JP2000135676A - マルチワイヤソーの砥粒の再使用方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】再使用される砥粒に塊がなく所定の大きさが得
られるマルチワイヤソー砥粒の再使用方法およびその装
置を提供することを目的とする。 【解決手段】使用済みスラリに遠心分離力を作用させ
て、砥粒成分とワーク切断粉とに分離した後、分離され
た砥粒を再使用するマルチワイヤソーの砥粒の再使用方
法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はマルチワイヤソー砥
粒の再使用方法およびその装置に係わり、特に砥粒の塊
のないスラリが得られるマルチワイヤソー砥粒の再使用
方法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】マルチワイヤソー（以下ワイヤソーとい
う。）は所定のピッチに配列されたワイヤ列にワークを
押し付け、砥粒を含むスラリを注ぎながらワイヤとワー
クを相対運動させ、研削作用により多数のウェーハに切
断する装置である。

【０００３】ワーク例えばシリコンインゴットＷを切断
してシリコンウェーハを製造するには、図１０に示すよ
うに、従来、ワイヤソー５１が用いられ、このワイヤソ
ー５１は１本のワイヤ５２を巻き付ける３個の多溝ロー
ラ５３を有する。この３個のうち１個はドライブローラ
５３であり、他の２個はガイドローラ５４として形成さ
れ、各多溝ローラ５３、５４間に１００〜３００μｍの
直径を有するワイヤ５２を０．３〜２０ｍｍ間隔で巻き
付けワイヤ列５４を構成し、このワイヤ列５５のワイヤ
５２をドライブ側多溝ローラ５３の駆動により往復走行
させるようになっている。

【０００４】また、ワイヤ列５５に対向する上方にはフ
ィードユニット５６が設けられ、カーボンベース５７を
介してフィードユニット５６に接着されたワークＷはワ
イヤ列５５に押し付けられる。

【０００５】さらに、ワイヤ列５５に対向する斜め上方
にはスラリ供給装置５８が設けられ、スラリ供給パイプ
５９を介してこのスラリ供給装置５８からワークＷのス
ライス時、ワイヤ列５５にＳｉＣ砥粒を分散させたスラ
リ（加工液）を、ワークＷに常時供給して、スラリをワ
イヤ列５５に塗布しながら、このワークＷを走行するワ
イヤ列５５に押し付けてスライスするものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のワイヤ
ソー５１において、スラリ供給装置５８から供給された
大量のスラリはワイヤ列５５にかけられてワークを切削
した後、スラリタンク６０に受け一部を抜き取り、抜き
取った量のスラリを補充して数回使用後廃棄されてい
た。このようにワークを数回切削しただけでスラリは廃
棄されており、ワイヤソー５１を用いたワークＷの切削
に要するランニングコストのうち、砥粒の占める割合が
大きく、砥粒の再使用方法が検討されていた。

【０００７】例えば、特開平８−１６８９５０号公報に
は、使用済みのスラリに遠心力を作用させて、未粉砕の
砥粒をワークの切粉と粉砕された砥粒から分離し、未粉
砕の砥粒を再使用するワイヤソー砥粒の再使用方法が開
示されている。

【０００８】また、特開平９−２３９６６１号公報に
は、フィルタにより上流側空間と下流側空間に区画され
た分離装置の上流側空間から廃スラリを導入し、下流側
空間に微粒成分を流出させて排出し、砥粒が付着したフ
ィルタに超音波を放射して上流側空間から砥粒を回収す
るワイヤソー砥粒の再使用方法が開示されている。

【０００９】一般に分離装置を介して回収された砥粒は
ケーキ状（粘土状）の塊になり、回収された砥粒をその
ままスラリに混ぜて使用すると撹拌子により粉砕（分
離）、撹拌するのに長時間を要し、さらに分離不十分な
砥粒の塊がワイヤを切断するトラブルを発生させること
がしばしばある。

【００１０】しかし、上記開示の二つの砥粒の再使用方
法では、回収された砥粒が塊にならないように、所定の
大きさに再処理する方法が示されていない。

【００１１】このため、再使用される砥粒は塊がなく、
所定の大きさの砥粒が得られるワイヤソー砥粒の再使用
方法およびその装置が要望されており、本発明は再使用
される砥粒は塊がなく、所定の大きさが得られるワイヤ
ソー砥粒の再使用方法およびその装置を提供することを
目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
になされた本願請求項１の発明は、砥粒を分散させたス
ラリを供給しつつ走行するワイヤ列をワークに押し付け
てワークを切削するマルチワイヤソーの砥粒の再使用方
法において、ワーク切断粉を含む使用済みスラリに遠心
分離力を作用させて、砥粒成分とワーク切断粉とに分離
した後、分離された砥粒を再使用するマルチワイヤソー
の砥粒の再使用方法であることを要旨としている。

