JP2604454B2 - シングルモード型光ファイバープリフォームの製造方法 - Google Patents
シングルモード型光ファイバープリフォームの製造方法Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は光ファイバープリフォームの製造方法、特に
は大形で構造特性のバラツキが小さく、かつ低損失で断
線の少ない、シングルモード型の光ファイバープリフォ
ームを安定的にかつ容易に製造する方法に関するもので
ある。
は大形で構造特性のバラツキが小さく、かつ低損失で断
線の少ない、シングルモード型の光ファイバープリフォ
ームを安定的にかつ容易に製造する方法に関するもので
ある。
［従来の技術と解決すべき課題］ 従来、シングルモード型光ファイバープリフォームの
製造方法には、コアまたはコアとクラッド層とからなる
ロッドを水平に設置し、これを回転させ、気体状ガラス
原料を左右に往復運動している酸水素火炎バーナーに導
入し、その火炎加水分解で生成したガラス微粒子をロッ
ド上に堆積させる、いわゆる外付法によって多孔質ガラ
ス層とし、これを加熱溶融して透明ガラス化するという
方法で行なわれているが、この方法は作業のし易さ、バ
ーナーの作業性、ガラス微粒子の堆積し易さということ
から、通常は第２図に示したように炉11の中にロッド12
を横型に配置し、バーナーをロッドに向けて配置し水平
方向に反復移動している酸水素火炎バーナー13からの火
炎をロッド12に当ててここにガラス微粒子をスート14と
して堆積させるという方法で行なわれている。
製造方法には、コアまたはコアとクラッド層とからなる
ロッドを水平に設置し、これを回転させ、気体状ガラス
原料を左右に往復運動している酸水素火炎バーナーに導
入し、その火炎加水分解で生成したガラス微粒子をロッ
ド上に堆積させる、いわゆる外付法によって多孔質ガラ
ス層とし、これを加熱溶融して透明ガラス化するという
方法で行なわれているが、この方法は作業のし易さ、バ
ーナーの作業性、ガラス微粒子の堆積し易さということ
から、通常は第２図に示したように炉11の中にロッド12
を横型に配置し、バーナーをロッドに向けて配置し水平
方向に反復移動している酸水素火炎バーナー13からの火
炎をロッド12に当ててここにガラス微粒子をスート14と
して堆積させるという方法で行なわれている。
しかし、このような横型の装置を用いるシングルモー
ド型光ファイバープリフォームの製造方法には、目的と
するプリフォームが長尺化し、大形化してくるとあらか
じめロッドを真直に加工しておいても横にするだけで必
らずロッドが撓みを起すために両端と中央でセンターず
れが起り、堆積厚さに差が生じ、この差はくり返し行な
う過程で積算されて大きな付着量の差となり、長手方向
でのクラッド厚さのバラツキになるという問題点があ
る。また、これにはロッド上にガラス微粒子を堆積して
いくうちに繰り返しの曲げがかかってスートが破壊する
という欠点があり、さらにこの従来の装置ではバーナー
が左右に移動するために開口部15を大きく設けてあるこ
とから外気が流入し、ゴミが入り易く、これによってプ
リフォームが異物や気泡を含むものになり、ファイバー
の断線や伝送損失の原因になるという不利があった。
ド型光ファイバープリフォームの製造方法には、目的と
するプリフォームが長尺化し、大形化してくるとあらか
じめロッドを真直に加工しておいても横にするだけで必
らずロッドが撓みを起すために両端と中央でセンターず
れが起り、堆積厚さに差が生じ、この差はくり返し行な
う過程で積算されて大きな付着量の差となり、長手方向
でのクラッド厚さのバラツキになるという問題点があ
る。また、これにはロッド上にガラス微粒子を堆積して
いくうちに繰り返しの曲げがかかってスートが破壊する
という欠点があり、さらにこの従来の装置ではバーナー
が左右に移動するために開口部15を大きく設けてあるこ
とから外気が流入し、ゴミが入り易く、これによってプ
リフォームが異物や気泡を含むものになり、ファイバー
の断線や伝送損失の原因になるという不利があった。
［課題を解決するための手段］ 本発明はこのような不利を解決したシングルモード型
光ファイバープリフォームの製造方法に関するものであ
り、これは気体状ガラス原料を酸水素火炎バーナーに導
