JP2000101209A

JP2000101209A - ビアホールの抵抗測定用配線構造

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Publication number: JP2000101209A
Application number: JP10264481A
Authority: JP
Inventors: Shuji Takeshita; 修二竹下
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1998-09-18
Filing date: 1998-09-18
Publication date: 2000-04-07
Anticipated expiration: 2018-09-18
Also published as: JP3291651B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ビアホールに導通不良が発生しているか否かを
容易に判断することができるビアホールの抵抗測定用配
線構造を提供する。【解決手段】第１の通電用配線１０および第１の電圧測
定用配線１１を含む第１の導体パターン１と、第１の導
体パターン１を覆う絶縁層４ｂと、絶縁層４ｂ上に形成
され、かつ第２の通電用配線２０および第２の電圧測定
用配線２１を含む第２の導体パターン２と、第２の導体
パターン２を第１の導体パターン１に導通させるビアホ
ール５と、を具備している、ビアホールの抵抗測定用配
線構造であって、第１の通電用配線１０と第２の通電用
配線２０とは、ビアホール５のうち、平面視においてビ
アホール５の中心を挟んで互いに対向する部分に接続さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本願発明は、多層配線に用い
られるビアホール（Via Hole) の抵抗を測定するのに利
用されるビアホールの抵抗測定用配線構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】多層配線の電子回路を作製する場合に
は、予めその多層配線に用いられるビアホールのサンプ
ルを作製し、所定の製造工程によってビアホールを適切
に形成することができるか否を確認することが望まれ
る。電子回路を備えた製品を顧客に宣伝または販売する
場合には、その製品に用いられているビアホールのサン
プルを提示することにより、その品質を顧客にアピール
したい場合もある。このような場合、ビアホールが適切
に形成されているか否かは、その抵抗を測定することに
よって判断することが可能である。

【０００３】そこで、従来では、ビアホールの抵抗測定
用配線構造の一例として、図１２〜図１４に示すものが
ある。この従来のものは、図１３によく表れているよう
に、基板９０の表面上に、第１の絶縁層９１、第１の導
体パターン８Ａ、第２の絶縁層９２、および第２の導体
パターン８Ｂを順次積層させたものである。上記第１の
導体パターン８Ａと上記第２の導体パターン８Ｂとは、
有底略円筒状のビアホール８０を介して互いに導通して
いる。図１２および図１４によく表れているように、上
記第１の導体パターン８Ａと上記第２の導体パターン８
Ｂとは、通電用配線８１，８２と電圧測定用配線８３，
８４とを形成しており、これら通電用配線８１，８２ど
うし、および電圧測定用配線８３，８４どうしは、平面
視において互いに直交している。上記通電用配線８１，
８２には、通電用の電流端子８１ａ，８２ａが設けられ
ている。上記電圧測定用配線８３，８４には、電圧測定
用の電圧端子８３ａ，８４ａが設けられている。電流端
子８１ａと電圧端子８３ａとは、上記ビアホール８０と
は別のビアホール８５，８５を介して第１の導体パター
ン８Ａと導通しており、第２の絶縁層９２上に位置して
いる。

【０００４】上記構造においては、電流端子８１ａ，８
２ａに通電用のプローブを接触させることにより、通電
用配線８１，８２およびビアホール８０に電流Ｉを流す
ことができる。その際に、電圧測定用のプローブを電圧
端子８３ａ，８４ａに接触させると、ビアホール８０の
上下両端部間の電圧（電位差）を測定することができ
る。したがって、その測定電圧と電流端子８１ａ，８２
ａ間に流れる電流とに基づいて、Ｒ＝Ｖ／Ｉの公式から
上記ビアホール８０の抵抗値を算出することができる。
たとえば、上記第１の導体パターン８Ａと上記ビアホー
ル８０との接触部分に酸化膜が存在する場合、あるいは
上記ビアホール８０を構成する導体にクラックが生じて
いる場合には、ビアホール８０の抵抗が過大となる。し
たがって、上記ビアホール８０の抵抗が所定の適正範囲
内にあれば、そのような事態は発生していないと判断す
ることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来で
は、次のような不具合があった。

