JPH06241943A - 回転対称面の面形状測定装置における被測定物の位置決め・保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 面形状測定作業に際して、被測定物を一定の
位置に再現性良く設定して位置決め誤差に起因する測定
誤差の発生を低減化し得、しかも煩雑な位置決め調整作
業等の容易化ないし不要化を実現する。 【構成】 着脱可能で回転可能な下側ホルダー５上に被
測定対象の非球面単レンズＬを載置する。一方着脱可能
で上下動可能な上側ホルダー１４をスライド部材１０に
より下方向に下ろし非球面単レンズＬの上面に所定圧を
もって押し当てる。すると、非球面単レンズＬは、上下
から両ホルダー５，１４の円環形状部で均一に押圧され
て非球面単レンズＬの回転対称軸Ｏが軸３ａ，３ｂと一
致するように自動調整される。この状態で空気通路６内
を真空引きして下側ホルダー５上に非球面単レンズＬを
吸着させ、上側ホルダー１４を支持アーム１０ａと共
に、上方に退避させて、触針子２１をＢ方向に移動させ
て、非球面単レンズＬの面形状を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば１面が凸または
凹の回転対称面として形成され、他面が球面または回転
対称非球面或いは平面として形成された単レンズのレン
ズ面形状、特に、凸または凹の回転対称面が回転対称非
球面である単レンズの非球面形状を測定するのに好適な
レンズ面形状測定装置における被測定物の位置決め・保
持装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転対称非球面を対象とするレンズ面形
状測定装置としては、従来から幾つかの形式のものが知
られている。その１つの形式としては、例えば特開昭 6
1-70434 号公報に開示されているような構成の非球面レ
ンズの検査装置がある。

【０００３】この従来の検査装置では、図６に示すよう
に、上端部が水平円板面として形成された基軸１が測定
装置本体上に垂直状態に設置され、測定すべき非球面単
レンズ４を着脱可能に保持するレンズ取付台３がこの基
軸１の中心軸線１ａに対し垂直に設けられる。この場
合、非球面単レンズ４は、測定対象の回転対称非球面が
横向きになる状態でレンズ取付台３に取り付けられるこ
とになる。

【０００４】一方、ＸＹステージ６を具えたロータリテ
ーブル２が基軸１を中心として回転するように測定装置
本体上に設置され、非球面形状を測定するための触針子
７が、水平円板面と平行に設定した水平軸（触針子軸）
に沿って前進・後退可能な状態にロータリテーブル２の
ＸＹステージ６上に設置されることになる。

【０００５】そして、検査（測定）作業に際しては、先
ず、測定すべき非球面単レンズ４を測定対象非球面が横
向きになるように、且つ、測定対象非球面の基準曲率半
径の中心が基軸１の中心軸線１ａ上に位置するような状
態でレンズ取付台３に固定する。

【０００６】その後、ＸＹステージ６を利用して、例え
ば触針子７の先端部を測定対象非球面の頂点に位置させ
ると共に、適当な押圧力により触針子７の先端部をこの
非球面に接触させ、この状態でロータリテーブル２を基
軸１の周りに僅かずつ回転させる。

【０００７】このように操作すると、触針子７は、測定
対象非球面の頂点からレンズの縁部に至るまで単レンズ
の直径方向に水平に変位し、この変位の過程で、触針子
７が測定対象非球面の光軸断面形状に倣って水平軸に沿
って前進または後退する。そして、このときの触針子７
の前進量または後退量とロータリテーブル２の回転量と
の関係から非球面レンズの非球面形状を測定するように
している。

【０００８】即ち、触針子７の走査量であるロータリテ
ーブル２の回動量は、ロータリエンコーダ８によって測
定され、一方、触針子７の変位量は、レーザ光源１２か
ら発射されハーフミラー１３を通りプリズム１４で反射
されハーフミラー１３を介して受光器１６に入射する光
が、レーザ光源１２からハーフミラー１３を介してプリ
ズム１５で反射されハーフミラー１３を通って受光器１
６に入射する光を参照光として干渉されることによって
カウンタ１７で測定され、回動量の測定値と変位量の測
定値とから非球面レンズ４の非球面形状が検査されるこ
ととなる。

【０００９】また、他の形式としては、測定すべき非球
面単レンズを、上記従来例とは異なり、その測定対象非
球面を上向きの状態で装置本体に取り付ける構成のレン
ズ面形状測定装置がある。