【００１３】本願請求項２の発明では、上記分離された
砥粒は塊状になり、この分離された塊状の砥粒成分に運
動力を与えて塊状の砥粒成分を砥粒砥粒の大きさにして
再使用するを特徴とする請求項１に記載の砥粒の再使用
方法であることを要旨としている。

【００１４】本願請求項３の発明では、上記砥粒成分を
砥粒の大きさにする工程は、砥粒が通過可能な大きさの
透孔が多数設けられた容器に、前記砥粒成分を収納し、
しかる後この砥粒成分に運動力を与えて粉砕し、排出す
ることを特徴とする請求項２に記載の砥粒の再使用方法
であることを要旨としている。

【００１５】本願請求項４の発明では、上記分散された
砥粒は、スラリを構成する溶剤を、砥粒と溶剤の混合比
で１：０．２〜１：０．６含むことを特徴とする請求項
１から３のいずれか１項に記載のマルチワイヤソーの砥
粒の再使用方法であることを要旨としている。

【００１６】本願請求項５の発明では、上記分散された
ワーク切断粉には砥粒よりも小さい砥粒粉粉砕成分を含
むことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記
載のマルチワイヤソーの砥粒の再使用方法であることを
要旨としている。

【００１７】本願請求項６の発明は、砥粒を分散させた
スラリを供給しつつ走行するワイヤ列をワークに押しつ
けてワークを切削するマルチワイヤソーの砥粒の再使用
装置において、前記スラリを受け、かつスラリ供給装置
に連通するスラリタンクと、このスラリタンクに連設さ
れた遠心分離装置と、この遠心分離装置に連設された砥
粒粉砕装置と、この砥粒粉砕装置に連設され前記スラリ
タンクに連設されたスラリ調合タンクとを有し、前記砥
粒粉砕装置は砥粒が通過可能な大きさの透孔が多数設け
られた容器と、この容器に収納された砥粒成分に運動力
を与える運動力付与機構とよりなることを特徴とするマ
ルチワイヤソーの砥粒の再使用装置であることを要旨と
している。

【００１８】本願請求項７の発明では、上記容器は砥粒
が通過可能な大きさの透孔が多数設けられたパンチング
メタルで形成されており、運動付与機構は振動発生装置
であることを特徴とする請求項６に記載のマルチワイヤ
ソーの砥粒の再使用装置であることを要旨としている。

【００１９】本願請求項８の発明では、上記容器は砥粒
が通過可能な大きさの透孔が多数設けられた金網で形成
されており、運動付与機構は振動発生装置であることを
特徴とする請求項６に記載のマルチワイヤソーの砥粒の
再使用装置であることを要旨としている。

【００２０】本願請求項９の発明では、上記容器はスラ
リ調合タンクに貯えらたスラリに浸されていることを特
徴とする請求項７または８に記載のマルチワイヤソーの
砥粒の再使用装置であることを要旨としている。

【００２１】本願請求項１０の発明では、上記運動付与
機構は振動発生装置と前記容器内に設けられモータ駆動
される撹拌装置とを有することを特徴とする請求項７ま
たは８に記載のマルチワイヤソーの砥粒の再使用装置で
あることを要旨としている。

【００２２】本願請求項１１の発明では、上記容器は砥
粒が通過可能な大きさの透孔が多数設けられた金網で形
成されており、運動付与機構は前記容器を回転させるモ
ータ駆動の容器回転装置と前記容器内に設けられモータ
駆動される撹拌装置とを有することを特徴とする請求項
７または８に記載のマルチワイヤソーの砥粒の再使用装
置であることを要旨としている。

【００２３】本願請求項１２の発明では、上記運動付与
機構は容器にスラリ調合タンクのスラリを循環供給する
循環ポンプと前記容器内に設けられモータ駆動される撹
拌装置とを有することを特徴とする請求項７または８に
記載のマルチワイヤソーの砥粒の再使用装置であること
を要旨としている。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係わるマルチワイ
ヤソー砥粒の再使用方法およびその装置の実施の形態に
ついて添付図面に基づき説明する。

