JPS593944B2 - 光フアイバの製造方法 - Google Patents
光フアイバの製造方法Info
- Publication number
- JPS593944B2 JPS593944B2 JP9254481A JP9254481A JPS593944B2 JP S593944 B2 JPS593944 B2 JP S593944B2 JP 9254481 A JP9254481 A JP 9254481A JP 9254481 A JP9254481 A JP 9254481A JP S593944 B2 JPS593944 B2 JP S593944B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base material
- porous glass
- glass base
- core
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/54—Multiple burner arrangements combined with means for heating the deposit, e.g. non-deposition burner
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は導波損失が少なく、屈折率分布がよい光ファ
イバの製造方法に関するものである。
イバの製造方法に関するものである。
従来より光ファイバの製造方法の１つとして、ＶＡＤ法
が知られている。この方法は、多重管構造の酸水素炎バ
ーナにＳｉＣｌ４、Ｐ０Ｃｌ３、ＧｅＣｌ４、１０ＢＢ
ｒ３などのガラス原料ガスを供給し、火炎中で生成した
ＳｉＯ２、Ｐ２Ｏ５、Ｇｅ０２、Ｂ２Ｏ３などの酸化物
からなるガラス微粉末を棒状基材の先端に付着、堆積さ
せて、多孔質ガラス母材を生長させ、これを透明ガラス
化してプリフオームとし、この１５プリフオームを溶融
紡糸して、光ファイバを得るものである。このＶＡＤ法
によつてコア−クラッド型光ファイバを形成するには、
まずコアとなる多孔質ガラス母材を棒状基材先端に付着
生長させ、ついでコアとなる多孔質ガラス母材上にクラ
ッド２０となる多孔質ガラス母材を付着生長させるか、
あるいはコアとなる多孔質ガラス母材を透明ガラス化し
てプリフオームとし、ついでクラッドとなる多孔質ガラ
ス母材を付着生長させることによつて行われている。と
ころで、クラッドとなる多孔質ク５ ガラス母材をコア
となる多孔質ガラス母材あるいは透明ガラス化プリフオ
ーム上に形成する際、コアとなる多孔質ガラス母材ある
いはプリフオームの表面が、クラッド形成用酸水素炎バ
ーナの外炎の還元雰囲気に包み込まれ、前記表面に存在
する３０ＧｅＯ２、ＧｅＯ）結晶ＧｅＯ２などが部分的
にガラス化したり、変質したりしてしまい、得られたガ
ラス母材を透明ガラス化しても、コア−クラッド界面に
前記ガラス化ＧｅＯ２や変質ＧｅＯ２に起因する気泡が
残り、これから得られる光ファイバの導波３５損失増加
の一因となつていた。また、光ファイバの屈折率分布が
乱れることもあつた。さらに、先にコアとなる多孔質ガ
ラス母材あるいはプリフオームを形成したのち、クラツ
ドとなる多孔質ガラス母材を形成するため、コアとなる
多孔質ガラス母材あるいはプリフオームの表面に空気中
のちり、ほこり、水分が吸着し、これがコアークラツド
界面に包含されて残留し、光フアイバの導波損失が増加
することもあつた。一方、シングルモードの光フアイバ
では、その屈折率分布が完全なステツプ型であることが
、セカンド・モードのカツトオフの設定、特性の長尺均
一性の点から重要であるが、ＶＡＤ法ではガラス微粉末
積層面上での温度分布、ドーパントガス濃度を厳密に一
定とすることが困難であり、どうしてもコアの表面部分
での屈折率が低くなり屈折率分布がきれいなステツプ状
にはならず、屈折率分布図の肩部分がだれてしまうと言
う欠点があつた。
が知られている。この方法は、多重管構造の酸水素炎バ
ーナにＳｉＣｌ４、Ｐ０Ｃｌ３、ＧｅＣｌ４、１０ＢＢ
ｒ３などのガラス原料ガスを供給し、火炎中で生成した
ＳｉＯ２、Ｐ２Ｏ５、Ｇｅ０２、Ｂ２Ｏ３などの酸化物
からなるガラス微粉末を棒状基材の先端に付着、堆積さ
せて、多孔質ガラス母材を生長させ、これを透明ガラス
化してプリフオームとし、この１５プリフオームを溶融
紡糸して、光ファイバを得るものである。このＶＡＤ法
によつてコア−クラッド型光ファイバを形成するには、
まずコアとなる多孔質ガラス母材を棒状基材先端に付着
