JP2000158372A - 柱状体列の吸着移動装置 - Google Patents

柱状体列の吸着移動装置

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JP2000158372A
JP2000158372A JP10334595A JP33459598A JP2000158372A JP 2000158372 A JP2000158372 A JP 2000158372A JP 10334595 A JP10334595 A JP 10334595A JP 33459598 A JP33459598 A JP 33459598A JP 2000158372 A JP2000158372 A JP 2000158372A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 被吸着移動体である柱状体を柱状体列から所
定の長さの柱状体列だけ、或は柱状体の全てを効率よく
吸着させ移動し得るようにすること。 【解決手段】 容器状の吸着ヘッド本体1に柱状体列の
長さ方向に沿って延びるスリット状の吸着用開口2を設
け、その吸着ヘッド本体内に吸着用開口の長手軸線に沿
って移動可能な負圧室7形成用の仕切板3a,3bを設
け、負圧室に吸引装置8を接続した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、核燃料ペレットの
如き柱状体の吸着移動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、原子炉で使用する燃料棒におい
ては、特にBWR用の燃料棒においては、炉内出力の軸
方向分布の平坦化、炉停止予裕の確保、燃料経済性の追
及等の目的のため、燃料棒内を軸方向に複数の領域に区
分し、各領域毎に異なったU23 5 濃縮度の核燃料ペレッ
トを被覆管内に装填するようにしたものがある。また、
上述のように1本の燃料棒内に複数の領域を設けるばか
りでなく、装填するペレット列全長についても、原子炉
の型によって異なる長さとする場合もある。
【0003】そこで、燃料棒の生産においては、燃料ペ
レットの列から所定長さの列を取り出し、その所定長さ
のペレット列を被覆管内に装填する。
【0004】しかして、この所定長さのペレット列を得
るためには、一般に複数の核燃料ペレットの各々の長さ
を計測し、その積算により所定の列長さを形成する方
法、または整列トレイ上に予め列形成しようとする長さ
をケガキしておき、そのケガキ線を目標として手作業に
よって所定の列長さを形成する方法が採用されている。
ところが、このような作業は面倒であり、列長さ形成に
長時間を要し、累積誤差も大きなものとなる。そこで、
特公平2−62198号公報記載のように、V溝を有す
る整列トレイに軸方向の移動を制限するストッパーと所
定長さを切り出すための切り出し装置を有する装填装置
が提案されている。
【0005】しかしながら、上記公報記載のものにおい
ては、V溝に二酸化ウランペレットのチップ等が貯り、
清掃等の必要が生ずる等の課題が若干ある。
【0006】そこで、特開平9−272093号公報記
載のように、互いに積み重ねられた複数の柱状物を吸着
ヘッドで同時に吸着移動させる方法の利用が考えられ
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この吸着移動
装置では、被吸着物の長さが異なると、開口部からの空
気の流入が多くなり排気装置の能力を強くしないとうま
く吸着できないとう問題がある。
【0008】本発明は、このような点に鑑み、被吸着移
動体である柱状体を柱状体列から所定の長さの柱状体列
だけ、或は柱状体列の全てを効率よく吸着して移動し得
るようにした柱状体列吸着移動装置を得ることを目的と
する。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
柱状体列の長さ方向に沿って延びるスリット状の吸着用
開口を有する容器状の吸着ヘッド本体と、上記吸着ヘッ
ド本体内に配設され、上記吸着用開口の長手軸線に沿っ
