KR101169470B1 - 다공질 유리 모재의 소결 방법 및 소결 장치 - Google Patents

다공질 유리 모재의 소결 방법 및 소결 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101169470B1
KR101169470B1 KR1020050003783A KR20050003783A KR101169470B1 KR 101169470 B1 KR101169470 B1 KR 101169470B1 KR 1020050003783 A KR1020050003783 A KR 1020050003783A KR 20050003783 A KR20050003783 A KR 20050003783A KR 101169470 B1 KR101169470 B1 KR 101169470B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
base material
porous glass
glass base
sintering
heating furnace
Prior art date
Application number
KR1020050003783A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20050093707A (ko
Inventor
요시다마코토
카미오타케시
코이데히로유키
Original Assignee
신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 filed Critical 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤
Publication of KR20050093707A publication Critical patent/KR20050093707A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101169470B1 publication Critical patent/KR101169470B1/ko

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C03B37/0146Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

다공질 유리 모재를 소결하여 탈수 및 투명 유리화 처리할 때, 코어의 편심이나 모재 외주의 타원화를 일으키지 않고 소결하는 다공질 유리 모재의 소결 방법 및 소결 장치를 제공한다.
막대 모양의 다공질 유리 모재를 매달아 가열로 내를 통과시킴으로써 소결하는 다공질 유리 모재의 소결 방법에 있어서, 이 다공질 유리 모재를 소결 온도로 온도 상승된 가열로 내로 인하하고, 다공질 유리 모재의 각 부위를, 가열로체의 단열재 상단으로부터 히터 상단에 이르는 예열 영역을 4.5시간 이상에 걸쳐서 통과시킨 후, 히터로 소결하여 투명 유리화 하는 것을 특징으로 하고 있다.
다공질, 소결, 시간, 히터, 가열로, 유리화, 단열재, 예열

