JP2024017670A - 軸受装置、および軸受装置を備えたレーザ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】フッ素ガスに対する耐食性に優れ、また寸法精度や耐久性の点でも優れた軸受装置を提供する。【解決手段】フッ素ガス環境下で使用するための軸受装置が提供される。軸受装置は、磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体からなるタッチダウン軸受と、を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される。【選択図】図１

Description

本発明は、磁気軸受とタッチダウン軸受を備えた軸受装置に係り、特にフッ素ガス環境下で使用される軸受装置に関する。本発明はまた、このような軸受装置を備えたレーザ装置にも関する。

フッ素ガス等の腐食性ガス環境下で使用される軸受装置が知られている。例えば、特許文献１～３には、チャンバ内にフッ素ガスを含むエキシマレーザ装置において、貫流ファンを保持するタッチダウン軸受の表面をニッケルや窒化クロムの薄膜で被覆することで、フッ素ガスによる腐食を防止することが開示されている。

特開２０００－１８３４３６号公報 特開２００２－１６８２５２号公報 特許第６３０７４３６号公報

タッチダウン軸受をフッ素ガス環境下で使用する場合には、定期的に交換するか耐食性を上げる必要がある。耐食性を上げるために、タッチダウン軸受をセラミック材料で構成することや、タッチダウン軸受にめっきを施すことが行われている。しかしながら、セラミック製の軸受は高価であり、割れやすい問題や、大きな径の軸受を製作できないという問題がある。めっきを施したタッチダウン軸受の場合には、めっきを施す分、製作精度が悪くなり、また、めっき剥がれを起こし耐食性に対する寿命に問題が出るおそれがある。特許文献１～３のようにタッチダウン軸受の表面をニッケルや窒化クロムの薄膜で被覆した構成においても、膜の耐久性に対する懸念があり、また膜厚の累積誤差により軸受の各部の機械的な寸法精度が劣るという問題もある。

本発明は、上記の点に鑑みてなされたものであり、その目的の１つは、フッ素ガスに対する耐食性に優れ、また寸法精度や耐久性の点でも優れた軸受装置を提供することにある。また本発明は、そのような軸受装置を備えたレーザ装置を提供することも目的としている。

［形態１］形態１によれば、フッ素ガス環境下で使用するための軸受装置であって、磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体（ボールもしくはローラ、ころ等）からなるタッチダウン軸受と、を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される、軸受装置が提供される。

［形態２］形態２によれば、形態１の軸受装置において、さらに前記複数の転動体はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される。
［形態３］形態３によれば、形態１の軸受装置において、さらに前記複数の転動体はセラミックから構成される。

［形態４］形態４によれば、形態１から３のいずれか１つの軸受装置において、前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ｎｉの含有量が５０重量％以上である。

［形態５］形態５によれば、形態１から４のいずれか１つの軸受装置において、前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ｃｒの含有量が３０重量％以上である。

［形態６］形態６によれば、形態１から５のいずれか１つの軸受装置において、前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ａｌの含有量が３重量％以上である。

［形態７］形態７によれば、フッ素ガスを含むレーザガスが封入されたチャンバであって、前記レーザガスを循環させるためのファンと、前記レーザガスを放電させるための一対の放電電極と、レーザ光が通過するように配置されたウィンドウと、を備えるチャンバと、前記ファンを支持するように構成された軸受装置であって、磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体からなるタッチダウン軸受と、を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される、軸受装置と、を備えるレーザ装置が提供される。

［形態８］形態８によれば、形態７のレーザ装置において、さらに前記複数の転動体はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される。
［形態９］形態９によれば、形態７のレーザ装置において、さらに前記複数の転動体はセラミックから構成される。

［形態１０］形態１０によれば、形態７から９のいずれか１つのレーザ装置において、前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ｎｉの含有量が５０重量％以上である。

［形態１１］形態１１によれば、形態７から１０のいずれか１つのレーザ装置において、前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ｃｒの含有量が３０重量％以上である。

［形態１２］形態１２によれば、形態７から１１のいずれか１つのレーザ装置において、前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ａｌの含有量が３重量％以上である。

［形態１３］形態１３によれば、フッ素ガスを含むレーザガスが封入されたチャンバであって、前記レーザガスを循環させるためのファンと、前記レーザガスを放電させるための一対の放電電極と、レーザ光が通過するように配置されたウィンドウと、を備えるチャンバと、前記ファンを支持するように構成された軸受装置であって、磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体からなるタッチダウン軸受と、を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成され、前記内輪および前記外輪はＮｉめっきまたはセラミックコーティングされている、軸受装置と、を備えるレーザ装置が提供される。