て移動可能な負圧室形成用の仕切板と、その仕切板によ
って形成される負圧室に接続された吸引装置とを有する
ことを特徴とする、柱状体列の吸着移動装置である。
【0010】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載の発明において、少なくとも一つの仕切板には、吸着
ヘッド本体の上昇時にその仕切板と対応する位置にある
境界部の柱状体を保管トレーに圧着する固定治具が設け
られていることを特徴とする。
【0011】請求項3記載の発明は、請求項1記載の発
明において、少なくとも一つの仕切板には、柱状体列の
端部を検出する検出用センサーが設けられていることを
特徴とする。
【0012】請求項4記載の発明は、請求項1記載の発
明において、一対の仕切板を有し、一方の仕切板に吸着
ヘッド本体の上昇時にその仕切板と対応する位置にある
境界部の柱状体を保管トレーに圧着する固定治具を設け
るとともに、他方の仕切板に柱状体列の端部を検出する
検出用センサーが設けられていることを特徴とする。さ
らに、請求項5記載の発明は、請求項2記載の発明にお
いて、仕切板を移動させる駆動機構には、仕切板の過負
荷を検出し仕切板駆動モータを停止させる過負荷検出装
置が設けられていることを特徴とする。
【0013】請求項6記載の発明は、請求項1記載の発
明において、吸引装置は、仕切板の位置に対応する負圧
室の容積に応じて排気能力を変更可能なものであること
を特徴とする。
【0014】また、請求項7記載の発明は、請求項1記
載の発明において、仕切板に負圧計が設けられ、負圧室
内の負圧が所定圧力以下になったときに吸引装置の排気
能力が増大されることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態について説明する。
【0016】図1において、符号1は断面矩形の密閉中
空の容器状の吸着ヘッド本体であって、図示しない移動
機構によって上下動され、かつ柱状体の保管トレーから
作業トレーの上方間を移動可能としてあり、その吸着ヘ
ッド本体1の底壁中央には長手方向に延びるスリット状
の吸着用開口2が形成してある。上記吸着ヘッド本体1
内には、その吸着ヘッド本体1内をそれぞれ仕切る2枚
の仕切板3a,3bが吸着ヘッド本体1の長手軸線方向
に移動可能に配設されるとともに、吸着ヘッド本体1の
長手軸線方向に延びる2本のボールネジ軸4a,4bが
配設されている。
【0017】上記ボールネジ軸4aは一方の仕切板3a
に螺合されるとともに他方の仕切板3bに形成された孔
5bに遊嵌貫通されて延び、他方のボールネジ軸4bは
一方の仕切板3aに形成された孔5aに遊嵌貫通されて
延び、他方の仕切板3bに螺合されている。また、上記
吸着ヘッド本体1の一端壁には上記各ボールネジ軸4
a,4bを回転駆動させる駆動モータ6a,6bが設け
られている。
【0018】上記両仕切板3a,3bによりその間に形
成される空所は、負圧室7を形成するものであって、こ
の負圧室7には吸引装置8に接続された吸引管9が開口
されている。また、上記吸着ヘッド本体1の底壁部に
は、図2に示すように、被吸着物である柱状体10が係
合する下方に開く凹部11が形成され、この凹部11の
頂部に前記吸着用開口2が形成されている。
【0019】ところで、前記仕切板3a,3bには、図
3(a),(b)に示すように、それぞれ互いに対向す
る面側に固定治具12が上下動可能に装着されている。
すなわち、仕切板3a,3bの一側下部には、互いに対
向する面に複数のローラ13が設けられたスライド案内
部材14a,14bが固着されており、上記各ローラ1
3が上記固定治具12の両側に設けられた溝15に係合
転動するようにしてあり、上記固定治具12がローラ1
3によって案内されて上下動するようにしてある。
【0020】固定治具12には仕切板3a,3bに固設
されたばね受片16を貫通し上方に突出する軸17が突
設されており、その軸17の頂端には上記ばね受片16
に当接し固定治具12の最下降位置を規制するストッパ
ー18が設けられ、さらに上記ばね受片16と仕切板3
