JP2965235B2 - 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本願発明は光ファイバ用多孔質ガ
ラス母材の製造方法、特にはＶＡＤ法でセンターコア
部、サイドコア部およびクラッド部を有する二重コア型
分散シフトファイバ用スート母材上にスートを堆積させ
る光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関するも
のである。
ラス母材の製造方法、特にはＶＡＤ法でセンターコア
部、サイドコア部およびクラッド部を有する二重コア型
分散シフトファイバ用スート母材上にスートを堆積させ
る光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方
法については、四塩化けい素などの原料ガスを耐水素火
炎バーナーに送入し、この火炎中での火炎加水分解で発
生したシリカ微粒子（以下スートと略記する）の流れ
（以下スート流という）を直立し、回転している耐熱性
の担体（スート母材）上に堆積させ、このスート母材を
順次上方に引上げてここに多孔質ガラス母材を成長させ
る方法がＶＡＤ法として公知とされている。
法については、四塩化けい素などの原料ガスを耐水素火
炎バーナーに送入し、この火炎中での火炎加水分解で発
生したシリカ微粒子（以下スートと略記する）の流れ
（以下スート流という）を直立し、回転している耐熱性
の担体（スート母材）上に堆積させ、このスート母材を
順次上方に引上げてここに多孔質ガラス母材を成長させ
る方法がＶＡＤ法として公知とされている。
【０００３】しかし、このＶＡＤ法についてもこの酸水
素火炎バーナーをセンターコア用バーナーとサイドコア
用バーナーおよび、クラッド用バーナーに分割し、セン
ターコア用バーナーからのスート流でセンターコア部を
形成し、サイドコア用バーナーからのスート流をこのセ
ンターコア部上に堆積してサイドコア部を形成したの
ち、クラッド用バーナーからのスート流をサイドコア部
上に堆積して光ファイバ用多孔質ガラス母材を作ること
も知られており、この場合にはセンターコア用バーナー
にはガラス原料ガス(SiCl4) と可燃性ガス（Ｈ2 ）およ
び支燃性ガス（Ｏ2 ）が供給されるが、サイドコア用バ
ーナーおよびクラッド用バーナーにはこのほかにドープ
原料ガス(CeCl4) が供給される。
素火炎バーナーをセンターコア用バーナーとサイドコア
用バーナーおよび、クラッド用バーナーに分割し、セン
ターコア用バーナーからのスート流でセンターコア部を
形成し、サイドコア用バーナーからのスート流をこのセ
ンターコア部上に堆積してサイドコア部を形成したの
ち、クラッド用バーナーからのスート流をサイドコア部
上に堆積して光ファイバ用多孔質ガラス母材を作ること
も知られており、この場合にはセンターコア用バーナー
にはガラス原料ガス(SiCl4) と可燃性ガス（Ｈ2 ）およ
び支燃性ガス（Ｏ2 ）が供給されるが、サイドコア用バ
ーナーおよびクラッド用バーナーにはこのほかにドープ
原料ガス(CeCl4) が供給される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようにして製造さ
れた二重コア型の分散シャフトスート母材のコア部の屈
折分布はサイドコア部、クラッド部がドーパントが含ま
れていることからセンターコアの屈折率をｎ1 、サイド
コアの屈折率をｎ2 、クラッド部の屈折率をｎ3とする
とｎ1 ＞ｎ2 ＞ｎ3 となり、これらは理想的には図３に
示したようなものとなるはずであるが、屈折率を調整す
るために添加されるドープ剤（Ｇｅ）の形態にはGeO2微
粒子と Si-Ge-O固溶体の２種類があり、このうちのGeO2
微粒子は脱水工程で揮散するために屈折率調整には殆ど
寄与せず、実質的に屈折率調整に寄与するのは Si-Ge-O
固溶体となるのであるが、この Si-Ge-O固溶体は火炎の
