JP2000120678A - 直動形ガイド装置 - Google Patents
直動形ガイド装置Info
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- JP2000120678A JP2000120678A JP10295258A JP29525898A JP2000120678A JP 2000120678 A JP2000120678 A JP 2000120678A JP 10295258 A JP10295258 A JP 10295258A JP 29525898 A JP29525898 A JP 29525898A JP 2000120678 A JP2000120678 A JP 2000120678A
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/06—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load
- F16C29/0633—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides
- F16C29/0652—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are at least partly defined by separate parts, e.g. covers attached to the legs of the main body of the U-shaped carriage
- F16C29/0654—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are at least partly defined by separate parts, e.g. covers attached to the legs of the main body of the U-shaped carriage with balls
- F16C29/0657—Ball or roller bearings in which the rolling bodies circulate partly without carrying load with a bearing body defining a U-shaped carriage, i.e. surrounding a guide rail or track on three sides whereby the return paths are at least partly defined by separate parts, e.g. covers attached to the legs of the main body of the U-shaped carriage with balls with two rows of balls, one on each side of the rail
Abstract
(57)【要約】
【課題】 固体潤滑剤を用いてクリーン性やオイルフリ
ーが要求される環境下で使用できる直動形ガイド装置の
寿命を向上させる。 【解決手段】 ガイドレール１と、その上に跨がって配
置される移動ブロック２０およびそこに設けられたボー
ル循環路２０１ａ，ｂ内に封入されたボール（転動体）
３・・３とからなる移動体２を備えた直動形ガイド装置に
おいて、少なくともガイドレール１および移動体２のボ
ール軌道面１ａ，１ｂ，２０２ａ，２０２ｂを固体潤滑
剤で被覆するとともに、ガイドレール１とと移動体２と
のすきまを０または正にすることにより、荷重の影響の
受けやすい固体潤滑剤を用いながらも、負すきまを採用
する場合に比して寿命を向上させる。
ーが要求される環境下で使用できる直動形ガイド装置の
寿命を向上させる。 【解決手段】 ガイドレール１と、その上に跨がって配
置される移動ブロック２０およびそこに設けられたボー
ル循環路２０１ａ，ｂ内に封入されたボール（転動体）
３・・３とからなる移動体２を備えた直動形ガイド装置に
おいて、少なくともガイドレール１および移動体２のボ
ール軌道面１ａ，１ｂ，２０２ａ，２０２ｂを固体潤滑