a,3bとの間にはスプリング19が介装されている。
【0021】ところで、柱状体10は、移載前の保管場
所に断面がV型或は半円状の複数列の保管トレーに隣接
する柱状体の端面が互いに接触した状態で保管されてい
る。そこで、上記保管トレーに保管されている円柱体列
を所定場所に吸着移送する場合には、柱状体吸着装置の
吸着ヘッド本体1が図示されない数値制御された移動装
置により保管トレー上の任意の円柱体列上に移動され停
止される。一方、図示されない制御装置に仕切板3a,
3b間の間隔データが入力されており、その入力情報に
より駆動モータ6a,6bが作動され、仕切板3a,3
b間の間隔が所定値に設定される。すなわち、駆動モー
タ6aが駆動されるとボールネジ軸4aが回動され、そ
のボールネジ軸4aに螺合されている仕切板3aがボー
ルネジ軸4aに沿って移動され、その位置調整が行われ
る。同様にして駆動モータ6bの作動によってボールネ
ジ軸4bを介して仕切板3bが移動調整され、両仕切板
3a,3b間の間隔が、移動させようとする柱状体列の
長さに対応する寸法に調節される。
【0022】吸着ヘッド本体1が、所定の保管トレー上
の柱状体列の上に移動されると、図示しないモータ或は
エアシリンダ等の駆動装置によりその吸着ヘッド本体1
が下降される。このようにして吸着ヘッド本体1が下降
されると固定治具12が柱状体10に接触し、吸着ヘッ
ド本体がさらに下降するとスプリング19が縮み、固定
治具12が仕切板3a,3bに対して相対的に上昇し、
吸着ヘッド本体1が最下降した状態では、図4(a),
(b)に示すように、吸着ヘッド本体1の下面が柱状体
10に密着する。
【0023】図5(a),b),(c)は吸着ヘッド本
体1による柱状体列の吸着の作動説明図であり、図5
(a)に示すように、仕切板3a,3b間の間隔が設定
された所定値になるよう駆動モータ6a,6bが作動
し、その後或は同時に吸着ヘッド本体1が所定の柱状体
列20上に移動され、その後吸着ヘッド本体1が図5
(b)に示すように下降され、吸着ヘッド本体1の下面
が柱状体列の上面に密着される。
【0024】そこで、吸引装置8が作動され、両仕切板
3a,3b間に形成される負圧室7内が負圧にされる
と、両仕切板3a,3b間の柱状体10の列が吸着用開
口2を介して吸引される。そして、上記吸引装置8を作
動させつづけた状態で、吸着ヘッド本体1を上昇させる
と、その上昇に伴い、固定治具12がスプリング19の
押圧力により仕切板3a,3bに対して相対的に下が
り、固定治具12の下方に位置して一部分のみが負圧室
7と連通する吸着用開口と対向している柱状体10a
が、上記下降した固定治具12によっておさえられ、そ
の固定治具12で押圧されている柱状体10aと吸着ヘ
ッド本体1との間に隙間が発生し、吸着力がなくなり、
その柱状体10aは保管トレー上に置かれたままにな
る。したがって、負圧室の両端境界に位置して一部分の
みが負圧室7と連通する吸着用開口と対向している柱状
体10aが、吸着力不足により姿勢が変化したり、或は
持上げ途中で落下するようなことがない。
【0025】そこで、吸着ヘッド本体1をさらに上昇さ
せると、上記固定治具12で押圧されていた左右の柱状
体10aの間にあった柱状体の列が一体となって吸着ヘ
ッド本体に吸着された状態に保持される。そこで、上記
吸着ヘッド本体を移動させることによって、柱状体列を
所定位置まで移動させることができる。
【0026】このように、仕切板3a,3b間の間隔を
適宜設定することによって、任意の長さの柱状体列か
ら、指定した長さの柱状体列を確実に吸着移動させるこ
とができる。
【0027】ところで、上記実施の形態においては、前
記負圧室の両端境界に位置して一部分のみが吸着用開口
と対向している柱状体が保管トレー上に置かれたままに
なるため、負圧室と連通している吸着用開口の両端が開
放状態になるが、吸着装置が柱状体を吸着移動している
間は吸引装置が作動し続けられているので、吸着されて
いる柱状体が落下するようなことはない。
【0028】しかし、所定長さの柱状体を吸着した後、
負圧室と連通している吸着用開口の両端が開放状態にな
