JP2001053267A - 固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステム - Google Patents

固体撮像素子およびその駆動方法並びにカメラシステム

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JP2001053267A
JP2001053267A JP11229569A JP22956999A JP2001053267A JP 2001053267 A JP2001053267 A JP 2001053267A JP 11229569 A JP11229569 A JP 11229569A JP 22956999 A JP22956999 A JP 22956999A JP 2001053267 A JP2001053267 A JP 2001053267A
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Isao Hirota
功 広田
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Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 センサ部から垂直CCDへ信号電荷を読み出
す段階でライン間引きを行う構成をとった場合は、予め
決められた特定の間引き率しか実現できなく、したがっ
て垂直圧縮率を任意に設定できない。 【解決手段】 垂直CCD13と水平CCD15との間
のVH転送部に、ホールドゲート電極24、ストレージ
ゲート電極23およびオーバーフロードレイン26を設
けて電荷排出制御部17を構成し、制御電圧であるドレ
イン電圧VφDrainによってオーバーフロードレイ
ン26を電圧変調することで、電荷排出制御部17に転
送されてきた信号電荷をライン単位で掃き出し、ライン
間引きによる垂直圧縮を実行する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子およ
びその駆動方法並びにカメラシステムに関し、特に垂直
方向の画素情報を間引く垂直圧縮が可能な固体撮像素子
およびその駆動方法、並びに当該固体撮像素子を撮像デ
バイスとして用いたカメラシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】デジタルスチルカメラ(DSC)では、
撮像デバイスとして例えば、全画素の信号電荷を同時刻
に一斉に垂直転送部に読み出し、かつ当該垂直転送部中
で混合せずに独立に転送して出力するいわゆる全画素読
み出し方式の固体撮像素子、例えばCCD(Charge Coup
led Device) 型撮像素子が用いられている。また、DS
C用CCD型撮像素子では、高画質の静止画の撮像を目
的として多画素化が進められている。
【0003】ところで、デジタルスチルカメラの場合、
撮像時にピントを合わせたり、撮像時のカメラアングル
を調整するためには、撮像中の画像をモニタリングする
必要がある。そのために、デジタルスチルカメラには、
一般的に、撮像画像を写し出すモニタ、例えば液晶TV
モニタが装備されている。この液晶TVモニタに対し
て、特に多画素のCCD型撮像素子の撮像画像を写し出
すためには、フレームレートを上げる必要がある。
【0004】そのために、全画素読み出し方式の多画素
CCD型撮像素子では、従来、一部のライン(行)の信
号電荷を画素から垂直転送部に読み出さない(以下、こ
れを間引き読み出しと称す)ことで、垂直方向の画素情
報の情報量を低減し、高フレームレート化を実現してい
た。すなわち、デジタルスチルカメラでは、高フレーム
レート化のための一手法として、間引き読み出しの技術
を用いていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】このように、間引き読
み出しが可能なCCD型撮像素子において、間引きの対
象となるライン(行)の画素に着目すると、モニタリン
グモードでは間引きの対象となるが、通常の静止画モー
ドでは他のラインの画素と同様に信号電荷の読み出しが