剤で被覆するとともに、ガイドレール１とと移動体２と
のすきまを０または正にすることにより、荷重の影響の
受けやすい固体潤滑剤を用いながらも、負すきまを採用
する場合に比して寿命を向上させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は直動形ガイド装置に
関し、特に通常のグリースや潤滑油が使用できない半導
体製造装置等に用いるのに適した直動形ガイド装置に関
する。
関し、特に通常のグリースや潤滑油が使用できない半導
体製造装置等に用いるのに適した直動形ガイド装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】直動形ガイド装置として、従来、直線状
のガイドレールと、そのガイドレールに沿って移動する
移動体を備え、この移動体が、移動方向に対して左右の
脚状部を有してガイドレールに跨がった状態で配置され
る移動ブロックと、その移動ブロックの左右の脚状部に
形成された転動体循環路内を循環しつつ、その循環路中
に形成された転動体軌道面とガイドレールの左右両側に
形成された転動体軌道面との間を転動する複数の転動体
によって構成されているものが知られている（例えば特
開平５−２４８４３３号公報参照）。
のガイドレールと、そのガイドレールに沿って移動する
移動体を備え、この移動体が、移動方向に対して左右の
脚状部を有してガイドレールに跨がった状態で配置され
る移動ブロックと、その移動ブロックの左右の脚状部に
形成された転動体循環路内を循環しつつ、その循環路中
に形成された転動体軌道面とガイドレールの左右両側に
形成された転動体軌道面との間を転動する複数の転動体
によって構成されているものが知られている（例えば特
開平５−２４８４３３号公報参照）。
【０００３】この種の直動形ガイド装置においては、一
般に、転動体とガイドレールおよび移動ブロックとの間
の潤滑はグリースが用いられるとともに、ガイドレール
と移動体との間の移動方向に直交する方向へのすきまは
負すきま、つまり転動体を介して移動ブロックとガイド
レールとの間に予圧が付与された状態で使用される。
般に、転動体とガイドレールおよび移動ブロックとの間
の潤滑はグリースが用いられるとともに、ガイドレール
と移動体との間の移動方向に直交する方向へのすきまは
負すきま、つまり転動体を介して移動ブロックとガイド
レールとの間に予圧が付与された状態で使用される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】以上のような直動形ガ
イド装置を、例えば半導体製造装置等に採用するなど、
クリーン性やオイルフリーが要求される環境下で使用す
る場合、通常のグリースや潤滑油が使用できないことか
ら、少なくともガイドレールおよび移動ブロックの転動
体接触面（軌道面）を固体潤滑剤で被覆する必要があ
る。
イド装置を、例えば半導体製造装置等に採用するなど、
クリーン性やオイルフリーが要求される環境下で使用す
る場合、通常のグリースや潤滑油が使用できないことか
ら、少なくともガイドレールおよび移動ブロックの転動
体接触面（軌道面）を固体潤滑剤で被覆する必要があ
る。
【０００５】ところで、直動形ガイド装置の寿命（発塵
やトルク寿命）は、固体潤滑剤を用いた場合、グリース
を用いる場合に比して荷重の影響を受けやすい。また、
この種の直動形ガイド装置は前記したように予圧が付与
された負すきまで使用されるため、常に比較的大きな荷
重が作用した状態となって、その寿命は短くなるという
問題があった。
やトルク寿命）は、固体潤滑剤を用いた場合、グリース
を用いる場合に比して荷重の影響を受けやすい。また、
この種の直動形ガイド装置は前記したように予圧が付与
された負すきまで使用されるため、常に比較的大きな荷
重が作用した状態となって、その寿命は短くなるという
問題があった。
【０００６】本発明はこのような問題を解決すべくなさ
れたもので、固体潤滑剤を用いてクリーン性やオイルフ
リーが要求される環境下で使用できる直動形ガイド装置
で、しかも寿命の長い直動形ガイド装置の提供を目的と
している。
れたもので、固体潤滑剤を用いてクリーン性やオイルフ
リーが要求される環境下で使用できる直動形ガイド装置
