JP2000185929A - 光ファイバプリフォームの製造方法及びその製造装置 - Google Patents
光ファイバプリフォームの製造方法及びその製造装置Info
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- JP2000185929A JP2000185929A JP10368046A JP36804698A JP2000185929A JP 2000185929 A JP2000185929 A JP 2000185929A JP 10368046 A JP10368046 A JP 10368046A JP 36804698 A JP36804698 A JP 36804698A JP 2000185929 A JP2000185929 A JP 2000185929A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ファイバプリフォームの製造に際
し、その生産性を向上させ、生産コストを低減する。 【解決手段】 光ファイバプリフォームの製造にお
いて、母材である多孔質クラッドスートの脱水、焼結処
理を、被加熱材である多孔質クラッドスートをその外周
面からだけでなく、内部からも加熱することにより、処
理時間の短縮と雰囲気ガス消費量の低減を図る。
し、その生産性を向上させ、生産コストを低減する。 【解決手段】 光ファイバプリフォームの製造にお
いて、母材である多孔質クラッドスートの脱水、焼結処
理を、被加熱材である多孔質クラッドスートをその外周
面からだけでなく、内部からも加熱することにより、処
理時間の短縮と雰囲気ガス消費量の低減を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバプリフォ
ームの製造において、多孔質クラッドスートの脱水方
法、乃至焼結方法及びその装置に関するものである。
ームの製造において、多孔質クラッドスートの脱水方
法、乃至焼結方法及びその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバを多量生産するための大型光
ファイバプリフォームを製造する方法としては、一般的
に、ＶＡＤ法（ Vapor Phase Axial Deposition ）と、
ＯＶＤ法（ Outside Vapor Deposition )を組み合わせ
た方法がとられている。
ファイバプリフォームを製造する方法としては、一般的
に、ＶＡＤ法（ Vapor Phase Axial Deposition ）と、
ＯＶＤ法（ Outside Vapor Deposition )を組み合わせ
た方法がとられている。
【０００３】この方法は、先ず、ＶＡＤ法により多孔質
コアスートを合成、堆積させ、次いで脱水、焼結工程に
より、該多孔質コアスートをガラス化し、透明なコア母
材を製造し、該コア母材を必要により延伸成形し、外径
と長さを整え、ＯＶＤ法用のコアロッドとする。
コアスートを合成、堆積させ、次いで脱水、焼結工程に
より、該多孔質コアスートをガラス化し、透明なコア母
材を製造し、該コア母材を必要により延伸成形し、外径
と長さを整え、ＯＶＤ法用のコアロッドとする。
【０００４】上記したＶＡＤ法により製造されたコアロ
ッドを用いて、その上にＯＶＤ法により多孔質クラッド
スートを合成、堆積させ、次いで脱水、焼結処理によ
り、多孔質クラッドスートをガラス化し、中心のコア層
と外周のクラッド層とからなる透明な大型光ファイバプ
リフォームを製造する。
ッドを用いて、その上にＯＶＤ法により多孔質クラッド
スートを合成、堆積させ、次いで脱水、焼結処理によ
り、多孔質クラッドスートをガラス化し、中心のコア層
と外周のクラッド層とからなる透明な大型光ファイバプ
リフォームを製造する。
【０００５】コアロッド上に合成、堆積させた多孔質ク
ラッドスートの脱水、焼結処理は、従来、図４に概念的
に示した加熱炉Ｈ0 を用いて行っている。即ち、加熱炉
Ｈ0の本体は、石英製の炉心管８であって、その外周に
は多段の環状ヒーター５を配置し、該環状ヒータ５は各
段毎に温度制御が出来るようにしてある。コアロッド１
上に堆積している多孔質クラッドスート６は該スート６
が堆積していないコアロッドの部分を介して上部チャッ
ク２で炉心管８内に吊り下げられる。上部チャック２に