生長させ、ついでコアとなる多孔質ガラス母材上にクラ
ッド２０となる多孔質ガラス母材を付着生長させるか、
あるいはコアとなる多孔質ガラス母材を透明ガラス化し
てプリフオームとし、ついでクラッドとなる多孔質ガラ
ス母材を付着生長させることによつて行われている。と
ころで、クラッドとなる多孔質ク５ ガラス母材をコア
となる多孔質ガラス母材あるいは透明ガラス化プリフオ
ーム上に形成する際、コアとなる多孔質ガラス母材ある
いはプリフオームの表面が、クラッド形成用酸水素炎バ
ーナの外炎の還元雰囲気に包み込まれ、前記表面に存在
する３０ＧｅＯ２、ＧｅＯ）結晶ＧｅＯ２などが部分的
にガラス化したり、変質したりしてしまい、得られたガ
ラス母材を透明ガラス化しても、コア−クラッド界面に
前記ガラス化ＧｅＯ２や変質ＧｅＯ２に起因する気泡が
残り、これから得られる光ファイバの導波３５損失増加
の一因となつていた。また、光ファイバの屈折率分布が
乱れることもあつた。さらに、先にコアとなる多孔質ガ
ラス母材あるいはプリフオームを形成したのち、クラツ
ドとなる多孔質ガラス母材を形成するため、コアとなる
多孔質ガラス母材あるいはプリフオームの表面に空気中
のちり、ほこり、水分が吸着し、これがコアークラツド
界面に包含されて残留し、光フアイバの導波損失が増加
することもあつた。一方、シングルモードの光フアイバ
では、その屈折率分布が完全なステツプ型であることが
、セカンド・モードのカツトオフの設定、特性の長尺均
一性の点から重要であるが、ＶＡＤ法ではガラス微粉末
積層面上での温度分布、ドーパントガス濃度を厳密に一
定とすることが困難であり、どうしてもコアの表面部分
での屈折率が低くなり屈折率分布がきれいなステツプ状
にはならず、屈折率分布図の肩部分がだれてしまうと言
う欠点があつた。
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、導波損失
が少なく、理想的な屈折率分布を有するコアークラツド
型の光フアイバを得ることのできる光フアイバの製造方
法を提供することを目的とし、フツ化物ガスあるいはフ
ツ化物ガスとガラス原料ガスとの混合ガスを酸水素炎バ
ーナに送給し、酸水素炎バーナの火炎を、あらかじめ棒
状基材上に形成されたコアとなる多孔質ガラス母材もし
くは透明ガラス化プリフオームの表面に当て、コアとな
る多孔質ガラス母材もしくは透明ガラス化プリフオーム
の表面をエツチングすることあるいはエツチングすると
同時にクラツドとなるガラス微粉末を付着、堆積させる
ことを特徴とするものである。
が少なく、理想的な屈折率分布を有するコアークラツド
型の光フアイバを得ることのできる光フアイバの製造方
法を提供することを目的とし、フツ化物ガスあるいはフ
ツ化物ガスとガラス原料ガスとの混合ガスを酸水素炎バ
ーナに送給し、酸水素炎バーナの火炎を、あらかじめ棒
状基材上に形成されたコアとなる多孔質ガラス母材もし
くは透明ガラス化プリフオームの表面に当て、コアとな
る多孔質ガラス母材もしくは透明ガラス化プリフオーム
の表面をエツチングすることあるいはエツチングすると
同時にクラツドとなるガラス微粉末を付着、堆積させる
ことを特徴とするものである。
以下、図面を参照してこの発明を詳細に説明する。
第１図はこの発明の光フアイバの製造方法の一実施例を
示すもので、多重管構造の酸水素炎バーナ１には、Ｓｉ
Ｃｌ４ガス、ＰＯＣｌ３ガス、ＧｅＣｌ４ガスなどガラ
ス原料ガス、Ｈ２ガス、０２ガス、Ａｒガスなどが別々
に送給される。
示すもので、多重管構造の酸水素炎バーナ１には、Ｓｉ
Ｃｌ４ガス、ＰＯＣｌ３ガス、ＧｅＣｌ４ガスなどガラ
ス原料ガス、Ｈ２ガス、０２ガス、Ａｒガスなどが別々
に送給される。
ガラス原料ガスは、火炎中で熱加水分解反応、熱酸化反
応等の気相化学反応を受けてＳｉＯ２，Ｐ２Ｏ，，Ｇｅ
Ｏ２などのガラス微粉末となり、回転しながら上方に移
動する棒状基材２の先端に付着、堆積されてコアとなる
多孔質ガラス母材３が形成されてゆく。ついで、コアと
なる多孔質ガラス母材３がある程度生長すると、バーナ
１の上方に並んで設けられた多重管構造の酸水素炎バー
ナ４，５が燃焼を開始する。多重管構造の酸水素炎バー
ナ４には、Ｈ２ガス、０２ガス、Ａｒガス以外にフツ化
物ガスが供給される。このフツ化物ガスとは、ＢＦ３，
ＣＦ４，ＳｉＦ４，ＰＦ４，ＡＳＦ５，ＳＦ６などの非
金属元素のフツ化物で、常温付近でガス状態となつてい
るものであり、特に、ＣＦ４，ＳＦ６が好ましい。フツ
化物ガスはバーナ４の火炎中で加熱されて解離し、活性
状態のフツ素が生成する。バーナ４の火炎を、先に形成