で、しかも寿命の長い直動形ガイド装置の提供を目的と
している。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の直動形ガイド装置は、直線状のガイドレー
ルとそのガイドレールに沿って移動する移動体を備える
とともに、その移動体は、移動方向に対して左右に脚状
部を有してガイドレールに跨がった状態で配置され、か
つ、左右の脚状部それぞれに転動体循環路が形成されて
なる移動ブロックと、その移動ブロックの各転動体循環
路内を循環しつつ、当該循環路中に形成された転動体軌
道面とガイドレールの左右両側に形成された転動体軌道
面との間を転動する複数の転動体とからなる直動形ガイ
ド装置において、少なくともガイドレールの転動体軌道
面および転動体循環路中の転動体軌道面が固体潤滑剤で
被覆されているとともに、ガイドレールと移動体との間
の、移動方向に直交する方向へのすきま（以下、単にす
きまと称する）が、０または正であることによって特徴
づけられる（請求項１）。
め、本発明の直動形ガイド装置は、直線状のガイドレー
ルとそのガイドレールに沿って移動する移動体を備える
とともに、その移動体は、移動方向に対して左右に脚状
部を有してガイドレールに跨がった状態で配置され、か
つ、左右の脚状部それぞれに転動体循環路が形成されて
なる移動ブロックと、その移動ブロックの各転動体循環
路内を循環しつつ、当該循環路中に形成された転動体軌
道面とガイドレールの左右両側に形成された転動体軌道
面との間を転動する複数の転動体とからなる直動形ガイ
ド装置において、少なくともガイドレールの転動体軌道
面および転動体循環路中の転動体軌道面が固体潤滑剤で
被覆されているとともに、ガイドレールと移動体との間
の、移動方向に直交する方向へのすきま（以下、単にす
きまと称する）が、０または正であることによって特徴
づけられる（請求項１）。
【０００８】ここで、本発明においては、固体潤滑剤と
してフッ素系樹脂もくしは二硫化モリブデンを好適に用
いることができる（請求項２）。
してフッ素系樹脂もくしは二硫化モリブデンを好適に用
いることができる（請求項２）。
【０００９】本発明は、固体潤滑剤を用いた直動形ガイ
ド装置についての種々の実験の結果としてなされたもの
で、通常のグリース等を潤滑剤として用いる場合のよう
に負すきまとするのではなく、固体潤滑剤を用いる場合
にはすきまを０または正とすることにより、その寿命を
大幅に向上させることができた。
ド装置についての種々の実験の結果としてなされたもの
で、通常のグリース等を潤滑剤として用いる場合のよう
に負すきまとするのではなく、固体潤滑剤を用いる場合
にはすきまを０または正とすることにより、その寿命を
大幅に向上させることができた。
【００１０】すなわち、実験によれば、ガイドレールお
よび移動ブロックと転動体との間の潤滑に固体潤滑剤を
用いると、ガイドレールと移動体との間のすきまを正す
きま＋６μｍとした場合、この種の直動ガイド装置で通
常のグリースを潤滑剤として用いる場合に多用されてい
る負すきま−６μｍを採用した場合に比して、寿命が２
倍以上に向上した。
よび移動ブロックと転動体との間の潤滑に固体潤滑剤を
用いると、ガイドレールと移動体との間のすきまを正す
きま＋６μｍとした場合、この種の直動ガイド装置で通
常のグリースを潤滑剤として用いる場合に多用されてい
る負すきま−６μｍを採用した場合に比して、寿命が２
倍以上に向上した。
【００１１】本発明において、すきまの下限は０であっ
て、その上限は、直動ガイド装置として許容される位置
決め精度およびがたつきの精度を満足する最大のすきま
である。また、より好ましいすきまの範囲は、固体潤滑
剤の種類や塗布厚さや転動体の大きさ等によって変わ
り、現時点において必ずしも明らかではないが、ＰＦＰ
Ｅ（パーフルオロポリエーテル）やＰＴＦＥ（ポリ四フ
ッ化エチレン）、あるいは二硫化モリブデンを、被覆厚
さサブミクロンオーダーで用いた場合には０〜＋１０μ
ｍ程度の範囲において良好な結果が得られている。
て、その上限は、直動ガイド装置として許容される位置
決め精度およびがたつきの精度を満足する最大のすきま
である。また、より好ましいすきまの範囲は、固体潤滑
