JP2000149212A

JP2000149212A - 磁気ヘッド及びその磁気ヘッドを備えた磁気ヘッド装置

Info

Publication number: JP2000149212A
Application number: JP10322529A
Authority: JP
Inventors: Norikatsu Fujisawa; 憲克藤澤; Junichi Honda; 順一本多
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-11-12
Filing date: 1998-11-12
Publication date: 2000-05-30

Abstract

(57)【要約】【課題】トラック幅を形成する溝の断面形状を工夫す
ることでサイドイレース量を低減させ、信頼性及び特性
を向上させることができる磁気ヘッド及びその磁気ヘッ
ドを備えた磁気ヘッド装置を提供すること。【解決手段】一対の磁気コア半体１１、１２が磁気ギ
ャップ形成面を突き合わせて接合一体化され、前記一対
の磁気コア半体１１、１２のうち少なくとも一方の磁気
コア半体の前記磁気ギャップ形成面に金属磁性薄膜１
５、１６が成膜されてなる磁気ヘッド１０において、磁
気ギャップｇのトラック幅を規制するために前記金属磁
性薄膜１５、１６に形成されており、前記磁気ギャップ
形成面の垂直方向Ｄにおいて深くなるにつれて幅が狭く
なる溝３ａ、３ｂを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高抗磁力磁気記録
媒体に対してデータを記録及び／又は再生する磁気ヘッ
ド及びその磁気ヘッドを備えた磁気ヘッド装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気記録の分野においては、記録
信号の高密度化が進行しており、高い抗磁力と高い残留
磁束密度を有する磁気記録媒体、例えば強磁性金属材を
非磁性支持体上に直接被着したメタルテープ等の磁気テ
ープが使用されるようになっている。そして、磁気ヘッ
ドに対しては、狭記録ピッチ、狭トラック化が要求され
ている。

【０００３】ところが、従来のメタル・イン・ギャップ
型の磁気ヘッドでは、トラック幅の両端で磁束の漏れが
生じやすく、規定のトラック幅以上で磁気テープにデー
タが記録されてしまう場合がある（隣のトラックを消去
してしまう「サイドイレース」が生ずる）という欠点が
あった。このため、通常のトラック幅規制溝（以下、第
１トラック幅規制溝という）の他に新たなトラック幅規
制溝（以下、第２トラック幅規制溝という）を設け、規
定のトラック幅で磁気テープにデータを記録可能とし、
隣接の記録トラックに悪影響を与える事なく、良好な記
録特性を得ることができるメタル・イン・ギャップ（Ｍ
ＩＧ：ＭｅｔａｌＩｎＧａｐ）型の磁気ヘッドが開
発されている。

【０００４】図２３は、上記磁気ヘッドの一例を示す斜
視図である。この磁気ヘッド１１０は、互いに接合され
た２つの磁気コア半体１２０、１２０を備えている。各
磁気コア半体１２０、１２０は、フェライト等の磁性材
から成り、各磁気コア半体１２０、１２０の接合面のう
ち、磁気テープが摺動するテープ摺動面１１０ａ寄りの
いわゆるギャップ対向面の間には、磁気テープに対して
データを記録再生するための磁束を発生する磁気ギャッ
プｇが画成されている。

【０００５】磁気ギャップｇは、矢印Ｔで示す磁気テー
プの走行方向（トラック方向）に関して傾斜した所定の
アジマス角を有するように、かつそのトラック幅方向に
関して所定のギャップ長を有するように形成されてい
る。このギャップ長（トラック幅）は、磁気ギャップｇ
の両端部を挟むように各磁気コア半体１２０、１２０の
接合面から側面にかけて円弧状に形成された第１トラッ
ク幅規制溝１１７、１１８及び磁気ギャップｇの両端部
を挟むように各磁気コア半体１２０、１２０の接合面か
ら所定距離延びる棒状に形成された第２トラック幅規制
溝１０３、１０３により規制されている。

