KR20050006057A - 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법 및 유리 미립자 합성용버너 - Google Patents

유리 미립자 퇴적체의 제조 방법 및 유리 미립자 합성용버너 Download PDF

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스미토모 덴키 고교 가부시키가이샤
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Abstract

유리 미립자를 소망하는 상태로 퇴적시키고, 고품질의 유리 미립자 퇴적체를 안정적으로 제조하는 것이 가능한 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법 및 유리 미립자 합성용 버너를 제공한다. 원료 가스 공급 파이프를 중심에 구비한 버너를 이용하는 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법에 있어서, 하나의 실시예에서는, 버너에 의해 유리 미립자를 합성하여 유리 미립자를 퇴적시킬 때에, 원료 가스 공급 파이프의 선단부의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하로 유지한다. 별도의 실시예에서는, 버너에 의해 유리 미립자를 합성하여 상기 유리 미립자를 퇴적시킬 때에, 원료 가스 공급 파이프의 기단부의 휘어짐의 크기를 0.3㎜ 이하로 유지한다. 또한, 원료 가스 공급 파이프와 화염을 형성하기 위한 가스를 공급하는 복수의 가스 공급 파이프를 갖고, 이러한 파이프중 적어도 1조의 인접하는 두개의 파이프 사이가 길이 방향의 복수 개소에 있어서 접속되어 있는 유리 미립자 합성 버너가 제공된다.

Description

유리 미립자 퇴적체의 제조 방법 및 유리 미립자 합성용 버너{METHOD OF PRODUCING GLASS-PARTICLE-DEPOSITED BODY AND GLASS-PARTICLE-SYNTHESIZING BURNER}
본 발명은 버너로 유리 미립자를 합성하고 그 유리 미립자를 출발재(starting member)에 분출하여 유리 미립자 퇴적체를 제조하는 방법, 및 유리 미립자를 합성하는 버너에 관한 것이다.
광파이버의 제조 방법중 하나로, 유리 미립자 퇴적체를 제조하고, 이것을 가열·투명화하여 광파이버 모재로 하고, 이 광파이버 모재를 인출(drawing)하는 방법이 있다. 유리 미립자 퇴적체를 제조하는 방법으로는, 예컨대 VAD(Vapor phase Axial Deposition)법 또는 OVD(Outside Vapor Deposition)법을 들 수 있다.
이러한 방법은 복수의 포트를 갖는 버너로부터 가연성 가스, 지연성(支燃性) 가스 및 유리 원료 가스를 분출하고, 화염중에서 유리 원료를 가수 분해시켜서, 출발재상에 유리 미립자를 퇴적시키는 방법이다.
도 12는 싱글 모드 광파이버로 이루어진 유리 미립자 퇴적체를 VAD법에 의해 제조하는 상태를 도시하는 개념도이다. 코어 합성용 버너(51)에 의해 산수소 화염(oxyhydrogen flame)(52)을 형성하고, 화염(52)중에 사염화 게르마늄(GeCl4) 및 사염화 규소(SiCl4)를 포함하는 유리 원료 가스를 분출하여, 가수 분해에 의해 코어용 유리 미립자를 합성한다. 합성된 유리 미립자는 회전축에 고정된 출발재(55)의 하방에 퇴적되어, 코어부 다공질 유리체(53)가 형성된다. 마찬가지로, 클래드 합성용 버너(56)에 의해 산소수 화염(57)을 형성하고, 화염(57)중에 SiCl4로 이루어진 유리 원료 가스를 분출하여, 코어부 다공질 유리체(53)를 둘러싸듯이 클래드부 다공질 유리체(58)를 형성하고, 코어부 다공질 유리체(53) 및 클래드부 다공질 유리체(58)로 이루어진 유리 미립자 퇴적체(60)를 얻는다.
이러한 종류의 유리 미립자 퇴적체를 제조할 때에 이용하는 버너로는 일본 특허 공개 제 92-228443 호 공보, 일본 특허 공개 제 95-33467 호 공보, 일본 특허 공개 제 95-242434 호에 개시되어 있는 직경이 다른 복수의 파이프를 동심원 형상으로 배치한 다중 구조의 버너가 널리 사용되고 있다. 버너의 중심에 있는 포트로부터 유리 원료 가스를 분출하고, 주위에 있는 포트로부터 화염 형성용 가스를 분출하며, 유리 원료 가스가 화염에 의해 가수 분해되어서 유리 미립자가 합성된다.
그런데, 광파이버의 전송 특성을 향상시키기 위해서는, 도 13a에 도시하는 바와 같이, 굴절율 프로파일을 스텝형으로 하는 것이 바람직하다. 또한, 광파이버의 전송 특성을 안정화시키기 위해서는, 하나의 프리폼내 및 프리폼 상호간의 굴절율 프로파일의 불규칙을 없애는 것이 바람직하다.
코어부 다공질 유리체에는 굴절율을 증가시키기 위해서 드펀트(dopant)인 산화 게르마늄(GeO2)이 첨가되어 있고, 광파이버의 굴절율 프로파일은 드펀트의 분포에 의존하여 결정된다. 따라서, 드펀트의 분포의 형상을 스텝 형상으로 하고, 그 불규칙을 없앨 필요가 있다.
그러나, 종래 제조된 광파이버의 굴절율 프로파일을 관찰하면, 코어 부분의 직경이 작아져있거나, 도 13b에 도시하는 바와 같이 코어와 클래드의 계면에 굴절율의 극대부가 생기는 경우가 있었다. 또한 역으로, 코어 부분의 직경이 커져있거나, 도 13c에 도시하는 바와 같이 코어와 클래드의 계면에 굴절율의 불규칙이 발생하는 경우가 있었다. 즉, 종래는 유리 미립자를 소망하는 상태로 안정되게 퇴적할 수 없는 경우가 있고, 광파이버의 코어의 직경 및 굴절율에 불규칙이 발생하는 경우가 있었다.
본 발명의 목적은 유리 미립자를 원하는 상태로 퇴적시키고, 고품질의 유리 미립자 퇴적체를 안정적으로 제조하는 것이 가능한 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법 및 유리 미립자 합성용 버너를 제공하는 것이다.
목적을 달성하기 위해, 유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프를 중심에 구비한 버너를 사용하고, 버너에 의해 유리 미립자를 합성하여 유리 미립자를 출발재상에 퇴적시키는 것을 포함하는 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법이 제공된다. 발명의 일 실시예에서는, 버너에 의해 유리 미립자를 합성하여 유리 미립자를 퇴적시킬 때에, 원료 가스 공급 파이프의 선단부의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하로 유지한다. 이 실시예의 방법에서는, 원료 가스 공급 파이프의 단면적(D)과 길이(L)의 관계를 1975 ≤L4/D2≤1.15 ×109및/또는 단면적(D)과 원료 가스 공급 파이프의 기단부에 가해지는 하중(W)의 관계를 0kgf/㎜2≤W/D ≤2.0 kgf/㎜2로 할 수도 있다. 본 명세서 및 첨부된 특허청구범위에 있어서, 파이프의 「단면적」은 그 파이프의 「두께부의 단면적」을 의미한다.
발명의 다른 실시예에서는, 버너에 의해 유리 미립자를 합성해 유리 미립자를 퇴적시킬 때에, 원료 가스 공급 파이프의 기단부의 휘어짐의 크기를 0.3㎜ 이하로 유지한다. 이 실시예의 방법에서는, 단면적(D)과 원료 가스 공급 파이프의 지지점으로부터 기단부까지의 거리(M)의 관계를 1 ≤M4/D2≤3.81 ×104및/또는 단면적(D)과 원료 가스 공급 파이프의 기단부에 가해지는 W의 관계를 0kgf/㎜2≤W/D ≤0.36kgf/㎜2로 할 수도 있다. 또한, 하중(W)에 대하여, 이 하중(W)의 방향과는 역방향의 힘을 부여하여 원료 가스 공급 파이프를 지지할 수도 있다.
이러한 두개의 실시예에 있어서, 유리 원료 가스를 연소시키는 화염을 형성하기 위한 복수의 가스를 공급하는 복수의 가스 공급 파이프를 더 갖고, 원료 가스 공급 파이프 및 복수의 가스 공급 파이프중 인접한 두개의 파이프 사이가 길이 방향의 복수 개소에 있어서 접속되어 있을 수도 있다.
