JP2000098205A - 大きい光学部材を金属固定部に溶接する方法および光学アッセンブリ - Google Patents

大きい光学部材を金属固定部に溶接する方法および光学アッセンブリ

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JP2000098205A JP11207401A JP20740199A JP2000098205A JP 2000098205 A JP2000098205 A JP 2000098205A JP 11207401 A JP11207401 A JP 11207401A JP 20740199 A JP20740199 A JP 20740199A JP 2000098205 A JP2000098205 A JP 2000098205A
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フーベルト・ホルデラー
Peter Ruemmer
ペーター・リュマー
Johannes Deyhle
ヨハネス・ディール
Dietmar Eifler
ディトマール・アイフラー
Daniel Solbach
ダニエル・ゾルバッハ
Guntram Wagner
グントラム・ヴァグナー
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Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
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    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 大きい光学部材を金属固定部に溶接する方法
において、金属固定部への光学部材の超音波溶接を、大
きい光学部材に対しても可能にし、特に、大きい光学部
材がその高感度および／または光学的高品質のためにわ
ずかな荷重にも曝してはならないような場合にも超音波
溶接を可能にする。 【解決手段】 透明な光学部材の少なくともその周辺部
を、所定の固定箇所にほぼ対向し接近するように且つ振
動が緩衝されるように保持し、固定部を所定の固定箇所
に載せ、金属固定部を、大きい光学部材の周辺部に予め
設定した固定箇所に載置し、音波極を、場合によっては
小さな曲げモーメントを作用させて前記固定部にあてが
って超音波溶接を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、大きい光学部材を
金属固定部に溶接する方法および光学アッセンブリに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】透明な光学部材を金属性の固定部と結合
させることは原理的に知られている。使用に応じて締め
付け固定、接着または他の態様で結合させることができ
る。
【０００３】たとえば半導体製造においてウェーハを露
光するために使用される高感度光学系に対しては、フォ
トマスクを紫外線で露光するために極めて高精度の固定
が必要である。したがって、光学部材を金属部品の間に
単に締め付け固定するだけでは通常不満足である。光学
部材を金属固定部に固定するために接着剤を使用する
と、この種の接着剤はガスを発生し、その発生したガス
成分が露光用に設定されたＵＶ範囲で吸収されるので、
不具合なことが多い。
【０００４】ドイツ連邦共和国特許公開第４２１６３３
７号公報からは、光学機器、光電機器、または電子機器
のための部材が知られている。この部材は互いに結合さ
れる部分を有する。これらの部分は熱膨張係数が異なる
二つの金属から成っている。ロールプレーティングによ
り形成される結合部分は、異なる金属から成っている前
記部分の間へ差込まれる。結合部分と互いに結合される
べき部分との結合は溶接、蝋付けまたは接着により行な
われる。
【０００５】欧州特許公告第０１０６２３０号公報から
は、レーザーの共振器ミラーを取り付け、位置調整する
ための方法が知られている。この場合、ミラー担持体は
同じ材料から成るベースと密着により結合される。
【０００６】超音波溶接により金属を非金属と結合させ
ることもすでに知られている。このための方法はドイツ
連邦共和国特許第２３１２７２４号公報に説明されてい
る。この文献は、金属から成っている部分を、非金属か
ら成り且つ貴金属層を備えている部分、たとえばピエゾ
セラミックス板片（金属から成る他の中間層を介在させ
た水晶小円板またはガラス小円板でもよい）と超音波溶
接するための方法および装置に関わるものである。ま
ず、金属部分と非金属部分の相互の結合面の上にアルミ
ニウム層またはアルミニウムフォイルを被着し、次に非
金属部分を固定し、アルミニウムで被覆した結合面を上
下に設置し、少なくとも２５０℃の温度、有利には３５
０℃の温度へ予熱し、最後にこれら予熱した部分を超音
波溶接により互いに結合させる。特に有利な例として、
金属部分を高周波電磁場で予熱することが記載されてい
る。このように外部から付加的に加熱するのは、特にア
ルミニウム層を加熱するのは、全面的に均一に溶接する
ためであり、かつ、金属部分と非金属部分を超音波溶接
する際に消費され、しばしば非金属部分を破損させるこ
とがある音エネルギーをかなりの程度低減させるためで
ある。この文献によれば、アルミニウム中間層を蒸着、
プラズマアークなどで被覆させるか、或いは溶接される
べき部分の間に差込まれるアルミニウムフォイルの形態
で形成することが提案される。問題は、金属部分と非金
属部分を高温に予熱せねばならず、全面結合を行なわね
ばならないことである。金属担持体に対して全面結合す
ると、透過光学系を伴う使用を妨げる。
【０００７】ドイツ連邦共和国特許第１９５４６９９７
号公報には、アルミニウムから成る部分をセラミックス
から成る部分と結合させるため、まずセラミックス部分
の所定の結合領域を、金属ペーストの加熱処理、熱噴射
等により金属化させ、次に本来の結合を硬蝋付けにより
行なえるようにすることが説明されている。或いは、一
定の運動形状をもった摩擦溶接により結合を行なうこと
が提案されている。
【０００８】金属とガラスの超音波溶接に関しては、さ
らに一連の科学論文もある。ここではその例として、E.