行われるため、信号電荷を読み出すラインでは動作モー
ドに拘らずその駆動形態は同じであるのに対して、間引
きの対象となるラインではモニタリングモードと静止画
モードとでその駆動形態が異なる。
【0006】したがって、間引き読み出しが可能な従来
のCCD型撮像素子では、信号電荷を読み出すライン用
と間引き対象のライン用の2系統の駆動系(駆動パル
ス、駆動端子、配線など)を用意する必要があり、しか
も一度設定した駆動系は以降変更できず、ハード的に固
定となるため、予め決められた特定の間引き率しか実現
できなく、したがって垂直圧縮率を任意に設定すること
ができなかった。
【0007】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、垂直方向の圧縮率を
任意に設定可能な固体撮像素子およびその駆動方法並び
にカメラシステムを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
た、本発明では、行列状に配置されて光電変換を行う複
数のセンサ部と、これらセンサ部から読み出された信号
電荷を垂直転送する垂直転送部と、この垂直転送部から
移送された信号電荷を水平転送する水平転送部とを具備
する固体撮像素子において、垂直転送部から水平転送部
への信号電荷の転送を行単位で選択的に阻止しかつ排出
する構成を採っている。また、本発明によるカメラシス
テムは、上記構成の固体撮像素子を撮像デバイスして用
いた構成となっている。
【0009】上記構成の固体撮像素子およびこれを撮像
デバイスとして用いたカメラシステムにおいて、垂直転
送部から水平転送部へ信号電荷を転送する過程で、行単
位で信号電荷を排出することにより、センサ部から信号
電荷を読み出す際に信号電荷の間引き読み出しを行わな
くても、垂直方向における行(ライン)単位での間引
き、即ち垂直圧縮(以下、これをライン間引き圧縮と称
す)を実現できる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の一
実施形態に係る全画素読み出し方式CCD型撮像素子を
示す概略構成図である。本実施形態に係る全画素読み出
し方式CCD型撮像素子は、全画素読み出しモードの他
に、垂直方向において画素情報を間引く処理を行うライ
ン間引き圧縮モードをとり得るものとする。
【0011】図1において、撮像部(撮像エリア)11
は、半導体基板上に行列状に配置された複数個のセンサ
部(画素)12と、これらセンサ部12の垂直列ごとに
その配列方向に沿って設けられた複数本の垂直(V)C
CD(垂直転送部)13と、各センサ部12から垂直C
CD13へ信号電荷を読み出す読み出しゲート部14と
を有する構成となっている。
【0012】この撮像部11において、センサ部12は
例えばPN接合のフォトダイオードからなり、入射光を
その光量に応じた電荷量の信号電荷に変換して蓄積す
る。垂直CCD13は、例えば4相の垂直転送クロック
Vφ1〜Vφ4によって転送駆動され、読み出しゲート
部14を通して各センサ部12から読み出された信号電
荷を混合することなく、ライン(行)単位で順に垂直転
送する(以下、これをラインシフトと称す)。
【0013】撮像部11の下側には、垂直CCD13か
らラインシフトされる信号電荷を水平転送する水平
(H)CCD15が配置されている。水平CCD15
は、例えば2相の水平転送クロックHφ1,Hφ2によ
って転送駆動される。水平CCD15の転送先側の端部
には、例えばフローティング・ディフュージョン・アン
プからなる電荷電圧変換部16が配されている。
【0014】また、複数本の垂直CCD13と水平CC
D14との間のVH転送部には、垂直CCD13から水
平CCD15への信号電荷の転送をライン単位で選択的
に阻止しかつ排出する電荷排出制御部17が設けられて
いる。この電荷排出制御部17は、通常撮像モード、即
ち静止画モードでは、複数本の垂直CCD13から1ラ
インずつ送り込まれる信号電荷をそのまま水平CCD1
5へ転送する一方、ライン間引き圧縮モード(例えば、
モニタリングモード)では、複数本の垂直CCD13か
ら送り込まれる所定ラインの信号電荷についてその転送