부가하여, 유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프를 중심에 구비하고 단면적(D)과 길이(L)의 관계가 1975 ≤L4/D2≤1.15 ×109인 유리 미립자 합성용 버너 및 유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프를 중심에 구비하고 단면적(D)과 원료 가스 공급 파이프의 지지점으로부터 기단부까지의 거리(M)의 관계가 1 ≤M4/D2≤3.81 ×104인 유리 미립자 합성 버너가 제공된다.
또는, 유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프와, 유리 원료 가스를 연소시키는 화염을 형성하기 위한 복수의 가스를 공급하는 복수의 가스 공급 파이프를 갖고, 원료 가스 공급 파이프 및 복수의 가스 공급 파이프중 인접하는 두개의 파이프 사이가 길이 방향의 복수 개소에 있어서 접속되어 있는 유리 미립자 합성 버너가 제공된다. 이 실시예의 버너에서는, 길이 방향의 복수 개소에 접속된 파이프중 단면적이 최대로 되는 파이프의 단면적이 30㎜2이상이어도 무방하고, 원료 가스 공급 파이프 및 복수의 가스 공급 파이프중 외주측에 위치하는 파이프는 내주측에 위치하는 파이프보다도 단면적이 커도 무방하다.
또한, 이 실시예의 유리 미립자 합성 버너를 이용하여 유리 미립자를 합성하여 유리 미립자를 출발재상에 퇴적시키는 것을 포함하는 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법이 제공된다.
본 발명의 이점은 다음의 상세한 설명에 의해 쉽게 파악될 수 있으며, 상세한 설명은 본 발명을 수행하기 위한 최상의 형태를 심사숙고한 것이다. 본 발명은 다른 상이한 실시예가 가능하며, 그것의 상세는 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 여러 명백한 측면에서 수정이 가능하다. 따라서, 도면 및 상세한 설명은 당연히예시적인 것이며, 제한적이지 않다.
도 1은 본 발명에서 사용되는 유리 미립자 퇴적체의 제조 장치의 개념도,
도 2a, 2b는 본 발명의 유리 미립자 합성용 버너의 제 1 실시 형태의 개념도로서, 도 2a는 정면도, 도 2b는 중심축을 포함하는 단면도,
도 3a, 3b는 본 발명의 유리 미립자 합성용 버너의 제 2 실시 형태의 개념도로서, 도 3a는 중심축을 포함하는 단면도, 도 3b는 도 3a의 III-III 단면도,
도 4a는 원료 가스 공급 파이프의 휘어짐의 크기를 버너 선단부를 예로 설명하는 모식도로서, 도 4b는 버너 기단부를 예로 설명하는 모식도,
도 5는 파이프의 길이 방향 위치와 휘어짐의 크기의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 6a, 6b, 6c는 본 발명의 유리 미립자 합성용 버너의 다른 실시 형태를 도시하는 정면도, 도 6d는 본 발명의 실시 형태의 유리 미립자 합성용 버너의 다른 실시 형태를 도시하는 중심축을 포함하는 단면도,
도 7a는 휘어짐의 크기와 코어 비굴절율차의 편차의 관계의 일례를 나타내는그래프,
도 7b는 휘어짐의 크기와 코어 직경의 편차의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 8a는 비율(L4/D2)과 코어 비굴절율차의 편차의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 8b는 비율(W/D)과 코어 직경의 편차의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 9a는 비율(W/D)과 코어 비굴절율차의 편차의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 9b는 비율(W/D)과 코어 직경의 편차의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 10a는 휘어짐량과 코어 직경의 편차의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 10b는 휘어짐량과 코어 직경의 편차의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 11a는 휘어짐량과 코어 비굴절율차의 편차의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 11b는 휘어짐량과 코어 직경의 편차의 관계의 일례를 나타내는 그래프,
도 12는 싱글 모드 광파이버로 이루어진 유리 미립자 퇴적체를 VAD법에 의해 제조하고 있는 상태를 도시하는 개념도,
도 13a 내지 13c는 굴절율의 프로파일의 예를 나타내는 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
21 : 클래드 합성용 버너 22 : 코어용 버너
24 : 유리 미립자 퇴적체 32a : 원료 가스 공급용 파이프
D : 단면적 L : 길이
W : 하중 X : 휘어짐의 크기
본 발명은 예시의 방법에 의해 설명되며, 제한적이지 않다. 첨부된 도면에 있어서, 유사한 참조부호는 유사한 요소를 지칭한다.
본 발명자는 종래의 방법에서는 유리 미립자를 소망하는 상태로 퇴적시켜 고품질의 유리 미립자 퇴적체를 안정적으로 제조할 수 없는 것에 대하여, 그 원인을 조사하였다. 그 결과, 유리 미립자 퇴적체를 제조할 때에, 유리 원료 가스의 분출 방향과 화염의 방향의 어긋남이 발생하는 것이 원인인 것을 발견했다.
이 어긋남은, 유리 미립자 합성용의 버너가 설치된 상태에 있어서, 버너의 중심에 배치된 원료 가스 공급 파이프, 특히 그 선단부가 휘어져, 설계시의 형상으로부터 어긋나 있는 것에 기인하고 있다. 예컨대, 원료 가스 공급 파이프의 선단부는 자중에 의해 하방으로 휘는 경우가 있다. 또한, 원료 가스 공급 파이프의 선단부는 기단측에 가해지는 하향의 하중, 예컨대 가스 공급 호스, 커넥터 및 유리 원료 가스를 가열하는 히터 등의 무게에 의해 반대측으로 움직여, 상방으로 변위하는 경우도 있다.
한편, 원료 가스 공급 파이프의 기단부는 자중이나 하향의 하중에 의해 하방으로 휘게 된다. 그리고, 원료 가스 공급 파이프의 내부를 흐르는 원료 가스의 흐름에 소용돌이가 발생하여, 그 소용돌이가 원료 가스의 유리화 반응의 불안정화를 초래한다.
또한, 중심의 포트를 형성하는 원료 가스 공급 파이프가 휘어지기 쉬운 버너는 외란에 대한 안정성이 불량하기 때문에, 시간 경과에 따른 파이프의 위치 변화가 발생하기 쉽다. 이로써 유리화 반응이 불안정해지므로, 유리 미립자를 소망하는 상태로 안정되게 퇴적시키기 어려워지고, 광파이버의 코어의 직경 및 굴절율에 불규칙이 발생하여, 광파이버의 품질의 저하를 초래하게 된다. 또한, 기단부의 휘어짐에 의해 원료 가스 공급 파이프에 크랙이 발생하는 경우가 있다. 크랙이 발생한 버너는, 가스 누설 등의 불량이 발생하는 경우도 고려되어, 조급히 교환할 필요가 있다.
본 발명의 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법 및 유리 미립자 합성용 버너를, VAD법을 예로 들어 도면을 참조하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시 형태에서 사용되는 유리 미립자 퇴적체의 제조 장치의 개념도이다. 유리 미립자 퇴적체의 제조 장치(10)는 반응 용기(11)를 갖고 있다. 반응 용기(11)내에는 반응 용기(11)의 상방에 설치된 승강 장치(13)에 지지된 지지봉(14)이 반응 용기(11)의 상면측으로부터 삽입되어 있다. 지지봉(14)에는 출발재(12)가 매달려있다. 출발재(12)는 승강 장치(13)에 의해 지지봉(14)과 함께 승강되고, 또한 축 주위로 회전된다.
반응 용기(11)내에는 출발재(12)에 유리 미립자를 분출하는 클래드 합성용 버너(21) 및 코어 합성용 버너(22)가 설치되어 있다. 버너(21, 22)는 각각의 선단부(21a, 22a)가 출발재(12)의 방향을 향하도록, 하방으로부터 경사져 상방을 향해 설치되어 있다. 버너(21, 22)에는 각각 가스 공급 장치(23)가 접속되고, 유리 원료 가스, 가연성 가스, 지연성 가스 및 밀봉 가스가 각각 공급된다. 버너(21, 22)는 이러한 가스를 각각 분출하여 유리 미립자를 합성한다. 출발재(12)의 단부에는 유리 미립자가 퇴적되어 있고, 유리 미립자 퇴적체(24)가 서서히 성형되어 간다.
반응 용기(11)는 그 하단 근방에 레이저 발진기(25)와 레이저 발진기(25)와 대향 배치된 수광기(26)가 설치되어 있다. 레이저 발진기(25)는 유리 미립자 퇴적체(24)의 하단부에 레이저를 조사하고, 조사된 레이저는 수광기(26)에 의해 수광된다. 수광기(26)는 유리 미립자 퇴적체의 형성을 제어하기 위한 제어 장치(27)에 수광 신호를 출력한다. 제어 장치(27)는 수광 신호의 출력이 일정값으로 되도록, 승강 장치(13) 및 가스 공급 장치(23)를 구동 제어하고, 형성하는 유리 미립자 퇴적체(24)의 밀도와 성장 속도를 관리한다. 또한, 반응 용기(11)에는 배기관(28)이 설치되어 있다.