剤の種類や塗布厚さや転動体の大きさ等によって変わ
り、現時点において必ずしも明らかではないが、ＰＦＰ
Ｅ（パーフルオロポリエーテル）やＰＴＦＥ（ポリ四フ
ッ化エチレン）、あるいは二硫化モリブデンを、被覆厚
さサブミクロンオーダーで用いた場合には０〜＋１０μ
ｍ程度の範囲において良好な結果が得られている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について述べる。図１は本発明の実施の形態の斜視図
で、図２はその縦断面図であり、図３は図２のＡ−Ａ断
面図である。ガイドレール１はその長手方向に直交する
断面形状が略台形状をしており、その両肩部分に円弧状
面からなるボール軌道面１ａ，１ｂが長手方向に沿って
互いに平行に形成されている。
について述べる。図１は本発明の実施の形態の斜視図
で、図２はその縦断面図であり、図３は図２のＡ−Ａ断
面図である。ガイドレール１はその長手方向に直交する
断面形状が略台形状をしており、その両肩部分に円弧状
面からなるボール軌道面１ａ，１ｂが長手方向に沿って
互いに平行に形成されている。
【００１３】移動体２は移動ブロック２０と複数の転動
体としてのボール３・・３によって構成されている。移動
ブロック２０は、それぞれが合成樹脂からなる第１部材
２１と第２部材２２とをねじＳによって相互に一体化す
ることによって構成されており、全体として左右に脚状
部２０ａ，２０ｂを有してガイドレール１上に跨がった
状態で配置されている。また、その各脚状部２０ａ，２
０ｂには、それぞれボール循環路２０１ａ，２０１ｂが
形成されており、その各ボール循環路２０１ａ，２０１
ｂ内にそれぞれ複数のボール３・・３が封入されている。
体としてのボール３・・３によって構成されている。移動
ブロック２０は、それぞれが合成樹脂からなる第１部材
２１と第２部材２２とをねじＳによって相互に一体化す
ることによって構成されており、全体として左右に脚状
部２０ａ，２０ｂを有してガイドレール１上に跨がった
状態で配置されている。また、その各脚状部２０ａ，２
０ｂには、それぞれボール循環路２０１ａ，２０１ｂが
形成されており、その各ボール循環路２０１ａ，２０１
ｂ内にそれぞれ複数のボール３・・３が封入されている。
【００１４】ボール循環路２０１ａ，２０１ｂは、ガイ
ドレール１の左右のボール軌道面１ａ，１ｂにそれぞれ
対向する往路Ｆと、その各往路Ｆの外側に平行に伸びる
復路Ｂ、およびその往路Ｆと復路Ｂとを両端部において
繋ぐ円弧状の反転路Ｔによって構成されている。そし
て、この各ボール循環路２０１ａ，２０１ｂのうち往路
Ｆは、ガイドレール１の各ボール軌道面１ａ，１ｂに対
向する円弧状面によって形成され、移動ブロック２０側
のボール軌道面２０２ａ，２０２ａを構成している。す
なわち、移動ブロック２０およびそれに作用する外部荷
重は当該移動ブロック２０のボール軌道面２０２ａ，２
０２ｂおよびそこに存在するボール３・・３を介してガイ
ドレール１のボール軌道面１ａ，１ｂで受けられ、移動
体２の移動時には、各ボール３・・３は互いに対向するボ
ール軌道面１ａと２０２ａ、および１ｂと２０２ｂの間
で転動する。
ドレール１の左右のボール軌道面１ａ，１ｂにそれぞれ
対向する往路Ｆと、その各往路Ｆの外側に平行に伸びる
復路Ｂ、およびその往路Ｆと復路Ｂとを両端部において
繋ぐ円弧状の反転路Ｔによって構成されている。そし
て、この各ボール循環路２０１ａ，２０１ｂのうち往路
Ｆは、ガイドレール１の各ボール軌道面１ａ，１ｂに対
向する円弧状面によって形成され、移動ブロック２０側
のボール軌道面２０２ａ，２０２ａを構成している。す
なわち、移動ブロック２０およびそれに作用する外部荷
重は当該移動ブロック２０のボール軌道面２０２ａ，２
０２ｂおよびそこに存在するボール３・・３を介してガイ
ドレール１のボール軌道面１ａ，１ｂで受けられ、移動
体２の移動時には、各ボール３・・３は互いに対向するボ
ール軌道面１ａと２０２ａ、および１ｂと２０２ｂの間
で転動する。
【００１５】移動ブロック２０の第１部材２１は、前記
反転路Ｔが形成された両端のエンドキャップ部２１ａ，
２１ｂと、それらを両側端部において繋ぐ連結部２１
ｃ，２１ｄによって構成されている。また、第２部材２
