JP2000146738A - 圧力測定装置 - Google Patents

圧力測定装置

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JP2000146738A
JP2000146738A JP10319096A JP31909698A JP2000146738A JP 2000146738 A JP2000146738 A JP 2000146738A JP 10319096 A JP10319096 A JP 10319096A JP 31909698 A JP31909698 A JP 31909698A JP 2000146738 A JP2000146738 A JP 2000146738A
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pressure
liquid
sealed
diaphragm
pressure measuring
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JP10319096A
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Kiyoto Yoda
清人 依田
Hiroaki Ito
寛彰 伊東
Yoichiro Nakamura
陽一郎 中村
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Yokogawa Electric Corp
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Yokogawa Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 接液ダイアフラムの破損の検出が容易な圧力
測定装置を提供する。 【解決手段】 測定流体との接液部分に接液ダイアフラ
ムが設けられ感圧センサとこの接液ダイアフラムとの間
に封入液が封入された圧力測定装置において、測定流体
の流体圧が接液ダイアフラムに印加されていない初期状
態において大気圧状態でなく所定圧力状態に封入された
封入液、を具備したことを特徴とする圧力測定装置であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、接液ダイアフラム
の破損の検出が容易な圧力測定装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、差圧測定装置に使用された例
で、例えば、実開昭60−181642号に示されてい
る。
【0003】図において、カバーフランジ2,3は、本
体カプセル1の側面を覆って設けられている。本体カプ
セル1内には、感圧センサ11が設けられている。接液
ダイアフラム4,5は、本体カプセル1の両側面に、そ
れぞれ設けられている。この場合は、ステンレス材が使
用されている。
【0004】接液ダイアフラム4,5は、本体カプセル
1の内部の封入液6,7と外部の測定流体FLoとを隔
離する。圧カ導入室8は、カバー2とダイアフラム4と
で構成されている。圧カ導入室9は、カバー3とダイア
フラム5とで構成されている。
【0005】以上の構成において、圧カ導入室8に高圧
PH側の測定流体が導入され、圧力導入室9に低圧PL
側の測定流体が導入される。高圧PH側の測定流体と低
圧PL側の測定流体との差圧が、本体カプセル1内の感
圧センサ11で測定される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな装置においては、接液ダイアフラム4,5は、ほぼ
自然状態に近い状態(接液ダイアフラム4,5に圧力や
力が作用しない状態)で封入液6,7が封入されてい
る。
【0007】従来の圧力測定装置の受圧構造では、運転
時に、腐食や異物等により接液ダイアフラム4,5に損
傷を受け、封入液6,7が漏れ出す状態に至っても、特
性が変化するのみで、異常の確認はできなかった。
【0008】異常を確認するには、圧力測定装置全体を
ラインから取り外して、目視による確認をするしか方法
がなかった。特に、差圧測定装置においては、カバーフ
ランジ2,3まで外して確認するしか方法はなかった。
【0009】これは、圧力測定装置にとって望ましい接
液ダイアフラム4,5の特性は、接液ダイアフラム4,
5の自然状態近辺で得られるからであり、それゆえ、自
然状態に近い使用状態になるように設計し、封入液6,
7の量を調節していたからである。
【0010】一方、接液ダイアフラム4,5が破損した
場合は、本体カプセル1内の封入液6,7が測定流体F
Lo中に流れだしたり、逆に、測定流体FLoが本体カ
プセル1に入り込み、トラブルを引き起こす可能性があ
る。
【0011】本発明は、上記の課題を解決するものであ
る。本発明の目的は、接液ダイアフラムの破損の検出が
容易な圧力測定装置提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、 (1)測定流体との接液部分に接液ダイアフラムが設け
られ感圧センサとこの接液ダイアフラムとの間に封入液
が封入された圧力測定装置において、測定流体の流体圧
が接液ダイアフラムに印加されていない初期状態におい
て大気圧状態でなく所定圧力状態に封入された封入液、
を具備したことを特徴とする圧力測定装置。 (2)ゼロ点計測状態にして接液ダイアフラムの破損の
