CN110999044B - 旋转驱动装置、轴流送风器、组装方法、激光振荡装置 - Google Patents

Abstract

旋转驱动装置具有：壳体(6)；定子保持部(51)，其设置于定子(2)的外周部；叶片基部(52)，其是圆筒部件；凸缘(53)，其从圆筒部件的轴线方向的端部朝向旋转轴(8)延伸，与定子保持部(51)的轴线方向的端部相对；以及紧固部件，其经由凸缘(53)而紧固于定子保持部(51)的轴线方向的端部。在凸缘(53)形成有贯通孔，该贯通孔在轴线方向贯通凸缘(53)，供紧固部件插入。贯通孔的直径小于紧固部件的头部的直径，且大于紧固部件的螺纹部的直径。在壳体(6)，在径向上依次排列旋转轴(8)、转子(1)、定子(2)、定子保持部(51)、圆筒部件，旋转轴(8)、转子(1)、定子(2)、定子保持部(51)、圆筒部件设置于同心圆上。

Description

旋转驱动装置、轴流送风器、组装方法、激光振荡装置

技术领域

本发明涉及具有电动机的旋转驱动装置、旋转驱动装置的组装方法、轴流送风器、轴流送风器的组装方法及激光振荡装置。

背景技术

在专利文献1中公开了能够将转子的中心轴和定子的中心轴的轴心高精度地对准的旋转电机的组装方法及构造。在专利文献1中公开的旋转电机组装方法是将带转子的壳体罩组装于对定子进行收容的壳体的方法。壳体罩具有：罩体、经由凸缘体而一体地安装于罩体的轴、设置于凸缘体的转子芯、以及埋入至转子芯的永磁铁。在罩体的内周侧设置凸缘部。凸缘部用于对在壳体罩与带定子的壳体组合时，与转子的永磁铁和作为磁体的定子芯之间的吸力相对应地在罩体产生的磁铁反作用力进行测定。凸缘部相对于罩体的中心位置而设置于同心圆上。在专利文献1所公开的旋转电机组装方法中，使用凸缘部使壳体罩旋转360度，遍及凸缘部的整周范围测定壳体罩相对于壳体的偏心度，对壳体罩相对于壳体的位置进行调整并紧固，以使得旋转一个周期时的偏心度变得均等。

在专利文献2中公开的激光振荡装置，具有封入了激光介质气体的振荡器框体。在振荡器框体的内部设置：放电部，其具有用于激光介质气体的放电激励的一对放电电极；轴流送风器，其使激光介质气体循环；以及热交换器，其冷却激光介质气体。

专利文献1：日本专利第5742560号公报

专利文献2：国际公开第2015/093076号

发明内容

近年来，对激光振荡装置要求高输出化和小型化，需要提高激光振荡装置的激光介质气体的冷却能力。为了提高激光介质气体的冷却能力，将使激光介质气体循环的轴流送风器高速旋转化是有效的。但是在现有技术中，旋转速度越高，则轴流送风器所具有的旋转体的弯曲固有振动频率越降低，因此难以实现高速旋转化。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到能够实现高速旋转的旋转驱动装置。

为了解决上述的课题，并达到目的，本发明所涉及的旋转驱动装置的特征在于，具有：旋转轴；转子，其设置于旋转轴的外周部；定子，其设置于转子的外周部；壳体，其收纳定子；一对轴承，它们设置于旋转轴的两端，对旋转轴进行支撑；一对轴承保持部，它们设置于壳体的两端，对轴承进行保持；定子保持部，其设置于定子的外周部；圆筒部件，其设置于定子保持部的外周部；凸缘，其从圆筒部件的轴线方向的端部朝向旋转轴延伸，与定子保持部的轴线方向的端部相对；以及紧固部件，其经由凸缘而紧固于定子保持部的轴线方向的端部。在凸缘形成贯通孔，该贯通孔在轴线方向贯通凸缘，供紧固部件插入，贯通孔的直径小于紧固部件的头部的直径，且大于紧固部件的螺纹部的直径，在壳体，在径向依次排列旋转轴、转子、定子、定子保持部、圆筒部件，旋转轴、转子、定子、定子保持部、圆筒部件设置于同心圆上。

发明的效果

本发明所涉及的旋转驱动装置具有能够实现高速旋转这样的效果。

附图说明

图1是实施方式1所涉及的轴流送风器的斜视图。

图2是实施方式1所涉及的轴流送风器的第1剖视图。

图3是实施方式1所涉及的轴流送风器的第2剖视图。

图4是实施方式1所涉及的轴流送风器的第3剖视图。

图5是从轴线方向观察实施方式1所涉及的轴流送风器的图。

图6是实施方式2所涉及的轴流送风器的剖视图。

图7是实施方式3所涉及的激光振荡装置的斜视图。

图8是实施方式3所涉及的激光振荡装置的剖视图。

具体实施方式

下面，基于附图对本发明的实施方式所涉及的旋转驱动装置、旋转驱动装置的组装方法、轴流送风器、轴流送风器的组装方法及激光振荡装置详细地进行说明。此外，本发明并不限定于本实施方式。

实施方式1.

图1是实施方式1所涉及的轴流送风器的斜视图。图2是实施方式1所涉及的轴流送风器的第1剖视图。图3是实施方式1所涉及的轴流送风器的第2剖视图。图4是实施方式1所涉及的轴流送风器的第3剖视图。图5是从轴线方向观察实施方式1所涉及的轴流送风器的图。中心轴由标号AX表示。中心轴AX是壳体6、旋转轴8、转子1及定子2各自的径向的中心。中心轴AX的周向由箭头D1表示。中心轴AX的延伸方向即轴线方向由箭头D2表示。壳体6的径向由箭头D3表示。径向D3等于与轴线方向D2正交的方向。在图2至图4中示出从周向D1的不同的角度观察轴流送风器100的状态，图2至图5是用于对偏心调整工序进行说明的图。以下一边参照图1至图5，一边对实施方式1所涉及的轴流送风器100的结构进行说明。

轴流送风器100具有圆筒状的壳体6、在轴线方向D2延伸的旋转轴8、旋转驱动旋转轴8的电动机3、第1静叶5、第1动叶11、第2动叶12、第1推力磁轴承17、第2推力磁轴承18、第1径向磁轴承部29和第2径向磁轴承部30。

壳体6是将铝合金、奥氏体系不锈钢合金、铜合金、铸铁、钢或铁合金形成为圆筒状的部件。在壳体6形成多个贯通孔6a、多个贯通孔6b、基座6c和多个螺孔6d。

贯通孔6a是从壳体6的外周面贯通至内周面的空腔。多个贯通孔6a在周向D1上彼此分离地排列。向多个贯通孔6a分别插入螺钉60。插入至贯通孔6a的螺钉60的前端与壳体6的内周面相比凸出至径向D3的内侧，螺入至叶片54。叶片54是第1静叶5的结构要素。第1静叶5的详细内容在后面记述。