【００１０】この測定装置では、非球面単レンズを着脱
可能に保持するレンズ取付台が基盤上に設置され、触針
子支持アームがこのレンズ取付台に対して例えば水平方
向に直線的に変位可能な状態に設置される。そして、触
針子がこの触針子支持アームに対して自重により下降し
てレンズ面に接触し得るように設けられることになる。

【００１１】この形式の測定装置では、測定作業に際し
て、触針子の先端部を測定対象非球面の頂点に位置さ
せ、その後、触針子支持アームを水平方向に変位させ
る。このように操作すると、触針子が測定対象非球面の
頂点からレンズの縁部に至るまで単レンズの直径方向に
変位するが、この変位の過程で、触針子が自重（または
適宜な加圧手段）により測定対象非球面の光軸断面形状
に倣って上下方向に変位する。

【００１２】そして、このときの触針子支持アームの水
平方向の変位量と触針子の上下方向の変位量との関係か
ら測定対象非球面の形状を測定するようにしている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、これらのレ
ンズ面形状測定装置では、いずれも、測定すべき非球面
単レンズをレンズ取付台に固定する際に測定対象非球面
の対称軸（光軸）をレンズ取付台の軸芯と正確に一致さ
せるように位置決め調整を行い、或いは、測定対象非球
面の対称軸を装置本体や触針子支持アームに対して所定
の角度に正確に設定調整を行わなくてはならないという
神経を使う作業を必要とし、しかも、その状態ないし姿
勢で非球面単レンズをレンズ取付台に固定するという煩
雑な作業を必要としている。

【００１４】そして、従来のレンズ面形状測定装置で
は、いずれも、測定すべき非球面単レンズを保持する際
に、その外周面を利用して保持する方法を採用している
ため、単レンズの外周面の軸と測定対象非球面の対称軸
とが同軸に加工されていない場合には、測定作業に際し
て、その都度位置決め調整作業や固定作業を行わなけれ
ばならず、そのため、これらの作業に多大の時間を要す
るということが大きな欠点となっていた。

【００１５】そして、このことは、光学レンズにかぎら
ず、回転対象面を有する固体性物体、例えばレンズ金型
やミラーの面形状測定の場合でも同様である。

【００１６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、回転対称面の面形
状測定作業に際して、被測定物を一定の位置に再現性良
く設定すること、並びに、位置決め誤差に起因する測定
誤差の発生を少なくすることが可能であり、しかも、従
来のような煩雑な被測定物の位置決め調整作業や保持作
業等の容易化ないし不要化を実現し得る新しい回転対称
面の面形状測定装置における被測定物の位置決め・保持
装置を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために、少なくとも１面が回転対称面として形
成され、他面が球面または回転対称非球面或いは平面と
して形成された被測定物の回転対称面の面形状を測定す
る回転対称面の面形状測定装置における被測定部の位置
決め・保持装置において、前記位置決め・保持装置の本
体部と、面測定時に非測定側の面となる前記被測定物の
保持面を着脱可能に保持する部分が円環形状部として形
成され、所定の枢軸上に回転可能に設けられた被測定物
保持部材と、面測定時に測定の対象となる前記被測定物
の測定対象面と着脱可能に接する部分が円環形状部とし
て形成され、この円環形状部が前記被測定物保持部材の
円環形状部と正対するような状態で前記枢軸上に設けら
れた被測定物位置決め部材と、この被測定物位置決め部
材を前記枢軸上に保持し、且つ、面形状の測定に際し
て、前記被測定物保持部材の円環形状部と前記被測定物
位置決め部材の円環形状部との間で前記被測定物を挟持
するために、前記被測定物位置決め部材を前記枢軸に沿
って正逆方向に変位させ得るように前記本体部に設けら
れた被測定物位置決め部材支持部材と、面形状の測定に
際して、前記被測定物を前記被測定物保持部材の円環形
状部に実質的に変位不可能に固定し得る着脱可能固定手
段と、を備えたことを特徴とするものである。

【００１８】

【作用】上記のように構成された回転対称面の面形状測
定装置における被測定物の位置決め・保持装置は、被測
定物保持部材の円環形状部で被測定物の非測定面を保持
し、被測定物位置決め部材の円環形状部で被測定物の測
定対象面を上記被測定物保持部材側に押し付けると、被
測定物の両面を２つの円環形状部がその全周部分で均一
な加圧力および加圧反力で押圧して安定した姿勢をとる
ように作用する。

