JPH0274533A - 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用ガラス母材の製造方法Info
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- JPH0274533A JPH0274533A JP22658488A JP22658488A JPH0274533A JP H0274533 A JPH0274533 A JP H0274533A JP 22658488 A JP22658488 A JP 22658488A JP 22658488 A JP22658488 A JP 22658488A JP H0274533 A JPH0274533 A JP H0274533A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
i産業上の利用分野]
本発明は長平方向に構造特性が均一で不純物や気泡が極
めて少ない光ファイバ用ガラス母材の製造方法に関する
ものである。
めて少ない光ファイバ用ガラス母材の製造方法に関する
ものである。
1従来の技術]
光ファイバ用ガラス1す材を製J青する従来技術として
、ガラス原料ガスを火炎加水分解して生成するガラス微
粒子を堆積させることにより多孔質ガラス1:上材を合
1戊し、第6図に示すように、得られた多孔質ガラス母
材4を回転・1−ド動可能な支持棒3に取り付け、炉芯
管1の中で回転させながら、シー、ン加熱炉5で加熱し
て脱水処理、要すれば屈折率調整用添加剤の添加処理の
後に又はこれらの処理と同時に焼結して(透明化処理)
透明なガラス体を製造する方法がある。このとき炉芯管
1のガス導入1:17から各処理の為のガスを供給し、
炉芯管1の−1−ブタ2の排気口6から排気される。
、ガラス原料ガスを火炎加水分解して生成するガラス微
粒子を堆積させることにより多孔質ガラス1:上材を合
1戊し、第6図に示すように、得られた多孔質ガラス母
材4を回転・1−ド動可能な支持棒3に取り付け、炉芯
管1の中で回転させながら、シー、ン加熱炉5で加熱し
て脱水処理、要すれば屈折率調整用添加剤の添加処理の
後に又はこれらの処理と同時に焼結して(透明化処理)
透明なガラス体を製造する方法がある。このとき炉芯管
1のガス導入1:17から各処理の為のガスを供給し、
炉芯管1の−1−ブタ2の排気口6から排気される。
かかる方法において気泡が少なく、また不純物の少ない
光ファイバを得るためには、炉芯管内の雰囲気を厳密に
管理する必要がある。そのため炉芯管内への雰囲気の導
入方法、廃棄方法および装置に様々の工夫がなされてき
た。例えば特公昭62−34697号公報には、炉の内
径を調節することにより炉の内圧を略一定にして加熱処
理する方法などが提案されている。
光ファイバを得るためには、炉芯管内の雰囲気を厳密に
管理する必要がある。そのため炉芯管内への雰囲気の導
入方法、廃棄方法および装置に様々の工夫がなされてき
た。例えば特公昭62−34697号公報には、炉の内
径を調節することにより炉の内圧を略一定にして加熱処
理する方法などが提案されている。
:発明が解決しようとする課題」
しかし、従来のこの種のゾーン加熱炉を用いて多孔質ガ
ラスr↓材を加熱し、脱水・屈折率調整のための添加・
透明化処理を行う方法によっては、長手方向に均一で、
気泡や不純物の少ない光ファイバ用ガラス母材を得るこ
とに困難があり、前記公報に提案された方法も満足な結
果を与えるものではないことが判明した。
ラスr↓材を加熱し、脱水・屈折率調整のための添加・
透明化処理を行う方法によっては、長手方向に均一で、
気泡や不純物の少ない光ファイバ用ガラス母材を得るこ
とに困難があり、前記公報に提案された方法も満足な結