贯通孔6b是从壳体6的外周面贯通至内周面的空腔。多个贯通孔6b在周向D1上彼此分离地排列。向多个贯通孔6b分别插入冷却水循环用的入水配管71、冷却水循环用的出水配管72、以及定子线圈的电力线73。入水配管71及出水配管72各自的径向D3的前端如图4所示，到达至定子保持部51。

基座6c设置于壳体6的外侧。基座6c可以使用与壳体6的材料相同的材料通过压铸与壳体6一体地形成，也可以使用与壳体6的材料相同的材料在通过压铸制造之后焊接而设置于壳体6。基座6c是用于在后面记述的激光振荡装置的框体固定轴流送风器100的安装部件。基座6c的形状只要能够在激光振荡装置的框体固定轴流送风器100，则并不限定于板形状。

螺孔6d是在壳体6的两端形成的孔。多个螺孔6d在周向D1上彼此分离地排列。向螺孔6d插入螺钉61。螺钉61是用于在壳体6固定第1轴承保持部19和第2轴承保持部20的紧固部件。第1轴承保持部19和第2轴承保持部20的构造的详细内容在后面记述。

旋转轴8是将铝合金、奥氏体系不锈钢合金、铜合金、铸铁、钢或铁合金形成为圆柱状的部件。旋转轴8是沿中心轴AX延伸的输出轴。

旋转驱动旋转轴8的电动机3是通过未图示的驱动器以特定的输出及转速进行驱动的旋转电机。电动机3可以是感应电动机及永磁铁电动机中的任意者。电动机3具有：定子2，其设置于壳体6的内侧；以及转子1，其设置于定子2的内侧并且设置于旋转轴8的外周部。

定子2在径向D3上与转子1的外周面相对地设置。定子2以中心轴AX为中心而设置于同心圆上。定子2具有筒状的磁体即定子芯和定子绕组。转子1在定子2的内侧的区域中，设置于旋转轴8的轴线方向D2的中央。转子1以中心轴AX为中心而设置于同心圆上。转子1是筒状的磁体。旋转轴8被第1径向磁轴承13及第2径向磁轴承16支撑，由此转子1支撑于壳体6。转子1旋转，由此旋转轴8旋转。在本实施方式中，转子1嵌入至旋转轴8的外周部，但也可以是将旋转轴8埋入至转子1的结构。

第1静叶5具有圆筒部件即叶片基部52、凸缘53和多个叶片54。关于叶片基部52、凸缘53及多个叶片54的材料，能够例示出铝合金、奥氏体系不锈钢合金、铜合金、铸铁、钢或铁合金。

叶片基部52是在轴线方向D2上延伸的圆筒状的部件。叶片基部52以中心轴AX为中心而设置于同心圆上。叶片基部52与定子保持部51的外周部分离而设置于定子保持部51的外侧。定子保持部51是在轴线方向D2上延伸的圆筒状的部件。定子保持部51以中心轴AX为中心而设置于同心圆上。定子保持部51设置为将定子2的外周部覆盖。在定子保持部51设置用于冷却电动机3的冷却水路即槽51d、密闭部件即O型密封圈51b、以及供O型密封圈51b插入的环状槽51c。向定子保持部51的环状槽51c插入O型密封圈51b，为了不使冷却水泄漏而进行密闭的环状的罩55一边压扁O型密封圈51b、一边嵌入至定子保持部51的外周部。嵌入至定子保持部51的罩55螺纹紧固于定子保持部51。在罩55形成在径向D3方向上贯通的贯通孔。如图4所示，在该贯通孔连接入水配管71及出水配管72的前端。由此，入水配管71及出水配管72与定子保持部51的槽51d连通。

在叶片基部52的外周部设置多个叶片54。多个叶片54可以使用与叶片基部52的材料相同的材料通过压铸而与叶片基部52一体地形成，也可以使用与叶片基部52的材料相同的材料在通过压铸制造之后焊接而设置于叶片基部52。多个叶片54在周向D1上彼此分离地排列。多个叶片54各自的径向D3的外侧的端部与壳体6的内侧相接。

凸缘53设置于叶片基部52的轴线方向D2的端部。凸缘53可以使用与叶片基部52的材料相同的材料通过压铸而与叶片基部52一体地形成，也可以使用与叶片基部52的材料相同的材料在通过压铸制造之后焊接而设置于叶片基部52。凸缘53是从圆筒部件即叶片基部52的轴线方向D2的端部朝向旋转轴8延伸的环状的部件。凸缘53与定子保持部51的轴线方向D2的端部相对。凸缘53的内径小于定子保持部51的外径，且大于定子绕组的外径。凸缘53的内周部与定子绕组非接触。在图4中凸缘53的内径与定子保持部51的内径大致相当。

如图4所示在凸缘53形成贯通孔53a。贯通孔53a是供电动机3的偏心调整用的紧固部件56插入的孔。贯通孔53a在轴线方向D2上将凸缘53贯通。贯通孔53a的直径小于紧固部件56的头部的直径，且大于紧固部件56的螺纹部的直径。此外，紧固部件56的螺纹部是能够向在定子保持部51形成的孔51a螺入的外螺纹构造。紧固部件56能够例示出螺栓。在贯通孔53a中插入了紧固部件56的螺纹部的状态下，在贯通孔53a的壁面和紧固部件56的螺纹部的外周部之间形成间隙53b。通过设置间隙53b，从而能够在后面记述的偏心调整工序中，使定子2的径向D3的位置进行偏移。

图1所示的螺钉60螺入至第1静叶5的叶片54，由此第1静叶5固定于壳体6。由此，在第1静叶5的内侧设置的定子2间接地固定于壳体6。即，定子保持部51嵌合于定子2的外周部，在叶片基部52的内侧，定子保持部51固定于凸缘53，因此定子2固定于壳体6。

另外，固定于壳体6的第1静叶5如图4所示，兼作为电动机3的偏心调整部7。偏心调整部7由在定子保持部51形成的孔51a、紧固部件56和贯通孔53a构成。在孔51a的内壁形成有内螺纹。在后面记述的电动机3的偏心调整工序中，使定子保持部51及凸缘53的轴线方向端部彼此接触，经由壳体6，以转子1的中心轴AX为基准，对定子2的中心轴AX的径向D3的位置进行调整。然后，在设置于定子保持部51的端面的孔51a固定紧固部件56。电动机3的偏心调整工序的详细内容在后面记述。

第1动叶11设置于第1静叶5和第1轴承保持部19之间。第1动叶11具有背板部11a、圆筒部11b和多个叶片11c。关于第1动叶11、圆筒部11b及叶片11c的材料，能够例示出铝合金、奥氏体系不锈钢合金、铜合金、铸铁、钢或铁合金。

背板部11a是固定于第1动叶保持部9的圆盘状的部件。在背板部11a形成在轴线方向D2上贯通的多个贯通孔11a1。多个贯通孔11a1在周向D1上彼此分离地排列。向贯通孔11a1插入动叶安装螺钉14。在背板部11a，在径向D3的中心形成动叶保持孔11a2。

