JP2000138943A - 固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステム - Google Patents
固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 画角の切り出しによりフレームレートの高速
化を行うと、画角の切り出しによって撮像エリアが狭ま
り、ズーム（ＺＯＯＭ）をかけたときと同じ効果となる
ため、近くの被写体を撮像するには使い勝手が悪いもの
となる。 【解決手段】 少なくとも水平方向において同一色が所
定画素数ごとに繰り返して配置されるカラーコーディン
グのカラーフィルタを有するＣＣＤ撮像素子１０におい
て、垂直ＣＣＤ１２と水平ＣＣＤ１３との間に、カラー
コーディングの繰り返し画素数を単位としてその繰り返
し画素数おきに、垂直→水平転送を選択的に阻止するホ
ールドゲート部１４を設け、カラーコーディングに合っ
た信号電荷の加算を水平ＣＣＤ１３で行うようにする。
化を行うと、画角の切り出しによって撮像エリアが狭ま
り、ズーム（ＺＯＯＭ）をかけたときと同じ効果となる
ため、近くの被写体を撮像するには使い勝手が悪いもの
となる。 【解決手段】 少なくとも水平方向において同一色が所
定画素数ごとに繰り返して配置されるカラーコーディン
グのカラーフィルタを有するＣＣＤ撮像素子１０におい
て、垂直ＣＣＤ１２と水平ＣＣＤ１３との間に、カラー
コーディングの繰り返し画素数を単位としてその繰り返
し画素数おきに、垂直→水平転送を選択的に阻止するホ
ールドゲート部１４を設け、カラーコーディングに合っ
た信号電荷の加算を水平ＣＣＤ１３で行うようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子およ
びその駆動方法並びにカメラシステムに関し、特に少な
くとも水平方向において同一色が所定画素数ごとに繰り
返して配置されるカラーコーディングのカラーフィルタ
を有する固体撮像素子およびその駆動方法、並びにこれ
ら用いたカメラシステムに関する。
びその駆動方法並びにカメラシステムに関し、特に少な
くとも水平方向において同一色が所定画素数ごとに繰り
返して配置されるカラーコーディングのカラーフィルタ
を有する固体撮像素子およびその駆動方法、並びにこれ
ら用いたカメラシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】撮像デバイスとして例えばＣＣＤ(Charg
e Coupled Device) 撮像素子を用いたカメラシステムに
おいて、フレームレートを高速化する用途としては、Ｎ
ＴＳＣ方式のテレビジョン信号の６０フィールド／秒よ
りも早いフレームレートにて撮像する高速撮像や、デジ
タルスチルカメラなどで多画素／低フレームレートのも
のをＮＴＳＣ方式の６０フィールド／秒にする用途など
がある。
e Coupled Device) 撮像素子を用いたカメラシステムに
おいて、フレームレートを高速化する用途としては、Ｎ
ＴＳＣ方式のテレビジョン信号の６０フィールド／秒よ
りも早いフレームレートにて撮像する高速撮像や、デジ
タルスチルカメラなどで多画素／低フレームレートのも
のをＮＴＳＣ方式の６０フィールド／秒にする用途など
がある。
【０００３】そして、従来、高速撮像では、ＣＣＤ撮像
素子の有効画素エリアのうちの特定のエリアの画素情報
のみを読み出す、いわゆる画角の切り出しを行うこと
で、フレームレートの高速化を実現していた。一方、デ
ジタルスチルカメラでは、垂直方向の一部の画素の信号
電荷のみを読み出し、残りの画素の信号電荷は使わない
ようにする、いわゆる垂直間引き動作を行うことで、フ
レームレートの高速化を実現していた。
素子の有効画素エリアのうちの特定のエリアの画素情報
のみを読み出す、いわゆる画角の切り出しを行うこと
で、フレームレートの高速化を実現していた。一方、デ
ジタルスチルカメラでは、垂直方向の一部の画素の信号
電荷のみを読み出し、残りの画素の信号電荷は使わない
ようにする、いわゆる垂直間引き動作を行うことで、フ
レームレートの高速化を実現していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、画角の
切り出しによるフレームレートの高速化にあっては、画
角の切り出しによって撮像エリアが狭まり、ズーム（Ｚ
ＯＯＭ）をかけたときと同じ効果となるため、近くの被
写体を撮像するには使い勝手が悪いものとなっていた。
一方、垂直間引き動作によるフレームレートの高速化に
あっては、画素情報の間引きによる感度の低下や、信号
の欠落による不連続性など画質低下の要因が多いため、
記録保存を考えないで、あくまでもＮＴＳＣモニター等
にモニターリングすることに使用目的が限られていた。
切り出しによるフレームレートの高速化にあっては、画
角の切り出しによって撮像エリアが狭まり、ズーム（Ｚ
ＯＯＭ）をかけたときと同じ効果となるため、近くの被
写体を撮像するには使い勝手が悪いものとなっていた。
一方、垂直間引き動作によるフレームレートの高速化に
あっては、画素情報の間引きによる感度の低下や、信号
の欠落による不連続性など画質低下の要因が多いため、
記録保存を考えないで、あくまでもＮＴＳＣモニター等
にモニターリングすることに使用目的が限られていた。
【０００５】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、水平転送周波数や画
角を変えず、かつ画質低下を極力抑えつつフレームレー
トの高速化を実現できる固体撮像素子およびその駆動方
法並びにカメラシステムを提供することにある。
であり、その目的とするところは、水平転送周波数や画
角を変えず、かつ画質低下を極力抑えつつフレームレー
トの高速化を実現できる固体撮像素子およびその駆動方
法並びにカメラシステムを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明による固体撮像素
子は、少なくとも水平方向において同一色が所定画素数
ごとに繰り返して配置されるカラーコーディングのカラ
ーフィルタを有する固体撮像素子であって、垂直転送部
と水平転送部との間に上記カラーコーディングの繰り返
し画素数を単位としてその繰り返し画素数おきに設けら
れて、垂直転送部から水平転送部への信号電荷の転送を
選択的に阻止するホールドゲート部を備えた構成となっ
ている。すなわち、垂直転送部と水平転送部との間（垂
直出力ゲート部）には、垂直→水平転送を一時的に阻止
する部分と通常転送する部分が交互に設けられている。
子は、少なくとも水平方向において同一色が所定画素数
ごとに繰り返して配置されるカラーコーディングのカラ
ーフィルタを有する固体撮像素子であって、垂直転送部
と水平転送部との間に上記カラーコーディングの繰り返
し画素数を単位としてその繰り返し画素数おきに設けら
れて、垂直転送部から水平転送部への信号電荷の転送を
選択的に阻止するホールドゲート部を備えた構成となっ
ている。すなわち、垂直転送部と水平転送部との間（垂
直出力ゲート部）には、垂直→水平転送を一時的に阻止
する部分と通常転送する部分が交互に設けられている。
【０００７】本発明の駆動方法は、上記構成のカラー方
式の固体撮像素子において、各画素の信号電荷を垂直転
送部へ読み出した後、ホールドゲート部を転送阻止状態
にして垂直転送部から水平転送部への１ライン分の信号
電荷の転送動作を行い、次いで水平転送部をホールドゲ
ート部で転送阻止した繰り返し画素数に対応する段数だ
け転送させ、しかる後ホールドゲート部を転送状態とし
てそれまで転送阻止していた信号電荷を水平転送部へ転
送する。これにより、水平転送部のホールドゲート部に
隣接する転送段において、同一色の信号電荷の加算が行
われる。
式の固体撮像素子において、各画素の信号電荷を垂直転
送部へ読み出した後、ホールドゲート部を転送阻止状態
にして垂直転送部から水平転送部への１ライン分の信号
電荷の転送動作を行い、次いで水平転送部をホールドゲ
ート部で転送阻止した繰り返し画素数に対応する段数だ
け転送させ、しかる後ホールドゲート部を転送状態とし
てそれまで転送阻止していた信号電荷を水平転送部へ転
送する。これにより、水平転送部のホールドゲート部に
隣接する転送段において、同一色の信号電荷の加算が行
われる。
【０００８】また、本発明によるカメラシステムは、上
記構成の固体撮像素子を撮像デバイスとして用いるとと
もに、この固体撮像素子に対して通常の撮像動作を実現
する通常モードと、フレームレートの高速化動作を実現
する高速化モードとを択一的に設定可能な動作モード設
定手段を設ける。そして、駆動手段は、この動作モード
設定手段で設定された動作モードを実現すべく、固体撮
像素子を動作モードに応じた駆動タイミングで駆動す
る。
記構成の固体撮像素子を撮像デバイスとして用いるとと
もに、この固体撮像素子に対して通常の撮像動作を実現
する通常モードと、フレームレートの高速化動作を実現
する高速化モードとを択一的に設定可能な動作モード設
定手段を設ける。そして、駆動手段は、この動作モード
設定手段で設定された動作モードを実現すべく、固体撮
像素子を動作モードに応じた駆動タイミングで駆動す
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一