ることを防止するようにすることもできる。
【0029】すなわち、仕切板3a,3bの少なくとも
一方には、その背面側に過負荷検出装置が設けられてい
る。図6は上記過負荷検出装置21の概略構成を示す図
であって、ボールネジ軸4aに筒状の台座22が螺合さ
れ、その台座22に仕切板3aがボールネジ軸4aの長
手方向に沿って摺動可能に装着されている。上記台座2
2の両端部にはそれぞれフランジ部22a,22bが形
成されており、一方のフランジ部22aが仕切板3aの
負圧室側の板面に対向され、他方のフランジ部22bと
仕切板3aとの間にスプリング23が介装されている。
そして、上記フランジ部22bに仕切板3a方向に突出
する過負荷検出器24が装着されている。
【0030】しかして、常時においてはスプリング23
によって仕切板3aが台座22のフランジ部22aに圧
接されている。そこで、前記実施の形態におけるよう
に、両仕切板3a,3b間によって形成された負圧室7
によって所定長さの柱状体列が吸着されると、仕切板3
a,3bが図7に示すように互いに接近する方向に駆動
モータ6a,6bによって移動される。
【0031】上記仕切板3a,3bの移動によって仕切
板3a,3bが上記所定長さの柱状体列の端部に当接し
柱状体列を挟持した状態になると、仕切板3aがスプリ
ング23に抗して移動し、仕切板3aが過負荷検出器2
4に当接し、駆動モータ6a,6bが停止する。したが
って、両仕切板3a,3bはそれぞれ所定長さの吸着さ
れた柱状体列の端部に位置し、負圧室における吸着用開
口の端部が開放状態になることを防止することができ
る。
【0032】上記第1の実施の形態においては、仕切板
3a,3bに固定治具を設けたものを示したが、図8に
示すように、各仕切板3a,3bに柱状体検出センサー
25a,25bを設けてもよい。
【0033】しかして、このように各仕切板3a,3b
に柱状体検出センサー25a,25bを設けた吸着ヘッ
ドによって柱状体列を吸着するようにしたもので、柱状
体列を吸着する場合には、吸着ヘッド本体が保管トレー
上の所定の柱状体列上で停止されると、図8(a)に示
すように、仕切板駆動モータによって仕切板3a,3b
が最大間隔に設定される。
【0034】そこで、吸着ヘッド本体が図示されないモ
ータ等の昇降装置によって下降され、柱状体列の直近上
方で停止される(図8(b))。そこで、仕切板駆動モ
ータ6a,6bがそれぞれ逆回転され、仕切板3a,3
b間の間隔が狭められ(図8(c))、両柱状体検出セ
ンサー25a,25bによって柱状体列の端部の柱状体
10bが検出された時点で仕切板3a,3bの移動が停
止され、その後さらに吸着ヘッド本体が下降され柱状体
列に密着される。
【0035】しかして、吸引装置を作動することによっ
て、トレイ上の任意の長さの柱状体列を同時に全て吸着
し(図8(d))、移動させることができる。
【0036】図9は、本発明の他の実施の形態を示す図
であって、一方の仕切板3aに柱状体検出センサー25
aを設け、他方の仕切板3bに固定治具12が設けられ
ている。
【0037】しかして、事前の入力データにもとずい
て、仕切板3a,3b間の間隔が所定値になるように両
仕切板3a,3bが作動される(図9(a))。そこ
で、吸着ヘッド本体が柱状体列の直近上方で停止され、
両仕切板3a,3bが図9(b)に示す矢印方向に移動
される。そして、上記仕切板3aに設けられている柱状
体検出センサー25aによって柱状体列の端部が検出さ
れると、仕切板3a,3bの移動が停止され、吸着ヘッ
ド本体がさらに下降され、柱状体列20に密着され、吸
引装置の動作によって柱状体列が吸着される(図9
(c))。その後吸着ヘッド本体を上昇させると、第1
の実施の形態におけると同様に、一部分のみが負圧室に
臨んでいる柱状体10aは固定治具12によってトレー
上に置かれたままとなり、その他の負圧室と対応する位
置にある柱状体列が同時に全て吸着され、所望位置に移
動される。
【0038】また、過負荷検出装置が設けられている場
合には、吸着ヘッドによって柱状体列を吸着した後、図
9(d)に示すように仕切板3bを仕切板3a方向に移