【０００６】すなわち、従来のビアホール８０と２つの
通電用配線８１，８２との接続構造は、これを単純化す
ると、図１５に示すような構造となっている。この構造
では、２つの通電用配線８１，８２がビアホール８０を
介して互いに繋がる方向が、平面視において互いに直交
する方向となっている。これは、図１６に示すような回
路と同等となる。図１６に示す回路は、ビアホール８０
を４等分した場合の４つの領域が抵抗Ｒ₁，Ｒ₂，
Ｒ₃，Ｒ₄とされている。上記通電用配線８１，８２に
相当する配線８１’，８２’は、抵抗Ｒ₃を挟む位置に
接続している。

【０００７】上記回路において、たとえば４つの抵抗Ｒ
₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄の全ての値がＲであるとすると、
この回路の全体の抵抗値は、３Ｒ／４となる。一方、上
記抵抗Ｒ₃が断線してこの抵抗Ｒ₃が無限大になった場
合には、上記回路の全体の抵抗値（導通部分の抵抗値）
は３Ｒとなる。この値は、上記４つの抵抗の全てが正常
な場合とは大きく相違する。ところが、上記抵抗Ｒ₁，
Ｒ₂，Ｒ₄のいずれか１つが断線し、その断線部分の抵
抗が無限大になった場合には、上記回路の全体の抵抗値
はＲとなる。この抵抗値Ｒは、正常である場合の抵抗値
３Ｒ／４にかなり近い。したがって、従来では、ビアホ
ール８０の測定抵抗値を、ビアホール８０が正常である
場合の抵抗値と比較した場合に、その測定抵抗値が適正
な値であるか否かを容易に判断することができない場合
があった。とくに、１つのビアホール８０の抵抗は非常
に小さいために、上記判断は一層困難となっていた。そ
の結果、従来では、ビアホール８０に発生している導通
不良を見逃してしまう可能性が高かった。

【０００８】本願発明は、このような事情のもとで考え
出されたものであって、ビアホールに導通不良が発生し
ているか否かを容易に判断することができるビアホール
の抵抗測定用配線構造を提供することをその課題として
いる。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本願発明では、次の技術的手段を講じている。

【００１０】本願発明の第１の側面によって提供される
ビアホールの抵抗測定用配線構造は、第１の通電用配線
および第１の電圧測定用配線を含む第１の導体パターン
と、この第１の導体パターンを覆う絶縁層と、この絶縁
層上に形成され、かつ第２の通電用配線および第２の電
圧測定用配線を含む第２の導体パターンと、この第２の
導体パターンを上記第１の導体パターンに導通させるビ
アホールとを具備している、ビアホールの抵抗測定用配
線構造であって、上記第１の通電用配線と上記第２の通
電用配線とは、上記ビアホールのうち、平面視において
上記ビアホールの中心を挟んで互いに対向する部分に接
続されていることに特徴づけられる。

【００１１】本願発明においては、第１の通電用配線と
第２の通電用配線とを利用してビアホールに電流を流す
と、この電流は平面視において上記ビアホールを２等分
した２つの線対称な領域に別れて流れることとなる。こ
れら２つの線対称な領域を電気抵抗としてみた場合、上
記ビアホールについての配線構造は、２つの等しい抵抗
を並列に接続した回路と同等となる。このため、本願発
明では、上記ビアホールの２つの線対称な領域のいずれ
かに導通不良が生じると、上記ビアホール全体の抵抗
は、その導通不良がビアホールのいずれの部分に生じて
いるか否かには関係なく、このビアホールが正常に形成
されている場合の抵抗よりもかなり大きくなる。したが
って、本願発明では、ビアホールの測定抵抗値が適正な
値であるか否かの判断が容易となり、ビアホールに発生
している導通不良を見逃す可能性を低くすることができ
る。

【００１２】好ましくは、上記第１の通電用配線、上記
第１の電圧測定用配線、上記第２の通電用配線、および
上記第２の電圧測定用配線には、上記絶縁層上に位置す
る端子が個々に設けられている。

【００１３】このような構成によれば、第１の通電用配
線と第２の通電用配線への通電作業は、それらの配線に
設けられている端子に対して通電用プローブをその上方
から接触させることによって簡単に行うことができる。
同様に、電圧測定作業については、第１の電圧測定用配
線と第２の電圧測定用配線とに設けられている端子に電
圧測定用プローブをその上方から接触させることによっ
て簡単に行うことができる。