入して火炎加水分解させ、生成するガラス微粒子をコア
用ガラスロッド表面に外付法により均一に堆積させて多
孔質ガラス体を製造し、これを透明ガラス化してシング
ルモード型光ファイバープリフォームを製造する方法に
おいて、密閉反応炉を中央部に反応部、上下に収納部を
もったタテ型とし、反応部にはバーナー挿入口と排気口
を固定し、収納部には不活性ガス導入口を設け、ロッド
を反応炉中に垂直に設置し、これを回転させながら上下
に往復運動させ、移動部の中央に該ロッドと直角に固定
したバーナーから火炎と共に原料ガスをロッドに均一に
吹付けてガラス微粒子を一層づつ堆積させると共に収納
部に不活性ガスを導入して反応排ガスと不活性ガスを排
気管を通して外部に排出し、多孔質ガラス体を製造する
ことを特徴とするシングルモード型光ファイバープリフ
ォームの製造方法。
光ファイバープリフォームの製造方法に関するものであ
り、これは気体状ガラス原料を酸水素火炎バーナーに導
入して火炎加水分解させ、生成するガラス微粒子をコア
用ガラスロッド表面に外付法により均一に堆積させて多
孔質ガラス体を製造し、これを透明ガラス化してシング
ルモード型光ファイバープリフォームを製造する方法に
おいて、密閉反応炉を中央部に反応部、上下に収納部を
もったタテ型とし、反応部にはバーナー挿入口と排気口
を固定し、収納部には不活性ガス導入口を設け、ロッド
を反応炉中に垂直に設置し、これを回転させながら上下
に往復運動させ、移動部の中央に該ロッドと直角に固定
したバーナーから火炎と共に原料ガスをロッドに均一に
吹付けてガラス微粒子を一層づつ堆積させると共に収納
部に不活性ガスを導入して反応排ガスと不活性ガスを排
気管を通して外部に排出し、多孔質ガラス体を製造する
ことを特徴とするシングルモード型光ファイバープリフ
ォームの製造方法。
すなわち、本発明者らは大形で長手方向に寸法変化が
ないシングルモード型の光ファイバープリフォームを安
定的にかつ容易に得る方法について種々検討した結果、
四塩化けい素などの気体状ガラス原料を酸水素火炎中で
加水分解して得たガラス微粒子をコア用ガラスロッド上
に堆積し、得られた多孔質ガラス体を透明ガラス化する
方法において、ロッドの重力によるたわみや曲がりのな
い状態でガラス微粒子を堆積させて堆積厚さが均一な多
孔質ガラス体を得るためにはロッドを炉内に垂直に配置
し、これを回転させて上下に反復移動させることがよい
こと、またこのガラス微粒子の堆積もこのロッドと直角
の位置に固定した酸水素火炎バーナーからガラス微粒子
をほぼ水平に吹きつけ、また固定された排気口より行な
うべきであることを見出すと共に、プリフォームの大型
化に伴なう反応炉を検討し、これについては反応部と母
材の上下移動のための母材収納部を有した密閉炉内に不
活性ガスを導入すれば、外部からの異物流入による気泡
発生を防ぐことができるということを確認して本発明を
完成させた。
ないシングルモード型の光ファイバープリフォームを安
定的にかつ容易に得る方法について種々検討した結果、
四塩化けい素などの気体状ガラス原料を酸水素火炎中で
加水分解して得たガラス微粒子をコア用ガラスロッド上
に堆積し、得られた多孔質ガラス体を透明ガラス化する
方法において、ロッドの重力によるたわみや曲がりのな
い状態でガラス微粒子を堆積させて堆積厚さが均一な多
孔質ガラス体を得るためにはロッドを炉内に垂直に配置
し、これを回転させて上下に反復移動させることがよい
こと、またこのガラス微粒子の堆積もこのロッドと直角
の位置に固定した酸水素火炎バーナーからガラス微粒子
をほぼ水平に吹きつけ、また固定された排気口より行な
うべきであることを見出すと共に、プリフォームの大型
化に伴なう反応炉を検討し、これについては反応部と母
材の上下移動のための母材収納部を有した密閉炉内に不
活性ガスを導入すれば、外部からの異物流入による気泡
発生を防ぐことができるということを確認して本発明を
完成させた。
以下にこれを詳述する。
本発明の方法で用いる密閉反応炉は外気が直接内部ガ
スに接触しない程度の密閉性を有するもので、反応中の
ガス流の出口に火炎の吹きつけに必要なバーナー口、堆
積面間の距離、輻射熱などを考慮した口径の大きな反応
部と、上下に移動をくり返し、堆積中のロッドを外気か
ら保護するだけの径の小さい収納部を有する反応炉から
