JP2000159532A - 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置 - Google Patents
光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置Info
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- JP2000159532A JP2000159532A JP10330009A JP33000998A JP2000159532A JP 2000159532 A JP2000159532 A JP 2000159532A JP 10330009 A JP10330009 A JP 10330009A JP 33000998 A JP33000998 A JP 33000998A JP 2000159532 A JP2000159532 A JP 2000159532A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
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- C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
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- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 バーナとバーナに原料ガスを供給する原料供
給チューブとの接続部で、原料供給チューブの重みが接
続部にかかってバーナの偏心を生じさせてしまうことが
あった。 【解決手段】 ガラス原料ガスと燃焼ガスとをバーナー
に供給し、バーナーにより形成される火炎によりガラス
原料を加水分解または酸化によりガラス微粒子とし、該
ガラス微粒子を出発部材に堆積させて多孔質ガラス母材
を製造する光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置に
おいて、前記バーナーは複数のパイプを同心円状に配置
した多重管バーナーで、該多重管バーナーの同心円状に
配置したそれぞれのパイプには原料ガス供給配管が設け
られ、この原料ガス供給配管それぞれには原料ガスを供
給する原料供給チューブが接続され、前記原料ガス供給
配管と原料供給チューブとの接続部は共通の固定具に固
定されていることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材の製造装置。
給チューブとの接続部で、原料供給チューブの重みが接
続部にかかってバーナの偏心を生じさせてしまうことが
あった。 【解決手段】 ガラス原料ガスと燃焼ガスとをバーナー
に供給し、バーナーにより形成される火炎によりガラス
原料を加水分解または酸化によりガラス微粒子とし、該
ガラス微粒子を出発部材に堆積させて多孔質ガラス母材
を製造する光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置に
おいて、前記バーナーは複数のパイプを同心円状に配置
した多重管バーナーで、該多重管バーナーの同心円状に
配置したそれぞれのパイプには原料ガス供給配管が設け
られ、この原料ガス供給配管それぞれには原料ガスを供
給する原料供給チューブが接続され、前記原料ガス供給
配管と原料供給チューブとの接続部は共通の固定具に固
定されていることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材の製造装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ用多孔
質ガラス母材を製造する主な方法の一つであるＶＡＤ法
による製造装置に関するもので、特に、パイプを同心円
状に配置した多重管バーナーを使用した製造装置に関す
るものである。
質ガラス母材を製造する主な方法の一つであるＶＡＤ法
による製造装置に関するもので、特に、パイプを同心円
状に配置した多重管バーナーを使用した製造装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＶＡＤ法による光ファイバ用多
孔質ガラス母材製造は、ガラス原料ガス、可燃ガス、不
活性ガスおよび支燃ガスなどの原料ガスをバーナに供給
して、火炎加水分解または酸化させてガラス微粒子を生
成し、このガラス微粒子を出発部材上に付着、堆積させ
て成長させている。
孔質ガラス母材製造は、ガラス原料ガス、可燃ガス、不
活性ガスおよび支燃ガスなどの原料ガスをバーナに供給
して、火炎加水分解または酸化させてガラス微粒子を生
成し、このガラス微粒子を出発部材上に付着、堆積させ
て成長させている。
【０００３】図３は光ファイバ用多孔質ガラス母材製造
に使用される多重管バーナーと該多重管バーナーに原料
ガスを供給する原料供給チューブとを接続した状態を示
す説明図で、（イ）は側面図、（ロ）は（イ）のＡ−Ａ
線断面図である。図において１は多重管バーナーで、図
では径の異なる４本の石英ガラス製パイプ２を同心円状
