに、溝31の形状は、本発明において
その端面がアーク状、V字状、正方形または長方形のよ
うな任意な形状を選択的に適用して形成することが可能
である。
その端面がアーク状、V字状、正方形または長方形のよ
うな任意な形状を選択的に適用して形成することが可能
である。
【0014】図5は、本発明による半導体装置用ワイヤ
を用いたボンディング時、形成されるボールの状態を従
来のワイヤ(図2の符号3参照)と比較して示した比較
図であり、本発明のワイヤ3を使用すれば、ワイヤボン
ディング時、ワイヤ3の一端部に溶融されて形成される
ボール32の直径(体積)が減少するようになる。
を用いたボンディング時、形成されるボールの状態を従
来のワイヤ(図2の符号3参照)と比較して示した比較
図であり、本発明のワイヤ3を使用すれば、ワイヤボン
ディング時、ワイヤ3の一端部に溶融されて形成される
ボール32の直径(体積)が減少するようになる。
【0015】つまり、外見直径(本発明において溝31
が存在しない円周で仮定する時の直径)が同一の大きさ
のワイヤ3を使用する場合、図5で仮想線Lで表示した
領域が円形端面を有する従来のワイヤ3を使用する時に
形成されるボール32の大きさを示しており、本発明に
よる溝31が形成された同一の外見直径のワイヤ3を使
用したものは実線で示されているように、ボール32の
直径(体積)を小さく形成させることができるようにな
る。
が存在しない円周で仮定する時の直径)が同一の大きさ
のワイヤ3を使用する場合、図5で仮想線Lで表示した
領域が円形端面を有する従来のワイヤ3を使用する時に
形成されるボール32の大きさを示しており、本発明に
よる溝31が形成された同一の外見直径のワイヤ3を使
用したものは実線で示されているように、ボール32の
直径(体積)を小さく形成させることができるようにな
る。
【0016】このように、ワイヤ3の外周面に連続また
は不連続溝31を形成することによって、ワイヤボンデ
ィング時、ワイヤが溶融されながら形成されるボール3
2の体積は、ワイヤ3の外周面に形成された溝31の領
域の体積分だけ減少することになり、相対的にボール3
2の体積及び直径は小さくなることよって、半導体チッ
プ1の電極パッドのサイズが小さく、電極パッドの間隔
も小さい高集積小型半導体チップを搭載した小型、軽量
かつ薄型半導体パッケージの製造において電極パッド間
でのショートを防止する。
は不連続溝31を形成することによって、ワイヤボンデ
ィング時、ワイヤが溶融されながら形成されるボール3
2の体積は、ワイヤ3の外周面に形成された溝31の領
域の体積分だけ減少することになり、相対的にボール3
2の体積及び直径は小さくなることよって、半導体チッ
プ1の電極パッドのサイズが小さく、電極パッドの間隔
も小さい高集積小型半導体チップを搭載した小型、軽量
かつ薄型半導体パッケージの製造において電極パッド間
でのショートを防止する。
【0017】図6は、本発明の第2の実施例による半導
体装置用ワイヤを示す斜視図で、図示された例では一つ
の連続溝31が螺旋状に形成されている例を示している
が、図示はしていないが、溝31を不連続溝に形成する
ことも勿論可能である。
体装置用ワイヤを示す斜視図で、図示された例では一つ
の連続溝31が螺旋状に形成されている例を示している
が、図示はしていないが、溝31を不連続溝に形成する
ことも勿論可能である。
【0018】図7は、本発明の第3の実施例による半導
体装置用ワイヤを示す斜視図で、図示された例では二つ
の溝31が相互に反対方向に回転し、反復的に交差する
螺旋状に形成されている。しかし、本発明はこれに限定
せず、図示はしていないが、二つの溝31が交差しない
連続的な螺旋状に形成するのも可能であり、また、不連
続な溝に形成するのも可能である。
体装置用ワイヤを示す斜視図で、図示された例では二つ
の溝31が相互に反対方向に回転し、反復的に交差する
螺旋状に形成されている。しかし、本発明はこれに限定
せず、図示はしていないが、二つの溝31が交差しない
連続的な螺旋状に形成するのも可能であり、また、不連
続な溝に形成するのも可能である。
【0019】上記のような溝31を形成させることによ
って、ワイヤ3自体の自重が減少されながらも溝31が
存在しない部分の直径はそのまま維持するので、ワイヤ
3の外見上、単位体積当たりの実質重量が減少する。よ
って、ワイヤボンディング時、形成されるワイヤ3のボ
ンディングループのスィーピング現象や位置変動による