果を与えるものではないことが判明した。
本発明の目的はゾーン加熱炉を用いた多孔質ガラスは材
の加熱処理における1ユ記の問題点を解決して、長P方
向に均質で高品質な光ファイノゞ用ガラス11ヰ4を容
易に製造できる方法を提案することにある。
の加熱処理における1ユ記の問題点を解決して、長P方
向に均質で高品質な光ファイノゞ用ガラス11ヰ4を容
易に製造できる方法を提案することにある。
課題を解決するための1段1
本発明はガラス原料ガスの火炎加水分解により合成した
多孔質ガラスf:)祠を炉芯管内で回転させながらF方
より雰囲気ガスを供給しゾーン加熱炉で加熱して脱水、
屈折率調整用添加剤の添加、透明化することにより光フ
ァイバ用ガラス母材を製造する方法において、該炉芯管
内において多孔質ガラス母材の1一方近傍にドーナツ状
円盤を配置することにより炉芯管内圧の変動幅を±3m
maq以内に保持しつつ加熱することを特徴とする光フ
ァイバ用I:↓材の製造方法である。
多孔質ガラスf:)祠を炉芯管内で回転させながらF方
より雰囲気ガスを供給しゾーン加熱炉で加熱して脱水、
屈折率調整用添加剤の添加、透明化することにより光フ
ァイバ用ガラス母材を製造する方法において、該炉芯管
内において多孔質ガラス母材の1一方近傍にドーナツ状
円盤を配置することにより炉芯管内圧の変動幅を±3m
maq以内に保持しつつ加熱することを特徴とする光フ
ァイバ用I:↓材の製造方法である。
以ド、図面を参照して本発明を具体的に説明すると、本
発明は炉芯管内の圧力変動を低減できる手段どして、第
2図に斜視図を示すようなドーナツ状円板8を回転・1
−下動I+1能な支持棒3に取り付けて、第1図に示す
ようにゾーン加熱炉5の力芯管1内の多孔質ガラスCJ
材4の」一方近傍に配置して、ガス導入LJ 7から雰
囲気ガスを供給しガス排気116から排気しながら、炉
内圧の変動を13m m FJ q以内に抑えながら加
熱処理を行うもので、これににり長手方向に特性が均一
で気泡の発生や不純物の混入のない高品質のガラス1′
、上材を製造できる。
発明は炉芯管内の圧力変動を低減できる手段どして、第
2図に斜視図を示すようなドーナツ状円板8を回転・1
−下動I+1能な支持棒3に取り付けて、第1図に示す
ようにゾーン加熱炉5の力芯管1内の多孔質ガラスCJ
材4の」一方近傍に配置して、ガス導入LJ 7から雰
囲気ガスを供給しガス排気116から排気しながら、炉
内圧の変動を13m m FJ q以内に抑えながら加
熱処理を行うもので、これににり長手方向に特性が均一
で気泡の発生や不純物の混入のない高品質のガラス1′
、上材を製造できる。
該ドーナツ状円板は耐熱性があり、ガラスや間該加熱処
理」:程で使用する雰囲気ガスとの反応性の無い材料か
ら選択され、そのサイズは多孔fi II材の外径とほ
ぼ同等が好ましい。該ドーナツ状円板の使用と、これに
よって炉内圧変動を±3rnmaq以内とする点の外は
、多孔質ガラス母材をゾーン加熱炉を用いて脱水・屈折
率調整用添加剤の添加・透明化する公知技術によればよ
い。
理」:程で使用する雰囲気ガスとの反応性の無い材料か
ら選択され、そのサイズは多孔fi II材の外径とほ
ぼ同等が好ましい。該ドーナツ状円板の使用と、これに
よって炉内圧変動を±3rnmaq以内とする点の外は
、多孔質ガラス母材をゾーン加熱炉を用いて脱水・屈折
率調整用添加剤の添加・透明化する公知技術によればよ
い。
作用
第(5図に示した従来法で多孔質ガラスB)材を脱水、
1z1(折率調整のための添加、透明化という処理を行
い、長丁、方向に均一で気泡、不純物の少ない光ソrイ
バ用ガラス1ミ↓材をiIlることが困難であった理由
は以ドの通りにろ″えられる。
1z1(折率調整のための添加、透明化という処理を行
い、長丁、方向に均一で気泡、不純物の少ない光ソrイ
