JP2000307961A - 固体撮像装置およびその駆動方法並びにカメラシステム - Google Patents

固体撮像装置およびその駆動方法並びにカメラシステム

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JP2000307961A JP11109477A JP10947799A JP2000307961A JP 2000307961 A JP2000307961 A JP 2000307961A JP 11109477 A JP11109477 A JP 11109477A JP 10947799 A JP10947799 A JP 10947799A JP 2000307961 A JP2000307961 A JP 2000307961A
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    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 水平転送部内で例えば2ライン分の信号電荷
の加算を行う場合、限られた水平ブランキング期間内に
2ライン分の信号電荷のライン転送を行うためには、そ
の転送速度を2倍に上げる必要がある。 【解決手段】 フレーム読み出しモードと加算読み出し
モードの2つの動作モードをとり得るCCD撮像素子1
0を備えた固体撮像装置またはカメラシステムにおい
て、加算読み出しモードの設定時に、センサ部11から
読み出した信号電荷を垂直転送部13内で例えば2画素
分を加算した後垂直転送するとともに、加算読み出しモ
ード時のセンサ部11の飽和信号電荷量をフレーム読み
出しモード時の約1/2に設定するように、これに対応
した電圧値の基板バイアスVsub2を基板バイアス発
生回路20で生成し、これを半導体基板18に印加す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像装置およ
びその駆動方法並びにカメラシステムに関し、特に電荷
転送部内において信号電荷の加算を行う構成の固体撮像
装置およびその駆動方法、並びに当該固体撮像装置を撮
像デバイスとして用いるカメラシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、固体撮像装置、特にCCD(Charg
e Coupled Device) 撮像素子を撮像デバイスとして用い
たデジタルスチルカメラが急速に普及しつつある。この
デジタルカメラにおいて、静止画を撮影する場合には解
像度を優先するため、全画素の信号電荷を同一時刻に一
斉に読み出し、かつ各画素の信号電荷を独立に転送する
いわゆる全画素読み出し方式、あるいは奇数ラインと偶
数ラインの各画素の信号電荷をフィールドごとに交互に
読み出し、かつ各画素の信号電荷を独立に転送するいわ
ゆるフレーム読み出し方式のCCD撮像素子が用いられ
る。
【0003】図24は、このフレーム読み出し動作の概
念図である。ここでは、一例として、原色2×2配列の
カラーフィルタを用いた場合を例に採って示している。
また、図25に4相の垂直転送クロックφV1〜φV4
の垂直同期タイミングを、図26に水平同期タイミング
をそれぞれ示している。
【0004】これに対して、オートフォーカス(AF)
制御、オートホワイトバランス(AWB)制御、自動露
光(AE)制御等の処理を行う際に、静止画と同様の動
作モードを使用すると、各種の自動制御装置の応答速度
の点で好ましくなく、特に高画素化したCCD撮像素子
を用いた場合には、より応答速度が遅くなる問題があ
る。また、撮影画像を液晶モニタ等でモニタリングする
場合にも、静止画と同様の動作モードを使用するとフレ
ームレートが遅いため、なめらかな動画を得ることがで
きないので好ましくない。
【0005】フレームレートを高くする一つの方法とし
て、CCD撮像素子の出力信号のデータレートを高くす
る方法が挙げられる。しかしながら、出力信号のデータ
レートを高くするためには、サンプリングレート変換器
を設ける必要が生じ、またクロック周波数が高くなるこ
とに伴って、消費電力が増大したり、使用部品のコスト
が上昇したり、さらにはS/Nが劣化するなどの新たな
問題が生じる。したがって、CCD撮像素子の出力信号
のデータレートを上げる方法を採用するのは好ましくな
い。
【0006】一方、画素から信号電荷を読み出すための
読み出しゲート部に対して、所定の繰り返し単位ごとに
読み出しパルスを印加して、一部のラインの画素の信号
電荷のみを垂直転送部へ読み出すことによって、出力す
るライン数を減らしてより高速の撮像信号を得る(即
ち、フレームレートを上げる)いわゆるライン間引き動
作がある。
【0007】図27は、このライン間引き動作の概念図
である。ここでは、一例として、原色2×2配列のカラ
ーフィルタを用い、垂直8画素中2画素のみの信号電荷
を読み出する場合を例に採って示している。また、図2
8に4相の垂直転送クロックφV1〜φV4の垂直同期
タイミングを、図29に水平同期タイミングをそれぞれ
示している。なお、ライン間引き動作では、1相目,3
相目の垂直転送クロックφV1,φV3については、2
系統のφV1A/φV1B,φV3A/φV3Bが発生
されることになる。
【0008】このライン間引き動作では、行方向(垂直
方向)において8画素を繰り返し単位とし、この8画素
のうちの2画素のみの信号電荷を読み出し、水平ブラン
キング期間内で2ライン分の垂直転送を行い、信号電荷
の存在するパケットと空のパケットを加算する。これに
より、先のフレーム読み出し動作に対して、出力ライン
数は1/4になるが、フレームレートを4倍に向上させ
ることができる。このとき、水平転送部内で2ライン分
の信号電荷を加算するが、信号電荷の存在するパケット
と空のパケットを加算するため、センサ部の飽和信号電
荷量はフレーム読み出し動作の場合と同等となる。
【0009】このライン間引き動作によれば、データレ
ートを高くせずに、より高速の撮像信号を得ることが可
能になる。しかしながら、このライン間引き動作を用い
た場合には、出力ライン数を間引いてしまうため、画質
が劣化したり、より画素数が多いCCD撮像素子では間
引くライン数を増やす必要が生じ、さら画質が劣化して
しまうという問題がある。
【0010】また、AF,AWB,AE等の各種自動制
御の処理を行う際、あるいは液晶モニタ等でのモニタリ
ングを行う際に、フレームレートを上げるための他の方
法として、ラインを間引くのではなく、垂直転送部内に
おいて信号電荷を画素間で加算(以下、画素加算と称
す)したり、あるいは水平転送部内において信号電荷を
ライン間で加算(以下、ライン加算と称す)したりする
方法もある。
【0011】この方法によれば、画素加算あるいはライ
ン加算を行うことによって出力ライン数を削減すること
になるため、ライン間引き動作のように出力されないラ
インの信号電荷を捨ててしまう場合よりも、画質を向上
できるとともに、感度を向上できるというメリットがあ
る。
【0012】その反面、垂直転送部中あるいは水平転送
部中の電荷量が、加算(混合)する画素数倍あるいはラ
イン数倍に増加することになり、画素が飽和またはそれ
に近い状態では、垂直転送部内あるいは水平転送部内で
信号電荷が溢れてしまうという問題がある。この問題を
解消するには、加算する画素数あるいはライン数倍の電
荷が取り扱えるように、垂直転送部あるいは水平転送部
を設計することが考えられるが、その場合には逆に垂直
あるいは水平転送クロックの駆動電圧を高くせざるを得
なくなり、その結果、消費電力の増大を招くことにな
る。
【0013】また、垂直転送部あるいは水平転送部につ
いて従来のままの設計では、センサ部(画素)の飽和信
号電荷量が画素加算を行うモードで決まってしまうた
め、画素加算あるいはライン加算を行わないで、各画素
の信号電荷を独立に転送するモードのセンサ部の飽和信
号電荷量は、加算する画素数をXとすると、約1/Xに
なってしまう。しかし、センサ部の飽和信号電荷量を減
少させることは、S/Nやダイナミックレンジ等の特性
を悪化させるため、特に画質優先の静止画撮像時のモー
ドで行うことは好ましくない。
【0014】上述したことを踏まえて、水平転送部でラ
イン加算を行うことを前提とし、モニタリングモード時
に、センサ部の飽和信号電荷量を静止画モード時の飽和
信号電荷量の約半分に設定することにより、ライン加算
を行うことに伴って水平転送部内で加算された信号電荷
が溢れるのを未然に防止するようにした固体撮像装置が
提案されている(例えば、特開平5−91417号公報
参照)。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術では、モニタリングモード時に、センサ部の飽
和信号電荷量を約半分に設定することで、ライン加算に
伴う水平転送部内での信号電荷の溢れを防止することは
できるが、ライン加算は水平ブランキング期間内におい
て垂直転送部から水平転送部へ2ライン分の信号電荷を
ライン転送することによって行われるため、次のような
問題が発生する。
【0016】すなわち、水平ブランキング期間は限られ
た期間であるために、この限られた水平ブランキング期
間内に2ライン分の信号電荷のライン転送を行うために
は、その転送速度を2倍に上げる必要がある。ライン転
送の転送速度を2倍に上げるということは、垂直転送部
を駆動する垂直転送クロックの周波数を2倍に上げるこ
とであり、その結果、垂直転送クロックの周波数が高く
なることに伴って、伝播遅延等によって垂直転送部中に
おける取り扱い電荷量が不足し、画素が飽和またはそれ
に近い状態では、信号電荷が溢れてしまったり、不要輻
射等の問題が発生することになる。
【0017】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、垂直転送クロックの
周波数を高くすることなく、電荷転送部内での信号電荷
の加算(混合)に伴う信号電荷の溢れを未然に防止でき
るようにした固体撮像装置およびその駆動方法並びにカ
メラシステムを提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、行列状に配列されて光電変換を行う複
数のセンサ部と、これらセンサ部から読み出された信号
電荷を垂直転送する垂直転送部と、この垂直転送部から
移された信号電荷を水平転送する水平転送部とを有する
固体撮像素子を備え、この固体撮像素子の動作モードと
して、複数のセンサ部から読み出された信号電荷を独立
に垂直転送する第1の動作モードと、垂直転送部中でn
画素(n≧2)分の信号電荷を加算して垂直転送する第
2の動作モードとを択一的に設定し、第2の動作モード
時には、センサ部の飽和信号電荷量を第1の動作モード
時の飽和信号電荷量の約1/nに設定するようにする。
【0019】上記の構成において、第2の動作モードで
は、垂直転送部中で例えば2画素分の信号電荷を加算し
て垂直転送することで、加算することなく独立に垂直転
送する第1の動作モードの場合に比べて、垂直転送クロ
ックの周波数を上げずに、出力ライン数を1/2にでき
る。その結果、フレームレートが第1の動作モードに対
して2倍となる。しかも、第2の動作モード時のセンサ
部の飽和信号電荷量を第1の動作モード時の飽和信号電
荷量の約1/2に設定することで、加算後の信号電荷量