［形態１４］形態１４によれば、形態１３のレーザ装置において、前記内輪および前記外輪の転動面以外の面にＮｉめっきまたはセラミックコーティングが施されている。

［形態１５］形態１５によれば、形態１４のレーザ装置において、前記内輪および前記外輪の表面のうち、前記タッチダウン軸受の軸方向に垂直な面であって前記チャンバに近い側の面にのみ、Ｎｉめっきまたはセラミックコーティングが施されている。

［形態１６］形態１６によれば、フッ素ガスを含むレーザガスが封入されたチャンバで
あって、前記レーザガスを循環させるためのファンと、前記レーザガスを放電させるための一対の放電電極と、レーザ光が通過するように配置されたウィンドウと、を備えるチャンバと、前記ファンを支持するように構成された軸受装置であって、磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体からなるタッチダウン軸受と、を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成され、前記内輪および前記外輪の表面のうち、前記タッチダウン軸受の軸方向に垂直な面であって前記チャンバに近い側の面は、Ｎｉめっきまたはセラミックコーティングされた金属板で覆われている、軸受装置と、を備えるレーザ装置が提供される。

本発明の一実施形態に係る軸受装置が適用されたガスレーザ装置の構成図である。 本発明の一実施形態に係る軸受装置に適用されるＮｉＣｒＡｌ合金の基本的な化学的・機械的特性を示す。 本発明の一実施形態に係る軸受装置に適用されるＮｉＣｒＡｌ合金のＨＦ溶液に対する耐食性を調べた実験の結果を示す。 本発明の一実施形態に係るエキシマレーザ装置の構成図である。 本発明の一実施形態に係るエキシマレーザ装置における、タッチダウン軸受近傍の部分拡大図である。 本発明の一実施形態に係るエキシマレーザ装置における、タッチダウン軸受近傍の部分拡大図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一の又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

図１は、本発明の一実施形態に係る軸受装置が適用されたガスレーザ装置の構成図である。軸受装置１００は、例えばエキシマレーザ装置１０に組み込むことができる。エキシマレーザ装置１０は、例えば、ＡｒＦ（アルゴン・フッ素）エキシマレーザ、ＫｒＦ（クリプトン・フッ素）エキシマレーザ、ＸｅＣｌ（キセノン・塩素）エキシマレーザ、またはＸｅＦ（キセノン・フッ素）エキシマレーザであってよい。

図１に示されるように、エキシマレーザ装置１０は、チャンバ２０、貫流ファン３０、回転軸４０、モータ５０、および軸受装置１００を備える。エキシマレーザ装置１０はさらに、不図示の放電電極およびレーザ共振器等を含む。

チャンバ２０には、Ａｒ（アルゴン）等の希ガスとＦ_２（フッ素）等のハロゲンガスからなる混合ガスが封入されている。貫流ファン３０はチャンバ２０内に設置され、混合ガスをチャンバ２０内に循環させる。モータ５０は回転軸４０を回転させ、これにより回転軸４０に取り付けられた貫流ファン３０が回転する。回転軸４０および回転軸４０に取り付けられた貫流ファン３０は、回転軸４０の両端において軸受装置１００によって支持されている。

エキシマレーザ装置１０の運転時において、混合ガスを貫流ファン３０でチャンバ２０内に循環させながら、放電電極にパルス放電を行わせる。パルス放電により希ガス原子とハロゲン原子がエキシマ分子の状態に励起して放射光が発生し、共振器においてレーザ発振が起きることによってレーザ光が発生する。

モータ５０および軸受装置１００は、チャンバ２０の外側に設けられたハウジング６０
内に配置される。また貫流ファン３０の回転軸４０の両端は、チャンバ２０から飛び出してハウジング６０の中へ延出している。ハウジング６０の内部空間は、チャンバ２０の内部空間から隔離されていなくてもよく、この場合、ハウジング６０内にはチャンバ２０と同じ混合ガス（腐食性ガス）が存在する。あるいは、ハウジング６０の内部空間は、適切な構造または部材によってチャンバ２０の内部から隔離されていてもよいが、隔離が完全でないことによってチャンバ２０から混合ガスがハウジング６０内に漏れ出す可能性がある。このように、軸受装置１００は腐食性ガスの環境下にある。