に配置し、外側から順に、それぞれの基端部で溶接によ
り気密に接続している。符号３はそれぞれの溶接部であ
る。各パイプ２にはそれぞれ原料ガス供給配管４が溶接
により設けられ、この原料ガス供給配管４には例えばポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製の原料供給チ
ューブ５が接続されている。符号６は配管４とチューブ
５との接続部である。
に使用される多重管バーナーと該多重管バーナーに原料
ガスを供給する原料供給チューブとを接続した状態を示
す説明図で、（イ）は側面図、（ロ）は（イ）のＡ−Ａ
線断面図である。図において１は多重管バーナーで、図
では径の異なる４本の石英ガラス製パイプ２を同心円状
に配置し、外側から順に、それぞれの基端部で溶接によ
り気密に接続している。符号３はそれぞれの溶接部であ
る。各パイプ２にはそれぞれ原料ガス供給配管４が溶接
により設けられ、この原料ガス供給配管４には例えばポ
リテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製の原料供給チ
ューブ５が接続されている。符号６は配管４とチューブ
５との接続部である。
【０００４】ところで、近年、光ファイバの生産性を向
上するために、光ファイバに線引きするための多孔質ガ
ラス母材を大型に製造している。多孔質ガラス母材を大
型に製造するには前記多重管バーナー１も大型なものを
使用する。多重管バーナー１を大型とするとバーナー１
の長さも長くなる。前述したように多重管バーナー１は
基端部でのみ溶接３により各パイプ２が溶接接続されて
いるので、バーナーの長さが長くなるに従い各パイプの
接続が１ヶ所のみでは同心円の精度を正確に保持するの
が困難となる。多重管バーナー１の同心円精度の誤差
は、ガラス母材製造の歩留りに大きく影響するため、多
重管バーナー１の製造には多くの配慮がなされている。
上するために、光ファイバに線引きするための多孔質ガ
ラス母材を大型に製造している。多孔質ガラス母材を大
型に製造するには前記多重管バーナー１も大型なものを
使用する。多重管バーナー１を大型とするとバーナー１
の長さも長くなる。前述したように多重管バーナー１は
基端部でのみ溶接３により各パイプ２が溶接接続されて
いるので、バーナーの長さが長くなるに従い各パイプの
接続が１ヶ所のみでは同心円の精度を正確に保持するの
が困難となる。多重管バーナー１の同心円精度の誤差
は、ガラス母材製造の歩留りに大きく影響するため、多
重管バーナー１の製造には多くの配慮がなされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、多重管
バーナーの各パイプを設計通りに正確に配置、固定した
にもかかわらず、多孔質ガラス母材の歩留りが落ちるこ
とがあった。本発明者等は、その原因を究明するために
多くの試行錯誤を重ねた結果、その原因が、バーナー１
は石英ガラス製パイプ２を同心円状に配置し、外側から
順に、それぞれの基端部で溶接３により気密に接続して
いるため、パイプ２の長さが長くなると１ヶ所の溶接３
のみでは先端までのパイプの位置を保持するのが限度
で、各パイプ２から延びる原料ガス供給配管４にそれぞ
れ接続される原料供給チューブ５の重みまでをも支える
ことができず、原料供給チューブ５を接続することによ
り溶接部３に微妙な力が作用してバーナー先端部のパイ
プ２相互間の配置を狂わせてしまうこと、また、製造開
始時点では歩留り良く製造できていたにもかかわらず、
経時的に歩留りが低下するのは、原料供給チューブ５の
重みが次第に前記溶接部３に作用してバーナー１先端部
のパイプ２相互間の配置を狂わせてしまうこと、にある
ことを突き止め、本発明を完成させた。
バーナーの各パイプを設計通りに正確に配置、固定した
にもかかわらず、多孔質ガラス母材の歩留りが落ちるこ
とがあった。本発明者等は、その原因を究明するために
多くの試行錯誤を重ねた結果、その原因が、バーナー１
は石英ガラス製パイプ２を同心円状に配置し、外側から
順に、それぞれの基端部で溶接３により気密に接続して
いるため、パイプ２の長さが長くなると１ヶ所の溶接３
のみでは先端までのパイプの位置を保持するのが限度
で、各パイプ２から延びる原料ガス供給配管４にそれぞ
れ接続される原料供給チューブ５の重みまでをも支える
ことができず、原料供給チューブ５を接続することによ
り溶接部３に微妙な力が作用してバーナー先端部のパイ
プ２相互間の配置を狂わせてしまうこと、また、製造開
始時点では歩留り良く製造できていたにもかかわらず、
経時的に歩留りが低下するのは、原料供給チューブ５の
重みが次第に前記溶接部３に作用してバーナー１先端部
のパイプ２相互間の配置を狂わせてしまうこと、にある
ことを突き止め、本発明を完成させた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、ガ
ラス原料ガスと燃焼ガスとをバーナーに供給し、バーナ
ーにより形成される火炎によりガラス原料を加水分解ま
たは酸化によりガラス微粒子とし、該ガラス微粒子を出
発部材に堆積させて多孔質ガラス母材を製造する光ファ
イバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記バー