されたコアとなる多孔質ガラス母材３に当てれば、火炎
中の活性状態のフツ素がコアとなる多孔質ガラス母材３
の表面のガラス微粉末を溶解し、エツチングする。この
操作によりコアとなる多孔質ガラス母材３の表面に付着
しているゴミ、ホコｌ八水分が除去されるとともに、表
面部に存在するＧｅＯ２，ＧｅＯが除去され、清浄な表
面を有する多孔質ガラス母材３７が得られる。そして、
この多孔質ガラス母材３の外径が若干減少する。一方、
多重管構造の酸水素炎バーナ５には、ＳｉＣｌ４，ＰＯ
Ｃｌ３，ＢＢｒ３などのガラス原料ガス、０２ガス、Ｈ
２ガス、Ａｒガスがそれぞれ供給される。ガラス原料ガ
スは火炎中で気相化学反応を受けて、ＳｌＯ２，Ｐ２Ｏ
５，Ｂ２Ｏ３などのガラス微粉末になり、バーナ４でエ
ツチングされて清浄となつたコアとなる多孔質ガラス母
材３′上に付着、堆積してゆき、クラツドとなる多孔質
ガラス母材６が形成される。この操作においては、バー
ナ５がバーナ４に並んで設けられているので、バーナ４
でのコアとなる多孔質ガラス母材３のエツチングが終る
と、ただちにクラツドとなる多孔質ガラス母材６が、清
浄化された多孔質ガラス母材３′上に形成される。よつ
てコアとなる多孔質ガラス母材３′とクラツドとなる多
孔質ガラス母材６との界面にはゴミ、ホコｌ八水分が残
留することがなく、きれいな界面が得られる。以上のよ
うにして、コアとなる多孔質ガラス母材３５上にクラツ
ドとなる多孔質ガラス母材６が形成された多孔質ガラス
母材７は、ついで加熱され透明ガラス化されてプリフオ
ームが形成される。
応等の気相化学反応を受けてＳｉＯ２，Ｐ２Ｏ，，Ｇｅ
Ｏ２などのガラス微粉末となり、回転しながら上方に移
動する棒状基材２の先端に付着、堆積されてコアとなる
多孔質ガラス母材３が形成されてゆく。ついで、コアと
なる多孔質ガラス母材３がある程度生長すると、バーナ
１の上方に並んで設けられた多重管構造の酸水素炎バー
ナ４，５が燃焼を開始する。多重管構造の酸水素炎バー
ナ４には、Ｈ２ガス、０２ガス、Ａｒガス以外にフツ化
物ガスが供給される。このフツ化物ガスとは、ＢＦ３，
ＣＦ４，ＳｉＦ４，ＰＦ４，ＡＳＦ５，ＳＦ６などの非
金属元素のフツ化物で、常温付近でガス状態となつてい
るものであり、特に、ＣＦ４，ＳＦ６が好ましい。フツ
化物ガスはバーナ４の火炎中で加熱されて解離し、活性
状態のフツ素が生成する。バーナ４の火炎を、先に形成
されたコアとなる多孔質ガラス母材３に当てれば、火炎
中の活性状態のフツ素がコアとなる多孔質ガラス母材３
の表面のガラス微粉末を溶解し、エツチングする。この
操作によりコアとなる多孔質ガラス母材３の表面に付着
しているゴミ、ホコｌ八水分が除去されるとともに、表
面部に存在するＧｅＯ２，ＧｅＯが除去され、清浄な表
面を有する多孔質ガラス母材３７が得られる。そして、
この多孔質ガラス母材３の外径が若干減少する。一方、
多重管構造の酸水素炎バーナ５には、ＳｉＣｌ４，ＰＯ
Ｃｌ３，ＢＢｒ３などのガラス原料ガス、０２ガス、Ｈ
２ガス、Ａｒガスがそれぞれ供給される。ガラス原料ガ
スは火炎中で気相化学反応を受けて、ＳｌＯ２，Ｐ２Ｏ
５，Ｂ２Ｏ３などのガラス微粉末になり、バーナ４でエ
ツチングされて清浄となつたコアとなる多孔質ガラス母
材３′上に付着、堆積してゆき、クラツドとなる多孔質
ガラス母材６が形成される。この操作においては、バー
ナ５がバーナ４に並んで設けられているので、バーナ４
でのコアとなる多孔質ガラス母材３のエツチングが終る
と、ただちにクラツドとなる多孔質ガラス母材６が、清
浄化された多孔質ガラス母材３′上に形成される。よつ
てコアとなる多孔質ガラス母材３′とクラツドとなる多
孔質ガラス母材６との界面にはゴミ、ホコｌ八水分が残
留することがなく、きれいな界面が得られる。以上のよ
うにして、コアとなる多孔質ガラス母材３５上にクラツ
ドとなる多孔質ガラス母材６が形成された多孔質ガラス
母材７は、ついで加熱され透明ガラス化されてプリフオ
ームが形成される。
このプリフオームから常法によつてコアークラツド型光
フアイバが得られる。 ”以上の操作によつて得
られる多孔質ガラス母材７は、一旦形成されたコアとな
る多孔質ガラス母材３がバーナ４で生成された活性状態
のフツ素によつてエツチングされるので、多孔質ガラス
母材３の表面のゴミ、ホコリ、水分が除去され、表面部
に存在するＧｅＯ２９ＧｅＯが除去される。
フアイバが得られる。 ”以上の操作によつて得
られる多孔質ガラス母材７は、一旦形成されたコアとな
る多孔質ガラス母材３がバーナ４で生成された活性状態
のフツ素によつてエツチングされるので、多孔質ガラス