実施形態に係る固体撮像素子を示す概略構成図であり、
例えばインターライン転送方式のカラーＣＣＤ撮像素子
に適用した場合を示している。
て図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一
実施形態に係る固体撮像素子を示す概略構成図であり、
例えばインターライン転送方式のカラーＣＣＤ撮像素子
に適用した場合を示している。
【００１０】図１において、本実施形態に係るＣＣＤ撮
像素子１０は、行列状に２次元配置された複数個のセン
サ部（画素）１１、これらセンサ部１１の垂直列ごとに
配された複数本の垂直ＣＣＤ（垂直転送部）１２、これ
ら垂直転送ＣＣＤ１２の一方の端部側に配された水平Ｃ
ＣＤ（水平転送部）１３、垂直ＣＣＤ１２と水平ＣＣＤ
１３との間（垂直出力ゲート部）に後述する規則のもと
に設けられたホールドゲート部１４、水平転送ＣＣＤ１
３の転送先側の端部に配された電荷検出部１５および出
力アンプ１６を有する構成となっている。
像素子１０は、行列状に２次元配置された複数個のセン
サ部（画素）１１、これらセンサ部１１の垂直列ごとに
配された複数本の垂直ＣＣＤ（垂直転送部）１２、これ
ら垂直転送ＣＣＤ１２の一方の端部側に配された水平Ｃ
ＣＤ（水平転送部）１３、垂直ＣＣＤ１２と水平ＣＣＤ
１３との間（垂直出力ゲート部）に後述する規則のもと
に設けられたホールドゲート部１４、水平転送ＣＣＤ１
３の転送先側の端部に配された電荷検出部１５および出
力アンプ１６を有する構成となっている。
【００１１】また、ＣＣＤ撮像素子１０の撮像エリア
（画素エリア）上には、例えば補色市松カラーコーディ
ングのカラーフィルタ１７が配される。このカラーフィ
ルタ１７は、例えば図２に示すように、水平２画素繰り
返しのＣ（シアン）Ｙ（イエロー）Ｇ（グリーン）Ｍ
（マゼンタ）色差線順次方式のカラーコーディングとな
っている。このカラーコーディングに対して、上述した
ホールドゲート部１４は、水平２画素を単位としてその
繰り返し画素数おきに設けられている。
（画素エリア）上には、例えば補色市松カラーコーディ
ングのカラーフィルタ１７が配される。このカラーフィ
ルタ１７は、例えば図２に示すように、水平２画素繰り
返しのＣ（シアン）Ｙ（イエロー）Ｇ（グリーン）Ｍ
（マゼンタ）色差線順次方式のカラーコーディングとな
っている。このカラーコーディングに対して、上述した
ホールドゲート部１４は、水平２画素を単位としてその
繰り返し画素数おきに設けられている。
【００１２】かかる構成のＣＣＤ撮像素子１０におい
て、センサ部１１は例えばＰＮ接合のフォトダイオード
からなり、入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷
に光電変換して蓄積する。センサ部１１に蓄積された信
号電荷は、図示せぬ読出しゲート部を介して垂直ＣＣＤ
１２に読み出される。
て、センサ部１１は例えばＰＮ接合のフォトダイオード
からなり、入射光をその光量に応じた電荷量の信号電荷
に光電変換して蓄積する。センサ部１１に蓄積された信
号電荷は、図示せぬ読出しゲート部を介して垂直ＣＣＤ
１２に読み出される。
【００１３】垂直ＣＣＤ１２は、例えば図３のタイミン
グチャートに示す４相の垂直転送クロックＶφ１〜Ｖφ
４によって転送駆動されることにより、水平ブランキン
グ期間の一部において１走査線（１ライン）に相当する
信号電荷を単位として垂直転送（ラインシフト）して水
平ＣＣＤ１３に移送する。
グチャートに示す４相の垂直転送クロックＶφ１〜Ｖφ
４によって転送駆動されることにより、水平ブランキン
グ期間の一部において１走査線（１ライン）に相当する
信号電荷を単位として垂直転送（ラインシフト）して水
平ＣＣＤ１３に移送する。
【００１４】ホールドゲート部１４は、フレームレート
の高速化を実現するために設けられたものであり、カラ
ーフィルタ１７の水平２画素繰り返しのカラーコーディ
ングに対応して水平２画素を単位として水平２画素おき
に配されている。そして、垂直ＣＣＤ１２から水平ＣＣ
Ｄ１３へ信号電荷を移送するラインシフト時に、その信
号電荷の転送を水平２画素（垂直２列）おきに阻止す
る。このホールドゲート部１４の具体的な構成について
は後述する。
の高速化を実現するために設けられたものであり、カラ
ーフィルタ１７の水平２画素繰り返しのカラーコーディ
ングに対応して水平２画素を単位として水平２画素おき
に配されている。そして、垂直ＣＣＤ１２から水平ＣＣ
Ｄ１３へ信号電荷を移送するラインシフト時に、その信
号電荷の転送を水平２画素（垂直２列）おきに阻止す
る。このホールドゲート部１４の具体的な構成について
は後述する。
【００１５】水平ＣＣＤ１３は、例えば図３のタイミン
グチャートに示す２相の水平転送クロックＨφ１，Ｈφ
２によって転送駆動されることにより、垂直ＣＣＤ１２
からラインシフトされた１走査線に相当する信号電荷
を、水平ブランキング期間後の水平走査期間において順
次水平転送して電荷検出部１５に供給する。この水平Ｃ
ＣＤ１３の動作は通常モードでの転送動作である。
グチャートに示す２相の水平転送クロックＨφ１，Ｈφ
２によって転送駆動されることにより、垂直ＣＣＤ１２
からラインシフトされた１走査線に相当する信号電荷
を、水平ブランキング期間後の水平走査期間において順
次水平転送して電荷検出部１５に供給する。この水平Ｃ
ＣＤ１３の動作は通常モードでの転送動作である。
【００１６】ホールドゲート部１４を動作させるフレー
ムレートの高速化モードでは、水平ＣＣＤ１３は、水平
方向において２画素単位で隣り合う４画素分の信号電荷
を加算する動作も行い、その加算後の信号電荷を順次水
平転送して電荷検出部１５に供給する。このフレームレ
ートの高速化モードでの具体的な動作については後述す
る。
ムレートの高速化モードでは、水平ＣＣＤ１３は、水平
方向において２画素単位で隣り合う４画素分の信号電荷
を加算する動作も行い、その加算後の信号電荷を順次水
平転送して電荷検出部１５に供給する。このフレームレ
ートの高速化モードでの具体的な動作については後述す
る。
【００１７】電荷検出部１５は、例えばフローティング
・ディフュージョン・アンプによって構成されている。
すなわち、水平ＣＣＤ１４の出力ゲート（ＨＯＧ）１８
から信号電荷が注入されるＦＤ（フローティングディフ
ュージョン）１５１と、電荷を排出するＲＤ（リセット
ドレイン）１５２と、ＦＤ１５１とＲＤ１５２との間に
配されたＲＧ（リセットゲート）１５３とからなり、水
平ＣＣＤ１３から順次供給される信号電荷を検出し、こ
れを信号電圧に変換する。ＲＤ１５２には、例えば電源
電圧Ｖｄｄがバイアス電圧として印加されている。
・ディフュージョン・アンプによって構成されている。
すなわち、水平ＣＣＤ１４の出力ゲート（ＨＯＧ）１８
から信号電荷が注入されるＦＤ（フローティングディフ
ュージョン）１５１と、電荷を排出するＲＤ（リセット
ドレイン）１５２と、ＦＤ１５１とＲＤ１５２との間に
配されたＲＧ（リセットゲート）１５３とからなり、水
平ＣＣＤ１３から順次供給される信号電荷を検出し、こ
れを信号電圧に変換する。ＲＤ１５２には、例えば電源
電圧Ｖｄｄがバイアス電圧として印加されている。
【００１８】以上のように構成されたインターライン転
送方式のＣＣＤ撮像素子１０では、信号電荷の読み出し
方式として、フィールド読み出しが一般的に採られる。
このフィールド読み出しでは、各画素において１／６０
秒（１フィールド相当期間）だけ信号電荷を蓄積し、各
画素から読み出した信号電荷を垂直ＣＣＤ１２において
垂直方向にて隣り合う２画素間で混合し、また混合する
垂直２画素の組み合わせを奇数フィールドと偶数フィー
ルドで変えることによってインターレース走査を実現し
ている。
送方式のＣＣＤ撮像素子１０では、信号電荷の読み出し
方式として、フィールド読み出しが一般的に採られる。
このフィールド読み出しでは、各画素において１／６０
秒（１フィールド相当期間）だけ信号電荷を蓄積し、各
画素から読み出した信号電荷を垂直ＣＣＤ１２において
垂直方向にて隣り合う２画素間で混合し、また混合する
垂直２画素の組み合わせを奇数フィールドと偶数フィー
ルドで変えることによってインターレース走査を実現し
ている。
【００１９】次に、ホールドゲート部１４を含む垂直出
力ゲート部（ＶＯＧ）の具体的な構成について説明す
る。図４は、垂直出力ゲート部の第１具体例を示す要部
の平面パターン図である。
力ゲート部（ＶＯＧ）の具体的な構成について説明す
る。図４は、垂直出力ゲート部の第１具体例を示す要部
の平面パターン図である。
【００２０】図４において、先ず、垂直ＣＣＤ１２は、
垂直方向に平行に延在する複数本の転送チャネル２１
と、これら転送チャネル２１の上方に垂直方向に順に配
され、かつ水平方向に延在する４相の垂直転送クロック
Ｖφ１〜Ｖφ４に対応したゲート電極２２-1〜２２-4と
を有する構成となっている。これらのゲート電極２２-1
〜２２-4において、例えば、２相目，４相目の転送電極
２２-2，２２-4が１層目のポリシリコン（図中、一点鎖
線で示す。以下、他の具体例でも同様とする）によって
形成され、１相目，３相目の転送電極２２-1，２２-3が
２層目のポリシリコン（図中、二点鎖線で示す。以下、
他の具体例でも同様とする）によって形成されている。