が第1の動作モードで読み出された信号電荷量と等しく
なる。したがって、画素加算に伴って垂直転送部および
水平転送部で信号電荷が溢れるのを未然に防止できる。
【0020】本発明ではさらに、行列状に配列されて光
電変換を行う複数のセンサ部と、これらセンサ部から読
み出された信号電荷を垂直転送する垂直転送部と、この
垂直転送部から移された信号電荷を水平転送する水平転
送部とを有する固体撮像素子を備え、この固体撮像素子
の動作モードとして、複数のセンサ部から読み出された
信号電荷を独立に垂直転送する第1の動作モードと、複
数のセンサ部から所定の繰り返し単位の画素のみの信号
電荷を読み出した後、垂直転送部中および水平転送部中
の少なくとも一方でN画素(N≧2)分の信号電荷を加
算して転送する第2の動作モードとを択一的に設定し、
第2の動作モード時には、センサ部の飽和信号電荷量を
第1の動作モード時の飽和信号電荷量の約1/Nに設定
するようにする。
【0021】上記の構成において、第2の動作モードで
は、行方向において例えば4画素を繰り返し単位とし
て、そのうちの2画素の信号電荷を間引くとともに、読
み出した信号電荷を垂直転送部中および水平転送部中の
少なくとも一方で加算することで、加算することなく独
立に垂直転送する第1の動作モードの場合に比べて、出
力ライン数を1/4にできる。その結果、フレームレー
トが第1の動作モードに対して4倍となる。しかも、第
2の動作モード時のセンサ部の飽和信号電荷量を第1の
動作モード時の飽和信号電荷量の約1/2に設定するこ
とで、加算後の信号電荷量が第1の動作モードで読み出
された信号電荷量と等しくなる。したがって、画素加算
に伴って垂直転送部および水平転送部で信号電荷が溢れ
るのを未然に防止できる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発明の第
1実施形態に係る固体撮像装置を示す概略構成図であ
る。なお、本実施形態では、インターライン転送(I
T)方式のCCD撮像素子を用いた場合を例に採って説
明するものとする。
【0023】図1において、行列状に配列され、入射光
をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換して蓄積す
る複数のセンサ部11と、これらセンサ部11の垂直列
ごとに設けられ、各センサ部11から読み出しゲート部
12によって読み出された信号電荷を垂直転送するCC
Dからなる複数本の垂直転送部13とによって撮像エリ
ア14が構成されている。
【0024】この撮像エリア14において、センサ部1
1は例えばPN接合のフォトダイオードからなってい
る。このセンサ部11に蓄積された信号電荷は、読み出
しゲート部12に後述する読み出しパルスが印加される
ことによって垂直転送部13に読み出される。垂直転送
部13は、例えば4相の垂直転送クロックφV1〜φV
4によって転送駆動され、読み出された信号電荷を水平
ブランキング期間内において1走査線(1ライン)に相
当する部分ずつ順に垂直方向に転送する。
【0025】ここで、垂直転送部13において、1相目
および3相目の転送電極は、読み出しゲート部12のゲ
ート電極を兼ねている。このことから、4相の垂直転送
クロックφV1〜φV4のうち、1相目の転送クロック
φV1と3相目の転送クロックφV3が低レベル(以
下、“L”レベルと称す)、中間レベル(以下、“M”
レベルと称す)および高レベル(以下、“H”レベルと
称す)の3値をとるように設定されており、その3値目
の“H”レベルのパルスが読み出しゲート部12の読み
出しパルスXSGとなる。
【0026】撮像エリア14の図面上の下側には、CC
Dからなる水平転送部15が配されている。この水平転
送部15には、複数本の垂直転送部13から1ラインに
相当する信号電荷が順次転送される。水平転送部15
は、例えば2相の水平転送クロックφH1,φH2によ
って転送駆動され、複数本の垂直転送部13から移され
た1ライン分の信号電荷を、水平ブランキング期間後の
水平走査期間において順次水平方向に転送する。
【0027】水平転送部15の転送先側の端部には、例
えばフローティング・ディフュージョン・アンプ構成の
電荷電圧変換部16が設けられている。この電荷電圧変
換部16は、水平転送部15によって水平転送されてき
た信号電荷を順次信号電圧に変換して出力する。この信
号電圧は、被写体からの光の入射量に応じたCCD出力
VOUTとして出力端子17から導出される。
【0028】上述したセンサ部11、読み出しゲート部
12、垂直転送部13、水平転送部15および電荷電圧
変換部16等は半導体基板(以下、単に基板と称す)1
8上に形成される。以上により、インターライン転送方
式のCCD撮像素子10が構成されている。
【0029】このCCD撮像素子10を駆動するための
先述した垂直転送クロックφV1〜φV4および水平転
送クロックφH1,φH2は、タイミング発生回路19
で発生される。このタイミング発生回路19は、CCD
撮像素子10を駆動する駆動手段として機能し、垂直転
送クロックφV1〜φV4や水平転送クロックφH1,
φH2以外にも、電子シャッタ時に、センサ部11の各
々に蓄積された信号電荷を、一斉に基板18に掃き出す
ために当該基板18に印加するシャッタパルスφSUB
などの各種のタイミング信号をも適宜発生する構成とな
っている。
【0030】基板18の外部には、当該基板18をバイ
アスするバイアス電圧(以下、基板バイアスと称す)V
subを発生する基板バイアス発生回路20が設けられ
ている。この基板バイアス発生回路20で生成された基
板バイアスVsubは、ダイオードDを経た後端子21
を介して基板18に印加される。この基板バイアスVs
ubの電圧値により、CCD撮像素子10のセンサ部1
1の飽和信号電荷量が決まる。その原理については後述
する。
【0031】一方、タイミング発生回路19で発生され
るシャッタパルスφSUBは、コンデンサCで直流カッ
トされた後、端子21を介して基板18に印加される。
端子21とグランドとの間には抵抗Rが接続されてい
る。なお、ダイオードDは、シャッタパルスφSUBの
“L”レベルを基板バイアスVsubの直流レベルにク
ランプする作用をなす。
【0032】なお、本例では、基板バイアス発生回路2
0を基板18の外部に設ける構成を採っているが、基板
バイアス発生回路20をダイオードDと共に基板18上
に形成する構成を採ることも可能である。
【0033】この基板バイアス発生回路20は、動作モ
ードに応じて基板バイアスVsubの電圧値を変えるこ
とで、センサ部11の飽和信号電荷量を例えば2段階に
切り換える飽和信号電荷量設定手段として機能する。す
なわち、一例として、各フィールドごとに1ラインおき
に信号電荷を読み出すフレーム読み出しモードと、垂直
転送部13内でn画素(n≧2)の信号電荷を加算して
垂直転送する加算読み出しモードとで異なる電圧値の基
板バイアスVsubを発生するようになっている。
【0034】具体的には、基板バイアス発生回路20
は、図2に示すように、制御電圧DCINが“L”レベ
ルとなるフレーム読み出しモードでは基板バイアスVs
ub1を発生し、制御電圧DCINが“H”レベルとな
る加算読み出しモードでは基板バイアスVsub1より
も高い電圧値の基板バイアスVsub2を発生する。こ
こで、フレーム読み出しモード時の基板バイアスVsu
b1の電圧値は、デバイス個々の製造ばらつきに伴うセ
ンサ部11における後述するオーバーフローバリアのポ
テンシャルのばらつきを考慮して基板18ごとに最適値
に設定される。
【0035】これに対して、加算読み出しモード時の基
板バイアスVsub2の電圧値は、垂直転送部13内で
n画素分の信号電荷の加算が行われる場合、センサ部1
1の飽和信号電荷量がフレーム読み出しモード時の飽和
信号電荷量の約1/nになるように設定される。このよ
うに、加算読み出しモード時には、基板バイアス発生回
路20からフレーム読み出しモード時の基板バイアスV
sub1よりも高い電圧値の基板バイアスVsub2が
発生されることで、センサ部11の飽和信号電荷量がフ
レーム読み出しモード時の約1/nになる。
【0036】図3は、センサ部11の周辺の基板深さ方
向の構造を示す断面図である。図3において、例えばN
型の基板18の表面にP型のウェル領域31が形成され
ている。このウェル領域31の表面にはN+ 型の信号電
荷蓄積領域32が形成され、さらにその上にP+ 型の正
孔蓄積領域33が形成されることにより、いわゆるHA
D(正孔蓄積ダイオード)構造のセンサ部11が構成さ
れている。
【0037】このセンサ部11に蓄積される信号電荷e
の電荷量は、図4のポテンシャル分布図に示すように、
P型のウェル領域31で構成されるオーバーフローバリ
アOFBのポテンシャルバリアの高さによって決定され
る。すなわち、このオーバーフローバリアOFBは、セ
ンサ部11に蓄積される飽和信号電荷量Qsを決めるも
のであり、蓄積電荷量がこの飽和信号電荷量Qsを越え
た場合に、その越えた分の電荷がポテンシャルバリアを
越えて基板18側へ掃き出される。
【0038】以上により、いわゆる縦型オーバーフロー
ドレイン構造のセンサ部11が構成されている。縦型オ
ーバーフロードレイン構造においては、基板18がオー
バーフロードレインとなる。このセンサ部11におい
て、飽和信号電荷量Qsは、デバイスのS/N特性、垂
直転送部13の取り扱い電荷量などによって決定される
が、製造ばらつきにより、オーバーフローバリアOFB
のポテンシャルがばらつくことになる。
【0039】このオーバーフローバリアOFBのポテン
シャルは、先述した基板バイアスVsubの電圧値によ
って決まる。換言すれば、基板バイアスVsubの電圧
値により、センサ部11の飽和信号電荷量Qsが設定さ
れる。したがって、先述したように、加算読み出し動作
モード時には、基板バイアスVsub2の電圧値がフレ
ーム読み出し動作モード時よりも高くなることにより、
その分だけオーバーフローバリアOFBのポテンシャル
が深くなるため、センサ部11の飽和信号電荷量Qsが
約1/nになるのである。
【0040】センサ部11の横方向には、読み出しゲー
ト部12を構成するP型領域34を介してN+ 型の信号
電荷転送領域35およびP+ 型のチャネルストッパ領域
36が形成されている。信号電荷転送領域35の下に
は、スミア成分の混入を防止するためのP+ 型の不純物
拡散領域37が形成されている。さらに、信号電荷転送
領域35の上方には、ゲート絶縁膜38を介して例えば
多結晶シリコンからなる転送電極39が配されることに
より、垂直転送部13が構成されている。転送電極39
は、P型領域34の上方に位置する部分が、読み出しゲ
ート部12のゲート電極を兼ねている。
【0041】垂直転送部13の上方には、転送電極39
を覆うようにして層間膜40を介してAl(アルミニウ
ム)遮光膜41が形成されている。このAl遮光膜41
は、センサ部11において選択的にエッチング除去され
ており、外部からの光Lはこのエッチング除去によって
形成された開口42を通してセンサ部11内に入射す
る。そして、基板18には、センサ部11の飽和信号電
荷量Qsを決める基板バイアスVsub(Vsub1/
Vsub2)が、端子21を介して与えられるようにな
っている。
【0042】次に、上記構成の第1実施形態に係る固体