여기서, 클래드 합성용 버너(21) 및 코어 합성용 버너(22)로서 사용하는 것이 가능한, 본 발명의 유리 미립자 합성용 버너의 제 1 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 2a, 2b는 본 발명의 유리 미립자 합성용 버너의 제 1 실시 형태의 개념도이고, 도 2a는 정면도, 도 2b는 중심축을 포함하는 단면도이다.
본 발명의 제 1 실시 형태인 유리 미립자 합성용 버너(31)는 직경이 다른 복수의 원통 형상의 파이프(32a, 32b, 32c, 32d, 32e)를 동심원 형상으로 설치한 것이고, 중심의 파이프(32a)의 내부가 유리 원료 가스를 분출하기 위한 포트(P1), 파이프(32a, 32b, 32c, 32d, 32e) 상호의 간극이 내측으로부터 포트(P2, P3, P4, P5)로 되어 있다.
버너(31)를 구성하는 파이프는 석영 유리이다. 파이프(32b, 32c, 32d, 32e)의 기단부는 각각 내주측에 인접하는 파이프(32a, 32b, 32c, 32d)의 기단부 근방에 있어서의 외주에 용접됨으로써 고정되어 있고, 모든 파이프가 일체화되어 있다. 원료 가스 공급 파이프(32a)는 인접하는 파이프(32b)의 연결 개소인 기단부 근방의 지지점(A)에서 외주측으로부터 지지되어 있다. 또한, 파이프(32a)의 기단부(B)와 지지점(A)의 사이의 거리(M)는 예컨대 10㎜ 내지 200㎜의 범위내로 설정되어 있다.
원료 가스 공급 파이프(32a)에는, 그 기단부에 원료 가스 공급 호스(33)가 커넥터(34)에 의해 접속되어 있다. 원료 가스 공급 호스(33)에는 원료 가스 공급 파이프(32a)와의 접속 부분 근방을 커넥터(34)와 함께 피복하도록, 히터(30)가 설치되어 있다. 원료 가스 공급 호스(33)에는 가스 공급 장치(23)로부터 유리 원료 가스가 공급되고, 기화한 상태에서 포트(P1)내로 공급된다. 또한, 클래드 합성용 버너(21)의 경우는 유리 원료 가스로서 SiCl4가 도입되고, 코어 합성용 버너(22)의 경우는 유리 원료 가스로서 SiC14및 GeCl4가 도입된다. 또한, 포트(P1)에는 유리 원료 가스와 함께, 산소(O2)를 도입해도 무방하다.
또한, 다른 파이프(32b, 32c, 32d, 32e)에는 각각 기단부에 가스 공급 배관이 접속되고, 가스 공급 장치(23)로부터 공급되는 질소(N2)가 포트(P2, P4)에, 수소(H2)가 포트(P3)에, 산소(O2)가 포트(P5)에 각각 공급된다. 또한, H2는 가연성 가스이고, O2는 지연성 가스이고, N2는 밀봉 가스이다. 이 가연성 가스와 지연성 가스에 의해, 연소 가스가 구성된다. 그리고, 상기한 바와 같이 구성된 버너(31)는그 외주가 홀더(도시하지 않음)에 의해 파지되어, 출발재(12)를 향해 경사지게 기울인 상태에서 지지대(도시하지 않음)상에 설치된다.
유리 미립자 합성용 버너(31)는 원료 가스 공급 파이프(32a)의 단면적(D)과 길이(L)의 관계가,
1975 ≤L4/D2≤1.15 ×109(1)
을 만족시킨다. 여기서, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 길이(L)는 도 2b에 도시하는 바와 같이, 유리 원료 가스를 분출하는 선단부로부터 커넥터(34)내에 결합된 기단부(B)까지의 전체 길이를 가리킨다.
덧붙여서, 유리 미립자 합성용 버너(31)는 단면적(D)과 원료 가스 공급 파이프(32a)의 지지점(A)으로부터 기단부(B)까지의 거리(M)의 관계가,
1 ≤M4/D2≤3.81 ×104(2)
를 만족시킨다.
유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프를 중심에 구비한 유리 미립자 합성 버너(31)를 클래드 합성용 버너(21) 및 코어 합성용 버너(22)로서 사용하여 유리 미립자를 합성하고, 유리 미립자를 출발재상에 퇴적시키며 유리 미립자 퇴적체(24)를 제조하는 경우는, 버너에 의해 상기 유리 미립자를 합성하여 유리 미립자를 퇴적시킬 때에, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 선단부의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하로 유지한다. 또한, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 기단부의 휘어짐의 크기를 0.3㎜ 이하로 유지한다. 여기서, 버너(21) 및 버너(22)의 경사 각도는 VAD법에 의한 경우는 연직 방향에 대하여 5° 내지 85°, OVD법에 의한 경우는 연직 방향에 대하여 60° 내지 120°가 바람직하다.
클래드 합성용 버너(21) 및 코어 합성용 버너(22)는 원료 가스 공급 파이프의 단면적(D)과 기단측에 가해지는 하중(W)의 관계는,
0kgf/㎜2≤W/D ≤2.0kgf/㎜2(3)
보다 바람직하게는,
0kgf/㎜2≤W/D ≤0.36kgf/㎜2(4)
로 되도록 설정하고 있다. 이러한 단면적(D)과 하중(W)의 관계를 얻기 위해서는, 예컨대 단면적(D)에 맞추어, 원료 가스 공급 호스(33), 히터(30), 커넥터(34)의 중량을 조정하거나, 호스(33), 히터(30), 커넥터(34)의 중량에 맞추어, 적절한 단면적(D)을 갖는 원료 가스 공급 파이프(32a)를 갖는 버너를 사용할 수도 있다. 또한, 호스(33), 히터(30), 커넥터(34)중 어느 것을 위로부터 끈으로 매달거나, 혹은 밑으로부터 지지 부재로 지지하여, 하중(W)을 경감함으로써 조정할 수도 있다. 또한, 원료 가스 공급 호스(33)에 중계 부분을 설치하고, 그 중계 부분으로 원료 가스 공급 호스(33)를 지지하여, 원료 가스 공급 호스(33)에 의한 하중을 경감시킬 수도 있다.
식 3을 만족시킴으로써, 유리 원료 가스의 분출 방향과 화염의 방향의 어긋남이 매우 억제된다. 따라서, 유리 미립자 퇴적체(24)의 투명 유리화 후에 있어서, 코어와 클래드의 계면에 있어서의 굴절율의 돌출이나 완만한 기울기가 없는 고품질의 유리 미립자 퇴적체(24)를 용이하게 제조할 수 있다.
또한, 식 4를 만족시킴으로써, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 기단부에 발생하는 휘어짐도 억제하는 것이 가능해진다. 그 결과, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 내부를 흐르는 원료 가스는 소용돌이를 만들지 않고 원활하게 흐른다. 따라서, 원료 가스의 유리화 반응이 안정화되고, 형성되는 유리 미립자 퇴적체로부터 제조되는 광파이버 모재의 유리 외경이나 굴절율의 로트(lot) 사이 또는 동일 로트내에서의 격차를 억제하고, 정밀도가 양호하게 광파이버를 제작하는 것이 가능해진다. 또한, 원료 가스 공급 파이프와 그 상류측의 배관 사이의 커넥터 부위 등에 가해지는 부하를 작게 하고, 원료 가스 공급 파이프가 상기 부하에 의해 깨어지는 등의 손상을 억제하는 것이 가능해진다. 따라서, 버너가 고수명화하고, 장기간에 걸쳐 안정되게 고품질의 유리 미립자 퇴적체(24)를 용이하게 제조할 수 있다.