【００１４】本願発明の第２の側面によって提供される
ビアホールの抵抗測定用配線構造は、複数の第１の通電
用配線および複数の第１の電圧測定用配線を含む第１の
導体パターンと、この第１の導体パターンを覆う絶縁層
と、この絶縁層上に形成され、かつ複数の第２の通電用
配線および複数の第２の電圧測定用配線を含む第２の導
体パターンと、この第２の導体パターンを上記第１の導
体パターンに導通させる複数のビアホールとを具備して
おり、かつ上記複数の第１の通電用配線と上記複数の第
２の通電用配線とは、上記各ビアホールのうち、平面視
において上記各ビアホールの中心を挟んで互いに対向す
る部分に接続されているとともに、上記各ビアホールを
介して一連に繋がっていることに特徴づけられる。

【００１５】本願発明においては、複数のビアホールに
電流を流して電圧を測定し、複数のビアホールの個々の
抵抗を求めることにより、それら複数のビアホールが適
正に製造されているか否かを判断することができる。し
たがって、複数のビアホールを製造の適否の判断用のサ
ンプルとすることができ、１つのビアホールのみをサン
プルにする場合と比較すると、ビアホールの製造の適否
をより適切に判断することができる。また、複数の第１
の通電用配線と複数の第２の通電用配線とに電流を一連
に流せば、複数のビアホールのそれぞれに電流を一斉に
流すことができる。したがって、複数のビアホールに電
流を流す作業も簡単に行える。さらに、複数のビアホー
ルに電流を流したときには、本願発明の第１の側面に提
供されるビアホールの抵抗測定用配線構造の場合と同様
に、上記電流は平面視において上記各ビアホールを２等
分した２つの線対称な領域に別れて流れることとなる。
したがって、ビアホールに導通不良が生じている場合と
そうでない場合との抵抗値の差を大きくし、ビアホール
の測定抵抗値が適正か否かの判断を容易に行うこともで
きる。

【００１６】好ましくは、上記複数の第１の通電用配線
と上記複数の第２の通電用配線とが繋がって形成された
一連の配線の両端、上記各第１の電圧測定用配線、およ
び上記各第２の電圧測定用配線には、上記絶縁層上に位
置する端子が個々に設けられている。

【００１７】このような構成によれば、複数の第１の通
電用配線と複数の第２の通電用配線への通電作業は、そ
れらの両端に設けられている端子に通電用のプローブを
その上方から接触させることによって簡単に行うことが
できる。各ビアホールごとの電圧測定作業については、
複数の第１の電圧測定用配線と複数の第２の電圧測定用
配線とのそれぞれに設けられている端子に対して電圧測
定用のプローブをその上方から順次接触させてゆくこと
によって簡単に行うことができる。

【００１８】好ましくは、上記複数の第１の電圧測定用
配線および上記複数の第２の電圧測定用配線のそれぞれ
の端子は、互いに対応する端子どうしが分離されるよう
に２列に並べられており、かつ上記２列の複数の端子
は、上記複数の第１の通電用配線と上記複数の第２の通
電用配線とに通電を行ったときに、一方の列の全ての端
子が他方の列の個々に対応する端子よりも高電位または
低電位となるように配置されている。

【００１９】このような構成によれば、複数のビアホー
ルに通電を行わせて各ビアホールごとに順次電圧を測定
する場合には、電圧測定用の一対のプローブを２列に並
べられた複数の端子に順次接触させてゆけばよく、その
作業が容易に行える。電圧測定に用いられる電圧計が、
それに接続された一対のプローブの極性を問うものであ
って、所定の一方のプローブを他方のプローブよりも高
電位の部分に導通させる必要がある場合であっても、上
記一方のプローブについては、上記２列のうち、一方の
列の高電位側の端子のみに順次接触させればよいことと
なる。他方のプローブについては、他方の列の低電位側
の端子のみに順次接触させればよい。したがって、電圧
測定用の一対のプローブを端子の一方の列と他方の列と
に交互に位置変更する手間は不要であり、電圧測定作業
の一層の容易化が可能となる。

【００２０】本願発明のその他の特徴および利点につい
ては、以下の発明の実施の形態の説明から、より明らか
になるであろう。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。

【００２２】図１は、本願発明の第１の実施形態を示す
要部平面図である。図２は、図１のII−II断面図であ
る。図３は、第１の実施形態のビアホールと導体パター
ンとの斜視図である。

【００２３】図２によく表れているように、本実施形態
のビアホールの抵抗測定用配線構造は、基板３の表面上
に、第１の絶縁層４ａ、第１の導体パターン１、第２の
絶縁層４ｂ、および第２の導体パターン２を順次積層し
ている。上記第１の導体パターン１と上記第２の導体パ
ターン２とは、ビアホール５を介して互いに導通してい
る。

