JPH03102244A - 被検試料ホールダ - Google Patents
被検試料ホールダInfo
- Publication number
- JPH03102244A JPH03102244A JP2241651A JP24165190A JPH03102244A JP H03102244 A JPH03102244 A JP H03102244A JP 2241651 A JP2241651 A JP 2241651A JP 24165190 A JP24165190 A JP 24165190A JP H03102244 A JPH03102244 A JP H03102244A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- screw
- test sample
- moving table
- size
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 206010041662 Splinter Diseases 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はビームスプリツタの透過率及び反射率特性を測
定するときの被検試料ホールダに係り、特に小形のビー
ムスプリッターの測定に好適な被検試料ホールダに関す
る。
定するときの被検試料ホールダに係り、特に小形のビー
ムスプリッターの測定に好適な被検試料ホールダに関す
る。
従来の被検試料ホールダでは、試料の中心部に光を入射
させるために、試料の大きさに応じ横方向と高さ方向の
両方の位置調整をしたり、あるいは別ホールダと交換し
たり、などの方法がとられていた， 〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、上記従来技術では、２方向の調整機構を
有するため、構造が複雑となり，また、試料のセット操
作に特間が掛るなど操作面からの配慮がなされていなか
った。
させるために、試料の大きさに応じ横方向と高さ方向の
両方の位置調整をしたり、あるいは別ホールダと交換し
たり、などの方法がとられていた， 〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、上記従来技術では、２方向の調整機構を
有するため、構造が複雑となり，また、試料のセット操
作に特間が掛るなど操作面からの配慮がなされていなか
った。
本発明の目的は，試料の大きさに応じ一方向での操作の
みで試料の測定位置を正確ｂ二セットできるようにして
，操作の単純化を図った被検試料ホールダを提供するこ
とにある。
みで試料の測定位置を正確ｂ二セットできるようにして
，操作の単純化を図った被検試料ホールダを提供するこ
とにある。
上記目的を達成するために，本発明は，被検試料に光を
入射させて該被検試料の反射率と透過率を測定する場合
に用いられ，前記被検試料を保持して移動させる被検試
料ホールダにおいて，前記被検試料に入射する光と所定
角度を有する直線上に沿って、前記被検試料を往復移動
させる手段を設けたことを特徴としている。
入射させて該被検試料の反射率と透過率を測定する場合
に用いられ，前記被検試料を保持して移動させる被検試
料ホールダにおいて，前記被検試料に入射する光と所定
角度を有する直線上に沿って、前記被検試料を往復移動
させる手段を設けたことを特徴としている。
第３図に示すように試料取付台を一定な角度・＝ｔ・・
−・７１になる傾面上を試料の大きさ（３よ２ り矢視Ｐ方向に目盛に合せ移動させることによって第１
図，第２図に示す試料の中心付近に光束を照射させるこ
とができる。
−・７１になる傾面上を試料の大きさ（３よ２ り矢視Ｐ方向に目盛に合せ移動させることによって第１
図，第２図に示す試料の中心付近に光束を照射させるこ
とができる。
すなわち、第ｌ図〜第２図に示すように１辺がａ
ａｃｍ（７）ＩＣＩ｝（７）Ｉ’ＬＬ−４：３’ｆ；′
［”“６ ４．− ４１〜”１，ＣＩＩでＰ１より試料
の中心Ｏに向けて光を照射することが必要。照射した光
は試料のＯ点での反射光Ｏ Ｐ ２と、透過光ｏｐ，を
得る。
［”“６ ４．− ４１〜”１，ＣＩＩでＰ１より試料
の中心Ｏに向けて光を照射することが必要。照射した光
は試料のＯ点での反射光Ｏ Ｐ ２と、透過光ｏｐ，を
得る。
試料の大きさがｌ辺ａｃｍからｌ辺ａ’ｃｍ変つたとき
試料の測定点を中心Ｏとするためには、高さ１ 方向をー（ａ−ａ’）移動させるとともに、Ｑ点を２ Ｑ・点すなわちｆｆ（， ，，，移動させる必要が２ る． これを，一方向の操作で可能にするには、第３図に示す
ように角度・＝，・・一・４乙なる傾面上を２ ２ て移動させることによって一方向の操作で２方向の位置
を合せることができる． 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第４図〜第６図により説明す
る．３は試料１をのせてねじ８の回転によりベース４上
を斜面に沿って移動する移動台でスライドベースエ９が
ねじ２０によって取付けられている。スライドベースｌ
９はスライド案内１８上をねじ８の回転によってスライ
ドする。ねじ８を反時計方向に廻すとばね１４により押
し軸１６が移動台３ｔ！：押し下げる．ねじ８を時計方
向ｌこ廻すと移動台３を押し上げる。移動台３に１：ｌ
：、サンプル取付基準面７が取付けられている。１０は
サンプル押えガイドでガイド板１１と一体となっており
、試料の大きさによりねじ１３を回転させて押える力を
Ｕ！！４節できる。小さな試料のとき【まねじ１３を時
計方向に廻し，また大きな試料のときは反時計方向に廻
すことにより最適圧力に調節できる。ｌ２はガイド軸で
ねじ１３のおねじの働きをし、移動台に固定されている
。５は目盛６の指針でサンプルの大きさを示す。３は各
辺が３ｍｍのビームスプリツタ、５は各辺が５ｍ＋ａの
ビームスブリッターのホールダ位置を示し、指針をこの
目盛に合せることによって測定しようとするサンプルの
中心に光を照射できる，１５は押し軸１６とばね１４の