なり、炉内には不活性ガスが供給されるが、この不活性
ガスはフィルターを通した清浄な空気、窒素、ヘリウ
ム、アルゴンなどとすればよく、この供給は炉の上部お
よび下部に設けたガス流入口から行なうと共に、排気口
を反応炉の中央部に設けてこれを固定して用いる。
スに接触しない程度の密閉性を有するもので、反応中の
ガス流の出口に火炎の吹きつけに必要なバーナー口、堆
積面間の距離、輻射熱などを考慮した口径の大きな反応
部と、上下に移動をくり返し、堆積中のロッドを外気か
ら保護するだけの径の小さい収納部を有する反応炉から
なり、炉内には不活性ガスが供給されるが、この不活性
ガスはフィルターを通した清浄な空気、窒素、ヘリウ
ム、アルゴンなどとすればよく、この供給は炉の上部お
よび下部に設けたガス流入口から行なうと共に、排気口
を反応炉の中央部に設けてこれを固定して用いる。
本発明の方法は気体状ガラス原料を酸水素火炎バーナ
ー中に導入し、この火炎加水分解によってガラス微粒子
を形成させるが、これは公知の方法で行なえばよい。し
たがって、この気体状ガラス原料としては四塩化けい
素、トリクロロシランなどを含むガス化可能なけい素化
合物を使用すればよく、バーナーとしては中心部からこ
の気体状ガラス原料を供給し、その周囲から酸素ガス、
水素ガスを供給するようにした同心円環状のものを使用
すればよい。
ー中に導入し、この火炎加水分解によってガラス微粒子
を形成させるが、これは公知の方法で行なえばよい。し
たがって、この気体状ガラス原料としては四塩化けい
素、トリクロロシランなどを含むガス化可能なけい素化
合物を使用すればよく、バーナーとしては中心部からこ
の気体状ガラス原料を供給し、その周囲から酸素ガス、
水素ガスを供給するようにした同心円環状のものを使用
すればよい。
本発明の方法で得られるプリフォームが長手方向で寸
法が安定するということからガラス微粒子を堆積させる
ロッドは予じめシングルモード用光ファイバーとして設
計されたコア部、または一部クラッド部からなるガラス
ロッドを出発材とし、真直に芯出をしたものを用いる。
このロッドは炉内に垂直に設置したのち、操作中はガラ
ス微粉末を均一に堆積させるために例えば５〜80rpmで
回転させ、全長にわたってバウやねじれ、曲りのないこ
とを確認したのち、ロッドの長さ方向全体にガラス微粉
末を均一に付着させるために上下に繰り返し反復して移
動させる必要がある。
法が安定するということからガラス微粒子を堆積させる
ロッドは予じめシングルモード用光ファイバーとして設
計されたコア部、または一部クラッド部からなるガラス
ロッドを出発材とし、真直に芯出をしたものを用いる。
このロッドは炉内に垂直に設置したのち、操作中はガラ
ス微粉末を均一に堆積させるために例えば５〜80rpmで
回転させ、全長にわたってバウやねじれ、曲りのないこ
とを確認したのち、ロッドの長さ方向全体にガラス微粉
末を均一に付着させるために上下に繰り返し反復して移
動させる必要がある。
また、このロッドに対するガラス微粉末の吹きつけは
ガラス微粉末をロッド全長に対して一層づつ均一にまた
正確に堆積させるということから、このロッドを前記し
たように上下に反復移動させながら、このロッドの真横
からガラス微粉末が吹きつけられるように、このロッド
と直角の位置に酸水素火炎バーナーを固定して行なわせ
ることが必要とされるが、このバーナーは１個または複
数本を上下に配置したものとすることができる。
ガラス微粉末をロッド全長に対して一層づつ均一にまた
正確に堆積させるということから、このロッドを前記し
たように上下に反復移動させながら、このロッドの真横
からガラス微粉末が吹きつけられるように、このロッド
と直角の位置に酸水素火炎バーナーを固定して行なわせ
ることが必要とされるが、このバーナーは１個または複
数本を上下に配置したものとすることができる。
つぎにこれを添付の図面にもとづいて説明する。
第１図は本発明の方法によるシングルモード型光ファ
イバープリフォーム製造装置の縦断面図を示したもので
ある。この装置は反応部、収納部からなり、一体のも
の、あるいは分割可能のものを用いるが、密閉炉１の中
には出発母材であるロッド２が垂直に保持されており、
このロッド２は操炉中、外部からの駆動によって５〜80
rpmで回転され、同時に上下に反復的に移動させられて