第1动叶保持部9是设置于转子1和第1轴承保持部19之间的环状的部件。关于第1动叶保持部9的材料，能够例示出铝合金、奥氏体系不锈钢合金、铜合金、铸铁、钢或铁合金。第1动叶保持部9设置于旋转轴8的外周部，固定于旋转轴8。

第1动叶保持部9具有第1环状部9a和在第1环状部9a的第1轴承保持部19侧设置的第2环状部9b。第1环状部9a的外径小于定子绕组的内径。在第1环状部9a，在径向D3的中心部形成贯通孔。该贯通孔是旋转轴8贯通的孔。另外，在第1环状部9a形成将用于固定第1动叶11的动叶安装螺钉14插入的贯通孔9a1。贯通孔9a1设置于第1动叶保持部9的径向D3的靠外侧，在周向D1上分离地设置多个。第2环状部9b的直径小于第1环状部9a的直径。背板部11a的动叶保持孔11a2的内周面与第2环状部9b的外周面相接。在动叶保持孔11a2的内周面与第2环状部9b的外周面相接的状态下，向背板部11a的贯通孔11a1和第1环状部9a的贯通孔9a1螺入动叶安装螺钉14。由此，背板部11a固定于第1动叶保持部9。

圆筒部11b是设置于背板部11a的径向D3的外侧，从背板部11a朝向第1静叶5延伸的圆筒状的部件。多个叶片11c设置于圆筒部11b的径向D3的外侧，从圆筒部11b朝向壳体6的内周面延伸。多个叶片11c在周向D1上彼此分离地排列。

第2动叶12设置于第1静叶5和第2轴承保持部20之间。第2动叶12具有背板部12a、圆筒部12b和多个叶片12c。关于第2动叶12、圆筒部12b及叶片12c的材料，能够例示出铝合金、奥氏体系不锈钢合金、铜合金、铸铁、钢或铁合金。

背板部12a是固定于第2动叶保持部10的圆盘状的部件。在背板部12a形成在轴线方向D2上贯通的多个贯通孔12a1。多个贯通孔12a1在周向D1上彼此分离地排列。向贯通孔12a1插入动叶安装螺钉15。在背板部12a，在径向D3的中心形成动叶保持孔12a2。

第2动叶保持部10是设置于转子1和第2轴承保持部20之间的环状的部件。关于第2动叶保持部10的材料，能够例示出铝合金、奥氏体系不锈钢合金、铜合金、铸铁、钢或铁合金。第2动叶保持部10设置于旋转轴8的外周部，固定于旋转轴8。

第2动叶保持部10具有第1环状部10a和在第2轴承保持部20侧设置的第2环状部10b。第1环状部10a的外径小于定子绕组的内径。在第1环状部10a，在径向D3的中心部形成贯通孔。该贯通孔是旋转轴8贯通的孔。另外，在第1环状部10a形成将用于固定第2动叶12的动叶安装螺钉15插入的螺钉贯通孔10a1。螺钉贯通孔10a1设置于第2动叶保持部10的径向D3的靠外侧，在周向D1上分离地设置多个。第2环状部10b的直径小于第1环状部10a的直径。背板部12a的动叶保持孔12a2的内周面与第2环状部10b的外周面相接。在动叶保持孔12a2的内周面与第2环状部10b的外周面相接的状态下，向背板部12a的贯通孔12a1和第1环状部10a的螺钉贯通孔10a1螺入动叶安装螺钉15。由此，背板部12a固定于第2动叶保持部10。

圆筒部12b是设置于背板部12a的径向D3的外侧，从背板部12a朝向第1静叶5延伸的圆筒状的部件。多个叶片12c设置于圆筒部12b的径向D3的外侧，从圆筒部12b朝向壳体6的内周面延伸。多个叶片12c在周向D1上彼此分离地排列。

第1推力磁轴承17是设置于第1径向磁轴承部29而承受旋转轴8的推力方向的载荷的磁轴承。第1推力磁轴承17具有旋转部17a及固定部17b。旋转部17a设置于第1径向磁轴承13的与第1动叶11侧的相反侧。旋转部17a设置于旋转轴8，与旋转轴8一起旋转。设置旋转部17a的位置是从第1轴承保持部19凸出的旋转轴8的靠前端的部分。固定部17b固定于第1径向磁轴承13的轴线方向D2的端部，并且在轴线方向D2上与旋转部17a相对地设置。作为旋转部17a的材料而使用金属，作为固定部17b而使用电磁铁。

第2推力磁轴承18是设置于第2径向磁轴承部30而承受旋转轴8的推力方向的载荷的磁轴承。第2推力磁轴承18具有旋转部18a及固定部18b。旋转部18a设置于第2径向磁轴承16的与第2动叶12侧的相反侧。旋转部18a设置于旋转轴8，与旋转轴8一起旋转。设置旋转部18a的位置是从第2轴承保持部20凸出的旋转轴8的靠前端的部分。固定部18b固定于第2径向磁轴承16的轴线方向D2的端部，并且在轴线方向D2上与旋转部18a相对地设置。作为旋转部18a的材料而使用金属，作为固定部18b而使用电磁铁。

此外，第1推力磁轴承17及第2推力磁轴承18可以分别设置于旋转轴8的两端，也可以仅设置于旋转轴8的两端中的任一端。

第1径向磁轴承部29具有：第1轴承保持部19，其设置于壳体6的轴线方向D2的一端；以及第1径向磁轴承13，其设置于第1轴承保持部19的内侧。

第1轴承保持部19具有圆筒部19a及多个支撑梁部19b。圆筒部19a的外径小于第1静叶5的叶片基部52的外径，且小于第1动叶11的圆筒部11b的外径，是不妨碍激光介质气体的流路的大小。

如图4所示，在圆筒部19a形成贯通孔19c。贯通孔19c是在轴线方向D2上将圆筒部19a贯通的孔。贯通孔19c的直径大于未图示的紧固工具的直径。该紧固工具是将紧固部件56紧固于定子保持部51的孔51a的工具。即，该紧固工具是在通过紧固部件56将凸缘53固定于定子保持部51时使用的工具。

如图2所示支撑梁部19b从圆筒部19a的外周部朝向径向D3延伸。支撑梁部19b设置于激光介质气体的流路中，因此形成为梁形状，以使得不妨碍激光介质气体的流动。如图1所示，多个支撑梁部19b在周向D1上分离地设置，以机械角90°的间隔设置。

如图5所示，在支撑梁部19b的靠前端的部分，形成在轴线方向D2上贯通的螺孔19b1和销孔19b2。螺孔19b1是供螺钉61插入的贯通孔，该螺钉61用于将支撑梁部19b固定于壳体6。销孔19b2是与设置于壳体6的销47嵌合的定位用的孔。销孔19b2在承受旋转体的自重的径向D3上设置多个。具体地说，分别设置于圆筒部19a的沿上下方向延伸的2根支撑梁部19b。销47是从壳体6的端面在轴线方向D2上延伸的形状。销47在承受旋转体的自重的径向D3上设置多个。具体地说，在壳体6的端面的上部和下部的2个部位设置销47。在第2轴承保持部20也设置有与螺孔19b1及销孔19b2相同的结构。