撮像装置における各動作モードでの動作について説明す
る。
【0043】(第1具体例)第1具体例に係る固体撮像
装置では、色分離が可能なように、図1のCCD撮像素
子10として、図5に示すように、補色(例えば、Mg
(マゼンタ)、Cy(シアン)、G(グリーン)、Ye
(イエロー))の2×4配列のカラーフィルタを有する
CCD撮像素子を用いるものとする。また、簡単のため
に、2列9行の画素配列の場合を例に採って示してい
る。
【0044】そして、このCCD撮像素子10に対し
て、奇数ラインと偶数ラインの各画素の信号電荷をフィ
ールドごとに交互に読み出し、かつ各画素の信号電荷を
独立に転送するフレーム読み出しモードと、各画素から
読み出した信号電荷を垂直転送部13中で例えば2画素
分を加算して垂直転送する加算読み出しモードの2つの
動作モードが、タイミング発生回路19で発生される各
種のタイミング信号によって設定されるようになってい
る。
【0045】先ず、フレーム読み出しモードが設定され
ると、図1において、基板バイアス発生回路20に対し
て“L”レベルの制御電圧DCIN(図2を参照)が与
えられる。すると、基板バイアス発生回路20は、セン
サ部11のオーバーフローバリアのポテンシャルのばら
つきを考慮して基板18ごとに最適値に設定された基板
バイアスVsub1を発生する。この基板バイアスVs
ub1は、端子21を介して基板18に印加される。
【0046】このように、基板18を基板バイアスVs
ub1によってバイアスした状態において、静止画モー
ドを実現するためにフレーム読み出し動作が行われる。
すなわち、奇数ラインと偶数ラインの各画素の信号電荷
をフィールドごとに交互に読み出し、かつ各画素の信号
電荷を独立に垂直転送し、さらに水平転送する動作が行
われる。このフレーム読み出し動作は周知であることか
ら、ここでは、その詳細な動作説明については省略する
ものとする。
【0047】次に、加算読み出しモードが設定される
と、基板バイアス発生回路20に対して“H”レベルの
制御電圧DCIN(図2を参照)が与えられる。する
と、基板バイアス発生回路20は、垂直転送部13中で
の2画素加算に対応した電圧値の基板バイアスVsub
2を発生する。この基板バイアスVsub2は、端子2
1を介して基板18に印加される。このように、垂直転
送部13中での2画素加算に対応した電圧値の基板バイ
アスVsub2で基板18をバイアスすることで、この
加算読み出しモード時のセンサ部11の飽和信号電荷量
が、フレーム読み出しモード時の飽和信号電荷量の約1
/2に設定される。
【0048】ここで、この加算読み出しモード時の動作
について、図6および図7のタイミングチャートを用い
て説明する。図6は4相の垂直転送クロックφV1〜φ
V4の垂直同期タイミングを、図7は水平同期タイミン
グをそれぞれ示している。
【0049】先ず、図6のタイミングチャートにおい
て、垂直ブランキング期間のあるタイミングで1相目,
3相目の垂直転送クロックφV1,φV3に“H”レベ
ルの読み出しパルスXSGが立つことで、全てのセンサ
部11の信号電荷が垂直転送部13に読み出され、かつ
垂直転送部13内において行方向にて隣り合う2画素間
で信号電荷が加算される。具体的には、図5から明らか
なように、1行目の各画素と2行目の各画素について、
3行目の各画素と4行目の各画素について、5行目の各
画素と6行目の各画素について、……という具合に、垂
直転送部13内において信号電荷の2画素加算が行われ
る。
【0050】そして、2画素加算された2行分の信号電
荷を1ライン分の信号電荷として、水平ブランキング期
間において、4相の垂直転送クロックφV1〜φV4の
図7に示すタイミング関係によって1ライン分の垂直転
送(ラインシフト)が行われる。これにより、垂直転送
部13から水平転送部15に対して、信号電荷が1ライ
ン分ずつ転送される。その後、1ライン分の信号電荷
は、水平転送部15によって順に水平転送され、電荷電
圧変換部16で信号電圧に変換されてCCD出力VOU
Tとして出力される。
【0051】上述したように、フレーム読み出しモード
と加算読み出しモードの2つの動作モードをとり得るC
CD撮像素子10を備えた固体撮像装置において、加算
読み出しモードの設定時に、センサ部11から読み出し
た信号電荷を垂直転送部13内で例えば2画素分を加算
した後垂直転送するようにしたことにより、信号電荷を
加算することなく独立に垂直転送する場合に比べて出力
ライン数が1/2になるため、フレームレートがフレー
ム読み出しモードに対して2倍になり、また全画素の情
報を出力できるため、画質および感度を向上できる。
【0052】しかも、加算読み出しモードの設定時に
は、センサ部11の飽和信号電荷量をフレーム読み出し
モード時の飽和信号電荷量の約1/2に設定するように
したことにより、フレーム読み出しモードで読み出され
た信号電荷と、垂直転送部13内で加算した2画素分の
信号電荷との各電荷量が等しくなるので、センサ部11
が飽和またはそれに近い状態にあっても、2画素加算に
伴って垂直転送部13内および水平転送部15内で信号
電荷が溢れるのを未然に防止できる。
【0053】さらに、CCD撮像素子10においては、
構造上、何ら変更を加えていなく、基板18に与える基
板バイアスVsubを動作モードに応じて切り換えるだ
けの構成であることから、フレーム読み出しモード時の
飽和信号電荷量は従来と変わらないため、フレーム読み
出し動作による静止画撮像時の画質としても、従来と同
じ画質を得ることができる。
【0054】なお、上記第1具体例では、加算読み出し
モードの際に、垂直転送部13内で2画素加算を行うと
したが、2画素加算に限られるものではなく、3画素以
上の信号電荷を垂直転送部13内で加算することも可能
である。この場合、加算する画素数をn個(n≧2)と
した場合、基板バイアス発生回路20で発生される基板
バイアスVsub2で決まるセンサ部11の飽和信号電
荷量を、フレーム読み出しモード時の飽和信号電荷量の
約1/nに設定することで、画素加算に伴う垂直転送部
13内および水平転送部15内での信号電荷の溢れを防
止できる。
【0055】また、上記第1具体例では、垂直転送部1
3内でのみ信号電荷の加算を行う構成としたが、垂直転
送部13内での画素加算に加えて、水平転送部15内で
のライン加算を行うようにすることも可能である。一例
として、垂直転送部13内2画素加算+水平転送部15
内2ライン加算の場合の加算読み出し動作について、第
2の具体例として以下に説明する。
【0056】(第2具体例)第2具体例に係る固体撮像
装置では、色分離が可能なように、図1のCCD撮像素
子10として、図8に示すように、補色の2×8配列の
カラーフィルタを有するCCD撮像素子を用いるものと
する。また、簡単のために、3列9行の画素配列の場合
を例に採って示している。
【0057】先ず、加算読み出しモードが設定される
と、基板バイアス発生回路20に対して“H”レベルの
制御電圧DCIN(図2を参照)が与えられる。する
と、基板バイアス発生回路20は、加算する画素数に対
応した電圧値の基板バイアスVsub2を発生する。本
例では、垂直転送部13内で2画素分、水平転送部15
で2ライン(=2画素)分の信号電荷を加算することか
ら、4(=2×2)画素分の信号電荷の加算に対応して
基板バイアスVsub2の電圧値が設定される。
【0058】このように、垂直転送部13内および水平
転送部15内での計4画素分の信号電荷の加算に対応し
た電圧値の基板バイアスVsub2で基板18をバイア
スすることで、この加算読み出しモード時のセンサ部1
1の飽和信号電荷量が、フレーム読み出しモード時の飽
和信号電荷量の約1/4に設定される。
【0059】ここで、この垂直転送部13内2画素加算
+水平転送部15内2ライン加算の場合の加算読み出し
モード時の動作について、図9および図10のタイミン
グチャートを用いて説明する。図9は4相の垂直転送ク
ロックφV1〜φV4の垂直同期タイミングを、図10
は水平同期タイミングをそれぞれ示している。
【0060】先ず、図9のタイミングチャートにおい
て、垂直ブランキング期間のあるタイミングで1相目,
3相目の垂直転送クロックφV1,φV3に“H”レベ
ルの読み出しパルスXSGが立つことで、全てのセンサ
部11の信号電荷が垂直転送部13に読み出され、かつ
垂直転送部13内において行方向にて隣り合う2画素間
で信号電荷が加算される。具体的には、図8から明らか
なように、1行目の各画素と2行目の各画素について、
3行目の各画素と4行目の各画素について、5行目の各
画素と6行目の各画素について、……という具合に、垂
直転送部13内において信号電荷の2画素加算が行われ
る。
【0061】そして、2画素加算された2行分の信号電
荷を1ライン分の信号電荷として、水平ブランキング期
間において、4相の垂直転送クロックφV1〜φV4の
図10に示すタイミング関係によって2ライン分の信号
電荷について垂直転送が行われる。これにより、垂直転
送部13から水平転送部15に対して、2ライン分の信
号電荷が続けて転送される。
【0062】この2ライン分の信号電荷が垂直転送部1
3から水平転送部15に転送されるとき、図10のタイ
ミングチャートから明らかなように、先の1ライン分の
信号電荷が転送された直後に、2相の水平転送クロック
φH1,φH2が1クロック分出力されることで、水平
転送部15では1パケット分の水平転送(以下、これを
1ビットシフトと称す)が行われる。そして、この1ビ
ットシフト後に、後の1ライン分の信号電荷が垂直転送
部13から水平転送部15に転送される。
【0063】このように、垂直転送部13から水平転送
部15へ信号電荷を転送する際に、先ず1ライン分の信
号電荷を転送した直後に水平転送部15において1ビッ
トシフトを行い、その後次の1ライン分の信号電荷を転
送することにより、図8から明らかなように、上下2ラ
インにおける斜め方向の信号電荷、即ち同じ色同士の信
号電荷について水平転送部15内で加算が行われる。そ
の後、この加算された信号電荷は、水平転送部15によ
って順に水平転送され、電荷電圧変換部16で信号電圧
に変換されてCCD出力VOUTとして出力される。
【0064】上述したように、フレーム読み出しモード
と加算読み出しモードの2つの動作モードをとり得るC
CD撮像素子10を備えた固体撮像装置において、加算
読み出しモード時に、垂直転送部13内で例えば2画素
分の信号電荷を加算し、その後水平転送部15内で例え
ば2ライン分の信号電荷を加算するようにしたことによ
り、信号電荷を加算することなく独立に転送する場合に
比べて出力ライン数が1/4になるため、フレームレー
トがフレーム読み出しモードに対して4倍になり、また
全画素の情報を出力できるため、画質および感度を向上
できる。
【0065】しかも、加算読み出しモードの設定時に
は、センサ部11の飽和信号電荷量をフレーム読み出し
モード時の飽和信号電荷量の例えば約1/4に設定する
ようにしたことにより、フレーム読み出しモードで読み
出された信号電荷と、垂直転送部13内および水平転送
部15内で加算した4画素分の信号電荷との各電荷量が
等しくなるので、センサ部11が飽和またはそれに近い
状態にあっても、垂直2画素加算+水平2ライン加算に
伴って垂直転送部13内および水平転送部15内で信号
電荷が溢れるのを未然に防止できる。
