JP6063199B2 - 放電励起式ガスレーザ装置 - Google Patents
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Description
1.概要
2.用語の説明
3.エキシマレーザ装置
3.1 構成
3.2 動作
3.3 課題
4.磁気軸受けを含むエキシマレーザ装置
4.1 レーザコントローラの制御フロー
4.1.1 レーザチャンバ交換時のフロー
4.1.2 ショット数毎や一定期間毎のフロー
4.1.3 レーザガス圧変化時のフロー
4.1.4 振動センサの検出に基づくフロー
4.1.5 エネルギ安定性の値に基づくフロー
4.1.6 波長安定性の値に基づくフロー
4.1.7 磁気軸受けコントローラのエラー出力時のフロー
4.1.8 タッチダウン時のフロー
4.2 磁気軸受けの制御パラメータの取得と設定
5.磁気軸受けの制御システム
6.磁気軸受けの較正と制御パラメータの取得と設定
6.1 磁気軸受けのセンサの較正
6.2 磁気軸受けのアクチュエータの較正
6.3 磁気軸受けの制御パラメータの取得と設定
6.3.1 磁気軸受けの制御ゲインの取得と設定
6.3.2 慣性中心制御パラメータの取得と設定
7.その他
7.1 アキシャル方向のセンサの較正とアクチュエータの較正
レーザチャンバ内に設けられたファンに用いられている磁気軸受けを制御する磁気軸受けコントローラを、レーザチャンバ外に配置し、レーザチャンバのみの交換を可能とする。磁気軸受けのセンサやゲインの調整は、レーザチャンバ交換時に行う。
本開示において使用される用語は、以下のように定義される。
3.1 構成
図1は、従来から用いられている、一般的なエキシマレーザ装置の一例を示した図である。なお、エキシマレーザ装置も、放電励起式ガスレーザ装置の一種である。エキシマレーザ装置は、露光装置300の光源として用いられてよく、発生したレーザ光を露光装置300に出力してよい。なお、露光装置300には、露光装置コントローラ301が備えられ、エキシマレーザ装置のレーザコントローラ240と相互に通信を行い、エキシマレーザ装置からのレーザ光の出力命令を行うように構成されてよい。
次に、図1及び図2を参照して、エキシマレーザ装置の動作について説明する。
次に、従来から用いられている一般的なエキシマレーザ装置の課題について説明する。
4.1 レーザコントローラの制御フロー
4.1.1 レーザチャンバ交換時のフロー
図5は、磁気軸受けを含む本実施形態に係るエキシマレーザ装置のレーザコントローラの制御フローのうち、レーザチャンバ交換時のフローを示した図である。なお、今まで説明した構成要素と同様の構成要素については、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
図6は、磁気軸受けの制御パラメータの再設定を行うべき時期であるか否かを判定するととともに、再設定を行う際にレーザコントローラが行う処理フローを示した図である。
図8は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置において、レーザガス圧が変化したときのレーザコントローラが行う処理フローの一例を示した図である。
このように、レーザガス圧の変化に基づいて、磁気軸受けの制御パラメータの再設定を行うようにしてもよい。
図9は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置において、レーザチャンバ10の振動が検出されたときのレーザコントローラが行う処理フローの一例を示した図である。
このように、振動センサ131の振動検出に基づいて、磁気軸受けの制御パラメータの再設定を行うようにしてもよい。
図10は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置において、レーザ光のエネルギ安定性の値に基づいてレーザコントローラが行う処理フローの一例を示した図である。
図11は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置において、レーザ光の波長安定性の値に基づいてレーザコントローラが行う処理フローの一例を示した図である。
図12は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置において、磁気軸受けコントローラのエラー出力時にレーザコントローラが行う処理フローの一例を示した図である。
図13は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置において、磁気軸受けのタッチダウン時にレーザコントローラが行う処理フローの一例を示した図である。
