JP4476433B2 - 分光測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、分光器に関するものであり、特に、分光器に係る光軸の位置合わせを簡便且つ正確に行なうことができる分光器及び補助光源装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図8(1)は、従来から利用されている分光測定装置の全体構成を示す模式図である。この分光測定装置では、励起用レーザ19からレーザを発射し、ミラー22にて反射させ、例えば半導体試料24上のレーザスポット32に照射してルミネセンス光を発生させ、分光器2に該光を入射させる。
【0003】
分光器2に入射した光は、所定の処理を施されて外部に出てくる。出てきた該光は、別の集光レンズ28により集光されて検出器30に到り、その検出器30にて所定の測定(検出)作業が行なわれる。
【0004】
図7に、上記の分光測定装置を構成する従来例の分光器2の模式図を示す。この分光器2では、試料24から得られた入射光4が入射側スリット6を通過して分光器2内に入る。
【0005】
入射側スリット6を通過した入射光4は、平面鏡8と凹面鏡10で反射し、回折格子12で分散し、凹面鏡14及び平面鏡16で反射し、出射側スリット20を通過し、出射光18となって分光器2の外部に到る。
【0006】
上記の従来例の分光測定装置や分光器2を使用して分光測定を行なう場合、分光対象試料24からの光を分光器スリット(入射側スリット6及び出射側スリット20)に導き、更に光軸を調整するまでの準備手続きを、予め行なう必要がある。そのため、従来、準備作業として、実際に励起用レーザ19などから光線を発生させ、それにより分光対象試料24から光を発生させて、その光をレンズ系26、28、入射側スリット6、分光器2、出射側スリット20及び検出器30に与え、それら部位の相互の位置を調整しつつ、両スリット6、20及び検出器30上にて適宜焦点を結んでいるかを目視により判断していた。
【0007】
しかし、上記のような方法では、分光対象試料24から発する光が可視領域外光線である場合、即ち赤外光線や紫外光線である場合は、目視判断不可能である。そこで、従来、上述と同様に光を発生させて検出器30で信号強度を測り、その信号強度を手掛かりにして手探りで調整する、という手順を採用していた。
【0008】
一方、特開平6−88749号には、上記の課題を解決するための発明が開示されている。この公報で開示されている1つの実施形態は、スリットと指向性の弱い調整用光源とを上下に配置し、治具を上下に動かして、スリット若しくは調整用光源の何れかを光路に挿入する構成を採用している。別の実施形態は、スリット(を含むユニット)を取り外しそこに指向性の弱い調整用光源を挿入する構成を採用している。いずれにせよ、これらの実施形態では、準備作業として、スリットのあるべき位置に(指向性の弱い)調整用光源36(、38)を配置し(図8(2))、調整用光源36(、38)から発した光を集光レンズ26(、28)を介し分光対象試料24又は検出器30にスポット34(、40)を形成させ、その(それらの)スポット34(、40)が焦点(結像位置)となるように、レンズ系26、28、試料24及び検出器30の夫々の相対位置を調整する必要がある。
【0009】
図8(2)は、調整用光源36、38をスリットのあるべき位置に配置して該光源36、38から発光させ、その(それらの)発光を利用して、レンズ系26、28、試料24及び検出器30の夫々の相対位置を調整した分光測定装置の様子を示す。それら部位の相対位置の調整の後、スリット6、20をあるべき位置に再び配置して、分光測定が行なわれる(図8(1))。
【0010】
上述の発明(特開平6−88749号)の実施形態において、調整用光源36(、38)に例えば赤色ダイオードを利用することにより、分光対象試料24または検出器30に形成されるスポット34、40が、常に見やすいものとなり、従って、全体の位置調整作業が容易になる。しかし、図7に示すように、分光器2の特に光路に係る構成は非常に厳密さを要求するものである。従って、分光器2に対するスリット(入射側スリット6、出射側スリット20)の配置位置は、他の部位に対して相対的に固定されていることが好ましい。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、スリット(入射側スリット6、出射側スリット20)の配置位置を、分光器2の他の諸部位に対して相対的に固定したままで、レンズ系26、28、分光対象試料24、検出器30及び分光器2の夫々の、アラインメントを容易に且つ正確に行なう、簡潔な光軸調整補助装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の目的を達成するためになされたものである。本発明に係る請求項1に記載の分光測定装置は、分光測定の対象となる試料から得られた光を分光し検出して上記試料の特性を得る分光測定装置である。上記分光測定装置は、
