JP2000133892A - フレキシブルプリント配線板の製造方法 - Google Patents

フレキシブルプリント配線板の製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 金型を使用せずに、フレキシブルプリント配
線板(特に2層フレキシブルプリント配線板)の外形加
工を実現する。 【解決手段】 フレキシブルプリント配線板の製造方法
は、(a)導電層1上にポリアミック酸ワニス等のポリ
イミド系ワニスをキャスト成膜することによりポリイミ
ド前駆体層2を形成する工程; (b)ポリイミド前駆
体層2を、作製すべきフレキシブルプリント配線板の外
形線に応じて、導電層1が露出するまで線状にエッチン
グする工程; (c)ポリイミド前駆体層2をイミド化
することにより絶縁層3を形成する工程; (d)導電
層1と反対側の絶縁層3の表面上にキャリアシート4を
設ける工程; 及び(e)導電層1に対しエッチングに
よりフレキシブルプリント配線板の外形加工を行うと共
に配線回路1aを形成する工程を含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フレキシブルプリ
ント配線板の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】銅箔上にポリアミック酸ワニス等のポリ
イミド系ワニスをキャスト成膜してポリアミック酸膜等
のポリイミド前駆体膜を形成し、そのポリイミド前駆体
膜をイミド化して絶縁層とした2層積層材料の当該銅箔
に、常法により配線回路を形成した2層フレキシブルプ
リント配線板が様々な分野で使用されている。
【0003】このような2層フレキシブルプリント配線
板の外形加工(外形切断)を行う場合には、図3に示す
ように、配線回路31が形成されたフレキシブルプリン
ト配線板30(同図(a))を金型32(同図(b))
に挟み込み圧切し、フレキシブルプリント配線板33
(同図(c))を得ている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図3に
示すように金型で外形加工する場合、以下に説明するよ
うな問題(i)〜(iv)があり、フレキシブルプリン
ト配線板の製造コストの上昇が避けれないという問題が
あった。
【0005】(i)金型のイニシャルコストが高く、金
型の製作にはかなりの時間がかかり、しかもかなりの頻
度でメンテナンス(時間、コスト、労力)が必要とな
る; (ii)金型は、外形加工すべきフレキシブルプリント配
線板の形状が異なると使用できない; (iii)加工時に生ずるカスにより加工不良が生ずる場
合がある; (iv)金型の交換等の段取りに手間がかかる。
【0006】本発明は、以上の従来の技術の問題点を解
決するものであり、金型を使用せずに、フレキシブルプ
リント配線板(特に2層フレキシブルプリント配線板)
の外形加工を実現することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明者は、(1)導電
層上にキャスト成膜したポリアミック酸膜等のポリイミ
ド前駆体層が、イミド化する前であれば、化学エッチン
グにより容易にパターニングできること; 及び(2)
その性質を利用し、作製すべきフレキシブルプリント配
線板の外形線に応じ、ポリイミド前駆体層を線状(好ま
しくは実線状又は破線状)にエッチングし、その後の配
線回路のパターニングの際に同時に外形線をエッチング
すると、結果的に金型を使用せずに外形加工が可能にな
ること;を見出し、本発明のフレキシブルプリント配線
板の製造方法を完成させるに至った。
【0008】即ち、第1の本発明は、以下の工程(a)
〜(e): (a)導電層上にポリアミック酸ワニス等のポリイミド
系ワニスをキャスト成膜することによりポリイミド前駆
体層を形成する工程; (b)ポリイミド前駆体層を、作製すべきフレキシブル
プリント配線板の外形線に応じて、導電層が露出するま
で線状にエッチングする工程; (c)ポリイミド前駆体層をイミド化することにより絶
縁層を形成する工程; (d)導電層と反対側の絶縁層の表面上にキャリアシー
トを設ける工程;及び (e)導電層に対しエッチングによりフレキシブルプリ
ント配線板の外形加工を行うと共に配線回路を形成する
工程;を含んでなることを特徴とするフレキシブルプリ