を阻止しかつ排出する。
【0015】以下、この電荷排出制御部17の構成につ
いて詳細に説明する。図2は、電荷排出制御部17の具
体的な構成の第1例を示す平面パターン図であり、その
周辺部を含んで示している。
【0016】先ず、垂直CCD13は、信号電荷を転送
する転送チャネル21と、この転送チャネル21の上方
にその転送方向にオーバーラップした状態で繰り返して
配列された4相の転送電極22-1〜22-4とを有する構
成となっている。これら転送電極22-1〜22-4におい
て、2相目の転送電極22-2と4相目の転送電極22-4
が1層目のポリシリコン(図中、一点鎖線で示す)によ
って形成され、1相目の転送電極22-1と3相目の転送
電極22-3が2層目のポリシリコン(図中、二点鎖線で
示す)によって形成された2層電極構造となっている。
【0017】電荷排出制御部17は、転送チャネル21
の上方にその転送方向にオーバーラップした状態で順に
配列されたストレージゲート電極23およびホールドゲ
ート電極24を有している。これらゲート電極23,2
4のうち、ストレージゲート電極23は2層目のポリシ
リコン(図中、二点鎖線で示す)によって形成され、ホ
ールドゲート電極24は1層目のポリシリコン(図中、
一点鎖線で示す)によって形成されている。そして、ス
トレージゲート電極23には所定の直流電圧がストレー
ジゲート電圧VStrageとして印加され、ホールド
電極24にはホールドゲート電圧VφHoldが制御電
圧として印加される。
【0018】また、転送チャネル21,21間の領域1
5の各々においては、ストレージゲート電極23および
ホールドゲート電極24がオーバーラップしておらず、
領域25の各々には電荷排出部であるオーバーフロード
レイン(OFD)26が形成されている。これらオーバ
ーフロードレイン26には、パターン配線(図中、点線
で示す)を通してドレイン電圧VφDrainが印加さ
れる。
【0019】そして、転送チャネル21と領域25との
間で、かつストレージゲート電極23の下の部分(図
中、ハッチング部分)が、転送チャネル21中の信号電
荷をオーバーフロードレイン26へ選択的に排出するた
めのオーバーフローバリア(OFB)27となってい
る。
【0020】水平CCD15は、垂直CCD13の転送
チャネル21に連続する転送チャネル28と、この転送
チャネル28の上方にその転送方向にオーバーラップし
た状態で繰り返して配列された転送電極29および蓄積
電極30の電極対とを有する構成となっている。そし
て、転送電極29が2層目のポリシリコン(図中、二点
鎖線で示す)によって形成され、蓄積電極30が1層目
のポリシリコン(図中、一点鎖線で示す)によって形成
された2層電極構造となっている。
【0021】この水平CCD15において、繰り返し配
列された電極対(転送電極29および蓄積電極30)に
は、水平転送クロックHφ1,Hφ2が交互に印加され
る。また、垂直CCD13の転送チャネル21の延長線
上に位置する転送電極29の端部29Aは、電荷排出制
御部17のホールドゲート電極24まで延在しかつこの
ホールドゲート電極24とオーバーラップするように形
成されている。
【0022】次に、上記構成の電荷排出制御部17の各
撮像モードごとの動作について、図3および図4のポテ
ンシャル動作図を用いて説明する。図3は図2のA‐
A′線断面(転送方向の断面)のポテンシャル図であ
り、図4は図2のB‐B′線断面(掃き出しドレイン部
の断面)のポテンシャル図である。
【0023】先ず、通常撮像モードでの通常転送時の動
作について、図5のタイミングチャートを用いて説明す
る。このタイミングチャートから明らかなように、通常
転送時には、ホールドゲート電極24に“H”レベルの
ホールドゲート電圧VφHoldが印加され、オーバー
フロードレイン26(OFD)に“L”レベルのドレイ
ン電圧VφDrainが印加される。
【0024】これにより、オーバーフローバリア27の
ポテンシャルがストレージゲート電極23下の転送チャ
ネル21のポテンシャルよりも浅い状態となる。また、
ホールドゲート電極24の下のポテンシャルが深くな
