JP2000183436A5 - ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 - Google Patents

ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2000183436A5
JP2000183436A5 JP1998375919A JP37591998A JP2000183436A5 JP 2000183436 A5 JP2000183436 A5 JP 2000183436A5 JP 1998375919 A JP1998375919 A JP 1998375919A JP 37591998 A JP37591998 A JP 37591998A JP 2000183436 A5 JP2000183436 A5 JP 2000183436A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gap
peripheral surface
gas
rotating shaft
magnetic bearing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1998375919A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000183436A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP10375919A priority Critical patent/JP2000183436A/ja
Priority claimed from JP10375919A external-priority patent/JP2000183436A/ja
Priority to US09/466,063 priority patent/US6577664B1/en
Publication of JP2000183436A publication Critical patent/JP2000183436A/ja
Publication of JP2000183436A5 publication Critical patent/JP2000183436A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はハロゲンガスを含むガスレーザ装置に関し、特には、レーザガス循環用の貫流ファンの振動を抑制し、振動が起きた際にも磁気軸受を保護する手段を有するハロゲンガスを含むガスレーザ装置に関する。
【００１１】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】
上記の目的を達成するために、第１構成の発明は、
回転軸(9)の外周に装着された内輪部(10,30)とチャンバ(2)に支持された外輪部(11,31)とを有する磁気軸受(12)と、
前記磁気軸受(12)によって前記回転軸(9)を介して非接触で前記チャンバ(2)に回転自在に支承され、かつ前記チャンバ(2)内のレーザガスを循環させる貫流ファン(1)とを備えたハロゲンガスを含むガスレーザ装置において、
前記回転軸(9)の外周側に設けられたタッチダウンベアリング(15)と、
前記磁気軸受(12)の外輪部(11,31)の内周側に設けられ、前記タッチダウンベアリング(15)と回転軸(9)とレーザガスが存在する空間から前記外輪部(11,31)を遮蔽する隔壁(47)とを備え、
前記タッチダウンベアリング(15)の内周部(15B)の内周面と前記回転軸(9)の外周面とは、間隙を介して、対向して配置され、前記回転軸(9)が正常に回転する場合には前記タッチダウンベアリング(15)と前記回転軸(9)とが非接触状態を保ち、
前記所定の間隙は、前記磁気軸受(12)の内輪部(10,30)の外周面と前記隔壁(47)の内周面とのギャップよりも小さいため、前記回転軸(9)が異常振動する場合には、前記タッチダウンベアリング(15)と前記回転軸(9)とが接触して、前記磁気軸受(12)の内輪部(10,30)が前記隔壁(47)に接触することを防止している。
また、第２構成の発明は、第１構成の発明において、
前記磁気軸受(12)の内輪部(10,30)の外周面と前記隔壁(47)の内周面との間のギャップ(4)の値を測定するギャップ測定手段と、
前記ギャップ測定手段の信号出力に基づいて、前記ギャップ(4)が所定範囲内の値になるように制御するギャップ調整手段とを備えている。
また、第３構成の発明は、第１構成の発明において、
前記磁気軸受(12)の内輪部(10,30)の外周面と前記隔壁(47)の内周面との間のギャップ(4)の値を測定するギャップ測定手段を備え、
前記測定した値が所定の値よりも小さくなった際に、レーザ発振を停止し、かつ前記回転軸(9)を駆動するモータ(29)の回転を停止させる。

Claims (3)

  1. 回転軸(9)の外周に装着された内輪部(10,30)とチャンバ(2)に支持された外輪部(11,31)とを有する磁気軸受(12)と、
    前記磁気軸受(12)によって前記回転軸(9)を介して非接触で前記チャンバ(2)に回転自在に支承され、かつ前記チャンバ(2)内のレーザガスを循環させる貫流ファン(1)とを備えたハロゲンガスを含むガスレーザ装置において、
    前記回転軸(9)の外周側に設けられたタッチダウンベアリング(15)と、
    前記磁気軸受(12)の外輪部(11,31)の内周側に設けられ、前記タッチダウンベアリング(15)と回転軸(9)とレーザガスが存在する空間から前記外輪部(11,31)を遮蔽する隔壁(47)とを備え、
    前記タッチダウンベアリング(15)の内周部(15B)の内周面と前記回転軸(9)の外周面とは、間隙を介して、対向して配置され、前記回転軸(9)が正常に回転する場合には前記タッチダウンベアリング(15)と前記回転軸(9)とが非接触状態を保ち、
    前記所定の間隙は、前記磁気軸受(12)の内輪部(10,30)の外周面と前記隔壁(47)の内周面とのギャップよりも小さいため、前記回転軸(9)が異常振動する場合には、前記タッチダウンベアリング(15)と前記回転軸(9)とが接触して、前記磁気軸受(12)の内輪部(10,30)が前記隔壁(47)に接触することを防止すること
    を特徴とするハロゲンガスを含むガスレーザ装置。
  2. 前記磁気軸受(12)の内輪部(10,30)の外周面と前記隔壁(47)の内周面との間のギャップ(4)の値を測定するギャップ測定手段と、
    前記ギャップ測定手段の信号出力に基づいて、前記ギャップ(4)が所定範囲内の値になるように制御するギャップ調整手段とを備えたこと
    を特徴とする請求項１記載のハロゲンガスを含むガスレーザ装置。
  3. 前記磁気軸受(12)の内輪部(10,30)の外周面と前記隔壁(47)の内周面との間のギャップ(4)の値を測定するギャップ測定手段を備え、
    前記測定した値が所定の値よりも小さくなった際に、レーザ発振を停止し、かつ前記回転軸(9)を駆動するモータ(29)の回転を停止させること
    を特徴とする請求項１記載のハロゲンガスを含むガスレーザ装置。
JP10375919A 1998-12-18 1998-12-18 エキシマレ―ザ装置 Pending JP2000183436A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10375919A JP2000183436A (ja) 1998-12-18 1998-12-18 エキシマレ―ザ装置
US09/466,063 US6577664B1 (en) 1998-12-18 1999-12-17 Excimer laser device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10375919A JP2000183436A (ja) 1998-12-18 1998-12-18 エキシマレ―ザ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000183436A JP2000183436A (ja) 2000-06-30
JP2000183436A5 true JP2000183436A5 (ja) 2005-08-25