【００１９】この２つの円環形状部によって挟持された
被測定物が安定した姿勢状態となる位置が、被測定物の
２つの面を通る回転対称軸と所定軸とが一致した位置と
なる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明をレンズ面形状測定装置のレン
ズ位置決め・保持装置に適用した場合の実施例に基づい
て、その構成および作用を説明する。図１に示すのは、
本発明をレンズ面形状測定装置のレンズ位置決め・保持
装置に適用した場合の実施例に係る側面外観図である。

【００２１】図１において、１はレンズ面形状測定装置
におけるレンズ位置決め・保持装置の装置本体、２はこ
の装置本体１において基準回転軸３ａを中心軸として回
転可能に設けられた回転テーブル、４はこの回転テーブ
ル２上においてこの回転テーブル２と同軸的に設けられ
た下側ホルダーベースである。

【００２２】この下側ホルダーベース４には、次に記す
被測定物保持部材としての下側ホルダー５を着脱可能に
保持し且つ正確に基準回転軸３ａに軸合せし得る構造の
下側着脱可能保持装置（図示なし）が設けられている。
なお、その構造は、それ自体公知の適宜の手段によって
構成するものとする。

【００２３】５はこの下側着脱可能保持装置により着脱
可能に且つ回転テーブル２と同軸的に下側ホルダーベー
ス４上に取り付けられた下側ホルダーで、例えば図２に
示すように筒状部材として構成され、その上端面の内周
部分は、測定すべき非球面単レンズＬの下側レンズ面Ｌ
ｂと接触する実質的に真円形状の円環形状部５ａとして
形成されている。

【００２４】６は装置本体１から回転テーブル２および
下側ホルダーベース４を経て下側ホルダー５の中空部に
至るように形成された適宜の真空引き用の空気通路、７
はこの空気通路６の出口に当る装置本体１の外側面に設
けられたエアコネクタで、適宜構成の減圧装置８と結合
し得るように構成されている。そして、真空引き用の空
気通路６とエアコネクタ７と減圧装置８とにより減圧吸
着装置６〜８を構成することになる。

【００２５】９は装置本体１に立設されたコラムで、そ
の基準回転軸３ａ側の側面部には、基準回転軸３ａと同
軸に設定された押し付け軸３ｂと平行な垂直案内面を具
えた垂直案内手段（例えば蟻嵌合案内構造）９ａが設け
られている。

【００２６】１０は側方に突出した支持アーム１０ａを
具えたスライド部材で、垂直案内手段９ａにより垂直案
内される状態でコラム９に支持され、しかも、適宜構造
の緊締手段１１により、任意の垂直方向位置でコラム９
に半固定し得るように構成されている。

【００２７】このスライド部材１０は、適宜構造のバラ
ンス手段、例えば吊り下げワイヤー１２ａ、反転ローラ
１２ｂおよび重錘１２ｃから成るバランス手段１２ａ〜
１２ｃにより、垂直方向（矢印Ａ方向）に軽く変位し得
るように構成することが好ましい。また、緊締手段１１
は、それ自体公知の適宜の手段によって構成するものと
する。

【００２８】１３はスライド部材１０の支持アーム１０
ａに設けられた上側ホルダーベースで、その軸が前述の
基準回転軸３ａと同軸的に設定された押し付け軸３ｂと
一致するように構成されている。

【００２９】この上側ホルダーベース１３には、前述し
た下側ホルダーベース４の場合と同様に、次に記す上側
ホルダー１４を着脱可能に保持し且つ正確に押し付け軸
３ｂに軸合せし得る構造の上側着脱可能保持装置（図示
なし）が設けられている。なお、その構造は、それ自体
公知の適宜の手段によって構成するものとする。

【００３０】１４はこの上側着脱可能保持装置により着
脱可能に且つ押し付け軸３ｂと同軸的に上側ホルダーベ
ース１３上に取り付けられた被測定物位置決め部材とし
ての上側ホルダーで、例えば図３に示すように筒状部材
として構成され、その下端面の内周部分は、測定すべき
非球面単レンズＬの上側レンズ面（測定対象非球面）Ｌ
ａと接触するほぼ真円形状の円環形状部１４ａとして形
成されている。

【００３１】なお、前述した下側ホルダー５の円環形状
部５ａとこの上側ホルダー１４の円環形状部１４ａと
は、同じ内径のものとして形成することも、異なる内径
のものとして形成することもできる。また、下側ホルダ
ー５の外周面の断面形状と上側ホルダー１４の外周面の
断面形状についても、それぞれ任意の形状に決定するこ
とができる。