は支持棒４が取付けられ、該支持棒４は炉心管８外部に
貫通し、モータ３で回転させられるとともに、図示して
いない昇降機構により昇降出来るようにされている。従
って、多孔質クラッドスートは炉心管内で、回転と昇降
が可能である。また、脱水、焼結処理は一定組成の流動
するガス雰囲気中で行う必要があるため、炉心管８の下
部にガス導入孔９を、上部にガス排出孔１０を設けてい
る。
ラッドスートの脱水、焼結処理は、従来、図４に概念的
に示した加熱炉Ｈ0 を用いて行っている。即ち、加熱炉
Ｈ0の本体は、石英製の炉心管８であって、その外周に
は多段の環状ヒーター５を配置し、該環状ヒータ５は各
段毎に温度制御が出来るようにしてある。コアロッド１
上に堆積している多孔質クラッドスート６は該スート６
が堆積していないコアロッドの部分を介して上部チャッ
ク２で炉心管８内に吊り下げられる。上部チャック２に
は支持棒４が取付けられ、該支持棒４は炉心管８外部に
貫通し、モータ３で回転させられるとともに、図示して
いない昇降機構により昇降出来るようにされている。従
って、多孔質クラッドスートは炉心管内で、回転と昇降
が可能である。また、脱水、焼結処理は一定組成の流動
するガス雰囲気中で行う必要があるため、炉心管８の下
部にガス導入孔９を、上部にガス排出孔１０を設けてい
る。
【０００６】処理工程は脱水処理を最初に行い、次いで
焼結処理を行う。脱水処理は、各段のヒーター温度を等
しくし、多孔質クラッドスートの全長を均一に加熱する
ことにより行う。次いで行う焼結処理は、各段毎の環状
ヒーター５を温度制御し、炉心管内に吊り下げられた多
孔質クラッドスートの全長を一定温度に加熱しつつ、多
孔質クラッドスートを下部から順次に焼結するために、
各段の環状ヒータの温度制御を、焼結に要する高温部を
下から上に徐々に移動させるように設定する。いずれの
処理も一定組成の雰囲気ガス中で行う。即ち、一定組成
の雰囲気ガスを炉心管下部のガス導入孔９より導入し、
上部のガス排出孔１０より排出させる。脱水は、１２０
０℃付近で、ガラス化は１４００℃付近で行う。
焼結処理を行う。脱水処理は、各段のヒーター温度を等
しくし、多孔質クラッドスートの全長を均一に加熱する
ことにより行う。次いで行う焼結処理は、各段毎の環状
ヒーター５を温度制御し、炉心管内に吊り下げられた多
孔質クラッドスートの全長を一定温度に加熱しつつ、多
孔質クラッドスートを下部から順次に焼結するために、
各段の環状ヒータの温度制御を、焼結に要する高温部を
下から上に徐々に移動させるように設定する。いずれの
処理も一定組成の雰囲気ガス中で行う。即ち、一定組成
の雰囲気ガスを炉心管下部のガス導入孔９より導入し、
上部のガス排出孔１０より排出させる。脱水は、１２０
０℃付近で、ガラス化は１４００℃付近で行う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記した多孔質クラッ
ドスートの脱水、焼結処理にあたっては、光ファイバの
特性に影響を与える欠陥が、光ファイバプリフォームの
中に生成されないように処理条件を設定することが必要
である。即ち、光の伝送損失の原因となる不純物の混入
を防止し、また、焼結された光ファイバプリフォームに
微細亀裂が入らないような処理条件を設定しなければな
らない。そのために、円周方向の加熱を均一にするため
に、多孔質クラッドスート６はコアロッド１を介して、
５〜４０ｒｐｍ程度の回転速度で回転させられる。雰囲
気ガスとして添加される酸素、一酸化炭素等は不純物や
水分の混入を防止するためのものであり、ヘリウムは多
孔質クラッドスートの表面だけが加熱、焼結されて、内
部に未焼結部分が残留するのを防止するためのものであ
る。更に、不純物除去のために塩素等の還元剤を少量添
加する。
ドスートの脱水、焼結処理にあたっては、光ファイバの
特性に影響を与える欠陥が、光ファイバプリフォームの
中に生成されないように処理条件を設定することが必要
である。即ち、光の伝送損失の原因となる不純物の混入
を防止し、また、焼結された光ファイバプリフォームに
微細亀裂が入らないような処理条件を設定しなければな
らない。そのために、円周方向の加熱を均一にするため
に、多孔質クラッドスート６はコアロッド１を介して、
５〜４０ｒｐｍ程度の回転速度で回転させられる。雰囲
気ガスとして添加される酸素、一酸化炭素等は不純物や
水分の混入を防止するためのものであり、ヘリウムは多