高温領域でSiO2微粒子とGeO2微粒子とが溶け合って形成
されるものであるために、多重管バーナーから吹出され
る Si-Ge-O固溶体のバーナー半径方向の分布は図５
（ｂ）の可燃性ガスの吹出口の内径に対応して図５
（ａ）のような分布となる。
れた二重コア型の分散シャフトスート母材のコア部の屈
折分布はサイドコア部、クラッド部がドーパントが含ま
れていることからセンターコアの屈折率をｎ1 、サイド
コアの屈折率をｎ2 、クラッド部の屈折率をｎ3とする
とｎ1 ＞ｎ2 ＞ｎ3 となり、これらは理想的には図３に
示したようなものとなるはずであるが、屈折率を調整す
るために添加されるドープ剤（Ｇｅ）の形態にはGeO2微
粒子と Si-Ge-O固溶体の２種類があり、このうちのGeO2
微粒子は脱水工程で揮散するために屈折率調整には殆ど
寄与せず、実質的に屈折率調整に寄与するのは Si-Ge-O
固溶体となるのであるが、この Si-Ge-O固溶体は火炎の
高温領域でSiO2微粒子とGeO2微粒子とが溶け合って形成
されるものであるために、多重管バーナーから吹出され
る Si-Ge-O固溶体のバーナー半径方向の分布は図５
（ｂ）の可燃性ガスの吹出口の内径に対応して図５
（ａ）のような分布となる。
【０００５】したがって、この場合に得られるスート母
材の屈折率分布は図６（ａ）に示したようにサイドコア
部における屈折率分布が乱れたものとなり、このスート
母材を加熱透明化して得た光ファイバ用合成石英ガラス
母材を紡糸して得た光ファイバは分散特性を精度よく制
御することが非常に難しいものになるという不利があ
る。
材の屈折率分布は図６（ａ）に示したようにサイドコア
部における屈折率分布が乱れたものとなり、このスート
母材を加熱透明化して得た光ファイバ用合成石英ガラス
母材を紡糸して得た光ファイバは分散特性を精度よく制
御することが非常に難しいものになるという不利があ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不利
を解決した光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に
関するものであり、これはセンターコア部を形成するセ
ンターコア用バーナーとサイドコア部を形成するサイド
コア用バーナーを備え、これらのバーナーに原料ガスと
可燃性ガスを流し、この可燃性ガスに点火して火炎を形
成させて原料ガスの火炎中での火炎加水分解で形成した
スート流を、センターコア部とサイドコア部を一体化し
て回転している二重コア型光ファイバ用スート母材に堆
積させて多孔質ガラス母材を製造する方法において、こ
のサイドコア用バーナーの可燃性ガス吹出口とこのスー
ト母材のサイドコア部堆積面との距離Ｘ（ｍ）、可燃性
ガスの線流速（Ｖ／秒）および可燃性ガス吹出口の内径
Ｄ（ｍ）とからなる式Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）の数値が 0.001＜Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1 の範囲となるように設定することを特徴とするものであ
る。
を解決した光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に
関するものであり、これはセンターコア部を形成するセ
ンターコア用バーナーとサイドコア部を形成するサイド
コア用バーナーを備え、これらのバーナーに原料ガスと
可燃性ガスを流し、この可燃性ガスに点火して火炎を形
成させて原料ガスの火炎中での火炎加水分解で形成した
スート流を、センターコア部とサイドコア部を一体化し
て回転している二重コア型光ファイバ用スート母材に堆
積させて多孔質ガラス母材を製造する方法において、こ
のサイドコア用バーナーの可燃性ガス吹出口とこのスー
ト母材のサイドコア部堆積面との距離Ｘ（ｍ）、可燃性
ガスの線流速（Ｖ／秒）および可燃性ガス吹出口の内径