Description

다공질 유리 모재의 소결 방법 및 소결 장치{Sintering Method of Porous Glass preform and Sintering Apparatus Thereof}
도 1은 다공질 유리 모재의 소결 장치의 일례를 나타내는 개략 종단면도이다.
도 2는 실시예 1에 있어서의 다공질 유리 모재의 예열 영역의 통과 시간과 편심율 및 타원율의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 3은 실시예 2에 있어서의 다공질 유리 모재의 예열 영역의 통과 시간과 편심율 및 타원율의 관계를 나타내는 그래프이다.
<도면의 주요 부분에 대한 설명>
1 …… 노심관
2 …… 다공질 유리 모재
3 …… 속도 제어 장치
4 …… 파지(把持) 구동 기구
5 …… 히터
6 …… 단열재
7 …… 가스 도입관
8 …… 배기관
본 발명은 광섬유의 원재료가 되는 다공질 유리 모재를 소결하여 탈수 및 투명 유리화 하는 다공질 유리 모재의 소결 방법 및 소결 장치에 관한 것이다.
광섬유의 원재료인 다공질 유리 모재는, VAD법(Vapour Phase Axial Deposition Method)이나 OVD법(Outside Vapour Phase Deposition Method)에 의해 유리 미립자를 퇴적시킴으로써 형성되고, 그 후, 탈수 반응용 가스 및 불활성 가스가 유입되어 있는 노심관 내에 삽입되고, 가열 영역을 통과시킴으로써 소결되고, 탈수 및 투명 유리화 처리가 이루어진다. 이와 같이 하여, 코어(core)와 클래드(clad)로 이루어지는 광섬유용 유리 모재가 제조된다. 또한, 광섬유화에 있어서, 선뽑기(drawing)에 적절한 직경으로 연신하고 직경 축소하여 광섬유용 모재(preform)로 한 후, 선뽑기 기구에 걸려 광섬유로 된다.
종래, 다공질 유리 모재의 소결에 있어서, 탈수 및 투명 유리화 처리에 필요한 열에너지는, 탈수 반응용 가스 및 불활성 가스의 유량, 가열 영역의 통과 속도, 또한 가열 영역의 가열원 온도 등을 다공질 유리 모재가 녹아 남는 부분이 생기지 않고, 한편 유리 모재가 신축되지 않는 범위로 설정되어 다공질 유리 모재에 공급되고 있었다.
이때 공급하는 열에너지 양이 불충분하면, 막대 모양의 다공질 유리 모재의 표층부와 내부와의 온도차가 큰 상태에서 용융 유리화가 시작되고, 직경 방향 단면 적 내에 있어서 동심원 형상으로 유리화가 진행되지 않고, 유리화 된 부위와 유리화 되어 있지 않은 부위가, 직경 방향으로 중심축에 대해 비대칭으로 혼재하게 된다. 이 유리화 되어 있지 않은 부위가 늦게 유리화 되어 수축할 때에는, 이미 유리화 되어 저점도가 되어 있는 부근의 유리를 끌어 들여 불균일하게 수축하는 결과로 코어가 유리 모재의 축 중심으로부터 어긋나서 편심이 생긴다.
약간이라도 편심하면, 이 편심 때문에 열에너지의 공급이 더욱 더 불균일하게 되어 외주의 타원화가 유발된다. 이와 같이 일단 편심이나 타원화가 생기면, 한층 더 표면으로부터 내부에로의 열에너지의 공급이 직경 방향으로 불균일하게 되고, 불균일한 수축이 연속하여 발생하는 상태에서 소결이 진행하기 때문에 모재 전체가 편심하거나 타원화 되어 버렸다.
이러한 모재를 선뽑기 하여 얻어진 광섬유는 편심하거나 타원화 되어 있다. 이 때문에 광섬유를 서로 단면에서 접착 혹은 융착하여 접속하면, 코어(core)나 클래드(clad)의 접합면에서의 형상의 상위, 코어의 축심의 어긋남, 및 코어 직경의 상위 때문에 접속 손실이 생긴다.
광섬유용 유리 모재의 편심이나 타원화를 저감하는 방법으로서, 일본국특허공개공보 2000-256020호에 제안되어 있는 방법은, 다공질 유리 모재의 소결 전반부에서의 인하 속도를 소결 후반부보다 늦게 하는 방법이다. 그렇지만, 이 방법에서는 유리 모재의 길이 방향 전체에 걸쳐서 안정되게 편심과 타원을 저감하는 것은 곤란하다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 다공질 유리 모재를 소결하여 탈수 및 투명 유리화 할 때, 코어의 편심이나 모재 외주의 타원화를 일으키지 않고 소결하는 다공질 유리 모재의 소결 방법 및 소결 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다공질 유리 모재의 소결 방법은, 막대 모양의 다공질 유리 모재를 매달아 가열로 내를 통과시킴으로써 소결하는 다공질 유리 모재의 소결 방법에 있어서, 이 다공질 유리 모재를 소결 온도로 온도 상승된 가열로 내로 인하하고, 다공질 유리 모재의 각 부위를, 가열로체의 단열재 상단으로부터 히터(heater) 상단에 이르는 예열 영역을 4.5시간 이상에 걸쳐서 통과시킨 후, 히터로 소결하여 투명 유리화 하는 것을 특징으로 하고 있다.