【０００６】さらに、各磁気コア半体１２０、１２０の
ギャップ対向面及び第１トラック幅規制溝１１７、１１
８の内面には、金属磁性薄膜１１５、１１６が成膜さ
れ、第１トラック幅規制溝１１７、１１８及び第２トラ
ック幅規制溝１０３、１０３内には、ガラス等の非磁性
材１１９が封入されている。また、第１トラック幅規制
溝１１７、１１８及び第２トラック幅規制溝１０３、１
０３等は、非磁性材１１９によって覆われている。ま
た、磁気コア半体１２０、１２０の接合面には、巻線を
通すための巻線溝１１１ａ、１１２ａが設けられてい
る。上述した磁気ヘッド１１０の第２トラック幅規制溝
１０３、１０３は、金属磁性薄膜１１５、１１６が第１
トラック幅規制溝１１７、１１８の内面に成膜され、磁
気コア半体１２０、１２０が非磁性材１１９により図２
４のように接合された後に、例えば砥石のような研磨装
置によって図２５のように形成される。この第２トラッ
ク幅規制溝１０３、１０３の断面はそれぞれ方形であ
り、多くの研削量を必要とする。また、加工直後の第２
トラック幅規制溝１０３、１０３の内面には、金属磁性
薄膜１１５、１１６（軟磁性金属膜）が露出している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、第２トラッ
ク幅規制溝１０３、１０３内には、摺動特性や強度を改
善するために非磁性材１１９を封入する必要がある。そ
こで、この非磁性材充填工程において図２６（Ａ）のよ
うに非磁性材１１９を配置させ加熱処理を行うと、非磁
性材１１９が図２６（Ｂ）のように溶解して第２トラッ
ク幅規制溝１０３、１０３に徐々に充填される。そし
て、第２トラック幅規制溝１０３、１０３内では、図２
６（Ｃ）のように非磁性材１１９が充填される。

【０００８】ここで、第２トラック幅規制溝１０３、１
０３内には、非磁性材１１９の粘性による空洞１０３ａ
が形成された状態で図２７のように固化される場合があ
る。この空洞１０３ａが第２トラック幅規制溝１０３、
１０３内に形成されたまま、磁気コア半体１２０、１２
０を図２６（Ｃ）の研磨面１１１ａまで研磨して図２３
の摺動面１１ａを形成し、磁気ヘッド１１０としてチッ
プ化すると、図２８に示すように、テープ摺動面１１１
ａに空洞１０３ａ部分（図２８の凹部１０３ａ）が露出
してしまい、磁気テープと摺動する際に磁気テープを傷
付けたり、凹部１０３ａ内部に異物が堆積して磁気テー
プ間との隙間を生み出す等の悪影響を及ぼし、さらには
強度の低下を招くという問題があった。また、第２トラ
ック幅規制溝１０３、１０３の研削量が多い（フェライ
トの体積が減少）と、磁気ヘッドの特性の低下を招く原
因となっていた。

【０００９】そこで本発明は上記課題を解消し、トラッ
ク幅を形成する溝の断面形状を工夫することでサイドイ
レース量を低減させ、信頼性及び特性を向上させること
ができる磁気ヘッド及びその磁気ヘッドを備えた磁気ヘ
ッド装置を提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明にあ
っては、一対の磁気コア半体が磁気ギャップ形成面を突
き合わせて接合一体化され、前記一対の磁気コア半体の
うち少なくとも一方の磁気コア半体の前記磁気ギャップ
形成面に金属磁性薄膜が成膜されてなる磁気ヘッドにお
いて、磁気ギャップのトラック幅を規制するために前記
金属磁性薄膜に形成されており、前記磁気ギャップ形成
面の垂直方向において深くなるにつれて幅が狭くなる溝
が設けられたことを特徴とする磁気ヘッドにより、達成
される。

【００１１】上記構成によれば、磁気ヘッドには、磁気
ギャップのトラック幅を規制するために金属磁性薄膜に
形成されており、磁気ギャップ形成面の垂直方向におい
て深くなるにつれて幅が狭くなる溝が設けられている。
このため、この金属磁性薄膜上に非磁性材を溶解させて
溝に流入させる際には、粘性を有する非磁性材であって
も非磁性材を充填させやすく、固化した際も空洞等が無
い状態で十分に充填させることができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に述
べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、
技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明
の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨
の記載がない限り、これらの形態に限られるものではな
い。