ント配線板の製造方法。
【0009】また、第2の本発明は、以下の工程(A)
〜(D): (A)導電層上にポリアミック酸ワニス等のポリイミド
系ワニスをキャスト成膜することによりポリイミド前駆
体層を形成する工程; (B)ポリイミド前駆体層を、作製すべきフレキシブル
プリント配線板の外形線に応じて、導電層が露出するま
で不連続線状にエッチングする工程; (C)ポリイミド前駆体層をイミド化することにより絶
縁層を形成する工程; 及び (D)導電層に対しエッチングによりフレキシブルプリ
ント配線板の外形加工を行うと共に配線回路を形成する
工程;を含んでなることを特徴とするフレキシブルプリ
ント配線板の製造方法を提供する。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、第1の本発明を詳細に説明
する。
【0011】第1の本発明のフレキシブルプリント配線
板の製造方法を、図1を参照しながら工程毎に詳細に説
明する。
【0012】工程(a) 先ず、導電層1上にポリアミック酸ワニス等のポリイミ
ド系ワニスをキャスト成膜することによりポリアミック
酸膜等のポリイミド前駆体層2を形成する(図1
(a))。
【0013】導電層1としては、銅箔が一般的である
が、他の金属、金、銀、アルミニウム、はんだ、ニッケ
ル、それらの合金等から形成してもよい。
【0014】また、導電層1の層厚は、フレキシブルプ
リント配線板の使用目的等に応じて適宜決定することが
できる。
【0015】ポリイミド系ワニスのキャスト成膜条件に
ついても、フレキシブルプリント配線板の使用目的等に
応じて適宜決定することができる。
【0016】工程(b) 次に、ポリイミド前駆体層2を、作製すべきフレキシブ
ルプリント配線板の外形線に応じて、導電層1が露出す
るまで常法に従って線状、好ましくは実線状にエッチン
グする(図1(b),エッチング部分2a)。ポリイミ
ド前駆体層2のエッチング条件は、ポリイミド前駆体層
2の層厚等に応じて適宜選択することができる。
【0017】図1(b)においては、実線状にエッチン
グしたが、エッチング部分2aに必要に応じて適宜マイ
クロジョイントを設けてもよい(図示せず)。
【0018】工程(c) ポリイミド前駆体層2をイミド化することにより絶縁層
3(図1(b)参照)を形成する。
【0019】イミド化の条件としては、ポリイミド前駆
体層2の層厚等に応じて、適宜決定することができ、例
えば、200℃(5分間)及び350℃(10分間)と
いう条件を例示することができる。
【0020】工程(d) 次に、導電層1と反対側の絶縁層3の表面上に、キャリ
アシート4を、例えば感圧接着剤を介して設ける(図1
(c))。
【0021】キャリアシート4としては、従来のフレキ
シブルプリント配線板において用いられているものと同
様のものを使用することができ、例えば、125μm厚
PETシート上にUV照射剥離型粘着剤膜が形成された
キャリア搬送シート等を使用することができる。
【0022】キャリアシート4の厚みは、フレキシブル
プリント配線板の使用目的等に応じて適宜決定すること
ができる。
【0023】工程(e) 次に、導電層1に対しエッチングによりフレキシブルプ
リント配線板の外形加工を行うと共に配線回路1aを形
成する。これにより、図1(d)に示すフレキシブルプ
リント配線板が得られる。ここで、エッチング条件や、
配線回路1aへのパターニング手法については、従来公
知の条件、手法の中から適宜選択することができる。
【0024】なお、外形加工を行うことにより、一製品
単位での取り扱いが可能となる。
【0025】第1の本発明の製造方法においては、更
に、以下の工程(f)を実施することが配線回路の保護
のために好ましい。
【0026】工程(f) 配線回路1a上にカバーレイ5を設ける(図1
(e))。
【0027】カバーレイ5としては、従来公知のカバー
レイ(特開平6−204635号公報参照)を利用する
ことができ、特に、ポリアミック酸ワニス等のポリイミ
ド系ワニスをキャスト成膜してポリイミド前駆体膜を形
成し、それをイミド化して硬化させたポリイミド膜を利
用することが好ましい。
【0028】ここで、配線回路1aが端子パターン1b
を有している場合、その端子パターン1bの先端部1c
に隣接する領域(接続部)1dの端子パターン1bが露
出するようにカバーレイ5を形成することが好ましい