设置于壳体6的销47与销孔19b2嵌合，在支撑梁部19b与壳体6的端面相接的状态下，向壳体6的螺孔6d和支撑梁部19b的螺孔19b1插入螺钉61。由此，支撑梁部19b固定于壳体6。轴承保持部向壳体6固定时使用销47，从而相对于壳体6，在承受旋转体的自重的径向D3上，高精度地定位固定轴承保持部。

第1径向磁轴承13具有旋转部13a及固定部13b。旋转部13a是设置于旋转轴8，与旋转轴8一起旋转的筒状部件。设置旋转部13a的位置是在第1轴承保持部19的圆筒部19a的内侧的区域中靠近第1动叶11的区域。固定部13b设置于旋转部13a和圆筒部19a之间。固定部13b固定于圆筒部19a的内侧，并且在径向D3上与旋转部13a相对地设置。作为旋转部13a的材料而使用金属，作为固定部13b而使用电磁铁。

第2径向磁轴承部30具有：第2轴承保持部20，其设置于壳体6的轴线方向D2的另一端；以及第2径向磁轴承16，其设置于第2轴承保持部20的内侧。

第2轴承保持部20具有圆筒部20a及多个支撑梁部20b。圆筒部20a的外径小于第1静叶5的叶片基部52的外径，且小于第2动叶12的圆筒部12b的外径，是不妨碍激光介质气体的流路的大小。

支撑梁部20b从圆筒部20a的外周部朝向径向D3延伸。支撑梁部20b设置于激光介质气体的流路中，因此形成为梁形状，以使得不妨碍激光介质气体的流动。如图1所示，多个支撑梁部20b在周向D1上分离地设置，以机械角90°的间隔设置。

第2径向磁轴承16具有旋转部16a及固定部16b。旋转部16a是设置于旋转轴8，与旋转轴8一起旋转的筒状部件。设置旋转部16a的位置是在第2轴承保持部20的圆筒部20a的内侧的区域中靠近第2动叶12的区域。固定部16b设置于旋转部16a和圆筒部20a之间。固定部16b固定于圆筒部20a的内侧，并且在径向D3上与旋转部16a相对地设置。作为旋转部16a的材料而使用金属，作为固定部16b而使用电磁铁。

在如上所述构成的轴流送风器100中，转子1、定子2、定子保持部51、叶片基部52及叶片54从中心轴AX朝向壳体6的内周面，依次排列转子1、定子2、定子保持部51、叶片基部52及叶片54。

下面，对第1动叶11向第1动叶保持部9的固定方法进行说明。使背板部11a的动叶保持孔11a2与第1动叶保持部9的第2环状部9b嵌合。接下来，在使第1动叶11的背板部11a与第1动叶保持部9的第1环状部9a接触的状态下，将动叶安装螺钉14螺入至第1动叶保持部9。由此第1动叶11固定于第1动叶保持部9。第2动叶12向第2动叶保持部10的固定方法也是同样的。

在如上所述构成的轴流送风器100中，旋转轴8、转子1、第1动叶保持部9、第2动叶保持部10、第1动叶11、第2动叶12、旋转部13a及旋转部16a成为旋转体。第1动叶11作为激光介质气体的吸入侧的动叶起作用，第2动叶12作为激光介质气体的喷出侧的动叶起作用。从轴流送风器100的电动机3得到旋转驱动力，旋转体进行旋转。设置于旋转体的动叶进行旋转，由此送风出激光介质气体。此时，在轴流送风器100的吸入侧和喷出侧，在激光介质气体产生压差，因此对旋转体作用沿旋转轴8的中心轴AX推压的力。为了抑制由推压的力引起的旋转体的位置偏移而使用第1推力磁轴承17。即，第1推力磁轴承17进行旋转轴8的轴线方向D2的支撑。此外，为了提高第1推力磁轴承17的定位精度，优选在第1径向磁轴承13设置未图示的推力磁轴承位置检测传感器。此外，在实施方式1所涉及的轴流送风器100中使用了第1推力磁轴承17及第2推力磁轴承18，但也可以取代这2个推力磁轴承，使用在旋转轴8的两端中设置于一侧的1个推力磁轴承。在使用如上所述的推力磁轴承的情况下，在构成该推力磁轴承的旋转部的两侧，设置构成该推力磁轴承的固定部。即，构成该推力磁轴承的2个固定部和1个旋转部，在轴线方向D2上按照固定部、旋转部、固定部的顺序排列。

此外，在轴流送风器100中使用的磁轴承可以是有源型、无源型、并用了电磁铁和永磁铁的混合型中的任意类型。未图示的推力磁轴承位置检测传感器可以是静电电容型(电感型)、涡电流型中的任意类型。

＜轴流送风器100的组装顺序(作用)＞

对轴流送风器100的组装顺序进行说明。首先，第1径向磁轴承13固定于第1轴承保持部19。同样地，第2径向磁轴承16固定于第2轴承保持部20。如果准备了装载有定子保持部51的定子2和固定有第1静叶5的壳体6，则接下来，相对于壳体6而进行定子2的中心轴AX的临时定位工序。作为临时定位，使定子保持部51的端部与叶片基部52的凸缘53接触，将紧固部件56松弛地止动于定子保持部51的孔51a。松弛地止动是指，相对于壳体6将定子2保持为能够移动以进行调整的程度。在第1静叶5设置具有偏心调整用的调整量即间隙53b的贯通孔53a，因此在定子2的径向D3上，定子2的中心轴AX能够移动。如果临时定位结束，则使用图3及图5所示的定芯调整夹具45，经由壳体6，进行相对于转子1的中心轴AX而调整定子2的中心轴AX的径向D3的位置的偏心调整工序。

在偏心调整工序中使用定芯调整夹具45。在图3及图4中示出用于偏心调整工序的定芯调整夹具45的结构要素。在图5中示出偏心调整工序时的轴流送风器100的正面。作为一个例子，定芯调整夹具45具有：夹具轴39；定子轴芯调整球40，其在夹具轴39的外周部沿周向D1排列多个；以及定子轴芯调整球保持部41。另外，定芯调整夹具45具有：圆筒状的夹具罩43、止转部件44、树脂带42a、紧固部件56以及多个定子轴芯调整部件42。

夹具轴39是模拟出旋转轴8的模型(dummy)轴，在夹具轴39设置倾斜部39a及定子轴芯调整外螺纹39b。倾斜部39a设置于夹具轴39的轴线方向D2的中间部。倾斜部39a的外周面是从轴线方向D2的一方朝向另一方而其外径变小的锥形状。定子轴芯调整外螺纹39b是在夹具轴39的外周部形成的螺纹。

