JP2020176940A - 光学分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、前記光源ユニットの集光レンズは、前記サンプル測定位置において、前記光源の光を前記配管の内部で集光させるものであることが望ましい。
この構成であれば、光源ユニットの集光レンズにより、サンプル測定位置において、光源の光を配管の内部で集光させているので、試料の温度変化や濃度変化により試料の屈折率が変化しても、配管及び試料を通過する際に生じる屈折の変化を小さくすることができる。その結果、試料の屈折率の変化の影響を受けにくくして、測定精度を向上させることができる。
この構成であれば、光源ユニットと光検出ユニットとを連結部材により一体にしているので、1つのスライド駆動部により一挙に光源ユニット及び光検出ユニットをスライド移動させることができる。その結果、光学分析装置を小型化することが可能となる。
このとき、連結部材により一体とされた光源ユニット及び光検出ユニットを安定してスライド移動させるためには、前記スライド駆動部は、前記ベース部材及び前記光検出ユニットの間に介在して設けられたリニアガイドを有し、前記光源ユニット及び前記光検出ユニットは、前記リニアガイドにより前記ベース部材に対して移動可能に支持されることが望ましい。
本実施形態の光学分析装置100は、例えば半導体製造プロセス等に用いられる薬液等の成分濃度を測定するものである。ここで、薬液としては、SC−1(アンモニア過酸化水素水溶液)、SC−2(塩酸過酸化水素水溶液)、SPM(硫酸過酸化水素水溶液)、FPM(フッ酸過酸化水素水溶液)、BHF(バッファードフッ酸溶液)等を挙げることができる。なお、光学分析装置100により得られた濃度を用いて薬液の濃度等が制御される。
次に、本実施形態の光学分析装置100を用いた分析方法について説明する。
このように構成した本実施形態の光学分析装置100によれば、光源21及び集光レンズ22を有する光源ユニット2と光源ユニット2の光を検出する光検出ユニット3とをサンプル測定位置S及びリファレンス測定位置Rの間で移動させるように構成しているので、従来のように一対の反射ミラーを移動させる構成に比べて、光路長の変化を低減することができる。また、光源ユニット2の集光レンズ22により、サンプル測定位置Sにおいて、光源21の光を配管Hの内部で集光させているので、液体試料の温度変化や濃度変化により液体試料の屈折率が変化しても、配管H及び液体試料を通過する際に生じる屈折の変化を小さくすることができる。その結果、サンプル測定とリファレンス測定とで光路長を同一に保つことを可能にするだけでなく、液体試料の屈折率の変化の影響を受けにくくして、測定精度を向上することができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
H ・・・配管
2 ・・・光源ユニット
21 ・・・光源
22 ・・・集光レンズ
3 ・・・光検出ユニット
4 ・・・支持機構
S ・・・サンプル測定位置
R ・・・リファレンス測定位置
41 ・・・ベース部材
42 ・・・連結部材
43 ・・・スライド駆動部
431・・・リニアガイド
6 ・・・位置決め部
Claims (7)
- 透光性を有する配管を流れる試料を分析する光学分析装置であって、
光源及び集光レンズを有する光源ユニットと、
前記光源ユニットの光を検出する光検出ユニットと、
前記光源ユニット及び前記光検出ユニットを移動可能に支持する支持機構とを備え、
前記支持機構は、前記光源ユニット及び前記光検出ユニットを、前記光源ユニットの光を前記配管を介して前記光検出ユニットに検出させるサンプル測定位置と、前記光源ユニットの光を前記配管を介さずに前記光検出ユニットに検出させるリファレンス測定位置との間で移動させるものである、光学分析装置。 - 前記光源ユニットの集光レンズは、前記サンプル測定位置において、前記光源の光を前記配管の内部で集光させるものである、請求項1記載の光学分析装置。
- 前記支持機構は、前記光源ユニット及び前記光検出ユニットの相対位置を変化させることなく、前記サンプル測定位置と前記リファレンス測定位置との間で移動させるものである、請求項1又は2記載の光学分析装置。
- 前記支持機構は、
固定して設けられたベース部材と、
前記光源ユニット及び前記光検出ユニットを連結する連結部材と、
前記ベース部材に設けられ、前記連結部材により連結された前記光源ユニット及び前記光検出ユニットを、前記ベース部材に対してスライド移動させるスライド駆動部とを備える、請求項1乃至3の何れか一項に記載の光学分析装置。 - 前記スライド駆動部は、前記ベース部材及び前記光検出ユニットの間に介在して設けられたリニアガイドを有しており、
前記光源ユニット及び前記光検出ユニットは、前記リニアガイドにより前記ベース部材に対して移動可能に支持される、請求項4記載の光学分析装置。 - 前記サンプル測定位置にある前記光源ユニットの光軸上に前記配管の中心が位置するように位置決めする位置決め部をさらに備える、請求項1乃至5の何れか一項に記載の光学分析装置。
- 前記位置決め部は、前記配管の径に応じて交換可能に構成されている、請求項6記載の光学分析装置。
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