り、よって転送チャネル21中を転送される信号電荷が
ホールドゲート電極24の下を通過可能な状態となる。
この状態において、4相の垂直転送クロックVφ1〜V
φ4によって垂直CCD13が転送駆動されることによ
り、センサ部12から垂直CCD13に読み出された信
号電荷がライン単位(行単位)で水平CCD15へ移送
(ラインシフト)される。
【0025】水平CCD15へシフトされた1ライン分
の信号電荷は、2相の水平転送クロックHφ1,Hφ2
によって水平CCD15が転送駆動されることにより、
順次電荷電圧変換部16へ転送され、ここで信号電圧に
変換されて出力される。以上のラインシフトおよび水平
転送の繰り返しにより、全画素の信号電荷が撮像部11
から読み出され、CCD出力として導出される。
【0026】ここでは、通常転送時の動作として、通常
撮像モードでの転送動作を例にとって説明したが、以下
に説明するライン間引き圧縮モードにおいて、間引き対
象となるライン以外、即ち読み出し対象のラインのライ
ンの転送動作についても全く同じ転送動作が行われる。
【0027】続いて、ライン間引き圧縮モードでのライ
ンリセット時の動作について、図6のタイミングチャー
トを用いて説明する。なお、図4のポテンシャル図にお
いて、(A)は期間T0のポテンシャルを、(B)は期
間T1のポテンシャルをそれぞれ示している。
【0028】先ず、間引き対象ラインである特定ライン
の1ライン前の信号電荷について、上述したラインシフ
トおよび水平転送が終了した時点で、ホールドゲート電
圧VφHoldが“H”レベルから“L”レベルに遷移
し、ドレイン電圧VφDrainが“L”レベルから
“H”レベルに遷移する。これにより、オーバーフロー
ドレイン26のポテンシャルが深い状態となる。このと
き、ドレイン電圧VφDrainによる電圧変調によ
り、オーバーフローバリア(OFB)27のポテンシャ
ルが、転送チャネル21のポテンシャルよりも深くな
る。
【0029】また、ホールドゲート電極24の下のポテ
ンシャルが浅くなり、このポテンシャルバリアによって
転送チャネル21中を転送される信号電荷の水平CCD
15への転送が阻止される状態となる。この状態におい
て、4相の垂直転送クロックVφ1〜Vφ4による垂直
CCD13の転送駆動より、特定ラインの信号電荷につ
いてラインシフトが行われる。このラインシフト後の期
間T1では、ストレージゲート電極23の下に転送され
た信号電荷は、ホールドゲート電極24の下のポテンシ
ャルバリアによって水平CCD15への転送が阻止され
る。
【0030】このとき、図4(B)のポテンシャル図か
ら明らかなように、オーバーフローバリア27のポテン
シャルが転送チャネル21のポテンシャルよりも深く、
さらにオーバーフロードレイン26のポテンシャルがオ
ーバーフローバリア27のポテンシャルよりも深いこと
から、ストレージゲート電極23の下に転送された信号
電荷は、オーバーフローバリア27を通してオーバーフ
ロードレイン26へ完全に掃き出される。これが、特定
ラインの信号電荷を完全に排出するラインリセット動作
となる。
【0031】特定ラインについてのラインリセット動作
が終了すると、再びラインシフト期間T2に入り、ホー
ルドゲート電圧VφHoldが“L”レベルから“H”
レベルに遷移し、ドレイン電圧VφDrainが“H”
レベルから“L”レベルに遷移する。そして、先述した
通常転送時のラインシフトおよび水平転送の各動作が繰
り返して実行される。
【0032】上述したように、垂直CCD13と水平C
CD15との間のVH転送部に、ホールドゲート電極2
4、ストレージゲート電極23およびオーバーフロード
レイン26を設けて電荷排出制御部17を構成し、制御
電圧であるドレイン電圧VφDrainによってオーバ
ーフロードレイン26を電圧変調するようにしたことに
より、電荷排出制御部17に転送されてきた信号電荷を
ライン単位で完全に掃き出すことができる。
【0033】間引きラインシフトT1を所望の回数繰り
返した後、ラインシフトT2を行うことで、任意のライ
ンの信号電荷を簡単に間引くことができる。しかも、セ
ンサ部12から信号電荷を読み出す際に間引くのではな