母材３の表面のゴミ、ホコリ、水分が除去され、表面部
に存在するＧｅＯ２９ＧｅＯが除去される。
さらに、エツチングされたのち、ただちにバーナ５によ
つてクラツドとなる多孔質ガラス母材６が形成されるの
で、多孔質ガラス母材ｙの清浄な表面が保もたれた状態
でクラツドとなる多孔質ガラス母材６が形成できる。従
つて、この多孔質ガラス母材７から製造される光フアイ
バは、導路損失が少なく、その屈折率分布が改善された
ものとなる。第２図はこの発明の光フアイバの製造法の
他の実施例を示すもので、第１図と同一部分には同一符
号を付してその説明を省略する。
つてクラツドとなる多孔質ガラス母材６が形成されるの
で、多孔質ガラス母材ｙの清浄な表面が保もたれた状態
でクラツドとなる多孔質ガラス母材６が形成できる。従
つて、この多孔質ガラス母材７から製造される光フアイ
バは、導路損失が少なく、その屈折率分布が改善された
ものとなる。第２図はこの発明の光フアイバの製造法の
他の実施例を示すもので、第１図と同一部分には同一符
号を付してその説明を省略する。
この例においても、まず多重管構造の酸水素炎バーナ１
によつて棒状基材２の先端にコアとなる多孔質ガラス母
材３が形成される。ある程度多孔質ガラス母材３が生長
したならば、バーナ１の上方に設けられた多重管構造の
酸水素炎バーナ８が燃焼を開始する。多重管構造の酸水
素炎バーナ８の各層には、ＳｉＣｌ４，ＰＯＣｌ３，Ｂ
Ｂｒ３などのガラス原相ガス、０２ガス、Ｈ２ガス、Ａ
ｒガスがそれぞれ供給されるほか、ＣＦ４，ＳＦ６など
のフツ化物ガスも同時に供給される。バーナ８の火炎中
心部では、ガラス原料ガスは気相化学反応を受けてＳｉ
Ｏ２，Ｐ２Ｏ５，Ｂ２Ｏ３などのガラス微粉末となる。
また、バーナ８の火炎の外炎部では、フツ化物ガスが高
温に加熱されて解離し、活性状態のフツ素となる。バー
ナ８の火炎をコアとなる多孔質ガラス母材３の表面に当
てれば、棒状基材２の上方への移動に伴つて、まず火炎
の外炎部で生成した活性状態のフツ素によつて、コアと
なる多孔質ガラス母材３の表面がエツチングされる。つ
いで、火炎の内炎部で生成したガラス微粉末が、エツチ
ングされて清浄となつたコアとなる多孔質ガラス母材３
′上に付着、堆積し、クラツドとなる多孔質ガラス母材
６が形成される。そして、再び火炎の外炎部で生成した
活性状態のフツ素によつて、クラツドとなる多孔質ガラ
ス母材６の表面がエツチングされて、多孔質ガラス母材
７が形成される。この操作においても、コアとなる多孔
質ガラス母材３の表面がエツチングされるので、コアと
なる多孔質ガラス母材ｙとクラツドとなる多孔質ガラス
母材６との界面には、ゴミ、ホコリ、水分、変質ＧｅＯ
２、結晶化ＧｅＯ２が存在せず、この多孔質ガラス母材
７から得られる光フアイバは導波損失が少なく、屈折率
分布がよいものである。第３図はこの発明の光フアイバ
の製造法の別の実施例を示すもので、シングルモードの
光フアイバを製造するに好適なものである。
によつて棒状基材２の先端にコアとなる多孔質ガラス母
材３が形成される。ある程度多孔質ガラス母材３が生長
したならば、バーナ１の上方に設けられた多重管構造の
酸水素炎バーナ８が燃焼を開始する。多重管構造の酸水
素炎バーナ８の各層には、ＳｉＣｌ４，ＰＯＣｌ３，Ｂ
Ｂｒ３などのガラス原相ガス、０２ガス、Ｈ２ガス、Ａ
ｒガスがそれぞれ供給されるほか、ＣＦ４，ＳＦ６など
のフツ化物ガスも同時に供給される。バーナ８の火炎中
心部では、ガラス原料ガスは気相化学反応を受けてＳｉ
Ｏ２，Ｐ２Ｏ５，Ｂ２Ｏ３などのガラス微粉末となる。
また、バーナ８の火炎の外炎部では、フツ化物ガスが高
温に加熱されて解離し、活性状態のフツ素となる。バー
ナ８の火炎をコアとなる多孔質ガラス母材３の表面に当
てれば、棒状基材２の上方への移動に伴つて、まず火炎
の外炎部で生成した活性状態のフツ素によつて、コアと
なる多孔質ガラス母材３の表面がエツチングされる。つ
いで、火炎の内炎部で生成したガラス微粉末が、エツチ
ングされて清浄となつたコアとなる多孔質ガラス母材３
′上に付着、堆積し、クラツドとなる多孔質ガラス母材
６が形成される。そして、再び火炎の外炎部で生成した
活性状態のフツ素によつて、クラツドとなる多孔質ガラ
ス母材６の表面がエツチングされて、多孔質ガラス母材
７が形成される。この操作においても、コアとなる多孔
質ガラス母材３の表面がエツチングされるので、コアと
なる多孔質ガラス母材ｙとクラツドとなる多孔質ガラス
母材６との界面には、ゴミ、ホコリ、水分、変質ＧｅＯ
２、結晶化ＧｅＯ２が存在せず、この多孔質ガラス母材