垂直方向に平行に延在する複数本の転送チャネル２１
と、これら転送チャネル２１の上方に垂直方向に順に配
され、かつ水平方向に延在する４相の垂直転送クロック
Ｖφ１〜Ｖφ４に対応したゲート電極２２-1〜２２-4と
を有する構成となっている。これらのゲート電極２２-1
〜２２-4において、例えば、２相目，４相目の転送電極
２２-2，２２-4が１層目のポリシリコン（図中、一点鎖
線で示す。以下、他の具体例でも同様とする）によって
形成され、１相目，３相目の転送電極２２-1，２２-3が
２層目のポリシリコン（図中、二点鎖線で示す。以下、
他の具体例でも同様とする）によって形成されている。
【００２１】一方、水平ＣＣＤ１３は、水平方向に延在
しかつ垂直ＣＣＤ１２の複数本の転送チャネル２１の各
々に連結された転送チャネル２３と、この転送チャネル
２３の上方に水平方向に順に配された２相の水平転送ク
ロックＨφ１，Ｈφ２に対応したゲート電極２４-1〜２
４-4とを有する構成となっている。そして、ゲート電極
２４-1，２４-2には２相目の水平転送クロックＨφ２が
印加され、ゲート電極２４-3，２４-4には１相目の水平
転送クロックＨφ１が印加される。
しかつ垂直ＣＣＤ１２の複数本の転送チャネル２１の各
々に連結された転送チャネル２３と、この転送チャネル
２３の上方に水平方向に順に配された２相の水平転送ク
ロックＨφ１，Ｈφ２に対応したゲート電極２４-1〜２
４-4とを有する構成となっている。そして、ゲート電極
２４-1，２４-2には２相目の水平転送クロックＨφ２が
印加され、ゲート電極２４-3，２４-4には１相目の水平
転送クロックＨφ１が印加される。
【００２２】これらのゲート電極２４-1〜２４-4におい
て、第１の電極であるゲート電極２４-1，２４-3が１層
目のポリシリコンにより形成されてストレージ部を構成
し、第２の電極であるゲート電極２４-2，２４-4が２層
目のポリシリコンにより形成されてストレージ部を構成
している。また、ゲート電極２４-3，２４-4は、垂直Ｃ
ＣＤ１２の転送チャネル２１の部分まで延在している。
そして、特にゲート電極２４-4は逆Ｌ字状に屈曲した形
状を有し、その屈曲した部分が垂直ＣＣＤ１２の４相目
のゲート電極２２-4に対してオーバーラップした形で配
されている。
て、第１の電極であるゲート電極２４-1，２４-3が１層
目のポリシリコンにより形成されてストレージ部を構成
し、第２の電極であるゲート電極２４-2，２４-4が２層
目のポリシリコンにより形成されてストレージ部を構成
している。また、ゲート電極２４-3，２４-4は、垂直Ｃ
ＣＤ１２の転送チャネル２１の部分まで延在している。
そして、特にゲート電極２４-4は逆Ｌ字状に屈曲した形
状を有し、その屈曲した部分が垂直ＣＣＤ１２の４相目
のゲート電極２２-4に対してオーバーラップした形で配
されている。
【００２３】ところで、ホールドゲート部１４は、先述
したように、カラーフィルタ１７の水平２画素繰り返し
のカラーコーディングに対応して水平２画素を単位とし
て水平２画素おきに配されることになる。このホールド
ゲート部１４の配置を可能とするために、垂直ＣＣＤ１
２の最終転送段付近のゲート電極２２-1〜２２-4は、垂
直２列ごとに屈曲して形成されることでホールドゲート
部１４を配置するスペースを確保している。そして、こ
のスペースにホールドゲート部１４が配置される。
したように、カラーフィルタ１７の水平２画素繰り返し
のカラーコーディングに対応して水平２画素を単位とし
て水平２画素おきに配されることになる。このホールド
ゲート部１４の配置を可能とするために、垂直ＣＣＤ１
２の最終転送段付近のゲート電極２２-1〜２２-4は、垂
直２列ごとに屈曲して形成されることでホールドゲート
部１４を配置するスペースを確保している。そして、こ
のスペースにホールドゲート部１４が配置される。
【００２４】ホールドゲート部１４は、隣り合う２本の
転送チャネル２１，２１の上方に互いにオーバーラップ
した状態で配されたホールド電極２５およびストレージ
電極２６を有する構成となっている。これら電極２５，
２６のうち、ホールド電極２５が１層目のポリシリコン
によって形成され、ストレージ電極２６が２層目のポリ
シリコンによって形成されている。
転送チャネル２１，２１の上方に互いにオーバーラップ
した状態で配されたホールド電極２５およびストレージ
電極２６を有する構成となっている。これら電極２５，
２６のうち、ホールド電極２５が１層目のポリシリコン
によって形成され、ストレージ電極２６が２層目のポリ
シリコンによって形成されている。
【００２５】そして、ホールド電極２５には、図に点線
で示す如く配線で引き出すことでホールド電圧ＶφＨｏ
ｌｄが印加される。このホールド電圧ＶφＨｏｌｄとし
て、通常の動作モードでは“Ｈ”レベルが印加され、フ
レームレートの高速化モードでは各動作状態に応じて
“Ｌ”レベル／“Ｈ”レベルが適宜印加される。一方、
ストレージ電極２６には、図に点線で示す如く配線で引
き出すことで所定の直流電圧がストレージ電圧ＶＳｔｒ
ａｇｅとして与えられる。
で示す如く配線で引き出すことでホールド電圧ＶφＨｏ
ｌｄが印加される。このホールド電圧ＶφＨｏｌｄとし
て、通常の動作モードでは“Ｈ”レベルが印加され、フ
レームレートの高速化モードでは各動作状態に応じて
“Ｌ”レベル／“Ｈ”レベルが適宜印加される。一方、
ストレージ電極２６には、図に点線で示す如く配線で引
き出すことで所定の直流電圧がストレージ電圧ＶＳｔｒ
ａｇｅとして与えられる。
【００２６】図５に、図４のＩ−Ｉ′線に沿った断面で
のポテンシャル分布を示す。このポテンシャル分布図か
ら明らかなように、ストレージ電極２６の下は深いポテ
ンシャル状態にあることから、ホールド電圧ＶφＨｏｌ
ｄが“Ｌ”レベルで、ホールド電極２５の下のポテンシ
ャルが浅くなったときには、そのポテンシャルバリアに
よって垂直ＣＣＤ１２から水平ＣＣＤ１３への信号電荷
の転送が阻止され、その阻止された信号電荷はストレー
ジ電極２６の下に蓄積されることになる。
のポテンシャル分布を示す。このポテンシャル分布図か
ら明らかなように、ストレージ電極２６の下は深いポテ
ンシャル状態にあることから、ホールド電圧ＶφＨｏｌ
ｄが“Ｌ”レベルで、ホールド電極２５の下のポテンシ
ャルが浅くなったときには、そのポテンシャルバリアに
よって垂直ＣＣＤ１２から水平ＣＣＤ１３への信号電荷
の転送が阻止され、その阻止された信号電荷はストレー
ジ電極２６の下に蓄積されることになる。
【００２７】次に、上記構成の垂直出力ゲート部（ＶＯ
Ｇ）を備えた本実施形態に係るＣＣＤ撮像素子１０にお
けるフレームレートの高速化モードでの動作について、
図６のタイミングチャートにしたがって図７〜図９の動
作説明図を用いて説明する。なお、図７〜図９におい
て、左側が奇数（ＯＤＤ）フィールドの場合を示し、右
側が偶数（ＥＶＥＮ）フィールドの場合を示している。
Ｇ）を備えた本実施形態に係るＣＣＤ撮像素子１０にお
けるフレームレートの高速化モードでの動作について、
図６のタイミングチャートにしたがって図７〜図９の動
作説明図を用いて説明する。なお、図７〜図９におい
て、左側が奇数（ＯＤＤ）フィールドの場合を示し、右
側が偶数（ＥＶＥＮ）フィールドの場合を示している。
【００２８】図７（Ａ）は、各センサ部１１に信号電荷
が蓄積された状態を示している。この状態から、時点ｔ
１で各センサ部１１から垂直ＣＣＤ１２へフィールド読
み出しが行われることで、図７（Ｂ）に示すように、Ｏ
ＤＤフィールドではある垂直列ｍでＣとＧが、隣りの垂
直列ｍ＋１でＭとＹがそれぞれ加算されてあるラインｎ
の信号電荷となり、次のラインｎ＋１では垂直列ｍでＭ
とＣが、隣りの垂直列ｍ＋１でＧとＹがそれぞれ加算さ
れる。
が蓄積された状態を示している。この状態から、時点ｔ
１で各センサ部１１から垂直ＣＣＤ１２へフィールド読
み出しが行われることで、図７（Ｂ）に示すように、Ｏ
ＤＤフィールドではある垂直列ｍでＣとＧが、隣りの垂
直列ｍ＋１でＭとＹがそれぞれ加算されてあるラインｎ
の信号電荷となり、次のラインｎ＋１では垂直列ｍでＭ
とＣが、隣りの垂直列ｍ＋１でＧとＹがそれぞれ加算さ
れる。
【００２９】一方、ＥＶＥＮフィールドではＯＤＤフィ
ールドとは別の垂直２画素の組み合わせで加算が行われ
る。すなわち、ある垂直列ｍでＣとＧが、隣りの垂直列
ｍ＋１でＭとＹがそれぞれ加算されてあるラインｎの信
号電荷となり、次のラインｎ＋１では垂直列ｍでＭとＧ
が、隣りの垂直列ｍ＋１でＧとＹがそれぞれ加算され
る。
ールドとは別の垂直２画素の組み合わせで加算が行われ
る。すなわち、ある垂直列ｍでＣとＧが、隣りの垂直列
ｍ＋１でＭとＹがそれぞれ加算されてあるラインｎの信
号電荷となり、次のラインｎ＋１では垂直列ｍでＭとＧ
が、隣りの垂直列ｍ＋１でＧとＹがそれぞれ加算され
る。
【００３０】次に、垂直転送クロックＶφ１〜Ｖφ４に
よる垂直ＣＣＤ１２の駆動により、信号電荷を１ライン
分だけシフトするラインシフトが行われる。このライン
シフト終了後の時点ｔ２の状態を図７（Ｃ）に示す。こ
のとき、ホールド電極２５に印加されるホールド電圧Ｖ
φＨｏｌｄが“Ｌ”レベルにあることから、ホールド電
極２５の下のポテンシャルが浅く、このポテンシャルバ
リアにより、ホールドゲート部１４は転送阻止状態とな
る。
よる垂直ＣＣＤ１２の駆動により、信号電荷を１ライン