バ用ガラス1ミ↓材をiIlることが困難であった理由
は以ドの通りにろ″えられる。
第6図で示す例のように炉芯管1のF方のガス導入11
7より” ?+ Hc等の雰囲気ガスを導入し、L方の
排気【−16より排気を行いつつ多孔質ガスlす祠4を
回転させながらゾーン加熱炉5の加熱領域に移動させて
加熱処理を行う場合、多孔質ガラスCl材4の大部分が
ゾーン加熱炉5の加熱領域の」―方にある場合1第7図
(a)1と、多孔質ガラス母材4の人1■分がゾーン加
熱炉5の加熱領域下方にある場合[第7図(bBとで、
炉芯管1上方でのレイノルズ係数Reはそれぞれ次ぎの
ようになる。
7より” ?+ Hc等の雰囲気ガスを導入し、L方の
排気【−16より排気を行いつつ多孔質ガスlす祠4を
回転させながらゾーン加熱炉5の加熱領域に移動させて
加熱処理を行う場合、多孔質ガラスCl材4の大部分が
ゾーン加熱炉5の加熱領域の」―方にある場合1第7図
(a)1と、多孔質ガラス母材4の人1■分がゾーン加
熱炉5の加熱領域下方にある場合[第7図(bBとで、
炉芯管1上方でのレイノルズ係数Reはそれぞれ次ぎの
ようになる。
第7図(a)の場合: 1ie(a)−40P/fπ(
D、−I D、)μm同図 (b)の場合: Re(b
)−4QP/fπ(D、十d)μ)ここでQはガスの流
f+t、Pはガスの密度、D、は炉芯管lの内径、I)
、は多孔質ガラスt1材4の外径、dは支持棒3の外径
である。−・般にL)、>dであることがらRe(a)
< Re(b)となり、第8図(b)の場合の方が炉
芯管I内のガスの流れは不安定となり、炉芯管1内の圧
力変動の幅が大きくなる。
D、−I D、)μm同図 (b)の場合: Re(b
)−4QP/fπ(D、十d)μ)ここでQはガスの流
f+t、Pはガスの密度、D、は炉芯管lの内径、I)
、は多孔質ガラスt1材4の外径、dは支持棒3の外径
である。−・般にL)、>dであることがらRe(a)
< Re(b)となり、第8図(b)の場合の方が炉
芯管I内のガスの流れは不安定となり、炉芯管1内の圧
力変動の幅が大きくなる。
以l−のように炉芯管内における多孔質ガラス母材4の
位置により炉芯管l内の圧力が大きく変動し、大気圧よ
りも低下した場合は1;ブタ2と支持棒3の間もしくは
−1−ブタ2と炉芯管1の間から大気が炉芯管1内に流
入し、大気中の不純物が多孔質ガラス1す材4の中に取
り込まれたり、透明化後のガラス体中に気泡を残留させ
る結果となり、ガラス1:)材の品質を層しく低ドせし
めると考えられる。
位置により炉芯管l内の圧力が大きく変動し、大気圧よ
りも低下した場合は1;ブタ2と支持棒3の間もしくは
−1−ブタ2と炉芯管1の間から大気が炉芯管1内に流
入し、大気中の不純物が多孔質ガラス1す材4の中に取
り込まれたり、透明化後のガラス体中に気泡を残留させ
る結果となり、ガラス1:)材の品質を層しく低ドせし
めると考えられる。
本発明質等はl−記のような考察に基づき、−例として
第6図に示すような従来装置を用いて、シングルモード
光ファイバ用多孔質ガラス母材を炉芯管1内の圧力変動
をモニタしながら脱水し、焼!、’i して透明ガラス
I:)材を得、これを線引きして、得られたファイバの
長−L方向での波長1.3μmにおける伝送損失の変化
を調べてみた。その結果を第5図に示すが、同図上部に
焼結開始から焼結終rまでの時間を横軸に、炉内圧(m
maq)を縦軸にして表し、同図下部に線引きしたファ
イバの長しツノ°向長さを焼結開始部分側から焼結終了
部分側へと横軸に、波長1.31tmでの伝送損失(d
13/kn)を縦軸にして表しである。第5は1から明
らかなように、炉内月変動の幅と波長1.37zmでの
損失の変化は良くりj応し、長ト方向に特性が変動して
いることが確認された。
第6図に示すような従来装置を用いて、シングルモード