【００２５】図１は本発明に係わるマルチワイヤソー砥
粒の再使用装置１を示すもので、このワイヤソー砥粒の
再使用装置１は、このワイヤソー２の下方に設けられた
スラリタンク３と、スラリ抜き取りタンク４を介してス
ラリタンク３に連設された遠心分離装置５と、この遠心
分離装置５に連設された砥粒粉砕装置６と、この砥粒粉
砕装置６に連設され上記スラリタンク３とに連通するス
ラリ調合タンク７とで構成されている。

【００２６】上記ワイヤソー２は、図２に示すように１
本のワイヤ８と、このワイヤ８を巻き付ける多溝ドライ
ブローラ９と、２個のガイドローラ１０とで形成され、
各多溝ローラ９、１０間に１００〜３００μｍの直径を
有するワイヤ８を０．３〜２０ｍｍ間隔で巻き付けワイ
ヤ列１１を構成し、このワイヤ列１１のワイヤ８を多溝
ドライブローラ９の駆動により往復走行させるようにな
っている。

【００２７】また、ワイヤ列１１に対向する上方にはフ
ィードユニット１２が設けられ、カーボンベース１３を
介してフィードユニット１２に接着されたワーク例えば
シリコンインゴットＷはワイヤ列１１に押し付けられ
る。

【００２８】さらに、ワイヤ列１１に対向する斜め上方
にはスラリ供給装置１４が設けられ、このスラリ供給装
置１４は上記スラリタンク３とスラリ供給パイプ１５に
より連通されており、シリコンインゴットＷのスライス
時、スラリ供給装置１４からワイヤ列１１にＳｉＣ砥粒
を分散させたスラリを、シリコンインゴットＷに常時供
給して、スラリをワイヤ列１１に塗布しながら、このシ
リコンインゴットＷを走行するワイヤ列１１に押し付け
てスライスするものである。

【００２９】上記遠心分離装置５は図３に示すように横
型で、一端にはスラリ導入口１６ａと回収スラリが排出
される回収スラリ排出口１６ｃ、他端には廃液が排出さ
れる廃液排出口１６ｂが設けられたケーシング１６と、
このケーシング１６に回転自在に設けられた羽根車１７
とで構成されており、スラリ導入口１６ａから導入され
た使用済みスラリは回転力を与えられたケーシング１６
と羽根車１７のスクリューコンベア１７ａの作用により
砥粒と廃液に分離されるようになっている。廃液排出口
１６ｂは廃液タンク１８に連通され、砥粒排出口１６ｃ
は砥粒粉砕装置６に連設されている。

【００３０】上記砥粒粉砕装置６は図４に示すようにス
ラリ調合タンク７の上方に配設され、砥粒が通過可能な
大きさの透孔が多数設けられた容器例えば三角錐形状で
砥粒が通過可能な大きさの透孔が多数設けられたパンチ
ングメタル製の容器１９と、遠心分離装置５を介してこ
の容器１９に収納されたオイルを含むケーキ状（粘土
状）の砥粒からなる砥粒成分に運動力を与える運動力付
与機構例えば振動発生装置２０とで構成されており、容
器１９に収納されたケーキ状の砥粒成分は振動発生装置
２０により運動力が与えられる。上記容器１９に設けら
れた砥粒が通過可能な大きさの透孔の大きさ（口径）
は、例えば砥粒の大きさ（粒径）が１０〜３０μｍの場
合、透孔１９ｈの６０〜７０％の大きさの砥粒が通過で
きると仮定して、４５μｍである。また、砥粒が溶剤を
含み、砥粒と溶剤の混合比が１：０．２〜１：０．６と
なるケーキ状のスラリとなっている場合は、３〜２０ｍ
ｍの透孔１９ｈに設定するのがよい。

【００３１】さらに図４に示すように砥粒粉砕装置６の
下方に配設されたスラリ調合タンク７には、スラリ撹拌
用でモータ駆動の撹拌装置２１が設けられ、さらに図１
に示すようにスラリ調合タンク７に新砥粒を供給する新
砥粒ホッパ２２と、新しい溶剤例えばオイルを供給する
新オイル供給容器（ドラム缶）２３が連通されている。