또, 본 발명의 다공질 유리 모재의 소결 장치는, 막대 모양의 다공질 유리 모재를 매달아 가열로 내를 통과시킴으로써 소결하는 다공질 유리 모재의 소결 장치에 있어서, 가열로 내로 인하된 다공질 유리 모재의 각 부위가, 가열로체의 단열재 상단으로부터 히터 상단에 이르는 예열 영역을 4.5시간 이상에 걸쳐서 통과하도록 단열재의 길이가 설정되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명은, 상기 과제를 해결한 것이고, 즉 막대 모양의 다공질 유리 모재를 소결 온도로 온도 상승된 가열로 내를 통과시켜서 소결하여 투명 유리화 할 때, 다공질 유리 모재의 각 부위가 가열로체의 단열재 상단으로부터 히터 상단에 이르는 예열 영역을 4.5시간 이상에 걸쳐서 통과시킨 후 히터로 용융 유리화 하는 것을 특 징으로 하고 있다.
본 발명에 있어서는, 상기 예열 영역을 4.5시간 이상에 걸쳐서 통과시킴으로써 히터의 가열 영역에서 외측의 유리화가 시작될 때는, 다공질 유리 모재는 충분히 중심부까지 예열되어 있는 상태, 즉 직경 방향 단면적 내에서의 온도차가 작고 직경 방향으로 균일한 온도 분포로 되어 있다. 이 때문에 유리화 수축시의 편육량(偏肉量)이 적게 되어 편심이나 외주의 타원화를 수반하지 않고 균질하게 용융 유리화를 한다.
예열 영역의 통과 시간이 4.5시간 미만에서는, 중심까지 충분히 예열되지 않는 상태로, 즉, 직경 방향 단면적 내에서의 온도차가 크고, 불균일한 온도 분포 상태로 외주부의 유리화가 시작되어 버리기 때문에, 용융 유리화에 따르는 수축시의 편육량이 많아져 코어의 편심이나 외주의 타원화가 발생한다.
또, 예열 영역을 4.5시간 이상에 걸쳐서 통과시키기 위해서, 다공질 유리 모재의 인하 속도를 조정해도 좋고, 혹은 단열재의 길이를 조정해도 좋다. 단열재의 길이를 조정하는 경우에는 가열로체의 상부 전체를 단열재로 가려도 좋으며, 이 경우에는 생산성을 희생하는 일 없이 코어의 편심이나 외주의 타원화를 일으키지 않고 용융 유리화 할 수가 있다.
이와 같이, 본 발명의 다공질 유리 모재의 소결 방법에 의하면, 코어의 편심이나 외주의 타원화가 극히 억제된 고품질의 광섬유 모재가 얻어지고, 이를 선뽑기 함으로써 접속 손실이 지극히 작은 광섬유가 얻어진다.
<실시예>
(실시예 1)
본 발명의 소결 방법에 대해서 이하의 실시예에 기초하여 도면을 이용하여 보다 상세하게 설명한다.
도 1에 소결 장치의 일례를 나타내었다. 노심관(爐芯管)(1) 내에는 막대 모양의 다공질 유리 모재(2)가 인하 속도를 제어하는 속도 제어 장치(3)에 접속된 파지 구동 기구(4)를 개재하여 매달리고, 히터(5)와 단열재(6)로 이루어지는 가열로가 노심관(1)과 같은 축에 배치되어 설치되어 있다. 또, 부호 (7)은 염소 가스 등의 탈수 반응용 가스나 헬륨 등의 불활성 가스를 공급하는 가스 도입관으로 도시를 생략한 공급원에 접속되어 있다. 부호 (8)는 배기관이다.
다공질 유리 모재의 소결은 이하와 같이 하여 실시된다.
막대 모양의 다공질 유리 모재(2)는 OVD법(Outside Vapour Phase Deposition Method)에 의해 유리 미립자를 퇴적시킨 것을 이용하였다. 염소 가스와 헬륨 가스가 가스 도입관(7)으로부터 공급된다. 염소 가스와 헬륨 가스는 혼합되어 노심관(1) 내에 도입되어 노심관(1) 내에 충만된다. 히터(5)에 의해 가열 영역이 가열된다.
다공질 유리 모재(2)는 속도 제어 장치(3)에 의해 인하 속도가 제어되어 파지 구동 기구(4)에 의해 축회전하면서 저속으로 강하되어 히터의 가열 영역을 통과한다. 이에 의해 다공질 유리 모재(2)는 소결되고, 탈수 및 투명 유리화 처리가 이루어진다.
상기에 따라서 5개의 다공질 유리 모재(preform)를 이하의 5조건으로 소결하 였다.
5개의 다공질 유리 모재는 모두 외경 250mm로, 질량 80kg의 것을 이용하고, 소결시의 다공질 유리 모재의 인하 속도를 각각 1.68, 1.58, 1.48, 1.28, 1.08mm/min로 하였다. 히터(5)의 온도는 다공질 유리 모재가 녹아 남음이 발생하지 않고 신축되지 않는 온도인 1500℃로 설정하였다.
소결된 모재(preform)의 편심과 타원율의 평가는 다음과 같이 하여 행했다.
편심의 정도를 나타내는 지표로서는 코어의 축심과 모재의 중심축과의 편차량을 모재의 직경으로 나눈 값을 편심율로 하였다. 타원화의 정도를 나타내는 지표는 모재의 장경과 단경과의 차이를 모재의 직경으로 나눈 값을 타원율로 하였다. 이와 같이 정의한 편심과 타원율을 모재의 유효부를 10mm 간격으로 측정하고 그 최대치를 나타내었다. 또, 가열로의 단열재 상단으로부터 히터 상단에 이르는 예열 영역의 길이를 A(mm)로 하고 인하 속도로 예열 영역을 통과할 시간을 구하였다.
이상, 5개의 다공질 유리 모재에 대해서 얻어진 결과를 이하의 표 1에 정리하여 나타내었다.
표 1로부터 분명한 것과 같이 예열 영역의 통과 시간을 4.5시간 이상으로 하면 편심율(偏芯率), 타원율 모두 0.1% 이하로 개선되었다.
A mm 400 400 400 400 400
인하 속도 mm/min 1.68 1.58 1.48 1.38 1.28
통과 시간 시간 4.0 4.2 4.5 4.8 5.2
편심율 % 0.52 0.35 0.09 0.08 0.07
타원율 % 0.50 0.31 0.08 0.08 0.06