ナーは複数のパイプを同心円状に配置した多重管バーナ
ーで、該多重管バーナーの同心円状に配置したそれぞれ
のパイプには原料ガス供給配管が設けられ、この原料ガ
ス供給配管それぞれには原料ガスを供給する原料供給チ
ューブが接続され、前記原料ガス供給配管と原料供給チ
ューブとの接続部は共通の固定具に固定されていること
を特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置
である。
ラス原料ガスと燃焼ガスとをバーナーに供給し、バーナ
ーにより形成される火炎によりガラス原料を加水分解ま
たは酸化によりガラス微粒子とし、該ガラス微粒子を出
発部材に堆積させて多孔質ガラス母材を製造する光ファ
イバ用多孔質ガラス母材の製造装置において、前記バー
ナーは複数のパイプを同心円状に配置した多重管バーナ
ーで、該多重管バーナーの同心円状に配置したそれぞれ
のパイプには原料ガス供給配管が設けられ、この原料ガ
ス供給配管それぞれには原料ガスを供給する原料供給チ
ューブが接続され、前記原料ガス供給配管と原料供給チ
ューブとの接続部は共通の固定具に固定されていること
を特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置
である。
【０００７】本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材の
製造装置においては、バーナーの原料ガス供給配管と該
配管に接続する原料供給チューブとの接続部を共通した
固定具に固定するので多重管の各パイプ間の寸法（同心
円状の配置）が設計通りに保持され、偏心が生じにくい
構造となる。その結果、高品質の光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材を安定して製造することができる。
製造装置においては、バーナーの原料ガス供給配管と該
配管に接続する原料供給チューブとの接続部を共通した
固定具に固定するので多重管の各パイプ間の寸法（同心
円状の配置）が設計通りに保持され、偏心が生じにくい
構造となる。その結果、高品質の光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材を安定して製造することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の光ファイバ用多孔
質ガラス母材の製造装置を図面を参照して説明する。図
１は多重管バーナー１の原料ガス供給配管４と原料供給
チューブ５との接続部分近傍を示す説明図、図２は図１
のＢ−Ｂ線断面図で、７は原料ガス供給配管４と原料供
給チューブ５との接続部分を固定する固定具で、該固定
具７には原料ガス供給配管４の外径よりも若干大きい貫
通孔８が設けられ、この貫通孔８を介して原料ガス供給
配管４および原料供給チューブ５の端部に取り付けた接
続コネクタ１１、１２を固定具７に固定するようにして
接続する。なお、固定具７は図示しない台座等に固定さ
れる。固定具７に設ける貫通孔８の大きさを原料ガス供
給配管４の外径よりも若干大きめにするのは、多重管バ
ーナー１が石英ガラス製パイプから手作業で作成される
ことにより、出来上がりに若干の寸法誤差が発生するた
め、その誤差を吸収する必要性からである。原料ガス供
給配管４に原料供給チューブ５を接続するには、先ず、
原料ガス供給配管４の接続コネクタ１１を、必要により
多重管２それぞれの位置を微調整しつつ貫通孔８を介し
て固定具７に固定し、次いで、原料供給チューブ５を原
料ガス供給配管４に接続すると、バーナー１の多重管パ
イプ２の配置が乱されることなく接続することができ
る。
質ガラス母材の製造装置を図面を参照して説明する。図
１は多重管バーナー１の原料ガス供給配管４と原料供給
チューブ５との接続部分近傍を示す説明図、図２は図１
のＢ−Ｂ線断面図で、７は原料ガス供給配管４と原料供
給チューブ５との接続部分を固定する固定具で、該固定
具７には原料ガス供給配管４の外径よりも若干大きい貫
通孔８が設けられ、この貫通孔８を介して原料ガス供給
配管４および原料供給チューブ５の端部に取り付けた接
続コネクタ１１、１２を固定具７に固定するようにして
接続する。なお、固定具７は図示しない台座等に固定さ
れる。固定具７に設ける貫通孔８の大きさを原料ガス供
給配管４の外径よりも若干大きめにするのは、多重管バ
ーナー１が石英ガラス製パイプから手作業で作成される
ことにより、出来上がりに若干の寸法誤差が発生するた
め、その誤差を吸収する必要性からである。原料ガス供
給配管４に原料供給チューブ５を接続するには、先ず、
原料ガス供給配管４の接続コネクタ１１を、必要により
多重管２それぞれの位置を微調整しつつ貫通孔８を介し
て固定具７に固定し、次いで、原料供給チューブ５を原
料ガス供給配管４に接続すると、バーナー１の多重管パ
イプ２の配置が乱されることなく接続することができ
る。
【０００９】上述したように、バーナー１と原料供給チ
ューブ５との接続を固定具７を介して行うため、バーナ
ー１における多重管パイプ２の位置関係はバーナー１の
原料ガス供給配管４が固定具７に固定され、しかも原料