ガイドでベース４に取付けられている。
試料の測定点を中心Ｏとするためには、高さ１ 方向をー（ａ−ａ’）移動させるとともに、Ｑ点を２ Ｑ・点すなわちｆｆ（， ，，，移動させる必要が２ る． これを，一方向の操作で可能にするには、第３図に示す
ように角度・＝，・・一・４乙なる傾面上を２ ２ て移動させることによって一方向の操作で２方向の位置
を合せることができる． 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第４図〜第６図により説明す
る．３は試料１をのせてねじ８の回転によりベース４上
を斜面に沿って移動する移動台でスライドベースエ９が
ねじ２０によって取付けられている。スライドベースｌ
９はスライド案内１８上をねじ８の回転によってスライ
ドする。ねじ８を反時計方向に廻すとばね１４により押
し軸１６が移動台３ｔ！：押し下げる．ねじ８を時計方
向ｌこ廻すと移動台３を押し上げる。移動台３に１：ｌ
：、サンプル取付基準面７が取付けられている。１０は
サンプル押えガイドでガイド板１１と一体となっており
、試料の大きさによりねじ１３を回転させて押える力を
Ｕ！！４節できる。小さな試料のとき【まねじ１３を時
計方向に廻し，また大きな試料のときは反時計方向に廻
すことにより最適圧力に調節できる。ｌ２はガイド軸で
ねじ１３のおねじの働きをし、移動台に固定されている
。５は目盛６の指針でサンプルの大きさを示す。３は各
辺が３ｍｍのビームスプリツタ、５は各辺が５ｍ＋ａの
ビームスブリッターのホールダ位置を示し、指針をこの
目盛に合せることによって測定しようとするサンプルの
中心に光を照射できる，１５は押し軸１６とばね１４の
ガイドでベース４に取付けられている。
９はねじ板８のめねじでベース４に取付けられている．
１７は第８図の本体ベースに取付けられたガイド付ベー
スで、本体ベース３５に付いてレ）るガイドビンに合せ
てセットすれば、試料ホールダユニットが光軸上に確実
にセットできるようになっている。
１７は第８図の本体ベースに取付けられたガイド付ベー
スで、本体ベース３５に付いてレ）るガイドビンに合せ
てセットすれば、試料ホールダユニットが光軸上に確実
にセットできるようになっている。
第７図は本被検試料ホールダを使用してビームスプリツ
タの透過率又は反射査を測定する光学系を示す．２１は
光源、２２は分光器、２３は偏光子、２５はハーフミラ
ー、２６はスリット、２４，２８．３３は平面ミラー
２７．３０は凹面鏡、３２は回転ミラー、３４は積分球
、３５は透過率及び反射率測定ユニット、２９は試料を
示す。
タの透過率又は反射査を測定する光学系を示す．２１は
光源、２２は分光器、２３は偏光子、２５はハーフミラ
ー、２６はスリット、２４，２８．３３は平面ミラー
２７．３０は凹面鏡、３２は回転ミラー、３４は積分球
、３５は透過率及び反射率測定ユニット、２９は試料を
示す。
このような構成になっているので、ねじ８の操作により
ビームスプリンタの大きさに応じて最適な位置での測定
ができる。また、再現性の良い測定ができるなどの効果
がある。
ビームスプリンタの大きさに応じて最適な位置での測定
ができる。また、再現性の良い測定ができるなどの効果
がある。
以上説明したように、本発明によれば、構造が簡素化で
きるとともに、一方向の操作によって高さ方向と横方向
の両面の調節が可能となり、操作の単純化を図ることが
できる。
きるとともに、一方向の操作によって高さ方向と横方向
の両面の調節が可能となり、操作の単純化を図ることが
できる。
第１図は被検試料平面と測定光束との関係を示す図、第
２図は第１図の側面図、第３図は本発明の原理を示す説
明図、第４図は本発明の被検試料ホールダの平面図、第
５図は第４図の一部を断面で示した側面図、第６図は第
５図のスライド部の部分断面図、第７図は本発明の被検
試料ホールダを使用したビームスプリッタ特性測定装置
の光学系統図、第８図はビームスブリッタ透過率及び反
射率を測定するための測定ユニットを示した説明図であ
る。 １・・・試料（１）、２・・・試料（２）、３・・・移
動ベース、４・・・ベース、５・・・指針、６・・・目
盛，８・・・ねじ、９・・・めねじ板，１１・・・ガイ
ド板、１２・・・ガイド軸、１３・・・ねじ、１４・・
・ばね，１５・・・ガイド、ｌ６・・・押し軸、１７・
・・ガイド付ベース、１８・・・スライド案内、１９・
・・スライドベース。
２図は第１図の側面図、第３図は本発明の原理を示す説
明図、第４図は本発明の被検試料ホールダの平面図、第
５図は第４図の一部を断面で示した側面図、第６図は第
５図のスライド部の部分断面図、第７図は本発明の被検
試料ホールダを使用したビームスプリッタ特性測定装置
の光学系統図、第８図はビームスブリッタ透過率及び反
射率を測定するための測定ユニットを示した説明図であ
る。 １・・・試料（１）、２・・・試料（２）、３・・・移
動ベース、４・・・ベース、５・・・指針、６・・・目
盛，８・・・ねじ、９・・・めねじ板，１１・・・ガイ
ド板、１２・・・ガイド軸、１３・・・ねじ、１４・・
・ばね，１５・・・ガイド、ｌ６・・・押し軸、１７・
・・ガイド付ベース、１８・・・スライド案内、１９・
・・スライドベース。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被検試料に光を入射させて該被検試料の反射率と透
過率を測定する場合に用いられ、前記被検試料を保持し
て移動させる被検試料ホールダにおいて、 前記被検試料に入射する光と所定角度を有する直線上に
沿って、前記被検試料を往復移動させる手段を設けたこ
とを特徴とする被検試料ホールダ。 ２、特許請求の範囲第１項に記載の被検試料ホールダに
おいて、 前記所定角度は、ｔａｎ＾−＾１｛√（２）／２｝であ