(図1(f))。これにより、端子パターン1bの先端
の剥がれや端子パターン1b間のショートを確実に防止
することができる。
【0029】次に、第2の本発明のフレキシブルプリン
ト配線板の製造方法について、図2を参照しながら工程
毎に詳細に説明する。
【0030】工程(A) 先ず、第1の発明の工程(a)と同様に、導電層21上
にポリアミック酸ワニス等のポリイミド系ワニスをキャ
スト成膜することによりポリイミド前駆体層22を形成
する(図2(A))。
【0031】工程(B) 次に、ポリイミド前駆体層22を、作製すべきフレキシ
ブルプリント配線板の外形線に応じて、導電層21が露
出するまで常法に従って不連続線状、好ましくは破線状
にエッチングする(図2(B),エッチング部分22
a)。このように破線状にエッチングすることにより、
エッチングされていない部分22bがマイクロジョイン
トとなる。
【0032】ポリイミド前駆体層22のエッチング条件
は、ポリイミド前駆体層22の層厚等に応じて適宜選択
することができる。
【0033】工程(C) 次に、第1の本発明の工程(c)と同様に、ポリイミド
前駆体層22をイミド化することにより絶縁層23を形
成する(図2(B)参照)。
【0034】工程(D) 次に、第1の本発明の工程(e)と同様に、導電層21
に対しエッチングによりフレキシブルプリント配線板の
外形加工を行うと共に配線回路21aを形成する。これ
により、マイクロジョイント22bを有する図2(C)
に示すフレキシブルプリント配線板が得られる。
【0035】第2の本発明の製造方法においては、更
に、以下の工程(E)を実施することが配線回路の保護
のために好ましい。
【0036】なお、外形加工の意味は、前述した通りで
ある。
【0037】工程(E) 配線回路21a上にカバーレイ24を設ける(図2
(D))。
【0038】カバーレイ24としては、従来公知のカバ
ーレイ(特開平6−204635号公報参照)を利用す
ることができ、特に、ポリアミック酸ワニス等のポリイ
ミド系ワニスをキャスト成膜してポリイミド前駆体膜を
形成し、それをイミド化して硬化させたポリイミド膜を
利用することが好ましい。
【0039】ここで、配線回路21aが端子パターン2
1bを有している場合、第1の本発明の場合と同様に、
端子パターン21bの先端部21cに隣接する領域(接
続部)21dの端子パターン21bが露出するようにカ
バーレイ24を形成することが好ましい(図2
(E))。これにより、端子パターン21bの先端の剥
がれや端子パターン21b間のショートを確実に防止す
ることができる。
【0040】なお、第2の本発明においては、工程
(B)と工程(C)との間で、以下の工程(B´)を実
施することが好ましい。
【0041】工程(B´) 導電層21と反対側のポリイミド前駆体層22の表面上
にキャリアシート25を設ける(図2(B´))。
【0042】キャリアシート25としては、従来のフレ
キシブルプリント配線板において用いられているものと
同様のものを使用することができ、例えば、前述した1
25μm厚PETシート上にUV照射剥離型粘着剤膜が
形成されたキャリア搬送シート等を使用することができ
る。
【0043】キャリアシート25の厚みは、フレキシブ
ルプリント配線板の使用目的等に応じて適宜決定するこ
とができる。
【0044】このようにして得られるフレキシブルプリ
ント配線板は、電子機器の配線基板として有用である。
【0045】
【実施例】以下、本発明を詳細に説明する。
【0046】実施例1 幅250mmで長さ50mのロール状電解銅箔(18μ
m厚)上に、ポリアミック酸の12%N−メチル−2−
ピロリドン(NMP)溶液を3回に分けて塗布し、乾燥
(140℃)させ、固形分60%で31μ厚のポリアミ
ック酸膜(ポリイミド前駆体膜)を形成することによ
り、トータル厚49μmのフレキシブルプリント配線板
用のRoll原反を作製した。
【0047】次に、感光性耐アルカリレジスト(NR−
41A、ソニーケミカル社製)を、前述のRoll原反
のポリアミック酸膜上に、約20μm厚で塗布した。
【0048】次に、平行光露光機を用いて約40mJで
露光した。このとき、図1(b)に示すように開口部と
共に、0.2mm巾の実線状のエッチング部分も同様に
露光した。
【0049】次に、現像を行った。即ち、10%水酸化