ガス供給配管４と接続される原料供給チューブ５の重み
は固定具７によって支えられるので、多重管パイプ２の
位置関係が経時的に変化することなく、従って、長時間
にわたり歩留りよく多孔質ガラス母材の製造が可能とな
り、大型のガラス母材を安定して製造することができ
る。また、固定具７に設ける貫通孔８を馬鹿孔とするこ
とにより、原料ガス供給配管４の固定時に、あるいは原
料ガス供給配管４と原料供給チューブ５とを接続した後
に、バーナー１先端のパイプ２相互の位置を微調整して
から固定することができ、作業性にも優れたものとな
る。
ューブ５との接続を固定具７を介して行うため、バーナ
ー１における多重管パイプ２の位置関係はバーナー１の
原料ガス供給配管４が固定具７に固定され、しかも原料
ガス供給配管４と接続される原料供給チューブ５の重み
は固定具７によって支えられるので、多重管パイプ２の
位置関係が経時的に変化することなく、従って、長時間
にわたり歩留りよく多孔質ガラス母材の製造が可能とな
り、大型のガラス母材を安定して製造することができ
る。また、固定具７に設ける貫通孔８を馬鹿孔とするこ
とにより、原料ガス供給配管４の固定時に、あるいは原
料ガス供給配管４と原料供給チューブ５とを接続した後
に、バーナー１先端のパイプ２相互の位置を微調整して
から固定することができ、作業性にも優れたものとな
る。
【００１０】
【実施例】バーナー１の原料ガス供給配管４と原料供給
チューブ５とを固定具７を介して接続し、多重管バーナ
ー１のそれぞれの間隙にガラス原料として塩化珪素、塩
化ゲルマニウムを、燃焼ガスとして酸素、水素を、不活
性ガスとしてアルゴンをそれぞれの原料供給チューブ５
から原料ガス供給配管４を通してバーナー先端に送り、
ガラス原料ガスを加水分解してガラス微粒子とし、該ガ
ラス微粒子を出発部材に堆積させて光ファイバ用多孔質
ガラス母材を製造したところ、ガラススート形成率（ガ
ラス原料であるＳｉＣｌ4 等がガラススートとなった割
合）は９９．３％であった。それに対して、バーナーと
原料供給チューブとの接続部が固定されていない従来の
製造装置でのガラススート形成率は８８．０％であっ
た。
チューブ５とを固定具７を介して接続し、多重管バーナ
ー１のそれぞれの間隙にガラス原料として塩化珪素、塩
化ゲルマニウムを、燃焼ガスとして酸素、水素を、不活
性ガスとしてアルゴンをそれぞれの原料供給チューブ５
から原料ガス供給配管４を通してバーナー先端に送り、
ガラス原料ガスを加水分解してガラス微粒子とし、該ガ
ラス微粒子を出発部材に堆積させて光ファイバ用多孔質
ガラス母材を製造したところ、ガラススート形成率（ガ
ラス原料であるＳｉＣｌ4 等がガラススートとなった割
合）は９９．３％であった。それに対して、バーナーと
原料供給チューブとの接続部が固定されていない従来の
製造装置でのガラススート形成率は８８．０％であっ
た。
【発明の効果】本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材
の製造装置においては、バーナーと原料供給チューブと
の接続部が固定具により固定されているので、原料供給
チューブの重みで生じる多重管バーナーの偏心を未然に
防止することができる。したがって、バーナー偏心を原
因とする歩留り不良や品質不良を生じさせずに光ファイ
バ用多孔質ガラス母材を長時間にわたり安定して製造す
ることができる。
の製造装置においては、バーナーと原料供給チューブと
の接続部が固定具により固定されているので、原料供給
チューブの重みで生じる多重管バーナーの偏心を未然に
防止することができる。したがって、バーナー偏心を原
因とする歩留り不良や品質不良を生じさせずに光ファイ
バ用多孔質ガラス母材を長時間にわたり安定して製造す
ることができる。
【図１】本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造
装置におけるバーナーと原料供給チューブとの接続部分
近傍を示す説明図である。
装置におけるバーナーと原料供給チューブとの接続部分
近傍を示す説明図である。
【図２】本発明におけるバーナーと原料供給チューブと
の接続部分を詳細に示す説明図である。
の接続部分を詳細に示す説明図である。
【図３】光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置にお
ける多重管バーナーを示す説明図である。
ける多重管バーナーを示す説明図である。
１ 多重管バーナー ２ 多重管バーナーを構成するパイプ ４ 原料ガス供給配管 ５ 原料供給チューブ ６ 接続部 ７ 固定板 ８ 貫通孔 １１ コネクタ １２ コネクタ
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス原料ガスと燃焼ガスとをバーナー
に供給し、バーナーにより形成される火炎によりガラス
原料を加水分解または酸化によりガラス微粒子とし、該
ガラス微粒子を出発部材に堆積させて多孔質ガラス母材
を製造する光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置に
おいて、前記バーナーは複数のパイプを同心円状に配置