【００３２】１５は上側ホルダーベース１３と上側ホル
ダー１４との間に設けられた適宜構造の緩衝支持手段
で、非球面単レンズＬを下側ホルダー５の円環形状部５
ａと上側ホルダー１４の円環形状部１４ａとの間で挟持
したときに、上側ホルダーベース１３から加えられる過
度の押し付け力により、非球面単レンズＬを損傷させな
いようにするための予防手段であり、例えば、ホルダー
１４が押し付け軸３ｂに沿って上下する案内部を備えた
スプリング機構とすることもできる。

【００３３】２０は例えば基準回転軸３ａおよび押し付
け軸３ｂに対して直交する方向（水平方向）に変位可能
に設けられた触針子支持アームで、その先端部分には、
非球面単レンズＬの測定対象非球面Ｌａと接触する触針
子２１を垂直方向に変位可能に案内する触針子上下案内
手段２２が設けられている。

【００３４】この触針子支持アーム２０は、例えば図示
なき適宜の水平方向変位案内手段により、水平直線軌跡
上を左右方向（Ｂ方向）に所定量変位し得るような状態
に設置され、しかも、測定作業時に、触針子２１を下側
ホルダー５の円環形状部５ａ上の非球面単レンズＬの上
側レンズ面Ｌａに上方から接触させ得るように、垂直方
向（Ｃ方向）にも調整変位可能に設けられている。

【００３５】なお、触針子支持アーム２０の設置個所
は、装置本体１上でも回転テーブル２上でもよいが、こ
の例の場合、面形状測定装置（図示せず）のベースプレ
ート上に設置してもよい。

【００３６】また、触針子２１は、弱い付勢力で下方に
付勢されるようにそれ自体公知の方法で構成され、さら
に、触針子２１が初期位置から上方に向って変位したと
き、および、上方変位位置から初期位置に向って変位し
たときには、その変位量を電気的または機械的に検出し
得るようにも構成されている。

【００３７】次に、このように構成された図示例のレン
ズ面形状測定装置のレンズ位置決め・保持装置の動作な
いし作用について説明する。測定に際しては、先ず緊締
手段１１を緩めてスライド部材１０を上昇させ、測定す
べき非球面単レンズＬをその測定対象非球面（上側レン
ズ面）Ｌａを上向きにした状態で下側ホルダー５の円環
形状部５ａ上に載置する。

【００３８】この状態では、図２に示すように、測定対
象非球面Ｌａの回転対称中心点である頂点Ｌｃと非球面
単レンズＬの下側レンズ面Ｌｂの回転対称中心点である
頂点Ｌｄとを通る回転対称軸（光軸に相当する軸）Ｏが
基準回転軸３ａと一致する保証はないから、非球面単レ
ンズＬは、回転対称軸Ｏが基準回転軸３ａに対して傾い
た姿勢で下側ホルダー５の円環形状部５ａ上に位置する
ことになる。

【００３９】この状態で、スライド部材１０を押し付け
軸３ｂに沿って緩やかに下降させて、上側ホルダー１４
の円環形状部１４ａを非球面単レンズＬの測定対象非球
面Ｌａに押し付けて、下側ホルダー５の円環形状部５ａ
と上側ホルダー１４の円環形状部１４ａとの間で非球面
単レンズＬを挟み込むように操作する。この際、緩衝支
持手段１５が作用して、非球面単レンズＬに対する上側
ホルダー１４の過度の押し付け力による悪影響を排除す
る。

【００４０】このように、非球面単レンズＬが、２つの
円環形状部５ａ，１４ａで挟み込まれると、非球面単レ
ンズＬの下側レンズ面Ｌｂと測定対象非球面Ｌａとがそ
れぞれの円環形状部５ａ，１４ａに倣うように姿勢を変
えて、図３に示すように、２つの円環形状部５ａ，１４
ａの間の間隔が全周に亘って例えば「Ｄ」の値になった
状態で静止することになる。

【００４１】これは、測定対象非球面Ｌａが上側ホルダ
ー１４の円環形状部１４ａの全周囲部分から均一な力で
押され、しかも、この過程で、下側レンズ面Ｌｂが下側
ホルダー５の円環形状部５ａの全周部分から均一な反力
で押されて安定した姿勢を求めて揺動するからである。