光ファイバ用多孔質ガラス母材を炉芯管1内の圧力変動
をモニタしながら脱水し、焼!、’i して透明ガラス
I:)材を得、これを線引きして、得られたファイバの
長−L方向での波長1.3μmにおける伝送損失の変化
を調べてみた。その結果を第5図に示すが、同図上部に
焼結開始から焼結終rまでの時間を横軸に、炉内圧(m
maq)を縦軸にして表し、同図下部に線引きしたファ
イバの長しツノ°向長さを焼結開始部分側から焼結終了
部分側へと横軸に、波長1.31tmでの伝送損失(d
13/kn)を縦軸にして表しである。第5は1から明
らかなように、炉内月変動の幅と波長1.37zmでの
損失の変化は良くりj応し、長ト方向に特性が変動して
いることが確認された。
本発明はゾーン加熱炉の炉芯管内の多孔質ガラスI’J
材の1一方近傍にドーナツ状円板を配置することを特徴
とするが、このようにしてガス導入[」から加熱処理用
の雰囲気ガスを供給しつつ加熱するときの炉芯管1内の
ガスの流れを第3図に矢印(→)で示す。第3図におい
て、白抜き矢印(−>)は供給ガスを表し、破線矢印(
・−・+)は炉芯管1と上ブタ2の隙間から大気が巻き
込んだ場合の流れを表す。
材の1一方近傍にドーナツ状円板を配置することを特徴
とするが、このようにしてガス導入[」から加熱処理用
の雰囲気ガスを供給しつつ加熱するときの炉芯管1内の
ガスの流れを第3図に矢印(→)で示す。第3図におい
て、白抜き矢印(−>)は供給ガスを表し、破線矢印(
・−・+)は炉芯管1と上ブタ2の隙間から大気が巻き
込んだ場合の流れを表す。
第3図から明らかなように、ドーナツ状円板8の存在に
よりレイノルズ係数 Reは小さくなり、炉芯管1内の
ガス流を層流化できる。また、仮に炉芯管内圧が急激に
変化したとしても、ドーナツ状円板8により雰囲気を分
断できるので、内圧変動の;、影響を小さくできる。史
にドーナツ状円板8の存在により炉芯管l内の雰囲気は
第3図の矢印のように流れるので、人気が巻き込んだと
しても、ドーナツ状円板8よりF方の圧力が明らかに高
いため(上部より雰囲気ガスが供給されていることによ
る)、人気が1′、)材近傍に至ることはできない。
よりレイノルズ係数 Reは小さくなり、炉芯管1内の
ガス流を層流化できる。また、仮に炉芯管内圧が急激に
変化したとしても、ドーナツ状円板8により雰囲気を分
断できるので、内圧変動の;、影響を小さくできる。史
にドーナツ状円板8の存在により炉芯管l内の雰囲気は
第3図の矢印のように流れるので、人気が巻き込んだと
しても、ドーナツ状円板8よりF方の圧力が明らかに高
いため(上部より雰囲気ガスが供給されていることによ
る)、人気が1′、)材近傍に至ることはできない。
ドーナツ状円板の外t’i’−があまり小さいと、1・
記の作用効果を得られず、また人きすぎるとか芯管との
クリアランス[8問題があるので、多孔質母材の外径と
同程度とすることが好ましい。
記の作用効果を得られず、また人きすぎるとか芯管との
クリアランス[8問題があるので、多孔質母材の外径と
同程度とすることが好ましい。
本発明において、炉内圧変動幅ををi−3m m aq
以内に保持すると限定した理由は、この変動幅以内で加
熱処理すれば、ファイバ化したものの長手方向の均一性
が保証できることが実験的に判明したからである。
以内に保持すると限定した理由は、この変動幅以内で加
熱処理すれば、ファイバ化したものの長手方向の均一性
が保証できることが実験的に判明したからである。
[実施例1
実施例
第1図(a)、(1))に示すように、ゾーン加熱炉の
bコ芯〒τ(内1¥180mrnφ)1内において、外
径i4t)mmmのドーナツ状円板8が取り付けられた
支持棒3(外径35 m m )に外径140mmφ、
」くさ600 m mmの多孔質母材1を吊リドげ、徐