ることを特徴とする被検試料ホールダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2241651A JPH03102244A (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | 被検試料ホールダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2241651A JPH03102244A (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | 被検試料ホールダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03102244A true JPH03102244A (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=17077488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2241651A Pending JPH03102244A (ja) | 1990-09-12 | 1990-09-12 | 被検試料ホールダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03102244A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150140162A (ko) * | 2014-06-05 | 2015-12-15 | 주식회사 디팜스 | 심 카드 접속용 단자 |
| CN111829967A (zh) * | 2019-04-19 | 2020-10-27 | 株式会社堀场先进技术 | 光学分析装置 |
-
1990
- 1990-09-12 JP JP2241651A patent/JPH03102244A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150140162A (ko) * | 2014-06-05 | 2015-12-15 | 주식회사 디팜스 | 심 카드 접속용 단자 |
| CN111829967A (zh) * | 2019-04-19 | 2020-10-27 | 株式会社堀场先进技术 | 光学分析装置 |
| JP2020176940A (ja) * | 2019-04-19 | 2020-10-29 | 株式会社 堀場アドバンスドテクノ | 光学分析装置 |
| US11561171B2 (en) | 2019-04-19 | 2023-01-24 | Horiba Advanced Techno, Co., Ltd. | Optical analyzer |
| CN111829967B (zh) * | 2019-04-19 | 2024-03-12 | 株式会社堀场先进技术 | 光学分析装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6621578B1 (en) | Elliposometer, sample positioning mechanism, and polarization angular adjusting mechanism, used in the elliposometer | |
| US4364122A (en) | X-Ray diffraction method and apparatus | |
| US5278413A (en) | Infrared microscopic spectrometer | |
| US5986753A (en) | Wafer holding and orienting fixture for optical profilometry | |
| JPS6332338A (ja) | 光学特性測定装置 | |
| US2880644A (en) | Alignement interferometer | |
| US5886786A (en) | Subject positioning device for optical interferometer | |
| CN110530821B (zh) | 一种光学材料折射率的测量装置及其测量方法 | |
| JPH03102244A (ja) | 被検試料ホールダ | |
| JPS62112034A (ja) | 粒子解析装置 | |
| US2640392A (en) | Apparatus for measuring the focal length of lenses | |
| US2747284A (en) | Double image micrometer | |
| JP3597302B2 (ja) | 偏心測定装置 | |
| CN212989163U (zh) | 一种测量透明平板介质折射率的装置 | |
| US4496242A (en) | Apparatus for positioning a contact lens under a radiuscope | |
| US4538913A (en) | Flatness testing apparatus and method | |
| US2709944A (en) | Apparatus for accurately locating a reflecting object and for measuring its dimensions | |
| US2783675A (en) | Optical angle measuring device | |
| US4063805A (en) | Ophthalmic measuring instrument | |
| JPH04127004A (ja) | エリプソメータ及びその使用方法 | |
| JPH0783828A (ja) | 角度可変絶対反射率測定装置 | |
| CN115046934B (zh) | 纳米半导体技术节点的多过程、多模式实时在线测量系统 | |
| JPH04268433A (ja) | 非球面レンズ偏心測定装置 | |
| JPH0522213B2 (ja) | ||
| JPH0743674Y2 (ja) | ｒθステージ |