分だけシフトするラインシフトが行われる。このライン
シフト終了後の時点ｔ２の状態を図７（Ｃ）に示す。こ
のとき、ホールド電極２５に印加されるホールド電圧Ｖ
φＨｏｌｄが“Ｌ”レベルにあることから、ホールド電
極２５の下のポテンシャルが浅く、このポテンシャルバ
リアにより、ホールドゲート部１４は転送阻止状態とな
る。
【００３１】これにより、図７（Ｃ）から明らかなよう
に、水平２画素おきに垂直ＣＣＤ１２から水平ＣＣＤ１
３への信号電荷の転送が阻止され、残りの水平２画素お
きの信号電荷のみが水平ＣＣＤ１３へ転送される。その
結果、水平ＣＣＤ１３には、水平２画素おきの信号電荷
のみが、２ビット（転送段）おきに存在することにな
る。なお、ホールド電極２５の下のポテンシャルバリア
によって転送阻止された信号電荷は、ストレージ電極２
６の下に蓄積される。
に、水平２画素おきに垂直ＣＣＤ１２から水平ＣＣＤ１
３への信号電荷の転送が阻止され、残りの水平２画素お
きの信号電荷のみが水平ＣＣＤ１３へ転送される。その
結果、水平ＣＣＤ１３には、水平２画素おきの信号電荷
のみが、２ビット（転送段）おきに存在することにな
る。なお、ホールド電極２５の下のポテンシャルバリア
によって転送阻止された信号電荷は、ストレージ電極２
６の下に蓄積される。
【００３２】次に、水平転送クロックＨφ１，Ｈφ２に
よる水平ＣＣＤ１３の駆動により、信号電荷を２ビット
分だけシフトする２ビットシフトが行われる。この２ビ
ットシフト終了後の時点ｔ３の状態を図８（Ａ）に示
す。この２ビットシフト動作により、２ビットおきに存
在する信号電荷が、ホールドゲート部１４に隣接する２
つの転送段に位置することなる。
よる水平ＣＣＤ１３の駆動により、信号電荷を２ビット
分だけシフトする２ビットシフトが行われる。この２ビ
ットシフト終了後の時点ｔ３の状態を図８（Ａ）に示
す。この２ビットシフト動作により、２ビットおきに存
在する信号電荷が、ホールドゲート部１４に隣接する２
つの転送段に位置することなる。
【００３３】その後、ホールド電圧ＶφＨｏｌｄが
“Ｈ”レベルになることで、ホールド電極２５の下のポ
テンシャルが深くなる。これにより、ホールドゲート部
１４は転送状態となり、それまで転送阻止していた水平
２画素おきの信号電荷を水平ＣＣＤ１３へ転送する。そ
の結果、先に水平ＣＣＤ１３に転送しておいた２画素右
隣りの同一色の信号電荷と混合加算される。この混合加
算後の時点ｔ４の状態を図８（Ｂ）に示す。
“Ｈ”レベルになることで、ホールド電極２５の下のポ
テンシャルが深くなる。これにより、ホールドゲート部
１４は転送状態となり、それまで転送阻止していた水平
２画素おきの信号電荷を水平ＣＣＤ１３へ転送する。そ
の結果、先に水平ＣＣＤ１３に転送しておいた２画素右
隣りの同一色の信号電荷と混合加算される。この混合加
算後の時点ｔ４の状態を図８（Ｂ）に示す。
【００３４】次に、再びラインシフトが行われる。この
とき、前回のラインシフトの場合と同様に、ホールド電
圧ＶφＨｏｌｄが“Ｌ”レベルの状態にあることから、
ホールドゲート部１４は転送阻止状態にある。したがっ
て、次のラインの水平２画素おきの信号電荷のみが水平
ＣＣＤ１３の空の転送段に転送される。このラインシフ
ト終了後の時点ｔ５の状態を図８（Ｃ）に示す。
とき、前回のラインシフトの場合と同様に、ホールド電
圧ＶφＨｏｌｄが“Ｌ”レベルの状態にあることから、
ホールドゲート部１４は転送阻止状態にある。したがっ
て、次のラインの水平２画素おきの信号電荷のみが水平
ＣＣＤ１３の空の転送段に転送される。このラインシフ
ト終了後の時点ｔ５の状態を図８（Ｃ）に示す。
【００３５】続いて、再び２ビットシフトが行われる。
この２ビットシフト終了後の時点ｔ６の状態を図９
（Ａ）に示す。この２ビットシフト動作により、次のラ
インの２ビットおきに存在する信号電荷が、ホールドゲ
ート部１４に隣接する２つの転送段に位置することな
る。その後、ホールド電圧ＶφＨｏｌｄが“Ｈ”レベル
になることで、ホールドゲート部１４が転送状態とな
り、それまで転送阻止していた次のラインの水平２画素
おきの信号電荷を水平ＣＣＤ１３へ転送し、次のライン
の２画素右隣りの同一色の信号電荷と混合加算する。
この２ビットシフト終了後の時点ｔ６の状態を図９
（Ａ）に示す。この２ビットシフト動作により、次のラ
インの２ビットおきに存在する信号電荷が、ホールドゲ
ート部１４に隣接する２つの転送段に位置することな
る。その後、ホールド電圧ＶφＨｏｌｄが“Ｈ”レベル
になることで、ホールドゲート部１４が転送状態とな
り、それまで転送阻止していた次のラインの水平２画素
おきの信号電荷を水平ＣＣＤ１３へ転送し、次のライン
の２画素右隣りの同一色の信号電荷と混合加算する。
【００３６】その結果、水平ＣＣＤ１３には、水平４画
素／垂直４画素の信号電荷が色差信号を保持しながら加
算されて存在することになる。この混合加算後の時点ｔ
７の状態を図９（Ｂ）に示す。その後、水平ＣＣＤ１３
の転送動作によって水平転送されて電荷検出部１５へ出
力される。この水平転送動作後の状態を図９（Ｃ）に示
す。
素／垂直４画素の信号電荷が色差信号を保持しながら加
算されて存在することになる。この混合加算後の時点ｔ
７の状態を図９（Ｂ）に示す。その後、水平ＣＣＤ１３
の転送動作によって水平転送されて電荷検出部１５へ出
力される。この水平転送動作後の状態を図９（Ｃ）に示
す。
【００３７】以上説明した一連のフレームレートの高速
化動作により、水平画素情報を１／２に圧縮し、水平転
送周波数（水平転送クロックＨφ１，Ｈφ２の周波数）
や画角を変えずに、２倍のフレームレートを実現でき
る。また、図９（Ｂ）の動作終了後に、図７（Ｃ）の動
作からの一連の動作を繰り返して実行することにより、
さらに垂直方向でも加算圧縮することができ、これによ
り４倍のフレームレートを実現できる。
化動作により、水平画素情報を１／２に圧縮し、水平転
送周波数（水平転送クロックＨφ１，Ｈφ２の周波数）
や画角を変えずに、２倍のフレームレートを実現でき
る。また、図９（Ｂ）の動作終了後に、図７（Ｃ）の動
作からの一連の動作を繰り返して実行することにより、
さらに垂直方向でも加算圧縮することができ、これによ
り４倍のフレームレートを実現できる。
【００３８】また、水平方向での加算圧縮の必要がなけ
れば、ホールドゲート部１４を常に転送阻止状態（蓄積
状態）としておき、図８（Ｂ）および図９（Ｂ）の各動
作を省略することにより、水平２画素おきに間引いた色
差信号を得ることができる。これによれば、垂直転送／
水平転送に要する時間を短縮できるため、より高速化に
適することになる。
れば、ホールドゲート部１４を常に転送阻止状態（蓄積
状態）としておき、図８（Ｂ）および図９（Ｂ）の各動
作を省略することにより、水平２画素おきに間引いた色
差信号を得ることができる。これによれば、垂直転送／
水平転送に要する時間を短縮できるため、より高速化に
適することになる。
【００３９】上述したように、本実施形態に係るＣＣＤ
撮像素子１０では、フレームレートの高速化が可能であ
ることから、この高速化技術をＮＴＳＣ方式やＰＡＬ方
式の動画用ＣＣＤ撮像素子に適用することで、水平転送
周波数や画角を変えず、高速撮像が可能となる。また、
デジタルスチルカメラ用多画素ＣＣＤ撮像素子に適用す
ることで、画質を低下させることなく、ＮＴＳＣ方式や
ＰＡＬ方式のテレビジョン画像のモニタリングが可能と
なる。
撮像素子１０では、フレームレートの高速化が可能であ
ることから、この高速化技術をＮＴＳＣ方式やＰＡＬ方
式の動画用ＣＣＤ撮像素子に適用することで、水平転送
周波数や画角を変えず、高速撮像が可能となる。また、
デジタルスチルカメラ用多画素ＣＣＤ撮像素子に適用す
ることで、画質を低下させることなく、ＮＴＳＣ方式や
ＰＡＬ方式のテレビジョン画像のモニタリングが可能と
なる。
【００４０】なお、本実施形態では、カラーフィルタ１
７のカラーコーディングが、水平２画素繰り返しのＣＹ
ＧＭ色差線順次方式の補色市松カラーコーディングに適
用した場合を例に挙げて説明したが、水平２画素繰り返
しや補色市松への適用に限られるものではなく、例えば
水平３画素繰り返しＲ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）縦ストラ
イプなどのカラーコーディングにも適用可能である。
７のカラーコーディングが、水平２画素繰り返しのＣＹ
ＧＭ色差線順次方式の補色市松カラーコーディングに適
用した場合を例に挙げて説明したが、水平２画素繰り返
しや補色市松への適用に限られるものではなく、例えば
水平３画素繰り返しＲ（赤）Ｇ（緑）Ｂ（青）縦ストラ
イプなどのカラーコーディングにも適用可能である。
【００４１】図１０は、垂直出力ゲート部の第２具体例
を示す平面パターン図である。この第２具体例では、第
１具体例の構成に加え、ホールゲート部１４に隣接して
電荷排出部２７を設けた構成となっている。具体的に
は、ホールド電極２５とストレージ電極２６を、両者の
中間部分に空間部ができるように屈曲させて形成する。
そして、その空間部の中心に例えば円形状のオーバーフ
ロードレイン（ＯＦＤ）２８を形成し、隣り合う２本の
転送チャネル２１，２１とオーバーフロードレイン２８
との間にオーバーフローバリア（ＯＦＢ）２９を形成す
る。