【0066】ここで、水平転送部15内で2ライン加算
を行うようにするためには、図7および図10の各タイ
ミングチャートの対比から明らかなように、4相の垂直
転送クロックφV1〜φV4の周波数を2倍に設定する
必要がある。ところが、垂直転送部13内での画素加算
と組み合わせたことにより、水平転送部15内でのライ
ン加算のみでフレームレートを上げる場合に比べれば、
垂直転送クロックφV1〜φV4の周波数は半分で済
む。
【0067】すなわち、フレームレートを例えば4倍に
上げる場合を例に採ると、水平転送部15内でのライン
加算のみでフレームレートを上げる場合には、限られた
水平ブランキング期間内で4ライン分の信号電荷の加算
を行うことになることから、垂直転送クロックφV1〜
φV4の周波数を4倍に上げる必要があるが、垂直転送
部13内での画素加算と水平転送部15内でのライン加
算とを組み合わせることで、垂直転送クロックφV1〜
φV4の周波数を2倍に上げるだけで対応でこることに
なる。
【0068】なお、上記第2具体例においては、加算読
み出しモードの際に、垂直転送部13内で2画素加算、
水平転送部15内で2ライン加算を行うとしたが、2画
素+2ライン加算に限られるものではなく、3画素以上
+3ライン以上の信号電荷を加算することも可能であ
る。この場合、垂直加算する画素数をn(n≧2)、水
平加算するライン数をm(n≧2)とした場合に、基板
バイアス発生回路20で発生される基板バイアスVsu
b2で決まるセンサ部11の飽和信号電荷量を、フレー
ム読み出しモード時の飽和信号電荷量の約1/(n×
m)に設定することで、画素加算に伴う垂直転送部19
内および水平転送部15内での信号電荷の溢れを防止で
きる。
【0069】図11は、本発明の第2実施形態に係る固
体撮像装置を示す概略構成図である。なお、本実施形態
では、IT方式のCCD撮像素子を用いた場合を例に採
って説明するものとする。
【0070】図11において、行列状に配列され、入射
光をその光量に応じた電荷量の信号電荷に変換して蓄積
する複数のセンサ部51と、これらセンサ部51の垂直
列ごとに設けられ、各センサ部51から読み出しゲート
部52によって読み出された信号電荷を垂直転送するC
CDからなる複数本の垂直転送部53とによって撮像エ
リア54が構成されている。
【0071】この撮像エリア54において、センサ部5
1は例えばPN接合のフォトダイオードからなってい
る。このセンサ部51に蓄積された信号電荷は、読み出
しゲート部52に読み出しパルスXSGが印加されるこ
とによって垂直転送部53に読み出される。垂直転送部
53は、例えば4相の垂直転送クロックφV1〜φV4
によって転送駆動され、読み出された信号電荷を水平ブ
ランキング期間内において1走査線(1ライン)に相当
する部分ずつ順に垂直方向に転送する。
【0072】ここで、垂直転送部53において、1相目
および3相目の転送電極は、第1実施形態の場合と同様
に、読み出しゲート部52のゲート電極を兼ねているこ
とから、4相の垂直転送クロックφV1〜φV4のう
ち、1相目の転送クロックφV1と3相目の転送クロッ
クφV3が“L”レベル、“M”レベルおよび“H”レ
ベルの3値をとるように設定されており、その3値目の
“H”レベルのパルスが読み出しゲート部52の読み出
しパルスXSGとなる。
【0073】撮像エリア54の図面上の下側には、CC
Dからなる水平転送部55が配されている。この水平転
送部55には、複数本の垂直転送部53から1ラインに
相当する信号電荷が順次転送される。水平転送部55
は、例えば2相の水平転送クロックφH1,φH2によ
って転送駆動され、複数本の垂直転送部53から移され
た1ライン分の信号電荷を、水平ブランキング期間後の
水平走査期間において順次水平方向に転送する。
【0074】水平転送部55の転送先側の端部には、例
えばフローティング・ディフュージョン・アンプ構成の
電荷電圧変換部56が設けられている。この電荷電圧変
換部56は、水平転送部55によって水平転送されてき
た信号電荷を順次信号電圧に変換して出力する。この信
号電圧は、被写体からの光の入射量に応じたCCD出力
VOUTとして出力端子57から導出される。
【0075】上述したセンサ部51、読み出しゲート部
52、垂直転送部53、水平転送部55および電荷電圧
変換部56等は基板58上に形成される。以上により、
インターライン転送方式のCCD撮像素子50が構成さ
れている。
【0076】このCCD撮像素子50を駆動するための
先述した垂直転送クロックφV1〜φV4および水平転
送クロックφH1,φH2は、タイミング発生回路59
で発生される。このタイミング発生回路59は、CCD
撮像素子50を駆動する駆動手段として機能する。ここ
で、垂直転送クロックφV1〜φV4のうち、1相目,
3相目の垂直転送クロックφV1/φV3については、
後述する間引き読み出しを実現するために、例えば2系
統の垂直転送クロックφV1A,φV1B/φV3A,
φV3Bが発生される。
【0077】図12に、間引き読み出しを実現するため
の垂直転送部53の転送電極の配線パターン例を示す。
ここでは、行方向(垂直方向)において4画素を繰り返
し単位として、前半の2画素については信号電荷を読み
出し、後半の2画素については信号電荷を読み出さない
場合、即ち2ラインおきに2ラインずつ間引く間引き読
み出しの場合を例に採って示している。
【0078】図12において、垂直転送クロックφV1
A,φV1B,φV2,φV3A,φV3B,φV4を
伝送するために計6本のバスライン62-1〜62-6が配
線されている。そして、垂直転送クロックφV1Aを伝
送するバスライン62-1には1相目の転送電極63-1が
3画素おきに接続され、垂直転送クロックφV1Bを伝
送するバスライン62-2にはバスライン62-1に接続さ
れた以外の1相目の転送電極24-1が3画素おきに接続
され、垂直転送クロックφV2を伝送するバスライン6
2-3には4相目の転送電極63-4が1画素おきに接続さ
れている。
【0079】また、垂直転送クロックφV3Aを伝送す
るバスライン62-4には3相目の転送電極63-3が3画
素おきに接続され、垂直転送クロックφV3Bを伝送す
るバスライン62-5にはバスライン62-4に接続された
以外の3相目の転送電極63-3が3画素おきに接続さ
れ、垂直転送クロックφV4を伝送するバスライン62
-6には2相目の転送電極24-2が1画素おきに接続され
ている。
【0080】垂直転送クロックφV1A/φV1B,φ
V3A/φV3Bは、先述したように、その3値目の
“H”レベルのパルスがセンサ部51から信号電荷を読
み出すときに読み出しゲート部52を駆動する読み出し
パルスXSGとなる。そして、フレーム読み出し動作の
際には、図13(A)に示すように、垂直転送クロック
φV1A/φV1B,φV3A/φV3Bの各々に読み
出しパルスXSGが立つのに対して、ライン間引き動作
の際には、図13(B)に示すように、垂直転送クロッ
クφV1A,φV3Aのみに読み出しパルスXSGが立
つことになる。
【0081】再び図1において、タイミング発生回路5
9は、垂直転送クロックφV1(A/B),φV2,φ
V3(A/B),φV4や水平転送クロックφH1,φ
H2以外にも、電子シャッタ時に、センサ部51の各々
に蓄積された信号電荷を、一斉に基板58に掃き出すた
めに当該基板58に印加するシャッタパルスφSUBな
どの各種のタイミング信号をも適宜発生する構成となっ
ている。
【0082】基板58の外部には、当該基板58をバイ
アスする基板バイアスVsubを発生する基板バイアス
発生回路60が設けられている。この基板バイアス発生
回路60で生成された基板バイアスVsubは、ダイオ
ードDを経た後端子61を介して基板58に印加され
る。この基板バイアスVsubの電圧値により、CCD
撮像素子50のセンサ部51の飽和信号電荷量が決ま
る。その原理は、第1実施形態に係る固体撮像装置にお
いて説明した通りである。
【0083】一方、タイミング発生回路59で発生され
るシャッタパルスφSUBは、コンデンサCで直流カッ
トされた後、端子61を介して基板58に印加される。
端子61とグランドとの間には抵抗Rが接続されてい
る。なお、ダイオードDは、シャッタパルスφSUBの
“L”レベルを基板バイアスVsubの直流レベルにク
ランプする作用をなす。
【0084】なお、本例では、基板バイアス発生回路6
0を基板58の外部に設ける構成を採っているが、第1
実施形態の場合と同様に、基板バイアス発生回路60を
ダイオードDと共に基板58上に形成する構成を採るこ
とも可能である。
【0085】この基板バイアス発生回路60は、動作モ
ードに応じて基板バイアスVsubの電圧値を変えるこ
とで、センサ部51の飽和信号電荷量を例えば2段階に
切り換える飽和信号電荷量設定手段として機能する。す
なわち、一例として、フレーム読み出しモードと特殊読
み出しモードとで異なる電圧値の基板バイアスVsub
を発生するようになっている。
【0086】ここで、特殊読み出しモードとは、読み出
しゲート部52に対して所定の繰り返し単位ごとに読み
出しパルスXSGを印加して、一部のラインの画素の信
号電荷のみを読み出す間ライン引き読み出し動作と、垂
直転送部53内および水平転送部55内の少なくとも一
方でn画素(n≧2)の信号電荷を加算する加算読み出
し動作との組み合わせによる動作モードのことを言う。
【0087】具体的には、基板バイアス発生回路60
は、制御電圧DCINが“L”レベルとなるフレーム読
み出しモードでは基板バイアスVsub1を発生し、制
御電圧DCINが“H”レベルとなる特殊読み出しモー
ドでは基板バイアスVsub1よりも高い電圧値の基板
バイアスVsub2を発生する。ここで、フレーム読み
出しモード時の基板バイアスVsub1の電圧値は、デ
バイス個々の製造ばらつきに伴うセンサ部51における
後述するオーバーフローバリアのポテンシャルのばらつ
きを考慮して基板58ごとに最適値に設定される。
【0088】これに対して、特殊読み出しモード時の基
板バイアスVsub2の電圧値は、垂直転送部53内お
よび水平転送部55内の少なくとも一方でN画素分(N
≧2)の信号電荷の加算が行われる場合、センサ部51
の飽和信号電荷量がフレーム読み出しモード時の飽和信
号電荷量の約1/Nになるように設定される。このよう
に、特殊読み出しモード時には、基板バイアス発生回路
60からフレーム読み出しモード時の基板バイアスVs
ub1よりも高い電圧値の基板バイアスVsub2が発
生されることで、センサ部61の飽和信号電荷量がフレ
ーム読み出しモード時の約1/Nになる。
【0089】次に、上記構成の第2実施形態に係る固体
撮像装置における特殊読み出しモードでの動作について
説明する。
【0090】(第1具体例)第1具体例に係る固体撮像
装置では、色分離が可能なように、図11のCCD撮像
素子50として、図14に示すように、補色の2×8配
列のカラーフィルタを有するCCD撮像素子を用いるも
のとする。そして、本具体例に係る特殊読み出しモード
では、行方向(垂直方向)において例えば4画素を繰り
返し単位として、その4画素のうちの2画素についての
みセンサ部51から信号電荷を読み出すライン間引き動
作に加えて、垂直転送部53内で例えば2画素分の信号
電荷を加算する加算読み出し動作が行われるものとす