도 4a는 원료 가스 공급 파이프의 휘어짐의 크기를 버너 선단부를 예로 설명하는 모식도이고, 도 4b는 버너 기단부를 예로 설명하는 모식도이다. 본 명세서 중에 있어서의 「휘어짐의 크기」란, 원료 가스 공급용 파이프(32a)의 중심축(O1)의 각 점이 버너[파이프(32e)]를 연직으로 배치했을 때의 원료 가스 공급용 파이프(32a)의 중심축(기준축)(O)으로부터 변위한 길이(X)를 나타낸다. 버너 선단부의 휘어짐의 크기(X)를 측정하기 위해서는, 우선 가장 외측에 배치된 파이프(32e)가 연직 방향으로 되도록 버너 본체(31)를 배치하고, 기준축(O)의 선단부에 해당하는 위치를, 가장 외측에 배치된 파이프(32e)로부터의 거리로서 측정한다. 그리고, 유리 미립자를 생성하기 위해서 버너 본체(31)를 기울여서, 원료 가스 공급 호스(33), 히터(30), 커넥터(34)를 원료 가스 공급용 파이프(32a)에 접속한다. 그 때의 원료 가스 공급용 파이프(32a)가 휘어져 선단부의 중심축(O1)이 기준축(O)으로부터 변위된 직선 거리를 휘어짐의 크기(X)로서 측정한다. 선단부 이외의 점에 있어서의 휘어짐의 크기의 측정도 동일하게 실행한다.
다음으로, 본 발명의 유리 미립자 합성용 버너의 제 2 실시 형태에 대해서 설명한다. 도 3a, 3b는 본 발명의 유리 미립자 합성용 버너의 제 2 실시 형태의 개념도이고, 도 3a는 중심축을 포함하는 단면도, 도 3b는 도 3a의 III-III 단면도이다. 또한, 제 1 실시 형태와 공통되는 요소에 대해서는 설명을 생략한다.
유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프(32a)와 유리 원료 가스를 연소시키는 화염을 형성하기 위한 복수의 가스를 공급하는 복수의 가스 공급 파이프(32b∼32e)를 갖고, 유리 미립자 퇴적체를 제조하는 버너(36)는 원료 가스 공급 파이프(32a) 및 파이프(32b) 사이가 버너(36)의 선단부 근방에서 파이프 원주 방향으로 대략 120도 간격으로 3개 설치된 접속 부재(35)에 의해 접속되어 있다. 이로써, 파이프(32a)와 파이프(32b)는 접속 부재(35)와 기단부 근방의 2개소에서 접속되어 일체로 구성되어 있다. 접속 부재(35)는 원료 가스 공급 파이프(32a)와 파이프(32b)의 상대 위치 관계를 유지하고, 이로써 기단측에 부가되는 하중에 기인하는 원료 가스 공급 파이프(32a)의 상방으로의 융기나, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 지지점으로부터 선단부까지의 자중에 의한 휘어짐을 방지하고 있다.
유리 미립자 합성 버너(36)를 클래드 합성용 버너(21) 및 코어 합성용 버너(22)로서 사용하여 유리 미립자를 합성하고, 유리 미립자를 출발재상에 퇴적시켜서유리 미립자 퇴적체(24)를 제조하는 경우는, 버너에 의해 상기 유리 미립자를 합성하고 유리 미립자를 퇴적시킬 때에, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 각 점에 있어서의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하로 유지하도록 한다.
원료 가스 공급 파이프(32a)의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하로 유지함으로써, 비굴절율차 목표 0.35%에 대하여 비굴절율차의 편차를 0.005% 이하, 코어 직경 목표 20㎜에 대하여 코어 직경 편차를 0.06㎜ 이하로 억제하는 것이 가능해진다.
부가하여, 클래드 합성용 버너(21) 및 코어 합성용 버너(22)에서는, 유리 원료 가스의 분출 방향과 화염의 방향의 어긋남이 매우 억제된다. 따라서, 유리 미립자 퇴적체(24)의 투명 유리화후에 있어서, 코어와 클래드의 계면에 있어서의 굴절율의 돌출이나 완만한 기울기가 없는 고품질의 유리 미립자 퇴적체(24)를 용이하게 제조 할 수 있다.
도 5는 원료 가스 공급 파이프(32a)의 선단부 및 기단부로부터 100㎜의 2개소에 있어서 원료 가스 공급 파이프(32a)를 고정했을 경우의 원료 가스 공급 파이프(32a)의 각 위치에서의 휘어짐의 크기를 도시한 도면이다. 파지 위치에 있어서의 휘어짐의 크기는 0㎜이고 파지 위치로부터 떨어진 위치에서는, 어느 정도의 휘어짐이 발생되고 있다.
원료 가스 공급 파이프(32a)의 각 위치에 있어서의 휘어짐의 크기는, (1) 자중에 의한 중력 방향(하방)으로의 휘어짐과, (2) 버너(36)의 기단측에 가해지는 하중에 기인하는 선단부의 상측으로의 융기에 의해 결정된다. 파이프 길이 방향의 2개소에 있어서 원료 가스 공급 파이프(32a)를 고정한 경우에도, 조건에 따라서는원료 가스 공급 파이프(32a)가 휘어지고, 포트(P1)의 축이 기울어지는 경우가 있다. 이러한 경우에는, 원료 가스가 경사지게 분출되고, 예정대로의 효과를 얻을 수 없는 경우가 있다.
이상과 같은 문제점을 고려하면, 길이 방향의 복수 개소에 접속된 파이프[(도 3b)에는, 원료 가스 공급 파이프(32a)와 파이프(32b)]중 단면적이 최대가 되는 파이프의 단면적이 30㎜2이상인 것이 바람직하고, 또한 연료 가스 공급 파이프(32a) 및 복수의 가스 공급 파이프(32b∼32e)중 외주측에 위치하는 파이프는 내주측에 위치하는 파이프보다도 단면적이 큰 것이 바람직하다. 이와 같이 구성함으로써, 각 파이프간에 접속된 파이프의 휘어짐의 크기를 더 감소시키는 것이 가능해진다.
버너(31, 36)의 원료 가스 공급 파이프(32a)의 선단부의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 및/또는 기단부의 휘어짐의 크기를 0.3㎜ 이하로 하는 것은 클래드 합성용 버너 또는 코어 합성용 버너중 어느 것도 무방하며, 양방이면 보다 바람직하다. 코어 합성용 버너에만 본 발명을 적용한 경우에는, 코어의 직경이나 굴절율을 소망하는 값으로 할 수 있지만, 클래드 합성용 버너에만 본 발명을 적용한 경우에는, 클래드의 직경을 소망하는 값으로 할 수 있다.
본 발명에 있어서의 유리 미립자 합성용 버너는 단면이 원형인 것에 한정하지 않고 직사각형이어도 무방하다. 또한, 그 다중관 구조가 몇 겹이어도 무방하다. 또한, 이상의 설명에서는 동심원 형상의 다중관 구조인 버너(31, 36)를 예로들어 설명했지만, 본 발명의 유리 미립자 합성용 버너는 중심에 원료 가스 공급 파이프를 갖는 것이면 동심 다중관 구조에 한정되는 것이 아니다. 예컨대, 도 6a에 도시하는 버너(41), 도 6c에 도시하는 버너(46)와 같이, 원료 가스 공급 파이프(42a)의 주위에, 연소 가스를 분출하는 복수의 연소 가스 공급용의 파이프(42f)를 동일 가상 원주상에 배열시킨 것이 있다. 복수의 파이프(42f)는 그 분출 방향이 버너(41)의 중심축상의 1개소를 향해, 버너(41)의 중심축에 대하여 중앙 부근에 경사져서 배치되어 있다.
또한, 도 6b에 도시하는 유리 미립자 합성용 버너(37)와 같이, 원료 가스 공급 파이프(32a)와 파이프(32b)에 부가하여, 다른 파이프간에, 예컨대 파이프(32b)와 파이프(32c)를 접속 부재(35)에서 접속하도록 구성할 수도 있다. 또한, 파이프(32c)와 파이프(32d), 파이프(32d)와 파이프(32e)를 접속 부재(35)로 접속할 수도 있다. 또한, 도 6d에 도시하는 유리 미립자 합성용 버너(38)와 같이 파이프 길이 방향에 2개소, 접속 부재(35)를 설치하도록 구성할 수도 있다.
상기 실시 형태에서는, VAD법에 의해 유리 미립자 퇴적체(24)를 제조하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 출발재 또는 코어로 이루어진 유리 로드와 버너를 상대적으로 이동시키면서, 유리 로드의 외주에 유리 미립자를 퇴적시키는 OVD법의 경우에도 적응 가능하다. 그 경우, 복수의 버너를 유리 로드의 축 방향으로 배열시켜서 유리 로드의 복수 개소에 동시에 유리 미립자를 퇴적시키는 방식이어도 무방하다.
실시예 1 내지 10 및 비교에 1 및 2
도 1에 도시한 유리 미립자 퇴적체의 제조 장치(10)를 사용하여, 유리 미립자 퇴적체(24)를 제조한다. 출발재에는 직경 25㎜, 길이 400㎜의 순석영 유리를 사용한다.