を示す平面パターン図である。この第２具体例では、第
１具体例の構成に加え、ホールゲート部１４に隣接して
電荷排出部２７を設けた構成となっている。具体的に
は、ホールド電極２５とストレージ電極２６を、両者の
中間部分に空間部ができるように屈曲させて形成する。
そして、その空間部の中心に例えば円形状のオーバーフ
ロードレイン（ＯＦＤ）２８を形成し、隣り合う２本の
転送チャネル２１，２１とオーバーフロードレイン２８
との間にオーバーフローバリア（ＯＦＢ）２９を形成す
る。
【００４２】この電荷排出部２７において、オーバーフ
ロードレイン２８には、図に点線で示す如く配線で引き
出すことでドレイン電圧ＶＤｒａｉｎが与えられる。こ
のドレイン電圧ＶＤｒａｉｎとしては、オーバーフロー
ドレイン２８のポテンシャル（ＯＦＤレベル）がストレ
ージ電極２６の下のポテンシャルよりもかなり深くなる
ような電圧値が設定される。一方、オーバーフローバリ
ア２９のポテンシャル（ＯＦＢレベル）は、ストレージ
電極２６の下のポテンシャルよりも所定レベルだけ浅く
なるように設定される。図１１に、図１０のII−II′線
に沿った断面でのポテンシャル分布を示す。
ロードレイン２８には、図に点線で示す如く配線で引き
出すことでドレイン電圧ＶＤｒａｉｎが与えられる。こ
のドレイン電圧ＶＤｒａｉｎとしては、オーバーフロー
ドレイン２８のポテンシャル（ＯＦＤレベル）がストレ
ージ電極２６の下のポテンシャルよりもかなり深くなる
ような電圧値が設定される。一方、オーバーフローバリ
ア２９のポテンシャル（ＯＦＢレベル）は、ストレージ
電極２６の下のポテンシャルよりも所定レベルだけ浅く
なるように設定される。図１１に、図１０のII−II′線
に沿った断面でのポテンシャル分布を示す。
【００４３】この第２具体例に係る垂直出力ゲート部
は、特に水平方向における信号電荷の加算を行わず、間
引きを行う場合に有用なものとなる。すなわち、水平方
向における間引きを行う際に、ホールゲート部１４で転
送阻止され、ストレージ電極２６の下に蓄積される不要
な電荷の量が膨大になった場合に、その不要な電荷が水
平ＣＣＤ１３に溢れる虞れがあるが、ホールゲート部１
４に隣接して電荷排出部２７を設けることで、ＯＦＢレ
ベルを越えた電荷がオーバーフロードレイン２８に排出
されるため、水平ＣＣＤ１３への電荷の漏れ込みを防ぐ
ことができる。
は、特に水平方向における信号電荷の加算を行わず、間
引きを行う場合に有用なものとなる。すなわち、水平方
向における間引きを行う際に、ホールゲート部１４で転
送阻止され、ストレージ電極２６の下に蓄積される不要
な電荷の量が膨大になった場合に、その不要な電荷が水
平ＣＣＤ１３に溢れる虞れがあるが、ホールゲート部１
４に隣接して電荷排出部２７を設けることで、ＯＦＢレ
ベルを越えた電荷がオーバーフロードレイン２８に排出
されるため、水平ＣＣＤ１３への電荷の漏れ込みを防ぐ
ことができる。
【００４４】図１２は、垂直出力ゲート部の第３具体例
を示す平面パターン図である。先の第１具体例では、垂
直ＣＣＤ１２のゲート電極２２-1〜２２-4を部分的に屈
曲させることで、ホールドゲート部１４を配置するため
のスペースを確保する構成を採っていた。これに対し
て、第３具体例においては、垂直ＣＣＤ１２のゲート電
極２２-1〜２２-4をストレートに形成するとともに、こ
れらと同様にストレージ電極２６′をもストレートに形
成し、ホールド電極２５を必要な部分に配置する構成を
採っている。
を示す平面パターン図である。先の第１具体例では、垂
直ＣＣＤ１２のゲート電極２２-1〜２２-4を部分的に屈
曲させることで、ホールドゲート部１４を配置するため
のスペースを確保する構成を採っていた。これに対し
て、第３具体例においては、垂直ＣＣＤ１２のゲート電
極２２-1〜２２-4をストレートに形成するとともに、こ
れらと同様にストレージ電極２６′をもストレートに形
成し、ホールド電極２５を必要な部分に配置する構成を
採っている。
【００４５】このように、各ゲート電極をストレート形
状とすることにより、これらゲート電極のパターン形成
が容易になる。また、ストレージ電極２６′に与えるス
トレージ電圧ＶＳｔｒａｇｅについては、デバイス内部
で所定の直流電圧を発生させ、この直流電圧を与えるよ
うにすることで、デバイス外部からストレージ電圧ＶＳ
ｔｒａｇｅを取り込むための端子を削減できることにな
る。図１３に、図１１のIII−III′線に沿った断面のポ
テンシャル分布を示す。
状とすることにより、これらゲート電極のパターン形成
が容易になる。また、ストレージ電極２６′に与えるス
トレージ電圧ＶＳｔｒａｇｅについては、デバイス内部
で所定の直流電圧を発生させ、この直流電圧を与えるよ
うにすることで、デバイス外部からストレージ電圧ＶＳ
ｔｒａｇｅを取り込むための端子を削減できることにな
る。図１３に、図１１のIII−III′線に沿った断面のポ
テンシャル分布を示す。
【００４６】ところで、１層目のポリシリコンからなる
ゲート電極２２-4に対して、ストレージ電極２６′が２
層目のポリシリコンでオーバーラップして形成されるこ
とから、ホールド電極２５が存在しない部分には１層目
のポリシリコン層が存在しないことになる。そこで、第
３具体例では、この１層目のポリシリコン層を特別に形
成するのではなく、水平ＣＣＤ１３の１層目（ストレー
ジ部）のゲート電極２４-1′を延長しかつ屈曲させて形
成することで、ホールド電極２５が存在しない部分の１
層目のポリシリコン層として兼用し、これによってホー
ルドゲート部１４を配置する部分と配置しない部分とで
チャネル長のバランスをとっている。
ゲート電極２２-4に対して、ストレージ電極２６′が２
層目のポリシリコンでオーバーラップして形成されるこ
とから、ホールド電極２５が存在しない部分には１層目
のポリシリコン層が存在しないことになる。そこで、第
３具体例では、この１層目のポリシリコン層を特別に形
成するのではなく、水平ＣＣＤ１３の１層目（ストレー
ジ部）のゲート電極２４-1′を延長しかつ屈曲させて形
成することで、ホールド電極２５が存在しない部分の１
層目のポリシリコン層として兼用し、これによってホー
ルドゲート部１４を配置する部分と配置しない部分とで
チャネル長のバランスをとっている。
【００４７】図１４は、垂直出力ゲート部の第４具体例
を示す平面パターン図である。この第４具体例では、垂
直ＣＣＤ１２のゲート電極２２-1〜２２-4およびストレ
ージ電極２６′をストレートに形成し、ホールド電極２
５を必要な部分に配置するとともに、水平ＣＣＤ１３の
ゲート電極２４-1′を延長しかつ屈曲させて形成するこ
とで、ホールド電極２５が存在しない部分の１層目のポ
リシリコン層として兼用した第３具体例の構成におい
て、ストレージ電極２６′を水平ＣＣＤ１３の２層目
（トランスファ部）のゲート電極２４-2′と一体に形成
し、ストレージ電極２６′に２相目の水平転送クロック
Ｈφ２を与えるようにしている。
を示す平面パターン図である。この第４具体例では、垂
直ＣＣＤ１２のゲート電極２２-1〜２２-4およびストレ
ージ電極２６′をストレートに形成し、ホールド電極２
５を必要な部分に配置するとともに、水平ＣＣＤ１３の
ゲート電極２４-1′を延長しかつ屈曲させて形成するこ
とで、ホールド電極２５が存在しない部分の１層目のポ
リシリコン層として兼用した第３具体例の構成におい
て、ストレージ電極２６′を水平ＣＣＤ１３の２層目
（トランスファ部）のゲート電極２４-2′と一体に形成
し、ストレージ電極２６′に２相目の水平転送クロック
Ｈφ２を与えるようにしている。
【００４８】図１５に、図１４のIV−IV′線に沿った断
面のポテンシャル分布を示す。このポテンシャル図から
明らかなように、ストレージ電極２６′に２相目の水平
転送クロックＨφ２を与えるようにしても、垂直ＣＣＤ
１２から水平ＣＣＤ１３への信号電荷の転送動作上、何
ら支障を来すことはない。したがって、ストレージ電極
２６′に２相目の水平転送クロックＨφ２を与えるよう
にすることで、第３具体例の場合のように、ストレージ
電圧ＶＳｒａｇｅをデバイス内部で発生させる必要がな
く、その分回路構成の簡略化に寄与できることになる。
面のポテンシャル分布を示す。このポテンシャル図から
明らかなように、ストレージ電極２６′に２相目の水平
転送クロックＨφ２を与えるようにしても、垂直ＣＣＤ
１２から水平ＣＣＤ１３への信号電荷の転送動作上、何
ら支障を来すことはない。したがって、ストレージ電極
２６′に２相目の水平転送クロックＨφ２を与えるよう
にすることで、第３具体例の場合のように、ストレージ
電圧ＶＳｒａｇｅをデバイス内部で発生させる必要がな
く、その分回路構成の簡略化に寄与できることになる。
【００４９】図１６は、垂直出力ゲート部の第５具体例
を示す平面パターン図である。この第５具体例では、第
３具体例の構成に加えて、第２具体例の場合と同様に、
ホールゲート部１４に隣接して電荷排出部２７を設けた
構成を採っている。具体的には、ホールド電極２５の中
間部とストレートに形成されたストレージ電極２６′の
一部を屈曲させて両者の間に空間部を形成し、その空間
部に電荷排出部２７を形成した構成となっている。
を示す平面パターン図である。この第５具体例では、第
３具体例の構成に加えて、第２具体例の場合と同様に、
ホールゲート部１４に隣接して電荷排出部２７を設けた