Roeder, G. Wagner, J. Wagner 著「超音波溶接による
新規な複合素材」（「技術と経営」、１９９５年度第４
４巻、第３１頁以下）、「溶接と切断」における「ガラ
スおよびセラミックスと金属との超音波ローリングシー
ム溶接」（１９９７年、第４９巻、第５６４頁以下）を
挙げることにする。後者の論文では、静力学的な溶接力
により音波用端子を継ぎ目部分に押し当て、一緒に同期
して移動せしめられる継ぎ目部分上を移動させることが
提案されている。この場合、接合に必要なエネルギー
は、金属の超音波溶接に必要なエネルギーと同様に、機
械的な剪断波の形態で音波用端子側の継ぎ目部分に導入
されねばならない。連結は、音波用端子側の高い機械的
応力と、金属工作物を介しての超音波振動の好ましい連
動とに基づいて行なわれる。これに対して非金属の継ぎ
目部分は、溶接方向に対して横方向に振動する金属部分
に対する相対運動を保証するため、ゴム取り付け部の上
にスリップしないように取り付けられている。冷却手段
により継ぎ目部分の温度を低下させ、よって結合部にお
ける内部応力の低減を達成することが提案されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、金属
固定部への光学部材の超音波溶接を、大きい光学部材に
対しても可能にすること、特に、大きい光学部材がその
高感度および／または光学的高品質のためにわずかな荷
重にも曝してはならないような場合にも超音波溶接を可
能にすることである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明な光学部
材の少なくとも周辺部を、所定の固定箇所にほぼ対向し
接近するように且つ振動が緩衝されるように保持し、金
属固定部を、大きい光学部材の周辺部の予め設定した固
定箇所にあてがい、音波用端子を、場合によっては小さ
な曲げモーメントを作用させて前記固定部に加えて超音
波溶接を行なうことを特徴とする。
【００１１】本発明の基本的な認識は、紫外線範囲で使
用される結晶素材、たとえばＣａＦ 2 のような非常に感
度のよい光学部材であっても、振動が緩衝されるように
光学部材を所定の箇所に保持させれば、超音波溶接に必
要な高超音波エネルギーによる光学部材の破損を回避で
きるという点にある。これと同時に、本発明によれば、
光学部材に対しては、音波用端子による曲げモーメント
が常にわずかしか作用しないよう保証されるべきであ
る。
【００１２】音波用端子への圧力が高く、すなわち静力
学的な溶接力が大きい場合も常に小さな曲げモーメント
しか作用しないので、超音波の振幅を比較的小さく選定
できる。したがって、大きい光学部材により伝播する超
音波エネルギーは、超音波溶接を申し分なく実施でき
る。それにもかかわらず、そのエネルギーは光学部材の
破損が回避されるように光学部材を防振保持部で吸収で
きるほどに小さい。また、超音波溶接により最小の剪断
荷重しか生じない。
【００１３】固定箇所が平らで大きい光学部材の１つの
側縁に設けられ、防振保持が透過面の縁領域で行なわれ
るのが、特に有利である。これにより、最小限の曲げモ
ーメントだけが作用するよう保証される。また、前記側
縁に固定箇所を設定した状態で別の防振保持部を径方向
に対向する側縁箇所に設けた状態で、音波用端子に押圧
力の作用を及ぼすことができる。このような押圧力に対
して、石英ガラス、フッ化カルシウム、フッ化バリウ
ム、フッ化マグネシウムのような典型的な光学部材（た
とえば窓ガラス、オーブン、自動車のヘッドライト等で
使用される従来のガラスでもよい）は特に耐久性があ
る。本発明による方法はこれらの要素を用いて適用可能
である。
【００１４】光学部材をその周辺部だけで防振保持し、
すなわち側縁および／または透過面領域の周辺部で保持
することが提案される。
【００１５】透明な光学部材をその透過面領域の周辺部
で保持する場合、防振保持のために、透過面の少なくと
も１つの部分を取り囲む弾性部材を使用し、次に透明な
光学部材の取り囲まれた領域と弾性部材との間に真空を
発生させて光学部材を固定するようにすれば、特に大き
な保持力が得られる。透明な光学部材を双方の面で面保
持することが提案される。
【００１６】有利な方法では、まず光学部材を片面側で
保持し、初期真空を印加し、その後反対側でも同様に初
期真空を印加し、次に両保持部と光学部材内側により高
い真空を印加する。