Ｄ（ｍ）とからなる式Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）の数値が 0.001＜Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1 の範囲となるように設定することを特徴とするものであ
る。
【０００７】すなわち、本発明者らはサイドコア部の屈
折率分布が均一で分散特性の再現性、制御性のすぐれた
光ファイバ用母材を製造するための多孔質ガラス母材の
製造方法を開発すべく種々検討した結果、サイドコア用
バーナーの可燃性ガス吹出口とスート母材のサイドコア
部堆積面との距離Ｘ（ｍ）と、可燃性ガスの線流速Ｖ
（ｍ／秒）との比Ｘ／Ｖがバーナー中で生成した Si-Ge
-O固溶体がサイドコア部に堆積するまでの時間を代表す
る値となるし、この可燃性ガス吹出口の内径Ｄ（mm）が
バーナー近傍における Si-Ge-O固溶体の半径方向分布位
置を代表するものになる点に注目し、これらの値からこ
のＤ2/（Ｘ／Ｖ）の値を一定の範囲とすれば得られる多
孔質ガラス母材のサイドコア部の屈折率分布を均一なも
のとすることができることを見出し、これについてはこ
のＤ2/（Ｘ／Ｖ）の値を 0.001＜Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1
の範囲とすればよいということを確認して本願発明を完
成させた。以下にこれをさらに詳述する。
折率分布が均一で分散特性の再現性、制御性のすぐれた
光ファイバ用母材を製造するための多孔質ガラス母材の
製造方法を開発すべく種々検討した結果、サイドコア用
バーナーの可燃性ガス吹出口とスート母材のサイドコア
部堆積面との距離Ｘ（ｍ）と、可燃性ガスの線流速Ｖ
（ｍ／秒）との比Ｘ／Ｖがバーナー中で生成した Si-Ge
-O固溶体がサイドコア部に堆積するまでの時間を代表す
る値となるし、この可燃性ガス吹出口の内径Ｄ（mm）が
バーナー近傍における Si-Ge-O固溶体の半径方向分布位
置を代表するものになる点に注目し、これらの値からこ
のＤ2/（Ｘ／Ｖ）の値を一定の範囲とすれば得られる多
孔質ガラス母材のサイドコア部の屈折率分布を均一なも
のとすることができることを見出し、これについてはこ
のＤ2/（Ｘ／Ｖ）の値を 0.001＜Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1
の範囲とすればよいということを確認して本願発明を完
成させた。以下にこれをさらに詳述する。
【０００８】
【作用】本発明は光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造
方法に関するものであり、これは前記したようにセンタ
ーコア用バーナーとサイドコア用バーナーを用いて原料
ガスを火炎加水分解して発生させたシリカ微粒子からな
るスート流を回転している二重コア型光ファイバ用スー
ト母材に堆積させて光ファイバ用多孔質ガラス母材を製
造する方法において、サイドコア用バーナーの可燃性ガ
ス吹出口とスート母材のサイドコア部スート堆積面との
距離Ｘ、可燃性ガスの線流速Ｖ、および可燃性ガス吹出
口の内径Ｄとからなる式Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）の数値を 0.001
＜Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1 の範囲とすることを特徴とする
ものであるが、このようにすれば目的とする多孔質ガラ
ス母材のサイドコア部の屈折率分布を均一なものとする
ことができるという有利性が与えられる。
方法に関するものであり、これは前記したようにセンタ
ーコア用バーナーとサイドコア用バーナーを用いて原料
ガスを火炎加水分解して発生させたシリカ微粒子からな
るスート流を回転している二重コア型光ファイバ用スー