코어 합성용 버너(22)로는, 기단부(B)로부터 지지점(A)까지의 거리(M)가 40㎜인 원료 가스 공급 파이프(32a)를 갖는 도 2a, 2b에 도시하는 다중관 구조의 석영 유리제 버너를 사용한다. 클래드 합성용 버너(21), 코어 합성용 버너(22)는 기준축이 연직 방향에 대하여 각각 45°, 50°로 되도록 설치한다. 클래드 합성용 버너(21)에는 SiC14과 O2를 공급하고, 코어 합성용 버너(22)에는 SiC14, GeC14및 O2를 공급한다.
그리고, 실시예 1 내지 4, 비교예 1에서는, 커넥터(34)를 끈으로 매달고 코어 합성용 버너(22)의 원료 가스 공급 파이프(32a)에 가해지는 하중(W)이 2.2kgf로 되도록 설정하고, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 길이(L) 및 단면적(P)을 변경하여 유리 미립자 퇴적체(24)의 제조를 실행한다. 또한, 실시예 5 내지 8, 비교예 2에서는, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 길이(L)를 300㎜로 설정하고, 단면적(D) 및 하중을 변경하여 유리 미립자 퇴적체(24)의 제조를 실행한다. 실시예 9, 10에서는 자중에 의한 파이프 선단의 휘어짐을 기단부에 하중을 부가함으로써 상쇄하고, 이 상태에서 유리 미립자 퇴적체(24)의 제조를 실행한다.
그 후, 유리 미립자 퇴적체(24)를 가열·투명화하여 광파이버 모재로 하고,코어의 외경과 비굴절율차를 측정한다. 도 7a는 실시예 1 내지 8, 비교예 1, 2에 있어서의 선단부 휘어짐의 크기(X1)와 코어 비굴절율차(%)의 편차(σn)의 관계를 도시하는 그래프이고, 도 7b는 실시예 1 내지 8, 비교예 1, 2에 있어서의 선단부 휘어짐의 크기(X1)와 코어 직경의 편차(σd)의 관계를 나타내는 그래프이다. 또한, 휘어짐의 크기(X)의 부호는 그 휘어짐의 방향을 나타내고, "-"는 하방으로의 휘어짐을 나타내며, 부호없음은 상방으로의 휘어짐을 나타낸다. 또한, 도 8a는 실시예 1 내지 4, 비교예 1에 있어서의 비율(L4/D2)과 코어 비굴절율차의 편차(σd)를 도시하는 그래프이고, 도 8b 는 실시예 1 내지 4, 비교예 1에 있어서의 비율(L4/D2)과 코어 직경의 편차(σd)를 도시하는 그래프이다. 또한, 도 9a는 실시예 5 내지 8, 비교예 2에 있어서의 비율(W/D)과 코어 비굴절율차의 편차(σn) 도시하는 그래프이며, 도 9b는 실시예 5 내지 8, 비교예 2에 있어서의 비율(W/D)과 코어 직경의 편차(σd)를 도시하는 그래프이다. 광파이버 모재의 양부의 판정 기준은, 코어 비굴절율차에서는 목표값 0.35%에 대하여 편차(σd)가 0.01% 이하인지 여부로 하고, 코어 외경에서는 목표값 20㎜에 대하여 편차(σd)가 0.1㎜ 이하인지 여부로 하였다. 코어 비굴절율차나 코어 외경이 이러한 범위내이면, 얻어지는 광파이버의 전송 특성은 안정화된다. 표 I에 실시예 1 내지 10, 비교예 1, 2로 얻어지는 결과를 정리해서 도시한다.
표 I
길이 L 단면적 D 하중 W 비율 W/D 비율 L4/D2 휘어짐의 크기 X1 편차 σn 편차 σd
실시예 1 500 11 2.2 0.2000 5.17 ×108 -0.39 0.005 0.06
실시예 2 100 225 2.2 0.0098 1.98 ×103 0.00 0.000 0.01
실시예 3 660 13 2.2 0.1692 1.12 ×109 -1.16 0.010 0.10
실시예 4 300 10 2.2 0.2200 8.10 ×107 0.03 0.002 0.03
비교예 1 700 7.5 2.2 0.2933 4.27 ×109 -2.50 0.080 1.10
실시예 5 300 100 0 0.0000 8.10 ×105 -0.01 0.000 0.02
실시예 6 300 10 3 0.3000 8.10 ×107 0.07 0.003 0.04
실시예 7 300 10 10 1.0000 8.10 ×107 0.39 0.005 0.06
실시예 8 300 7 13.5 1.9286 1.65 ×108 1.17 0.008 0.09
비교예 2 300 5 14 2.8000 3.24 ×108 2.44 0.090 1.10
실시예 9 700 4 14 3.5000 1.50 ×1010 -1.01 0.009 0.09
실시예 10 450 7 15 2.1400 8.40 ×108 0.92 0.009 0.08
우선, 실시예 9 및 10으로부터, 원료 가스 공급 파이프의 선단부의 휘어짐의 크기(X1)를 1.2㎜ 이하로 유지하여 유리 미립자 퇴적체를 제조하면, 비굴절율차의 편차(σn) 코어 직경의 편차(σd) 모두 기준치 이하의 광파이버 모재가 얻어진다.
다음으로, 표 I 및 도 8a에 도시하는 바와 같이, 실시예 1 내지 4에서는, 비굴절율차의 편차(σn)가 모두 기준치인 0.01% 이하로 되어 있지만, 비교예 1은 이것을 크게 초과하고 있다. 그리고, 표 I 및 도 8b에 도시하는 바와 같이, 실시예 1 내지 4에서는, 코어 직경의 편차(σd)가 모두 기준치인 0.01㎜ 이하로 되어 있지만, 비교예 1은 이것을 크게 초과하고 있다. 그리고, 표 I, 도 7a 그리고 7b에 도시하는 바와 같이, 선단부의 휘어짐의 크기(X1)는 실시예 1 내지 실시예 4가 모두 절대치이고 1.2㎜ 이하인 것에 반해, 비교예 1은 2.50㎜이다. 여기서, 표 I, 도 8a 그리고 8b에 도시하는 바와 같이, 하중(W)을 2.2kgf으로 설정한 실시예 1 내지 4 및 비교예 1에 있어서, 비율(L4/D2)의 값이 비교예 1을 제외하고 1975 ≤L4/D2≤1.15 ×109인 것을 알 수 있다. 또한, 비교예 1에서는 그 굴절율 프로파일을 조사하면, 코어와 클래드의 계면에 굴절율의 극대부가 존재하고 있다.
다음으로, 표 I 및 도 9a에 도시하는 바와 같이, 실시예 5 내지 8에서는, 비굴절율차의 편차(σn)가 모두 기준치인 0.01% 이하로 되어 있지만, 비교예 2는 이것을 크게 초과하고 있다. 또한, 표 I 및 도 9b에 도시하는 바와 같이, 실시예 5 내지 8에서는, 코어 직경의 편차(σd)가 모두 기준치인 0.1㎜ 이하로 되어 있지만, 비교예 2는 이것을 크게 초과하고 있다. 그리고, 표 I, 도 7a 그리고 도 7b에 도시하는 바와 같이, 선단부의 휘어짐의 크기(X1)는 실시예 5 내지 실시예 8이 모두 절대값으로 1.2㎜ 이하인 것에 반해, 비교예 2는 2.44㎜정도이다. 여기서, 표 I, 도
9a 그리고 도 9b에 도시하는 바와 같이, 길이(L)를 300㎜로 한 실시예 5 내지 실시예 8 및 비교예 2에 있어서, 비율(W/D)의 값이, 비교예 2를 제외하고, 0kgf/㎜2≤W/D ≤2.0kgf/㎜2인 것을 알 수 있다. 또한, 비교예 2에서는, 그 굴절율 프로파일을 조사하면, 코어와 클래드의 계면의 굴절율에 완만한 기울기가 발생하였다.