【００１７】本発明による方法は、特にもろい材料に適
しており、特にフッ化カルシウム、フッ化マグネシウム
またはフッ化バリウムのような結晶に適している。これ
らの素材の所定の固定箇所または固定箇所を取り囲んで
いる比較的広い範囲に金属層を被着させてよい。特にア
ルミニウムは、スパッタリング処理できる金属として適
している。
【００１８】固定部を金属から構成するのが有利であ
り、電気メッキしたアルミニウム層を被着させた鋼ばね
を超音波溶接のために、これらのアルミニウムストライ
プの上方に設置してよい。鋼ばねの厚さはたとえば０．
２ｍｍである。
【００１９】
【発明の実施の形態】次に、図面を用いて本発明の実施
形態を説明するが、これは一例にすぎない。図１によれ
ば、たとえば径が４０ｍｍ以上の大きなレンズのための
非金属素材１として、ＣａＦ2 単結晶がある。フッ化カ
ルシウム１は、厚さがたとえば２ｍｍの弾性層としての
ゴム層２によって取り囲まれ、或いはこの弾性層に埋め
込まれている。弾性層は防振作用を成し、所定の固定箇
所に対向するように且つ接近するように設けられてい
る。フッ化カルシウムに代えフッ化バリウムまたは石英
ガラスとすることもできる。
【００２０】非金属素材としてのフッ化カルシウム上に
は、スパッタリングによりアルミニウム層３が被着され
る。アルミニウム層３の厚さはたとえば０．０５ｍｍで
ある。スパッタリングされたアルミニウム層３上には、
たとえば０．１５ｍｍの高さでアルミニウムストライプ
４が被着される。電気メッキまたはスパッタリングした
アルミニウム層５で被覆された鋼ばね６が、超音波溶接
のためにアルミニウムストライプ４上にあてがわれる。
アルミニウム被覆部５の厚さも０．０５ｍｍであってよ
い。鋼ばねの厚さはたとえば０．２ｍｍである。
【００２１】上記の構成の構造部に対しては、超音波溶
接のために音波用端子７から鋼ばね６を介して面荷重の
形態で押圧力が互いに結合されている構成要素に加えら
れ、その際音波用端子７は数μｍの変位を行なう。
【００２２】溶接過程時の振幅が高ければ高いほど、フ
ッ化カルシウム１の危険度は高くなる。しかしゴム層２
には溶接過程時に際立った効果がある。同様に緩衝効果
も増大し、したがって、スパッタリングされたアルミニ
ウム層３の厚さが増すにつれてフッ化カルシウム１の耐
荷重性が向上する。
【００２３】鋼ばね６のための被覆部としてのアルミニ
ウム層５により、溶接過程時の超音波の緩衝も達成さ
れ、フッ化カルシウム層の損傷が回避される。超音波溶
接自体は公知の態様で行なわれる。本発明による方法に
おいては、露出している個々のアルミニウム面の間で比
較的迅速に化学結合部が形成され、これに対応して優れ
た連結が提供される。
【００２４】本発明の他の有利な実施の形態を図２を用
いて説明する。図２において符号１０は、平坦な透明な
光学的部材としての丸いＣａＦ2 円板を示している。Ｃ
ａＦ2 円板は透過面１０ａ，１０ｂと、筒体側面を決定
している少なくとも１つの側面１０ｃとを有している。
【００２５】対向しあっている透過面１０ａ，１０ｂの
外側の周辺部１１ａ，１１ｂには、周領域を周回してい
るゴムリング１２ａ，１２ｂが密接に取り付けられてい
る。ゴムには弾性があり、高い内部減衰を有している。
さらに、母材であるゴムにたとえばタングステン等の添
加物質を混合してもよい。各ゴムリング１２は、ＣａＦ
2 円板１０とは逆の側で安定な金属板１３と圧密に接し
ている。金属板１３はその中央部に排気穴１４を有して
おり、排気穴にはポンプ管が接続されている（図示せ
ず）。
【００２６】周面１０ｃの片側には安定な保持体１５が
設けられている。保持体１５は、そのＣａＦ2 円板１０
側にゴム保護部１６を備えている。ゴム保護部１６にＣ
ａＦ 2 円板１０が載せられる。径方向において逆の側が
固定箇所である。固定箇所には、アルミニウムから成る
層１８がＣａＦ2 円板１０上にスパッタリング処理され
ている。層１８の上方には金属製の固定要素１９が設置
されている。固定要素１９には音波用端子２０を圧着さ
せる。
【００２７】このような配置により、金属製の固定要素
１９とＣａＦ2 円板１０の間の結合は以下のようにして
形成される。まずＣａＦ2円板１０の周１０ｃに金属層
１８を形成する。安定な金属板１３ｂを水平方向に配置
し、ＣａＦ2 円板１０の透過面１０ｂを付属のゴムリン
グ１２ｂ上に置く。排気穴１４により、金属板１３ｂと
ＣａＦ2円板１０の間にある空気をたとえば１０-4ｍｂ