【００２４】上記基板３は、その種類を問うものではな
く、たとえばガラスエポキシ樹脂製基板やその他の種々
の基板を用いることができる。この基板３の図示されて
いない他の領域には、本実施形態の配線構造の製法と同
一製法によって製造された多層配線を利用した電子回路
が造られており、本実施形態の抵抗測定用配線構造は、
その電子回路に用いられたビアホールのサンプルとされ
ている。むろん、上記基板３上にそのような電子回路が
形成されていなくてもよい。上記第１の絶縁層４ａおよ
び第２の絶縁層４ｂは、たとえば液状またはペースト状
の絶縁樹脂を印刷手法によって一定の厚みに塗布してか
ら固化させたものである。上記第１の導体パターン１お
よび第２の導体パターン２は、アルミや銅などの金属製
であり、第１の絶縁層４ａまたは第２の絶縁層４ｂ上に
たとえば金属メッキを施した後に、この金属メッキ層に
エッチング処理を施すことによって後述する所定の形状
に形成したものである。上記ビアホール５は、第２の絶
縁層４ｂに平面視略円形状の貫通孔を形成した後に、こ
の貫通孔の周壁と底部とに金属メッキを施して形成され
たものである。上記ビアホール５を構成する導体は、有
底の略円筒状であり、その底部は上記第１の絶縁層４ａ
の上面に接触している。

【００２５】図１および図３によく表れているように、
上記第１の導体パターン１は、上記ビアホール５の下部
に繋がった第１の通電用配線１０と第１の電圧測定用配
線１１とを有している。これら第１の通電用配線１０と
第１の電圧測定用配線１１とは、互いに直交する角度に
形成されており、これらの配線のそれぞれの一端部には
通電用の電流端子１２と電圧測定用の電圧端子１３とが
ビアホール６，６を介して接続されている。上記ビアホ
ール６，６は、上記ビアホール５と同様な手法で形成さ
れたものである。上記電流端子１２と電圧端子１３と
は、上記ビアホール６，６の上部に繋がったフランジ状
に形成されており、上記第２の絶縁層４ｂの上面に露出
している。

【００２６】上記第２の導体パターン２は、上記ビアホ
ール５の上部に繋がった第２の通電用配線２０と第２の
電圧測定用配線２１とを有している。これら第２の通電
用配線２０と第２の電圧測定用配線２１とは、互いに直
交する角度に形成されており、これらが上記ビアホール
５から延びる方向は、上記第１の通電用配線１０および
第１の電圧測定用配線１１とは反対となっている。これ
により、図４に示すように、上記第１の通電用配線１０
と第２の通電用配線２０とは、上記ビアホール５を介し
て上記ビアホール５の直径方向に繋がった構造となって
おり、平面視において上記ビアホール５の中心を挟んで
互いに対向する部分に接続している。

【００２７】図１および図３において、上記第２の通電
用配線２０の一端部には、通電用の電流端子２２が一体
的に形成されている。上記第２の電圧測定用配線２１の
一端部には、電圧測定用の電圧端子２３が一体的に形成
されている。これら電流端子２２と電圧端子２３とは、
所定のプローブを接触させるのに都合が良いサイズおよ
び形状に形成された部分であり、上記第２の絶縁層４ｂ
の上面に位置している。これは上記電流端子１２および
電圧端子１３についても同様である。

【００２８】次に、上記ビアホールの抵抗測定用配線構
造の作用について説明する。

【００２９】上記ビアホール５の抵抗を測定するには、
まず図３の仮想線に示すように、通電用の一対のプロー
ブＰi ，Ｐi を電流端子１２，２２に接触させて、上記
ビアホール５に電流Ｉを流す。次いで、電圧測定用の一
対のプローブＰv ，Ｐv を電圧端子１３，２３に接触さ
せてビアホール５の上下両端部間の電圧（電位差）を測
定する。この測定電圧と上記電流との値から、上記ビア
ホール５の抵抗を算出することができる。第１の電圧測
定用配線１１と第２の電圧測定用配線２１との抵抗は非
常に小さいため、これらについては無視することができ
る。