２は、本体部２２ａと、その本体部２２ａの下面からガ
イドレール１を跨ぐように下方に突出する２本の突条２
２ｂ，２２ｃによって構成され、前記した脚状部２０
ａ，２０ｂは、第１部材２１の連結部２１ｃ，２１ｄと
第２部材２２の突条２２ｂ，２２ｃによって構成されて
いる。そして、移動ブロック２０のボール軌道面２０２
ａ，２０２ｂは、第２部材２２の２本の突条２２ｂ，２
２ｃのガイドレール１側の一側面に形成されており、そ
の各突条２２ｂ，２２ｃの他側面は、第１部材２１の左
右の連結部２１ｃ，２１ｄの内側面と共同して復路Ｂを
形成している。
反転路Ｔが形成された両端のエンドキャップ部２１ａ，
２１ｂと、それらを両側端部において繋ぐ連結部２１
ｃ，２１ｄによって構成されている。また、第２部材２
２は、本体部２２ａと、その本体部２２ａの下面からガ
イドレール１を跨ぐように下方に突出する２本の突条２
２ｂ，２２ｃによって構成され、前記した脚状部２０
ａ，２０ｂは、第１部材２１の連結部２１ｃ，２１ｄと
第２部材２２の突条２２ｂ，２２ｃによって構成されて
いる。そして、移動ブロック２０のボール軌道面２０２
ａ，２０２ｂは、第２部材２２の２本の突条２２ｂ，２
２ｃのガイドレール１側の一側面に形成されており、そ
の各突条２２ｂ，２２ｃの他側面は、第１部材２１の左
右の連結部２１ｃ，２１ｄの内側面と共同して復路Ｂを
形成している。
【００１６】以上の基本的な構成は前記した特開平５−
２４８４３３号公報において公知であり、移動体２のガ
イドレール１に沿った移動に際しては、各ボール３・・３
は移動ブロック２０の各ボール循環路２０１ａ，２０１
ｂ内を循環しつつ、ガイドレール１のボール軌道面１
ａ，１ｂと移動ブロック２０のボール軌道面２０２ａ，
２０２ｂの間を転動して、移動体２のガイドレール１に
沿った移動の摩擦を軽減する。
２４８４３３号公報において公知であり、移動体２のガ
イドレール１に沿った移動に際しては、各ボール３・・３
は移動ブロック２０の各ボール循環路２０１ａ，２０１
ｂ内を循環しつつ、ガイドレール１のボール軌道面１
ａ，１ｂと移動ブロック２０のボール軌道面２０２ａ，
２０２ｂの間を転動して、移動体２のガイドレール１に
沿った移動の摩擦を軽減する。
【００１７】さて、この実施の形態の特徴は、少なくと
もガイドレール１のボール軌道面１ａ，１ｂと、移動ブ
ロック２０のボール軌道面２０２ａ，２０２ｂの表面
が、例えばＰＦＰＥ（パーフルオロポリエーテル）もし
くはＰＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレン）をはじめとする
フッ素系樹脂、あるいは二硫化モリブデン等の固体潤滑
剤からなる薄膜によって被覆されているとともに、ガイ
ドレール１と移動体２とのすきま（ガイドレール１の長
手方向に直交する方向のすきま）が、＋６μｍの正すき
まとなっている点である。そして、これにより、半導体
製造工程等のクリーン性やオイルフリー性が要求される
環境下での使用が可能となると同時に、以下に実験結果
を述べるように、同じ構造並びに固体潤滑剤を用いて従
来通りの負すきまとした装置に比して、その寿命を大幅
に向上させることができる。
もガイドレール１のボール軌道面１ａ，１ｂと、移動ブ
ロック２０のボール軌道面２０２ａ，２０２ｂの表面
が、例えばＰＦＰＥ（パーフルオロポリエーテル）もし
くはＰＴＦＥ（ポリ四フッ化エチレン）をはじめとする
フッ素系樹脂、あるいは二硫化モリブデン等の固体潤滑
剤からなる薄膜によって被覆されているとともに、ガイ
ドレール１と移動体２とのすきま（ガイドレール１の長
手方向に直交する方向のすきま）が、＋６μｍの正すき
まとなっている点である。そして、これにより、半導体
製造工程等のクリーン性やオイルフリー性が要求される
環境下での使用が可能となると同時に、以下に実験結果
を述べるように、同じ構造並びに固体潤滑剤を用いて従
来通りの負すきまとした装置に比して、その寿命を大幅
に向上させることができる。
【００１８】図１〜図３に示した構造で、かつ、各ボー
ル軌道面１ａ，１ｂ，２０２ａ，２０２ｂを固体潤滑剤
で被覆し、ガイドレール１と移動体２とのすきまのみを
変更して実際に寿命を測定した。実験に供したものは、