した多重管バーナーで、該多重管バーナーの同心円状に
配置したそれぞれのパイプには原料ガス供給配管が設け
られ、この原料ガス供給配管それぞれには原料ガスを供
給する原料供給チューブが接続され、前記原料ガス供給
配管と原料供給チューブとの接続部は共通の固定具に固
定されていることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラ
ス母材の製造装置。 - 【請求項２】 前記固定具に原料ガス供給配管の外径よ
り若干大きい貫通孔を設けてなることを特徴とする請求
項１に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10330009A JP2000159532A (ja) | 1998-11-19 | 1998-11-19 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10330009A JP2000159532A (ja) | 1998-11-19 | 1998-11-19 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000159532A true JP2000159532A (ja) | 2000-06-13 |
Family
ID=18227760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10330009A Pending JP2000159532A (ja) | 1998-11-19 | 1998-11-19 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000159532A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7187630B2 (en) | 2001-06-11 | 2007-03-06 | Mitutoyo Corporation | Focusing servo device and focusing servo method |
| CN100353191C (zh) * | 2004-01-14 | 2007-12-05 | 株式会社藤仓 | 制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备 |
| JP2008247741A (ja) * | 2003-06-25 | 2008-10-16 | Fujikura Ltd | 光ファイバ母材の製造方法及びその装置 |
| EP3865462A1 (en) * | 2018-04-02 | 2021-08-18 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Apparatus and method for manufacturing porous glass preform for optical fiber |
| US11667557B2 (en) | 2020-12-14 | 2023-06-06 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Apparatus and method for producing porous glass preform |
-
1998
- 1998-11-19 JP JP10330009A patent/JP2000159532A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7187630B2 (en) | 2001-06-11 | 2007-03-06 | Mitutoyo Corporation | Focusing servo device and focusing servo method |
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| JP4536805B2 (ja) * | 2003-06-25 | 2010-09-01 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ母材の製造方法及びその装置 |
| US7921676B2 (en) | 2003-06-25 | 2011-04-12 | Fujikura Ltd. | Method for manufacturing optical fiber preform and optical fiber preform apparatus |
| US7946132B2 (en) | 2003-06-25 | 2011-05-24 | Fujikura Ltd. | Method for manufacturing optical fiber preform and optical fiber preform apparatus |
| CN100353191C (zh) * | 2004-01-14 | 2007-12-05 | 株式会社藤仓 | 制造用于光纤的多孔玻璃预制件的设备 |
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