이와 같이, 비굴절율차의 편차나 코어 직경의 편차를 작게 억제하기 위해서는, 원료 가스 공급용 파이프의 선단부의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하, 보다 바람직하게는 0.4㎜ 이하로 유지하는 것이 효과적이라는 것을 알 수 있다. 또한, 표 I, 도 7a 그리고 도 7b에 도시하는 바와 같이, 선단부의 휘어짐의 크기(X1)의 절대값이 0.4㎜ 이하이면, 비굴절율차의 편차(σd)가 각각 평가 기준보다도 대폭 작은 값이고, 보다 바람직하다는 것을 알 수 있다. 또한, 비굴절율차의 편차나 코어 직경의 편차를 작게 억제하기 위해서는, 원료 가스 공급용 파이프의 단면적(D)과 길이(L)의 관계를, 1975≤L4/D2≤1.15 ×108, 보다 바람직하게는, 1975 ≤L4/D2≤5.2 ×108로 하는 것이나, 원료 가스 공급 파이프의 단면적(D)과 원료 가스 공급 파이프의 기단부에 가해지는 하중의 관계를 0kgf/㎜2≤W/D ≤2.0kgf/㎜2, 보다 바람직하게는 0kgf/㎜2≤W/D ≤1kgf/㎜2로 하는 것이 좋다는 것을 알 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 원료 가스 공급용 파이프의 선단부의 휘어짐의 크기를 한정했지만, 그 밖의 가스 공급용 파이프의 선단부의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하로 억제하는 것도 바람직하다.
실시예 11 내지 18 및 비교예 3 및 4
코어 합성용 버너(22)로서, 원료 가스 공급 파이프(32a)의 기단부(B)로부터 지지점(A)까지의 거리(M)가 40㎜, 단면적(D)이 10㎟(내경 3.5㎜, 외경 5㎜)인 도 2a, 2b에 도시하는 다중관 구조의 석영 유리제 버너를 사용한다. 코어 합성용 버너(22)는 기준축이 연직 방향에 대하여 45°로 되도록 설치한다. 버너의 각 포트에는, 각종 가스를 도입하기 위한 배관을 장착하지만, 원료 가스 공급 파이프에 가해지는 하중이 합계 2.4kgf로 되도록 관리한다. 클래드 합성용 버너(21)의 원료 가스 공급 파이프에는 SiC14와 O2를 공급하고, 코어 합성용 버너(22)의 원료 가스 공급 파이프에는 SiCl4, GeC14, 및 O2를 공급한다.
제작한 유리 미립자 퇴적체를 가열·투명화하여 광파이버 모재로 한다. 이렇게 하여 얻어지는 광 파이버 모재의 코어 비굴절율차의 편차(σn), 코어 외경의 편차(σd), 기단부(B)에 있어서의 크랙 발생 회수, 원료 가스 공급 파이프의 기단부의 휘어짐의 크기(X2)를 표 II의 실시예(11)에 나타낸다.
다음으로, 거리(M), 단면적(D), 하중(W)을 변경한 복수의 버너를 준비하고, 각각의 버너를 사용하여 광파이버 모재를 제작하고, 코어 비굴절율차와 코어 외경을 측정했다. 각각의 버너의 원료 파이프에서의 기단부의 휘어짐의 크기(X2), 편차(σn)(%), 편차(σd), 기단부(B)에 있어서의 크랙 발생 회수를 표 II에 실시예 12 내지 18, 비교예 3, 4로서 도시한다. 또한, 도 10a 및 10b에 도시한다.
표 II
M D W W/D M4/D2 서포트 휘어짐의 크기 X2 σn σd 크랙의발생 회수
실시예 11 40 10 2.4 0.2400 2.56 ×104 없음 -0.200 0.0040 0.040 0
실시예 12 10 100 2.4 0.0240 1.00 ×100 없음 0.000 0.0001 0.001 0
비교예 3 50 7.5 2.4 0.3200 1.11 ×105 없음 -0.695 0.0400 0.390 3
실시예 13 40 8.2 2.4 0.2927 3.81 ×104 없음 -0.298 0.0050 0.059 1
실시예 14 40 10 2.4 0.2400 2.56 ×104 있음 0.000 0.0001 0.001 0
실시예 15 40 100 0 0.0000 2.56 ×102 없음 0.000 0.0001 0.001 0
실시예 16 40 10 3.6 0.3600 2.56 ×104 없음 -0.300 0.0050 0.060 1
비교예 4 40 10 5 0.5000 2.56 ×104 없음 -0.417 0.0200 0.190 3
실시예 17 40 8.17 2.4 0.2938 3.81 ×104 없음 -0.300 0.0050 0.059 1
실시예 18 20 8.17 3.5 0.4284 2.40 ×103 없음 -0.055 0.0002 0.002 1
여기서, 실시예 14에 있어서의 「서포트 있음」이란 원료 가스 공급 파이프의 기단부(B)가 후크에 의해 매달려 지지되어 있는 것을 나타내고 있다. 실시예 14에서는, 후크에 가해지는 하중량을 스프링 저울로 측정하여, 스프링 저울의 측정값이 2.4kgf로 되도록 올림량을 조정한다.
표 II로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 11 내지 18에서는, 휘어짐의 크기(X2)의 절대값을 0.3㎜ 이하로 억제하는 것이 가능하지만, 비교예 3, 4에서는, 휘어짐의 크기의 절대값이 0.3㎜를 초과하고 있다.
또한, 표 II 및 도 10a로부터 알 수 있듯이, 휘어짐의 크기가 0.3㎜ 이하인 실시예 11 내지 18에 있어서는 코어 비굴절율차의 편차(σn)가 0.0050% 이하로 되지만, 휘어짐의 크기가 0.3㎜를 초과한 비교예 3, 4에 있어서는 코어 비굴절율차의 편차(σn)가 0.040%, 0.020%로 크다. 또한, 동일하게, 코어 외경의 편차(σd)에 있어도, 표 II 및 도 10b로 알 수 있는 바와 같이, 실시예 11 내지 16에 있어서는0.06㎜ 이하로 억제하는 것이 가능하지만, 비교예 3, 4에 있어서는 외경의 편차(σn)가 0.39㎜, 0.19㎜로 크다. 또한, 비교예 3, 4의 버너를 사용한 경우는, 기단부(B)의 크랙은 3회 발생했지만, 실시예에서는 실시예내에서 비교적 휘어짐의 크기가 컸던 실시예 13, 16, 17에서도 크랙의 발생은 1회뿐이고, 나머지 실시 예에서는 크랙은 발생하지 않는다.
이상을 고려하면, 원료 가스 공급 파이프의 기단부(B)의 휘어짐의 크기(X2)는 0.3㎜ 이하, 보다 바람직하게는 0.2㎜ 이하로 되도록 버너에 장착함으로써, 코어 비굴절율차의 편차(σn)가 0.0050% 이하 및 코어 외경의 편차(σd)가 0.06㎜ 이하의 편차가 적은 양호한 광파이버 모재를 얻을 수 있다는 것을 알 수 있다. 또한, 휘어짐의 크기(X2)가 0.3㎜ 이하로 되도록 버너에 장착함으로써, 유리 미립자 퇴적체의 제작에 있어서, 크랙의 발생 회수를 억제하는 것이 가능해진다.
다음으로, 코어 비굴절율차의 편차(σn)를 0.0050% 이하로 하고, 또한 코어 외경의 편차(σd)를 0.06㎜ 이하로 하기 위한 원료 가스 공급 파이프 및 그것을 구비한 버너의 조건에 대하여 검토를 실행한다. 거리(M) 및 단면적(D)이 동일한 실시예 11, 16과, 비교예 4를 비교하면, 하중(W)이 커짐으로써 휘어짐의 크기(X2)의 절대값이 증가하고 있다.
또한, 거리(M) 및 하중(W)이 동일한 실시예 11, 13, 17을 비교하면, 단면적(D)이 클수록, 휘어짐의 크기(X2)의 절대값이 작아지고 코어 비굴절율차의 편차(σn) 및 코어 외경의 편차(σd)도 작아진다. 이상을 고려하고, 실시예와 비교예의 W/D의 비를 고려하면, 실시예 11 내지 16의 것은, 0.36 이하로 되어 있는 것에 반해, 비교예 4의 것은 0.50으로 되어 있다. 이상으로부터, 바람직한 W/D의 범위는 0.36 이하이다.
단, 비교예 3에 대하여 조사해 보면, W/D가 0.36 이하로 되어 있지만, 휘어짐의 크기(X2)의 절대값은 0.695㎜로 되어 있다. 이것은, 비교예 3의 버너는 거리(M)가 길기 때문이라 사료되고, M4/D2를 확인하면 1.11×105로 되어 있다. 한편, 실시예 11 내지 16의 데이터를 확인하면, M4/D2는 3.81 ×104이하로 되어 있다. 이로부터, 바람직한 M4/D2의 범위는 3.81 ×104이하인 것을 알 수 있다.
이상의 W/D의 범위, M4/D2의 범위를 고려하면, W/D가 0.36 이하이고, M4/D2가 3.81 ×104이하이면, 원료 가스 공급 파이프의 기단부(B)의 휘어짐의 크기가 0.3㎜ 이하인 버너를 얻을 수 있다는 것을 알 수 있다.
