JP2000127149A - バンドソー切断方法 - Google Patents
バンドソー切断方法Info
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- JP2000127149A JP2000127149A JP10308733A JP30873398A JP2000127149A JP 2000127149 A JP2000127149 A JP 2000127149A JP 10308733 A JP10308733 A JP 10308733A JP 30873398 A JP30873398 A JP 30873398A JP 2000127149 A JP2000127149 A JP 2000127149A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の課題は、ブレード２の周回転速度を上
げると共に、切削液の吹き付け量を増やした場合であっ
ても使用した切削液等がプーリー１ａ、１ｂとブレード
２との間に大量に入り込むのを効果的に抑止でき、それ
によりプーリー１ａ、１ｂとブレード２とのスリップを
抑止すると共に、ブレード２の周回転速度の安定化をは
かり、更にブレード２の振れを抑止して切断速度及び切
断精度を顕著に向上することができるバンドソー切断方
法を提供することにある。 【解決手段】本発明は、ブレードが切断箇所を通過した
後にそのブレードに付着した切削液等の付着物を除去す
るバンドソー切断方法である。
げると共に、切削液の吹き付け量を増やした場合であっ
ても使用した切削液等がプーリー１ａ、１ｂとブレード
２との間に大量に入り込むのを効果的に抑止でき、それ
によりプーリー１ａ、１ｂとブレード２とのスリップを
抑止すると共に、ブレード２の周回転速度の安定化をは
かり、更にブレード２の振れを抑止して切断速度及び切
断精度を顕著に向上することができるバンドソー切断方
法を提供することにある。 【解決手段】本発明は、ブレードが切断箇所を通過した
後にそのブレードに付着した切削液等の付着物を除去す
るバンドソー切断方法である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、無端状ブレードを
用いたバンドソー切断方法、特に、ＧａＡｓ結晶、シリ
コン結晶等の半導体結晶の切断に好適なバンドソー切断
方法に関するものである。
用いたバンドソー切断方法、特に、ＧａＡｓ結晶、シリ
コン結晶等の半導体結晶の切断に好適なバンドソー切断
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ＧａＡｓ結晶、シリコン結晶等
の半導体結晶は、ウエハ状に切断してから半導体基板等
に使用されるようになっている。
の半導体結晶は、ウエハ状に切断してから半導体基板等
に使用されるようになっている。
【０００３】図２は、従来のバンドソー型切断機による
半導体結晶の切断方法を示す説明図である。
半導体結晶の切断方法を示す説明図である。
【０００４】図２において、１ａ、１ｂはプーリー、２
は無端状のブレード、３、３′はブレード固定具、４、
４′は切削液供給ノズル、５は半導体結晶である。
は無端状のブレード、３、３′はブレード固定具、４、
４′は切削液供給ノズル、５は半導体結晶である。
【０００５】図２から分かるように従来のバンドソー型
切断機は、第１に所定間隔をおいてプーリー１ａ、１ｂ
が設置されており、第２にそれらプーリー１ａ、１ｂ間
には、無端状のブレード２が張設されており、第３にそ
のプーリー１ａ、１ｂ間に張設されたブレード２の一方
側の直線部には、ブレード固定具３、３′が設置されて
いる。
切断機は、第１に所定間隔をおいてプーリー１ａ、１ｂ
が設置されており、第２にそれらプーリー１ａ、１ｂ間
には、無端状のブレード２が張設されており、第３にそ
のプーリー１ａ、１ｂ間に張設されたブレード２の一方
側の直線部には、ブレード固定具３、３′が設置されて
いる。
【０００６】図示はしないが、このブレード固定具３、
３′は、高圧液体の圧力によりブレード２の振れを抑え
られるようになっている。また、半導体結晶５を切断す
る前の位置、換言すればプーリー１ｂと半導体結晶５と
の間に設置されているブレード固定具３には、そのブレ
ード２を挾む外側位置に切削液供給ノズル４、４′が設
置されており、そして、それら切削液供給ノズル４、
４′から切削液が切断部に供給されるようになってい
る。具体的には、ブレード２の刃先、半導体結晶５、ブ