上記試料からの光を案内する入射光学系と、
上記入射光学系から与えられた光を分光する分光器と、
上記分光器で分光された光を案内する出射光学系と、
上記出射光学系から与えられた光を検出する検出器とを有し、
上記入射光学系は、
入射側集光レンズと、
上記分光器の近傍に配置され且つ少なくとも一つのスリットを有する光整形部材と、
上記分光器と上記光整形部材との間に配置された補助光源と、
上記補助光源から出射された光を、上記スリットに結像し且つ上記入射側集光レンズを介して上記試料に焦点を結ぶ補助光学系と、
上記補助光源と補助光学系とを、上記入射光学系から上記分光器に与えられる光の光路から退避した第1の位置と上記光路上に進出した第2の位置との間で移動可能に且つ第1の位置と第2の位置に固定可能に保持するホルダとを有し、
上記分光測定装置はまた、上記試料を保持すると共に上記補助光源から出射された光が上記試料に結像されるように上記試料を移動させ得る支持部を有することを特徴とする。
【0013】
本発明に係る請求項2記載の分光測定装置は、分光測定の対象となる試料から得られた光を分光し検出して上記試料の特性を得る分光測定装置である。上記分光測定装置は、
上記試料からの光を案内する入射光学系と、
上記入射光学系から与えられた光を分光する分光器と、
上記分光器で分光された光を案内する出射光学系と、
上記出射光学系から与えられた光を検出する検出器とを有し、
上記出射光学系は、
出射側集光レンズと、
上記分光器の近傍に配置され且つ少なくとも一つのスリットを有する光成形部材と、
上記分光器と上記光整形部材との間に配置された補助光源と、
上記補助光源から出射された光を、上記スリットに結像し且つ上記出射側集光レンズを介して上記検出器に焦点を結ぶ補助光学系と、
上記補助光源と補助光学系とを、上記分光器から上記出射光学系に与えられる光の光路から退避した第1の位置と上記光路上に進出した第2の位置との間で移動可能に且つ第1の位置と第2の位置に固定可能に保持するホルダとを有し、
上記分光測定装置はまた、上記検出器を保持すると共に上記補助光源から出射された光が上記検出器に結像されるように上記検出器を移動させ得る支持部を有することを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る好適な実施形態を説明する。
【0015】
図1は、本発明に係る第1の実施形態を説明するための、分光器2’の全体構成を示す模式図例である。図7の従来例の分光器2と比較すると明白なように、これら両者の構成は、略類似の構成である。よって、両分光器において、同一又は類似の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
【0016】
図7の従来例の分光器2と図1の本発明に係る分光器2’との差異は、図1の分光器2’において、第1の補助光源ユニット50と第2の補助光源ユニット52とが新たに配置され得るように構成されていることである。入射光4の進行方向に向かって眺めると、第1の補助光源ユニット50は入射側スリット6の直後に配置されることが可能であり、第2の補助光源ユニット52は出射側スリット52の直前に配置されることが可能である。
【0017】
補助光源ユニット50、52に関し、上記において「第1の」と「第2の」との形容を付したが、両者は全く同一構造でも構わない。補助光源ユニット50の構成の例を図2に示す。
【0018】
図2では、補助光源ユニット50の1つの実施形態に関する簡略な(1)平面図、(2)正面図、(3)側断面図、(4)背面図を示す。図3においても、図2の補助光源ユニット50に関する(1)平面図、(2)正面図、(3)側断面図、(4)背面図を示すのであるが、後で説明するように、図3の補助光源ユニット50においては、光源レンズユニットホルダ54が光路56を遮らないように、光源レンズユニットホルダ54が上に引き上げられてねじ58によりクランプ(固定保持)されている。一方、図2の補助光源ユニット50においては、(これも後で説明するが、)光源レンズユニットホルダ54を構成する補助レンズ60及び補助光源62が光路56上にくるように、光源レンズユニットホルダ54が下に引き下げられてねじ58によりクランプ(固定保持)されている。
【0019】
更に、後でも説明するが、補助光源ユニット50の正面64((2)正面図、参照。)が、スリット(入射側スリット6、出射側スリット20)と対向し、補助光源ユニット50の背面66((4)背面図、参照。)が、分光器2’本体と対向する。
【0020】
図2により、補助光源ユニット50の構成を説明する。補助光源ユニット50の外装は、2つの大小の略直方体型の筐体68、70を組み合わせた補助光源ボックス72により構成される。補助光源ボックス72は、正面64(図2(2)参照)から背面66(図2(4)参照)を貫いて、円筒形孔74及びその円筒形孔74と連続する柱形孔76(以下、2つの孔部74、76を併せて、腹部孔78と称する。)が、開けられている。更に、補助光源ボックス72は、上端部80からその腹部孔78へと貫いて、縦方向に挿入口82が開けられている。この挿入口82は概略直方体形であり、光源レンズユニットホルダ54が挿入される。