【００３２】なお、未使用の新しいスラリは粒径１０〜
３０μｍのカーボランダム等のＳｉＣと溶剤となる支持
オイルからできている。

【００３３】次に本発明に係わるワイヤソー砥粒の再使
用装置１を用いたマルチワイヤソーの砥粒の再使用方法
を説明する。

【００３４】ワーク例えばシリコンインゴットＷを切削
例えば切断するには、このシリコンインゴットＷを、カ
ーボンベース１３を介してフィードユニット１２に取り
付ける。次にスラリタンク３に貯えられているスラリ
を、スラリ供給パイプ１５を介してスラリ供給装置１４
から走行するワイヤ列５に塗布させる。

【００３５】しかる後スラリが塗布され走行するワイヤ
列１１にシリコンインゴットＷを押し付けシリコンイン
ゴットＷを所定の厚さに切断する。

【００３６】一方、ワイヤ列１１に塗布され使用された
スラリは使用済みスラリとしてワイヤ列１１の下方に設
けられたスラリタンク３に貯えられる。

【００３７】このスラリタンク３に貯えられた使用済み
スラリには、シリコンインゴットＷとワイヤ列５間で粉
砕されて砥粒より小さい砥粒成分すなわち大きさが１〜
５μｍになった粉砕砥粒と、元の大きさすなわち粒径１
０〜３０μｍの砥粒と、数μｍのシリコンインゴットＷ
の切削粉と、ワイヤ８から出る１〜５μｍの金属粉とが
含まれる。

【００３８】上記スラリタンク３に貯えられた使用済み
スラリは、図１に示すようなワイヤソー砥粒の再使用装
置１により再使用される。

【００３９】例えば、スラリタンク３に貯えられた使用
済みスラリの半分は、スラリ抜き取りタンク４に抜き取
られ、残りの半分は、後述する方法により再生されたス
ラリと混合されて再使用される。

【００４０】図３に示すように、スラリ抜き取りタンク
４に貯えられた廃スラリはスラリ導入口１６ａを介して
遠心分離装置５に導入されて、この遠心分離装置５によ
り、回収スラリと廃液に分離される。回収スラリには砥
粒およびオイルの大部分が回収されて含有され、また未
分離の切粉の半分が含有され、一方、廃液には砥粒およ
びオイルの一部と切粉の半分が含有されている。

【００４１】回収スラリは回収スラリ排出口１６ｃを介
して遠心分離装置５に連設された砥粒粉砕装置６に送ら
れ、廃液は廃液排出口１６ｂを介して廃液タンク１８に
送られる。

【００４２】砥粒粉砕装置６に送られた回収スラリは、
遠心分離装置５の遠心力の作用により多くのオイルが分
離除去されて濃縮され、砥粒と溶剤であるオイルの混合
比が１：０．２〜１：０．６となるケーキ状のスラリと
なっている。そして、この回収スラリは、砥粒粉砕装置
６の容器１９の透孔１９ｈを通過できず容器１９に停滞
する。この容器１９に停滞したケーキ状のスラリは、図
４に示すように、容器１９が運動力付与機構例えば振動
発生装置２０により揺動運動を与えられているので、ケ
ーキ状のスラリに運動力が与えられ、このケーキ状のス
ラリは粉砕されてオイルと所定の大きさの砥粒となり、
透孔１９ｈを通過して、スラリ調合タンク７に落下す
る。

【００４３】スラリ調合タンク７に落下した所定の大き
さの砥粒とオイルは、廃液に含まれて廃棄された量と同
量の新砥粒ホッパ２２から供給された砥粒、新オイル供
給容器２３から供給されたオイルと共に、撹拌装置２１
により撹拌される。このようにして再生スラリが再生さ
れ、再生されたスラリは再びスラリタンク３に送られ、
スラリとして再使用される。

【００４４】上述のように、遠心分離装置５によってケ
ーキになったオイルを含んだスラリは、揺動する容器１
９により粉砕されて、透孔１９ｈを通過し、砥粒の大き
さ例えば粒径１０〜３０μｍに整粒されるものである。

【００４５】なお、上述した実施の形態では、砥粒粉砕
装置６を図４に示すようにパンチングメタル製の容器１
９と、この容器１９に収納された砥粒成分に運動力を与
える運動力付与機構例えば振動発生装置２０とで構成し
たが、図５に示すように、スラリ調合タンク３１のスラ
リに浸された容器３２を砥粒とほぼ同じ大きさの透孔を
有する金網、またはケーキ状となったスラリを粉砕する
場合には、３〜２０ｍｍの透孔を有する金網で形成し、
この容器３２を運動付与機構３３で振動させるようにし
てもよい。また、図６に示すように、スラリ調合タンク
３４のスラリに浸された金網製の容器３５内の砥粒に運
動力を与える運動付与機構３６は振動発生装置３６ａ
と、容器３５内のスラリを撹拌するモータ駆動の撹拌装
置３６ｂで構成してもよい。