ト母材に堆積させて光ファイバ用多孔質ガラス母材を製
造する方法において、サイドコア用バーナーの可燃性ガ
ス吹出口とスート母材のサイドコア部スート堆積面との
距離Ｘ、可燃性ガスの線流速Ｖ、および可燃性ガス吹出
口の内径Ｄとからなる式Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）の数値を 0.001
＜Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1 の範囲とすることを特徴とする
ものであるが、このようにすれば目的とする多孔質ガラ
ス母材のサイドコア部の屈折率分布を均一なものとする
ことができるという有利性が与えられる。
【０００９】すなわち、従来法では図４に示したように
反応装置11に設置してあるスート母材12にセンターコア
用バーナー13、サイドコア用バーナー14からのスート流
を堆積させ、ついでクラッド用バーナー15からのスート
流を堆積させてここにクラッド層を形成させて多孔質ガ
ラス母材を製造しているのであるが、このサイドコア用
バーナーの可燃性ガス吹出口16が図５（ｂ）に示したよ
うにされていることから、このバーナー内で生成した S
i-Ge-O固溶体のバーナー半径方向の分布が図５（ａ）の
ようになり、したがってここに得られる多孔質ガラス母
材には図６（ａ）に示したようにこのサイドコア部17の
屈折率分布が乱れたものとなり、この多孔質ガラス母材
を加熱透明化して得た光ファイバ用合成石英ガラス母材
を紡糸して得た光ファイバは分散特性を精度よく制御す
ることができないものになるという欠点がある。
反応装置11に設置してあるスート母材12にセンターコア
用バーナー13、サイドコア用バーナー14からのスート流
を堆積させ、ついでクラッド用バーナー15からのスート
流を堆積させてここにクラッド層を形成させて多孔質ガ
ラス母材を製造しているのであるが、このサイドコア用
バーナーの可燃性ガス吹出口16が図５（ｂ）に示したよ
うにされていることから、このバーナー内で生成した S
i-Ge-O固溶体のバーナー半径方向の分布が図５（ａ）の
ようになり、したがってここに得られる多孔質ガラス母
材には図６（ａ）に示したようにこのサイドコア部17の
屈折率分布が乱れたものとなり、この多孔質ガラス母材
を加熱透明化して得た光ファイバ用合成石英ガラス母材
を紡糸して得た光ファイバは分散特性を精度よく制御す
ることができないものになるという欠点がある。
【００１０】しかし、この場合本願発明にしたがって図
１に示したようにスート母材１に対するサイドコア用バ
ーナー２の可燃性ガス吹出口３とこのスート母材１のサ
イドコア部に対するスート堆積面４との距離をＸ（ｍ）
とし、この可燃性ガスの線流速Ｖ（ｍ／秒）とこの可燃
性ガス吹出口の内径Ｄ（ｍ）を特定し、このＤ2/（Ｘ／
Ｖ）を 0.001≦Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1 の範囲になるよう
にすると、サイドコア用バーナー内で発生した Si-Ge-O
固溶体がサイドコア部堆積面に堆積するまでに十分な時
間がかけられるのでこれをサイドコア用バーナーの半径
方向に均一に拡散して堆積することができ、したがって
このようにして作られたセンターコア部５、サイドコア
部６、クラッド部７からなる多孔質ガラス母材の屈折率
分布をサイドコア部の屈折率分布が略々均一である図２
（ａ）に示したものにすることができるという有利性が
与えられる。
１に示したようにスート母材１に対するサイドコア用バ
ーナー２の可燃性ガス吹出口３とこのスート母材１のサ
イドコア部に対するスート堆積面４との距離をＸ（ｍ）
とし、この可燃性ガスの線流速Ｖ（ｍ／秒）とこの可燃
性ガス吹出口の内径Ｄ（ｍ）を特定し、このＤ2/（Ｘ／
Ｖ）を 0.001≦Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1 の範囲になるよう