定子轴芯调整球40是与夹具轴39的外周部相接，在周向D1上排列多个的球体。定子轴芯调整球保持部41为圆筒状。在定子轴芯调整球保持部41设置对定子轴芯调整球40进行保持的定子轴芯调整球保持槽部41a和定子轴芯调整内螺纹41b。定子轴芯调整球保持槽部41a设置于定子轴芯调整球保持部41的轴线方向D2的中间部。定子轴芯调整球保持槽部41a是在定子轴芯调整球保持部41的周向D1上分离地形成的孔。定子轴芯调整球保持槽部41a是在定子轴芯调整球保持部41的径向D3上贯通的孔，从径向D3俯视观察定子轴芯调整球保持部41时为圆形状。定子轴芯调整球保持槽部41a设置于与定子2的内周部相对的位置。定子轴芯调整内螺纹41b是与定子轴芯调整外螺纹39b嵌合的内螺纹。

定子轴芯调整部件42是在夹具罩43的定子轴芯调整部件槽部43a设置的板形状的部件。夹具罩43是将定子轴芯调整球保持部41的外周面覆盖的圆筒状。定子轴芯调整部件槽部43a是为了保持定子轴芯调整部件42而在夹具罩43形成的孔。多个定子轴芯调整部件槽部43a在夹具罩43的周向D1上彼此分离地排列。构成定子轴芯调整部件槽部43a的壁面的形状是与定子轴芯调整部件42相同的形状。具体地说，在从径向D3俯视观察定子轴芯调整部件42时，定子轴芯调整部件42的轮廓是四边形，在从径向D3俯视观察定子轴芯调整部件槽部43a时，构成定子轴芯调整部件槽部43a的壁面的轮廓是四边形。定子轴芯调整部件槽部43a设置于夹具罩43的轴线方向D2的中间部。定子轴芯调整部件槽部43a设置于与定子2的内周部相对的位置。定子轴芯调整部件42通过树脂带42a而保持于夹具罩43的定子轴芯调整部件槽部43a。树脂带42a是将树脂形成为环状的部件。

止转部件44是用于防止定子轴芯调整球保持部41旋转的部件。止转部件44具有止动器部件44a和支撑止动器部件44a的支撑梁部44b。止动器部件44a设置于支撑梁部44b的径向D3的靠外端。止动器部件44a设置于支撑梁部44b和支撑梁部19b之间。止动器部件44a的轴线方向D2的端部与支撑梁部19b相接。支撑梁部44b固定于定子轴芯调整球保持部41的轴线方向D2的端部。如图3所示，支撑梁部44b的径向D3的外端设置于与壳体6的内周面分离的位置。

接下来，叙述定芯调整夹具45的组装顺序。夹具轴39的外周部与定子轴芯调整球保持部41的内周部嵌合。在嵌合部的端部设置的夹具轴39的定子轴芯调整外螺纹39b的一部分，旋入至定子轴芯调整球保持部41的定子轴芯调整内螺纹41b，将定子轴芯调整球保持部41固定于夹具轴39。在夹具轴39的倾斜部39a的外周部，设置定子轴芯调整球保持部41的定子轴芯调整球保持槽部41a。

定子轴芯调整球保持部41的外周部与夹具罩43的内周部嵌合。对夹具罩43的周向D1的位置进行调整，以使得在定子轴芯调整球保持部41的定子轴芯调整球保持槽部41a的外侧设置夹具罩43的定子轴芯调整部件槽部43a。在形成于定子轴芯调整球保持部41的多个定子轴芯调整球保持槽部41a分别设置定子轴芯调整球40后，在形成于夹具罩43的多个定子轴芯调整部件槽部43a分别设置定子轴芯调整部件42。并且，在定子轴芯调整部件42的径向外端部设置树脂带42a，由此多个定子轴芯调整球40及定子轴芯调整部件42松弛地保持于夹具轴39。松弛地保持是指，保持为定子轴芯调整球40在夹具轴39的轴线方向D2上能够移动的程度，且定子轴芯调整部件42在径向D3上能够移动的程度。定子轴芯调整球40在夹具轴39的轴线方向D2上移动是指，随着定子轴芯调整外螺纹39b向定子轴芯调整内螺纹41b旋入，定子轴芯调整球40移动。定子轴芯调整部件42在径向D3上移动是指，通过在定子轴芯调整外螺纹39b向定子轴芯调整内螺纹41b旋入时在倾斜部39a攀上的定子轴芯调整球40，定子轴芯调整部件42在径向D3上被推起。在倾斜部39a攀上是指，与锥形状的倾斜部39a的外周面相接的定子轴芯调整球40从中心轴AX远离地在径向D3上移动。定子轴芯调整球保持部41和止转部件44由紧固部件56固定而一体化。

接下来，叙述偏心调整工序的顺序。在临时定位工序后的定子2的内侧，设置定子轴芯调整部件42，使得定子轴芯调整部件42的径向外端部与其相对。设置为第1轴承保持部19的支撑梁部19b被定芯调整夹具45的止转部件44的止动器部件44a夹着而被保持后，第1轴承保持部19固定于壳体6。接下来，第2轴承保持部20固定于壳体6。定芯调整夹具45通过第1径向磁轴承13及第2径向磁轴承16而保持于壳体6。仅使定芯调整夹具45的夹具轴39旋转，随着定子轴芯调整外螺纹39b向定子轴芯调整内螺纹41b旋入，定子轴芯调整球40在夹具轴39的倾斜部39a不断攀上。通过在倾斜部39a攀上的定子轴芯调整球40，在夹具轴39的径向D3上定子轴芯调整部件42进行移动。即，犹如多个定子轴芯调整部件42各自从夹具轴39远离这样，多个定子轴芯调整部件42进行移动。定子轴芯调整部件42的径向外端部与定子2的内侧接触，临时定位的定子2的中心轴AX在定子2的径向D3上移动。

将夹具轴39的定子轴芯调整外螺纹39b向定子轴芯调整球保持部41的定子轴芯调整内螺纹41b旋入而直至多个定子轴芯调整部件42的径向外端部与定子2的内侧均等地接触为止。如果确认到多个定子轴芯调整部件42的径向外端部与定子2的内侧均等地接触，则此时的定子2和壳体6之间的位置关系被固定。具体地说，为了该位置关系不发生偏移，向第1轴承保持部19的贯通孔19c插入紧固工具，使用该紧固工具使紧固部件56绕转，由此紧固部件56螺入至定子保持部51的孔51a。由此凸缘53与定子保持部51接触，凸缘53固定于定子保持部51。

然后，将第1轴承保持部19从壳体6拆下。接下来，将旋入至定子轴芯调整球保持部41的定子轴芯调整内螺纹41b的定子轴芯调整外螺纹39b螺出，在定子2的内侧和定子轴芯调整部件42的径向外端部之间设置间隙，拆下定芯调整夹具45。此外，在向第1轴承保持部19及第2轴承保持部20安装夹具轴39时，需要通过间隙配合而确保同轴度和旋转动作。因此，可以在第1轴承保持部19及第2轴承保持部20组装球轴承或锥形滑动轴承。