構成を採っている。具体的には、ホールド電極２５の中
間部とストレートに形成されたストレージ電極２６′の
一部を屈曲させて両者の間に空間部を形成し、その空間
部に電荷排出部２７を形成した構成となっている。
【００５０】電荷排出部２７は、第２具体例の場合と同
様に、空間部の中心に例えば円形状に形成されたオーバ
ーフロードレイン（ＯＦＤ）２８と、隣り合う２本の転
送チャネル２１，２１とオーバーフロードレイン２８と
の間に形成されたオーバーフローバリア（ＯＦＢ）２９
とから構成されている。
様に、空間部の中心に例えば円形状に形成されたオーバ
ーフロードレイン（ＯＦＤ）２８と、隣り合う２本の転
送チャネル２１，２１とオーバーフロードレイン２８と
の間に形成されたオーバーフローバリア（ＯＦＢ）２９
とから構成されている。
【００５１】この第５具体例の構成によれば、第３具体
例に伴う効果、即ちゲート電極のパターン形成を容易に
し、かつデバイス外部からストレージ電圧ＶＳｔｒａｇ
ｅを取り込むための端子を削減できるという効果と、第
２具体例に伴う効果、即ち水平方向における間引きを行
う際にホールドゲート部１４に蓄積された不要電荷の水
平ＣＣＤ１３への漏れ込みを防止できるという効果を奏
することになる。
例に伴う効果、即ちゲート電極のパターン形成を容易に
し、かつデバイス外部からストレージ電圧ＶＳｔｒａｇ
ｅを取り込むための端子を削減できるという効果と、第
２具体例に伴う効果、即ち水平方向における間引きを行
う際にホールドゲート部１４に蓄積された不要電荷の水
平ＣＣＤ１３への漏れ込みを防止できるという効果を奏
することになる。
【００５２】図１７は、垂直出力ゲート部の第６具体例
を示す平面パターン図である。この第６具体例では、第
４具体例の構成に加えて、第２具体例の場合と同様に、
ホールゲート部１４に隣接して電荷排出部３０を設けた
構成を採っている。具体的には、ストレートに形成され
かつ水平ＣＣＤ１３のゲート電極２４-2′と一体に形成
されてなるストレージ電極２６′の一部とホールド電極
２５の中間部とをそれぞれ屈曲させて空間部を形成し、
その空間部に電荷排出部２７を形成した構成となってい
る。
を示す平面パターン図である。この第６具体例では、第
４具体例の構成に加えて、第２具体例の場合と同様に、
ホールゲート部１４に隣接して電荷排出部３０を設けた
構成を採っている。具体的には、ストレートに形成され
かつ水平ＣＣＤ１３のゲート電極２４-2′と一体に形成
されてなるストレージ電極２６′の一部とホールド電極
２５の中間部とをそれぞれ屈曲させて空間部を形成し、
その空間部に電荷排出部２７を形成した構成となってい
る。
【００５３】電荷排出部２７は、第２具体例の場合と同
様に、空間部の中心に例えば円形状に形成されたオーバ
ーフロードレイン（ＯＦＤ）２８と、隣り合う２本の転
送チャネル２１，２１とオーバーフロードレイン２８と
の間に形成されたオーバーフローバリア（ＯＦＢ）２９
とから構成されている。図１８に、図１７のＶ−Ｖ′線
に沿った断面のポテンシャル分布を示す。
様に、空間部の中心に例えば円形状に形成されたオーバ
ーフロードレイン（ＯＦＤ）２８と、隣り合う２本の転
送チャネル２１，２１とオーバーフロードレイン２８と
の間に形成されたオーバーフローバリア（ＯＦＢ）２９
とから構成されている。図１８に、図１７のＶ−Ｖ′線
に沿った断面のポテンシャル分布を示す。
【００５４】この第６具体例の構成によれば、第４具体
例に伴う効果、即ちストレージ電圧ＶＳｔｒａｇｅとし
て水平転送クロックＨφ２を兼用することで、ストレー
ジ電圧ＶＳｔｒａｇｅをデバイス内部で生成しなくて済
むという効果と、第２具体例に伴う効果、即ち水平方向
における間引きを行う際にホールドゲート部１４に蓄積
された不要電荷の水平ＣＣＤ１３への漏れ込みを防止で
きるという効果を奏することになる。
例に伴う効果、即ちストレージ電圧ＶＳｔｒａｇｅとし
て水平転送クロックＨφ２を兼用することで、ストレー
ジ電圧ＶＳｔｒａｇｅをデバイス内部で生成しなくて済
むという効果と、第２具体例に伴う効果、即ち水平方向
における間引きを行う際にホールドゲート部１４に蓄積
された不要電荷の水平ＣＣＤ１３への漏れ込みを防止で
きるという効果を奏することになる。
【００５５】図１９は、本実施形態に係るＣＣＤ撮像素
子１０を撮像デバイスとして用いた本発明に係るカメラ
システムの構成の一例を示す概略構成図である。本カメ
ラシステムは、ＣＣＤ撮像素子１０、光学系の一部を構
成するレンズ３１、ＣＣＤ駆動回路３２、動作モード設
定部３３および信号処理回路３４を有する構成となって
いる。
子１０を撮像デバイスとして用いた本発明に係るカメラ
システムの構成の一例を示す概略構成図である。本カメ
ラシステムは、ＣＣＤ撮像素子１０、光学系の一部を構
成するレンズ３１、ＣＣＤ駆動回路３２、動作モード設
定部３３および信号処理回路３４を有する構成となって
いる。
【００５６】かかる構成のカメラシステムにおいて、被
写体（図示せず）からの入射光（像光）は、光学系のレ
ンズ３１によってＣＣＤ撮像素子１０の撮像面上に結像
される。ＣＣＤ撮像素子１０は、ＣＣＤ駆動回路３２に
より、動作モード設定部３３で設定された動作モードに
応じて駆動される。ここで、動作モード設定部３３、通
常の撮像動作を行う通常モードと、例えばフレームレー
トを例えば２倍にする高速化モードとを任意に設定可能
となっている。なお、高速化モードとして、２倍モー
ド、４倍モード等を任意に設定できるようにしても良
い。
写体（図示せず）からの入射光（像光）は、光学系のレ
ンズ３１によってＣＣＤ撮像素子１０の撮像面上に結像
される。ＣＣＤ撮像素子１０は、ＣＣＤ駆動回路３２に
より、動作モード設定部３３で設定された動作モードに
応じて駆動される。ここで、動作モード設定部３３、通
常の撮像動作を行う通常モードと、例えばフレームレー
トを例えば２倍にする高速化モードとを任意に設定可能
となっている。なお、高速化モードとして、２倍モー
ド、４倍モード等を任意に設定できるようにしても良
い。
【００５７】ここで、動作モード設定部３３で通常モー
ドが設定された場合の動作の概略について、図１を用い
て説明する。この通常モードでは、ＣＣＤ駆動回路３２
は、周知の動作タイミングで垂直転送クロックＶφ１〜
Ｖφ４や水平転送クロックＨφ１，Ｈφ２などの各種タ
イミング信号を発生させ、ホールドゲート部１４に与え
るホールド電圧ＶφＨｏｌｄについては“Ｈ”レベルに
維持する。
ドが設定された場合の動作の概略について、図１を用い
て説明する。この通常モードでは、ＣＣＤ駆動回路３２
は、周知の動作タイミングで垂直転送クロックＶφ１〜
Ｖφ４や水平転送クロックＨφ１，Ｈφ２などの各種タ
イミング信号を発生させ、ホールドゲート部１４に与え
るホールド電圧ＶφＨｏｌｄについては“Ｈ”レベルに
維持する。
【００５８】このタイミング設定により、ＣＣＤ撮像素
子１０においては、各センサ部１１で光電変換された信
号電荷を例えばフィールド読み出しで垂直ＣＣＤ１２に
読み出し、これらの信号電荷を垂直ＣＣＤ１２から水平
ＣＣＤ１３へ、さらに電荷検出部１５へ転送すること
で、通常の撮像動作を行う。そして、ＣＣＤ撮像素子１
０から出力されるＣＣＤ撮像信号は、信号処理回路３４
で所定の信号処理が行われて出力される。
子１０においては、各センサ部１１で光電変換された信
号電荷を例えばフィールド読み出しで垂直ＣＣＤ１２に
読み出し、これらの信号電荷を垂直ＣＣＤ１２から水平
ＣＣＤ１３へ、さらに電荷検出部１５へ転送すること
で、通常の撮像動作を行う。そして、ＣＣＤ撮像素子１
０から出力されるＣＣＤ撮像信号は、信号処理回路３４
で所定の信号処理が行われて出力される。
【００５９】次に、動作モード設定部３３でフレームレ
ートの高速化モードが設定された場合の動作の概略につ
いて説明する。このフレームレートの高速化モードで
は、ＣＣＤ駆動回路３２は、図６に示したタイミングで
垂直転送クロックＶφ１〜Ｖφ４や水平転送クロックＨ
φ１，Ｈφ２などの各種タイミング信号、さらにはホー
ルド電圧ＶφＨｏｌｄを発生させる。
ートの高速化モードが設定された場合の動作の概略につ
いて説明する。このフレームレートの高速化モードで
は、ＣＣＤ駆動回路３２は、図６に示したタイミングで
垂直転送クロックＶφ１〜Ｖφ４や水平転送クロックＨ
φ１，Ｈφ２などの各種タイミング信号、さらにはホー
ルド電圧ＶφＨｏｌｄを発生させる。
【００６０】このタイミング設定により、ＣＣＤ撮像素
子１０においては、図７〜図９の動作説明図に基づいて
説明したように、各センサ部１１で光電変換された信号
電荷を例えばフィールド読み出しで垂直ＣＣＤ１２に読
み出し、これらの信号電荷を垂直ＣＣＤ１２から水平Ｃ
ＣＤ１３へラインシフトする際に、水平２画素おきに２
画素分の信号電荷を水平ＣＣＤ１３へ転送する一方、残
りの２画素ずつの信号電荷についてはホールドゲート部
１４で転送阻止する。
子１０においては、図７〜図９の動作説明図に基づいて
説明したように、各センサ部１１で光電変換された信号
電荷を例えばフィールド読み出しで垂直ＣＣＤ１２に読
み出し、これらの信号電荷を垂直ＣＣＤ１２から水平Ｃ
ＣＤ１３へラインシフトする際に、水平２画素おきに２
画素分の信号電荷を水平ＣＣＤ１３へ転送する一方、残
りの２画素ずつの信号電荷についてはホールドゲート部
１４で転送阻止する。