る。
【0091】先ず、特殊読み出しモードが設定される
と、基板バイアス発生回路60に対して“H”レベルの
制御電圧DCINが与えられる。すると、基板バイアス
発生回路60は、垂直転送部53内で加算する画素数に
対応した電圧値の基板バイアスVsub2を発生する。
本具体例では、垂直転送部53内で2画素分の信号電荷
の加算が行われることから、それに対応して基板バイア
スVsub2の電圧値が設定される。
【0092】このように、垂直転送部53内での計2画
素分の信号電荷の加算に対応した電圧値の基板バイアス
Vsub2で基板58をバイアスすることで、この特殊
読み出しモード時のセンサ部51の飽和信号電荷量が、
フレーム読み出しモード時の飽和信号電荷量の約1/2
に設定される。
【0093】ここで、このライン間引き+垂直転送部5
3内2画素加算の場合の特殊読み出しモード時の動作に
ついて、図15および図16のタイミングチャートを用
いて説明する。図15は4相の垂直転送クロックφV1
(A/B),φV2,φV3(A/B),φV4の垂直
同期タイミングを、図16は水平同期タイミングをそれ
ぞれ示している。また、図14において、各画素の横に
は、各画素に与えられる2系統の垂直転送クロックφV
1A/φV1B,φV3A/φV3Bと各画素との対応
関係を示している。
【0094】先ず、図15のタイミングチャートにおい
て、垂直ブランキング期間のあるタイミングで1相目,
3相目の垂直転送クロックφV1A,φV3Aに“H”
レベルの読み出しパルスXSGが立つことで、行方向に
おいて2画素ごとに2画素おきにセンサ部51の信号電
荷が垂直転送部53に読み出される。これが、本具体例
でのライン間引き動作である。そして、読み出された2
画素ごとの信号電荷は、垂直転送部53内で加算され
る。
【0095】具体的には、図14から明らかなように、
1行目の各画素と2行目の各画素について、5行目の各
画素と6行目の各画素について、9行目の各画素と10
行目の各画素について、……という具合に、2画素を単
位としてセンサ部51から信号電荷が垂直転送部53に
読み出され、かつ垂直転送部53内において読み出され
た2画素ごとに信号電荷の加算が行われる。
【0096】そして、2画素加算された2行分の信号電
荷を1ライン分の信号電荷として、水平ブランキング期
間において、4相の垂直転送クロックφV1(A/
B),φV2,φV3(A/B),φV4の図16に示
すタイミング関係によって2ライン分の垂直転送が行わ
れる。このとき、後の1ライン分については、ライン間
引き動作によって信号電荷が存在しないことから、水平
転送部55には1ライン分の信号電荷が転送される。こ
の1ライン分の信号電荷は、水平転送部55によって順
に水平転送され、電荷電圧変換部56で信号電圧に変換
されてCCD出力VOUTとして出力される。
【0097】上述したように、フレーム読み出しモード
と特殊読み出しモードの2つの動作モードをとり得るC
CD撮像素子50を備えた固体撮像装置において、特殊
読み出しモードの設定時に、行方向において2画素ごと
に2画素おきにセンサ部51からの信号電荷の読み出し
を間引く(ライン間引き)とともに、読み出した信号電
荷については垂直転送部53内で2画素ごとに加算する
ようにしたことにより、信号電荷を間引かずかつ加算す
ることなく独立に垂直転送する場合に比べて出力ライン
数が1/4になるため、フレームレートがフレーム読み
出しモードに対して4倍になる。
【0098】しかも、特殊読み出しモードの設定時に
は、センサ部51の飽和信号電荷量をフレーム読み出し
モード時の飽和信号電荷量の約1/2に設定するように
したことにより、フレーム読み出しモードで読み出され
た信号電荷と、垂直転送部53内で加算した2画素分の
信号電荷との各電荷量が等しくなるので、センサ部51
が飽和またはそれに近い状態にあっても、2画素加算に
伴って垂直転送部53内および水平転送部55内で信号
電荷が溢れるのを未然に防止できる。
【0099】なお、上記第1具体例に係る加算読み出し
動作では、垂直転送部53内で2画素加算を行うとした
が、2画素加算に限られるものではなく、3画素以上の
信号電荷を垂直転送部53内で加算することも可能であ
る。この場合、加算する画素数をn個(n≧2)とした
場合、基板バイアス発生回路60で発生される基板バイ
アスVsub2で決まるセンサ部51の飽和信号電荷量
を、フレーム読み出しモード時の飽和信号電荷量の約1
/nに設定することで、画素加算に伴う垂直転送部53
内および水平転送部55内での信号電荷の溢れを防止で
きる。
【0100】(第2具体例)第2具体例に係る固体撮像
装置では、図11のCCD撮像素子50として、図17
に示すように、原色(R,G,B)の2×2配列のカラ
ーフィルタを有するCCD撮像素子を用いるものとす
る。そして、本具体例に係る特殊読み出しモードでは、
行方向において例えば16画素を繰り返し単位として、
その16画素のうちの4画素についてのみセンサ部51
から信号電荷を読み出す、換言すれば16画素につき1
2画素の信号電荷を間引くライン間引き動作に加えて、
水平転送部55内で例えば2ライン分の信号電荷を加算
する加算読み出し動作が行われるものとする。
【0101】この第2具体例に係る特殊読み出しモード
では、水平転送部55内で2ライン(2画素)分の信号
電荷の加算が行われることから、その加算ライン数に対
応して基板バイアスVsub2の電圧値が設定される。
これにより、特殊読み出しモード時のセンサ部51の飽
和信号電荷量が、フレーム読み出しモード時の飽和信号
電荷量の約1/2に設定される。
【0102】また、16画素につき12画素を間引くラ
イン間引き動作を実現するために、垂直転送クロックφ
V1〜φV4のうち、1相目,3相目の垂直転送クロッ
クφV1,φV3については、3系統の垂直転送クロッ
クφV1A/φV1B/φV1C,φV3A/φV3B
/φV3Cが、タイミング発生回路59で生成されるこ
とになる。
【0103】ここで、このライン間引き+水平転送部5
2内2ライン加算の場合の特殊読み出しモード時の動作
について、図18および図19のタイミングチャートを
用いて説明する。図18は4相の垂直転送クロックφV
1(A/B/C),φV2,φV3(A/B/C),φ
V4の垂直同期タイミングを、図19は水平同期タイミ
ングをそれぞれ示している。
【0104】また、図17において、各画素の横には、
各画素に与えられる3系統の垂直転送クロックφV1A
/φV1B/φV1C,φV3A/φV3B/φV3C
についての各画素との対応関係を示している。なお、垂
直転送クロックφV1(A/B/C),φV2,φV3
(A/B/C),φV4の各画素への伝送系について
は、図12に示した配線原理に則ってパターン配線され
るものとする。
【0105】先ず、図18のタイミングチャートにおい
て、垂直ブランキング期間のあるタイミングで1相目,
3相目の垂直転送クロックφV1A,φV3Aに“H”
レベルの読み出しパルスXSGが立つことで、行方向に
おいて16画素を繰り返し単位として、その16画素の
うちの4画素についてのみセンサ部51の信号電荷が垂
直転送部53に読み出される。換言すれば、16画素に
ついて12画素の信号電荷が間引かれる。これが、これ
が本具体例でのライン間引き動作である。
【0106】具体的には、図17から明らかなように、
1行目から16行目を繰り返し単位とし、1行目、3行
目、10行目および12行目の各画素についてのみ信号
電荷が読み出され、残りの2行目、4行目〜9行目、1
1行目、13行目〜16行目の各画素については信号電
荷が間引かれることになる。そして、読み出された各信
号電荷は、垂直転送部53内で加算されることなく、順
次垂直転送されて水平転送部55に供給される。
【0107】この垂直転送部53から水平転送部55へ
の信号電荷の転送の際には、水平ブランキング期間にお
いて、4相の垂直転送クロックφV1(A/B/C),
φV2,φV3(A/B/C),φV4の図19に示す
タイミング関係によって4ライン(4行)単位で垂直転
送が行われる。これにより、最初の4ライン分について
見れば、1ライン目、3ライン目についてのみ信号電荷
が存在することから、2ライン(2画素)分の信号電荷
が水平転送部55内で加算されることになる。その後、
水平転送部55によって順に水平転送され、電荷電圧変
換部56で信号電圧に変換されてCCD出力VOUTと
して出力される。
【0108】上述したように、特殊読み出しモードの設
定時に、行方向において16画素を繰り返し単位とし
て、その16画素のうちの12画素についてセンサ部5
1からの信号電荷の読み出しを間引く(ライン間引き)
とともに、読み出した信号電荷については水平転送部5
5内で2ライン分を加算するようにしたことにより、信
号電荷を間引かずかつ加算することなく独立に垂直転送
する場合に比べて出力ライン数が1/8(=4/16÷
2)になるため、フレームレートがフレーム読み出しモ
ードに対して8倍になる。
【0109】しかも、特殊読み出しモードの設定時に
は、センサ部51の飽和信号電荷量をフレーム読み出し
モード時の飽和信号電荷量の約1/2に設定するように
したことにより、フレーム読み出しモードで読み出され
た信号電荷と、水平転送部55内で加算した2ライン分
の信号電荷との各電荷量が等しくなるので、センサ部5
1が飽和またはそれに近い状態にあっても、2ライン加
算に伴って水平転送部55内で信号電荷が溢れるのを未
然に防止できる。
【0110】なお、上記第2具体例に係る加算読み出し
動作では、水平転送部55内で2ライン加算を行うとし
たが、2ライン加算に限られるものではなく、例えば第
2具体例のように、16ラインを繰り返し単位としてそ
のうちの4ライン分の信号電荷を読み出す場合には、そ
の読み出した4ライン分の信号電荷を水平転送部55内
でライン加算することも可能である。この場合には、特
殊読み出しモード時の飽和信号電荷量をフレーム読み出
しモード時の約1/4に設定すれば良い。
【0111】また、水平転送部55での加算ライン数を
1つに固定する必要はなく、このライン加算モードにつ
いては、例えば加算ライン数がx個(x≧2)の場合と
y個(x>y)の場合の2種類以上の動作モードを設定
し、それを適宜選択できるようにすることも可能であ
る。この場合には、各動作モード時の飽和信号電荷量が
フレーム読み出しモード時の約1/x と約1/yとな
るように、基板バイアス発生回路60で発生される基板
バイアスVsub2を、各動作モードに応じて切り換え
るようにすれば良い。
【0112】(第3具体例)第3具体例に係る固体撮像
装置では、色分離が可能なように、図11のCCD撮像
素子50として、図20に示すように、原色の2×2配
列のカラーフィルタを有するCCD撮像素子を用いるも
のとする。そして、本具体例に係る特殊読み出しモード
では、行方向において例えば16画素を繰り返し単位と
して、その16画素のうちの8画素についてのみセンサ
部51から信号電荷を読み出す、換言すれば16画素に
つき8画素の信号電荷を間引くライン間引き動作に加え
て、水平転送部55内で例えば4ライン分の信号電荷を
加算する加算読み出し動作が行われるものとする。
【0113】この第3具体例に係る特殊読み出しモード
では、水平転送部55内で4ライン(4画素)分の信号
電荷の加算が行われることから、その加算ライン数に対