７から得られる光フアイバは導波損失が少なく、屈折率
分布がよいものである。第３図はこの発明の光フアイバ
の製造法の別の実施例を示すもので、シングルモードの
光フアイバを製造するに好適なものである。
この例においても、まず多重管構造の酸水素炎バーナ１
によつて棒状基材２の先端にコアとなる多孔質ガラス母
材３が形成される。ある程度、コアとなる多孔質ガラス
母材３が生長すると、多重管構造の酸水素炎バーナ４，
５が燃焼を開始する。バーナ４には、０２ガス、Ｈ２ガ
ス、Ａｒガスに加えて多量のフツ化物ガスが供給され、
火炎中で多量の活性状態のフツ素が生成される。そのた
め、バーナ４の火炎によつて、コアとなる多孔質ガラス
母材３の表面はかなり激しくエツチングされ、コアとな
る多孔質ガラス母材３の外径はかなり減少する。この操
作によりコアとなる多孔質ガラス母材３の表面が激しく
エツチングされるため、多孔質ガラス母材３の表面の屈
折率の乱れた部分が除去され、均一でフラツトな屈折率
分布を有するコアとなる多孔質ガラス母材３′が形成さ
れるとともに、コアークラツド界面での気泡の原因とな
る結晶化ＧｅＯ２やＧｅＯの高密度層が除去される。つ
いでバーナ５によつてただちにクラツドとなる多孔質ガ
ラス母材６が清浄化されたコアとなる多孔質ガラス母材
３′上に付着、堆積され、多孔質ガラス母材７が形成さ
れる。この多孔質ガラス母材７から製造されたシングル
モードの光フアイバは、その屈折率分布がほぼ完全なス
テツプ状となるとともに、コアークラツド界面にゴミ、
ホコリ、水分、気泡が存在していないので、導波損失が
少ない理想的なシングルモード光フアイバである。第４
図はこの発明の他の実施例を示したものであるが、この
例ではあらかじめ棒状基材２の先端に、コアとなる多孔
質ガラス母材を形成したのち、加熱して透明ガラス化し
、コアとなるプリフオーム９を形成する。
によつて棒状基材２の先端にコアとなる多孔質ガラス母
材３が形成される。ある程度、コアとなる多孔質ガラス
母材３が生長すると、多重管構造の酸水素炎バーナ４，
５が燃焼を開始する。バーナ４には、０２ガス、Ｈ２ガ
ス、Ａｒガスに加えて多量のフツ化物ガスが供給され、
火炎中で多量の活性状態のフツ素が生成される。そのた
め、バーナ４の火炎によつて、コアとなる多孔質ガラス
母材３の表面はかなり激しくエツチングされ、コアとな
る多孔質ガラス母材３の外径はかなり減少する。この操
作によりコアとなる多孔質ガラス母材３の表面が激しく
エツチングされるため、多孔質ガラス母材３の表面の屈
折率の乱れた部分が除去され、均一でフラツトな屈折率
分布を有するコアとなる多孔質ガラス母材３′が形成さ
れるとともに、コアークラツド界面での気泡の原因とな
る結晶化ＧｅＯ２やＧｅＯの高密度層が除去される。つ
いでバーナ５によつてただちにクラツドとなる多孔質ガ
ラス母材６が清浄化されたコアとなる多孔質ガラス母材
３′上に付着、堆積され、多孔質ガラス母材７が形成さ
れる。この多孔質ガラス母材７から製造されたシングル
モードの光フアイバは、その屈折率分布がほぼ完全なス
テツプ状となるとともに、コアークラツド界面にゴミ、
ホコリ、水分、気泡が存在していないので、導波損失が
少ない理想的なシングルモード光フアイバである。第４
図はこの発明の他の実施例を示したものであるが、この
例ではあらかじめ棒状基材２の先端に、コアとなる多孔
質ガラス母材を形成したのち、加熱して透明ガラス化し
、コアとなるプリフオーム９を形成する。
このコアとなるプリフオーム９に、多重管構造の酸水素
炎バーナ４からの活性状態のフツ素を含む火炎を当て、
コアとなるプリフオーム９の表面をエツチングする。つ
いで、多重管構造の酸水素炎バーナ５からのガラス微粉
末を含む火炎を当てて、エツチングされたプリフオーム
ｑ上にクラツドととなる多孔質ガラス母材６を形成する
ものである。なお、第１図ないし第４図で示した実施例
においては、棒状基材２の先端に多孔質ガラス母材７を
形成するＶＡＤ法によるものを説明した力ゝ この発明
の光フアイバの製造法は、ＶＡＤ法に限定されず、棒状
基材２の外周に多孔質ガラス母材Ｔを形成するＭＣＶＤ
法にも適用できる。
炎バーナ４からの活性状態のフツ素を含む火炎を当て、
コアとなるプリフオーム９の表面をエツチングする。つ
いで、多重管構造の酸水素炎バーナ５からのガラス微粉
末を含む火炎を当てて、エツチングされたプリフオーム
ｑ上にクラツドととなる多孔質ガラス母材６を形成する
ものである。なお、第１図ないし第４図で示した実施例
においては、棒状基材２の先端に多孔質ガラス母材７を