ショート現象も効果的に減少させることができる。
って、ワイヤ3自体の自重が減少されながらも溝31が
存在しない部分の直径はそのまま維持するので、ワイヤ
3の外見上、単位体積当たりの実質重量が減少する。よ
って、ワイヤボンディング時、形成されるワイヤ3のボ
ンディングループのスィーピング現象や位置変動による
ショート現象も効果的に減少させることができる。
【0020】各々の溝31の深さは、ボンディングルー
プの長さ及びワイヤ3の直径に沿って適切に選択するこ
とができるが、通常的にはワイヤ3の外見直径の0.1
%〜45%の範囲、望ましくは0.5〜25重量%内で
適切に選択することが望ましい。一方、モールディング
の時、使用される充填材の直径は約20μm程度である
反面、ボンディングワイヤ3の外見直径は25〜30μ
m程度であり、溝31の深さは約0.025〜13.5
μmに過ぎないので、モ−ルディング時のワイヤスィー
ピング現象はこのような溝31の形成有無により影響を
受けるのではなく、主にワイヤ3の外見直径と直接的な
関係がある。
プの長さ及びワイヤ3の直径に沿って適切に選択するこ
とができるが、通常的にはワイヤ3の外見直径の0.1
%〜45%の範囲、望ましくは0.5〜25重量%内で
適切に選択することが望ましい。一方、モールディング
の時、使用される充填材の直径は約20μm程度である
反面、ボンディングワイヤ3の外見直径は25〜30μ
m程度であり、溝31の深さは約0.025〜13.5
μmに過ぎないので、モ−ルディング時のワイヤスィー
ピング現象はこのような溝31の形成有無により影響を
受けるのではなく、主にワイヤ3の外見直径と直接的な
関係がある。
【0021】上記のような本発明による半導体装置用ワ
イヤの外周面に対する溝31の形成は、予め決定された
数のブレード(刃)(図示せず)をワイヤ3の側面でワ
イヤ3の予め決定された直径範囲に固定させるか、また
は一定の時間間隔を置き、ブレードの挿脱を反復させな
がらワイヤ3を引き伸ばした状態で回転させないで巻き
取るか、あるいは回転させながら巻き取ることによって
容易に形成することができる。または、ワイヤ3の製造
の初期段階で溝31を形成させることも可能である。
イヤの外周面に対する溝31の形成は、予め決定された
数のブレード(刃)(図示せず)をワイヤ3の側面でワ
イヤ3の予め決定された直径範囲に固定させるか、また
は一定の時間間隔を置き、ブレードの挿脱を反復させな
がらワイヤ3を引き伸ばした状態で回転させないで巻き
取るか、あるいは回転させながら巻き取ることによって
容易に形成することができる。または、ワイヤ3の製造
の初期段階で溝31を形成させることも可能である。
【0022】
【発明の効果】上述したように、本発明による半導体装
置用ワイヤは、連続または不連続溝が形成されているの
で、単位長さ当たり、減少された実質重量(または体
積)を有することにより、ワイヤボンディング時に形成
されるボールの直径(体積)を、溝がない場合と比較し
て相対的に減少させることができるので高集積小型半導
体チップを搭載した小型、軽量かつ薄型半導体パッケー
ジの製造に有利であると共に、ワイヤスィーピング現象
またはショート現象を効果的に減少させることができ
る。
置用ワイヤは、連続または不連続溝が形成されているの
で、単位長さ当たり、減少された実質重量(または体
積)を有することにより、ワイヤボンディング時に形成
されるボールの直径(体積)を、溝がない場合と比較し
て相対的に減少させることができるので高集積小型半導
体チップを搭載した小型、軽量かつ薄型半導体パッケー
ジの製造に有利であると共に、ワイヤスィーピング現象
またはショート現象を効果的に減少させることができ
る。
【図1】一般的な半導体装置の構造を示す断面図であ
る。
る。
【図2】従来の半導体装置用ワイヤを示す拡大斜視図で
ある。
ある。
【図3】本発明の第1の実施例による半導体装置用ワイ
ヤを示す斜視図である。
ヤを示す斜視図である。
【図4】本発明の図3に示す半導体装置用ワイヤの断面
図である。
図である。
【図5】本発明による半導体装置用ワイヤを用いたボン
ディング時、形成されるボールの状態を従来のワイヤと
比較して示す比較図である。
ディング時、形成されるボールの状態を従来のワイヤと
比較して示す比較図である。
【図6】本発明の第2の実施例による半導体装置用ワイ
ヤを示す斜視図である。
ヤを示す斜視図である。
【図7】本発明の第3の実施例による半導体装置用ワイ