ナトリウムエッチング液で銅箔が露出するまでエッチン
グし、次いでレジストを常法により剥離した。
【0050】次に、Roll to Rollで仮乾燥
(160℃−200℃−230℃−230℃、各温度の
炉長:2m、ラインスピード:1m/min)してNM
Pを除去した。その後、窒素置換雰囲気のオーブン中で
350℃、1時間の加熱を行うことによりポリアミック
酸膜をイミド化した。
【0051】次に、125μm厚のキャリアフィルム
(PET88、ソニーケミカル社製)を銅箔面にラミネ
ートし、ポリイミド膜側に露出している銅箔面に0.8
μm厚のスズメッキ膜を形成した。この際、外形スリッ
ト部についてはメッキレジストによりマスキングした。
【0052】次に、銅箔側のキャリアフィルムを引き剥
がし、新たに別のキャリアフィルムをポリイミド膜側に
ラミネートした。そして、銅箔側にドライフィルム(S
PG152、旭化成社製)をサブトラクティブ法により
ラミネートし、メッキマスクにパターニングし、CuC
2エッチング液でエッチングして回路パターンを形成
した。この回路パターン形成時において、露光操作は、
ポリイミド膜側の基準穴を画像処理にて正確(±0.0
5mm)に位置決めした。
【0053】次に、フォトソルダーレジスト(NPR−
80、日本ポリテック社製)を回路パターン上にスクリ
ーン印刷し、熱硬化させた。そして、露出している銅箔
上に無電解スズメッキ(0.8μm厚)をRoll t
o Rollで行うことによりフレキシブルプリント配
線板を得た。
【0054】
【発明の効果】本発明の製造方法によれば、金型を使用
することなくフレキシブルプリント配線板の外形加工で
きる。従って、本発明のフレキシブルプリント配線板
は、金型の使用に由来する問題点がなく、製造コストが
大幅に低減されたものとなる。また、外形加工がエッチ
ングで行われているので、精度の高い加工が可能であ
る。しかも、外形加工がRoll to Rollで行
うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のフレキシブルプリント配線板の製造
方法の説明図である。
【図2】 本発明のフレキシブルプリント配線板の製造
方法の説明図である。
【図3】 従来のフレキシブルプリント配線板の外形加
工の説明図である。
【符号の説明】
1,21 導電層、2,22 ポリイミド前駆体層、
3,23 絶縁層、4,25 キャリアシート、5,2
4 カバーレイ

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 以下の工程(a)〜(e): (a)導電層上にポリイミド系ワニスをキャスト成膜す
    ることによりポリイミド前駆体層を形成する工程; (b)ポリイミド前駆体層を、作製すべきフレキシブル
    プリント配線板の外形線に応じて、導電層が露出するま
    で線状にエッチングする工程; (c)ポリイミド前駆体層をイミド化することにより絶
    縁層を形成する工程; (d)導電層と反対側の絶縁層の表面上にキャリアシー
    トを設ける工程;及び (e)導電層に対しエッチングによりフレキシブルプリ
    ント配線板の外形加工を行うと共に配線回路を形成する
    工程;を含んでなることを特徴とするフレキシブルプリ
    ント配線板の製造方法。
  2. 【請求項2】 工程(b)において、導電層が露出する
    まで実線状にエッチングする請求項1記載の製造方法。
  3. 【請求項3】 更に、 (f)配線回路上にカバーレイを設ける工程;を有する
    請求項1又は2記載の製造方法。
  4. 【請求項4】 カバーレイが、ポリイミド系ワニスをキ
    ャスト成膜して硬化させたポリイミド膜である請求項3
    記載の製造方法。
  5. 【請求項5】 配線回路が端子パターンを有し、その端
    子パターンの先端部に隣接する領域の端子パターンが露
    出するようにカバーレイが形成されている請求項3又は
    4記載の製造方法。
  6. 【請求項6】 以下の工程(A)〜(D): (A)導電層上にポリイミド系ワニスをキャスト成膜す
    ることによりポリイミド前駆体層を形成する工程; (B)ポリイミド前駆体層を、作製すべきフレキシブル
    プリント配線板の外形線に応じて、導電層が露出するま
    で不連続線状にエッチングする工程; (C)ポリイミド前駆体層をイミド化することにより絶