応して基板バイアスVsub2の電圧値が設定される。
これにより、特殊読み出しモード時のセンサ部51の飽
和信号電荷量が、フレーム読み出しモード時の飽和信号
電荷量の約1/4に設定される。
【0114】また、16画素につき8画素を間引くライ
ン間引き動作を実現するために、垂直転送クロックφV
1〜φV4のうち、1相目,3相目の垂直転送クロック
φV1,φV3については、第2具体例の場合と同様
に、3系統の垂直転送クロックφV1A/φV1B/φ
V1C,φV3A/φV3B/φV3Cが、タイミング
発生回路59で生成されることになる。
【0115】ここで、このライン間引き+水平転送部5
2内4ライン加算の場合の特殊読み出しモード時の動作
について、図21および図22のタイミングチャートを
用いて説明する。図21は4相の垂直転送クロックφV
1(A/B/C),φV2,φV3(A/B/C),φ
V4の垂直同期タイミングを、図22は水平同期タイミ
ングをそれぞれ示している。
【0116】また、図20において、各画素の横には、
各画素に与えられる3系統の垂直転送クロックφV1A
/φV1B/φV1C,φV3A/φV3B/φV3C
についての各画素との対応関係を示している。なお、垂
直転送クロックφV1(A/B/C),φV2,φV3
(A/B/C),φV4の各画素への伝送系について
は、図12に示した配線原理に則ってパターン配線され
るものとする。
【0117】先ず、図21のタイミングチャートにおい
て、垂直ブランキング期間のあるタイミングで1相目,
3相目の垂直転送クロックφV1A/φV1B,φV3
A/φV3Bに“H”レベルの読み出しパルスXSGが
立つことで、行方向において16画素を繰り返し単位と
して、その16画素のうちの8画素についてのみセンサ
部51の信号電荷が垂直転送部53に読み出される。換
言すれば、16画素について8画素の信号電荷が間引か
れる。これが、本具体例でのライン間引き動作である。
【0118】具体的には、図20から明らかなように、
1行目から16行目を単位とし、1行目、3行目、5行
目、7行目、10行目、12行目、14行目および16
行目の各画素について信号電荷が読み出され、残りの2
行目、4行目、6行目、8行目、9行目、11行目、1
3行目および15行目の各画素については信号電荷が間
引かれることになる。そして、読み出された各信号電荷
は、垂直転送部53内で加算されることなく、順次垂直
転送されて水平転送部55に供給される。
【0119】この垂直転送部53から水平転送部55へ
の信号電荷の転送の際には、水平ブランキング期間にお
いて、4相の垂直転送クロックφV1(A/B/C),
φV2,φV3(A/B/C),φV4の図22に示す
タイミング関係によって4ライン(4行)単位で垂直転
送が行われる。これにより、最初の4ライン分について
見れば、1ラインおきに信号電荷が存在することから、
4ライン(2画素)分の信号電荷が水平転送部55内で
加算されることになる。その後、水平転送部55によっ
て順に水平転送され、電荷電圧変換部56で信号電圧に
変換されてCCD出力VOUTとして出力される。
【0120】上述したように、特殊読み出しモードの設
定時に、行方向において16画素を繰り返し単位とし
て、その16画素のうちの8画素についてセンサ部51
からの信号電荷の読み出しを間引く(ライン間引き)と
ともに、読み出した信号電荷については水平転送部55
内で4ライン分を加算するようにしたことにより、信号
電荷を間引かずかつ加算することなく独立に垂直転送す
る場合に比べて出力ライン数が1/8(=8/16÷
4)になるため、フレームレートがフレーム読み出しモ
ードに対して8倍になる。
【0121】しかも、特殊読み出しモードの設定時に
は、センサ部51の飽和信号電荷量をフレーム読み出し
モード時の飽和信号電荷量の約1/4に設定するように
したことにより、フレーム読み出しモードで読み出され
た信号電荷と、水平転送部55内で加算した4ライン分
の信号電荷との各電荷量が等しくなるので、センサ部5
1が飽和またはそれに近い状態にあっても、4ライン加
算に伴って水平転送部55内で信号電荷が溢れるのを未
然に防止できる。
【0122】なお、上記第3具体例に係る加算読み出し
動作では、水平転送部55内で4ライン加算を行うとし
たが、4ライン加算に限られるものではなく、例えば第
3具体例ように、16ラインを繰り返し単位としてその
うちの8ライン分の信号電荷を読み出す場合には、その
読み出した8ライン分の信号電荷を水平転送部55内で
ライン加算することも可能である。この場合には、特殊
読み出しモード時の飽和信号電荷量をフレーム読み出し
モード時の約1/8に設定すれば良い。
【0123】また、水平転送部55での加算ライン数を
1つに固定する必要はなく、このライン加算モードにつ
いては、例えば加算ライン数がx個(x≧2)の場合と
y個(y>x)の場合の2種類以上の動作モードを設定
し、それを適宜選択できるようにすることも可能であ
る。この場合には、各動作モード時の飽和信号電荷量が
フレーム読み出しモード時の約1/x と約1/yとな
るように、基板バイアス発生回路60で発生される基板
バイアスVsub2を、各動作モードに応じて切り換え
るようにすれば良い。
【0124】以上説明した第1,第2実施形態では、各
画素から読み出した信号電荷を独立に垂直転送する読み
出し方式が、インターレースに対応したフレーム読み出
し方式のCCD撮像素子に適用した場合を例に採って説
明したが、これに限られるものではなく、全画素の信号
電荷を同一時刻に一斉に読み出し、かつ各画素の信号電
荷を独立に転送する全画素読み出し方式のCCD撮像素
子にも同様に適用可能である。
【0125】また、上記各実施形態においては、画素加
算あるいはライン加算の際の各画素の飽和信号電荷量
を、縦型オーバーフロードレイン構造(図3を参照)を
有するCCD撮像素子において、基板バイアスVsub
を通常の動作モード時と変えることによって設定する構
成としたが、これに限定されるものではない。
【0126】例えば、画素ごとにオーバーフロードレイ
ンを有するいわゆる横型オーバーフロードレイン構造を
有するCCD撮像素子においては、各画素のオーバーフ
ローバリアのポテンシャルを決める直流バイアスを動作
モードに応じて変えることによっても、画素加算あるい
はライン加算の際の各画素の飽和信号電荷量を設定する
ことができる。
【0127】また、水平転送部内でのみ加算を行う動作
モードを採る場合には、垂直転送部から水平転送部へ信
号電荷を転送するV‐H転送領域において、垂直転送部
ごとに転送チャネルの横にオーバーフロードレインを設
けるとともに、そのオーバーフローバリアのポテンシャ
ルを直流バイアスによって決める構成とし、その直流バ
イアスを動作モードに応じて変えることにより、ライン
加算の際の各画素の飽和信号電荷量を設定するようにす
ることもできる。
【0128】図23は、上記各実施形態に係る固体撮像
装置を撮像デバイスとして用いた本発明に係るカメラシ
ステムの概略構成図である。本カメラシステムは、例え
ばデジタルスチルカメラとして用いられる。
【0129】本カメラシステムにおいて、CCD撮像素
子71として、先述した第1実施形態に係るCCD撮像
素子、即ちフレーム読み出し(又は、全画素読み出し)
と、垂直転送部内画素加算又は水平転送部内ライン加算
との組み合わせによる読み出しが可能なCCD撮像素子
や、第2実施形態に係るCCD撮像素子、即ちフレーム
読み出し(又は、全画素読み出し)と、間引き読み出し
と垂直転送部内画素加算又は水平転送部内ライン加算と
の組み合わせによる読み出しが可能なCCD撮像素子が
用いられる。
【0130】CCD撮像素子71の撮像面上には、被写
体(図示せず)から入射される像光が、レンズ72等の
光学系を通して結像される。このCCD撮像素子71
は、先述したタイミング発生回路11/59などを含む
CCD駆動回路73によって駆動される。CCD撮像素
子71の基板には、基板バイアス発生回路74で発生さ
れる基板バイアスVsubが印加される。この基板バイ
アス発生回路74として、第1実施形態で説明した基板
バイアス発生回路20あるいは第2実施形態で説明した
基板バイアス発生回路60が用いられる。
【0131】CCD撮像素子71の出力信号(CCD出
力VOUT)は、次段の信号処理回路75において、自
動ホワイトバランス(AWB)調整などの種々の信号処
理が行われた後、撮像信号として外部に出力される。ま
た、CCD撮像素子71の動作モードを設定するための
動作モード設定部76が設けられている。この動作モー
ド設定部76では、一例として、静止画を撮影するため
の通常撮像モードと、撮影画像を液晶モニタ等でモニタ
リングするためのモニタリングモードとが設定される。
【0132】この動作モード設定部76で設定された動
作モードを表わすモード情報は、CCD駆動回路73、
基板バイアス発生回路74および信号処理回路75に供
給される。CCD駆動回路73は、通常撮像モードの設
定時には、フレーム読み出し動作(又は、全画素読み出
し動作)を行うようにCCD撮像素子71を駆動し、モ
ニタリングモードの設定時には、第1実施形態における
第1,第2の具体例で説明した加算読み出し動作、ある
いは第2実施形態における第1〜第3の具体例で説明し
た特殊読み出し動作を行うようにCCD撮像素子71を
駆動する。
【0133】基板バイアス発生回路74は、通常撮像モ
ードの設定時には、CCD撮像素子71の個々の製造ば
らつきに伴うセンサ部のオーバーフローバリアのポテン
シャルのばらつきを考慮して最適値に設定された基板バ
イアスVsub1をCCD撮像素子71の基板に与え、
モニタリングモードの設定時には、加算画素数をn(n
≧2)、加算ライン数をm(m≧2)とした場合に、画
素の飽和信号電荷量が通常撮像モード時の約1/n、約
1/m又は約1/(n×m)となるように電圧値が設定
された基板バイアスVsub2を与える。
【0134】上述したように、CCD撮像素子71を備
えたカメラシステムにおいて、モニタリングモード時に
は、第1実施形態に係る加算読み出し動作、あるいは第
2実施形態に係る特殊読み出し動作を行うとともに、画
素の飽和信号電荷量を通常撮像モード時の例えば1/2
程度に設定することにより、画素加算あるいはライン加
算に伴う垂直転送部内および水平転送部内での信号電荷
の溢れを防止しつつ、フレームレートを通常撮像モード
時に比べて大幅に上げることができるため、撮影画像を
なめらかな動画としてモニタリングできることになる。
【0135】なお、ここでは説明を簡単にするために、
撮影画像を液晶モニタ等でモニタリングする際に、第1
実施形態の加算読み出し動作、あるいは第2実施形態の
特殊読み出し動作を行うとしたが、実際には、AF制
御、AWB制御、AE制御等を行う際にも、これらの読
み出し動作が行われる。この場合には、各種の自動制御
装置の応答速度を上げることができることから、CCD
撮像素子71の多画素化に対応できるため、より高性能
のカメラシステムを実現できることになる。
【0136】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固体撮像素子の動作モードとして、複数のセンサ部から
読み出された信号電荷を独立に垂直転送する第1の動作
モードと、垂直転送部中で例えば2画素分の信号電荷を