孔質クラッドスートの表面だけが加熱、焼結されて、内
部に未焼結部分が残留するのを防止するためのものであ
る。更に、不純物除去のために塩素等の還元剤を少量添
加する。
【０００８】この脱水、焼結処理とも加熱速度は緩やか
で、長時間を要する処理であるが、特に焼結処理は内部
に未ガラス化部分が残留するのを完全に防止するととも
に、ガラス化部分に微細亀裂が発生するのを防止するた
めに、加熱速度、即ち、多孔質クラッドスートの下部か
ら上部に移動する高温部移動速度を緩やかなものするこ
とが必要である。従ってより長時間の処理とならざるを
得ないため、高価なヘリウムガスの消費量が多くなる。
このように、光ファイバプリフォームの製造は、生産コ
ストが高く、生産性の向上が要求されていたが、近年、
より大型の光ファイバプリフォームの要求が高まるとと
もに、大径化された多孔質クラッドスートの脱水、焼結
処理工程の生産性向上、コスト低減の必要性が益々高ま
っている。
で、長時間を要する処理であるが、特に焼結処理は内部
に未ガラス化部分が残留するのを完全に防止するととも
に、ガラス化部分に微細亀裂が発生するのを防止するた
めに、加熱速度、即ち、多孔質クラッドスートの下部か
ら上部に移動する高温部移動速度を緩やかなものするこ
とが必要である。従ってより長時間の処理とならざるを
得ないため、高価なヘリウムガスの消費量が多くなる。
このように、光ファイバプリフォームの製造は、生産コ
ストが高く、生産性の向上が要求されていたが、近年、
より大型の光ファイバプリフォームの要求が高まるとと
もに、大径化された多孔質クラッドスートの脱水、焼結
処理工程の生産性向上、コスト低減の必要性が益々高ま
っている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためのもので、大型光ファイバープリフォーム製
造用大径多孔質クラッドスートの脱水、乃至焼結処理の
処理速度を向上させるための方法と、装置の提供に係る
ものである。
決するためのもので、大型光ファイバープリフォーム製
造用大径多孔質クラッドスートの脱水、乃至焼結処理の
処理速度を向上させるための方法と、装置の提供に係る
ものである。
【００１０】本発明の要点は、脱水、焼結処理における
加熱手段を、炉心管内に吊り下げられた多孔質クラッド
スートを、炉心管外側の環状ヒータによる外周加熱によ
るだけでなく、該スートの内部からも加熱しようとする
ものである。
加熱手段を、炉心管内に吊り下げられた多孔質クラッド
スートを、炉心管外側の環状ヒータによる外周加熱によ
るだけでなく、該スートの内部からも加熱しようとする
ものである。
【００１１】本発明の第１は、コアロッドの少なくとも
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トの脱水処理、乃至は焼結処理において、前記多孔質ク
ラッドスートを外側からと、その心部にあって該スート
が堆積していないコアロッド下端部の双方から加熱する
ことを特徴とする光ファイバプリフォームの製造方法に
ついてのものである。
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トの脱水処理、乃至は焼結処理において、前記多孔質ク
ラッドスートを外側からと、その心部にあって該スート
が堆積していないコアロッド下端部の双方から加熱する
ことを特徴とする光ファイバプリフォームの製造方法に
ついてのものである。
【００１２】本発明の第２は、コアロッドの少なくとも
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トの脱水処理、乃至焼結処理において、前記多孔質クラ
ッドスートを外側から加熱する手段とは別に、その心部
にあって該スートが堆積していないコアロッドの下端部
をも加熱する手段を有することを特徴とする光ファイバ
プリフォーム製造装置についてのものである。
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トの脱水処理、乃至焼結処理において、前記多孔質クラ
ッドスートを外側から加熱する手段とは別に、その心部
にあって該スートが堆積していないコアロッドの下端部
をも加熱する手段を有することを特徴とする光ファイバ
プリフォーム製造装置についてのものである。
