JP2000102759A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2000102759A5
JP2000102759A5 JP1999218605A JP21860599A JP2000102759A5 JP 2000102759 A5 JP2000102759 A5 JP 2000102759A5 JP 1999218605 A JP1999218605 A JP 1999218605A JP 21860599 A JP21860599 A JP 21860599A JP 2000102759 A5 JP2000102759 A5 JP 2000102759A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
coating film
film
film thickness
thickness profile
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP1999218605A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000102759A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP21860599A priority Critical patent/JP2000102759A/ja
Priority claimed from JP21860599A external-priority patent/JP2000102759A/ja
Publication of JP2000102759A publication Critical patent/JP2000102759A/ja
Publication of JP2000102759A5 publication Critical patent/JP2000102759A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Description

【特許請求の範囲】
【請求項1】塗布器から塗布液を吐出しながら、前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成する塗布方法であって、前記塗膜形成を複数回行って所定の塗膜端部膜厚プロファイルを形成することを特徴とする塗布方法
請求項】1回の塗膜形成ごとに被塗布部材上の塗膜面積を変えて塗膜膜厚プロファイルを形成することを特徴とする請求項1に記載の塗布方法
請求項】塗布器に複数のダイを用いることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布方法。
【請求項】塗布器には複数の吐出口から塗布液を吐出する1台のダイを用いることを特徴とする請求項1または2に記載の塗布方法。
【請求項】塗布器から塗布液を吐出しながら、前記塗布器および枚葉状の被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成する塗布方法であって、複数の厚さ方向積層塗膜を複数の吐出口を有する1台の塗布器で形成することを特徴とする塗布方法。
【請求項】複数の厚さ方向積層塗膜のうち少なくとも最上層は光吸収層にすることを特徴とする請求項に記載の塗布方法
請求項】請求項1〜のいずれかに記載の塗布方法を用いることを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法。
【請求項】請求項1〜のいずれかに記載の塗布方法を用いることを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
【請求項】塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記供給手段から供給された塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成するための移動手段とを備えた塗布装置であって、塗膜形成を複数回行って所定の塗膜端部の膜厚プロファイル形成を行う塗膜膜厚プロファイル制御手段をさらに有することを特徴とする塗布装置。
【請求項10】塗膜膜厚プロファイル制御手段が、1回の塗膜形成ごとに吐出幅の異なる塗布器であることを特徴とする請求項に記載の塗布装置。
【請求項11】塗膜膜厚プロファイル制御手段が、1回の塗膜形成ごとに塗膜形成開始位置と終了位置を規定する塗布液供給手段と移動手段のタイミング作動制御手段であることを特徴とする請求項に記載の塗布装置。
【請求項12】塗布器が複数個のダイであることを特徴とする請求項11のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項13】塗布器が複数の吐出口を有する1台のダイであることを特徴とする請求項11のいずれかに記載の塗布装置。
【請求項14】塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記供給手段から供給された塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、前記塗布器および塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記塗布部材上に塗膜を形成するための移動手段とを備えた塗布装置であって、塗布器が1台で複数の厚さ方向積層塗膜形成が可能な複数の吐出口を有するダイであり、該複数の吐出口の間隔が0.05〜5mmであり、かつ各々の塗布液の吐出口にいたる流路が隣接するものどうしで交叉角度60°以下に配されていることを特徴とする塗布装置
請求項15】請求項14のいずれかに記載の塗布装置を備えることを特徴とするプラズマディスプレイの製造装置。
【請求項16】請求項14のいずれかに記載の塗布装置を備えることを特徴とするディスプレイ用部材の製造装置。