にすると、サイドコア用バーナー内で発生した Si-Ge-O
固溶体がサイドコア部堆積面に堆積するまでに十分な時
間がかけられるのでこれをサイドコア用バーナーの半径
方向に均一に拡散して堆積することができ、したがって
このようにして作られたセンターコア部５、サイドコア
部６、クラッド部７からなる多孔質ガラス母材の屈折率
分布をサイドコア部の屈折率分布が略々均一である図２
（ａ）に示したものにすることができるという有利性が
与えられる。
【００１１】なお、この場合におけるＤ2/（Ｘ／Ｖ）の
値はこれが 0.001（ｍ2/秒）未満ではスート堆積面近傍
の火炎温度が低下してスート母材のかさ密度が低下し、
スート母材の作製中にこれに割れや変形が生じてしまう
し、これを 0.1より大きいものとするとこのサイドコア
部の屈折率分布が図６（ａ）に示したように乱れたもの
となるので、これは 0.001≦Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1 の範
囲とすることが必要とされる。
値はこれが 0.001（ｍ2/秒）未満ではスート堆積面近傍
の火炎温度が低下してスート母材のかさ密度が低下し、
スート母材の作製中にこれに割れや変形が生じてしまう
し、これを 0.1より大きいものとするとこのサイドコア
部の屈折率分布が図６（ａ）に示したように乱れたもの
となるので、これは 0.001≦Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1 の範
囲とすることが必要とされる。
【００１２】
【実施例】つぎに本発明の実施例をあげる。 実施例 図４に示した装置を使用したが、この場合、図１に示し
たようにサイドコア用バーナーの可燃性ガス吹出口とス
ート母材のサイドコア部へのスート堆積面との距離Ｘ
（ｍ）をＸ＝２×10-2ｍ、この可燃性ガスの線流速Ｖを
Ｖ＝４ｍ／秒とし、さらにこの可燃性ガス吹出口の内径
ＤをＤ＝ 1.5×10-2ｍとし、Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）＝ 7.5×10
-3としてスート母材を形成させた。
たようにサイドコア用バーナーの可燃性ガス吹出口とス
ート母材のサイドコア部へのスート堆積面との距離Ｘ
（ｍ）をＸ＝２×10-2ｍ、この可燃性ガスの線流速Ｖを
Ｖ＝４ｍ／秒とし、さらにこの可燃性ガス吹出口の内径
ＤをＤ＝ 1.5×10-2ｍとし、Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）＝ 7.5×10
-3としてスート母材を形成させた。
【００１３】ついで、この直径 100mm、長さ 1,000mmの
スート母材（多孔質ガラス母材）を1,500℃に加熱し透
明ガラス化して光ファイバ用合成石英ガラス母材を作
り、このものの屈折率分布を測定したところ、サイドコ
ア部の屈折率分布が略々均一である図２（ａ）に示した
ような結果が得られ、この母材を線引き紡糸して得た光
ファイバについてその長手方向の分散特性を測定したと
ころ、図２（ｂ）に示したとおりの結果が得られ、この
ものはゼロ分散波長のバラ付きも少なく、長手方向にも
安定した特性をもつものであった。
スート母材（多孔質ガラス母材）を1,500℃に加熱し透
明ガラス化して光ファイバ用合成石英ガラス母材を作
り、このものの屈折率分布を測定したところ、サイドコ
ア部の屈折率分布が略々均一である図２（ａ）に示した
ような結果が得られ、この母材を線引き紡糸して得た光
ファイバについてその長手方向の分散特性を測定したと
ころ、図２（ｂ）に示したとおりの結果が得られ、この
ものはゼロ分散波長のバラ付きも少なく、長手方向にも
安定した特性をもつものであった。
【００１４】比較例１ 図１に示した装置において、Ｘ、Ｖ、ＤをＸ＝２×10-2
ｍ、Ｖ＝４ｍ／秒、Ｄ＝３×10-2ｍとしＤ2/（Ｘ／Ｖ）