【００１３】図１は、本発明の好ましい実施形態として
の磁気ヘッド１０を示す斜視図であり、図２は、図１の
磁気ヘッド１０の部分拡大平面図である。この磁気ヘッ
ド１０は、磁気記録媒体対接触面１０ａの略中央に位置
する磁気ギャップｇを境として左右別々に作成された一
対の磁気コア半体１１、１２が、突き合わせ面である磁
気ギャップ形成面を突き合わせて接合一体化されて成
る。この磁気ギャップｇは、ＳｉＯ₂やＡｌ₂Ｏ₃ある
いはＳｉＯ₂にＮａ₂ＣＯ₃やＰｂＯ等を混ぜたガラス
等の非磁性材で成り、矢印Ｔで示す磁気テープの走行方
向（トラック方向）に関して傾斜した所定のアジマス角
θを有するように、かつそのトラック幅Ｔｗの方向に関
して所定のギャップ長を有するように形成されている。

【００１４】磁気コア半体１１、１２は、補助コアであ
る基体１３、１４と、主コア部である金属磁性薄膜１
５、１６とから構成されている。図１のＳ方向から見た
場合には、磁気コア半体１１、１２は、幅Ｗ９の突起部
が形成された凸形状をしている。

【００１５】基体１３、１４は、例えばＭｎ−Ｚｎ系フ
ェライトやＮｉ−Ｚｎ系フェライト等の酸化物軟磁性材
から成り、金属磁性薄膜１５、１６と共に閉磁路を構成
する補助コア部となっている。基体１３、１４の磁気ギ
ャップ形成面には、磁気ギャップｇのトラック幅Ｔｗを
規制するための第１トラック幅規制溝１７、１８が、磁
気ギャップｇの両端縁近傍部からそれぞれデプス方向に
亘って円弧状に形成されていると共に、磁気ギャップｇ
のトラック幅Ｔｗを更に精度良く規制するための第２ト
ラック幅規制溝３ａ、３ｂ（溝）が、磁気ギャップｇの
両端縁近傍部からそれぞれ磁気ギャップ形成面に対して
垂直方向に所定距離延びるように形成されている。

【００１６】そして、第１及び第２トラック幅規制溝１
７、１８、３ａ、３ｂ内には、それぞれ磁気記録媒体と
の当たり特性を確保すると共に摺接による偏摩耗を防止
する目的で、ガラス等の非磁性材１９が充填されてい
る。

【００１７】第２トラック幅規制溝３ａの断面は、図１
のＳ方向から見た場合には図１５のように基体１３に対
して深くなるにつれて、幅が狭くなるような溝状となっ
ている。具体的には、第２トラック幅規制溝３ａは、２
つの内周面からなり、好ましくは一方の内周面はデプス
方向Ｄに平行である。一方の内周面及び他方の内周面の
なす角は、図１５の角度θ１となり、略Ｖ字型に形成さ
れている。

【００１８】角度θ１は、好ましくは例えば５゜〜４５
゜である。ここで、角度θ１を上述のような範囲が好適
であるとしたのは、角度θ１が５゜未満では加熱処理に
よって溶解した非磁性材１９の流入が効率よく行われな
いからであり、角度θ１が４５゜より大きくてはその溝
の研削により磁気ヘッドとしての機能を低下させてしま
うためである。第２トラック幅規制溝３ａ、３ｂをこの
ような形状とすることで、金属磁性薄膜１５、１６の研
削量を最大で９７％低減させることができる。第２トラ
ック幅規制溝３ｂの断面は、デプス方向Ｄに対して線対
称である点を除いて、略同様であるので説明を省略す
る。

【００１９】従って、第２トラック幅規制溝３ａ、３ｂ
のデプス方向Ｄに平行な内周同士は、平行となってい
る。これにより、磁気ギャップｇのトラック幅を精度良
く規制することができる。第２トラック幅規制溝３ａ、
３ｂに非磁性材１９が充填される様子については、後述
する。

【００２０】また、基体１３、１４の磁気ギャップ形成
面と対向する面には、図１のように磁気ギャップｇのデ
プスを規制すると共にコイル（図示は省略する）を巻装
するための巻線溝１１ａ、１２ａが、側面形状を略矩形
状として形成されている。尚、巻線溝は、一方の基体の
みに形成されていてもよい。