ａｒの初期真空まで除去する。ＣａＦ2 円板１０は、そ
の径がたとえば４０ｍｍ以上あって大きいので、金属板
１３ｂが鉛直方向に動くことができ、ＣａＦ2 円板がス
リップしない程度に安定な金属板１３ｂにしっかりと付
着する。次に、反対側から第２の金属板１３ａをゴムリ
ング１２ａとともに第２の透過面１０ａに載せる。
【００２８】両板１３ａ，１３ｂとＣａＦ2 円板の間の
中空空間を排気して、前記初期真空以下の圧力にする。
真空圧は、保持部１５がなくともＣａＦ2 円板が音波用
端子の押圧力で動かないように選定する。これは、溶接
箇所と保持体を正確に対向配置しなくともＣａＦ2 円板
は常にほとんど動くことができないよう保証し、次の超
音波溶接の際にパワーを調整して作業できるので、均整
のとれた結果を得るために有利である。次に、このよう
にして保持したＣａＦ2 円板をその周側１０ｃの下部領
域を安定な保持体１５のゴム保護部１６の上に載せる。
径方向の反対側に金属製の固定要素１９をアルミニウム
スパッタリング層１９の上方に配置し、固定要素１９に
対して音波用端子２０をしっかりと押圧させる。
【００２９】その圧力は保持部１５により十分に吸収さ
れ光学素子に剪断力が作用しない。したがって、曲げモ
ーメントまたは重力の印加の際に破損しやすいもろい材
料でも荷重に特に好適に耐えることができる。次に音波
用端子を励起し、超音波溶接結合部を形成させる。ゴム
リング１２、特に溶接箇所に隣接している部位において
侵入する超音波エネルギー、および径方向において対向
している保持部１５において侵入する超音波エネルギー
はＣａＦ2 円板により振動が緩衝されるため、素材が破
損する危険はない。
【００３０】本発明による方法は、半導体マスクを露光
する際に使用されるような、径が少なくとも４０ｍｍで
波長が３６５ｎｍよりも短い大型のＵＶ光学素子の製造
に特に適用できる。他の適用例としては自動車のヘッド
ライトのガラスと反射鏡との結合、オーブンのドアと確
認窓との結合、ファサード建築におけるガラス要素の結
合などを所望の耐熱性が得られるように行なうことが挙
げられる。
【図面の簡単な説明】
【図１】超音波溶接の際に弾性保持部で保持された光学
部材を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
１ 非金属素材 ２ ゴム層 ３ アルミニウム層 ４ アルミニウムストライプ ５ アルミニウム被覆部 ６ 鋼ばね ７ 音波用端子 １０ ＣａＦ2円板 １２ ゴムリング １３ 金属板 １４ 排気穴 １５ 保持体 １６ ゴム保護部 １８ アルミニウムから成る層 １９ 固定要素 ２０ 音波用端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 391035991 カール・ツアイス・スティフツング ＣＡＲＬ ＺＥＩＳＳ ドイツ連邦共和国 89518・ハイデンハイ ム アン デア ブレンツ （番地なし) (72)発明者 フーベルト・ホルデラー ドイツ連邦共和国・89551・ケーニヒスブ ロン・グレフィンシュトラーセ ６ (72)発明者 ぺーター・リュマー ドイツ連邦共和国・73447・オベルコッヒ ェン・ロベルト−コッホ−シュトラーセ 13 (72)発明者 ヨハネス・ディール ドイツ連邦共和国・89551・ケーニヒスブ ロン・アン デア ロイテ 20 (72)発明者 ディトマール・アイフラー ドイツ連邦共和国・76764・ラインツァー ベルン・アン デン トングルーベン 65 (72)発明者 ダニエル・ゾルバッハ ドイツ連邦共和国・40549・デュッセルド ルフ・パリザーシュトラーセ 12 (72)発明者 グントラム・ヴァグナー ドイツ連邦共和国・67697・オタールベル ク・グラスヒュッテルシュトラーセ 45ア ー

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光学部材を金属固定部に溶接する方法に
    おいて、透明な光学部材の少なくとも周辺部を、所定の
    固定箇所にほぼ対向し接近するように且つ振動が緩衝さ
    れるように保持し、金属固定部を、光学部材の周辺部の
    予め設定した固定箇所にあてがい、音波用端子を、場合
    によっては小さな曲げモーメントを作用させて前記固定
    部に加えて超音波溶接を行なうようにした方法。
  2. 【請求項２】 透明な光学部材の周辺部だけを、または
    周辺部付近だけを、振動が緩衝されるように保持するよ