＝0.18ということで直径 100mm、長さ 1,000mmのスート
母材を作り、これを透明ガラス化したのち、このものの
屈折率分布を測定したところ、これは図６（ａ）に示し
たようにサイドコア部の屈折率分布に乱れのあるもので
あったし、このものを紡糸して得た光ファイバについて
の分散特性を測定したところ、これは図６（ｂ）に示し
たとおりの結果を示し、このゼロ分散波長も長手方向で
大きくバラ付いた不安定な特性をもつものであった。
ｍ、Ｖ＝４ｍ／秒、Ｄ＝３×10-2ｍとしＤ2/（Ｘ／Ｖ）
＝0.18ということで直径 100mm、長さ 1,000mmのスート
母材を作り、これを透明ガラス化したのち、このものの
屈折率分布を測定したところ、これは図６（ａ）に示し
たようにサイドコア部の屈折率分布に乱れのあるもので
あったし、このものを紡糸して得た光ファイバについて
の分散特性を測定したところ、これは図６（ｂ）に示し
たとおりの結果を示し、このゼロ分散波長も長手方向で
大きくバラ付いた不安定な特性をもつものであった。
【００１５】比較例２ 図１に示した装置において、Ｘ、Ｖ、ＤをＸ＝15×10-2
ｍ、Ｖ＝１ｍ／秒、Ｄ＝１×10-2ｍとしてスート母材を
作ったところ、この場合にはＤ2/（Ｘ／Ｖ）が6.7×10
-4となったことから、このスート母材は 200mm程成長し
たときにスート母材が変形し、割れてしまった。
ｍ、Ｖ＝１ｍ／秒、Ｄ＝１×10-2ｍとしてスート母材を
作ったところ、この場合にはＤ2/（Ｘ／Ｖ）が6.7×10
-4となったことから、このスート母材は 200mm程成長し
たときにスート母材が変形し、割れてしまった。
【００１６】
【発明の効果】本発明は光ファイバ用多孔質ガラス母材
の製造方法に関するものであり、これは前記したように
センターコア部を形成するセンターコア用バーナーとサ
イドコア部を形成するサイドコア用バーナーとを備え、
これらのバーナーに原料ガスと可燃性ガスを流し、この
可燃性ガスに点火して火炎を形成させて原料ガスの火炎
での火炎加水分解で形成させたスート流を、センターコ
ア部とサイドコア部を一体化して回転している二重コア
型光ファイバ用スート母材に堆積させて多孔質ガラス母
材を製造する方法において、このサイドコア用バーナー
の可燃性ガス吹出口とこのスート母材のサイドコア部堆
積面との距離Ｘ（ｍ）、可燃性ガスの線流速Ｖ（ｍ／
秒）および可燃化ガス吹出口の内径Ｄ（ｍ）とからなる
式Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）の数値が 0.001≦Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.
1 （ｍ2/秒）の範囲になるように設定することを特徴と
するものであるが、これによればこの多孔質ガラス母材
から作られる光ファイバをサイドコア部の屈折率分布が
均一で、分散特性の再現性、制御性のすぐれたものとす
ることができるという有利性が与えられる。
の製造方法に関するものであり、これは前記したように
センターコア部を形成するセンターコア用バーナーとサ
イドコア部を形成するサイドコア用バーナーとを備え、
これらのバーナーに原料ガスと可燃性ガスを流し、この
可燃性ガスに点火して火炎を形成させて原料ガスの火炎
での火炎加水分解で形成させたスート流を、センターコ
ア部とサイドコア部を一体化して回転している二重コア
型光ファイバ用スート母材に堆積させて多孔質ガラス母
材を製造する方法において、このサイドコア用バーナー
の可燃性ガス吹出口とこのスート母材のサイドコア部堆
積面との距離Ｘ（ｍ）、可燃性ガスの線流速Ｖ（ｍ／
秒）および可燃化ガス吹出口の内径Ｄ（ｍ）とからなる
式Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）の数値が 0.001≦Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.