【0021】
光源レンズユニットホルダ54の概略の形態例が図4に示される。光源レンズユニットホルダ54は、上部の直方体形部84と下部の光源レンズユニット86とから構成される。この直方体形部84が上記の(補助光源ボックス72の)挿入口82に挿入される。この直方体形部84の断面と上記の挿入口82の断面とは、略同じ形状であるため、直方体形部84即ち光源レンズユニットホルダ54は、平面方向(前後左右方向)の動きを挿入口82に完全に拘束されつつ、上下方向にのみ位置を変え得る。挿入口82及び光源レンズユニットホルダ54上部の形状は上記のような直方体形でなくてもよく、例えば、円筒形及び円柱形であってもよい。要するに光源レンズユニットホルダ54が、挿入口82に平面方向の動きを略完全に拘束され、かつ上下方向にのみ移動可能であるような構成であればよい。
【0022】
補助光源ボックス72の上部の筐体68には、ねじ58及びそのねじ穴88が備わり、このねじ穴88は側部から挿入口82まで貫通する。従って、光源レンズユニットホルダ54は、このねじ58を緩めると上下移動可能になり、このねじ58を締めると位置が固定される。
【0023】
また、直方体形部84が挿入口82に挿入された後、直方体形部84の上端には、例えばナット(等)の留め部90が固定される。この留め部90の端部92が、補助光源ボックス72の上部筐体68の頂面部80と対向するため、光源レンズユニット86の下方への移動には限界(下限)がある。図2は、光源レンズユニット86が下限にあるときの、補助光源ユニット50の形態を示すものでもある。
【0024】
光源レンズユニット86には、補助光源(例えば発光ダイオード)62と、補助レンズ60とが備わる。図2(3)において、線56は、補助光源ユニット50を分光器2’に対する所定の位置に設置したときの、入射光4又は出射光18の光路を示す。一方、補助光源62と補助レンズ60により形成される光路を「補助光路」94と称するとする。光源レンズユニット86が下限位置にあるとき、
・光路56と補助光路94とが一致し、且つ、
・補助光源62から発し補助レンズ60を介した光(補助光)がスリット(入射スリット6、出射スリット20)にて結像するように、
補助光源62と補助レンズ60との相互の位置が決定されている。
【0025】
後で説明するが、光源レンズユニット86からの光は、スリットを通過する際に、そのスリットが新たな点光源となるため、補助光源62と補助レンズ60との相互の位置関係、及びそれらと光路56との位置関係においては、あまり厳密な精度は必要ではない。
【0026】
図4に示すように、補助光源62は、例えばケーブル96により外部の電源98に接続されている。よって、必要に応じて、補助光源62から光を発することができる。
【0027】
次に、図1、図2及び図5(2)を参照しながら、分光測定前の入射光路56の光軸合わせの手順について説明する。
【0028】
光源レンズユニットホルダ54を下限位置まで下ろし、補助光路94を入射光路56に合わせる。この位置で光源レンズユニットホルダ54をねじ58により固定する。補助光源(発光ダイオードなど)62から光(補助光)を入射側スリット6に向けて発するため電源98から電流を流す。補助光源62を発し補助レンズ60を介した光は、入射側スリット6を新たな光源としてその入射側スリット6から発する。集光レンズ26及び分光対象試料24の相対的な位置を適宜調整することにより、入射側スリット6から発した補助光は、その集光レンズ26により分光対象試料24上に焦点34を結ぶ。この様子を示したのが、図5(2)の下半分である。この分光対象試料24上の焦点34にレーザが入射されるように励起用レーザ19を調整することで、入射光路の光軸合わせの手順は終了する。分光対象試料24がLD(Laser Diode;レーザダイオード)やLED(Light Emitting Diode;発光ダイオード)である場合には、発光位置はそれら素子の構造により決まっているので、その位置にスポット(焦点34)をあわせればよい。
【0029】
なお、図示しないが、例えば図5(2)の分光対象試料24の位置を調整するための支持部が、該分光対象試料24を支持している。
【0030】
出射光路の光軸合わせの手順も、略同様である。第2の補助光源ユニット52において、光源レンズユニットホルダ54を下限位置まで下ろし、補助光路94を出射光路に合わせ、固定する。補助光源62から補助光を出射側スリット20に向けて発するため電源98から電流を流す。補助光源62を発し補助レンズ60を介した光は、出射側スリット20を新たな光源としてその出射側スリット20から発する。集光レンズ28及び検出器30の相対的な位置を適宜調整することにより、出射側スリット20から発した補助光は、その集光レンズ28により検出器30上に焦点40を結ぶ。この様子を示したのが、図5(2)の上半分である。