請求項1の塗布方法は、塗布器から塗布液を吐出しながら、前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成する塗布方法であって、前記塗膜形成を複数回行って所定の塗膜端部の膜厚プロファイルを形成する。
ここで、塗膜膜厚プロファイルの形成は1回の塗膜形成ごとに被塗布部材上の塗膜面積を変えることが好ましい。さらにまた、塗布器には複数のダイや、複数の吐出口から塗布液を吐出する1台のダイを用いるとよい。
請求項の塗布方法は、塗布器から塗布液を吐出しながら、前記塗布器および枚葉状の被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成する塗布方法において、複数の厚さ方向積層塗膜を複数の吐出口を有する1台の塗布器で形成する。
この場合、複数の厚さ方向積層塗膜のうち少なくとも最上層は光吸収層にすることが好ましい。
請求項のプラズマディスプレイの製造方法は、請求項1〜のいずれかに記載の塗布方法を用いてプラズマディスプレイを製造するものである。
請求項のディスプレイ用部材の製造方法は、請求項1〜のいずれかに記載の塗布方法を用いて、ディスプレイ用部材を製造するものである。
請求項の塗布装置は、塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記供給手段から供給された塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、前記塗布器および塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記塗布部材上に塗膜を形成するための移動手段とを備えた塗布装置であって、塗膜形成を複数回行って所定の塗膜端部の膜厚プロファイル形成を行う塗膜膜厚プロファイル制御手段をさらに有するものである。
ここで、前記塗膜膜厚プロファイル制御手段は、1回の塗膜形成ごとに、吐出幅の異なる塗布器や、塗膜形成開始位置と終了位置を規定する塗布液供給手段と移動手段のタイミング作動制御手段であることが望ましい。さらに塗布器としては、複数個のダイや、複数の吐出口を有する1台のダイであることがより好ましい。
請求項14の塗布装置は、塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記供給手段から供給された塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させて前記被塗布部材上に塗膜を形成するための移動手段とを備えた塗布装置であって、塗布器1台で複数の厚さ方向積層塗膜形成が可能な複数の吐出口を有するダイであり、該複数の吐出口の間隔が0.05〜5mmであり、かつ各々の塗布液の吐出口にいたる流路が隣接するものどうしで交叉角度60°以下に配されているものである。
請求項15のプラズマディスプレイの製造装置は、請求項14のいずれかに記載の塗布装置を備えることを特徴とする。
請求項16のディスプレイ用部材の製造装置は、請求項14のいずれかに記載の塗布装置を備えることを特徴とする。
請求項1、の塗布方法、装置によれば、塗布条件のことなる塗膜形成を複数回実行して、1回の塗膜形成での塗膜膜厚プロファイル形状不良部分を修正することできるので、定められた短い範囲内で塗膜端部を所定の膜厚プロファイル形状に形成することが可能となる。
さらに請求項14の塗布方法、装置によれば、1台の塗布器で複数の厚さ方向積層塗膜の形成を行なうのであるから、容易で、各層の塗膜厚さに関係ない塗膜形成が可能となる。
また請求項1516のプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造方法及び装置によれば、所定の塗膜膜厚プロファイル形状や、複数の機能の異なる積層塗膜層を有する品質の高いプラズマディスプレイやディスプレイ用部材を製造できる。
【0084】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1、の塗布方法、装置は、1回の塗布ごとに塗布面積、塗布量、塗布液種類等の塗布条件のことなる塗膜形成を複数回実行するので、1回の塗膜形成での塗膜膜厚プロファイル形状不良部分を修正することでき、製品となる中央部分だけではなく、塗膜端部を定められた短い範囲内で所定の膜厚プロファイル形状に形成することが可能となる。
さらに請求項14の塗布方法、装置によれば、1台の塗布器で複数の厚さ方向積層塗膜の形成を容易に行なうことができ、さらに独立した塗布器で積層すると塗膜形成できない薄い塗膜層を有するものであっても、塗布前に塗布器内部で各層を積層して塗膜形成できる厚さにするので、塗膜厚さに関係なく塗膜形成を行なうことが可能となる。
また請求項1516のプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造方法及び装置は、上記の塗布装置及び方法を使用してプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材を製造するのであるから、所定の塗膜膜厚プロファイル形状を有するプラズマディスプレイやプラズマディスプレイ用隔壁を形成することができ、その結果焼成後も隔壁端部の盛り上がりがなく、前面板との密着が容易な背面板を有する高い品質のプラズマディスプレイやディスプレイ用部材を高い生産性で製造できる。さらにまた、光吸収層等の付加価値ある機能を、多層積層化によって付与することも容易に達成できる。
JP21860599A 1998-07-31 1999-08-02 塗布方法および塗布装置並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造方法および製造装置 Withdrawn JP2000102759A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21860599A JP2000102759A (ja) 1998-07-31 1999-08-02 塗布方法および塗布装置並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造方法および製造装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21755098 1998-07-31