く、VH転送部におけるライン単位での完全掃き出しに
よって間引くようにしていることから、ドレイン電圧V
φDrainおよびホールドゲート電圧VφHoldの
タイミング制御のみによってライン間引き動作を実現で
きる。したがって、ライン間引きによる垂直圧縮の圧縮
率を任意に設定できるため、任意のフレームレートを実
現できる。
【0034】図7は、電荷排出制御部17の具体的な構
成の第2例を示す平面パターン図である。
【0035】本例に係る電荷排出制御部17において
も、転送チャネル21の上方にその転送方向にオーバー
ラップした状態で順に配列されたストレージゲート電極
23およびホールドゲート電極24を有するとともに、
転送チャネル21,21間の領域15の各々にオーバー
フロードレイン26が形成されている点では、第1例の
場合と同じである。
【0036】構成上異なるのは、第1例の場合には、ス
トレージゲート電極23に所定の直流電圧をストレージ
ゲート電圧VStrageとして印加するようにしてい
るのに対して、本例では、パターン配線(図中、点線で
示す)を通してストレージゲート電極23にもオーバー
フロードレイン26と同じドレイン電圧VφDrain
を印加するようにしている点である。
【0037】このように、ストレージゲート電極23お
よびオーバーフロードレイン26を同電位に設定し、制
御電圧であるドレイン電圧VφDrainによってオー
バーフロードレイン26を変調すると同時に、ストレー
ジゲート電極23の下のオーバーフローバリア27も変
調するようにしたことより、図8のポテンシャル動作図
から明らかなように、第1例の場合と同様に、電荷排出
部17に転送されてきた信号電荷をライン単位で完全に
掃き出すことができる。
【0038】なお、図8は図7のC‐C′線断面のポテ
ンシャル動作図であり、(A)は図6のタイミングチャ
ートにおける期間T0のポテンシャルを、(B)は期間
T1のポテンシャルをそれぞれ示している。
【0039】本例に係る電荷排出制御部17の構成の場
合には、オーバーフロードレイン26と同時にストレー
ジゲート電極23に対してもコンタクトをとれることか
ら、オーバーフロードレイン26のコンタクトとストレ
ージゲート電極23との間に合わせズレの領域を確保す
る必要がなくなるという利点がある。
【0040】また、ストレージゲート電極23の下の転
送方向のチャネル長を意図的に短くすることで、その上
流および下流に隣接する転送電極22-4およびホールド
ゲート電極24の下の転送チャネルの変調を利用してス
トレージゲート電極23の下の転送チャネルのポテンシ
ャルを、オーバーフローバリア27のポテンシャルより
も浅くできるため、ラインリセットを完全に行うことが
できる。この構造は、パターンの微細化に最適な構造と
なる。
【0041】なお、以上説明した各例では、オーバーフ
ロードレイン26を1本の転送チャネル21に対してそ
の両側に配置し、1本の転送チャネル21によって転送
される信号電荷を両側のオーバーフロードレイン26,
26に掃き出す構成をとっているが、必ずしもこの構成
に限られるものではない。
【0042】すなわち、オーバーフロードレイン26の
左右にオーバーフローバリア27を設けることができる
ので、図9に示すように、オーバーフロードレイン26
を2本の転送チャネル21,21に対して1個、即ち水
平1画素おきに配置する構成を採ることも可能である。
ここでは、第1例への適用例を示したが、第2例にも同
様に適用可能であることは言うまでもない。
【0043】また、転送チャネル21の形状を工夫する
ことにより、即ち図10に示すように、オーバーフロー
ドレイン26を配置する部分で、転送チャネル21を屈
曲させた形状に形成することにより、転送チャネル2
1,21間の非常に狭い領域にオーバーフロードレイン
26を配置するに当たって、オーバーフロードレイン2
6のパターンレイアウトをラフに設計できるようにな
る。
【0044】図11は、本実施形態に係るCCD撮像素
子を撮像デバイスとして用いた本発明に係るカメラシス
テムの構成の一例を示すブロック図である。
【0045】本カメラシステムは、CCD型撮像素子3