レード２と半導体結晶５との接触部分等に切削液が吹き
付けられるようになっている。
３′は、高圧液体の圧力によりブレード２の振れを抑え
られるようになっている。また、半導体結晶５を切断す
る前の位置、換言すればプーリー１ｂと半導体結晶５と
の間に設置されているブレード固定具３には、そのブレ
ード２を挾む外側位置に切削液供給ノズル４、４′が設
置されており、そして、それら切削液供給ノズル４、
４′から切削液が切断部に供給されるようになってい
る。具体的には、ブレード２の刃先、半導体結晶５、ブ
レード２と半導体結晶５との接触部分等に切削液が吹き
付けられるようになっている。
【０００７】また、図示はしないが、プーリー１ａ、１
ｂの外周面には、ブレード固定具３、３′で使用した液
体及び切削液が排出できるように周方向に連続する横
溝、若しくは周方向に連続する横溝とこれと交差する縦
溝とが設けられている。
ｂの外周面には、ブレード固定具３、３′で使用した液
体及び切削液が排出できるように周方向に連続する横
溝、若しくは周方向に連続する横溝とこれと交差する縦
溝とが設けられている。
【０００８】そして、プーリー１ａには、図示しない駆
動モータが直接又はベルトを介して連結されており、そ
の駆動モータを駆動させることによりプーリー１ａが回
転駆動し、そのプーリー１ａの回転駆動によりブレード
２が周回駆動され、その回転運動しているブレード２に
徐々に上昇させた半導体結晶５を接触させて切断するよ
うになっている。
動モータが直接又はベルトを介して連結されており、そ
の駆動モータを駆動させることによりプーリー１ａが回
転駆動し、そのプーリー１ａの回転駆動によりブレード
２が周回駆動され、その回転運動しているブレード２に
徐々に上昇させた半導体結晶５を接触させて切断するよ
うになっている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】さて、従来のバンドソ
ー型切断機において切断速度及び切断精度の向上をはか
るには、ブレード２の周回転速度を上げると共に、切削
液の吹き付け量を増やすことが最も効果的であることが
分かっている。
ー型切断機において切断速度及び切断精度の向上をはか
るには、ブレード２の周回転速度を上げると共に、切削
液の吹き付け量を増やすことが最も効果的であることが
分かっている。
【００１０】しかし、従来のバンドソー型切断機におい
てブレード２の周回転速度を上げると共に、切削液の吹
き付け量を増やすと、ブレード固定具３、３′で使用し
た液体及び切削液がプーリー１ａ、１ｂとブレード２と
の間に大量に入り込み、その結果プーリー１ａ、１ｂの
外周に設けられている横溝、若しくは横溝とこれと交差
する縦溝では排出が間に合わなくなる。そうすると、プ
ーリー１ａ、１ｂとブレード２との間に水膜が形成さ
れ、それによりブレード２が浮いた状態となるため、プ
ーリー１ａ、１ｂとブレード２とのスリップが多発し、
その結果ブレード２の周回転速度を上げることもできな
く且つその周回転速度も不安定となる。その上プーリー
１ａ、１ｂの回転軸と垂直方向へのブレード２の振れが
大きくなり、その結果プーリー１ａ、１ｂからブレード
２が外れてしまう等の問題が発生する。
てブレード２の周回転速度を上げると共に、切削液の吹
き付け量を増やすと、ブレード固定具３、３′で使用し
た液体及び切削液がプーリー１ａ、１ｂとブレード２と
の間に大量に入り込み、その結果プーリー１ａ、１ｂの
外周に設けられている横溝、若しくは横溝とこれと交差
する縦溝では排出が間に合わなくなる。そうすると、プ
ーリー１ａ、１ｂとブレード２との間に水膜が形成さ
れ、それによりブレード２が浮いた状態となるため、プ
ーリー１ａ、１ｂとブレード２とのスリップが多発し、
その結果ブレード２の周回転速度を上げることもできな
く且つその周回転速度も不安定となる。その上プーリー
１ａ、１ｂの回転軸と垂直方向へのブレード２の振れが
大きくなり、その結果プーリー１ａ、１ｂからブレード
２が外れてしまう等の問題が発生する。
【００１１】このように、従来のバンドソー型切断機で
は、ブレード２の周回転速度を上げると共に、切削液の
噴出量を殖やすことにより切断速度及び切断精度の向上
をはかることが著しく困難であった。
は、ブレード２の周回転速度を上げると共に、切削液の
噴出量を殖やすことにより切断速度及び切断精度の向上
をはかることが著しく困難であった。
【００１２】本発明は、かかる点に立って為されたもの
であって、その目的とするところは、上記した従来技術