    うにした請求項１に記載の方法。
  3. 【請求項３】 透明な光学部材を、その面の少なくとも
    一部分を取り囲む弾性部材と接触させて振動が緩衝され
    るように保持し、弾性部材と透明な光学部材の間に真空
    を生じさせて光学部材を固定するようにした請求項１又
    は２に記載の方法。
  4. 【請求項４】 透明な光学部材としてのレンズの少なく
    とも両透過面を保持するようにした上記請求項のいずれ
    か一つに記載の方法。
  5. 【請求項５】 透明な光学部材を、両透過面の溶接の間
    真空により保持するようにした請求項３又は４に記載の
    方法。
  6. 【請求項６】 透明な光学部材を、まず第１の弾性部材
    と接触させ、この第１の弾性部材と光学部材の間に初期
    真空を印加させ、光学部材と第２の弾性部材とを接触さ
    せ、振動を緩衝させる両弾性部材と光学部材の間に、初
    期真空の圧力よりも低い圧力の真空を印加するようにし
    た上記請求項のいずれか一つに記載の方法。
  7. 【請求項７】 初期真空圧が１０-4ｍｂａｒのオーダー
    にあり、主真空圧が１０-6ｍｂａｒのオーダーにあるよ
    うにした上記請求項のいずれか一つに記載の方法。
  8. 【請求項８】 ４０ｍｍ以上の径を持った透明な光学部
    材の結合に適用する上記請求項のいずれか一つに記載の
    方法。
  9. 【請求項９】 高透過性と高結像特性を備えた、波長が
    ３６５ｎｍ以下の透明な光学部材の結合に適用する上記
    請求項のいずれか一つに記載の方法。
  10. 【請求項１０】 フッ化カルシウム、フッ化バリウムま
    たは石英ガラスから成る透明な光学部材を金属固定部に
    結合させることに適用する上記請求項のいずれか一つに
    記載の方法。
  11. 【請求項１１】 所望の固定箇所において、金属固定部
    をあてがう前に、透明な光学部材の上に予め金属から成
    る層を被着させるようにした上記請求項のいずれか一
    つ、特に請求項１０に記載の方法。
  12. 【請求項１２】 金属層としてのアルミニウムを、固定
    箇所において透明な光学部材に被着させるようにした上
    記請求項のいずれか一つに記載の方法。
  13. 【請求項１３】 金属層をスパッタリングにより被着さ
    せるようにした請求項１１または１２に記載の方法。
  14. 【請求項１４】 音波用端子と金属固定部の間に金属ば
    ねを配置するようにした上記請求項のいずれか一つに記
    載の方法。
  15. 【請求項１５】 金属ばねを使用する前に、金属ばねに
    他の被覆部を備えさせるようにした請求項１４に記載の
    方法。
  16. 【請求項１６】 他の被覆部としてのアルミニウム層を
    金属ばねに、特にスパッタリングまたは電気メッキによ
    り被着させるようにした請求項１５に記載の方法。
  17. 【請求項１７】 金属部分としてアルミニウムストライ
    プを使用するようにした上記請求項のいずれか一つに記
    載の方法。
  18. 【請求項１８】 金属固定部を、光学部材の側縁に設置
    するようにした上記請求項のいずれか一つに記載の方
    法。
  19. 【請求項１９】 光学部材と、その光学部材を保持する
    ための金属固定部とを有し、光学部材と金属固定部とが
    少なくとも１つの結合箇所において互いに結合されてい
    るアッセンブリにおいて、透明な光学部材が側部に金属
    層を担持し、且つ少なくとも一カ所に少なくとも一つの
    超音波溶接箇所が、特に金属固定部と透明な光学部材の
    金属層および／または透明な光学部材自身の間に近接し
    て設けられていることを特徴とするアッセンブリ。
  20. 【請求項２０】 透明な光学部材がフッ化カルシウム、
    フッ化バリウムまたは石英ガラスからなる上記請求項の
    いずれか一つに記載のアッセンブリ。
  21. 【請求項２１】 金属部分がアルミニウムストライプか
    ら成り、および／または金属層がアルミニウムからなる
    請求項１９又は２０に記載のアッセンブリ。
  22. 【請求項２２】 光学部材が少なくとも４０ｍｍの径或
    いは直線サイズを有し、３６５ｎｍ以下の波長の紫外線
    を結像させるように構成されている請求項１９又は２０