有無をチェックする異常チェック手段、を具備したこと
を特徴とする(1)記載の圧力測定装置。 (3)測定値が所定値を越えた場合に警報信号を発する
警報回路を具備したことを特徴とする請求項1又は請求
項2記載の圧力測定装置。 (4)前記警報回路からの信号に基づき警報音を発する
警報器を具備した事を特徴とする請求項乃至請求項の何
れかに記載の圧力測定装置。 (5)前記警報回路からの信号に基づき警報光を発する
警報灯を具備した事を特徴とする(1)乃至(3)の何
れかに記載の圧力測定装置。を構成したものである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の動作説明図である。図において、図3と同一
記号の構成は同一機能を表す。以下、図3と相違部分の
み説明する。
【0014】図1は、封入液と接液ダイアフラム4,5
の組み合わせで構成される差圧測定装置に応用した例で
ある。本実施例においては、接液ダイアフラム4,5を
膨らませる方向に調整している。
【0015】封入液21,22は、測定流体FLoの流
体圧PH,PLが接液ダイアフラム4,5に印加されて
いない初期状態において、大気圧状態でなく所定圧力状
態に封入されている。
【0016】この場合は、接液ダイアフラム4,5と封
入液21,22によって、感圧センサ11には、常に一
定の圧力が加わっている。例えば、1kPaの内圧を発
生させた状態で接液ダイアフラム4,5を封止した場
合、感圧センサ11にはH/L側双方から1kPaの圧
力がかかっており、この状態を正常状態とする。
【0017】この場合は、感圧センサ11の出力は、H
/L双方の内圧は相殺され0kPaである。
【0018】以上の構成において、図2に示す如く、使
用状態における何らかの異常(腐食や異物の接触)によ
り、例えば、L側の接液ダイアフラム5が損傷を受けた
とする。この状態では、L側の封入液22は、接液ダイ
アフラム5の損傷部より漏れ出し、L側は大気開放状態
となる。
【0019】この場合の感圧センサ11には、H側から
は1kPa、L側からは0kPaの圧力がかかってお
り、1kPaの測定信号を出力する事になる。つまり、
ゼロ点の急激な変化量の絶対値が、予め与えていた内圧
に近い量(例えば測定スパンの±20%程度)であった
場合には、差圧測定装置を取り外すことなく、接液ダイ
アフラム4,5の損傷の有無と、H側かL側か、を推定
することが出来る。
【0020】また、図1に示す如く、ゼロ点計測状態に
して、接液ダイアフラム4,5の破損の有無をチェック
する異常チェック手段31を、本体カプセル1に設け
て、周期的に、あるいは、ランダムにチエックするよう
にしても良い。
【0021】具体的には、例えば、異常チェック時に、
バルブ操作等により、圧力導入室のH側8とL側9と
を、大気開放にした場合に、封入液21,22の内圧の
絶対値と同程度の量(例えば測定スパンの±20%程
度)のゼロ点移動(絶対値)があった場合には、接液ダ
イアフラム4,5の何れかが損傷したことを確実に確認
することが出来る。
【0022】また、図1に示す如く、測定値が所定値を
越えた場合に警報信号を発する警報回路41を、本体カ
プセル1に設けて、チエックするようにしても良い。
【0023】なお、警報回路41が発する信号を確実に
確認出来るようにするために、信号を表示しても良く、
警報器を使用して警報音を発する、あるいは、警報灯を
使用して警報光を発しても良い。
【0024】この結果、 (1)圧力測定装置の封入液21,22を封入する際、
ある一定の圧力を接液ダイアフラム4,5にかけて、つ
まり、接液ダイアフラム4,5を変位させた状態で、封
入液21,22を封入・封止する。
【0025】封液量により、接液ダイアフラム4,5
は、ある位置に変位したまま(膨らんだまま、または、
へこんだまま)で封止されており、その移動量と、接液
ダイアフラム4,5の剛性により、受圧部内部に圧力を
発生させるようにした。
【0026】これにより、感圧センサ11が、常にある
一定の内圧を受けた状態で封止され、この状態を正常状
態として校正して、測定流体FLoの測定に使用するよ
うにした。
【0027】従って、従来、接液ダイアフラム4,5の
破損は、点検等で取り外す以外、確認の手段が無かった
が、本発明により、腐食等、厳しい環境に設置された圧
力測定装置を、ラインから取り外すことなく、出力のチ
ェックのみで、接液ダイアフラム4,5の損傷の有無
と、接液ダイアフラム4,5のH側かL側か、を推定す
ることが出来る。
【0028】これにより、接液ダイアフラムの破損によ
る二次的なトラブルを未然に防ぐ事が可能となる圧力測
定装置が得られる。
【0029】(2)ゼロ点計測状態にして、接液ダイア
フラム4,5の破損の有無をチェックする異常チェック
手段が設けられたので、接液ダイアフラム4,5の破損
の確認が、より容易に正確に出来る圧力測定装置が得ら
れる。
【0030】(3)測定値が所定値を越えた場合に、警
報信号を発する警報回路41が設けられたので、接液ダ
イアフラム4,5の破損を警報信号により、直ちに知る
ことが出来る圧力測定装置が得られる。
【0031】(4)警報回路41からの信号に基づき、
警報音を発する警報器が設けられたので、警報信号を常
に注意する必要はなく、警報信号を確実に知ることが出
来る圧力測定装置が得られる。
【0032】(5)警報回路41からの信号に基づき警
報光を発する警報灯が設けられたので、騒音が大きな環
境下でも警報信号を確実に知ることが出来る圧力測定装