モータ５０は、ロータ５２およびステータ５４を備える。ロータ５２は、ハウジング６０に延出している回転軸４０の一部分において、その外周面に環状に装着されている。ステータ５４は、ロータ５２と対向するようにハウジング６０の内壁に設置されている。モータ５０は、ステータ５４のコイルに電流を流すことにより回転磁界を発生させ、これによりロータ５２が装着されている回転軸４０を回転させるように構成されている。

軸受装置１００は、磁気軸受１１０およびタッチダウン軸受１２０を備える。磁気軸受１１０は、磁気力により貫流ファン３０の回転軸４０を非接触で支持する。タッチダウン軸受１２０は、磁気軸受１１０が正常に動作しない場合（例えば磁気軸受１１０への電力供給が断たれた場合など）に回転軸４０が磁気軸受１１０に衝突して磁気軸受１１０が破損してしまわないように、磁気軸受１１０を保護する補助的な軸受である。貫流ファン３０の回転数は数千ｒｐｍ程度（例えば４０００～５０００ｒｐｍ）であり、磁気軸受１１０の性能はクリアランスに依存する。クリアランスはなるべく狭い方が好ましく、磁気軸受１１０のクリアランスを狭く設定するとタッチダウン軸受１２０のクリアランスは更に狭くなる。例えばタッチダウン軸受１２０のクリアランスは０．１ｍｍ以下に設定される場合もある。タッチダウン（回転軸４０のタッチダウン軸受１２０への接触）は、突然の電源遮断などの緊急事態で発生するため発生回数はそれほど多くはないが、緊急事態で貫流ファン３０を安全に停止させる必要があり、安全確保のための重要な技術である。

磁気軸受１１０は、ロータ側磁性体１１２およびハウジング側電磁コイル１１４備える。ロータ側磁性体１１２は、ハウジング６０に延出している回転軸４０の一部分の外周面に環状に装着されている。ハウジング側電磁コイル１１４は、ロータ側磁性体１１２と対向するようにハウジング６０の内壁に設置されている。磁気軸受１１０は、ハウジング側電磁コイル１１４に電流を流すことによってロータ側磁性体１１２とハウジング側電磁コイル１１４の間に磁気吸引力を形成することで、貫流ファン３０の回転軸４０を非接触で支持するように構成されている。磁気軸受１１０は、ロータ側磁性体１１２とハウジング側電磁コイル１１４の間のギャップの大きさを検知するための不図示のセンサ（例えば磁気センサ）をさらに備えてもよく、このセンサからの信号に基づいてハウジング側電磁コイル１１４への電流を調整することによって、ロータ側磁性体１１２とハウジング側電磁コイル１１４の間のギャップの大きさを一定に維持するように構成されてもよい。

タッチダウン軸受１２０は、内輪１２２、外輪１２４、および複数の転動体（ボールもしくはローラ）１２６から構成される。外輪１２４はハウジング６０の内壁に固定され、外輪１２４と内輪１２２の間に形成された溝の中に複数の転動体１２６が挟まれて配置されている。転動体１２６は内輪１２２の外周面と外輪１２４の内周面に接しており、内輪１２２は外輪１２４に対して回転可能である。内輪１２２の内周面（すなわち回転軸４０に対向する面）と回転軸４０の間には、磁気軸受１１０のロータ側磁性体１１２とハウジング側電磁コイル１１４の間のギャップよりも小さいギャップが設けられている。よって、（磁気軸受１１０の磁気反発力が不足するなど）磁気軸受１１０が正常に動作しない場合には、タッチダウン軸受１２０の内輪１２２が回転軸４０と接触することで、磁気軸受１１０におけるロータ側磁性体１１２とハウジング側電磁コイル１１４との接触が回避される。このように、磁気軸受１１０の非正常動作時には、タッチダウン軸受１２０が磁気
軸受１１０の代わりに貫流ファン３０の回転軸４０を接触支持する。これにより、磁気軸受１１０の破損が防止される。

前述したようにハウジング６０の内部空間にはチャンバ２０の混合ガスが存在するので、タッチダウン軸受１２０は常にＦ_２（フッ素）等のハロゲンガスに曝されることになり、耐食性のない材料であれば腐食してしまう。