ヤを示す斜視図である。
ヤを示す斜視図である。
【図8】本発明の第4の実施例による半導体装置用ワイ
ヤを示す側面図である。
ヤを示す側面図である。
【図9】本発明の第5の実施例による半導体装置用ワイ
ヤを示す側面図である。
ヤを示す側面図である。
1 半導体チップ 2 リード 3 ワイヤ 4 ヒートシンク 5 封止部 31 溝 32 ボール
Claims (4)
- 【請求項1】 半導体チップの信号を外部に伝達するた
めのリードと、半導体チップとを電気的に接続する半導
体装置用ワイヤにおいて、 前記ワイヤの外周面に、外見外径は維持させながらも単
位長さ当たりの実質重量または体積を減少させるために
少なくとも一つの溝を有することを特徴とする半導体装
置用ワイヤ。 - 【請求項2】 前記溝が、前記ワイヤの外周面に連続
的、または不連続的に延長されていることを特徴とする
請求項1記載の半導体装置用ワイヤ。 - 【請求項3】 前記溝が、ワイヤの長さ方向に沿って直
線状、または螺旋状に延長されていることを特徴とする
請求項1または2記載の半導体装置用ワイヤ。 - 【請求項4】 前記溝の深さが、外見上、ワイヤ直径の
0.1%から45%の範囲であることを特徴とする請求
項1乃至3記載の半導体装置用ワイヤ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1998/P60456 | 1998-12-29 | ||
KR1019980060456A KR100280084B1 (ko) | 1998-12-29 | 1998-12-29 | 반도체 장치용 와이어 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000195893A true JP2000195893A (ja) | 2000-07-14 |
Family
ID=19567269
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11332987A Pending JP2000195893A (ja) | 1998-12-29 | 1999-11-24 | 半導体装置用ワイヤ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000195893A (ja) |
KR (1) | KR100280084B1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009088132A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Tanaka Electronics Ind Co Ltd | ボンディングワイヤ |
JP5546670B1 (ja) * | 2013-06-13 | 2014-07-09 | 田中電子工業株式会社 | 超音波接合用コーティング銅ワイヤの構造 |
-
1998
- 1998-12-29 KR KR1019980060456A patent/KR100280084B1/ko not_active IP Right Cessation
-
1999
- 1999-11-24 JP JP11332987A patent/JP2000195893A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009088132A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Tanaka Electronics Ind Co Ltd | ボンディングワイヤ |
JP5546670B1 (ja) * | 2013-06-13 | 2014-07-09 | 田中電子工業株式会社 | 超音波接合用コーティング銅ワイヤの構造 |
JP2015002213A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | 田中電子工業株式会社 | 超音波接合用コーティング銅ワイヤの構造 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20000044013A (ko) | 2000-07-15 |
KR100280084B1 (ko) | 2001-03-02 |
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