通过上述的顺序，能够使定子2的中心轴AX的位置高精度地对准旋转轴8的中心轴AX的位置。在进行偏心调整工序后，相对于壳体6进行旋转体的组装。此外，该旋转体是组装固定有除了作为动叶及推力磁轴承的一个结构要素的旋转部以外的旋转体。具体地说，该旋转体是在图1所示的电动机3、第1静叶5、旋转轴8、第1动叶11、第2动叶12、旋转部17a及旋转部18a中，除了第1动叶11、第2动叶12、旋转部17a及旋转部18a以外的部分。准备上述的该旋转体，在定子2的内侧设置该旋转体。接下来，在该旋转体的两端固定第1动叶11及第2动叶12。第1轴承保持部19固定于壳体6，在第1轴承保持部19固定第1径向磁轴承13，在第1径向磁轴承13固定固定部17b。第2轴承保持部20固定于壳体6，在第2轴承保持部20固定第2径向磁轴承16，在第2径向磁轴承16固定固定部18b。最后，作为第1推力磁轴承17的一个结构要素的旋转部17a和作为第2推力磁轴承18的一个结构要素的旋转部18a固定于旋转轴8。

转子1的中心轴AX相对于壳体6的中心轴AX的径向D3的位置根据构成部件的加工精度、壳体6和轴承保持部的配置位置的精度、径向磁轴承和夹具轴39的配置位置的精度和转子1的外形尺寸的精度而改变。通过设置偏心调整部7，从而在偏心调整工序中，不会受到壳体6周边的构成部件的加工精度和该构成部件的组装精度的影响，能够使定子2的中心轴AX的径向D3的位置高精度地对准与旋转轴8嵌合的转子1的中心轴AX的径向D3的位置。如上所述，能够经由壳体6，相对于转子1的中心轴AX使定子2的中心轴AX的位置高精度地对准。

如果不设置偏心调整部7，则当产生转子1的中心轴AX相对于定子2的中心轴AX的偏心时，定子2的内侧和转子1的外周部之间的间隙在周向D1上不均等、即在定子2和转子1之间产生的吸力在周向D1上不均等。转子1的中心轴AX相对于定子2的中心轴AX的偏心量变得越大，则在旋转电机中产生的吸力变得越大。通过设置偏心调整部7，从而能够减小该偏心量，能够抑制在旋转电机中产生的吸力。

在现有的偏心调整部中，在壳体的一端的1个部位设置壳体和轴承壳体的凸缘，相对于定子的中心轴而对旋转轴的中心轴的位置进行调整。如本实施方式这样在转子1的两旁设置动叶的情况下，与没有在转子1的两旁设置动叶时相比，从设置电动机3的构成部件即定子2及转子1的位置起至设置偏心调整部7的位置为止的距离变宽。因此，存在下述问题，即，由于动叶的自重及不平衡的影响，在装备有动叶的旋转轴8发生变形，无法高精度地测定旋转轴8的偏心度，无法抑制转子1的中心轴AX相对于定子2的中心轴AX的偏心量的增加。另外，为了确保旋转轴8的水平度，将定子2的内侧和转子1的外周部之间的间隙设为均一而使得旋转体和轴承不接触，需要在壳体6的两端设置现有的偏心调整部。如上所述如果偏心调整部设置于2个部位，则需要相对于壳体6而对2个轴承保持部的位置进行微调的组装装置，轴流送风器的制造成本增加。并且，由于调整部位增加，必须多次反复进行旋转轴8的偏心度的测定和轴承保持部的位置的调整，偏心调整工序增加，轴流送风器的制造成本进一步增加。

在本实施方式所涉及的轴流送风器100中，在定子2的外周部设置偏心调整部7，由此即使在转子1的两旁设置动叶的情况下，从设置定子2及转子1的位置至设置偏心调整部7的位置为止的距离也没有变宽，能够相对于转子1的中心轴AX使定子2的内侧的中心轴AX的位置高精度地对准。另外，偏心调整部7设置于1个部位即可，在偏心调整工序中，不需要大型的组装装置，也不需要旋转体的偏心度的测定等的工作量，抑制轴流送风器100的制造成本的增加。

＜轴流送风器100的动作＞

对按照以上方式构成的轴流送风器100的动作进行说明。此外，以下有时将“第1径向磁轴承13及第2径向磁轴承16”简称为“径向磁轴承”。轴流送风器100的旋转体通过第1轴承和第2轴承而非接触且可自由旋转支撑于轴承保持部及壳体6。轴流送风器100设置为旋转轴8的中心轴AX成为水平。因此，设置有用于使激光介质气体循环的第1动叶11及第2动叶12的旋转体，在承受自重的方向上非接触地由在其两端设置的径向磁轴承支撑。非接触是指，旋转体没有与壳体6接触的状态。在径向磁轴承的附近设置的径向磁轴承位置检测传感器部对设置于旋转轴8的传感器目标的位置进行检测，径向磁轴承的固定部起作用，以使得将轴调整至预先设定的位置。从轴流送风器100的电动机3得到旋转驱动力，旋转体旋转。设置于旋转体的动叶旋转，由此激光介质气体从旋转轴8的轴线方向D2被吸入至轴流送风器100的内部。吸入的激光介质气体流入至第1动叶11的多个叶片11c之间，通过旋转的叶片11c对激光介质气体赋予速度能量，激光介质气体从第1动叶11高速度地流出。

接下来，激光介质气体流入第1静叶5的多个叶片54之间。在经过第1动叶11时回转而紊乱的激光介质气体，通过第1静叶5而转向为旋转轴8的轴线方向流，气体的流向得到调整，从第1静叶5流出。而且，流向得到调整的激光介质气体流入第2动叶12的多个叶片12c之间，通过旋转的叶片12c对激光介质气体赋予速度能量，激光介质气体从第2动叶12高速地流出。由此，从轴流送风器100喷出的激光介质气体被高速地送出。在轴流送风器100的吸入侧和喷出侧，激光介质气体产生压差，因此在旋转轴8的轴线方向D2上，朝向第1轴承推压的力作用于旋转体。在第1推力磁轴承17的附近设置的未图示的推力磁轴承位置检测传感器，对设置于旋转轴8的未图示的目标的旋转位置进行检测，推力磁轴承的固定部起作用，以使得将旋转轴8调整至预先设定的位置。

＜效果＞

轴流送风器100的轴承由磁轴承构成，由此能够无机械接触地支撑旋转体。由于不会因接触而发生磨损，因此轴流送风器100的寿命变长。另外能够使电动机3高速地旋转，能够使轴流送风器100的气体循环功能、即气体冷却能力提高。