또한, 실시예 11, 14를 비교하면 알 수 있듯이, 원료 가스 공급 파이프의 기단부(B)가 후크에 의해 매달아 지지함으로써, 원료 가스 공급 파이프의 기단부(B)의 휘어짐어짐을 더 억제하는 것이 가능하다는 것을 알 수 있다.
또한, 크랙 횟수에 주목하면, W/D가 0.24 이하이고, 또한 M4/D2가 2.56×104이하이면, 유리 미립자 퇴적체의 제조에 있어서 원료 파이프에 크랙이 발생하지 않기 때문에, 더욱 바람직하다는 것을 알 수 있다.
또한, 상기 실시예에 있어서는, 파이프가 석영으로 이루어지는 석영 버너에 관한 결과를 도시했지만, 재질이 다른 버너라도 휘어짐의 크기를 저감시키는 것이 중요한 것은 동일하다. 즉, 다른 재질의 버너라도, 원료 가스 공급 파이프의 기단부(B)의 휘어짐의 크기(X2)의 절대값이 0.3㎜ 이하로 되도록 버너에 장착함으로써, 코어 비굴절율차의 편차(σn) 및 코어 외경의 편차(σd)의 오차가 작은 양호한 광파이버 모재가 얻어진다는 것이 이해된다. 또한, 다른 가스 공급 파이프의 기단부의 휘어짐의 크기를 0.3mm 이하로 하는 것도 바람직하다.
실시예 19 내지 23 및 비교예 5
코어 합성용 버너로서 전체 길이(L)가 500㎜, 단면적(D)이 11㎟(내경 3.3㎜, 외경 5㎜)인 원료 가스 공급 파이프가 중심에 배치되고, 그리고 원료 가스 공급 파이프의 외주측에 단면적(D)이 35㎟(내경 10㎜, 외경 12㎜)인 제 2 파이프가 배치된 5중관 구조의 버너를 사용한다.
코어 합성용 버너의 각 파이프에는 가스를 도입하기 위한 배관을 장착하고, 원료 가스 공급 파이프에 있어서의 하중이 2.4kgf, 제 2 파이프에 있어서의 하중이 1.2kgf, 그리고 제 2 파이프의 외주측에 순차로 배치되는 제 3 내지 5 파이프에 가해지는 하중(W3∼W5)은 0.35kgf로 되도록 관리한다. 이 때, 코어 합성용 버너의 중심축과 바닥면의 각도는 45°로 한다.
원료 가스 공급 파이프와 제 2 파이프는 길이 방향의 2개소에서 접속한다. 기단측은 원료 가스 공급 파이프의 전체 외주와 제 2 파이프를 접속하고, 그리고 선단측은 파이프 둘레 방향의 3개소에서 접속한다. 기단측은 기단부(B)로부터 50㎜ 선단측의 위치에서, 그리고 선단측은 원료 가스 공급 파이프의 선단으로부터 80㎜의 위치에서 각각 접속한다.
코어 합성용 버너에는 원료 가스로서 GeCl4과 SiC14를 공급하고, 클래드 합성용 버너에는 SiC14를 공급하여, 각각 코어용 유리 미립자 및 클래드용 유리 미립자를 퇴적시켜서 유리 미립자 퇴적체를 형성한다. 그 후, 유리 미립자 퇴적체를 가열·투명화하여 광파이버 모재로 한다. 이렇게 하여 얻어진 광파이버 모재의 코어 비굴절율차의 편차(σn)(%), 코어 직경 편차(σd), 원료 가스 공급 파이프의 휘어짐의 크기의 최대값(Xmax)을 표 III의 실시예 19에 나타낸다.
이어서, 길이 방향의 복수 개소에서 이웃하는 파이프를 접속한 파이프의 수를 N, 길이 방향의 복수 개소에서 접속된 파이프에서 최대가 되는 단면적(Dmax)을 변경한 복수의 버너의 원료 가스 공급 파이프 길이 방향의 휘어짐의 크기의 최대값(Xmax)을 측정한다. 그리고, 각 버너에 각각 유리 미립자 퇴적체를 형성하고, 유리 미립자 퇴적체를 유리화함으로써 광파이버 모재를 제조한다. 결과를 이하의 표 III의 실시예 20 내지 23, 비교예 5에 도시한다. 표 III의 결과를 도 11a 및 도 11b에 도시한다. 또한, N=0은 원료 가스 공급 파이프가 기단측 이외에서는 접속되어 있지 않다는 것을 나타낸다. 또한, Dmax로 되는 파이프는 접속하는 파이프 중 최외주에 위치하는 파이프로 한다. 2개소에 접속하는 경우, 선단측과 기단측의 2개소에서 접속하고, 그 위치는 전술한 바와 같이, 기단측 접속 개소는 원료 가스 공급 파이프의 기단부로부터 50㎜ 선단측의 위치이고, 선단측 접속 개소는 원료 가스 공급 파이프의 선단으로부터 80㎜ 기단측의 위치이다.
표 III
N Dmax D2-D1 X(mm) σn(mm) σd(mm)
실시예 1 2 35 24 0.80 0.0035 0.040
실시예 2 3 47 24 0.60 0.0030 0.035
실시예 3 4 57 24 0.45 0.0020 0.030
비교예 1 0 24 1.50 0.0100 0.110
실시예 4 2 30 19 1.10 0.0045 0.055
실시예 5 2 11 0 1.20 0.0050 0.055
표 III 및 도 11a로부터 알 수 있듯이, 파이프 사이가 길이 방향 복수 개소에 있어서 접속된 버너를 사용한 실시예 19 내지 실시예 23중 어느 것에 있어서도, 코어 직경 편차(σn)가 0.0050% 이하로 되지만, 파이프 사이를 접속하지 않은 비교예 5에서는 비굴절율차의 편차(σn)가 0.01%로 크게 차이 나게 된다. 이것은, 실시예 19 내지 23의 경우에는, 파이프 사이를 길이 방향 복수 개소에 있어서 접속함으로써, 휘어짐의 크기의 최대값을 1.20㎜ 이하로 억제함에 반해, 파이프 사이를 접속하지 않는 비교예 5에서는, 휘어짐의 크기가 1.50㎜로 크게 휘어지는 것이 원인이라 생각할 수 있다.
또한, 표 III 및 도 10b로부터 알 수 있는 바와 같이, 파이프 사이가 길이방향 복수 개소에 있어서 접속된 버너를 채용한 실시예 19 내지 23중 어느 것에 있어서도, 코어 직경 편차(σd)가 0.055㎜ 이하로 되지만, 파이프 사이를 접속하지 않은 비교예 5에서는 직경 편차(σd)가 0.11㎜로 크게 차이 나게 된다. 이것은, 비굴절율차의 편차(σn)의 결과와 같이, 실시예 19 내지 23의 경우에는, 파이프 사이를 길이 방향 2개소에 있어서 접속함으로써, 휘어짐의 크기의 최대값(Xmax)을 1.20㎜ 이하로 억제함에 반해, 파이프 사이를 접속하지 않는 비교예 5에서는, 휘어짐의 크기가 1.50㎜로 크게 휘어지는 것이 원인이라 사료된다.
이와 같이, 비굴절율차의 편차나 코어 직경 편차를 작게 억제하기 위해서는, 원료 가스 공급 파이프의 길이 방향의 최대 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하, 보다 바람직하게는 0.8㎜ 이하로 유지하는 것이 효과적이라는 것을 알 수 있었다.
또한, 실시예 19 내지 21을 이용하여 길이 방향으로 복수 개소 접속된 파이프에서 최대로 되는 단면적(Dmax)에 대하여 비교하면, Dmax가 30㎟ 이상, 보다 바람직하게는 35㎟ 이상이고 비굴절율차의 편차(σn) 및 코어 직경 편차(σn)가 양호해지는 경향이 있다. 이것은, Dmax가 클수록 휘어짐의 크기의 최대값(Xmax)이 작아지는 경향이 있기 때문이며, 즉 Dmax를 크게 하기 위해서는, 길이 방향의 복수 개소에서 접속된 파이프의 수(N)를 증가시킬 수도 있고(실시예 19, 20, 21), N은 일정하며 길이 방향의 복수 개소에서 접속된 최외주 파이프의 단면적을 크게 할 수도 있다(실시예19, 22, 23).
또한, 본 실시예에 있어서는 원료 가스 공급 파이프의 선단부의 휘어짐의 크기를 한정했지만, 그 밖의 가스 공급용 파이프의 선단부의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하로 억제하는 것도 중요한 것은 물론이다.