JP10-217550 1998-07-31
JP21860599A JP2000102759A (ja) 1998-07-31 1999-08-02 塗布方法および塗布装置並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造方法および製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000102759A JP2000102759A (ja) 2000-04-11
JP2000102759A5 true JP2000102759A5 (ja) 2006-09-14

Family

ID=26522083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21860599A Withdrawn JP2000102759A (ja) 1998-07-31 1999-08-02 塗布方法および塗布装置並びにプラズマディスプレイおよびディスプレイ用部材の製造方法および製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000102759A (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3838990B2 (ja) * 2003-04-14 2006-10-25 東京応化工業株式会社 スリットノズル及びそのスリットノズルを用いた処理液供給装置
KR100628275B1 (ko) * 2004-11-04 2006-09-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 인쇄노즐
US7381270B2 (en) 2005-08-29 2008-06-03 Tokyo Ohka Kogya Co., Ltd. Slit nozzle and apparatus for supplying treatment liquid using slit nozzle
JP4760265B2 (ja) * 2005-09-28 2011-08-31 パナソニック株式会社 塗布方法
JP4868838B2 (ja) * 2005-11-29 2012-02-01 アイシン化工株式会社 二層材塗布用ノズル及び多層材塗布用ノズル並びに二層材の塗布方法及び多層材の塗布方法
CN102221784B (zh) * 2010-04-19 2013-07-24 北京京东方光电科技有限公司 胶涂覆设备及胶涂覆方法
KR101818068B1 (ko) 2012-02-10 2018-01-12 주식회사 케이씨텍 약액 도포 방법 및 이를 이용한 약액 도포 장치
KR101941998B1 (ko) * 2012-04-03 2019-01-25 삼성디스플레이 주식회사 코팅 장치 및 이를 이용한 코팅 방법
JP6920051B2 (ja) * 2016-12-14 2021-08-18 株式会社ヒラノテクシード ウエブの塗工装置
CN115106245B (zh) * 2021-03-18 2024-04-09 深圳硅基传感科技有限公司 批量化涂膜设备及批量化涂膜方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000102759A5 (ja)
JP6490409B2 (ja) 塗布装置、塗布方法、及びディスプレイ用部材の製造方法
EP1601032A3 (en) Ink jet printing of an OLED display
JPH06154691A (ja) 電子回路基板に相似なコーテイングの塗布装置と方法
EP2472331B1 (en) Gumming device and method
JPH07508923A (ja) 分離した泡状被覆物を塗布する装置及び方法
US7416608B2 (en) Process and related apparatus for block coating
CN1728319B (zh) 成型材料转移方法和衬底结构
JP6587857B2 (ja) 塗工システム及び塗工装置
JP2009202141A (ja) スリットダイ及びスリットダイコータ
JP4760265B2 (ja) 塗布方法
KR101501123B1 (ko) 박막 형성을 위한 슬롯 다이 코팅 방법 및 장치
JP2011177707A (ja) 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法
JPH02307562A (ja) 多層コーティング装置及び多層コーティング方法
JP2009039624A5 (ja)
JPH09220503A (ja) ストライプ塗布用ダイコータ
US20060182890A1 (en) Blade coating method and apparatus
JP6119657B2 (ja) 塗装方法
JP2009170168A (ja) プラズマディスプレイパネル用背面板の製造方法、ブラスト加工装置、プラズマディスプレイパネル用背面板、並びに、プラズマディスプレイパネル用背面板の製造に用いられる積層体
KR100801223B1 (ko) 블랭킷 시트 인라인 제조 장치 및 그 방법
JPS6311939B2 (ja)
JP2016078012A (ja) 塗布器
JP2017188502A (ja) 塗工装置および塗工方法
JP5338427B2 (ja) カーテン塗工装置
KR101429405B1 (ko) 평판 글라스 슬릿다이 코팅 시스템