【００４６】さらに、図７に示すように、スラリ調合タ
ンク３７のスラリに浸された金網製の容器３８内の砥粒
に運動力を与える運動付与機構３９を容器３８を回転さ
せるモータ３９ａと、容器３９内のスラリを撹拌するモ
ータ駆動の撹拌装置３９ｂで構成してもよい。また、図
８に示すように、スラリ調合タンク４０のスラリに浸さ
れた金網製の容器４１内の砥粒に運動力を与える運動付
与機構４２をスラリをスラリ調合タンク４０で循環させ
るポンプ４２ａと、容器４１内のスラリをモータ駆動の
撹拌装置４５とで構成してもよい。

【００４７】

【実施例】本発明に係わるマルチワイヤソーの砥粒の再
使用方法およびその装置を用いた砥粒の再使用の実施例
を図１０に示す。上段にはスラリ再使用処理工程におけ
るスラリ構成要素の具体的処理量を示し、このスライス
後再生前のスラリは複数の工程を経て再生スラリにな
る。下段には上段のスラリ再使用処理工程に対応する再
使用処理装置の具体的構成要素を示す。

【００４８】

【発明の効果】本発明に係わるマルチワイヤソーの砥粒
の再使用方法およびその装置によれば、遠心分離装置に
よって生成される砥粒の塊に運動力を与えて、砥粒の大
きさにし、砥粒に塊がなく、砥粒の粉砕、スラリの撹拌
に長時間を必要とせず、さらに分離不十分な砥粒の塊に
よってワイヤが切断するトラブルの発生を防止すること
ができる。

【００４９】また、砥粒粉砕装置を透孔が多数設けられ
た容器と運動力付与機構とで構成したので、砥粒の再使
用処理工程内で容易に砥粒の塊を砥粒の大きさに粉砕す
ることができる。

【００５０】多数の透孔が設けられた容器をパンチング
メタルで形成したので、容器の製作が容易であるととも
に、確実に砥粒の粉砕を行うことができる。

【００５１】多数の透孔が設けられた容器を金網で形成
したので、容器の製作が容易であるとともに、極めて砥
粒の通過性のよい容器が得られて、再生時間を短縮でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるマルチワイヤソー砥粒の再使用
装置の説明図。

【図２】本発明に係わるマルチワイヤソー砥粒の再使用
装置に用いられるマルチワイヤソーの説明図。

【図３】本発明に係わるマルチワイヤソー砥粒の再使用
装置に用いられる遠心分離装置の説明図。

【図４】本発明に係わるマルチワイヤソー砥粒の再使用
装置に用いられる砥粒粉砕装置の説明図。

【図５】本発明に係わるマルチワイヤソー砥粒の再使用
装置に用いられる他の砥粒粉砕装置の説明図。

【図６】本発明に係わるマルチワイヤソー砥粒の再使用
装置に用いられる他の砥粒粉砕装置の説明図。

【図７】本発明に係わるマルチワイヤソー砥粒の再使用
装置に用いられる他の砥粒粉砕装置の説明図。

【図８】本発明に係わるマルチワイヤソー砥粒の再使用
装置に用いられる他の砥粒粉砕装置の説明図。

【図９】本発明に係わるマルチワイヤソーの砥粒の再使
用方法およびその装置を用いた砥粒の再使用の実施例を
示す説明図。

【図１０】従来のマルチワイヤソーの説明図。

【符号の説明】

１ マルチワイヤソー砥粒の再使用装置 ２ マルチワイヤソー ３ スラリタンク ４ スラリ抜き取りタンク ５ 遠心分離装置 ６ 砥粒粉砕装置 ７ スラリ調合タンク ８ ワイヤ ９ 多溝ドライブローラ １０ 多溝ガイドローラ １１ ワイヤ列 １２ フィードユニット １３ カーボンベース １４ スラリ供給装置 １５ スラリ供給パイプ １６ ケーシング １７ 羽根車 １７ａ スクリューコンベア １８ 廃液タンク １９ 容器 ２０ 振動発生装置 ２１ 撹拌装置 ２２ 新砥粒ホッパ ２３ 新オイル供給容器 Ｗ ワーク（シリコンインゴット）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 道雄 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内 (72)発明者 岩田 康幸 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内 (72)発明者 辻本 健一 愛知県刈谷市小垣江町南藤１番地 東芝セ ラミックス株式会社刈谷製造所内 Ｆターム(参考） 3C047 FF06 FF09 GG14 GG15 GG17 GG18 3C069 AA01 BA06 BB03 CA04 DA06 EA02