形成するＶＡＤ法によるものを説明した力ゝ この発明
の光フアイバの製造法は、ＶＡＤ法に限定されず、棒状
基材２の外周に多孔質ガラス母材Ｔを形成するＭＣＶＤ
法にも適用できる。
以下、実施例に基づいて、この発明を具体的に説明する
。
。
〔実施例 １〕
第１図に示した石英製のバーナ１、バーナ４、バーナ５
を用いて、グレイデイツドインデツクス型の屈折率分布
を持つコアとなる多孔質ガラス母材３’とクラツドとな
る多孔質ガラス母材６とからなる多孔質ガラス母材７を
形成した。
を用いて、グレイデイツドインデツクス型の屈折率分布
を持つコアとなる多孔質ガラス母材３’とクラツドとな
る多孔質ガラス母材６とからなる多孔質ガラス母材７を
形成した。
各々のバーナ１，４，５の構造、ガスの種類、ガス供給
量は第１表、第２表、第３表に示した通りである。この
時のコアとなる多孔質ガラス母材３の直径は５０ｍｍで
、エツチング後のコアとなる多孔質ガラス母材ぎの直径
は４０ｍ７ｎで、多孔質ガラス母材７の直径は６５ｍ？
ｎであつた。多孔質ガラス母材７から得られた光フアイ
バの導波損失は波長０．８５μｍで２．０１ｄＢ／Ｋｇ
であつた。〔実施例 ２〕 第２図に示した石英製のバーナ１およびバーナ８を用い
て、多孔質ガラス母材７を製造した。
量は第１表、第２表、第３表に示した通りである。この
時のコアとなる多孔質ガラス母材３の直径は５０ｍｍで
、エツチング後のコアとなる多孔質ガラス母材ぎの直径
は４０ｍ７ｎで、多孔質ガラス母材７の直径は６５ｍ？
ｎであつた。多孔質ガラス母材７から得られた光フアイ
バの導波損失は波長０．８５μｍで２．０１ｄＢ／Ｋｇ
であつた。〔実施例 ２〕 第２図に示した石英製のバーナ１およびバーナ８を用い
て、多孔質ガラス母材７を製造した。
バーナ１の構造、ガスの種類、ガヌの供給量は実施例１
の第１表と同様であり、バーナ８の構造、ガスの種類、
ガスの供給量は第４表に示した。この多孔質ガラス母材
Ｔから得られた光フアイバの導波損失と波長との関係を
第５図に示した。この光フアイバ（Ｉ線）は、従来の製
法による光フアイバ（線）に比べて、０Ｈ基による吸収
損失が極めて少ないことがわかる。〔実施例 ３〕 第３図に示したバーナ１、バーナ４、バーナ５を用いて
、シングルモード光フアイバ用の多孔質ガラス母材Ｔを
製造した。
の第１表と同様であり、バーナ８の構造、ガスの種類、
ガスの供給量は第４表に示した。この多孔質ガラス母材
Ｔから得られた光フアイバの導波損失と波長との関係を
第５図に示した。この光フアイバ（Ｉ線）は、従来の製
法による光フアイバ（線）に比べて、０Ｈ基による吸収
損失が極めて少ないことがわかる。〔実施例 ３〕 第３図に示したバーナ１、バーナ４、バーナ５を用いて
、シングルモード光フアイバ用の多孔質ガラス母材Ｔを
製造した。
各バーナの構造、ガスの種類、ガスの供給量は第５表〜
第７表の通りである。コアとなる多孔質ガラス母材３の
直径は１５ｍ７！Ｌ、バーナ４でエツチングされた後の
コアとなる多孔質ガラス母材ｙの直径は８ｍ＆ クラツ
ドとなる多孔質ガラス母材６が形成された多孔質ガラス
母材７の直径は８０ｍｍであつた。
第７表の通りである。コアとなる多孔質ガラス母材３の
直径は１５ｍ７！Ｌ、バーナ４でエツチングされた後の
コアとなる多孔質ガラス母材ｙの直径は８ｍ＆ クラツ
ドとなる多孔質ガラス母材６が形成された多孔質ガラス
母材７の直径は８０ｍｍであつた。
この多孔質ガラス母材７を透明ガラス化したブリフオー
ムのコア・クラツド径比は？であつた。また、得られた
光フアイバの導波損失は、波長１．３μｍで０．４５ｄ
Ｂ／１ａＦｌ．ＯＨ基による吸収損失は波長１．３９μ
ｍで０．５ｄＢ／／２であつた。〔実施例 ４〕 第４図に示したバーナ４、バーナ５を用いて、コアとな
る透明ガラス化プリフオーム９をエツチングし、クラツ
ドとなる多孔質ガラス母材６を形成した。
ムのコア・クラツド径比は？であつた。また、得られた
光フアイバの導波損失は、波長１．３μｍで０．４５ｄ
Ｂ／１ａＦｌ．ＯＨ基による吸収損失は波長１．３９μ
ｍで０．５ｄＢ／／２であつた。〔実施例 ４〕 第４図に示したバーナ４、バーナ５を用いて、コアとな
る透明ガラス化プリフオーム９をエツチングし、クラツ
ドとなる多孔質ガラス母材６を形成した。
エツチング用のバーナ４の構造、ガスの種類、ガスの供
給量は第８表に示した。バーナ５の構造、ガスの種類、
ガスの供給量は実施例１の第１表に示したものと同様で
ある。このガラス母材から得られた光フアイバの導波損
失は波長０．８５μｍで２．０５ｄＢ／ＩＣＩＩＩであ
つた。
