JP5852216B2 - 極端紫外光源装置及びチャンバ装置 - Google Patents
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Description
<1−1.全体的構成>
図1は、第1の実施形態に係るEUV光源装置の概略構成を示す断面図である。このEUV光源装置100には、ターゲット物質にレーザ光を照射してターゲット物質を励起することによりEUV光を生成するレーザ生成プラズマ(LPP)方式が採用されている。図1に示すように、EUV光源装置100は、チャンバ1と、ターゲット供給部2と、EUV集光ミラー(EUV collector mirror)3と、ドライバレーザ4と、磁石5a及び5bと、EUV光計測ミラー(反射部)6と、IFセンサ7と、を備え得る。
図2A及び2Bは、第1の実施形態に係るEUV光源装置におけるEUV集光ミラーの姿勢を制御する構造を示す図である。図2Aは、EUV集光ミラーの反射面側から見た模式図である。図2Bは、図2Aに示す構造のIIB−IIB線における断面図である。図2A及び2Bに示すように、EUV集光ミラー3は、それぞれがミラーホルダ32及び支持部材33を含む複数の支持部31によって支持されている。ミラーホルダ32は、チャンバ1の内部においてEUV集光ミラー3を複数個所で保持することによって支持している。支持部材33は、その一端で、連結部材29を介してミラーホルダ32に連結されており、フランジ39に形成された貫通孔1bを貫通している。
図3は、第1の実施形態に係るEUV光源装置においてターゲット供給部の姿勢を制御する構造を示す断面図である。図3に示すように、タンク2aは、タンクホルダ22及び支持部材23を含む支持部21によって支持されている。タンクホルダ22は、チャンバ1の内部に配置され、タンクホルダ22をタンク2aが気密に貫通している。支持部材23の一端は、タンクホルダ22に固定されており、その他端側は、フランジ39に形成された貫通孔1bを貫通している。
図4A及び4Bは、第1の実施形態に係るEUV光源装置におけるEUV光計測ミラーの位置を制御する構造を示す断面図である。図4Aは、EUV光計測ミラーがEUV光の光路内に配置された状態を示し、図4Bは、EUV光計測ミラーがEUV光の光路外に配置された状態を示す。図4A及び4Bに示すように、EUV光計測ミラー6は、ミラーホルダ62及び支持部材63を含む支持部61によって支持されている。ミラーホルダ62は、チャンバ1の内部においてEUV光計測ミラー6を支持している。支持部材63の一端は、チャンバ1の内部においてミラーホルダ62に固定されており、その端側はフランジ39に形成された貫通孔1bを貫通している。
図5は、第1の実施形態に係るEUV光源装置における5軸ステージの構成例を示す概念図である。図5に示す5軸ステージ35は、固定プレート36上の6箇所の点と、可動プレート37上の6箇所の点とを、伸縮可能な6本の駆動部38によって結合した構成を有している。
図8Aおよび8Bは、第2の実施形態に係るEUV光源装置においてEUV集光ミラーの姿勢を制御する構造を示す図である。図8Aは、EUV集光ミラーの反射面側から見た模式図である。図8Bは、図8Aに示す構造のVIIIB−VIIIB線における断面図である。
図9は、第3の実施形態に係るEUV光源装置においてターゲット供給部の姿勢を制御する構造を示す断面図である。第1の実施形態においては、図3を参照しながら説明したようにタンクホルダ22がチャンバ1の内部においてタンク2aを支持していたのに対し、第3の実施形態においては、タンクホルダ22がチャンバ1の外部においてタンク2aを支持している。従って、第1の実施形態のような、貫通孔1bを貫通して可動プレート27とタンクホルダ22とを接続する支持部材23(図3参照)は、第3の実施形態において設ける必要はない。
Claims (6)
- 壁部に第1の貫通孔が設けられ、内部でEUV光の生成が行われるチャンバと、
前記第1の貫通孔を介して前記壁部に貫設されるターゲット供給部と、
前記ターゲット供給部を支持する支持部と、
前記支持部に着脱可能に接続され、第2の貫通孔を有するフランジと、
前記チャンバ外において前記フランジに接続され、前記ターゲット供給部の姿勢を制御する姿勢制御機構と、
前記第2の貫通孔の周囲に固定された一端と、前記第1の貫通孔の周囲に部材を介して固定された他端とを有し、前記ターゲット供給部の側面の少なくとも一部を囲んで前記チャンバ内の密閉を維持する伸縮管と、
を備えるチャンバ装置。 - 前記姿勢制御機構が、前記伸縮管を囲むように配置された、請求項1記載のチャンバ装置。
- 前記姿勢制御機構は、前記チャンバに接続された固定部と、前記フランジに接続された可動部と、前記固定部と前記可動部との間に接続された複数の駆動部と、を有する、請求項1記載のチャンバ装置。
- 前記複数の駆動部の各々が圧電素子を含む、請求項3記載のチャンバ装置。
- 前記ターゲット供給部は、ターゲット物質を溶融するためのヒータと、ターゲット物質を収容するタンクと、前記タンク内のターゲット物質を前記チャンバ内に供給するためのノズルと、を含み、
前記伸縮管が、前記タンクの側面の少なくとも一部を囲んでいる、
請求項1記載のチャンバ装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項記載のチャンバ装置と、
前記チャンバ装置に入力されるレーザ光を出力するドライバレーザと、
を備える極端紫外光源装置。
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