タッチダウン軸受１２０のハロゲンガスによる腐食を防止するために、タッチダウン軸受１２０の内輪１２２および外輪１２４は、ＮｉＣｒＡｌ合金から構成されることが好都合である。タッチダウン軸受１２０の複数の転動体１２６は、同様にＮｉＣｒＡｌ合金から構成されるか、またはセラミック製であってもよい。ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｒ（クロム）、およびＡｌ（アルミニウム）を成分に含む合金である。例えば、タッチダウン軸受１２０の内輪１２２、外輪１２４、および転動体１２６は、Ｎｉの含有量が５０重量％以上のＮｉＣｒＡｌ合金から構成されてよい。また、このＮｉＣｒＡｌ合金におけるＣｒの含有量は３０重量％以上であってよく、さらに、Ａｌの含有量が３重量％以上であってもよい。

なお、「ＮｉＣｒＡｌ合金から構成される」とは、タッチダウン軸受１２０の内輪１２２の全体、外輪１２４の全体、あるいは転動体１２６の全体が、（表面だけでなく中身まで）ＮｉＣｒＡｌ合金で出来ていることを意味する。したがって、このようなタッチダウン軸受１２０の内輪１２２、外輪１２４、および転動体１２６は、表面が薄膜で被覆されていないため耐久性に優れ、また高い加工精度で作製することができる。しかし、タッチダウン軸受１２０の内輪１２２、外輪１２４、または転動体１２６は、その表面だけがＮｉＣｒＡｌ合金の薄膜で（例えばめっきや蒸着等の薄膜形成技術により）被覆され、その内部は他の金属やセラミックなどの素材で形成されていてもよい。

本発明者らは、上記のような組成のＮｉＣｒＡｌ合金が、特にＦ_２（フッ素）ガスに対して極めて高い耐食性を有することを実験により確認した。図２は、実験に用いたＮｉＣｒＡｌ合金の基本的な化学的・機械的特性を示す。Ｎｉの含有量は５８．２重量％、Ｃｒの含有量は３８重量％、Ａｌの含有量は３．８重量％であった。また引張強さは１５００Ｎ／ｍｍ^２以上であり、硬度（ＨＲＣ）は５７程度であった。硬度はＳＵＳ４４０Ｃと同程度であり、ＮｉＣｒＡｌ合金はタッチダウン軸受の材質として十分な機械的特性を有することが分かる。

ＮｉＣｒＡｌ合金のＦ_２（フッ素）ガスに対する耐食性を調べるために、上記組成のＮｉＣｒＡｌ合金を２０×２０×１５ｍｍのブロックにカットしたサンプルを４個用意し、そのうち２個のサンプルを４５℃の１％ＨＦ（フッ酸）溶液に、残りの２個のサンプルを７５℃の１％ＨＦ溶液にそれぞれ１時間浸漬し、重量変化を測定した。実験結果を図３に示す。

ＨＦ溶液の浸漬温度が４５℃の場合、いずれのサンプルにおいても腐食による減肉は認められなかった。一方、ＨＦ溶液の浸漬温度が７５℃の場合には、各サンプルに若干の減肉が認められたが、ＨＦ溶液への浸漬前のサンプル重量に対する減肉量の割合は、高々０．００４８％であった。また、浸漬後のサンプルの外観に関しては、浸漬温度が７５℃のサンプルにおいて僅かに光沢が失われていたが、顕著な外観変化は観察されなかった。

以上のように、実験に用いたＮｉＣｒＡｌ合金は、ＨＦ溶液に対して高い耐食性を有していることが明らかとなり、このことから、Ｆ_２（フッ素）ガスに対しても極めて高い耐食性を有することが期待できる。

したがって、本開示に係るＮｉＣｒＡｌ合金製のタッチダウン軸受１２０は、Ｆ_２（フッ素）ガス環境下であっても腐食することなく正常な機能を維持し続けることができる。また、本開示に係るＮｉＣｒＡｌ合金製のタッチダウン軸受１２０の内輪１２２、外輪１２４、および転動体１２６は加工によって（すなわちＮｉＣｒＡｌ合金薄膜の被覆処理によらず）作製することが可能であるため、寸法精度の高いタッチダウン軸受１２０を実現することができる。

図４は、本発明の一実施形態に係るエキシマレーザ装置の構成図である。エキシマレーザ装置１１は、チャンバ２０、貫流ファン３０、回転軸４０、モータ５０、軸受装置１００、および一対の共振ミラー７０を備える。チャンバ２０は、図１では不図示とされていた一対の放電電極２２とウィンドウ２３および２４を備える。チャンバ２０、貫流ファン３０、回転軸４０、モータ５０、および軸受装置１００は、図１のエキシマレーザ装置１０に関して説明したものと同じものであり、ここでは重複した説明は省略する。一対の共振ミラー７０は、レーザ共振器を構成している。