본 발명은 현재 가장 실용적이 바람직한 것으로 간주되는 실시예와 연계하여 설명되었지만, 본 발명은 개시된 실시예에 한정되지 않으며, 반대로 첨부된 청구범위의 사상 및 범위내의 대양한 변형 및 동등물을 포함하는 것으로 의도된다.
2003년 7월 7일 출원된 일본 특허 출원 제 2003-192916 호, 제 2003-192927 호, 제 2003- 192930 호의 상세한 설명, 특허청구범위, 도면 및 요약을 포함한 모든 개시 내용은 본 명세서에 참고로 인용되어 있다.
이상 설명한 바와 밭이, 본 발명에 따르면, 원료 가스 공급 파이프의 변형을 억제하여, 유리 미립자를 소정 상태로 퇴적시켜, 고품질의 유리 미립자 퇴적체를 제조하는 것이 가능한 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법 및 유리 미립자 생성용 버너를 제공할 수 있다.

Claims (14)

  1. 유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프를 중심에 구비한 버너를 사용하여, 상기 버너에 의해 유리 미립자를 합성하고, 유리 미립자를 출발재상에 퇴적시키는 것을 포함하는 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법에 있어서,
    상기 버너에 의해 상기 유리 미립자를 합성하고, 상기 유리 미립자를 퇴적시킬 때에, 상기 원료 가스 공급 파이프의 선단부의 휘어짐의 크기를 1.2㎜ 이하로 유지하는
    유리 미립자 퇴적체의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 원료 가스 공급 파이프의 단면적(D)과 길이(L)의 관계를 1975 ≤L4/D2≤1.15 ×109로 하는
    유리 미립자 퇴적체의 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 원료 가스 공급 파이프의 단면적(D)과 상기 원료 가스 공급 파이프의 기단부에 가해지는 하중(W)의 관계를
    0kgf/㎟ ≤W/D ≤2.0kgf/㎟로 하는
    유리 미립자 퇴적체의 제조 방법.
  4. 유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프를 중심에 구비한 버너를 사용하여, 상기 버너에 의해 유리 미립자를 합성하고, 유리 미립자를 출발재상에 퇴적시키는 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법에 있어서,
    상기 버너에 의해 상기 유리 미립자를 합성하고, 상기 유리 미립자를 퇴적시킬 때에, 상기 원료 가스 공급 파이프의 기단부의 휘어짐의 크기를 0.3㎜ 이하로 유지하는
    유리 미립자 퇴적체의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 원료 가스 공급 파이프의 단면적(D)과 지지점으로부터 기단부까지의 거리(M)의 관계를
    1 ≤M4/D2≤3.81 ×104로 하는
    유리 미립자 퇴적체의 제조 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 원료 가스 공급 파이프의 단면적(D)과 지지점으로부터 기단부까지의 상기 원료 가스 공급 파이프의 기단부에 가해지는 하중(W)의 관계를
    0kgf/㎟ ≤W/D ≤0.36kgf/㎟
    로 하는
    유리 미립자 퇴적체의 제조 방법.
  7. 제 4 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 버너의 상기 원료 가스 공급 파이프의 기단부에 가해지는 하중에 대하여, 상기 하중의 방향과는 역방향의 하중을 부여하여 상기 원료 가스 공급 파이프를 지지하는
    유리 미립자 퇴적체의 제조 방법.
  8. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 유리 원료 가스를 연소시키는 화염을 형성하기 위한 복수의 가스를 공급하는 복수의 가스 공급 파이프를 더 갖고,
    상기 원료 가스 공급 파이프 및 상기 복수의 가스 공급 파이프중 적어도 1조의 인접하는 두개의 파이프 사이가 길이 방향의 복수 개소에 있어서 접속되어 있는
    유리 미립자 퇴적체의 제조 방법.
  9. 유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프를 중심에 구비하는 유리 미립자 합성용 버너에 있어서,
    상기 원료 가스 공급 파이프의 단면적(D)과 길이(L)의 관계가
    1975 ≤L4/D2≤1.15 ×109인
    유리 미립자 합성용 버너.
  10. 유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프를 중심에 구비하고, 유리 미립자를 합성하는 유리 미립자 합성용 버너에 있어서,
    상기 원료 가스 공급 파이프의 단면적(D)과 지지점으로부터 기단부까지의 거리(M)의 관계가
    1 ≤M4/D2≤3.81 ×104인
    유리 미립자 합성용 버너.
  11. 유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프와, 상기 유리 원료 가스를 연소시키는 화염을 형성하기 위한 복수의 가스를 공급하는 복수의 가스 공급 파이프를 갖는, 유리 미립자 퇴적체를 제조하는 버너에 있어서,
    상기 원료 가스 공급 파이프 및 상기 복수의 가스 공급 파이프중 적어도 1조의 인접하는 두개의 파이프 사이가 길이 방향의 복수 개소에 있어서 접속되어 있는
    유리 미립자 퇴적체를 제조하는 버너.
  12. 제 11 항에 있어서,
    길이 방향의 복수 개소에서 접속된 파이프중, 단면적이 최대인 파이프의 단면적이 30㎟ 이상으로 되는
    유리 미립자 퇴적체를 제조하는 버너.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 원료 가스 공급 파이프 및 상기 복수의 가스 공급 파이프 중, 외주측에 위치하는 파이프는 내주측에 위치하는 파이프보다도 단면적이 큰
    유리 미립자 퇴적체를 제조하는 버너.
  14. 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법에 있어서,
    유리 원료 가스를 분출하는 원료 가스 공급 파이프와, 상기 유리 원료 가스를 연소시키는 화염을 형성하기 위한 복수의 가스를 공급하는 복수의 가스 공급 파이프를 갖고, 상기 원료 가스 공급 파이프 및 상기 복수의 가스 공급 파이프중 적어도 1조의 인접하는 두개의 파이프 사이가 길이 방향의 복수 개소에 있어서 접속되어 있는 버너를 사용하고,
    유리 미립자를 합성하여, 유리 미립자 퇴적체를 제조하는
    유리 미립자 퇴적체의 제조 방법.
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JP2003192930A JP2005029396A (ja) 2003-07-07 2003-07-07 ガラス微粒子堆積体の製造方法及びガラス微粒子生成用バーナ
JPJP-P-2003-00192916 2003-07-07
JPJP-P-2003-00192930 2003-07-07
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4496092B2 (ja) * 2005-01-12 2010-07-07 信越化学工業株式会社 光ファイバ母材の製造方法及び装置
FR2963787B1 (fr) * 2010-08-10 2012-09-21 Draka Comteq France Procede de fabrication d'une preforme de fibre optique
JP6826910B2 (ja) * 2017-02-22 2021-02-10 古河電気工業株式会社 多孔質体合成用多重管バーナー及び多孔質体合成装置
CN108178497A (zh) * 2018-01-31 2018-06-19 范潇潇 一种球形玻璃气室的制作系统及方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3127156A (en) * 1964-03-31 Figure
US3729285A (en) * 1972-05-22 1973-04-24 G Schwedersky Burner and method of operating it to control the production of nitrogen oxides
US4014654A (en) * 1972-12-20 1977-03-29 J. M. Huber Corporation Apparatus for producing carbon black
US4412808A (en) * 1980-06-19 1983-11-01 Trw Inc. Dual fueled burner gun
US4474593A (en) * 1982-04-26 1984-10-02 At&T Technologies Inc. Method of fabricating a lightguide fiber
US4907961A (en) * 1988-05-05 1990-03-13 Union Carbide Corporation Oxygen jet burner and combustion method
US5174746A (en) * 1990-05-11 1992-12-29 Sumitomo Metal Mining Company Limited Method of operation of flash smelting furnace
US5599371A (en) * 1994-12-30 1997-02-04 Corning Incorporated Method of using precision burners for oxidizing halide-free, silicon-containing compounds
US5743723A (en) * 1995-09-15 1998-04-28 American Air Liquide, Inc. Oxy-fuel burner having coaxial fuel and oxidant outlets
JPH10110926A (ja) * 1996-08-14 1998-04-28 Nippon Sanso Kk 燃焼式除害装置
DE10045322C2 (de) * 2000-09-12 2002-07-18 Messer Griesheim Gmbh Zerstäubungsbrenner für die thermische Spaltung von schwefelhaltigem Reststoff
KR100414668B1 (ko) * 2001-07-21 2004-01-07 삼성전자주식회사 화염가수분해증착 공정용 버너의 화염 안정화 장치

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