【００４２】そして、この状態では、測定対象非球面Ｌ
ａの頂点Ｌｃと下側レンズ面Ｌｂの頂点Ｌｄとがいずれ
も基準回転軸３ａ（押し付け軸３ｂでもある）上に位置
することになり、この状態で回転テーブル２を回転させ
ても測定対象非球面Ｌａの頂点Ｌｃの位置が変化しなく
なる。

【００４３】この状態に至ったならば、減圧吸着装置６
〜８を作動させ、非球面単レンズＬで蓋をされた状態に
ある下側ホルダー５の中空状部分の気圧を減少させるよ
うに操作する。

【００４４】このように操作すると、非球面単レンズＬ
の測定対象非球面Ｌａに加えられる大気圧により、非球
面単レンズＬは、下側ホルダー５の円環形状部５ａ側に
吸引されることになって、そのときのレンズ姿勢で固定
されることになる。従って、この状態に至ったならば、
スライド部材１０を適当な位置まで上昇させ緊締手段１
１を用いてその位置に固定する。

【００４５】さて、スライド部材１０が上昇したなら
ば、触針子支持アーム２０を基準回転軸３ａに向って水
平直線軌跡上を左方（Ｂ方向）に移動して触針子２１の
先端部を測定対象非球面Ｌａに接触させ、さらに、その
先端部を測定対象非球面Ｌａの頂点Ｌｃに正確に位置さ
せる。

【００４６】そして、このときの触針子２１の垂直方向
の位置と触針子支持アーム２０の水平方向の位置を確認
してから、触針子支持アーム２０を右方に緩やかに変位
させる。このように操作すると、その変位の過程で触針
子２１が自身に付与された弱い付勢力で垂直方向に下降
しながら、測定対象非球面Ｌａの軸断面非球面形状に倣
いつつ非球面単レンズＬの直径方向に縁部まで変位する
ことになる。

【００４７】従って、このとき得られる触針子支持アー
ム２０の水平方向の変位量と触針子２１の垂直方向の変
位量とから測定対象非球面Ｌａの非球面形状を求めるこ
とができる。

【００４８】そして、測定対象非球面Ｌａの非球面形状
が求められたならば、減圧吸着装置６〜８の作動を停止
すると共に、適宜の方法で下側ホルダー５の中空状部分
の気圧を大気の状態に復帰させて非球面単レンズＬを下
側ホルダー５から取り外し、測定作業を終了する。

【００４９】このようにして１つの測定対象非球面Ｌａ
に対する非球面形状の測定作業が終了したならば、他の
非球面単レンズＬを下側ホルダー５の円環形状部５ａに
取り付けて次の測定作業を開始することになる。

【００５０】このとき、前述した測定対象の非球面単レ
ンズＬが両面非球面である単レンズである場合には、１
つの非球面の測定作業が終了したときに単レンズを逆向
きにして、上述の手順に従って他の非球面に対する測定
作業を行うようにする。

【００５１】図４および図５に示すのは、下側ホルダー
５の円環形状部５ａおよび上側ホルダー１４の円環形状
部１４ａの変形例である。この場合、図４は、下側ホル
ダー５および上側ホルダー１４の上端面の内周部分を適
当な円錐面で面取りした部分を形成したときの例であ
り、図５は、それぞれの上端面の内周部分に適当な値の
丸みを持つ部分を形成したときの例である。

【００５２】以上説明した実施例では、一対の下側ホル
ダー５および上側ホルダー１４を用いた例を示したが、
測定する非球面単レンズの大きさや非球面の形状等に応
じて内径の大きさや円環形状部５ａ、１４ａの形状を変
えた複数対の下側ホルダー５および上側ホルダー１４を
準備し、前述した下側着脱可能保持装置および上側着脱
可能保持装置を利用して、その都度、それぞれの測定に
適した下側ホルダー５および上側ホルダー１４に交換す
るようにすることもできる。

【００５３】以上、図示実施例について説明してきた
が、本発明は、これらの実施例に限定されるものではな
く、その要旨を逸脱しない範囲内で種々に変形実施する
ことが可能である。

【００５４】例えば、図示実施例では、一方の面または
両面が非球面となっている両凸の単レンズを対象として
説明したが、測定対象面が非球面である両凹の単レンズ
の場合であっても、また、保持側面（下側ホルダー５の
円環形状部５ａに接する面）が平面である凸または凹の
単レンズでも、本発明を適用することができる。