    に記載のアッセンブリ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012509832A (ja) * 2008-12-03 2012-04-26 グレンツェバッハ・マシーネンバウ・ゲーエムベーハー ガラス状部品を金属に圧力嵌めにより結合する方法及び装置

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6271499B1 (en) * 1999-09-14 2001-08-07 Lockheed Martin Corp. Method for welding electroformed material to other electroformed material, at least one of which having an optical pattern on a surface thereof
US6877894B2 (en) 2002-09-24 2005-04-12 Siemens Westinghouse Power Corporation Self-aligning apparatus for acoustic thermography
US7400460B2 (en) * 2004-04-26 2008-07-15 Carl Zeiss Smt Ag Method for connection of an optical element to a mount structure
DE102009000892A1 (de) * 2008-11-25 2010-06-17 Slv Halle Gmbh Verfahren zur Schichtapplikation folienförmiger Lotwerkstoffe mittels Ultraschallschweißen
DE202008016010U1 (de) 2008-12-03 2009-02-19 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Vorrichtung zum kraftschlüssigen Verbinden von glasartigen Bauteilen mit Metallen
DE102015106265A1 (de) * 2015-02-06 2016-08-11 Auto-Kabel Management Gmbh Ultraschallschweißvorrichtung sowie Verfahren zum Ultraschallschweißen
CN110233195B (zh) * 2019-07-10 2024-04-16 华南理工大学 一种无机紫外led器件及制备方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62313A (ja) * 1979-04-09 1987-01-06 リシンフエスト・アクチエンゲゼルシヤフト 写真用容器
JPS63117935A (ja) * 1986-08-18 1988-05-21 フィリップス　エレクトロニクス　ネムローゼ　フェンノートシャップ 第１要素と第２要素との相互連結方法
JPH03176971A (ja) * 1989-12-01 1991-07-31 Riyousei Denso Kk フレキシブルフラットケーブルの接続部
JPH05500495A (ja) * 1989-07-04 1993-02-04 クローライド　サイレント　パワー　リミテッド 一緒に結合されたセラミック部材と金属部材とを含む物品
JPH05203854A (ja) * 1992-01-29 1993-08-13 Olympus Optical Co Ltd 接合レンズ心出し装置
JPH06241943A (ja) * 1993-02-18 1994-09-02 Hoya Corp 回転対称面の面形状測定装置における被測定物の位置決め・保持装置
JPH07118075A (ja) * 1993-10-21 1995-05-09 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 絶縁材と金属基板の接合方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1629263A1 (de) * 1966-09-03 1971-01-21 Agfa Gevaert Ag Verfahren zum Verschweissen einer Kunststofflinse mit einer Kunststoffassung