＜通过偏心调整部7实现的高刚性化(效果1)＞

接下来对通过偏心调整部7实现的效果进行说明。为了使轴流送风器100高速旋转，防止旋转体的弯曲固有振动频率的降低是必不可少的。为了防止旋转体的弯曲固有振动频率的降低，需要减轻旋转体的重量，并且需要使旋转体的旋转轴8的轴长变短。径向磁轴承产生对旋转轴8进行支撑的磁吸力。磁吸力是为了在预先设定的位置处支撑旋转轴8，对抗旋转体的自重和在电动机3中产生的吸力而对旋转轴8进行支撑的吸力。在电动机3中产生的吸力是在定子2和转子1之间产生的磁吸力。定子2的中心轴AX相对于转子1的中心轴AX的偏心量变得越大，则在电动机3中产生的吸力变得越大。因此，磁轴承为了确保规定的支撑力、即磁吸力，需要具有大的支撑力的磁轴承，径向磁轴承大型化。如果径向磁轴承大型化，则径向磁轴承的旋转部的外形尺寸例如轴长增加，径向磁轴承的旋转部的重量增加，旋转体的弯曲固有振动频率降低。通过设置偏心调整部7，从而能够使定子2的中心轴AX的位置相对于转子1的中心轴AX的位置高精度地对准，能够抑制由于上述的偏心量的增加而产生磁吸力。抑制作为旋转体支撑轴承的磁轴承的支撑力，磁轴承小型化、轻量化。通过磁轴承的小型化，旋转体的轴向的长度变短，旋转体的刚性提高，旋转体进一步轻量化。由此，能够抑制旋转体的弯曲固有振动频率的降低，实现旋转体的高速旋转，因此气体循环能力提高。另外，在偏心调整工序中，不需要大型的组装装置，也不需要旋转体的偏心度的测定等的工作量，因此抑制轴流送风器100的制造成本的增加。

＜通过将动叶设置于转子1的两旁而实现的高刚性化(效果2)＞

接下来对通过将第1动叶11及第2动叶12设置于转子1的两旁而实现的效果进行说明。在轴流送风器100中，第1径向磁轴承13的旋转部13a设置于旋转轴8的端部，沿旋转轴8的轴线方向D2依次设置第1径向磁轴承13、第1动叶11、转子1、第2动叶12、第2径向磁轴承16。即在旋转轴8的中央设置转子1，在转子1的两旁设置动叶，在动叶的两旁设置径向磁轴承的旋转部。为了通过轴流送风器100高效地使激光介质气体的流量循环，预先将第1静叶5的叶片54设定为规定的形状，将动叶的叶片设定为规定的形状，将第1静叶5的叶片54和动叶的叶片设置于规定的位置。特别优选第1静叶5的叶片54和动叶的叶片的间隔设得狭窄。静叶在两个动叶间形成不产生压力损耗而引导激光介质气体的流动的速度分布。压力损耗等于能量损失。因此，第1静叶5的叶片54和动叶的叶片的间隔越宽，则激光介质气体的流动的速度分布变化而压力损耗越增大，因此激光介质气体的流量降低。在这里，假定在旋转轴8的中央设置转子1，从转子1朝向旋转轴8的端部依次排列转子1、动叶、推力轴承和径向磁轴承的旋转部的情况。在该情况下，转子1、动叶、推力轴承和径向磁轴承的旋转部，与依次排列有转子1、动叶，径向磁轴承及推力轴承时相比，动叶的圆筒部的轴长变长。动叶的圆筒部的轴长变长的原因在于，在动叶和径向磁轴承的旋转部之间夹设有推力轴承的状态下，径向磁轴承的固定部固定于动叶的圆筒部。但是，动叶的圆筒部的轴长变得越长，则由于高速旋转时的离心力，动叶的叶片在径向D3上越容易变宽。因此，壳体6和动叶的叶片容易接触。通过增加动叶的背板部和动叶的圆筒部之间的接合部的壁厚，即加强该接合部，从而抑制动叶的叶片的由离心力导致的变宽，防止壳体6和动叶的叶片的接触。但是，动叶的背板部和动叶的圆筒部之间的接合部的壁厚越增加，则动叶的重量越增加。如果由于在旋转轴8设置的动叶的重量增加而旋转体的重量增加，则旋转体的弯曲固有振动频率降低，因此阻碍旋转体的高速旋转化。与此相对，在实施方式1所涉及的轴流送风器100中，转子1、动叶、径向磁轴承及推力轴承从旋转轴8的轴线方向D2的中心朝向旋转轴8的端部而依次排列有转子1、动叶、径向磁轴承及推力轴承。即，在动叶和径向磁轴承之间没有夹着推力轴承。因此，设置径向磁轴承的位置接近动叶，动叶的圆筒部的轴长变短，动叶轻量化。因此，旋转体轻量化，能够抑制旋转体的弯曲固有振动频率的降低，实现旋转体的高速旋转。

在这里，示出关于轴流送风器100的动作的具体的解析结果的一个例子。在该例中，设为电动机3的输出为大约7kW，且在凸缘53均等地在4个部位设置直径5.8mm的贯通孔53a，在定子保持部51的轴线方向的端部均等地在4个部位设置孔51a。另外，设为在紧固部件56中使用外径5.0mm的公制螺钉，贯通孔53a和公制螺钉的调整量设为0.4mm，在定子保持部51固定凸缘53。使用有限元法进行固有振动解析得到的结果为，在旋转体的转速为333Hz即20000rpm的情况下，旋转体的一次弯曲固有振动频率为1200Hz左右。一次弯曲固有振动频率是转速的大约3倍，充分地具有频率的富裕量，因此可知能够实现旋转体的旋转动作。

实施方式2.

图6是实施方式2所涉及的轴流送风器的剖视图。在实施方式2所涉及的轴流送风器100A中，实施方式1中的喷出侧的第2轴承保持部20被置换为第2静叶46。第2静叶46设置于壳体6的内侧，在第2静叶46固定有第2轴承。壳体6成为对电动机3、第1静叶5、第2静叶46、第1动叶11及第2动叶12进行收纳的罩部件。在实施方式2所涉及的轴流送风器100A中也得到与实施方式1相同的效果。另外，根据实施方式2所涉及的轴流送风器100A，通过第2静叶46对从第2动叶12喷出的激光介质气体的气流进行调整而转向为轴线方向流，因此成为效率良好的轴流送风器100A。能够进一步提高轴流送风器100A的气体循环能力。

实施方式3.

图7是实施方式3所涉及的激光振荡装置的斜视图。图8是实施方式3所涉及的激光振荡装置的剖视图。激光振荡装置200具有：作为真空容器的框体201，其封入激光介质气体300；放电部202，其用于激光介质气体300的放电激励；部分反射镜203；全反射镜204；热交换器205，其冷却激光介质气体300；以及轴流送风器100，其使激光介质气体300循环。放电部202具有一对放电电极202a、202b。全反射镜204和部分反射镜203设置于框体201的光轴线方向的两侧，构成光谐振器。激光400从部分反射镜203射出。在取代全反射镜204和部分反射镜203而安装了窗口的情况下，激光振荡装置200作为激光放大器起作用。在这里，激光介质气体300在进入放电部202前经过热交换器205，通过4台轴流送风器100在框体201的内侧循环。

对激光振荡装置200的动作进行说明。从在轴流送风器100中设置的电动机3得到旋转驱动力，以每分钟几万转的高速使装载有动叶的旋转轴8旋转。在轴流送风器100中激光介质气体300流过电动机3的周围，向轴线方向D2直线地流动。轴线方向D2等于图7所示的气流方向。电动机3高速旋转，使风量增大，由此能够提高激光介质气体300的循环冷却能力，实现激光振荡装置200的小型化及高输出化。此外，在激光振荡装置200中也可以使用实施方式2所涉及的轴流送风器100A，能够得到与使用轴流送风器100的情况相同的效果。