【００５５】また、図示実施例では、光学レンズを対象
として説明したが、回転対象面を有する固体性物体、例
えばレンズ金型やミラーの面形状測定の場合にも適用す
ることが可能である。

【００５６】また、図示実施例では、測定対象面が非球
面である場合を例として説明したが球面の面形状測定に
も利用し得るのは勿論である。また、図示実施例では、
特許請求の範囲に記載された着脱可能固定手段として減
圧吸着装置６〜８を用いているが他形式の装置を利用し
てもよい。

【００５７】また、図示実施例では、非球面の形状測定
に当って、水平方向に変位する触針子支持アーム２０と
垂直方向に変位する触針子２１から成る手段を用いた
が、その測定方向は、水平方向と垂直方向との組合せに
限定されるものではなく、また、他の形式の非球面形状
測定手段を用いることも可能である。

【００５８】さらに、図示実施例では、基準回転軸３ａ
と押し付け軸３ｂとを垂直方向に設定した例を示した
が、水平方向に設定しても、斜め方向に設定することも
可能である。

【００５９】さらにまた、第１図には示していないが、
上述したレンズ位置決め・保持装置は、レンズ面形状測
定装置のベースプレート上に設置され、このベースプレ
ート上で触針子２１の移動方向およびこれと直交する方
向に位置決めする送り機構や上記ベースプレートに対し
任意の角度で傾斜させることのできる傾斜機構を備える
ように構成してもよい。

【００６０】このように構成した場合には、レンズ面形
状測定装置のベースプレートに対し、レンズ位置決め・
保持装置は、その位置や下側ホルダー５の基準回転軸３
ａ（および上側ホルダー１４の押し付け軸３ｂ）の角度
を任意に設定し得るようになる。

【００６１】さらにまた、下側ホルダー５は、上述した
実施例の場合、円筒状部材として形成してあるが、必ら
ずしも全体が円筒状である必要はなく、例えば少なくと
もその上端面の内周部分が、被測定物の回転対称面の当
る部分のみ円環状に形成されていればよく、そして、被
測定物を吸着保持するための真空引き用の空気通路６と
連通する流通孔が穿設されていればよい。

【００６２】これと同様に、上側ホルダー１４も、全体
を円筒状部材として形成する必要はなく、例えばその下
端面内周部分が、被測定物の回転対称面の当る部分のみ
円環状に形成されていればよい。

【００６３】さらにまた、回転テーブル２と下側ホルダ
ーベース４とは、別体に構成せず、一体物として構成し
てもよい。同様に、支持アーム１０ａと上側ホルダーベ
ース１３とは、別体に構成せず、一体物として構成して
もよい。

【００６４】

【発明の効果】以上述べたように、本発明では、回転対
称面の面形状測定作業に際して、たとえ被測定物の外径
と測定対称面の回転対称軸とが同軸加工されていない場
合であっても、被測定物を一定の位置に再現性良く設定
すること、並びに、位置決め誤差に起因する測定誤差の
発生を少なくすることが可能であり、しかも、従来のよ
うな被測定物の位置決め調整作業や保持作業等を不要に
させあるいは、その作業負担を軽減させ得る新しい回転
対称面の面形状測定装置における被測定物の位置決め・
保持装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明をレンズ面形状測定装置のレンズ位置決
め・保持装置に適用した場合の実施例の全体構成を示す
側面図である。

【図２】図１のレンズ位置決め・保持装置に設けられた
下側ホルダーの円環形状部に測定すべき非球面単レンズ
を適当に載置したときの状態を示す部分的縦断面図であ
る。

【図３】図１のレンズ位置決め・保持装置に設けられた
下側ホルダーの円環形状部と上側ホルダーの円環形状部
とにより、測定すべき非球面単レンズを挟持したときの
状態を示す部分的縦断面図である。