【００６１】続いて、水平ＣＣＤ１３内の２画素分ずつ
の信号電荷を２ビットシフトし、しかる後ホールドゲー
ト部１４で転送阻止した２画素分ずつの信号電荷を水平
ＣＣＤ１３へ転送することで、２画素右隣りの同一色の
信号電荷と混合加算を行う。次いで、水平ＣＣＤ１３の
空の転送段に、引き続き次のラインの２画素分の信号電
荷を水平２画素おきに転送し、上述した動作を繰り返す
ことで次のラインについての混合加算を行う。そして、
２ライン分の信号電荷を電荷検出部１５へ転送すること
で、フレームレートを２倍にする高速化動作を行う。
の信号電荷を２ビットシフトし、しかる後ホールドゲー
ト部１４で転送阻止した２画素分ずつの信号電荷を水平
ＣＣＤ１３へ転送することで、２画素右隣りの同一色の
信号電荷と混合加算を行う。次いで、水平ＣＣＤ１３の
空の転送段に、引き続き次のラインの２画素分の信号電
荷を水平２画素おきに転送し、上述した動作を繰り返す
ことで次のラインについての混合加算を行う。そして、
２ライン分の信号電荷を電荷検出部１５へ転送すること
で、フレームレートを２倍にする高速化動作を行う。
【００６２】以上により、通常の撮像動作を行う通常モ
ードと、フレームレートの高速化動作を行う高速化モー
ドとを任意に設定可能なカメラシステムを実現できる。
これにより、ＣＣＤ撮像素子１０としてＮＴＳＣ方式や
ＰＡＬ方式の動画用ＣＣＤ撮像素子を用いることで、通
常の撮像に加え、画角を変えずに高速撮像も可能とな
る。また、デジタルスチルカメラ用多画素ＣＣＤ撮像素
子を用いることで、画質を低下させることなく、ＮＴＳ
Ｃ方式やＰＡＬ方式のテレビジョン画像のモニタリング
が可能となる。
ードと、フレームレートの高速化動作を行う高速化モー
ドとを任意に設定可能なカメラシステムを実現できる。
これにより、ＣＣＤ撮像素子１０としてＮＴＳＣ方式や
ＰＡＬ方式の動画用ＣＣＤ撮像素子を用いることで、通
常の撮像に加え、画角を変えずに高速撮像も可能とな
る。また、デジタルスチルカメラ用多画素ＣＣＤ撮像素
子を用いることで、画質を低下させることなく、ＮＴＳ
Ｃ方式やＰＡＬ方式のテレビジョン画像のモニタリング
が可能となる。
【００６３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カラー対応の固体撮像素子において、垂直→水平転送を
一時的に阻止する部分と通常転送する部分を交互に設
け、カラーコーディングに合った信号電荷の加算を水平
転送部で行うようにしたことにより、色差信号を維持し
ながら水平画素情報を圧縮することができるので、水平
転送周波数や画角を変えずにフレームレートの高速化を
実現できることになる。
カラー対応の固体撮像素子において、垂直→水平転送を
一時的に阻止する部分と通常転送する部分を交互に設
け、カラーコーディングに合った信号電荷の加算を水平
転送部で行うようにしたことにより、色差信号を維持し
ながら水平画素情報を圧縮することができるので、水平
転送周波数や画角を変えずにフレームレートの高速化を
実現できることになる。
【図１】本発明の一実施形態に係るＣＣＤ撮像素子を示
す概略構成図である。
す概略構成図である。
【図２】カラーコーディングの一例を示す図である。
【図３】通常モードでのタイミングチャートである。
【図４】垂直出力ゲート部の第１具体例を示す要部の平
面パターン図である。
面パターン図である。
【図５】図４のＩ−Ｉ′線に沿った断面のポテンシャル
図である。
図である。
【図６】フレームレートの高速化モードでのタイミング
チャートである。
チャートである。
【図７】フレームレートの高速化モードの動作説明図
（その１）である。
（その１）である。
【図８】フレームレートの高速化モードの動作説明図
（その２）である。
（その２）である。
【図９】フレームレートの高速化モードの動作説明図
（その３）である。
（その３）である。
【図１０】垂直出力ゲート部の第２具体例を示す要部の
平面パターン図である。
平面パターン図である。
【図１１】図１０のII−II′線に沿った断面のポテンシ
ャル図である。
ャル図である。
【図１２】垂直出力ゲート部の第３具体例を示す要部の
平面パターン図である。
平面パターン図である。
【図１３】図１２のIII−III′線に沿った断面のポテン
シャル図である。
シャル図である。
【図１４】垂直出力ゲート部の第４具体例を示す要部の
平面パターン図である。
平面パターン図である。
【図１５】図１４のIV−IV′線に沿った断面のポテンシ
ャル図である。
ャル図である。
【図１６】垂直出力ゲート部の第５具体例を示す要部の
平面パターン図である。
平面パターン図である。
【図１７】垂直出力ゲート部の第６具体例を示す要部の
平面パターン図である。
平面パターン図である。
【図１８】図１７のＶ−Ｖ′線に沿った断面のポテンシ
ャル図である。
ャル図である。
【図１９】本発明に係るカメラシステムの一例を示す概
略構成図である。
略構成図である。
１０…ＣＣＤ撮像素子、１１…センサ部、１２…垂直Ｃ
ＣＤ、１３…水平ＣＣＤ、１４…ホールドゲート部、１
５…電荷検出部、２５…ホールド電極、２６，２６′…
ストレージ電極、２７…電荷排出部、２８…オーバーフ
ロードレイン、２９…オーバーフローバリア、３２…Ｃ
ＣＤ駆動回路、３３…動作モード設定部
ＣＤ、１３…水平ＣＣＤ、１４…ホールドゲート部、１
５…電荷検出部、２５…ホールド電極、２６，２６′…
ストレージ電極、２７…電荷排出部、２８…オーバーフ
ロードレイン、２９…オーバーフローバリア、３２…Ｃ
ＣＤ駆動回路、３３…動作モード設定部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4M118 AA10 AB01 BA13 CA03 DA11 DB06 DB08 DB09 DD04 DD08 DD12 FA06 GC09 GC14 5C024 AA01 CA16 CA23 DA01 EA08 FA01 FA11 GA16 GA43 GA48 JA11 JA21 5C065 AA01 AA03 BB34 CC01 DD07 DD10 EE05 EE07 EE10
Claims (8)
- 【請求項１】 少なくとも水平方向において同一色が所
定画素数ごとに繰り返して配置されるカラーコーディン
グのカラーフィルタを有する固体撮像素子であって、 垂直転送部と水平転送部との間に前記カラーコーディン
グの繰り返し画素数を単位としてその繰り返し画素数お
きに設けられて、前記垂直転送部から前記水平転送部へ
の信号電荷の転送を選択的に阻止するホールドゲート部
を備えたことを特徴とする固体撮像素子。 - 【請求項２】 前記ホールドゲート部は、水平転送部の
前記ホールドゲート部に隣接する転送段に信号電荷が位
置するとき転送阻止を解除することを特徴とする請求項
１記載の固体撮像素子。 - 【請求項３】 前記ホールドゲート部に隣接して設けら
れ、前記ホールドゲート部で転送阻止された信号電荷が
所定量を越えたときにその越えた分の信号電荷を排出す
る電荷排出部を有することを特徴とする請求項１記載の
固体撮像素子。 - 【請求項４】 前記ホールドゲート部は、転送阻止時に
低レベルの電圧が与えられるホールド電極と、所定の直
流電圧によってバイアスされたストレージ電極とを有
し、前記ホールド電極の下のポテンシャルバリアによっ
て転送阻止した信号電荷を前記ストレージ電極の下に蓄
積することを特徴とする請求項１記載の固体撮像素子。 - 【請求項５】 前記ストレージ電極は、前記垂直転送部
のゲート電極と同じパターン形状で形成されていること
を特徴とする請求項４記載の固体撮像素子。 - 【請求項６】 前記ストレージ電極は、前記水平転送部
のトランスファ部のゲート電極と一体に形成されている
ことを特徴とする請求項５記載の固体撮像素子。 - 【請求項７】 少なくとも水平方向において同一色が所
定画素数ごとに繰り返して配置されるカラーコーディン
グのカラーフィルタを有するとともに、垂直転送部と水
平転送部との間に前記カラーコーディングの繰り返し画
素数を単位としてその繰り返し画素数おきに設けられ
て、前記垂直転送部から前記水平転送部への信号電荷の
転送を選択的に阻止するホールドゲート部を備えた固体
撮像素子において、 各画素の信号電荷を前記垂直転送部へ読み出した後、前
記ホールドゲート部を転送阻止状態にして前記垂直転送
部から前記水平転送部への１ライン分の信号電荷の転送
動作を行い、 次いで前記水平転送部を前記繰り返し画素数に対応する
段数だけ転送させ、 しかる後前記ホールドゲート部を転送状態としてそれま
で転送阻止していた信号電荷を前記水平転送部へ転送す
ることを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。 - 【請求項８】 少なくとも水平方向において同一色が所
定画素数ごとに繰り返して配置されるカラーコーディン
グのカラーフィルタを有するとともに、垂直転送部と水
平転送部との間に前記カラーコーディングの繰り返し画
素数を単位としてその繰り返し画素数おきに設けられ
て、前記垂直転送部から前記水平転送部への信号電荷の
転送を選択的に阻止するホールドゲート部を備えた固体
撮像素子と、 前記固体撮像素子の通常の撮像動作を実現する通常モー
ドと、フレームレートの高速化動作を実現する高速化モ