【００３０】先の図４に示した構造をさらに理解し易く
説明すると、その構造は、図５に示すような回路と同等
となる。図５に示す回路は、ビアホール５を４等分した
部分のそれぞれの抵抗がＲ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄とされ
ているとともに、第１の通電用配線１０と第２の通電用
配線２０に相当する配線１０’，２０’は、上記４つの
抵抗を抵抗Ｒ₁，Ｒ₄の組と抵抗Ｒ₂，Ｒ₃の組とに２
等分する位置に接続された構成である。上記回路におい
て、たとえば４つの抵抗Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ ₄の全て
の値がＲであるとすると、この回路の全体の抵抗は、Ｒ
となる。これに対して、上記４つの抵抗Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ
₃，Ｒ₄のいずれか１つが断線してその断線した部分の
抵抗が無限大になった場合には、上記回路の導通部分の
抵抗は、２Ｒとなる。この抵抗の大きさは、上記回路が
正常である場合の２倍であり、その差は大きい。したが
って、上記ビアホール５の測定抵抗値に基づいて上記ビ
アホール５に導通不良があるか否かを容易に判断するこ
とができる。ビアホール５の測定抵抗値が適正であれ
ば、上記基板３上に別途造られている電子回路のビアホ
ールも適正なものであると認めることが可能である。

【００３１】図６は、本願発明の第２の実施形態を示す
要部平面図である。図７は、図６のＶII−ＶII断面図で
ある。図８は、第２の実施形態のビアホールと導体パタ
ーンとの斜視図である。図６以降の図においては、先の
実施形態と同一部分は同一符号で示し、その説明は省略
する。

【００３２】図７に示すように、このビアホールの抵抗
測定用配線構造は、基板３の表面上に、第１の絶縁層４
ａ、第１の導体パターン１Ａ、第２の絶縁層４ｂ、およ
び第２の導体パターン２Ａを順次積層しており、その基
本的な積層構造は先の実施形態と同様である。ただし、
上記第１の導体パターン１Ａと上記第２の導体パターン
２Ａとは、複数のビアホール５を介して互いに導通して
いる。これら複数のビアホール５は、適当な間隔を隔て
て１列に並べて設けられている。

【００３３】図８によく表れているように、上記第１の
導体パターン１Ａは、上記各ビアホール５の下部に繋が
った複数の第１の通電用配線１０Ａと複数の第１の電圧
測定用配線１１とを有している。上記複数の第１の通電
用配線１０Ａは、互いに隣り合う２つのビアホール５，
５どうしを接続するように設けられている。ただし、上
記複数の第１の通電用配線１０Ａは、複数のビアホール
５の全てを一連に接続するのではなく、２つのビアホー
ル５，５が接続された部分と接続されていない部分とが
交互に配置されるように設けられている。上記複数の第
１の電圧測定用配線１１には、第２の絶縁層４ｂ上に露
出した複数の電圧端子１３がビアホール６を介して個々
に導通接続している。

【００３４】上記第２の導体パターン２Ａは、上記各ビ
アホール５の上部に繋がった複数の第２の通電用配線２
０Ａと複数の第２の電圧測定用配線２１とを有してい
る。上記複数の第２の通電用配線２０Ａは、上記複数の
ビアホール５のうち、上記第１の通電用配線１０Ａによ
っては互いに接続されていないビアホール５，５どうし
を接続するように、上記第１の通電用配線１０Ａとは互
い違い状に設けられている。これにより、上記複数のビ
アホール５は、上記複数の第１の通電用配線１０Ａと複
数の第２の通電用配線２０Ａとによって直列に接続され
ている。上記複数のビアホール５の列のうち、その両端
に位置する２つのビアホール５，５に対しては、２つの
第２の通電用配線２０Ａ，２０Ａがビアホール５の列の
外方に延びた状態に繋がっている。これら２つの第２の
通電用配線２０Ａ，２０Ａには、一対の電流端子２９
ａ，２９ｂが設けられている。上記複数の第２の電圧測
定用配線２１には、複数の電圧端子２３が個々に設けら
れている。複数の電圧端子１３，２３は、上記複数のビ
アホール５の列を挟むように２列に並べられている。

【００３５】上記構造においては、図８の仮想線に示す
ように、通電用の一対のプローブＰi ，Ｐi を電流端子
２９ａ，２９ｂに接触させることによって、上記複数の
ビアホール５の全てに電流を流すことができる。上記複
数のビアホール５の個々の抵抗は、電圧測定用の一対の
プローブＰv ，Ｐv を互いに対応する一対の電圧端子１
３，２３に接触させて電圧測定を行うことにより知るこ
とができる。１つのビアホール５についての電圧測定が
終了した後には、上記プローブＰv ，Ｐv を電圧端子１
３，２３の列方向に移動させて、次の電圧端子１３，２
３に接触させればよい。

