JP2000143264A5 - - Google Patents

Description

【０００７】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するための本発明に係る超薄板多重モードフィルタ素子の請求項１記載の発明は、２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を接合一体化した光学デバイスの製造方法において、複数枚の矩形の平板状光学部材を接着剤を介して積層すると共に、各平板状光学部材の端縁を結ぶ平面と平板状光学部材の板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、上記積層体形成工程において一体化された積層体を、上記４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する切断工程と、上記切断工程により形成された各積層分割体の切断面を鏡面加工する第１鏡面加工工程と、上記切断工程により分割された複数の積層分割体の鏡面同士が対向するようにを整合状態で積層して、各積層分割体間を仮止め材にて仮止めする仮止め工程と、仮止め材にて仮止めされた複数の積層分割体を、上記切断工程における切断面と直交する切断面にて切断して仮止め積層体を形成する分断工程と、上記分断工程により得られた仮止め積層体の切断面を鏡面加工する第２鏡面加工工程と、上記仮止め積層分割体を上記切断面と直交する方向に所定の間隔にて切断することにより、複数の光学デバイスが仮止め材を介して直列に連結された光学デバイス連結体を形成する工程と、上記光学デバイス連結体を構成する仮止め材を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程とから成ることを特徴とする。

【０００８】
請求項２記載の発明は、２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士を、ビームスプリッタ膜を挟んで接合一体化した立方体形状のビームスプリッタの製造方法において、上面に偏光分離膜を有した複数枚の矩形ガラス平板を接着剤を介して積層すると共に、各ガラス平板の端縁を結ぶ平面とガラス板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように各ガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、上記積層体形成工程において一体化された積層体を、上記４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する切断工程と、上記切断工程により形成された各積層分割体の切断面を鏡面加工する第１鏡面加工工程と、上記切断工程により分割された複数の積層分割体の鏡面同士が対向するように整合状態で積層して、各積層分割体間を仮止め材にて仮止めする仮止め工程と、仮止め材にて仮止めされた複数の積層分割体を、上記切断工程における切断面と直交する切断面にて切断して仮止め積層体を形成する分断工程と、上記分断工程により得られた仮止め積層体の切断面を鏡面加工する第２鏡面加工工程と、上記仮止め積層体を上記切断面と直交する方向に所定の間隔にて切断することにより、複数のビームスプリッタが仮止め材を介して直列に連結されたビームスプリッタ連結体を形成する工程と、上記ビームスプリッタ連結体を構成する仮止め材を溶解除去して個々の立方体状のビームスプリッタに分離する分離工程とから成ることを特徴とする。
請求項３記載の発明は、上記仮止め工程の前に、各積層分割体の両端縁に位置する鋭角部を所要量切断除去する工程を介在させたことを特徴とする。請求項４記載の発明は、上記矩形の平板状光学部材又は矩形ガラス平板は下面にマッチング膜を備えていることを特徴とする。請求項５記載の発明は、上記接着剤としてＵＶ接着剤を用いたことを特徴とする。請求項６記載の発明は、上記仮止め材としてパラフィンを用いたことを特徴とする。

Claims (6)

1. ２つの直角三角柱形状のプリズムの傾斜面同士を接合一体化した光学デバイスの製造方法において、
   複数枚の矩形の平板状光学部材を接着剤を介して積層すると共に、各平板状光学部材の端縁を結ぶ平面と平板状光学部材の板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように平板状光学部材の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、
   上記積層体形成工程において一体化された積層体を、上記４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する切断工程と、
   上記切断工程により形成された各積層分割体の切断面を鏡面加工する第１鏡面加工工程と、
   上記切断工程により分割された複数の積層分割体の鏡面同士が対向するようにを整合状態で積層して、各積層分割体間を仮止め材にて仮止めする仮止め工程と、
   仮止め材にて仮止めされた複数の積層分割体を、上記切断工程における切断面と直交する切断面にて切断して仮止め積層体を形成する分断工程と、
   上記分断工程により得られた仮止め積層体の切断面を鏡面加工する第２鏡面加工工程と、
   上記仮止め積層体を上記切断面と直交する方向に所定の間隔にて切断することにより、複数の光学デバイスが仮止め材を介して直列に連結された光学デバイス連結体を形成する工程と、
   上記光学デバイス連結体を構成する仮止め材を溶解除去して個々の光学デバイスに分離する分離工程とから成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
2. ２つの直角三角柱形状のガラスプリズムの傾斜面同士を、ビームスプリッタ膜を挟んで接合一体化した立方体形状のビームスプリッタの製造方法において、
   上面に偏光分離膜を有した複数枚の矩形ガラス平板を接着剤を介して積層すると共に、各ガラス平板の端縁を結ぶ平面とガラス板面との間の形成角度が４５度の傾斜角度となるように各ガラス平板の面方向位置を順次ずらして階段状に積層する積層体形成工程と、
   上記積層体形成工程において一体化された積層体を、上記４５度の傾斜角度に沿った所定ピッチの複数の平行な切断面にて複数の積層分割体に切断する切断工程と、
   上記切断工程により形成された各積層分割体の切断面を鏡面加工する第１鏡面加工工程と、
   上記切断工程により分割された複数の積層分割体の鏡面同士が対向するように整合状態で積層して、各積層分割体間を仮止め材にて仮止めする仮止め工程と、
   仮止め材にて仮止めされた複数の積層分割体を、上記切断工程における切断面と直交する切断面にて切断して仮止め積層体を形成する分断工程と、
   上記分断工程により得られた仮止め積層体の切断面を鏡面加工する第２鏡面加工工程と、
   上記仮止め積層体を上記切断面と直交する方向に所定の間隔にて切断することにより、複数のビームスプリッタが仮止め剤を介して直列に連結されたビームスプリッタ連結体を形成する工程と、
   上記ビームスプリッタ連結体を構成する仮止め材を溶解除去して個々の立方体状のビームスプリッタに分離する分離工程とから成ることを特徴とする光学デバイスの製造方法。
3. 上記仮止め工程の前に、各積層分割体の両端縁に位置する鋭角部を所要量切断除去する工程を介在させたことを特徴とする請求項１又は２記載の光学デバイスの製造方法。
4. 上記矩形の平板状光学部材又は矩形ガラス平板は下面にマッチング膜を備えていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の光学デバイスの製造方法。
5. 上記接着剤としてＵＶ接着剤を用いたことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の光学デバイスの製造方法。
6. 上記仮止め材としてパラフィンを用いたことを特徴とする請求項１、２、３、４又は５記載の光学デバイスの製造方法。