    縁層を形成する工程; 及び (D)導電層に対しエッチングによりフレキシブルプリ
    ント配線板の外形加工を行うと共に配線回路を形成する
    工程;を含んでなることを特徴とするフレキシブルプリ
    ント配線板の製造方法。
  7. 【請求項7】 工程(B)において、導電層が露出する
    まで破線状にエッチングする請求項6記載の製造方法。
  8. 【請求項8】 更に、 (E)配線回路上にカバーレイを設ける工程;を有する
    請求項6又は7記載の製造方法。
  9. 【請求項9】 カバーレイが、ポリイミド系ワニスをキ
    ャスト成膜して硬化させたポリイミド膜である請求項8
    記載の製造方法。
  10. 【請求項10】 配線回路が端子パターンを有し、その
    端子パターンの先端部に隣接する領域の端子パターンが
    露出するようにカバーレイが形成されている請求項8又
    は9記載の製造方法。
  11. 【請求項11】 更に、工程(B)と工程(C)との間
    において、 (B´)導電層と反対側のポリイミド前駆体層の表面上
    にキャリアシートを設ける工程;を有する請求項6記載
    の製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002082104A1 (fr) * 2001-04-05 2002-10-17 Toray Engineering Co., Ltd. Substrat pour sonde et son procede de fabrication
JP2005277111A (ja) * 2004-03-25 2005-10-06 Casio Comput Co Ltd フレキシブル配線基板

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03250690A (ja) * 1990-02-28 1991-11-08 Sony Chem Corp フレキシブル回路基板の製造方法及び之に用いるフレキシブル回路基板製造用プレス加工機
JPH0484488A (ja) * 1990-07-27 1992-03-17 Nippon Steel Chem Co Ltd フレキシブルプリント配線板用基板の製造方法
JPH08102568A (ja) * 1994-09-30 1996-04-16 Sharp Corp シート状フレキシブルプリント配線板
JPH0918114A (ja) * 1995-04-28 1997-01-17 Sony Chem Corp フレキシブル回路基板の製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03250690A (ja) * 1990-02-28 1991-11-08 Sony Chem Corp フレキシブル回路基板の製造方法及び之に用いるフレキシブル回路基板製造用プレス加工機
JPH0484488A (ja) * 1990-07-27 1992-03-17 Nippon Steel Chem Co Ltd フレキシブルプリント配線板用基板の製造方法
JPH08102568A (ja) * 1994-09-30 1996-04-16 Sharp Corp シート状フレキシブルプリント配線板
JPH0918114A (ja) * 1995-04-28 1997-01-17 Sony Chem Corp フレキシブル回路基板の製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002082104A1 (fr) * 2001-04-05 2002-10-17 Toray Engineering Co., Ltd. Substrat pour sonde et son procede de fabrication
KR100924891B1 (ko) * 2001-04-05 2009-11-02 토레 엔지니어링 가부시키가이샤 프로브 기판 및 그 제조방법
JP2005277111A (ja) * 2004-03-25 2005-10-06 Casio Comput Co Ltd フレキシブル配線基板

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