加算して垂直転送する第2の動作モードとを択一的に設
定し、第2の動作モード時には、センサ部の飽和信号電
荷量を第1の動作モード時の飽和信号電荷量の約1/2
に設定するようにしたことにより、第2の動作モードで
は、垂直転送クロックの周波数を上げずに、第1の動作
モードの場合に比べて出力ライン数を1/2にできるた
め、フレームレートを第1の動作モードに対して2倍に
でき、しかも第2の動作モードでの加算後の信号電荷量
が第1の動作モードで読み出された信号電荷量が等しく
なるため、加算された信号電荷が垂直転送部および水平
転送部で溢れるのを未然に防止できることになる。
【0137】本発明ではさらに、固体撮像素子の動作モ
ードとして、複数のセンサ部から読み出された信号電荷
を独立に垂直転送する第1の動作モードと、複数のセン
サ部から所定の繰り返し単位の画素のみの信号電荷を読
み出した後、垂直転送部中および水平転送部中の少なく
とも一方で例えば2画素分の信号電荷を加算して転送す
る第2の動作モードとを択一的に設定し、第2の動作モ
ード時には、センサ部の飽和信号電荷量を第1の動作モ
ード時の飽和信号電荷量の約1/2に設定するようにす
るようにしたことにより、第2の動作モードでは、行方
向において例えば4画素を繰り返し単位としてそのうち
の2画素の信号電荷を間引いた際に、第1の動作モード
の場合に比べて出力ライン数を1/4にできるため、フ
レームレートを第1の動作モードに対して4倍にでき、
しかも第2の動作モードでの加算後の信号電荷量が第1
の動作モードで読み出された信号電荷量と等しくなるた
め、加算された信号電荷が垂直転送部および水平転送部
で溢れるのを未然に防止できることになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態に係る固体撮像素子を示
す概略構成図である。
【図2】基板バイアス発生回路に与えられる制御電圧D
CINと基板バイアスVsubとの関係を示す波形図で
ある。
【図3】センサ部周辺の基板深さ方向の構造を示す断面
図である。
【図4】センサ部周辺の基板深さ方向のポテンシャル図
である。
【図5】第1実施形態の第1具体例を示す概略構成図で
ある。
【図6】第1具体例の場合の垂直同期タイミングチャー
トである。
【図7】第1具体例の場合の水平同期タイミングチャー
トである。
【図8】第1実施形態の第2具体例を示す概略構成図で
ある。
【図9】第2具体例の場合の垂直同期タイミングチャー
トである。
【図10】第2具体例の場合の水平同期タイミングチャ
ートである。
【図11】本発明の第2実施形態に係る固体撮像素子を
示す概略構成図である。
【図12】ライン間引き動作を実現するための垂直転送
クロックの伝送系の一例の配線パターン図である。
【図13】読み出しパルスXSGの波形図であり、
(A)はフレーム読み出し動作モードの場合を、(B)
はライン間引き動作モードの場合をそれぞれ示してい
る。
【図14】第2実施形態の第1具体例を示す概略構成図
である。
【図15】第1具体例の場合の垂直同期タイミングチャ
ートである。
【図16】第1具体例の場合の水平同期タイミングチャ
ートである。
【図17】第2実施形態の第2具体例を示す概略構成図
である。
【図18】第2具体例の場合の垂直同期タイミングチャ
ートである。
【図19】第2具体例の場合の水平同期タイミングチャ
ートである。
【図20】第2実施形態の第3具体例を示す概略構成図
である。
【図21】第3具体例の場合の垂直同期タイミングチャ
ートである。
【図22】第3具体例の場合の水平同期タイミングチャ
ートである。
【図23】本発明の係るカメラシステムの構成の一例を
示すブロック図である。
【図24】フレーム読み出し動作の概念図である。
【図25】フレーム読み出し動作の場合の垂直同期タイ
ミングチャートである。
【図26】フレーム読み出し動作の場合の水平同期タイ
ミングチャートである。
【図27】ライン間引き動作の概念図である。
【図28】ライン間引き動作の場合の垂直同期タイミン
グチャートである。
【図29】ライン間引き動作の場合の水平同期タイミン
グチャートである。
【符号の説明】
10,50…CCD撮像素子、11,51センサ部、1
3,53…垂直転送部、15,55…水平転送部、1
6,56…電荷電圧変換部、19,59…タイミング発
生回路、20,60…基板バイアス発生回路

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 行列状に配列されて光電変換を行う複数
    のセンサ部と、これらセンサ部から読み出された信号電
    荷を垂直転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から転
    送された信号電荷を水平転送する水平転送部とを有する
    固体撮像素子と、 前記複数のセンサ部から読み出された信号電荷を独立に
    垂直転送する第1の動作モードと、前記垂直転送部中で
    n画素(n≧2)分の信号電荷を加算して垂直転送する
    第2の動作モードとを選択的に設定して前記固体撮像素
    子を駆動する駆動手段と、 前記第2の動作モード時の前記センサ部の飽和信号電荷
    量を前記第1の動作モード時の前記センサ部の飽和信号
    電荷量の約1/nに設定する飽和信号電荷量設定手段と
    を備えたことを特徴とする固体撮像装置。
  2. 【請求項2】 前記駆動手段は、前記第2の動作モード
    時に、前記垂直転送部中でn画素分の信号電荷を加算し
    て垂直転送した後に、前記水平転送部中でmライン(m
    ≧2)分の信号電荷を加算して水平転送するように駆動
    し、 前記飽和信号電荷利用設定手段は、前記第2の動作モー
    ド時の前記センサ部の飽和信号電荷量を前記第1の動作
    モード時の前記センサ部の飽和信号電荷量の約1/(n
    ×m)に設定することを特徴とする請求項1記載の固体
    撮像装置。
  3. 【請求項3】 行列状に配列されて光電変換を行う複数
    のセンサ部と、これらセンサ部から読み出された信号電
    荷を垂直転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から転
    送された信号電荷を水平転送する水平転送部とを有する
    固体撮像素子と、 前記複数のセンサ部から読み出された信号電荷を独立に
    垂直転送する第1の動作モードと、前記センサ部から所
    定の繰り返し単位の画素のみの信号電荷を読み出した
    後、前記垂直転送部中および前記水平転送部中の少なく
    とも一方でN画素(N≧2)分の信号電荷を加算して転
    送する第2の動作モードとを選択的に設定して前記固体
    撮像素子を駆動する駆動手段と、 前記第2の動作モード時の前記センサ部の飽和信号電荷
    量を前記第1の動作モード時の前記センサ部の飽和信号
    電荷量の約1/Nに設定する飽和信号電荷量設定手段と
    を備えたことを特徴とする固体撮像装置。
  4. 【請求項4】 前記駆動手段は、前記第2の動作モード
    時に、前記垂直転送部中でn画素分の信号電荷を加算し
    て垂直転送し、その後前記水平転送部中でmライン(m
    ≧2)分の信号電荷を加算して水平転送するように駆動
    し、 前記飽和信号電荷利用設定手段は、前記第2の動作モー
    ド時の前記センサ部の飽和信号電荷量を前記第1の動作
    モード時の前記センサ部の飽和信号電荷量の約1/(n
    ×m)に設定することを特徴とする請求項3記載の固体
    撮像装置。
  5. 【請求項5】 前記駆動手段は、前記第2の動作モード
    として、前記水平転送部中でxライン(x≧2)分の信
    号電荷を加算して水平転送する第1のライン加算モード
    と、yライン(y≧x)分の信号電荷を加算して水平転
    送する第2のライン加算モードとの少なくとも2種類の
    モードを設定し、 前記飽和信号電荷利用設定手段は、前記第1のライン加
    算モード時の前記センサ部の飽和信号電荷量を前記第1
    の動作モード時の前記センサ部の飽和信号電荷量の約1
    /xに設定し、前記第2のライン加算モード時の前記セ
    ンサ部の飽和信号電荷量を前記第1の動作モード時の前
    記センサ部の飽和信号電荷量の約1/yに設定すること
    を特徴とする請求項4記載の固体撮像装置。
  6. 【請求項6】 行列状に配列されて光電変換を行う複数
    のセンサ部と、これらセンサ部から読み出された信号電
    荷を垂直転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から転
    送された信号電荷を水平転送する水平転送部とを有する
    固体撮像素子を備えた固体撮像装置において、 前記固体撮像素子の動作モードとして、前記複数のセン
    サ部から読み出された信号電荷を独立に垂直転送する第
    1の動作モードと、前記垂直転送部中でn画素(n≧
    2)分の信号電荷を加算して垂直転送する第2の動作モ
    ードとを選択的に設定し、 前記第2の動作モード時には、前記センサ部の飽和信号
    電荷量を前記第1の動作モード時の前記センサ部の飽和
    信号電荷量の約1/nに設定することを特徴とする固体
    撮像装置の駆動方法。
  7. 【請求項7】 行列状に配列されて光電変換を行う複数
    のセンサ部と、これらセンサ部から読み出された信号電
    荷を垂直転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から転
    送された信号電荷を水平転送する水平転送部とを有する
    固体撮像素子を備えた固体撮像装置において、 前記固体撮像素子の動作モードとして、前記複数のセン
    サ部から読み出された信号電荷を独立に垂直転送する第
    1の動作モードと、前記センサ部から所定の繰り返し単
    位の画素のみの信号電荷を読み出した後、前記垂直転送
    部中および前記水平転送部中の少なくとも一方でN画素
    (N≧2)分の信号電荷を加算して転送する第2の動作
    モードとを選択的に設定し、 前記第2の動作モード時には、前記センサ部の飽和信号
    電荷量を前記第1の動作モード時の前記センサ部の飽和
    信号電荷量の約1/Nに設定することを特徴とする固体
    撮像装置の駆動方法。
  8. 【請求項8】 行列状に配列されて光電変換を行う複数
    のセンサ部と、これらセンサ部から読み出された信号電
    荷を垂直転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から転
    送された信号電荷を水平転送する水平転送部とを有する
    固体撮像素子と、 前記複数のセンサ部から読み出された信号電荷を独立に
    垂直転送する第1の動作モードと、前記垂直転送部中で
    n画素(n≧2)分の信号電荷を加算して垂直転送する
    第2の動作モードとを選択的に設定して前記固体撮像素
    子を駆動する駆動手段と、 前記第2の動作モード時の前記センサ部の飽和信号電荷
    量を前記第1の動作モード時の前記センサ部の飽和信号
    電荷量の約1/nに設定する飽和信号電荷量設定手段と