動させ、両仕切板3a,3b間の間隔を吸着されている
柱状体列の長さに略等しくすることができる。
【0039】しかして、この実施の形態においては、軸
方向に任意の位置にある任意の長さの柱状体列から、指
示した長さの柱状体列を吸着移動させることができる。
【0040】図10は、本発明のさらに他の実施の形態
を示す図であり、一方の仕切板3aが固定であり、他方
の仕切板3bに固定治具12が設けられている。
【0041】しかして、固定の仕切板3aが柱状体列の
端部に位置するように吸着ヘッド本体を設定すれば、図
5に示す実施の形態と同様にして所定長さの柱状体列を
吸着することができる。また、固定治具12の代りに柱
状体検出センサーを設けてもよい。
【0042】この実施の形態は、保管トレイにストッパ
26等があり、柱状体列が所定位置に必ず置かれている
ような場合に適用することができる。しかも、仕切板3
bに固定治具12を設けたものにおいては、所定位置に
軸方向に配列された柱状体列から任意の長さの柱状体列
を吸着移動できる。また仕切板3bに柱状体検出センサ
ーを設けた場合には、所定位置にある柱状体列の全てを
吸着移動させることができる。
【0043】ところで、吸引装置としてインバータ式等
の能力可変式の吸引装置を使用し、仕切板間隔の大小に
よって吸引能力を変更するようにしてもよい。したがっ
て、この場合には、移動させる柱状体列が長くなっても
確実に吸引することができ、また柱状体列が短くて、吸
引力が過大の場合、仕切板下の柱状体が不安定な形で吸
引されて持ち上げられることを防止することができる。
【0044】また、仕切板に負圧室内の負圧を検出する
負圧計を設け、その負圧計の検出信号によって負圧室内
の負圧を調整するようにしてもよい。すなわち、仕切板
間隔が広がることによって吸引力が減少した場合、或は
仕切板下の柱状体が落とされたとき、その隙間から空気
が入り込み吸引力が減少した場合、負圧計の負圧の低下
に応じて、所定の負圧になるように吸引能力を増大し、
柱状体を移動させることにより移動させる柱状体列を確
実に吸引し、途中での落下を防止できる。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は吸着ヘッ
ド本体内に仕切板を吸着用開口の長手軸線に沿って移動
可能に設けたので、吸着方式によってのみ搬送が可能な
場合に搬送量を自由に変更することができる。また、上
記仕切板に固定治具を設けた場合には、吸着ヘッドの上
昇途中で仕切板の境目にある柱状体が不安定な状態で上
昇し途中自重により脱落したり、乱気流により転がり列
を乱すようなこともない。さらに、柱状体検出センサー
との組合わせ等により、柱状体列の全長或は所定長さを
確実に吸着移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の柱状体列の吸着移動装置の吸着ヘッド
の概略構成を示す一部切欠斜視図。
【図2】図1の縦断面図。
【図3】(a),(b)は固定治具の構成を示す側面図
および正面図。
【図4】(a),(b)は固定治具が柱状体に当接した
状態を示す側面図および正面図。
【図5】(a),(b),(c)は、それぞれ本発明の
第1の実施の形態の作動説明図。
【図6】本発明における過負荷検出装置の概略構成を示
す図。
【図7】過負荷検出装置を設けたものにおける作動説明
図。
【図8】(a),(b),(c),(d)は本発明の他
の実施の形態の作動説明図。
【図9】(a),(b),(c),(d)はさらに他の
実施の形態の作動説明図。
【図10】(a),(b),(c),(d)は本発明の
他の実施の形態の作動説明図。
【符号の説明】
1 吸着ヘッド本体 2 吸着用開口 3a,3b 仕切板 4a,4b ボールネジ軸 6a,6b 駆動モータ 7 負圧室 8 吸引装置 10 柱状体 12 固定治具 14a,14b スライド案内部材 16 ばね受片 19,23 スプリング 20 柱状体列 21 過負荷検出装置 22 台座 24 過負荷検出器 25a,25b 柱状体検出センサー 26 ストッパー
【手続補正書】
【提出日】平成11年11月5日(1999.11.