ードとを択一的に設定可能な動作モード設定手段と、 前記動作モード設定手段によって設定された動作モード
に応じて前記固体撮像素子を駆動する駆動手段とを備え
たことを特徴とするカメラシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30999198A JP4178621B2 (ja) | 1998-10-30 | 1998-10-30 | 固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30999198A JP4178621B2 (ja) | 1998-10-30 | 1998-10-30 | 固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステム |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000138943A true JP2000138943A (ja) | 2000-05-16 |
| JP2000138943A5 JP2000138943A5 (ja) | 2005-10-27 |
| JP4178621B2 JP4178621B2 (ja) | 2008-11-12 |
Family
ID=17999832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30999198A Expired - Fee Related JP4178621B2 (ja) | 1998-10-30 | 1998-10-30 | 固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステム |
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|---|---|
| JP (1) | JP4178621B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002152598A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-24 | Sony Corp | 固体撮像装置及び固体撮像素子の駆動方法 |
| JP2006094285A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Sharp Corp | 固体撮像装置およびその駆動方法 |
| EP1655952A2 (en) * | 2004-10-29 | 2006-05-10 | Sony Corporation | Solid-state imaging device, method for driving solid-state imaging device, and imaging apparatus |
| JP2007221403A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Sony Corp | 電荷転送部の駆動回路、駆動方法および電荷転送システム |
| US7738022B2 (en) | 2006-01-13 | 2010-06-15 | Sony Corporation | Transfer pulse generator circuit and image pickup apparatus |
| US7750964B2 (en) | 2005-09-30 | 2010-07-06 | Sony Corporation | Method and apparatus for driving a semiconductor device including driving of signal charges within and outside an effective transfer period |
| US7817200B2 (en) | 2006-02-15 | 2010-10-19 | Sony Corporation | Solid-state image-capturing device, driving method thereof, camera, electric charge transfer device, driving method and driving device for driving load, and electronic equipment |
| US7995128B2 (en) | 2007-04-24 | 2011-08-09 | Sony Corporation | Charge-coupled apparatus and device incorporating a transfer pulse supplying circuit for driving a vertical transfer unit |
-
1998
- 1998-10-30 JP JP30999198A patent/JP4178621B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US8009218B2 (en) | 2005-09-30 | 2011-08-30 | Sony Corporation | Method for driving semiconductor device having capacitive load, method and apparatus for driving load, and electronic apparatus |
| US7738022B2 (en) | 2006-01-13 | 2010-06-15 | Sony Corporation | Transfer pulse generator circuit and image pickup apparatus |
| US7956920B2 (en) | 2006-01-13 | 2011-06-07 | Sony Corporation | Transfer pulse generator circuit and image pickup apparatus |
| US7944489B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-05-17 | Sony Corporation | Solid-state image-capturing device, driving method thereof, camera electric charge transfer device, driving method and driving device for driving load, and electronic equipment |
| US7817200B2 (en) | 2006-02-15 | 2010-10-19 | Sony Corporation | Solid-state image-capturing device, driving method thereof, camera, electric charge transfer device, driving method and driving device for driving load, and electronic equipment |
| US8031252B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-10-04 | Sony Corporation | Solid-state image capturing device, driving method thereof, camera, electric charge transfer device, driving method and driving device for driving load, and electronic equipment |
| JP4670675B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2011-04-13 | ソニー株式会社 | 電荷転送部の駆動回路及び電荷転送部の駆動方法 |
| US8130307B2 (en) | 2006-02-16 | 2012-03-06 | Sony Corporation | Drive circuit and driving method for charge transfer unit and charge transfer system |
| JP2007221403A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Sony Corp | 電荷転送部の駆動回路、駆動方法および電荷転送システム |
| US7995128B2 (en) | 2007-04-24 | 2011-08-09 | Sony Corporation | Charge-coupled apparatus and device incorporating a transfer pulse supplying circuit for driving a vertical transfer unit |
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