給量は第８表に示した。バーナ５の構造、ガスの種類、
ガスの供給量は実施例１の第１表に示したものと同様で
ある。このガラス母材から得られた光フアイバの導波損
失は波長０．８５μｍで２．０５ｄＢ／ＩＣＩＩＩであ
つた。
以上説明したように、この発明の光フアイバの製造方法
は、フツ化物ガスあるいはフツ化物ガスとガラス原料ガ
スとの混合ガスを酸水素炎バーナに送給し、酸水素炎バ
ーナの火炎を、あらかじめ棒状基材上に形成されたコア
となる多孔質ガラス母材もしくは透明ガラス化プリフオ
ームの表面に当て、コアとなる多孔質ガラス母材もしく
は透明ガラス化プリフオームの表面をエツチングするも
のあるいはエツチングすると同時にクラツドとなるガラ
ス微粉末を付着、堆積させるものであるので、コアとな
る多孔質ガラス母材もしくは透明ガラス化プリフオーム
の表面に吸着されているゴミ、ホコリ、水分が除去され
、コアとなる多孔質ガラス母材もしくは透明ガラス化プ
リフオームの表面部に存在する変質化ＧｅＯ２，結晶化
ＧｅＯなどが除去されるため、得られる光フアイバのコ
アークラツド界面が清浄となり、前記変質化ＧｅＯ２、
結晶化ＧｅＯに起因する気泡が存在しなくなり、導波損
失が少なくなるとともに、屈折率分布が改善される。特
に、この発明の製造法をシングルモード光フアイバの製
造法に適用すれば、屈折率分布が理想的なステツプ状の
光フアイバが得られる。
は、フツ化物ガスあるいはフツ化物ガスとガラス原料ガ
スとの混合ガスを酸水素炎バーナに送給し、酸水素炎バ
ーナの火炎を、あらかじめ棒状基材上に形成されたコア
となる多孔質ガラス母材もしくは透明ガラス化プリフオ
ームの表面に当て、コアとなる多孔質ガラス母材もしく
は透明ガラス化プリフオームの表面をエツチングするも
のあるいはエツチングすると同時にクラツドとなるガラ
ス微粉末を付着、堆積させるものであるので、コアとな
る多孔質ガラス母材もしくは透明ガラス化プリフオーム
の表面に吸着されているゴミ、ホコリ、水分が除去され
、コアとなる多孔質ガラス母材もしくは透明ガラス化プ
リフオームの表面部に存在する変質化ＧｅＯ２，結晶化
ＧｅＯなどが除去されるため、得られる光フアイバのコ
アークラツド界面が清浄となり、前記変質化ＧｅＯ２、
結晶化ＧｅＯに起因する気泡が存在しなくなり、導波損
失が少なくなるとともに、屈折率分布が改善される。特
に、この発明の製造法をシングルモード光フアイバの製
造法に適用すれば、屈折率分布が理想的なステツプ状の
光フアイバが得られる。
第１図ないし第４図はこの発明の光フアイバの製造方法
の各実施例を示す説明図、第５図はこの発明によつて得
られた光フアイバと従来の製造力法によつて得られた光
フアイバとの導波損失と波長との関係を示すグラフであ
る。 １，４，５，８・・・・・・多重管構造酸水素バーナ、
２・・・・・・棒状基材、３・・・・・・コアとなる多
孔質ガラス母材、６・・・・・・クラツドとなる多孔質
ガラス母材、９・・・・・・コアとなる透明ガラス化プ
リフオーム。
の各実施例を示す説明図、第５図はこの発明によつて得
られた光フアイバと従来の製造力法によつて得られた光
フアイバとの導波損失と波長との関係を示すグラフであ
る。 １，４，５，８・・・・・・多重管構造酸水素バーナ、
２・・・・・・棒状基材、３・・・・・・コアとなる多
孔質ガラス母材、６・・・・・・クラツドとなる多孔質
ガラス母材、９・・・・・・コアとなる透明ガラス化プ
リフオーム。
Claims (1)
- １ 気相化学反応によつてガラス原料ガスからガラス微
粉末を形成し、これを棒状基材の先端あるいは外周に付
着、堆積させて多孔質ガラス母材を形成する光ファイバ
の製造方法において、フッ化物ガスあるいはフッ化物ガ
スとガラス原料ガスとの混合ガスを酸水素炎バーナに送
り込み、酸水素炎バーナの火炎をあらかじめ棒状基材上
に形成されたコアとなる多孔質ガラス母材もしくは透明
ガラス化プリフオームの表面に当て、コアとなる多孔質
ガラス母材もしくは透明ガラス化プリフオームの表面を
エッチングすることを特徴とする光ファイバの製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9254481A JPS593944B2 (ja) | 1981-06-16 | 1981-06-16 | 光フアイバの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9254481A JPS593944B2 (ja) | 1981-06-16 | 1981-06-16 | 光フアイバの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57209839A JPS57209839A (en) | 1982-12-23 |