いるが、この移動速度は出発部材の大きさや、スートの
破壊状況をみながら実験的に定めればよい。四塩化けい
素などの気体状ガラス原料と酸水素は酸水素火炎バーナ
ー３に送られ、火炎４がロッド状に吹きつけられてお
り、この酸水素火炎中での加水分解で生成されたガラス
微粉末がこのロッド２の上に堆積し、多孔質ガラス体
（スート）５が形成される。ロッドは回転と共に上下に
移動しているのでロッド２の上には略々均一に多孔質ガ
ラス体５が形成される。ロッドは垂直に保持されている
ので、長いロッドであっても中央部に偏在した重力がか
からず、さらには多孔質ガラス体を堆積してもたわんだ
り、曲がることもない。多孔質ガラス体には炎の中心軸
とロッドの中心軸が外れることがないので堆積量は一定
し、長手方向に付着量の差が生じることはないし、堆積
厚さに変動が生じないという有利性が与えられる。ま
た、この密閉炉にはバーナーおよび排気管を挿入する開
口部があり、上、下部に不活性ガス供給口６が設けられ
ており、ここから不活性ガスが導入され、これらは排出
口７から排気管を通して外部に排出されるので、これに
よれば外部から流入される異物の混入や発泡が無くなる
というメリットが与えられる。
イバープリフォーム製造装置の縦断面図を示したもので
ある。この装置は反応部、収納部からなり、一体のも
の、あるいは分割可能のものを用いるが、密閉炉１の中
には出発母材であるロッド２が垂直に保持されており、
このロッド２は操炉中、外部からの駆動によって５〜80
rpmで回転され、同時に上下に反復的に移動させられて
いるが、この移動速度は出発部材の大きさや、スートの
破壊状況をみながら実験的に定めればよい。四塩化けい
素などの気体状ガラス原料と酸水素は酸水素火炎バーナ
ー３に送られ、火炎４がロッド状に吹きつけられてお
り、この酸水素火炎中での加水分解で生成されたガラス
微粉末がこのロッド２の上に堆積し、多孔質ガラス体
（スート）５が形成される。ロッドは回転と共に上下に
移動しているのでロッド２の上には略々均一に多孔質ガ
ラス体５が形成される。ロッドは垂直に保持されている
ので、長いロッドであっても中央部に偏在した重力がか
からず、さらには多孔質ガラス体を堆積してもたわんだ
り、曲がることもない。多孔質ガラス体には炎の中心軸
とロッドの中心軸が外れることがないので堆積量は一定
し、長手方向に付着量の差が生じることはないし、堆積
厚さに変動が生じないという有利性が与えられる。ま
た、この密閉炉にはバーナーおよび排気管を挿入する開
口部があり、上、下部に不活性ガス供給口６が設けられ
ており、ここから不活性ガスが導入され、これらは排出
口７から排気管を通して外部に排出されるので、これに
よれば外部から流入される異物の混入や発泡が無くなる
というメリットが与えられる。
［実施例］ つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例 第１図に示した密閉炉１として反応部の内径が280mm
φの球形パイレックスチャンバーを準備し、これに収納
部として内径180mmφ、長さ800mmのパイレックスガラス
管をスリ合わせ接合で垂直に組立てた。この球形パイレ
ックスチャンバーの中央部側面には４重管石英バーナー
を水平に固定し、その対向部には内径100mmφの排気口
を作り、この中に外径98mmφの石英管を挿入し、外気排
気ダクトに接いだ。
φの球形パイレックスチャンバーを準備し、これに収納
部として内径180mmφ、長さ800mmのパイレックスガラス
管をスリ合わせ接合で垂直に組立てた。この球形パイレ
ックスチャンバーの中央部側面には４重管石英バーナー
を水平に固定し、その対向部には内径100mmφの排気口
を作り、この中に外径98mmφの石英管を挿入し、外気排
気ダクトに接いだ。
コア用ガラスロッドは外径17.7mmΦ、長さ620mmであ
り、この両端に17mmΦ×200mmLの石英ダミーガラスを溶
着し、さらに上部には15mmΦ×800mmLの石英棒を固定
し、これを垂直にしたまま密閉炉の中心に貫通させ、上
部を駆動軸に固定した。この石英ガラスロッドは1.3μ
帯でのシングルモード用光ファイバーコアとして設計さ
れており、ゲルマニウムドープにより屈折率差が0.34％
で、コア径とシリカガラスからなるクラッド層の比が0.