一つは上記した本発明の実施の形態であって、そのすき
まは前記した通り正すきま＋６μｍ（±２μｍ）であ
り、他の一つは、比較例として、従来のこの種の直動形
ガイド装置で多用されている負すきま−６μｍ（±２μ
ｍ）とした。その実験結果を図４に棒グラフで示す。な
お、ここで言う寿命とは、発塵が許容限度を越えた時
点、あるいは移動体２の移動に要する力が許容限度を越
えた時点（トルク寿命）である。
ル軌道面１ａ，１ｂ，２０２ａ，２０２ｂを固体潤滑剤
で被覆し、ガイドレール１と移動体２とのすきまのみを
変更して実際に寿命を測定した。実験に供したものは、
一つは上記した本発明の実施の形態であって、そのすき
まは前記した通り正すきま＋６μｍ（±２μｍ）であ
り、他の一つは、比較例として、従来のこの種の直動形
ガイド装置で多用されている負すきま−６μｍ（±２μ
ｍ）とした。その実験結果を図４に棒グラフで示す。な
お、ここで言う寿命とは、発塵が許容限度を越えた時
点、あるいは移動体２の移動に要する力が許容限度を越
えた時点（トルク寿命）である。
【００１９】図４から明らかなように、正すきまを採用
した本発明の実施の形態は、従来の負すきまを採用した
比較例に比して、その寿命が２倍以上に向上した。
した本発明の実施の形態は、従来の負すきまを採用した
比較例に比して、その寿命が２倍以上に向上した。
【００２０】なお、以上の実施の形態では、各ボール軌
道面１ａ，１ｂ，２０２ａ，２０２ｂのみを固体潤滑剤
で被覆したが、それ以外のボール３・・３の接触面、つま
りボール循環路２０１ａ，２０１ｂの復路および反転路
をも固体潤滑剤で被覆してもよい。
道面１ａ，１ｂ，２０２ａ，２０２ｂのみを固体潤滑剤
で被覆したが、それ以外のボール３・・３の接触面、つま
りボール循環路２０１ａ，２０１ｂの復路および反転路
をも固体潤滑剤で被覆してもよい。
【００２１】また、ガイドレール１と移動体２とのすき
まは、＋６μｍに限らず、０を含めてそれ以上の正すき
まとすればよく、すきまの上限は許容されるがたつきや
移動精度を満足する値であって、その間の任意の正すき
まとすることができる。
まは、＋６μｍに限らず、０を含めてそれ以上の正すき
まとすればよく、すきまの上限は許容されるがたつきや
移動精度を満足する値であって、その間の任意の正すき
まとすることができる。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、転動体
軌道面が形成されたガイドレールと、そのガイドレール
に跨がるように配置され、かつ、転動体循環路を備えた
移動ブロック並びにその循環路内に封入された転動体と
からなる移動体を備えた直動形ガイド装置において、少
なくともガイドレールの転動体軌道面並びに転動体潤滑
路中の転動体軌道面を、ＰＦＰＥやＰＴＦＥなどの高潤
滑性フッ素系樹脂や二硫化モリブデン等の固体潤滑剤で
被覆するとともに、ガイドレールと移動体とのすきまを
０または正すきまとすることにより、半導体製造工程等
におけるクリーン性やオイルフリーが要求される環境で
の使用が可能となると同時に、ガイドレールと移動体と
の間のすきまを従来のこの種のガイド装置で多用されて
いる負すきまとして固体潤滑剤を用いる場合に比して、
その寿命を大幅に向上させることができる。
軌道面が形成されたガイドレールと、そのガイドレール
に跨がるように配置され、かつ、転動体循環路を備えた
移動ブロック並びにその循環路内に封入された転動体と
からなる移動体を備えた直動形ガイド装置において、少
なくともガイドレールの転動体軌道面並びに転動体潤滑
路中の転動体軌道面を、ＰＦＰＥやＰＴＦＥなどの高潤
滑性フッ素系樹脂や二硫化モリブデン等の固体潤滑剤で
被覆するとともに、ガイドレールと移動体とのすきまを
０または正すきまとすることにより、半導体製造工程等
におけるクリーン性やオイルフリーが要求される環境で
の使用が可能となると同時に、ガイドレールと移動体と
の間のすきまを従来のこの種のガイド装置で多用されて
いる負すきまとして固体潤滑剤を用いる場合に比して、
その寿命を大幅に向上させることができる。
【図１】本発明の実施の形態の全体構成を示す外観斜視
図である。
図である。