1、光学系の一部を構成するレンズ32、CCD型撮像
素子31を駆動するCCD駆動回路33、撮像モードを
設定する撮像モード設定部34およびCCD型撮像素子
31の出力信号に対して各種の信号処理をなす信号処理
回路35を有する構成となっている。
【0046】かかる構成のカメラシステムにおいて、被
写体(図示せず)からの入射光(像光)は、光学系のレ
ンズ32によってCCD型撮像素子31の撮像面上に結
像される。CCD型撮像素子31としては、静止画撮像
に対応した多画素のものが用いられる。このCCD型撮
像素子31は、CCD駆動回路33により、撮像モード
設定部34で設定された撮像モードに応じて駆動され
る。
【0047】CCD駆動回路33からは、図1において
説明した垂直転送クロックVφ1〜Vφ4、水平転送ク
ロックHφ1,Hφ2、ドレイン電圧VφDrain、
ホールドゲート電圧VφHold等の各種の駆動信号が
出力され、これら駆動信号に基づいて、センサ部12か
らの信号電荷の読み出し、垂直CCD13での垂直転
送、水平CCD15での水平転送、電荷排出制御部17
での信号電荷のライン単位での間引き等の処理が行われ
る。
【0048】ここで、撮像モード設定部34では、静止
画を得る静止画モードと、撮像中の画像を例えば液晶T
Vモニタ(図示せず)に動画として写し出すモニタリン
グモードとのモード設定が可能となっている。CCD駆
動回路33は、撮像モード設定部34で静止画モードが
設定されたときには、CCD型撮像素子31を全画素読
み出し駆動、即ち全画素からの信号電荷の読み出し、垂
直転送および水平転送の各駆動を行う。
【0049】CCD駆動回路33はさらに、撮像モード
設定部34でモニタリングモードが設定されたときに
は、フレームレートを上げるべく、ライン間引きによる
垂直圧縮を実現するようにCCD型撮像素子31を駆動
する。ここで、簡単のために、一例として1/2の垂直
圧縮を行う場合を考えると、CCD駆動回路33は、図
6のタイミングチャートに示したように、“L”レベル
のホールドゲート電圧VφHoldおよび“H”レベル
のドレイン電圧VφDrainを毎ライン出力すること
で、1ラインおきのライン間引きを行う。
【0050】このことから明らかなように、ホールドゲ
ート電圧VφHoldおよびドレイン電圧VφDrai
nのタイミングを制御するだけで、任意のライン間引き
を実現できる。したがって、撮像モード設定部34から
垂直圧縮率をも設定できるようにする一方、CCD駆動
回路33ではその設定された垂直圧縮率に応じたライン
間引きのタイミングで“L”レベルのホールドゲート電
圧VφHoldおよび“H”レベルのドレイン電圧Vφ
Drainを出力する構成とすることで、ライン間引き
による垂直圧縮率を任意に設定可能となる。
【0051】なお、ここでは、モニタリングモード設定
時のライン間引きの場合を例にとって説明したが、静止
画用多画素のCCD型撮像素子31からNTSCやPA
L等のテレビジョン方式へのダウンコンバージョンを行
う際にも、そのライン間引き処理によって垂直圧縮を行
うことで高フレームレート化が実現できる。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
垂直転送部から水平転送部への信号電荷の転送を行単位
で選択的に阻止しかつ排出する構成とし、垂直転送部か
ら水平転送部へ信号電荷を転送する過程でライン単位で
信号電荷を排出することで、センサ部から信号電荷を読
み出す際に信号電荷の間引き読み出しを行わなくても、
垂直方向におけるライン単位での間引きを簡単に実現で
きるため、タイミング制御のみによって垂直圧縮率を任
意に設定できることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る全画素読み出し方式
CCD型撮像素子を示す概略構成図である。
【図2】電荷排出制御部の具体的な構成の第1例を示す
平面パターン図である。
【図3】第1例に係る電荷排出制御部のポテンシャル動
作図であり、図2のA‐A′線断面のポテンシャル分布
を示している。
【図4】第1例に係る電荷排出制御部のポテンシャル動
作図であり、図2のB‐B′線断面のポテンシャル分布