【００２１】金属磁性薄膜１５、１６は、例えばＦｅ−
Ｓｉ−Ａｌ系合金やＦｅ−Ｔａ−Ｎ系合金等の軟磁気特
性の優れた強磁性金属材から成り、基体１３、１４の磁
気ギャップ形成面、第１及び第２トラック幅規制溝１
７、１８、３ａ、３ｂ内及び巻線溝１１ａ、１２ａ内を
含む全面に成膜されており、基体１３、１４と共に閉磁
路を構成する主コア部となっている。従って、これらの
金属磁性薄膜１５、１６の対向面が、即ち磁気コア半体
１１、１２の磁気ギャップ形成面となっている。尚、金
属磁性薄膜１５、１６は、巻線溝１１ａ、１２ａ内の少
なくとも一部の面に成膜されていても良い。

【００２２】磁気ヘッド１０は以上のような構成であ
り、次にその製造方法について説明する。先ず、図３に
示すように、例えば長さ３４．５ｍｍ、幅２．５ｍｍ、
厚みｌｍｍ程度のＭｎ‐Ｚｎ系フェライトの酸化物軟磁
性材で成る基体２０を作製する。続いて、図４に示すよ
うに、この基体２０の主面２０ａの幅方向に、トラック
幅Ｔｗとなるフェライト断面が例えば２１μｍ残るよう
に第１トラック幅規制溝１７、１８を形成する。

【００２３】ここで、この第１トラック幅規制溝１７、
１８は、その側面の主面２０ａに接する部分での角度
は、通常は８°〜４５°程度に形成されるが、０°でも
良い。ただし、この角度が小さいと電磁変換効率の低下
を招き、大きいと磁気記録媒体上の目的以外のトラック
からの信号を読み出す可能性が高くなり、結果としてノ
イズの増加をもたらすため、３０°程度が望ましい。そ
して、第１トラック幅規制溝１７、１８の深さは、例え
ば８０μｍ〜１５０μｍに形成され、また第１トラック
幅規制溝１７、１８の断面形状は、通常はＵ字型もしく
はＶ字型に形成されるが、多角形でも良い。

【００２４】次に、図５に示すように、磁気ギャップｇ
のギャップデプスを規制し、巻線を巻装するための巻線
溝１１ａ、１２ａを形成する。そして、基体２０の主面
２０ａを表面粗度が２０Å〜１００Å程度になるように
研磨する。以上のようにして形成された基体２０に対し
て、図６及び図７に示すように金属磁性薄膜１５、１６
とギャップ膜ｇｆをスパッタリング法により成膜する。
そして、図８に示すように２つの基体２０、２０を第１
トラック幅規制溝１７、１８を合わせて密着させ、図９
に示すように非磁性材１９を配置させて加熱処理を行う
ことで非磁性材１９を溶解させて図１０に示すように接
合する。

【００２５】以上のようにして接合された２つの基体２
０、２０に対して、図１１に示すように砥石進行方向Ｆ
及び砥石進行方向Ｆに垂直方向にそれぞれ移動可能な移
動手段（図示せず）を備える回転手段（図示せず）によ
って回転される砥石８によって、砥石進行方向Ｆに沿っ
て第２トラック幅規制溝３ａを形成する。

【００２６】ここで、砥石８は、例えば円盤状のもので
あり、外周端部としての先端８ａに例えばデプス方向に
対して角度θ１を有するようなテーパ面が外周端部全周
に渡って形成されている。砥石８がこのような先細の形
状であることにより、基体２０、２０の研削量が少なく
て済み、この研削による磁気ヘッド１０の効率低下を最
小限に抑制することができる。

【００２７】また、第２トラック幅規制溝３ｂ等は、上
述のような研削を行う砥石８によって形成されているの
で、非磁性材１９の第２トラック幅規制溝３ａ、３ｂへ
の流入を好適に促すことができ、非磁性体１９の第２ト
ラック幅規制溝３ａ、３ｂへの充填率を向上させること
ができる。