図14は、図5のステップS140、図6のステップS240、図7のステップS360、図8のステップS540、図9のステップS620、図10のステップS720、図11のステップS820、図12のステップS940及び図13のステップS1040で示した磁気軸受けの制御パラメータの取得及び設定の処理ステップについてより詳細に説明するための第1の処理フローを示した図である。
図16は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置の磁気軸受け制御系の一例を示した制御ブロック図である。図16において、レーザチャンバ10と軸受けコントローラ130からなるフィードバック制御系のブロック図が示されている。なお、レーザチャンバ10内には、軸90に変位を検出する変位センサ120が新たに設けられているものとする。
6.1 磁気軸受けのセンサの較正
図18は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置の磁気軸受けの変位センサの較正方法を説明するための図である。
図21は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置の磁気軸受けのアクチュエータの較正方法を説明するための図である。
6.3.1 磁気軸受けの制御ゲインの取得と設定
図24は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置の磁気軸受けの制御系の一例を示したブロック図である。
図27は、本実施形態に係るエキシマレーザ装置における慣性中心制御の制御パラメータの取得及び設定について説明するための図である。
7.1 アキシャル方向の変位センサの較正とアクチュエータの較正
図31は、アキシャル方向の磁気軸受けの断面構成の一例を示した図である。今まで、ラジアル方向について変位センサ及びアクチュエータを較正する実施形態について説明したが、同様に、アキシャル方向についても、変位センサ及びアクチュエータの較正を行うことが可能である。以下、その内容について説明する。
20、21 電極
80 クロスフローファン
90 軸
100、101 磁気軸受け
150 磁気軸受けコントローラ
240 レーザコントローラ
280 レーザフレーム
Claims (3)
- レーザを発生させるレーザチャンバと、
該レーザチャンバ内に設けられた一対の放電電極と、
前記レーザチャンバ内に設けられ、前記レーザチャンバ内のガスを循環可能に構成された磁気軸受けを備えたファンと、
前記レーザチャンバを収容する筐体と、
前記磁気軸受けに電気的に接続され、前記磁気軸受けを制御可能であるとともに、前記レーザチャンバとは別体として前記筐体内に設けられた磁気軸受けコントローラと、
前記レーザの発生を制御するレーザコントローラと、
を備え、
前記ファンは、ロータを備え、
前記磁気軸受けは、前記ロータを浮上させる磁気浮上アクチュエータと、前記ロータの位置を検出する変位センサとを備え、
前記レーザコントローラは、前記磁気軸受けコントローラに、
前記変位センサ及び前記磁気浮上アクチュエータの較正を行わせるとともに、較正された前記変位センサ及び前記磁気浮上アクチュエータを用いて、前記磁気軸受けの制御に必要な制御パラメータを算出して設定させ、
前記ファンの回転数を制御するモータコントローラが、前記ファンを回転させるモータと前記磁気軸受けコントローラとに接続されている
放電励起式ガスレーザ装置。 - 前記レーザコントローラは、前記レーザチャンバの交換後の設置と、前記磁気軸受けのタッチダウンと、前記磁気軸受けのエラーの少なくとも1つを検出したときに、前記制御パラメータの算出及び設定を前記磁気軸受けコントローラに行わせる
請求項1に記載の放電励起式ガスレーザ装置。 - 前記レーザチャンバは、独立して交換可能であり、
前記レーザコントローラは、前記レーザチャンバの交換後に、所定の時間経過、前記レーザの所定の出力回数、前記レーザチャンバ内の所定のガス圧の所定の変化、前記レーザチャンバの振動、前記レーザの波長安定性の所定の変化、前記レーザのエネルギ安定性の所定の変化、前記磁気軸受けのタッチダウン、及び前記磁気軸受けコントローラのエラー、の少なくとも1つを検出したときに、前記磁気軸受けコントローラに、前記制御パラメータの算出と設定を行わせる
請求項1に記載の放電励起式ガスレーザ装置。
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