置が得られる。
【0033】なお、前述の実施例においては、差圧測定
装置について説明したが、これに限る事は無く、たとえ
ば、ゲージ圧力測定装置でも良く、要するに、封入液2
1,22と接液ダイアフラム4,5の組み合わせで構成
されている、全ての圧力測定装置に適用出来る。
【0034】また、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項1
によれば、次のような効果がある。圧力測定装置の封入
液を封入する際、ある一定の圧力を接液ダイアフラムに
かけて、つまり、接液ダイアフラムを変位させた状態
で、封入液を封入・封止する。
【0036】封液量により、接液ダイアフラムは、ある
位置に変位したまま(膨らんだまま、またはへこんだま
ま)で封止されており、その移動量と、接液ダイアフラ
ムの剛性により、受圧部内部に圧力を発生させるように
した。これにより、感圧センサが、常にある一定の内圧
を受けた状態で封止され、この状態を正常状態として校
正して、測定流体FLoの測定に使用するようにした。
【0037】従って、従来、接液ダイアフラムの破損
は、点検等で取り外す以外、確認の手段が無かったが、
本発明により、腐食等、厳しい環境に設置された圧力測
定装置を、ラインから取り外すことなく、出力のチェッ
クのみで、接液ダイアフラムの損傷の有無と、接液ダイ
アフラムのH側かL側か、を推定することが出来る。
【0038】これにより、接液ダイアフラムの破損によ
る二次的なトラブルを未然に防ぐ事が可能となる圧力測
定装置が得られる。
【0039】本発明の請求項2によれば、ゼロ点計測状
態にして、接液ダイアフラムの破損の有無をチェックす
る異常チェック手段が設けられたので、接液ダイアフラ
ムの破損の確認が、より容易に正確に出来る圧力測定装
置が得られる。
【0040】本発明の請求項3によれば、測定値が所定
値を越えた場合に、警報信号を発する警報回路が設けら
れたので、接液ダイアフラムの破損を警報信号により、
直ちに知ることが出来る圧力測定装置が得られる。
【0041】本発明の請求項4によれば、警報回路から
の信号に基づき、警報音を発する警報器が設けられたの
で、警報信号を常に注意する必要はなく、警報信号を確
実に知ることが出来る圧力測定装置が得られる。
【0042】本発明の請求項5によれば、警報回路から
の信号に基づき警報光を発する警報灯が設けられたの
で、騒音が大きな環境下でも警報信号を確実に知ること
が出来る圧力測定装置が得られる。
【0043】従って、本発明によれば、接液ダイアフラ
ムの破損の検出が容易な圧力測定装置を実現することが
出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図2】図1の動作説明図である。
【図3】従来より一般に使用されている従来例の要部構
成説明図である。
【符号の説明】
1 本体カプセル 2 カバーフランジ 3 カバーフランジ 4 接液ダイアフラム 5 接液ダイアフラム 8 圧カ導入室 9 圧カ導入室 11 感圧センサ 21 封入液 22 封入液 31 異常チェック手段 41 警報回路 A 損傷 FLo 測定流体

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】測定流体との接液部分に接液ダイアフラム
    が設けられ感圧センサとこの接液ダイアフラムとの間に
    封入液が封入された圧力測定装置において、 測定流体の流体圧が接液ダイアフラムに印加されていな
    い初期状態において大気圧状態でなく所定圧力状態に封
    入された封入液、 を具備したことを特徴とする圧力測定装置。
  2. 【請求項2】ゼロ点計測状態にして接液ダイアフラムの
    破損の有無をチェックする異常チェック手段、 を具備したことを特徴とする請求項1記載の圧力測定装
    置。
  3. 【請求項3】測定値が所定値を越えた場合に警報信号を
    発する警報回路を具備したことを特徴とする請求項1又
    は請求項2記載の圧力測定装置。
  4. 【請求項4】前記警報回路からの信号に基づき警報音を
    発する警報器を具備した事を特徴とする請求項1乃至請
    求項3の何れかに記載の圧力測定装置。
  5. 【請求項5】前記警報回路からの信号に基づき警報光を
    発する警報灯を具備した事を特徴とする請求項1乃至請
    求項3の何れかに記載の圧力測定装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013257225A (ja) * 2012-06-13 2013-12-26 Yokogawa Electric Corp 圧力伝送器
DE102013107535B4 (de) 2013-07-16 2021-12-23 Labom Meß- und Regeltechnik GmbH Druckmittlersystem mit einem Druckmittler und Verfahren zum Erkennen eines Membranbruches

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JP2013257225A (ja) * 2012-06-13 2013-12-26 Yokogawa Electric Corp 圧力伝送器
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