205、ガラスロッド外径を±100μｍ以下に仕上げてあ
る。また、このロッドは重量秤量機能を有するタテ型引
上機の回転部に石英ガラスダミーを介して装着されてお
り、このものは50rpmで回転させながらロッドの偏心と
上下移動による中心軸の移動が±0.5mm以内となるよう
にされている。また、ファイバー設計用測定機としては
英国ヨーク社製プリフォームアナライザーＰ−101型を
用い、軸の精度を決定するためには安立電機社製外径測
定器を用いた。
り、この両端に17mmΦ×200mmLの石英ダミーガラスを溶
着し、さらに上部には15mmΦ×800mmLの石英棒を固定
し、これを垂直にしたまま密閉炉の中心に貫通させ、上
部を駆動軸に固定した。この石英ガラスロッドは1.3μ
帯でのシングルモード用光ファイバーコアとして設計さ
れており、ゲルマニウムドープにより屈折率差が0.34％
で、コア径とシリカガラスからなるクラッド層の比が0.
205、ガラスロッド外径を±100μｍ以下に仕上げてあ
る。また、このロッドは重量秤量機能を有するタテ型引
上機の回転部に石英ガラスダミーを介して装着されてお
り、このものは50rpmで回転させながらロッドの偏心と
上下移動による中心軸の移動が±0.5mm以内となるよう
にされている。また、ファイバー設計用測定機としては
英国ヨーク社製プリフォームアナライザーＰ−101型を
用い、軸の精度を決定するためには安立電機社製外径測
定器を用いた。
チャンバー内に装着後、ダミーが貫通するだけの孔を
除いて上下開孔部を塞ぎ、上下開孔部の近くから清浄な
空気を吹き込んで外気の流入を防いだのち、ガラスロッ
ドの全長を酸水素火炎でファイヤーポリッシュした。
除いて上下開孔部を塞ぎ、上下開孔部の近くから清浄な
空気を吹き込んで外気の流入を防いだのち、ガラスロッ
ドの全長を酸水素火炎でファイヤーポリッシュした。
つぎに４重管バーナーから酸水素火炎と共に四塩化け
い素を酸素ガスをキャリヤーとして送り込み、ガラスロ
ッドにシリカガラス微粒子を吹きつけ、この際ガラスロ
ッドは50rpmで回転させると共に上下に150mm/分の速度
で反復移動させてシリカガラス微粒子を一層づつ堆積さ
せた。このときの酸水素量と四塩化けい素量はスート径
の増大と共に変えることとし、スタート時は四塩化けい
素量を少なくし、スート径の増大と共に四塩化けい素量
および酸水素量を増加させて最終的にはSiCl420g/分、H
250／分、O225／分となるようにした。この反応を1
2時間継続させ、全長を約130回繰り返して付着させてシ
リカ微粒子の堆積量が目標値に達したのちに反応を止
め、得られた多孔質ガラス体をしらべたところ、このも
のは外径が109.0mmφ、総重量4,114gであり、スートの
平均密度は0.496g/ccであった。
い素を酸素ガスをキャリヤーとして送り込み、ガラスロ
ッドにシリカガラス微粒子を吹きつけ、この際ガラスロ
ッドは50rpmで回転させると共に上下に150mm/分の速度
で反復移動させてシリカガラス微粒子を一層づつ堆積さ
せた。このときの酸水素量と四塩化けい素量はスート径
の増大と共に変えることとし、スタート時は四塩化けい
素量を少なくし、スート径の増大と共に四塩化けい素量
および酸水素量を増加させて最終的にはSiCl420g/分、H
250／分、O225／分となるようにした。この反応を1
2時間継続させ、全長を約130回繰り返して付着させてシ
リカ微粒子の堆積量が目標値に達したのちに反応を止
め、得られた多孔質ガラス体をしらべたところ、このも
のは外径が109.0mmφ、総重量4,114gであり、スートの
平均密度は0.496g/ccであった。
ついで、この多孔質ガラス体をヘリウム、塩素混合ガ
スを通して1,500℃に加熱されている電気炉体でゾーン
メルトしたところ、外径が58.1mmφで透明であり、気
泡、異物のないガラスインゴットが得られたので、これ
を外径30mmφに熱加工し、定常部を線引機を用いて直径
125μｍのガラスファイバーとしてその全長での構造変
動をしらべた。クラッド部の変動は設計したカットオフ
波長（λｃ）の変動、モードフィールド径（ω）の変動
を調べることが最も一般的であることから全長約120km
のファイバーを約10kmに切断し、その10点をしらべたと
ころ、このものは平均λｃ＝1.205μ、偏差（最大、最