【００２８】続いて、図１２に示すように砥石８（加工
機の一部として）によって次々に第２トラック幅規制溝
３ａが形成される。

【００２９】以上のようにして第２トラック幅規制溝３
ａが形成された基体２０、２０に対して、図１１の砥石
８とは反対面に同様のテーパ面が形成された砥石８（又
は、図１１の砥石８を反転させても良い）によって、図
１４のように砥石進行方向Ｆに沿って磁気ギャップｇの
トラック幅を規制するように第２トラック幅規制溝３ｂ
を形成する。続いて、図１４に示すように砥石８によっ
て次々に第２トラック幅規制溝３ｂが形成される。

【００３０】ここで、磁気ギャップｇのトラック幅の両
端縁近傍部に第２トラック幅規制溝３ｂが形成される際
には、好ましくは加工時に設定した第２トラック幅規制
溝３ｂ、３ｂ間のピッチと、加工後のワークピッチの差
（ピッチ寸法）を、所定の計測手段（例えば顕微鏡）に
よって計測し、前述の移動手段にフィードバックしてピ
ッチ送り量を設定して後述する第２トラック幅規制溝３
ａが形成されるようにしてもよい。つまり、第２トラッ
ク幅規制溝３ｂが形成された後に第２トラック幅規制溝
３ａが形成される際には、第２トラック幅規制溝３ｂの
位置を基準として第２トラック幅規制溝３ａが形成され
ることになる。これにより、加工機の機械的な加工位置
のずれを考慮したより高精度な磁気ギャップｇの第２ト
ラック幅規制溝３ａ、３ｂの形成制御が可能となる。具
体的には、加工位置ずれは、例えば±０．２μｍ程度と
なり、精度良く加工することができる。

【００３１】第２トラック幅規制溝３ｂの断面は、上述
の加工によって例えば磁気ギャップのトラック幅略垂直
方向から見た場合に図１５のような略Ｖ字型をしてい
る。第２トラック幅規制溝３ｂの断面は、磁気ギャップ
形成面の略垂直方向に形成された第１平面と、前記第１
平面に対して傾斜している第２平面とで構成されてい
る。第２トラック幅規制溝３ｂは、このような断面形状
とすることで、従来と比較して研削量を低減することが
できる。このようにして形成されることで、磁気ヘッド
の効率の低下を最小限に抑えることができる。

【００３２】以上のようにして第２トラック幅規制溝３
ａ、３ｂが形成された基体２０、２０に対して、非磁性
体１９ａ（例えば非磁性体１９と同材質のもの）を例え
ば図１６のように配置して加熱処理を行う。すると、図
１７（Ａ）の非磁性体１９ａは、図１７（Ｂ）のように
第２トラック幅規制溝３ｂのテーパ面等に沿って溶解
し、図１７（Ｃ）のように第２トラック幅規制溝３ｂに
充填される。そして、基体２０、２０には、図１８のよ
うにその上面を覆うように非磁性材１９ａが固化されて
いる。第２トラック幅規制溝３ａに非磁性材１９を充填
する様子は、上述の第２トラック幅規制溝３ｂと同様で
ある。

【００３３】次に、図１９に示すように、接合した基体
２０の磁気記録媒体対接触面１０ａを円筒研削する。こ
の円筒研削の後、アセトン等の有機溶剤を用いて図１の
磁気記録媒体対接触面１０ａの超音波洗浄を行う。最後
に、図２０に示すように、ａ〜ｆの各点線に沿ってスラ
イシングして図１に示すような磁気ヘッド１０を完成す
る。

【００３４】尚、上述した製造方法では、巻線溝１１
ａ、１２ａを形成した後に金属磁性薄膜１５、１６を成
膜する場合について例示したが、巻線溝１１ａ、１２ａ
を形成する前に金属磁性薄膜１５、１６を成膜するよう
にしても良い。