【図２】本発明の実施の形態の縦断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明の実施の形態と、固体潤滑剤と負ふきま
を採用した比較例との寿命試験結果を示す棒グラフであ
る。
を採用した比較例との寿命試験結果を示す棒グラフであ
る。
１ ガイドレール １ａ，１ｂ ボール軌道面 ２ 移動体 ２０ 移動ブロック ２０ａ，２０ｂ 脚状部 ２０１ａ，２０１ｂ ボール循環路 ２０２ａ，２０２ｂ ボール軌道面 ２１ 第１部材 ２１ａ，２１ｂ エンドキャップ部 ２１ｃ，２１ｄ 連結部 ２２ 第２部材 ２２ａ 本体部 ２２ｂ，２２ｃ 突条 ３ ボール Ｆ 往路 Ｂ 復路 Ｔ 反転路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3J101 AA02 AA43 AA52 AA64 BA55 CA15 CA33 DA05 EA33 EA55 FA32 GA55 3J104 AA03 AA23 AA34 AA64 AA69 AA74 AA76 BA23 BA36 CA15 DA06 EA04
Claims (2)
- 【請求項１】 直線状のガイドレールとそのガイドレー
ルに沿って移動する移動体を備えるとともに、移動体
は、移動方向に対して左右に脚状部を有してガイドレー
ルに跨がった状態で配置され、かつ、左右の脚状部それ
ぞれに転動体循環路が形成されてなる移動ブロックと、
その移動ブロックの各転動体循環路内をそれぞれ循環し
つつ、当該循環路中に形成された転動体軌道面とガイド
レールの左右両側に形成された転動体軌道面との間を転
動する複数の転動体とからなる直動形ガイド装置におい
て、少なくともガイドレールの転動体軌道面、および、
転動体循環路中の転動体軌道面が固体潤滑剤で被覆され
ているとともに、ガイドレールと移動体との間の、移動
方向に直交する方向へのすきまが、０または正であるこ
とを特徴とする直動形ガイド装置。 - 【請求項２】 上記固体潤滑剤が、フッ素系樹脂もしく
は二硫化モリブデンであることを特徴とする請求項１に
記載の直動形ガイド装置。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP10295258A JP2000120678A (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | 直動形ガイド装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10295258A JP2000120678A (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | 直動形ガイド装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| JP2000120678A true JP2000120678A (ja) | 2000-04-25 |
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ID=17818271
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10295258A Pending JP2000120678A (ja) | 1998-10-16 | 1998-10-16 | 直動形ガイド装置 |
Country Status (2)
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| JP (1) | JP2000120678A (ja) |
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-
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-
1999
- 1999-10-15 US US09/418,600 patent/US6328474B1/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
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