US3657802A (en) * 1969-05-12 1972-04-25 Lunetiers Method and apparatus for securing metal mounting elements on a glass surface
DE2312724C2 (de) * 1973-03-14 1974-06-06 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Verfahren und Vorrichtung zum Ultraschallschweißen eines aus Metall bestehenden Bauteiles mit einem aus einem Nichtmetall gebildeten Bauteil unter Einfügung einer metallischen Zwischenlage
DE3364529D1 (en) * 1982-10-06 1986-08-21 Bodenseewerk Geraetetech Method of affixing a resonator mirror to a laser
DE4216337C2 (de) * 1992-05-16 2002-10-31 Bodenseewerk Geraetetech Verbindungsanordnung, insbesondere für den Suchkopf eines Flugkörpers, nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1
DE19546997C2 (de) * 1995-12-15 1997-12-18 Siemens Ag Verfahren zum Verbinden von metallischen Teilen mit nichtmetallischen Teilen

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62313A (ja) * 1979-04-09 1987-01-06 リシンフエスト・アクチエンゲゼルシヤフト 写真用容器
JPS63117935A (ja) * 1986-08-18 1988-05-21 フィリップス　エレクトロニクス　ネムローゼ　フェンノートシャップ 第１要素と第２要素との相互連結方法
JPH05500495A (ja) * 1989-07-04 1993-02-04 クローライド　サイレント　パワー　リミテッド 一緒に結合されたセラミック部材と金属部材とを含む物品
JPH03176971A (ja) * 1989-12-01 1991-07-31 Riyousei Denso Kk フレキシブルフラットケーブルの接続部
JPH05203854A (ja) * 1992-01-29 1993-08-13 Olympus Optical Co Ltd 接合レンズ心出し装置
JPH06241943A (ja) * 1993-02-18 1994-09-02 Hoya Corp 回転対称面の面形状測定装置における被測定物の位置決め・保持装置
JPH07118075A (ja) * 1993-10-21 1995-05-09 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 絶縁材と金属基板の接合方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012509832A (ja) * 2008-12-03 2012-04-26 グレンツェバッハ・マシーネンバウ・ゲーエムベーハー ガラス状部品を金属に圧力嵌めにより結合する方法及び装置
US8667814B2 (en) 2008-12-03 2014-03-11 Grenzebach Maschinenbau Gmbh Method and apparatus for the force-fitting connection of glass-like components to metals

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