Family

ID=18506275

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10375919A Pending JP2000183436A (ja) 1998-12-18 1998-12-18 エキシマレ―ザ装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6577664B1 (ja)
JP (1) JP2000183436A (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4426049B2 (ja) * 1999-03-31 2010-03-03 エドワーズ株式会社 磁気軸受装置及び真空ポンプ
JP2001352114A (ja) * 2000-06-08 2001-12-21 Ebara Corp エキシマレーザ装置用磁気軸受装置
EP1188932A3 (en) * 2000-09-19 2003-05-02 Ntn Corporation Bearing structure for laser fan
DE102010001538A1 (de) * 2010-02-03 2011-08-04 Trumpf Maschinen Ag Gaslaser mit Radial- und Axialgaslager
JP6063199B2 (ja) * 2012-10-15 2017-01-18 ギガフォトン株式会社 放電励起式ガスレーザ装置
JP6307436B2 (ja) * 2012-11-05 2018-04-04 ギガフォトン株式会社 レーザチャンバ及び放電励起式ガスレーザ装置
GB201718068D0 (en) 2017-11-01 2017-12-13 Rolls Royce Plc Resonance vibration control method and system
JP2024017670A (ja) 2022-07-28 2024-02-08 株式会社荏原製作所 軸受装置、および軸受装置を備えたレーザ装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4899363A (en) * 1987-07-23 1990-02-06 The Spectranetics Corporation Gas bearings for gas lasers
US4891818A (en) * 1987-08-31 1990-01-02 Acculase, Inc. Rare gas-halogen excimer laser
JPH0521866A (ja) * 1991-07-12 1993-01-29 Komatsu Ltd ガスレーザ装置
CA2190697C (en) * 1996-01-31 2000-07-25 Donald Glenn Larson Blower motor with adjustable timing
JP3421904B2 (ja) * 1996-08-07 2003-06-30 光洋精工株式会社 工作機械用磁気軸受スピンドル装置
US5848089A (en) * 1997-07-11 1998-12-08 Cymer, Inc. Excimer laser with magnetic bearings supporting fan
US6018537A (en) * 1997-07-18 2000-01-25 Cymer, Inc. Reliable, modular, production quality narrow-band high rep rate F2 laser
DE69833001T2 (de) * 1997-10-09 2006-08-24 Kadant Black Clawson Inc., Mason Vorrichtung und verfahren zur steuerung eines raffineurs für papierbreie
US6208675B1 (en) * 1998-08-27 2001-03-27 Cymer, Inc. Blower assembly for a pulsed laser system incorporating ceramic bearings
JP2000138404A (ja) * 1998-10-29 2000-05-16 Komatsu Ltd エキシマレーザ装置用の貫流ファン

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0965617A (ja) レゾルバ付モータ
JP2000183436A5 (ja) ハロゲンガスを含むガスレーザ装置
JP3613932B2 (ja) エンコーダ内蔵形モータ
JP3567097B2 (ja) ドラム式洗濯機
JP3267419B2 (ja) 回転電機
JP3107464B2 (ja) キャンドモータ
JPS6056055B2 (ja) ブレ−キ付電動機
JPH06233510A (ja) 電動送風機
JP2511944Y2 (ja) 磁気軸受装置
JPH0534211Y2 (ja)
JPH0631355U (ja) 直流電動機
JP2846685B2 (ja) 回転体の釣合い調整構造
JP2547757Y2 (ja) 回転電機
JPH0216363A (ja) エンジンの始動充電装置
JPH11243655A (ja) ブラシレスモータのロータ部
JPH0299910A (ja) 電子写真複写機用スキヤナモーター
JPH0741919Y2 (ja) 送風機
JPH11299162A (ja) モータケース構造
JPH0429047A (ja) 真空炉におけるファン用電動機の軸受寿命決定方法
SU1453537A1 (ru) Синхронный тахогенератор
JP2004096844A (ja) ブラシレス直流モータ
JPH08298743A (ja) 回転電機
JP3989809B2 (ja) 回転電機
JP2548479Y2 (ja) 電動機
JPH0212594Y2 (ja)