エキシマレーザ装置１１の運転時において、Ａｒ（アルゴン）等の希ガスとＦ_２（フッ素）等のハロゲンガスを含む混合ガス（レーザガス）を貫流ファン３０でチャンバ２０内に循環させながら、放電電極２２にパルス放電を行わせる。パルス放電により、希ガス原子とハロゲン原子がエキシマ分子の状態に励起して、放射光が発生する。放射光はウィンドウ２３および２４を介してレーザ共振器内（すなわち一対の共振ミラー７０間）を往復し、これによりレーザ発振が起きることで、レーザ光が発生する。

図１のエキシマレーザ装置１０と同様に、図４のエキシマレーザ装置１１においても、タッチダウン軸受１２０のハロゲンガスによる腐食を防止するために、タッチダウン軸受１２０の内輪１２２および外輪１２４は、ＮｉＣｒＡｌ合金から構成される。さらに、本実施形態に係るエキシマレーザ装置１１においては、ＮｉＣｒＡｌ合金から構成されたタッチダウン軸受１２０の内輪１２２および外輪１２４の表面は、Ｎｉ（ニッケル）またはＮｉを含有する材料でめっきされるか、あるいはセラミックコーティングされることが好ましい。めっきまたはセラミックコーティングが施される部位は、タッチダウン軸受１２０の駆動性能を阻害しない（すなわち転動面からのめっき剥がれによる回転不良を回避する）観点から、図５Ａに示されるように、内輪１２２および外輪１２４の転動面以外の部分に限定することが望ましい。

なお、タッチダウン軸受１２０の外周面および内周面（すなわちタッチダウン軸受１２０の径方向に垂直な面、図５Ｂ参照）にめっきまたはセラミックコーティングを施した場合、その膜厚のばらつきの分だけタッチダウン軸受１２０の径方向における隙間が消失し、それにより磁気軸受１１０のコントロール範囲が狭くなってしまうことがある。また、外周面または内周面上のめっきが傷ついて剥がれ、剥がれためっきが隙間に詰まってタッチダウン軸受１２０の故障につながることもある。これに対し、タッチダウン軸受１２０の軸方向に垂直な面のうち、チャンバ２０（または貫流ファン３０）に近い側の面は、ハロゲンガスによる腐食のリスクが高いため、より耐食性に優れていることが求められる。

そこで、図５Ｂに示されるように、タッチダウン軸受１２０の内輪１２２および外輪１２４にめっきまたはセラミックコーティングを施す部位は、腐食のリスクが高い部分、すなわち、タッチダウン軸受１２０の軸方向に垂直な面のうちチャンバ２０（または貫流ファン３０）に近い側の面にのみ限定することが、より望ましい。

なお、上記のようにタッチダウン軸受１２０の内輪１２２および外輪１２４の表面にめっきまたはセラミックコーティングを施す代わりに、めっきまたはセラミックコーティングされたＡｌ（アルミニウム）等の金属板で、タッチダウン軸受１２０の内輪１２２およ
び外輪１２４の表面を覆った構成としてもよい。金属板で覆う部位は、上述した、めっきまたはセラミックコーティングを施す部位と同じであってよい。

本実施形態によるタッチダウン軸受１２０は、ハロゲンガス（特にフッ素）に対して極めて高い耐食性を有する。また、ＮｉＣｒＡｌ合金製の内輪１２２および外輪１２４の表面がめっきまたはセラミックコーティングされていることにより、内輪１２２および外輪１２４中のＣｒ（クロム）がチャンバ２０内へ飛散しウィンドウ２３および２４を汚染してしまうことを抑制することができ、もってチャンバ２０の寿命低下を抑制することができる。

また、めっきまたはセラミックコーティングを施す部位を内輪１２２および外輪１２４の転動面以外の部分に限定することで、タッチダウン軸受１２０の駆動性能を阻害することなく、上記の効果を得ることができる。さらに、めっきまたはセラミックコーティングを施す部位をタッチダウン軸受１２０の軸方向に垂直な面のうちチャンバ２０（または貫流ファン３０）に近い側の面にのみ限定することで、磁気軸受１１０のコントロール範囲を狭めることなく、上記の効果を得ることができる。また、めっきまたはセラミックコーティングされた金属板を用いた構成においても、同様の効果を得ることができる。