を示している。
【図5】通常転送時の動作説明のためのタイミングチャ
ートである。
【図6】ラインリセット時の動作説明のためのタイミン
グチャートである。
【図7】電荷排出制御部の具体的な構成の第2例を示す
平面パターン図である。
【図8】第2例に係る電荷排出制御部のポテンシャル動
作図であり、図7のC‐C′線断面のポテンシャル分布
を示している。
【図9】電荷排出制御部の具体的な構成の変形例を示す
平面パターン図である。
【図10】電荷排出制御部の具体的な構成の他の変形例
を示す平面パターン図である。
【図11】本発明に係るカメラシステムの構成の一例を
示すブロック図ある。
【符号の説明】
12…センサ部、13…垂直CCD、15…水平CC
D、17…電荷排出制御部、21,28…転送チャネ
ル、22-1〜22-4…転送電極、23…ストレージゲー
ト電極、24…ホールドゲート電極、26…オーバーフ
ロードレイン(OFD)、27…オーバーフローバリア
(OFB)、31…CCD型撮像素子、33…CCD駆
動回路、34…撮像モード設定部、35…信号処理回路

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行列状に配置されて光電変換を行う複数
    のセンサ部と、 前記センサ部から読み出された信号電荷を垂直転送する
    垂直転送部と、 前記垂直転送部から移送された信号電荷を水平転送する
    水平転送部と、 前記垂直転送部から前記水平転送部への信号電荷の転送
    を行単位で選択的に阻止しかつ排出する電荷排出制御部
    とを備えたことを特徴とする固体撮像素子。
  2. 【請求項2】 前記電荷排出制御部は、前記垂直転送部
    と前記水平転送部との間に設けられて信号電荷の転送を
    選択的に阻止するホールドゲート部と、前記垂直転送部
    から前記水平転送部への転送チャネルにおいて前記ホー
    ルドゲート部によって転送阻止された信号電荷を蓄積す
    る電荷蓄積部と、前記電荷蓄積部に隣接して設けられ、
    制御電圧が印加されることによって前記電荷蓄積部に蓄
    積された信号電荷を排出する電荷排出部とを有すること
    を特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
  3. 【請求項3】 前記電荷蓄積部および前記電荷排出部の
    各電位が同電位に設定されており、 前記制御電圧が前記電荷蓄積部および前記電荷排出部に
    同時に印加されることを特徴とする請求項2記載の固体
    撮像素子。
  4. 【請求項4】 行列状に配置されて光電変換を行う複数
    のセンサ部と、前記センサ部から読み出された信号電荷
    を垂直転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から移送
    された信号電荷を水平転送する水平転送部とを備えた固
    体撮像素子において、 前記垂直転送部から前記水平転送部へ信号電荷を転送す
    る際に、その転送を行単位で選択的に阻止しかつ排出す
    ることを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
  5. 【請求項5】 行列状に配置されて光電変換を行う複数
    のセンサ部、前記センサ部から読み出された信号電荷を
    垂直転送する垂直転送部、前記垂直転送部から移送され
    た信号電荷を水平転送する水平転送部および前記垂直転
    送部から前記水平転送部への信号電荷の転送を行単位で
    選択的に阻止しかつ排出する電荷排出制御部を有する固
    体撮像素子と、 通常撮像モードと間引き読み出しモードとを択一的に設
    定可能な撮像モード設定手段と、 前記撮像モード設定手段による前記間引き読み出しモー
    ドの設定時に、行単位での信号電荷の排出動作を行うべ
    く前記電荷排出制御部を駆動する駆動手段とを備えたこ
    とを特徴とするカメラシステム。
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