々にヒーター5に近付けて透明化した。この際、ガス導
入L’+ 7からはIf cガスを2/IQ/ninの
流h↑“C流し、υ1気[+6からは排気圧1.5mm
aqで排気した。透明化処理中、1−ブタ2の近辺の炉
内圧をモニタし続けた。第4図の1一部に、このときの
処理時間と炉内圧の関係を第5図の1一部と同様に表す
か、炉内圧は最大15m rn a q、最小−1−’
l mm a q−(”変動幅は二j:l、5mmaq
以内に収まっていることが解る。
bコ芯〒τ(内1¥180mrnφ)1内において、外
径i4t)mmmのドーナツ状円板8が取り付けられた
支持棒3(外径35 m m )に外径140mmφ、
」くさ600 m mmの多孔質母材1を吊リドげ、徐
々にヒーター5に近付けて透明化した。この際、ガス導
入L’+ 7からはIf cガスを2/IQ/ninの
流h↑“C流し、υ1気[+6からは排気圧1.5mm
aqで排気した。透明化処理中、1−ブタ2の近辺の炉
内圧をモニタし続けた。第4図の1一部に、このときの
処理時間と炉内圧の関係を第5図の1一部と同様に表す
か、炉内圧は最大15m rn a q、最小−1−’
l mm a q−(”変動幅は二j:l、5mmaq
以内に収まっていることが解る。
以1.で得られたガラス母材を外径125μmのファイ
バ(コア径8μm1コアとクラッドの屈折率差△−0、
3%)に線引きし、このファイバの長下方向における波
長13μmでの伝送損失を測定した結果を、第4図の上
部に第5図の上部と同様に表す。第5図に示される従来
法による場合の炉内圧変動幅、伝送損失値に比べると、
第4図の本発明による場合は炉内圧変動幅が非常に小さ
く、伝送損、失が大幅に改冴され、極めて高品質の光フ
ァイバが高歩留まりで得られていることが解る。
バ(コア径8μm1コアとクラッドの屈折率差△−0、
3%)に線引きし、このファイバの長下方向における波
長13μmでの伝送損失を測定した結果を、第4図の上
部に第5図の上部と同様に表す。第5図に示される従来
法による場合の炉内圧変動幅、伝送損失値に比べると、
第4図の本発明による場合は炉内圧変動幅が非常に小さ
く、伝送損、失が大幅に改冴され、極めて高品質の光フ
ァイバが高歩留まりで得られていることが解る。
、発明の効果」
以」−説明したように本発明は、炉芯管中の多孔質ガラ
スIす材の」1方近傍にドーナツ状の板を配置してゾー
ン加熱炉による加熱処理を行うことにより炉芯管内子、
方のガス流を整え、圧力の変動幅を±3mmaq以内に
保つことができるので、炉芯管内への人気中の不純物の
混入を防I11でき、長手方向に均一で不純物や気泡残
留の少ない高品質の光ファイバ用ガラスIす材を製造で
きる。また、ドーナツ状円板の配置は筒中、容易であり
、装置コスト、作業性の上でも有利である。
スIす材の」1方近傍にドーナツ状の板を配置してゾー
ン加熱炉による加熱処理を行うことにより炉芯管内子、
方のガス流を整え、圧力の変動幅を±3mmaq以内に
保つことができるので、炉芯管内への人気中の不純物の
混入を防I11でき、長手方向に均一で不純物や気泡残
留の少ない高品質の光ファイバ用ガラスIす材を製造で
きる。また、ドーナツ状円板の配置は筒中、容易であり
、装置コスト、作業性の上でも有利である。
第1図は本発明の実施態様を示す概略説明図、第2図は
本発明で用いるドーナツ状円板8の斜視図、第3図は本
発明により加熱処理した場合の炉芯管内のガス流れを示
す模式図、第4図は本発明により多孔質ガス母材を加熱
処理したときの焼結開始時から焼結終了時にいたる間の
炉内圧(mmaq)の変動と、得られたガラス母材から
製造されたソングルモード光ファイバの長手方向におけ
る波長1.3μmでの伝送損失の変動の相関性を示す図
表、第5図は従来法による場合の炉内圧変動と波長1.