    を備えたことを特徴とするカメラシステム。
  9. 【請求項9】 行列状に配列されて光電変換を行う複数
    のセンサ部と、これらセンサ部から読み出された信号電
    荷を垂直転送する垂直転送部と、前記垂直転送部から転
    送された信号電荷を水平転送する水平転送部とを有する
    固体撮像素子と、 前記複数のセンサ部から読み出された信号電荷を独立に
    垂直転送する第1の動作モードと、前記センサ部から所
    定の繰り返し単位の画素のみの信号電荷を読み出した
    後、前記垂直転送部中および前記水平転送部中の少なく
    とも一方でN画素(N≧2)分の信号電荷を加算して転
    送する第2の動作モードとを選択的に設定して前記固体
    撮像素子を駆動する駆動手段と、 前記第2の動作モード時の前記センサ部の飽和信号電荷
    量を前記第1の動作モード時の前記センサ部の飽和信号
    電荷量の約1/Nに設定する飽和信号電荷量設定手段と
    を備えたことを特徴とするカメラシステム。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003032549A (ja) * 2001-07-19 2003-01-31 Olympus Optical Co Ltd 撮像装置
JP2005198290A (ja) * 2003-12-30 2005-07-21 Samsung Electronics Co Ltd ダイナミックレンジを向上させたサブサンプリングモードを提供する固体撮像素子及びその駆動方法。
US7102680B2 (en) 2000-03-13 2006-09-05 Olympus Corporation Image pickup device capable of adjusting the overflow level of the sensor based on the read out mode
JP2007036609A (ja) * 2005-07-26 2007-02-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像装置の駆動方法および固体撮像装置
US7199826B2 (en) 2001-03-08 2007-04-03 Fuji Photo Film Co., Ltd. Thin-out drive method for CCD image sensor
JP2007295301A (ja) * 2006-04-25 2007-11-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 撮像装置、固体撮像装置および撮像装置の駆動方法
CN100359697C (zh) * 2003-10-31 2008-01-02 三洋电机株式会社 固体摄像元件的驱动方法
JP2008103668A (ja) * 2006-09-20 2008-05-01 Fujifilm Corp 裏面照射型撮像素子及びこれを備えた撮像装置
JP2009038645A (ja) * 2007-08-02 2009-02-19 Canon Inc 固体撮像素子の駆動方法および撮像装置
JP2010087927A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Sharp Corp 固体撮像装置およびその駆動方法、並びに電子情報機器
JP2011182245A (ja) * 2010-03-02 2011-09-15 Sony Corp 固体撮像素子、およびその駆動方法、並びにカメラ

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8120690B2 (en) * 2001-04-12 2012-02-21 Nikon Corporation Imaging device
JP3951879B2 (ja) * 2002-10-04 2007-08-01 ソニー株式会社 固体撮像素子及びその駆動方法
JP3838222B2 (ja) * 2003-05-30 2006-10-25 コニカミノルタフォトイメージング株式会社 撮像装置
JP4309737B2 (ja) * 2003-10-03 2009-08-05 パナソニック株式会社 撮像素子を駆動する駆動装置
US7714890B2 (en) * 2005-04-26 2010-05-11 Olympus Imaging Corp. Image pickup apparatus and method for controlling pixel reading using a shake determination
US8446508B2 (en) * 2005-07-27 2013-05-21 Sony Corporation Solid state imaging device with optimized locations of internal electrical components
US7508432B2 (en) * 2006-07-19 2009-03-24 Eastman Kodak Company CCD with improved substrate voltage setting circuit
US11032507B2 (en) * 2018-12-06 2021-06-08 Flir Commercial Systems, Inc. Frame rate and associated device manufacturing techniques for imaging systems and methods
US10931874B2 (en) 2018-12-06 2021-02-23 Flir Commercial Systems, Inc. Burst mode calibration sensing and image mode sensing for imaging systems and methods

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4963980A (en) * 1987-02-06 1990-10-16 Canon Kabushiki Kaisha Image sensing device
JP2662455B2 (ja) * 1990-09-13 1997-10-15 シャープ株式会社 固体撮像装置
US5528291A (en) * 1991-09-25 1996-06-18 Fuji Photo Film Co., Ltd. CCD image pickup device and method of driving which maintains sensitivity regardless of the operating mode
US5978024A (en) * 1994-04-15 1999-11-02 Lg Semicon Co., Ltd. Auto variable anti-blooming bias control circuit and method
JP3492029B2 (ja) * 1995-06-30 2004-02-03 キヤノン株式会社 撮像装置
JP3703175B2 (ja) * 1995-07-31 2005-10-05 キヤノン株式会社 撮像装置
JPH09247689A (ja) * 1996-03-11 1997-09-19 Olympus Optical Co Ltd カラー撮像装置
US5880777A (en) * 1996-04-15 1999-03-09 Massachusetts Institute Of Technology Low-light-level imaging and image processing
JP3839526B2 (ja) * 1996-09-20 2006-11-01 富士写真フイルム株式会社 ディジタルカメラ
US6335757B1 (en) * 1997-09-02 2002-01-01 Bojko Vodanovic CCD imaging device for high speed profiling
JP4160179B2 (ja) * 1998-11-06 2008-10-01 富士フイルム株式会社 固体撮像装置および信号読出し方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7102680B2 (en) 2000-03-13 2006-09-05 Olympus Corporation Image pickup device capable of adjusting the overflow level of the sensor based on the read out mode
US7199826B2 (en) 2001-03-08 2007-04-03 Fuji Photo Film Co., Ltd. Thin-out drive method for CCD image sensor
JP2003032549A (ja) * 2001-07-19 2003-01-31 Olympus Optical Co Ltd 撮像装置
CN100359697C (zh) * 2003-10-31 2008-01-02 三洋电机株式会社 固体摄像元件的驱动方法
JP2005198290A (ja) * 2003-12-30 2005-07-21 Samsung Electronics Co Ltd ダイナミックレンジを向上させたサブサンプリングモードを提供する固体撮像素子及びその駆動方法。
JP4700338B2 (ja) * 2003-12-30 2011-06-15 三星電子株式会社 ダイナミックレンジを向上させたサブサンプリングモードを提供する固体撮像素子及びその駆動方法。
JP2007036609A (ja) * 2005-07-26 2007-02-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 固体撮像装置の駆動方法および固体撮像装置
JP2007295301A (ja) * 2006-04-25 2007-11-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 撮像装置、固体撮像装置および撮像装置の駆動方法
JP2008103668A (ja) * 2006-09-20 2008-05-01 Fujifilm Corp 裏面照射型撮像素子及びこれを備えた撮像装置
JP4649441B2 (ja) * 2006-09-20 2011-03-09 富士フイルム株式会社 裏面照射型撮像素子及びこれを備えた撮像装置
JP2009038645A (ja) * 2007-08-02 2009-02-19 Canon Inc 固体撮像素子の駆動方法および撮像装置
JP2010087927A (ja) * 2008-09-30 2010-04-15 Sharp Corp 固体撮像装置およびその駆動方法、並びに電子情報機器
JP2011182245A (ja) * 2010-03-02 2011-09-15 Sony Corp 固体撮像素子、およびその駆動方法、並びにカメラ

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