小値差）は23nmであり、また偏心は平均0.14μｍという
すぐれたものであった。
スを通して1,500℃に加熱されている電気炉体でゾーン
メルトしたところ、外径が58.1mmφで透明であり、気
泡、異物のないガラスインゴットが得られたので、これ
を外径30mmφに熱加工し、定常部を線引機を用いて直径
125μｍのガラスファイバーとしてその全長での構造変
動をしらべた。クラッド部の変動は設計したカットオフ
波長（λｃ）の変動、モードフィールド径（ω）の変動
を調べることが最も一般的であることから全長約120km
のファイバーを約10kmに切断し、その10点をしらべたと
ころ、このものは平均λｃ＝1.205μ、偏差（最大、最
小値差）は23nmであり、また偏心は平均0.14μｍという
すぐれたものであった。
比較例 第２図に示した横型外付装置を使用し、ここに実施例
で用いたコア用石英ロッドにシリカガラス微粒子を堆積
させて多孔質ガラス体を作り、これを実施例と同様に処
理してガラスインゴットとし、光ファイバーを作ったと
ころ、このもののカットオフ波長の平均値λｃは1.177
μｍ、偏差は154nmであり、偏心は平均0.77μｍ、最大
2.7μｍであった。
で用いたコア用石英ロッドにシリカガラス微粒子を堆積
させて多孔質ガラス体を作り、これを実施例と同様に処
理してガラスインゴットとし、光ファイバーを作ったと
ころ、このもののカットオフ波長の平均値λｃは1.177
μｍ、偏差は154nmであり、偏心は平均0.77μｍ、最大
2.7μｍであった。
また、この横型外付装置ではバーナー13の移動に要す
る開口部16が巾40mm、長さ800mmであり、内部の塩酸ガ
スが外部に流出して臭気が部屋内に漂ったので、これを
抑えるために排気を強くしたところ、バーナーの炎が大
きくゆれ、スートの堆積時間が15時間以上かかり、ガラ
ス化後の透明ガラスインゴットには多数の気泡が発生し
ていた。
る開口部16が巾40mm、長さ800mmであり、内部の塩酸ガ
スが外部に流出して臭気が部屋内に漂ったので、これを
抑えるために排気を強くしたところ、バーナーの炎が大
きくゆれ、スートの堆積時間が15時間以上かかり、ガラ
ス化後の透明ガラスインゴットには多数の気泡が発生し
ていた。
第１図は本発明の方法によるシングルモード型光ファイ
バープリフォーム製造装置の縦断面図、第２図は従来公
知の方法によるシングルモード型光ファイバープリフォ
ーム製造装置の縦断面図を示したものである。 1,11……密閉炉、２……コア部、 3,13……酸水素火炎バーナー、 ４……酸水素火炎、 5,14……多孔質ガラス体、 ６……不活性ガス導入口、 7,15……ガス排出口、 12……ロッド、16……開口部。
バープリフォーム製造装置の縦断面図、第２図は従来公
知の方法によるシングルモード型光ファイバープリフォ
ーム製造装置の縦断面図を示したものである。 1,11……密閉炉、２……コア部、 3,13……酸水素火炎バーナー、 ４……酸水素火炎、 5,14……多孔質ガラス体、 ６……不活性ガス導入口、 7,15……ガス排出口、 12……ロッド、16……開口部。
Claims (1)
- 【請求項１】気体状ガラス原料を酸水素火炎バーナーに
導入して火炎加水分解させ、生成するガラス微粒子をコ
ア用ガラスロッド表面に外付法により均一に堆積させて
多孔質ガラス体を製造し、これを透明ガラス化してシン
グルモード型光ファイバープリフォームを製造する方法
において、密閉反応炉を中央部に反応部、上下に収納部
をもったタテ型とし、反応部にはバーナー挿入口と排気
口を固定し、収納部には不活性ガス導入口を設け、ロッ
ドを反応炉中に垂直に設置し、これを回転させながら上
下に往復運動させ、移動部の中央に該ロッドと直角に固
定したバーナーから火炎と共に原料ガスをロッドに均一
に吹付けてガラス微粒子を一層づつ堆積させると共に、
収納部に不活性ガスを導入して反応排ガスと不活性ガス
を排気管を通して外部に排出し、多孔質ガラス体を製造
することを特徴とするシングルモード型光ファイバープ