3μmでの伝送損失の変動の相関性を第4図と同様に示
した図表、第6図は従来法の概略説明図、第7図(a)
、 (b)は従来法による場合の炉内圧の変動の理由を
説明するための図面である。 1、炉芯管、2.上ブタ、3:支持体、4:多孔質ツノ
゛ラスf:上材、5.ヒーター 6:ガス排気口、7:
ガス導入[」、8.ドーナツ状円板。
本発明で用いるドーナツ状円板8の斜視図、第3図は本
発明により加熱処理した場合の炉芯管内のガス流れを示
す模式図、第4図は本発明により多孔質ガス母材を加熱
処理したときの焼結開始時から焼結終了時にいたる間の
炉内圧(mmaq)の変動と、得られたガラス母材から
製造されたソングルモード光ファイバの長手方向におけ
る波長1.3μmでの伝送損失の変動の相関性を示す図
表、第5図は従来法による場合の炉内圧変動と波長1.
3μmでの伝送損失の変動の相関性を第4図と同様に示
した図表、第6図は従来法の概略説明図、第7図(a)
、 (b)は従来法による場合の炉内圧の変動の理由を
説明するための図面である。 1、炉芯管、2.上ブタ、3:支持体、4:多孔質ツノ
゛ラスf:上材、5.ヒーター 6:ガス排気口、7:
ガス導入[」、8.ドーナツ状円板。
Claims (1)
- ガラス原料ガスの火炎加水分解により合成した多孔質ガ
ラス母材を炉芯管内で回転させながら下方より雰囲気ガ
スを供給しゾーン加熱炉で加熱して脱水、屈折率調整用
添加剤の添加、透明化することにより光ファイバ用ガラ
ス母材を製造する方法において、該炉芯管内において多
孔質ガラス母材の上方近傍にドーナツ状円盤を配置する
ことにより炉芯管内圧の変動幅を±3mmaq以内に保
持しつつ加熱することを特徴とする光ファイバ用母材の
製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22658488A JPH0274533A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22658488A JPH0274533A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0274533A true JPH0274533A (ja) | 1990-03-14 |
Family
ID=16847467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22658488A Pending JPH0274533A (ja) | 1988-09-12 | 1988-09-12 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0274533A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0628521A1 (en) * | 1993-06-08 | 1994-12-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Apparatus for vitrifying soot preform for optical fiber |
EP1405833A1 (en) * | 2001-06-14 | 2004-04-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
JP4825303B2 (ja) * | 2006-06-30 | 2011-11-30 | スカニア シーブイ アクチボラグ(パブル) | 自動車用の冷却装置 |
JP2013014468A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の焼結装置および焼結方法 |
-
1988
- 1988-09-12 JP JP22658488A patent/JPH0274533A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0628521A1 (en) * | 1993-06-08 | 1994-12-14 | Sumitomo Electric Industries, Ltd | Apparatus for vitrifying soot preform for optical fiber |
US5513983A (en) * | 1993-06-08 | 1996-05-07 | Sumitomo Electric Industries, Inc. | Apparatus for vitrifying soot preform for optical fiber |
EP1405833A1 (en) * | 2001-06-14 | 2004-04-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Device and method for producing stack of fine glass particles |
EP1405833A4 (en) * | 2001-06-14 | 2012-02-22 | Sumitomo Electric Industries | DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING A STACK OF GOOD GLASS PARTICLES |
JP4825303B2 (ja) * | 2006-06-30 | 2011-11-30 | スカニア シーブイ アクチボラグ(パブル) | 自動車用の冷却装置 |
JP2013014468A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の焼結装置および焼結方法 |
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