【００３５】ここで、第２トラック幅規制溝３ａ、３ｂ
内に非磁性材１９を充填する際の非磁性材１９の充填不
良発生数（例えば図２８の凹部１０３ａの数）を比較す
ると、従来の磁気ヘッド１１０では、８０個製造した場
合に図２７の凹部１０３ａの数（充填不良発生数）が４
３個（歩留まり５３．７５％）であるのに対して、本実
施形態としての磁気ヘッド１０では８０個中１個（歩留
まり１．２５％）と激減する。また、磁気ヘッドの再生
特性においては、従来の磁気ヘッド１１０では８９μＶ
ｐ−ｐであるのに対して、本実施形態としての磁気ヘッ
ド１０では９５μＶｐ−ｐであり、再生効率を向上させ
ることができる。尚、上述の検証では、再生出力が７Ｍ
Ｈｚとした場合である。

【００３６】本発明の実施形態によれば、磁気ヘッド１
０には、磁気ギャップのトラック幅を規制するために金
属磁性薄膜に形成されており、磁気ギャップ形成面の垂
直方向において深くなるにつれて幅が狭くなる第２トラ
ック幅規制溝３ａ、３ｂが設けられている。このため、
この金属磁性薄膜上に非磁性材１９ａを溶解させて溝に
流入させる際には、粘性を有する非磁性材であっても非
磁性材１９を充填させやすく、固化した際も空洞等が無
い状態で十分に充填させることができる。

【００３７】従って、上記磁気ヘッド１０においては、
トラック幅の形成精度が向上されることでサイドイレー
ス量の低減を図ることができる。磁気ヘッド１０は、第
２トラック幅規制溝３ａ、３ｂ内部に非磁性材１９の空
洞がほとんど無いことから非磁性材１９の充填率を向上
させ、磁気テープとの良好な摺動特性を得ることができ
ることで、磁気ヘッドの安定した特性を実現することが
でき、磁気ヘッド１０の強度を向上させ信頼性の向上を
図ることができる。また、第２トラック幅規制溝３ａ、
３ｂの研削量が少ないので、磁気ヘッド１０に第２トラ
ック幅規制溝３ａ、３ｂを形成しても、磁気ヘッド１０
の特性を低下させることがない。

【００３８】応用例図２１は、図１の磁気ヘッドを備えた磁気ヘッド装置の
一例を示す斜視図であり、図２２は、図２１の磁気ヘッ
ド装置を備えた情報記録装置の一例を示す平面図であ
る。この磁気ヘッド装置３０は、ビデオテープレコー
ダ、データーストリーマ、デジタルオーディオシステム
等の情報記録装置に適用されて、テープ状の記録媒体で
ある磁気テープＴＰに対して情報を記録したり、磁気テ
ープＴＰに記録されている情報を再生するのに用いられ
る回転磁気ヘッド装置である。

【００３９】回転磁気ヘッド装置３０（磁気ヘッド装
置）は、固定ドラム３１、回転ドラム３２、モータＭを
有している。回転ドラム３２は、上述した磁気ヘッド１
０の構成で成る例えば２つの再生ヘッドＲＨ１、ＲＨ２
と、２つの記録ヘッドＷＨ１、ＷＨ２を有している。各
再生ＭＲヘッドＲＨ１、ＲＨ２及び各記録ヘッドＷＨ
１、ＷＨ２は１８０度の位相差を有している。回転ドラ
ム３２は、モータＭの作動により、固定ドラム３１に対
して矢印Ｒ方向に回転する。

【００４０】磁気テープＴＰは、固定ドラム３１のリー
ドガイド部３３に沿ってテープ走行方向Ｅに沿って入口
側ＩＮから出口側ＯＵＴ側に斜めに送られる。即ち、磁
気テープＴＰは、供給リール３４からローラ３４ａ、３
４ｂ、３４ｃを経て、固定ドラム３１のリードガイド部
３３に沿って斜めに走行し、回転ドラム３２と固定ドラ
ム３１にほぼ１８０度分密着し、ローラ３４ｄ、３４
ｅ、３４ｆ、３４ｇを経て巻取リール３５に巻取られ
る。これにより、記録ヘッドＷＨ１、ＷＨ２と再生ＭＲ
ヘッドＲＨ１、ＲＨ２は、磁気テープＴＰに対してヘリ
カルスキャン方式で接触して案内される。また、ローラ
３４ｆに対応して、キャプスタン３４ｈが設けられてお
り、このキャプスタン３４ｈはキャプスタンモータＭ１
により回転される。