【００１３】本発明の第３は、コアロッドの少なくとも
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トの脱水処理、乃至焼結処理において、前記多孔質クラ
ッドスートを外側から加熱する手段とは別に、その心部
にあって、該スートが堆積していないコアロッドの下端
部をも加熱する手段を有する請求項２記載の光ファイバ
プリフォーム製造装置において、当該コアロッドの下端
部を加熱する手段が、加熱炉炉心管下部に設けられたラ
ンプヒータであること特徴とする光ファイバプリフォー
ム製造装置についてのものである。
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トの脱水処理、乃至焼結処理において、前記多孔質クラ
ッドスートを外側から加熱する手段とは別に、その心部
にあって、該スートが堆積していないコアロッドの下端
部をも加熱する手段を有する請求項２記載の光ファイバ
プリフォーム製造装置において、当該コアロッドの下端
部を加熱する手段が、加熱炉炉心管下部に設けられたラ
ンプヒータであること特徴とする光ファイバプリフォー
ム製造装置についてのものである。
【００１４】本発明の第４は、コアロッドの少なくとも
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トの脱水処理、乃至焼結処理において、前記多孔質クラ
ッドスートを外側から加熱する手段とは別に、その心部
にあって、該スートが堆積していないコアロッドの下端
部をも加熱する手段を有する請求項２記載の光ファイバ
プリフォーム製造装置において、当該コアロッドの下端
部を加熱する手段が、加熱炉炉心管下部に設けられた抵
抗加熱ヒータであることを特徴とする光ファイバプリフ
ォーム製造装置についてのものである。
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トの脱水処理、乃至焼結処理において、前記多孔質クラ
ッドスートを外側から加熱する手段とは別に、その心部
にあって、該スートが堆積していないコアロッドの下端
部をも加熱する手段を有する請求項２記載の光ファイバ
プリフォーム製造装置において、当該コアロッドの下端
部を加熱する手段が、加熱炉炉心管下部に設けられた抵
抗加熱ヒータであることを特徴とする光ファイバプリフ
ォーム製造装置についてのものである。
【００１５】本発明による課題解決手段を採用すること
により、大型光ファイバプリフォーム製造用大径多孔質
クラッドスートの脱水、乃至焼結処理速度が向上し、製
造コストの低減が可能となった。なお、上記脱水処理、
乃至焼結処理とは、脱水処理のみ、焼結処理のみ、ある
いは、脱水処理と焼結処理の両方を意味するものであ
る。
により、大型光ファイバプリフォーム製造用大径多孔質
クラッドスートの脱水、乃至焼結処理速度が向上し、製
造コストの低減が可能となった。なお、上記脱水処理、
乃至焼結処理とは、脱水処理のみ、焼結処理のみ、ある
いは、脱水処理と焼結処理の両方を意味するものであ
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１７】図１は、本発明の基本的実施の形態を示す
ものである。本実施形態における特徴は、コアロッドの
長さを図示するようにｌだけ長くし、この長くした部分
にはクラッドスートを堆積せずに残しておき、この部分
を下側にして多孔質クラッドスート６を炉心管８の中に
吊り下げ、多孔質クラッドスート６を環状ヒータ５で加
熱するとともに、コアロッド１の下部のスートが堆積し
ていない部分を環状ヒータ５とは別の加熱装置７により
加熱する構成をとった点にある。このように、コアロッ
ド１を加熱する加熱装置７を設けることによって、コア
ロッド１の下部の加熱によって加えられた熱が、コアロ
ッド１の中を通って多孔質クラッドスートの内面に伝達
されるため、多孔質クラッドスート６は、その外周面か
らだけでなく、内部からも加熱されるので、脱水、乃至
焼結が促進されることになる。従って、多孔質クラッド
スート６に与えられる単位時間当たりの熱量は、外周面
からのみ加熱される時よりも多く、それだけ処理時間の
短縮が可能となる。処理時間の短縮は、生産性の向上だ
けでなく、高価なヘリウムガスの消費量の低減に寄与す
るので、生産コストの大幅な低減に繋がる。加熱装置７