リフォームの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325409A JP2604454B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | シングルモード型光ファイバープリフォームの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63325409A JP2604454B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | シングルモード型光ファイバープリフォームの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02172838A JPH02172838A (ja) | 1990-07-04 |
| JP2604454B2 true JP2604454B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=18176521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63325409A Expired - Lifetime JP2604454B2 (ja) | 1988-12-23 | 1988-12-23 | シングルモード型光ファイバープリフォームの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2604454B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19628958C2 (de) * | 1996-07-18 | 2000-02-24 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörpern |
| JP3521681B2 (ja) | 1996-08-13 | 2004-04-19 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JPWO2002102729A1 (ja) * | 2001-06-14 | 2004-09-30 | 住友電気工業株式会社 | ガラス微粒子堆積体の製造装置及び製造方法 |
| JP5916551B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2016-05-11 | 株式会社フジクラ | 光ファイバ用母材の製造方法、及び、光ファイバの製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5718330A (en) * | 1980-07-10 | 1982-01-30 | Toshiba Corp | Method of and apparatus for soldering semiconductor device |
| JPS57183330A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-11 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Production of basic material for optical-communication glass fiber |
| JPS62187121A (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-15 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 合成ガラス製造装置 |
| JPH0742129B2 (ja) * | 1987-01-12 | 1995-05-10 | 住友電気工業株式会社 | 光フアイバ用母材の製造方法 |
-
1988
- 1988-12-23 JP JP63325409A patent/JP2604454B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02172838A (ja) | 1990-07-04 |
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Legal Events
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