(실시예 2)
실시예 1에 있어서, 인하 속도를 1.65mm/min로 고정하고, 가열로의 단열재의 길이(예열 영역에 상당)를 400, 420, 450, 500, 600mm로 변화시킨 이외는 실시예 1과 같이 하여 5개의 다공질 유리 모재를 소결하였다. 그 결과를 이하의 표 2에 나타내었다.
표 2로부터 분명한 것과 같이 예열 영역의 통과 시간을 4.5시간 이상으로 하면 편심율, 타원율 모두 0.1% 이하로 개선되었다. 또한, 통과 시간을 6.0시간으로 함으로써 0.05% 이하로 개선되었다.
A mm 400 420 450 500 600
인하 속도 mm/min 1.68 1.68 1.68 1.68 1.68
통과 시간 시간 4.0 4.2 4.5 5.0 6.0
편심율 % 0.52 0.29 0.08 0.06 0.02
타원율 % 0.50 0.25 0.07 0.05 0.01

본 발명의 다공질 유리 모재의 소결 방법에 의하면, 코어의 편심이나 모재 외주의 타원화가 억제된 고품질의 광섬유용 모재가 얻어지고, 이를 선뽑기 함으로써 접속 손실이 적은 고품질의 광섬유를 제조할 수가 있다.
본 발명에 의하면, 편심율 및 타원율이 매우 작은 광섬유용 모재가 얻어지고, 이를 선뽑기 함으로써 접속 손실이 작은 광섬유를 제공할 수가 있다.

Claims (2)

  1. 삭제
  2. 막대 모양의 다공질 유리 모재를 매달아 가열로 내를 통과시킴으로써 소결하는 다공질 유리 모재의 소결 장치에 있어서,
    가열로 내로 인하된 다공질 유리 모재의 각 부위가, 가열로체의 단열재 상단으로부터 히터 상단에 이르는 예열 영역을 4.5시간 이상에 걸쳐서 통과하면서 예열되도록 상기 예열 영역에 상당하는 단열재의 길이가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 다공질 유리 모재의 소결 장치.
KR1020050003783A 2004-03-18 2005-01-14 다공질 유리 모재의 소결 방법 및 소결 장치 KR101169470B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004078168A JP2005263557A (ja) 2004-03-18 2004-03-18 多孔質ガラス母材の焼結方法及び焼結装置
JPJP-P-2004-00078168 2004-03-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050093707A KR20050093707A (ko) 2005-09-23
KR101169470B1 true KR101169470B1 (ko) 2012-07-27

Family

ID=34993596

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050003783A KR101169470B1 (ko) 2004-03-18 2005-01-14 다공질 유리 모재의 소결 방법 및 소결 장치