の設置による処理時間の短縮は、脱水処理、焼結処理の
いずれにも有効であるが、特に長時間処理を必要とす
る、焼結処理においてより有効に働く。
ものである。本実施形態における特徴は、コアロッドの
長さを図示するようにｌだけ長くし、この長くした部分
にはクラッドスートを堆積せずに残しておき、この部分
を下側にして多孔質クラッドスート６を炉心管８の中に
吊り下げ、多孔質クラッドスート６を環状ヒータ５で加
熱するとともに、コアロッド１の下部のスートが堆積し
ていない部分を環状ヒータ５とは別の加熱装置７により
加熱する構成をとった点にある。このように、コアロッ
ド１を加熱する加熱装置７を設けることによって、コア
ロッド１の下部の加熱によって加えられた熱が、コアロ
ッド１の中を通って多孔質クラッドスートの内面に伝達
されるため、多孔質クラッドスート６は、その外周面か
らだけでなく、内部からも加熱されるので、脱水、乃至
焼結が促進されることになる。従って、多孔質クラッド
スート６に与えられる単位時間当たりの熱量は、外周面
からのみ加熱される時よりも多く、それだけ処理時間の
短縮が可能となる。処理時間の短縮は、生産性の向上だ
けでなく、高価なヘリウムガスの消費量の低減に寄与す
るので、生産コストの大幅な低減に繋がる。加熱装置７
の設置による処理時間の短縮は、脱水処理、焼結処理の
いずれにも有効であるが、特に長時間処理を必要とす
る、焼結処理においてより有効に働く。
【００１８】加熱装置７によって、該コアロッドから多
孔質クラッドスートの中心部に供給される単位時間当た
りの熱量は、加熱装置７によって加熱されるコアロッド
の外周面積に比例するから、加熱される部分のコアロッ
ドの長さは長い方がよい。しかし、クラッドスートが堆
積していない部分のコアロッド、即ちコアロッドの余長
部分は、線引き装置に光ファイバプリフォームを把持す
るため等に使用されるものであって、最終製品である光
ファイバにならない部分であるので、余り長くする必要
はない。従って、コアロッド１の下部余長部分１’はで
きるだけ短くし、その代わりにダミーロッド１”を連結
し、必要長さｌにして使用することも可能である。
孔質クラッドスートの中心部に供給される単位時間当た
りの熱量は、加熱装置７によって加熱されるコアロッド
の外周面積に比例するから、加熱される部分のコアロッ
ドの長さは長い方がよい。しかし、クラッドスートが堆
積していない部分のコアロッド、即ちコアロッドの余長
部分は、線引き装置に光ファイバプリフォームを把持す
るため等に使用されるものであって、最終製品である光
ファイバにならない部分であるので、余り長くする必要
はない。従って、コアロッド１の下部余長部分１’はで
きるだけ短くし、その代わりにダミーロッド１”を連結
し、必要長さｌにして使用することも可能である。
【００１９】図２は、本発明の第２の実施形態を示すも
のである。本実施形態では、コアロッド１下部の加熱手
段として、炉心管８の下部外側にランプヒータ１１を設
置している。ランプヒータ１１から放出される赤外線が
透明なコアドッド１の中を通って、多孔質クラッドスー
ト６を内側から加熱する。この方式はどちらかといえ
ば、小型の設備に適しているが、ランプヒータ１１に加
える電流を、熱電対１２により測定される温度を５００
℃になるように制御すると、脱水、焼結処理に要する所
要時間は９Ｈｒ、ヘリウム流量が８０ＳＬＭで脱水、焼
結処理が完結している。従来装置により脱水、焼結した
結果は、所要時間は１４Ｈｒ、ヘリウム流量は１４０Ｓ
ＬＭであり、処理時間、ヘリウム消費量とも、従来法よ
り著しく短縮、低減している。なお、ＳＬＭは Standar
d liter per minute at 0 ℃,1 atmの略で、単位時間当
たりのガス流量を示す単位である。
のである。本実施形態では、コアロッド１下部の加熱手
段として、炉心管８の下部外側にランプヒータ１１を設
置している。ランプヒータ１１から放出される赤外線が
透明なコアドッド１の中を通って、多孔質クラッドスー
ト６を内側から加熱する。この方式はどちらかといえ
ば、小型の設備に適しているが、ランプヒータ１１に加
える電流を、熱電対１２により測定される温度を５００
℃になるように制御すると、脱水、焼結処理に要する所
要時間は９Ｈｒ、ヘリウム流量が８０ＳＬＭで脱水、焼
結処理が完結している。従来装置により脱水、焼結した