5)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0009
【補正方法】変更
【補正内容】
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
柱状体列の長さ方向に沿って延びるスリット状の吸着用
開口を有する容器状の吸着ヘッド本体と、上記吸着ヘッ
ド本体内に配設され、上記吸着用開口の長手軸線に沿っ
て移動可能な負圧室形成用の仕切板と、その仕切板をあ
らかじめ設定した間隔に移動させる駆動機構と、その仕
切板によって形成される負圧室に接続された吸引装置と
を有し、少なくとも一つの仕切板には、吸着ヘッド本体
を保管トレイ上に密着させた時に一部分のみが吸着用開
口と対向している柱状体によって吸着ヘッド本体の吸着
用開口まで押し込まれ、吸着ヘッド本体を上昇させた時
に吸着ヘッド本体の吸着用開口から突出するように下方
に付勢された固定治具が設けられていることを特徴とす
る。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0010
【補正方法】変更
【補正内容】
【0010】請求項2記載の発明は、請求項1記載の発
明において、少なくとも一つの仕切板には、柱状体列の
端部を検出する検出用センサーが設けられ、その仕切板
を柱状体列の端部まで移動させることを特徴とする。
【手続補正4】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0011
【補正方法】変更
【補正内容】
【0011】請求項3記載の発明は、請求項1記載の発
明において、一対の仕切板を有し、一方の仕切板に吸着
ヘッド本体を保管トレイ上に密着させた時に一部分のみ
が吸着用開口と対向している柱状体によって吸着ヘッド
本体の吸着用開口まで押し込まれ、吸着ヘッド本体を上
昇させた時に吸着ヘッド本体の吸着用開口から突出する
ように下方に付勢された固定治具を設けるとともに、他
方の仕切板に柱状体列の端部を検出する検出用センサー
が設けられていることを特徴とする。
【手続補正5】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0012
【補正方法】変更
【補正内容】
【0012】請求項4記載の発明は、請求項1記載の発
明において、仕切板を移動させる駆動機構には、仕切板
の過負荷を検出し仕切板駆動モータを停止させる過負荷
検出装置が設けられていることを特徴とする。
【手続補正6】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】削除
【手続補正7】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0014
【補正方法】削除
【手続補正8】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0022
【補正方法】変更
【補正内容】
【0022】吸着ヘッド本体1が、所定の保管トレー上
の柱状体列の上に移動されると、図示しないモータ或は
エアシリンダ等の駆動装置によりその吸着ヘッド本体1
が下降される。このようにして吸着ヘッド本体1が下降
されると固定治具12が柱状体10に接触し、吸着ヘッ
ド本体がさらに下降するとスプリング19が縮み、固定
治具12が仕切板3a,3bに対して相対的に上昇し、
吸着ヘッド本体1が最下降した状態では、図4(a),
(b)に示すように、固定治具12が上記柱状体10に
よって吸着用開口2まで押し込まれ、吸着ヘッド本体1
の下面が柱状体10に密着する。
【手続補正9】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図4
【補正方法】変更
【補正内容】
【図4】

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】柱状体列の長さ方向に沿って延びるスリッ
    ト状の吸着用開口を有する容器状の吸着ヘッド本体と、
    上記吸着ヘッド本体内に配設され、上記吸着用開口の長
    手軸線に沿って移動可能な負圧室形成用の仕切板と、そ
    の仕切板によって形成される負圧室に接続された吸引装
    置とを有することを特徴とする、柱状体列の吸着移動装
    置。
  2. 【請求項2】少なくとも一つの仕切板には、吸着ヘッド
    本体の上昇時にその仕切板と対応する位置にある境界部
    の柱状体を保管トレーに圧着する固定治具が設けられて
    いることを特徴とする、請求項1記載の柱状体列の吸着
    移動装置。
  3. 【請求項3】少なくとも一つの仕切板には、柱状体列の
    端部を検出する検出用センサーが設けられていることを
    特徴とする、請求項1記載の柱状体列の吸着移動装置。
  4. 【請求項4】一対の仕切板を有し、一方の仕切板に吸着
    ヘッド本体の上昇時にその仕切板と対応する位置にある
    境界部の柱状体を保管トレーに圧着する固定治具を設け
    るとともに、他方の仕切板に柱状体列の端部を検出する
    検出用センサーが設けられていることを特徴とする、請
    求項1記載の柱状体列の吸着移動装置。
  5. 【請求項5】仕切板を移動させる駆動機構には、仕切板
    の過負荷を検出し仕切板駆動モータを停止させる過負荷
    検出装置が設けられていることを特徴とする、請求項2
    記載の柱状体列の吸着移動装置。
  6. 【請求項6】吸引装置は、仕切板の位置に対応する負圧
    室の容積に応じて排気能力を変更可能なものであること
    を特徴とする、請求項1記載の柱状体列の吸着移動装
    置。
  7. 【請求項7】仕切板に負圧計が設けられ、負圧室内の負
    圧が所定圧力以下になったときに吸引装置の排気能力が
    増大されることを特徴とする、請求項1記載の柱状体列
    の吸着移動装置。
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