【００３６】このようにして、上記複数のビアホール５
の個々の抵抗を求めれば、上記複数のビアホール５の全
てをサンプルとして、ビアホールの製造の適否を判断す
ることができる。複数の第１の通電用配線１０Ａと複数
の第２の通電用配線２０Ａとは、上記複数のビアホール
５の直径方向に繋がっているために、やはり先の実施形
態の場合と同様に、各ビアホール５に導通不良箇所が存
在する場合にはその測定抵抗値が大きくなり、各ビアホ
ール５が適正か否かの判断が容易となる。上記電流端子
２９ａ，２９ｂが、プローブＰi ，Ｐi 用の差し込み穴
を有する形態のものに形成すれば、複数のビアホール５
の抵抗測定作業を人手作業で行う場合には、上記プロー
ブＰi ，Ｐi を上記差し込み穴に差し込んだまま、電圧
測定用のプローブＰv ，Ｐv を取り扱うことができ、便
利となる。

【００３７】図９は、本願発明の第３の実施形態を示す
要部平面図である。図１０は、図９のＸ−Ｘ断面図であ
る。図１１は、第３の実施形態のビアホールと導体パタ
ーンとの斜視図である。

【００３８】本実施形態のビアホールの抵抗測定用配線
構造は、先の第２の実施形態の構造とは、第１の電圧測
定用配線１１、第２の電圧測定用配線２１、および電圧
端子１３，２３の配置が相違しており、それ以外の構成
は先の第２の実施形態と共通している。本実施形態で
は、複数の第１の電圧測定用配線１１がビアホール５か
ら延びる向きが２通りあり、互いに隣り合う２つの第１
の電圧測定用配線１１，１１のそれぞれが延びる向きは
互いに反対となっている。複数の第２の電圧測定用配線
２１もそれと同様である。このため、複数の電圧端子１
３，２３は、複数のビアホール５を挟む２つの端子列Ｎ
１，Ｎ２として並べられてはいるものの、それら２つの
端子列Ｎ１，Ｎ２のそれぞれは、電圧端子１３と電圧端
子２３とが交互に並んだ配列となっている。

【００３９】上記構造では、図１１の仮想線で示すよう
に、通電用の一対のプローブＰi ，Ｐi を用いて、電流
Ｉを電流端子２９ａから電流端子２９ｂに向けて流す
と、電流端子２９ａに最も近いビアホール５（５ａ）で
は、その上部が下部よりも高電位となる。次のビアホー
ル５（５ｂ）では、その下部が上部よりも高電位とな
る。このようなことから、上記２つの端子列Ｎ１，Ｎ２
に並べられた複数の電圧端子１３，２３は、いずれの箇
所においても一方の端子列Ｎ１に位置する電圧端子１３
または電圧端子２３の方が、それに対応する他方の端子
列Ｎ２の電圧端子２３または電圧端子１３よりも高い電
位となる。一方、電圧測定を行う場合、電圧計に接続さ
れた一対のプローブＰv'，Ｐv"の極性を配慮して、プロ
ーブＰv'をプローブＰv"よりも常に高電位の部分に導通
させなければならない場合がある。このような場合に
は、上記プローブＰv'を上記端子列Ｎ１の電圧端子１
３，２３に順次接触させてゆくとともに、上記プローブ
Ｐv"を上記端子列Ｎ２の電圧端子１３，２３に順次接触
させてゆけばよい。先の第２の実施形態の図８に示した
構造では、電圧端子１３，２３が電位の高い端子列と電
位の低い端子列とに区分されていないために、極性を配
慮しなければならないプローブを用いて電圧測定を行う
場合には、これらのプローブを１つの端子列から他の端
子列に移動させる必要が生じる。ところが、本実施形態
の構造ではそのような手間は不要である。