の欠点を解消し、ブレード２の周回転速度を上げると共
に、切削液の吹き付け量を増やした場合であっても切削
液等がプーリー１ａ、１ｂとブレード２との間に大量に
入り込むのを効果的に抑止でき、それによりプーリー１
ａ、１ｂとブレード２とのスリップを抑止すると共に、
ブレード２の周回転速度の安定化をはかり、更にブレー
ド２の振れを抑止して切断速度及び切断精度を顕著に向
上することができるバンドソー切断方法を提供すること
にある。
であって、その目的とするところは、上記した従来技術
の欠点を解消し、ブレード２の周回転速度を上げると共
に、切削液の吹き付け量を増やした場合であっても切削
液等がプーリー１ａ、１ｂとブレード２との間に大量に
入り込むのを効果的に抑止でき、それによりプーリー１
ａ、１ｂとブレード２とのスリップを抑止すると共に、
ブレード２の周回転速度の安定化をはかり、更にブレー
ド２の振れを抑止して切断速度及び切断精度を顕著に向
上することができるバンドソー切断方法を提供すること
にある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨とするとこ
ろは、ブレードが切断箇所を通過した後にそのブレード
に付着した切削液等の付着物を除去することを特徴とす
るバンドソー切断方法である。
ろは、ブレードが切断箇所を通過した後にそのブレード
に付着した切削液等の付着物を除去することを特徴とす
るバンドソー切断方法である。
【００１４】なお、ブレードは、所定間隔をおいて設置
された２個のプーリー間に張設されると共に、該プーリ
ーにより周回駆動されるが、前記ブレードの少なくとも
前記プーリーと接触する側の面へ高圧気体を噴射して付
着物を除去することが好ましい。
された２個のプーリー間に張設されると共に、該プーリ
ーにより周回駆動されるが、前記ブレードの少なくとも
前記プーリーと接触する側の面へ高圧気体を噴射して付
着物を除去することが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明のバンドソー切断方
法の実施形態を図面により説明する。
法の実施形態を図面により説明する。
【００１６】図１は、本発明のバンドソー切断方法の一
実施形態を示した説明図である。
実施形態を示した説明図である。
【００１７】図１において、１ａ、１ｂはプーリー、２
はエンドレスト状のブレード、３、３′はブレード固定
具、４、４′は切削液供給ノズル、５は半導体結晶、６
は高圧ガス噴射ノズルである。
はエンドレスト状のブレード、３、３′はブレード固定
具、４、４′は切削液供給ノズル、５は半導体結晶、６
は高圧ガス噴射ノズルである。
【００１８】本実施形態で用いたバンドソー型切断機
は、第１に所定間隔をおいてプーリー１ａ、１ｂが設置
されており、第２にそれらプーリー１ａ、１ｂ間には、
エンドレスト状のブレード２が張設されており、第３に
そのプーリー１ａ、１ｂ間に張設されたブレード２の一
方側の直線部には、ブレード固定具３、３′が設置され
ている。また、図示はしないが、このブレード固定具
３、３′は、高圧液体の圧力によりブレード２の振れが
抑えられるようになっている。ブレード２が半導体結晶
５を切断する前の位置、換言すればプーリー１ｂと半導
体結晶５との間に設置されているブレード固定具３に
は、ブレード２を挾む外側位置に切削液供給ノズル４、
４′が設置されており、そして、それら切削液供給ノズ
ル４、４′から切断部へ切削液が供給されるようになっ
ている。具体的には、ブレード２の刃先、半導体結晶
５、ブレード２と半導体結晶５との接触分等に切削液が
吹き付けられるようになっている。そしてまた、図示は
しないが、プーリー１ａ、１ｂの外周面には、ブレード
固定具３、３′で使用した液体及び切削液が排出できる
ように周方向に連続する横溝、若しくは周方向に連続す
る横溝とこれと交差する縦溝とが設けられている。更に
図示はしないが、プーリー１ａには、駆動モータが直接
又はベルトを介して連結されており、その駆動モータを
駆動させることによりプーリー１ａが回転駆動し、その
プーリー１ａの回転駆動によりブレード２が周回転運動
を行うことにより半導体結晶５を切断するようになって
いる。
は、第１に所定間隔をおいてプーリー１ａ、１ｂが設置
されており、第２にそれらプーリー１ａ、１ｂ間には、
エンドレスト状のブレード２が張設されており、第３に
そのプーリー１ａ、１ｂ間に張設されたブレード２の一
方側の直線部には、ブレード固定具３、３′が設置され
ている。また、図示はしないが、このブレード固定具