結果は、所要時間は１４Ｈｒ、ヘリウム流量は１４０Ｓ
ＬＭであり、処理時間、ヘリウム消費量とも、従来法よ
り著しく短縮、低減している。なお、ＳＬＭは Standar
d liter per minute at 0 ℃,1 atmの略で、単位時間当
たりのガス流量を示す単位である。
【００２０】図３は、第３の実施形態を示すものであ
る。本実施形態は、コアロッド１下部の加熱手段とし
て、炉心管８の下部外側に抵抗加熱ヒータ１３を設置
し、該ヒータからの輻射熱によってコアロッド１下部を
加熱する方式を採っている。この方式はどちらかといえ
ば、大型の設備に適しているが、ヒータ温度を熱電対１
２によって測定される温度を９００℃になるように制御
すると、脱水、焼結処理に要する所要時間は８Ｈｒ，ヘ
リウム流量が７５ＳＬＭで脱水、焼結処理が完結してい
る。
る。本実施形態は、コアロッド１下部の加熱手段とし
て、炉心管８の下部外側に抵抗加熱ヒータ１３を設置
し、該ヒータからの輻射熱によってコアロッド１下部を
加熱する方式を採っている。この方式はどちらかといえ
ば、大型の設備に適しているが、ヒータ温度を熱電対１
２によって測定される温度を９００℃になるように制御
すると、脱水、焼結処理に要する所要時間は８Ｈｒ，ヘ
リウム流量が７５ＳＬＭで脱水、焼結処理が完結してい
る。
【００２１】
【発明の効果】以上のように、本発明による方法、装置
を使用することにより、光ファイバプリフォームの脱
水、乃至焼結処理をより短時間で、かつ、より少ないヘ
リウム消費量で実施することが可能となるので、光ファ
イバプリフォームの生産性の向上、生産コストの低減効
果が得られる。
を使用することにより、光ファイバプリフォームの脱
水、乃至焼結処理をより短時間で、かつ、より少ないヘ
リウム消費量で実施することが可能となるので、光ファ
イバプリフォームの生産性の向上、生産コストの低減効
果が得られる。
【図１】本発明の実施形態の基本構成を示す多孔質クラ
ッドスートの脱水、焼結処理を行う光ファイバプリフォ
ーム製造装置の説明図
ッドスートの脱水、焼結処理を行う光ファイバプリフォ
ーム製造装置の説明図
【図２】本発明の第２の実施形態を示す多孔質クラッド
スートの脱水、焼結処理を行う光ファイバプリフォーム
製造装置の説明図
スートの脱水、焼結処理を行う光ファイバプリフォーム
製造装置の説明図
【図３】本発明の第３の実施形態を示す多孔質クラッド
スートの脱水、焼結処理を行う光ファイバプリフォーム
製造装置の説明図
スートの脱水、焼結処理を行う光ファイバプリフォーム
製造装置の説明図
【図４】従来の実施形態を示す光ファイバプリフォーム
の脱水、焼結装置の説明図
の脱水、焼結装置の説明図
１ コアロッド ２ 上部チャック ３ モータ ４ 支持棒 ５ 環状ヒータ ６ 多孔質クラッドスート ７ コアロッド加熱部 ８ 炉心管 ９ ガス導入孔 １０ ガス排気孔 １１ ランプヒータ １２ 熱電対 １３ 抵抗加熱ヒータ １４ 保温材
Claims (4)
- 【請求項１】 コアロッドと該コアロッドの少なくとも
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トとからなる光ファイバプリフォーム母材の脱水処理、
乃至焼結処理を行う光ファイバプリフォームの製造方法
において、前記多孔質クラッドスートを外側からと、そ
の心部にあって該スートが堆積していないコアロッド下
端部の双方から加熱することを特徴とする光ファイバプ
リフォームの製造方法。 - 【請求項２】 コアロッドと該コアロッドの少なくとも
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トとからなる光ファイバプリフォーム母材の脱水処理、
乃至焼結処理を行う光ファイバプリフォームの製造装置
において、前記多孔質クラッドスートを外側から加熱す
る手段とは別に、その心部にあって該スートが堆積して
いないコアロッドの下端部をも加熱する手段を有するこ
とを特徴とする光ファイバプリフォーム製造装置。 - 【請求項３】 コアロッドと該コアロッドの少なくとも
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トとからなる光ファイバプリフォーム母材の脱水処理、
乃至焼結処理において、前記多孔質クラッドスートを外
側から加熱する手段とは別に、その心部にあって、該ス