【００４０】本願発明に係るビアホールの抵抗測定用配
線構造の各部の具体的な構成は、上述の実施形態に限定
されず、種々に設計変更自在である。各部の具体的な材
質はとくに限定されるものではない。ビアホール、第１
の通電用配線、および第２の通電用配線などの具体的な
寸法や形状も限定されない。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本願発明によれ
ば、多層配線に用いられるビアホールに導通不良が発生
している場合と発生していない場合とのビアホールの抵
抗値の差を従来よりも大きくすることができる。したが
って、ビアホールが適正に製造されているか否かを容易
に判断することができ、ビアホールの導通不良を見逃し
てしまう可能性を低くできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の第１の実施形態を示す要部平面図で
ある。

【図２】図１のII−II断面図である。

【図３】第１の実施形態のビアホールと導体パターンと
の斜視図である。

【図４】ビアホールおよびその周辺構造の簡略説明図で
ある。

【図５】図４の構造を回路として示した説明図である。

【図６】本願発明の第２の実施形態を示す要部平面図で
ある。

【図７】図６のＶII−ＶII断面図である。

【図８】第２の実施形態のビアホールと導体パターンと
の斜視図である。

【図９】本願発明の第３の実施形態を示す要部平面図で
ある。

【図１０】図９のＸ−Ｘ断面図である。

【図１１】第３の実施形態のビアホールと導体パターン
との斜視図である。

【図１２】従来の構造の一例を示す要部平面図である。

【図１３】図１２のＸIII −ＸIII 断面図である。

【図１４】従来のビアホールと導体パターンとの斜視図
である。

【図１５】従来のビアホールおよびその周辺構造の簡略
説明図である。

【図１６】図１５の構造を回路として示した説明図であ
る。

【符号の説明】１，１Ａ第１の導体パターン２，２Ａ第２の導体パターン３基板４ｂ第２の絶縁層（絶縁層）５ビアホール１０，１０Ａ第１の通電用配線１１第１の電圧測定用配線１２電流端子（端子）１３電圧端子（端子）２０，２０Ａ第２の通電用配線２１第２の電圧測定用配線２２電流端子（端子）２３電圧端子（端子）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の通電用配線および第１の電圧測定
用配線を含む第１の導体パターンと、この第１の導体パ
ターンを覆う絶縁層と、この絶縁層上に形成され、かつ
第２の通電用配線および第２の電圧測定用配線を含む第
２の導体パターンと、この第２の導体パターンを上記第
１の導体パターンに導通させるビアホールと、を具備し
ている、ビアホールの抵抗測定用配線構造であって、上記第１の通電用配線と上記第２の通電用配線とは、上
記ビアホールのうち、平面視において上記ビアホールの
中心を挟んで互いに対向する部分に接続されていること
を特徴とする、ビアホールの抵抗測定用配線構造。
【請求項２】上記第１の通電用配線、上記第１の電圧
測定用配線、上記第２の通電用配線、および上記第２の
電圧測定用配線には、上記絶縁層上に位置する端子が個
々に設けられている、請求項１に記載のビアホールの抵
抗測定用配線構造。
【請求項３】複数の第１の通電用配線および複数の第
１の電圧測定用配線を含む第１の導体パターンと、この
第１の導体パターンを覆う絶縁層と、この絶縁層上に形
成され、かつ複数の第２の通電用配線および複数の第２
の電圧測定用配線を含む第２の導体パターンと、この第
２の導体パターンを上記第１の導体パターンに導通させ
る複数のビアホールとを具備しており、かつ、上記複数の第１の通電用配線と上記複数の第２の通電用
配線とは、上記各ビアホールのうち、平面視において上
記各ビアホールの中心を挟んで互いに対向する部分に接
続されているとともに、上記各ビアホールを介して一連
に繋がっていることを特徴とする、ビアホールの抵抗測
定用配線構造。
【請求項４】上記複数の第１の通電用配線と上記複数
の第２の通電用配線とが繋がって形成された一連の配線
の両端、上記各第１の電圧測定用配線、および上記各第
２の電圧測定用配線には、上記絶縁層上に位置する端子
が個々に設けられている、請求項３に記載のビアホール
の抵抗測定用配線構造。
【請求項５】上記複数の第１の電圧測定用配線および
上記複数の第２の電圧測定用配線のそれぞれの端子は、
互いに対応する端子どうしが分離されるように２列に並
べられており、かつ、上記２列の複数の端子は、上記複数の第１の通電用配線
と上記複数の第２の通電用配線とに通電を行ったとき
に、一方の列の全ての端子が他方の列の個々に対応する
端子よりも高電位または低電位となるように配置されて
いる、請求項４に記載のビアホールの抵抗測定用配線構
造。