【００４１】ところで本発明は上述した実施形態に限定
されるものではない。磁気ヘッド１０は、上述の説明に
おいて平行型ＭＩＧ（ＭｅｔａｌＩｎＧａｐ）ヘッ
ドであると例示しているが、これに限られず、平行型Ｍ
ＩＧヘッド以外の磁気ヘッドにも適用することができ
る。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
トラック幅を形成する溝の断面形状を工夫することでサ
イドイレース量を低減させ、信頼性及び特性を向上させ
ることができる磁気ヘッド及びその磁気ヘッドを備えた
磁気ヘッド装置を提供すること。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の好ましい実施形態としての磁気ヘッド
を示す斜視図。

【図２】図１の磁気ヘッドの部分拡大平面図。

【図３】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図４】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図５】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図６】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図７】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図８】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図９】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１０】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１１】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１２】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１３】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１４】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１５】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１６】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１７】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１８】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図１９】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図２０】図１の磁気ヘッドの製造方法を示す図。

【図２１】図１の磁気ヘッドを備えた磁気ヘッド装置の
一例を示す斜視図

【図２２】図２１の磁気ヘッド装置を備えた情報記録装
置の一例を示す平面図。

【図２３】従来の磁気ヘッドの一例を示す斜視図。

【図２４】図２３の従来の磁気ヘッドの製造方法を示す
図。

【図２５】図２３の従来の磁気ヘッドの製造方法を示す
図。

【図２６】図２３の従来の磁気ヘッドの製造方法を示す
図。

【図２７】図２３の従来の磁気ヘッドの製造方法を示す
図。

【図２８】図２３の従来の磁気ヘッドの製造方法を示す
図。

【符号の説明】

３ａ・・・第２トラック幅規制溝（溝）、３ｂ・・・第
２トラック幅規制溝（溝）、１０・・・磁気ヘッド、１
１、１２・・・磁気コア半体、１１ａ・・・巻線溝、１
２ａ・・・巻線溝、１３・・・基体、１４・・・基体、
１５・・・金属磁性薄膜、１６・・・金属磁性薄膜、１
７・・・第１トラック幅規制溝、１８・・・第１トラッ
ク幅規制溝、１９・・・非磁性材、１９ａ・・・非磁性
材、２０・・・基体、３０・・・回転磁気ヘッド装置
（磁気ヘッド装置）、ｇ・・・磁気ギャップ、Ｄ・・・
デプス方向、Ｔｗ・・・トラック幅

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の磁気コア半体が磁気ギャップ形成
面を突き合わせて接合一体化され、前記一対の磁気コア
半体のうち少なくとも一方の磁気コア半体の前記磁気ギ
ャップ形成面に金属磁性薄膜が成膜されてなる磁気ヘッ
ドにおいて、磁気ギャップのトラック幅を規制するために前記金属磁
性薄膜に形成されており、前記磁気ギャップ形成面の垂
直方向において深くなるにつれて幅が狭くなる溝が設け
られたことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】前記溝は、前記磁気ギャップのトラック
幅略垂直方向における断面が略Ｖ字型である請求項１に
記載の磁気ヘッド。
【請求項３】前記溝は、前記磁気ギャップ形成面の略垂直方向に形成された第１
平面と、前記第１平面に対して傾斜している第２平面とで構成さ
れている請求項２に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】前記溝は、前記磁気ギャップのトラック
幅の両端縁近傍部に形成される第１溝及び第２溝であ
り、第１溝が形成された後に第２溝が形成される際には、第
１溝の位置を基準として第２溝が形成される請求項１に
記載の磁気ヘッド。
【請求項５】磁気記録媒体に対してデータを記録再生
する磁気ヘッド装置であり、一対の磁気コア半体が磁気
ギャップ形成面を突き合わせて接合一体化され、前記一
対の磁気コア半体のうち少なくとも一方の磁気コア半体
の前記磁気ギャップ形成面に金属磁性薄膜が成膜されて
おり、前記磁気ギャップのトラック幅を規制するために
前記金属磁性薄膜に形成されており、前記磁気ギャップ
形成面の垂直方向において深くなるにつれて幅が狭くな
る溝が設けられた磁気ヘッドを備えたことを特徴とする
磁気ヘッド装置。