以上、いくつかの例に基づいて本発明の実施形態について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。

１０ エキシマレーザ装置
２０ チャンバ
３０ 貫流ファン
４０ 回転軸
５０ モータ
５２ ロータ
５４ ステータ
６０ ハウジング
１００ 軸受装置
１１０ 磁気軸受
１１２ ロータ側磁性体
１１４ ハウジング側電磁コイル
１２０ タッチダウン軸受
１２２ 内輪
１２４ 外輪
１２６ 転動体
１１ エキシマレーザ装置
２２ 放電電極
２３、２４ ウィンドウ
７０ 共振ミラー

Claims (16)

1. フッ素ガス環境下で使用するための軸受装置であって、
   磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、
   前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体からなるタッチダウン軸受と、
   を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される、軸受装置。
2. さらに前記複数の転動体はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される、請求項１に記載の軸受装置。
3. さらに前記複数の転動体はセラミックから構成される、請求項１に記載の軸受装置。
4. 前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ｎｉの含有量が５０重量％以上である、請求項１から３のいずれか１項に記載の軸受装置。
5. 前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ｃｒの含有量が３０重量％以上である、請求項１から４のいずれか１項に記載の軸受装置。
6. 前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ａｌの含有量が３重量％以上である、請求項１から５のいずれか１項に記載の軸受装置。
7. フッ素ガスを含むレーザガスが封入されたチャンバであって、
   前記レーザガスを循環させるためのファンと、
   前記レーザガスを放電させるための一対の放電電極と、
   レーザ光が通過するように配置されたウィンドウと、
   を備えるチャンバと、
   前記ファンを支持するように構成された軸受装置であって、
   磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、
   前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体からなるタッチダウン軸受と、
   を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される、軸受装置と、
   を備えるレーザ装置。
8. さらに前記複数の転動体はＮｉＣｒＡｌ合金から構成される、請求項７に記載のレーザ装置。
9. さらに前記複数の転動体はセラミックから構成される、請求項７に記載のレーザ装置。
10. 前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ｎｉの含有量が５０重量％以上である、請求項７から９のいずれか１項に記載のレーザ装置。
11. 前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ｃｒの含有量が３０重量％以上である、請求項７から１０のいずれか１項に記載のレーザ装置。
12. 前記ＮｉＣｒＡｌ合金は、Ａｌの含有量が３重量％以上である、請求項７から１１のいずれか１項に記載のレーザ装置。
13. フッ素ガスを含むレーザガスが封入されたチャンバであって、
    前記レーザガスを循環させるためのファンと、
    前記レーザガスを放電させるための一対の放電電極と、
    レーザ光が通過するように配置されたウィンドウと、
    を備えるチャンバと、
    前記ファンを支持するように構成された軸受装置であって、
    磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、
    前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体からなるタッチダウン軸受と、
    を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成され、前記内輪および前記外輪はＮｉめっきまたはセラミックコーティングされている、軸受装置と、
    を備えるレーザ装置。
14. 前記内輪および前記外輪の転動面以外の面にＮｉめっきまたはセラミックコーティングが施されている、請求項１３に記載のレーザ装置。
15. 前記内輪および前記外輪の表面のうち、前記タッチダウン軸受の軸方向に垂直な面であって前記チャンバに近い側の面にのみ、Ｎｉめっきまたはセラミックコーティングが施されている、請求項１４に記載のレーザ装置。
16. フッ素ガスを含むレーザガスが封入されたチャンバであって、
    前記レーザガスを循環させるためのファンと、
    前記レーザガスを放電させるための一対の放電電極と、
    レーザ光が通過するように配置されたウィンドウと、
    を備えるチャンバと、
    前記ファンを支持するように構成された軸受装置であって、
    磁性体および電磁コイルを備えた磁気軸受と、
    前記磁気軸受を保護するためのタッチダウン軸受であって、内輪、外輪、および前記内輪と外輪の間に配置された複数の転動体からなるタッチダウン軸受と、
    を備え、前記タッチダウン軸受の前記内輪および前記外輪はＮｉＣｒＡｌ合金から構成され、前記内輪および前記外輪の表面のうち、前記タッチダウン軸受の軸方向に垂直な面であって前記チャンバに近い側の面は、Ｎｉめっきまたはセラミックコーティングされた金属板で覆われている、軸受装置と、
    を備えるレーザ装置。
    

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