３、３′は、高圧液体の圧力によりブレード２の振れが
抑えられるようになっている。ブレード２が半導体結晶
５を切断する前の位置、換言すればプーリー１ｂと半導
体結晶５との間に設置されているブレード固定具３に
は、ブレード２を挾む外側位置に切削液供給ノズル４、
４′が設置されており、そして、それら切削液供給ノズ
ル４、４′から切断部へ切削液が供給されるようになっ
ている。具体的には、ブレード２の刃先、半導体結晶
５、ブレード２と半導体結晶５との接触分等に切削液が
吹き付けられるようになっている。そしてまた、図示は
しないが、プーリー１ａ、１ｂの外周面には、ブレード
固定具３、３′で使用した液体及び切削液が排出できる
ように周方向に連続する横溝、若しくは周方向に連続す
る横溝とこれと交差する縦溝とが設けられている。更に
図示はしないが、プーリー１ａには、駆動モータが直接
又はベルトを介して連結されており、その駆動モータを
駆動させることによりプーリー１ａが回転駆動し、その
プーリー１ａの回転駆動によりブレード２が周回転運動
を行うことにより半導体結晶５を切断するようになって
いる。
【００１９】高圧ガス噴射ノズル６は、ブレード固定具
３′とプーリー１ａとの間であって且つ高圧気体がブレ
ード２のプーリー１ａと接触する側の面に噴射できるよ
うに設置されている。
３′とプーリー１ａとの間であって且つ高圧気体がブレ
ード２のプーリー１ａと接触する側の面に噴射できるよ
うに設置されている。
【００２０】この高圧ガス噴射ノズル６から高圧気体が
噴射されることにより、付着している液体及び切削液等
の付着物が吹き飛ばされる。このように、液体及び切削
液等の付着物が吹き飛ばされると、プーリー１ａ、１ｂ
とブレード２との間には、液体及び切削液が大量に入り
込むことがなくなり、それによりプーリー１ａ、１ｂと
ブレード２とのスリップが抑止でき且つブレード２の周
回転速度の安定化をはかることができ、しかもブレード
２の振れが抑止でき、その結果切断速度及び切断精度の
顕著なる向上をはかることができる。
噴射されることにより、付着している液体及び切削液等
の付着物が吹き飛ばされる。このように、液体及び切削
液等の付着物が吹き飛ばされると、プーリー１ａ、１ｂ
とブレード２との間には、液体及び切削液が大量に入り
込むことがなくなり、それによりプーリー１ａ、１ｂと
ブレード２とのスリップが抑止でき且つブレード２の周
回転速度の安定化をはかることができ、しかもブレード
２の振れが抑止でき、その結果切断速度及び切断精度の
顕著なる向上をはかることができる。
【００２１】ここで、付着物は、プーリー１ａ側へ吹き
飛ばされないようにする必要がある。そこで、高圧ガス
噴射ノズル６は、ブレード固定具３′の方へ向けてブレ
ード２に対して斜めから高圧気体を吹き付けるように設
置し、それによりブレード２の周回転方向内側の幅全体
に高圧ガスが当るようにするのが望ましい。本実施形態
では、高圧ガス噴射ノズル６をブレード２に対して３０
°傾けて設置している。
飛ばされないようにする必要がある。そこで、高圧ガス
噴射ノズル６は、ブレード固定具３′の方へ向けてブレ
ード２に対して斜めから高圧気体を吹き付けるように設
置し、それによりブレード２の周回転方向内側の幅全体
に高圧ガスが当るようにするのが望ましい。本実施形態
では、高圧ガス噴射ノズル６をブレード２に対して３０
°傾けて設置している。
【００２２】
【実施例】次に、図１に示す本発明のバンドソー切断方
法と、図２に示す従来のバンドソー切断方法とについ
て、それぞれ外径４インチのＧａＡｓ単結晶を切断する
実験を行った。
法と、図２に示す従来のバンドソー切断方法とについ
て、それぞれ外径４インチのＧａＡｓ単結晶を切断する
実験を行った。
【００２３】なお、本発明のバンドソー切断方法の実施
例に用いた高圧ガス噴射ノズル６から噴出する高圧ガス
は、５kg／cm2 の高圧空気である。
例に用いた高圧ガス噴射ノズル６から噴出する高圧ガス
は、５kg／cm2 の高圧空気である。
【００２４】表１に切断実験結果を示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】表１からわかるように比較例では、ブレー
ドの周回転速度を速くしたり切削液の吹き付け量を多く
することができないため、切断速度が遅い、切断面が粗
い、切断面の反りが大きい、ブレードの縦振れが大きい
という難点がある。
ドの周回転速度を速くしたり切削液の吹き付け量を多く
することができないため、切断速度が遅い、切断面が粗