以上的实施方式所示的结构，表示本发明的内容的一个例子，也能够与其他公知技术进行组合，在不脱离本发明的主旨的范围，也能够对结构的一部分进行省略、变更。

标号的说明

1转子，2定子，3电动机，5第1静叶，6壳体，6a、6b、9a1、11a1、12a1、19c、53a贯通孔，6c基座，6d、19b1螺孔，7偏心调整部，8旋转轴，9第1动叶保持部，9a、10a第1环状部，9b、10b第2环状部，10第2动叶保持部，10a1螺钉贯通孔，11第1动叶，11a、12a背板部，11a2、12a2动叶保持孔，11b、12b、19a、20a圆筒部，11c、12c、54叶片，12第2动叶，13第1径向磁轴承，13a、16a、17a、18a旋转部，13b、16b、17b、18b固定部，14、15动叶安装螺钉，16第2径向磁轴承，17第1推力磁轴承，18第2推力磁轴承，19第1轴承保持部，19b、20b、44b支撑梁部，19b2销孔，20第2轴承保持部，29第1径向磁轴承部，30第2径向磁轴承部，39夹具轴，39a倾斜部，39b定子轴芯调整外螺纹，40定子轴芯调整球，41定子轴芯调整球保持部，41a定子轴芯调整球保持槽部，41b定子轴芯调整内螺纹，42定子轴芯调整部件，42a树脂带，43夹具罩，43a定子轴芯调整部件槽部，44止转部件，44a止动器部件，45定芯调整夹具，46第2静叶，47销，51定子保持部，51a孔，51b O型密封圈，51c环状槽，51d槽，52叶片基部，53凸缘，53b间隙，55罩，56紧固部件，60、61螺钉，71入水配管，72出水配管，73电力线，100、100A轴流送风器，200激光振荡装置，201框体，202放电部，202a、202b放电电极，203部分反射镜，204全反射镜，205热交换器，300激光介质气体，400激光，AX中心轴，D1周向，D2轴线方向，D3径向。

Claims (9)

1.一种旋转驱动装置，其特征在于，具有：

旋转轴；

转子，其设置于所述旋转轴的外周部；

定子，其设置于所述转子的外周部；

壳体，其收纳所述定子；

一对轴承，它们设置于所述旋转轴的两端，对所述旋转轴进行支撑；

一对轴承保持部，它们设置于所述壳体的两端，对所述轴承进行保持；

定子保持部，其设置于所述定子的外周部；

圆筒部件，其设置于所述定子保持部的外周部；

凸缘，其从所述圆筒部件的轴线方向的端部朝向所述旋转轴延伸，与所述定子保持部的轴线方向的端部相对；以及

紧固部件，其经由所述凸缘而紧固于所述定子保持部的轴线方向的端部，

在所述凸缘形成贯通孔，该贯通孔在轴线方向贯通所述凸缘，供所述紧固部件插入，

所述贯通孔的直径小于所述紧固部件的头部的直径，且大于所述紧固部件的螺纹部的直径，

在所述壳体，在径向依次排列所述旋转轴、所述转子、所述定子、所述定子保持部、所述圆筒部件，

所述旋转轴、所述转子、所述定子、所述定子保持部、所述圆筒部件设置于同心圆上。

2.根据权利要求1所述的旋转驱动装置，其特征在于，

所述轴承是相对于所述轴承保持部而非接触地支撑所述旋转轴的磁轴承。

3.一种旋转驱动装置的组装方法，其是权利要求1或2所述的旋转驱动装置的组装方法，其特征在于，包含：

位置调整工序，在使所述凸缘的轴线方向的端部与所述定子保持部的轴线方向的端部接触的状态下，对所述定子的中心轴相对于所述转子的中心轴的径向的位置进行调节；以及

在所述位置调整工序后向所述定子保持部的端部螺入所述紧固部件，由此在所述定子保持部固定所述凸缘的工序。

4.一种轴流送风器，其特征在于，具有：

旋转轴，其设置使气体循环的第1动叶及第2动叶；

转子，其设置于所述旋转轴的外周部；

定子，其设置于所述转子的外周部；

壳体，其收纳所述定子、所述第1动叶、所述第2动叶及第1静叶；

一对轴承，它们设置于所述旋转轴的两端，对所述旋转轴进行支撑；

一对轴承保持部，它们设置于所述壳体的两端，对所述轴承进行保持；

定子保持部，其设置于所述定子的外周部；

圆筒部件，其设置于所述定子保持部的外周部，在外周部设置所述第1静叶；

凸缘，其从所述圆筒部件的轴线方向的端部朝向所述旋转轴延伸，与所述定子保持部的轴线方向的端部相对；以及

紧固部件，其经由所述凸缘而紧固于所述定子保持部的轴线方向的端部，

所述第1静叶固定于所述壳体的内侧，

在所述凸缘形成贯通孔，该贯通孔在轴线方向贯通所述凸缘，供所述紧固部件插入，

所述贯通孔的直径小于所述紧固部件的头部的直径，且大于所述紧固部件的螺纹部的直径，

在所述壳体，在径向依次排列所述旋转轴、所述转子、所述定子、所述定子保持部、所述圆筒部件、所述第1静叶，

所述旋转轴、所述转子、所述定子、所述定子保持部、所述圆筒部件、所述第1静叶设置于同心圆上。

5.根据权利要求4所述的轴流送风器，其特征在于，

所述轴承是相对于所述轴承保持部而非接触地支撑所述旋转轴的磁轴承。

6.根据权利要求4或5所述的轴流送风器，其特征在于，

在所述旋转轴设置径向轴承及推力轴承，

所述转子、所述第1动叶、所述径向轴承及所述推力轴承，从所述旋转轴的轴线方向的中心朝向所述旋转轴的端部，依次配置所述转子、所述第1动叶、所述径向轴承及所述推力轴承。

7.根据权利要求6所述的轴流送风器，其特征在于，

在所述壳体中，除了所述定子、所述第1动叶、所述第2动叶及所述第1静叶之外，还收纳第2静叶，

所述第2静叶固定于所述壳体的内侧，

所述径向轴承保持于所述第2静叶。

8.一种激光振荡装置，其特征在于，具有：

框体，其封入了激光介质气体；

放电部，其通过放电激励所述激光介质气体；

权利要求4至7中任一项所述的轴流送风器，其使通过所述放电部激励的所述激光介质气体循环；以及

热交换器，其冷却所述激光介质气体。

9.一种轴流送风器的组装方法，其是权利要求4至7中任一项所述的轴流送风器的组装方法，其特征在于，包含：

在使所述凸缘的轴线方向的端部与所述定子保持部的轴线方向的端部接触的状态下，对所述定子的中心轴相对于所述转子的中心轴的径向的位置进行调整的工序；以及

在所述工序后向所述定子保持部的端部螺入所述紧固部件，由此在所述定子保持部固定所述凸缘的工序。

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