【図４】図１のレンズ位置決め・保持装置に設けられた
下側ホルダーの円環形状部および上側ホルダーの円環形
状部の１つの変形例を示す部分的縦断面図である。

【図５】図１のレンズ位置決め・保持装置に設けられた
下側ホルダーの円環形状部および上側ホルダーの円環形
状部の他の変形例を示す部分的縦断面図である。

【図６】従来の非球面レンズの検査装置の一例を示す正
面断面図である。

【符号の説明】

Ｌ 非球面単レンズ Ｏ 回転対称軸 Ｌａ 上側レンズ面（測定対象非球面） Ｌｂ 下側レンズ面 Ｌｃ，Ｌｄ 頂点 １ 装置本体 ２ 回転テーブル ３ａ 基準回転軸 ３ｂ 押し付け軸 ４ 下側ホルダーベース ５ 下側ホルダー ５ａ 円環形状部 ６〜８ 減圧吸着装置 ６ 真空引き用空気通路 ７ エアコネクタ ８ 減圧装置 ９ コラム ９ａ 垂直案内手段 １０ スライド部材 １０ａ 支持アーム １１ 緊締手段 １２ａ〜１２ｃ バランス手段 １２ａ 吊り下げワイヤー １２ｂ 反転ローラ １２ｃ 重錘 １３ 上側ホルダーベース １４ 上側ホルダー １４ａ 円環形状部 １５ 緩衝支持手段 ２０ 触針子支持アーム ２１ 触針子 ２２ 触針子上下案内手段

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１面が回転対称面として形成
   され、他面が球面または回転対称非球面或いは平面とし
   て形成された被測定物の回転対称面の面形状を測定する
   回転対称面の面形状測定装置における被測定部の位置決
   め・保持装置において、 前記位置決め・保持装置の本体部と、 面測定時に非測定側の面となる前記被測定物の保持面を
   着脱可能に保持する部分が円環形状部として形成され、
   所定の枢軸上に回転可能に設けられた被測定物保持部材
   と、 面測定時に測定の対象となる前記被測定物の測定対象面
   と着脱可能に接する部分が円環形状部として形成され、
   この円環形状部が前記被測定物保持部材の円環形状部と
   正対するような状態で前記枢軸上に設けられた被測定物
   位置決め部材と、 この被測定物位置決め部材を前記枢軸上に保持し、且
   つ、面形状の測定に際して、前記被測定物保持部材の円
   環形状部と前記被測定物位置決め部材の円環形状部との
   間で前記被測定物を挟持するために、前記被測定物位置
   決め部材を前記枢軸に沿って正逆方向に変位させ得るよ
   うに前記本体部に設けられた被測定物位置決め部材支持
   部材と、 面形状の測定に際して、前記被測定物を前記被測定物保
   持部材の円環形状部に実質的に変位不可能に固定し得る
   着脱可能固定手段と、を備えたことを特徴とする回転対
   称面の面形状測定装置における被測定物の位置決め・保
   持装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載された回転対称面の面形
   状測定装置における被測定物の位置決め・保持装置にお
   いて、 前記被測定物保持部材を前記本体部に対して着脱可能に
   構成し、前記被測定物位置決め部材を前記被測定物位置
   決め部材支持部材に対して着脱可能に構成したことを特
   徴とする回転対称面の面形状測定装置における被測定物
   の位置決め・保持装置。
3. 【請求項３】 請求項１および２に記載された回転対称
   面の面形状測定装置における被測定物の位置決め・保持
   装置において、 前記着脱可能固定手段を、前記被測定物を保持した状態
   にある前記被測定物保持部材の中空状部分を減圧するこ
   とによって、前記被測定物の保持面を前記被測定物保持
   部材の円環形状部に吸着させ得る構成の減圧吸着手段と
   して構成したことを特徴とする回転対称面の面形状測定
   装置における被測定物の位置決め・保持装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載され
   た回転対称面の面形状測定装置における被測定物の位置
   決め・保持装置において、 前記被測定物保持部材の円環形状部および／または前記
   被測定物位置決め部材の円環形状部に、面取り部分或い
   は丸み部分を設けたことを特徴とする回転対称面の面形
   状測定装置における被測定物の位置決め・保持装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれかに記載され
   た回転対称面の面形状測定装置における被測定物の位置
   決め・保持装置において、 前記被測定物位置決め部材支持部材を、前記本体部に固
   定的に設けられたコラムによって前記枢軸に沿って正逆
   方向に変位可能に直線案内され得るように構成したこと
   を特徴とする回転対称面の面形状測定装置における被測
   定物の位置決め・保持装置。
6. 【請求項６】 請求項１ないし４のいずれかに記載され
   た回転対称面の面形状測定装置における被測定物の位置
   決め・保持装置において、 前記被測定物が少なくとも１面に凸または凹の回転対称
   非球面を有する単レンズであることを特徴とする回転対
   称面の面形状測定装置における被測定物の位置決め・保
   持装置。