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20070193306A1 (ko)
EP (1) EP1736447B1 (ko)
JP (1) JP2005263557A (ko)
KR (1) KR101169470B1 (ko)
CN (1) CN100586883C (ko)
TW (1) TW200533614A (ko)
WO (1) WO2005090249A1 (ko)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5345352B2 (ja) * 2008-08-04 2013-11-20 株式会社フジクラ 光ファイバ用母材の製造方法
JP5821443B2 (ja) * 2010-09-16 2015-11-24 住友電気工業株式会社 ガラス母材の製造方法およびガラス母材を製造する焼結炉
JP5758447B2 (ja) * 2013-07-02 2015-08-05 株式会社フジクラ 光ファイバ用母材の製造方法
JP7205216B2 (ja) * 2018-12-25 2023-01-17 住友電気工業株式会社 光ファイバ用母材の製造方法
WO2020180466A1 (en) 2019-03-05 2020-09-10 Corning Incorporated System and methods for processing an optical fiber preform
CN113277716B (zh) * 2021-05-27 2022-06-03 四川神光石英科技有限公司 一种生产高品质合成石英玻璃的设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000128563A (ja) 1998-10-26 2000-05-09 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ用多孔質母材の脱水処理方法
JP2000219532A (ja) * 1998-11-26 2000-08-08 Furukawa Electric Co Ltd:The 多孔質光ファイバ母材の熱処理方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4419115A (en) * 1981-07-31 1983-12-06 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Fabrication of sintered high-silica glasses
US4599098A (en) * 1984-02-13 1986-07-08 Lightwave Technologies, Inc. Optical fiber and method of producing same
US4950319A (en) * 1986-01-30 1990-08-21 Corning Incorporated Heating oven for preparing optical waveguide fibers
GB9210327D0 (en) * 1992-05-14 1992-07-01 Tsl Group Plc Heat treatment facility for synthetic vitreous silica bodies
US5558692A (en) * 1994-07-25 1996-09-24 Corning Incorporated Optical waveguide preform measurement during manufacture
US5656057A (en) * 1995-05-19 1997-08-12 Corning Incorporated Method for drying and sintering an optical fiber preform
US6105396A (en) * 1998-07-14 2000-08-22 Lucent Technologies Inc. Method of making a large MCVD single mode fiber preform by varying internal pressure to control preform straightness
JP3169357B2 (ja) * 1999-03-12 2001-05-21 信越化学工業株式会社 多孔質ガラス母材の焼結装置および焼結方法
EP1561731B1 (en) * 1999-03-10 2011-12-07 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Method for sintering a porous glass preform
JP3169356B2 (ja) * 1999-03-10 2001-05-21 信越化学工業株式会社 多孔質ガラス母材の焼結方法および焼結装置
US6543257B1 (en) * 1999-05-28 2003-04-08 The Furukawa Electric Co., Ltd. Dehydration and sintering apparatus for porous optical fiber preform
JP2002104830A (ja) * 2000-09-27 2002-04-10 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス母材の製造方法
JP2002154838A (ja) * 2000-11-16 2002-05-28 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JP2003040638A (ja) * 2001-07-30 2003-02-13 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ母材の製造方法
US20030221459A1 (en) * 2002-05-31 2003-12-04 Walczak Wanda J. Method for forming an optical waveguide fiber preform

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000128563A (ja) 1998-10-26 2000-05-09 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ用多孔質母材の脱水処理方法
JP2000219532A (ja) * 1998-11-26 2000-08-08 Furukawa Electric Co Ltd:The 多孔質光ファイバ母材の熱処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1736447B1 (en) 2019-02-20
EP1736447A1 (en) 2006-12-27
WO2005090249A1 (ja) 2005-09-29
TW200533614A (en) 2005-10-16
KR20050093707A (ko) 2005-09-23
EP1736447A4 (en) 2011-07-13
JP2005263557A (ja) 2005-09-29
CN1934040A (zh) 2007-03-21
CN100586883C (zh) 2010-02-03
US20070193306A1 (en) 2007-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101169470B1 (ko) 다공질 유리 모재의 소결 방법 및 소결 장치
KR970006995B1 (ko) 광파이버의 제조방법
JPH08208242A (ja) 石英ガラスの製造方法
AU750390B2 (en) Method of making an optical fiber preform
GB2148273A (en) Optical fibre fabrication by the rod-in-tube method
RU2236386C2 (ru) Способ изготовления заготовки оптического волокна
US20130283863A1 (en) Method of fusing and stretching a large diameter optical waveguide
KR100587996B1 (ko) 다공질 유리 기재 소결 장치 및 그 방법
US7021083B2 (en) Manufacture of high purity glass tubes
JP3895644B2 (ja) 光ファイバ母材の多孔質スート体のガラス化方法
KR100964548B1 (ko) 광섬유 모재의 제조방법
JPH08333129A (ja) 多孔質ガラス光導波通路プリフォ−ムの乾燥および焼結方法
KR100251774B1 (ko) 광섬유 모재 오버 클래딩 방법 및 광섬유 인출방법
JP2002154838A (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
KR100251773B1 (ko) 광섬유 모재 오버 클래딩 제조장치
JP7024489B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP2003321238A (ja) 光ファイバ母材の製造方法および装置
JP3625632B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の延伸方法
KR100564498B1 (ko) 광섬유 모재봉의 오버 클래딩 방법
JPH09100132A (ja) 光ファイバ用プリフォーム
JP2003165736A (ja) 光ファイバ母材の製造方法およびこれを用いた光ファイバ母材の製造装置
US20060112732A1 (en) Method and apparatus for heating porous preform
KR20050097692A (ko) 광섬유 모재 제작 방법과 광섬유 인출 방법
JP2000264665A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP2007223824A (ja) 多孔質ガラス母材の焼結方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150618

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160617

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170616

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180717

Year of fee payment: 7