| JPS593944B2 true JPS593944B2 (ja) | 1984-01-26 |
Family
ID=14057321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9254481A Expired JPS593944B2 (ja) | 1981-06-16 | 1981-06-16 | 光フアイバの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS593944B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59232933A (ja) * | 1983-06-15 | 1984-12-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用プリフオ−ムの製造方法 |
| JPS6046941A (ja) * | 1983-08-25 | 1985-03-14 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ−用プリフオ−ムの製造方法 |
-
1981
- 1981-06-16 JP JP9254481A patent/JPS593944B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57209839A (en) | 1982-12-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2959877B2 (ja) | 光ファイバの製造方法 | |
| JPS6022658B2 (ja) | 光通信用フアイバ | |
| JPS593944B2 (ja) | 光フアイバの製造方法 | |
| JPH0236535B2 (ja) | ||
| JPH0135779B2 (ja) | ||
| CN118604939A (zh) | 多模、单模多芯复合通信光纤及其制备工艺 | |
| JPS599491B2 (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 | |
| US4875918A (en) | Method of manufacturing fiber preform for single-mode fibers | |
| JP3428066B2 (ja) | フッ素ドープ石英ガラスの製造方法 | |
| JPH0820574B2 (ja) | 分散シフトフアイバ及びその製造方法 | |
| JPS6131324A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JP2965235B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPH0324420B2 (ja) | ||
| JPH09221335A (ja) | 光ファイバ用ガラス母材に係わる前駆体の製造方法 | |
| JP2898705B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPS5950040A (ja) | 偏波面保存光フアイバの製造法 | |
| JPH06219765A (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
| JPH0454625B2 (ja) | ||
| JPS6127721B2 (ja) | ||
| JPS6344692B2 (ja) | ||
| JP3174682B2 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| JPH02201403A (ja) | 光ファイバ並びにその母材の製造方法及び光ファイバの製造方法 | |
| Schultz | Vapor phase materials and processes for glass optical waveguides | |
| JP3668804B2 (ja) | 光減衰器用ファイバコアロッドの製造方法 | |
| JPS59137332A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 |