1 （ｍ2/秒）の範囲になるように設定することを特徴と
するものであるが、これによればこの多孔質ガラス母材
から作られる光ファイバをサイドコア部の屈折率分布が
均一で、分散特性の再現性、制御性のすぐれたものとす
ることができるという有利性が与えられる。
【図１】本発明による多孔質ガラス母材製造装置の縦断
面図を示したものである。
面図を示したものである。
【図２】（ａ）は実施例で得られた光ファイバ用合成石
英ガラス母材の屈折率分布を示したものであり、（ｂ）
はこれから作られた光ファイバの長手方向のゼロ分散波
長の値のグラフを示したのもである。
英ガラス母材の屈折率分布を示したものであり、（ｂ）
はこれから作られた光ファイバの長手方向のゼロ分散波
長の値のグラフを示したのもである。
【図３】本発明により得られた多孔質ガラス母材の理想
的な屈折率分布を示したものである。
的な屈折率分布を示したものである。
【図４】従来法による多孔質ガラス母材製造装置の縦断
面図を示したものである。
面図を示したものである。
【図５】（ａ）は従来法により得られた多孔質ガラス母
材の Si-Ge-O固溶体のバーナー半径方向の分布図を示し
たものであり、（ｂ）はこの可燃性ガス吹出口の斜視図
を示したものである。
材の Si-Ge-O固溶体のバーナー半径方向の分布図を示し
たものであり、（ｂ）はこの可燃性ガス吹出口の斜視図
を示したものである。
【図６】（ａ）は従来法により得られた多孔質ガラス母
材の屈折率分布を示したものであり、（ｂ）はこれから
作られた光ファイバの長手方向のゼロ分散波長の値のグ
ラフを示したものである。
材の屈折率分布を示したものであり、（ｂ）はこれから
作られた光ファイバの長手方向のゼロ分散波長の値のグ
ラフを示したものである。
１，12…スート母材、 ２，14…サイドコア用バーナー、 ３，16…サイドコアバーナー用可燃性ガス吹出口、 ４…サイドコア部のスート堆積面、 ５…センターコア部、 ６，17…サイドコア部、 ７…クラッド部、 11…反応容器、 13…センターコア用バーナー、 15…クラッド用バーナー、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 37/00 - 37/16
Claims (1)
- 【請求項１】センターコア部を形成するセンターコア用
バーナーとサイドコア部を形成するサイドコア用バーナ
ーを備え、これらのバーナーに原料ガスと可燃性ガスを
流し、この可燃性ガスに点火して火炎を形成させて原料
ガスの火炎中での火炎加水分解で形成させたスート流
を、センターコア部とサイドコア部を一体化して回転し
ている二重コア型光ファイバ用スート母材に堆積させて
多孔質ガラス母材を製造する方法において、このサイド
コア用バーナーの可燃性ガス吹出口とこのスート母材の
サイドコア部堆積面との距離Ｘ（ｍ）、可燃性ガスの線
流速Ｖ（ｍ／秒）および可燃性ガス吹出口の内径Ｄ
（ｍ）とからなる式Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）の数値が 0.001＜Ｄ2/（Ｘ／Ｖ）≦0.1 （ｍ2/秒） の範囲となるように設定することを特徴とする光ファイ
バ用多孔質ガラス母材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18036793A JP2965235B2 (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18036793A JP2965235B2 (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0733467A JPH0733467A (ja) | 1995-02-03 |
| JP2965235B2 true JP2965235B2 (ja) | 1999-10-18 |
Family
ID=16082009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18036793A Expired - Fee Related JP2965235B2 (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2965235B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008155234A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Obara Corp | 溶接装置の駆動装置 |
| JP5136106B2 (ja) * | 2008-02-14 | 2013-02-06 | 株式会社ニコン | 石英ガラスの製造方法 |
| CN113703158B (zh) * | 2021-09-07 | 2022-05-13 | 北京交通大学 | 一种用于模间增益均衡的少模光纤增益剖面快速设计方法 |
-
1993
- 1993-07-21 JP JP18036793A patent/JP2965235B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0733467A (ja) | 1995-02-03 |
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