ートが堆積していないコアロッドの下端部をも加熱する
手段を有する光ファイバプリフォーム製造装置におい
て、当該コアロッドの下端部を加熱する手段が、加熱炉
炉心管下部に設けられたランプヒータであること特徴と
する光ファイバプリフォーム製造装置。 - 【請求項４】 コアロッドと該コアロッドの少なくとも
下端部の一部を除く部分に堆積した多孔質クラッドスー
トとからなる光ファイバプリフォーム母材の脱水処理、
乃至焼結処理において、前記多孔質クラッドスートを外
側から加熱する手段とは別に、その心部にあって、該ス
ートが堆積していないコアロッドの下端部をも加熱する
手段を有する光ファイバプリフォーム製造装置におい
て、当該コアロッドの下端部を加熱する手段が、加熱炉
炉心管下部に設けられた抵抗加熱ヒータであることを特
徴とする光ファイバプリフォーム製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10368046A JP2000185929A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 光ファイバプリフォームの製造方法及びその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10368046A JP2000185929A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 光ファイバプリフォームの製造方法及びその製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000185929A true JP2000185929A (ja) | 2000-07-04 |
Family
ID=18490845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10368046A Pending JP2000185929A (ja) | 1998-12-24 | 1998-12-24 | 光ファイバプリフォームの製造方法及びその製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000185929A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003009028A1 (en) * | 2001-07-20 | 2003-01-30 | The University Of Sydney | Preparing preforms for fibre fabrication |
| JP2009537454A (ja) * | 2006-05-24 | 2009-10-29 | ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト | 合成石英ガラスから半製品を製造する方法 |
| JP2015017013A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置および製造方法 |
-
1998
- 1998-12-24 JP JP10368046A patent/JP2000185929A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003009028A1 (en) * | 2001-07-20 | 2003-01-30 | The University Of Sydney | Preparing preforms for fibre fabrication |
| JP2009537454A (ja) * | 2006-05-24 | 2009-10-29 | ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト | 合成石英ガラスから半製品を製造する方法 |
| JP2015017013A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-01-29 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置および製造方法 |
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