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 砥粒を分散させたスラリを供給しつつ走
   行するワイヤ列をワークに押し付けてワークを切削する
   マルチワイヤソーの砥粒の再使用方法において、ワーク
   切断粉を含む使用済みスラリに遠心分離力を作用させ
   て、砥粒成分とワーク切断粉とに分離した後、分離され
   た砥粒を再使用するマルチワイヤソーの砥粒の再使用方
   法。
2. 【請求項２】 上記分離された砥粒は塊状になり、この
   分離された塊状の砥粒成分に運動力を与えて塊状の砥粒
   成分を砥粒の大きさにして再使用するを特徴とする請求
   項１に記載の砥粒の再使用方法。
3. 【請求項３】 上記砥粒成分を砥粒の大きさにする工程
   は、砥粒が通過可能な大きさの透孔が多数設けられた容
   器に、前記砥粒成分を収納し、しかる後この砥粒成分に
   運動力を与えて粉砕し、排出することを特徴とする請求
   項２に記載の砥粒の再使用方法。
4. 【請求項４】 上記分散された砥粒は、スラリを構成す
   る溶剤を、砥粒と溶剤の混合比で１：０．２〜１：０．
   ６含むことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項
   に記載のマルチワイヤソーの砥粒の再使用方法。
5. 【請求項５】 上記分散されたワーク切断粉には砥粒よ
   りも小さい砥粒粉粉砕成分を含むことを特徴とする請求
   項１から４のいずれか１項に記載のマルチワイヤソーの
   砥粒の再使用方法。
6. 【請求項６】 砥粒を分散させたスラリを供給しつつ走
   行するワイヤ列をワークに押しつけてワークを切削する
   マルチワイヤソーの砥粒の再使用装置において、前記ス
   ラリを受け、かつスラリ供給装置に連通するスラリタン
   クと、このスラリタンクに連設された遠心分離装置と、
   この遠心分離装置に連設された砥粒粉砕装置と、この砥
   粒粉砕装置に連設され前記スラリタンクに連設されたス
   ラリ調合タンクとを有し、前記砥粒粉砕装置は砥粒が通
   過可能な大きさの透孔が多数設けられた容器と、この容
   器に収納された砥粒成分に運動力を与える運動力付与機
   構とよりなることを特徴とするマルチワイヤソーの砥粒
   の再使用装置。
7. 【請求項７】 上記容器は砥粒が通過可能な大きさの透
   孔が多数設けられたパンチングメタルで形成されてお
   り、運動付与機構は振動発生装置であることを特徴とす
   る請求項６に記載のマルチワイヤソーの砥粒の再使用装
   置。
8. 【請求項８】 上記容器は砥粒が通過可能な大きさの透
   孔が多数設けられた金網で形成されており、運動付与機
   構は振動発生装置であることを特徴とする請求項６に記
   載のマルチワイヤソーの砥粒の再使用装置。
9. 【請求項９】 上記容器はスラリ調合タンクに貯えらた
   スラリに浸されていることを特徴とする請求項７または
   ８に記載のマルチワイヤソーの砥粒の再使用装置。
10. 【請求項１０】 上記運動付与機構は振動発生装置と前
    記容器内に設けられモータ駆動される撹拌装置とを有す
    ることを特徴とする請求項７または８に記載のマルチワ
    イヤソーの砥粒の再使用装置。
11. 【請求項１１】 上記容器は砥粒が通過可能な大きさの
    透孔が多数設けられた金網で形成されており、運動付与
    機構は前記容器を回転させるモータ駆動の容器回転装置
    と前記容器内に設けられモータ駆動される撹拌装置とを
    有することを特徴とする請求項７または８に記載のマル
    チワイヤソーの砥粒の再使用装置。
12. 【請求項１２】 上記運動付与機構は容器にスラリ調合
    タンクのスラリを循環供給する循環ポンプと前記容器内
    に設けられモータ駆動される撹拌装置とを有することを
    特徴とする請求項７または８に記載のマルチワイヤソー
    の砥粒の再使用装置。