い、切断面の反りが大きい、ブレードの縦振れが大きい
という難点がある。
【００２７】これに対して本発明の実施例では、ブレー
ドの周回転速度及び切削液の吹き付け量の双方を増大で
きるため、切断速度、切断面粗さ、切断面の反り、ブレ
ードの縦振れの全ての点で大幅な改善効果が得られた。
ドの周回転速度及び切削液の吹き付け量の双方を増大で
きるため、切断速度、切断面粗さ、切断面の反り、ブレ
ードの縦振れの全ての点で大幅な改善効果が得られた。
【００２８】
【発明の効果】本発明のバンドソー切断方法によれば、
切断速度及び切断精度を大幅に向上させることができ、
工業上有用である。
切断速度及び切断精度を大幅に向上させることができ、
工業上有用である。
【図１】本発明のバンドソー切断方法の一実施例を示し
た説明図である。
た説明図である。
【図２】従来のバンドソー型切断機による半導体結晶の
切断方法を示した説明図である。
切断方法を示した説明図である。
１ａ、１ｂ プーリー ２ ブレード ３、３′ ブレード固定具 ４、４′ 切削液供給ノズル ５ 半導体結晶 ６ 高圧ガス噴射ノズル
Claims (2)
- 【請求項１】切断部に切削液を供給しながら被切断材を
無端状ブレードにより切断するバンドソー切断方法にお
いて、切断部を通過した後のブレードに付着した付着物
を除去することを特徴とするバンドソー切断方法。 - 【請求項２】所定間隔をおいて設置された２個のプーリ
ー間に無端状ブレードを張設すると共に、該ブレードを
周回駆動させて切断部に切削液を供給しながら被切断材
を前記ブレードにより切断するバンドソー切断方法にお
いて、前記切断部を通過した後の前記ブレードの少なく
とも前記プーリーと接触する側の面へ高圧気体を噴射し
て付着物を除去することを特徴とするバンドソー切断方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10308733A JP2000127149A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | バンドソー切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10308733A JP2000127149A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | バンドソー切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000127149A true JP2000127149A (ja) | 2000-05-09 |
Family
ID=17984639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10308733A Pending JP2000127149A (ja) | 1998-10-29 | 1998-10-29 | バンドソー切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000127149A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101055927B1 (ko) * | 2010-01-05 | 2011-08-09 | 주식회사 엘지실트론 | 단결정 잉곳 절단장치 및 그 제어방법 |
| CN106217653A (zh) * | 2016-07-21 | 2016-12-14 | 中国石油天然气股份有限公司 | 岩石切割装置和岩石切割方法 |
-
1998
- 1998-10-29 JP JP10308733A patent/JP2000127149A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101055927B1 (ko) * | 2010-01-05 | 2011-08-09 | 주식회사 엘지실트론 | 단결정 잉곳 절단장치 및 그 제어방법 |
| CN106217653A (zh) * | 2016-07-21 | 2016-12-14 | 中国石油天然气股份有限公司 | 岩石切割装置和岩石切割方法 |
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|---|---|---|---|
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