【0031】
図5(2)の検出器30においても、位置を調整するための支持部(図示せず)が、該検出部30を支持している。
【0032】
実際の分光測定について簡単に説明する。実際の分光測定を行うときには、第1の補助光源ユニット50及び第2の補助光源ユニット52において、光源レンズユニット86が光路56を遮らないように、光源レンズユニットホルダ54を引き上げて固定する。補助光源ユニット50のこの状態を、図3に示している。
【0033】
この状態で、励起用レーザ19から光線を試料24に照射し、その反射光を集光レンズ26を介して入射側スリット6を通過させて分光器本体2’内に取り込む。この入射光を分光器2’内の適切な分光手段により分散させ(図1参照)、その分散光を分光器2から出射して出射側スリット20、集光レンズ28を通過させて、検出器30に到らせる。この様子が、図1及び図5(1)により、示される。
【0034】
次に、本発明に係る第2の実施形態について説明する。図6は、本発明に係る第2の実施形態を説明するための、分光器2”の全体構成を示す模式図例(但し、平面図)である。図1の第1の実施形態の分光器2’と比較すると明白なように、これら両者の構成は、略同様である。但し、図6の第2の実施形態では、入射側スリット6及び出射側スリット20と分光器本体2”との間に、補助光源ユニット50、52が設置されていない。入射側の平面鏡8の直後に、及び出射側の平面鏡16の直前に、それら補助光源ユニット50’、52’が設置される構成になっている。このような補助光源ユニット50’、52’と分光器2”本体との構成も、本発明の範囲内であり、この構成によっても、上記の第1の実施形態と同じ効果が得られる。
【0035】
本発明に関して、2つの想定され得る実施形態を説明したが、勿論、上記の2つの実施形態に限定されるものではない。補助光源と補助レンズとが一体となった光源レンズユニットを用意し、分光測定前の入射光路又は出射光路の光軸合わせの際にのみ、その光源レンズユニットをスリット(入射側スリット、出射側スリット)の内側(即ち、分光器本体側)に設置し、光源レンズユニットの発光によりスリットを光源としてスリットの外側に対して、即ち分光対象試料又は検出部対して、補助光を発し得る形態であればよい。従って、例えば、既存の分光器において大きな改造を行なうことなしに、上述のような補助光源ユニットをアラインメント治具として付加することも可能である。
【0036】
本発明に関しどのような実施形態を採るにせよ次の事象は明白である。即ち、光軸合わせにおいて、光源レンズユニットからの光がスリットを通過する際、そのスリットが新たな点光源となる。従って、
▲1▼.補助光源と補助レンズとの相互の位置関係、及びそれらと光路との位置関係においては、あまり厳密な精度を考慮する必要がないが、形成される光軸に係る夫々の部材は厳密な精度をもって配置され得る。
▲2▼.また、分光器に対しスリットを動かすことがないため、非常に厳密さを要求される分光器の光路に係る構成は、同一の厳密さを保持し得る。
【0037】
【発明の効果】
本発明を利用することにより、次のような効果が得られる。
【0038】
スリットの配置位置を、分光器の様々な部位に対して相対的に固定したままで、集光レンズ、分光対象試料、検出器及び分光器の夫々の、アラインメントを容易に且つ正確に行なうことができる。
【0039】
しかも、利用する装置(光軸調整補助装置)は、非常に簡潔なものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る第1の実施形態を説明するための、分光器の全体構成を示す模式図である。
【図2】 本発明に係る補助光源ユニットの図である。
【図3】 本発明に係る補助光源ユニットの図である。
【図4】 光源レンズユニットホルダと電源の関係を示す模式図である。
【図5】 本発明に係る分光器を含む、試料の分光測定の様子を示す模式図である。
【図6】 本発明に係る第2の実施形態を説明するための、分光器の全体構成を示す模式図である。
【図7】 従来例の分光器の全体構成を示す模式図である。
【図8】 従来例の分光器を含む、試料の分光測定の様子を示す模式図である。
【符号の説明】
2、2’、2”・・・分光器、6・・・入射側スリット、20・・・出射側スリット、24・・・分光対象試料、26・・・入射側集光レンズ、28・・・出射側集光レンズ、30・・・検出器、50・・・補助光源ユニット、54・・・光源レンズユニットホルダ、56・・・光路、58・・・ねじ、60・・・補助レンズ、62・・・補助光源、78・・・腹部孔、82・・・挿入口、86・・・光源レンズユニット、94・・・補助光路、98・・・電源
Claims (3)
- 分光測定の対象となる試料から得られた光を分光し検出して上記試料の特性を得る分光測定装置において、
上記分光測定装置は、
上記試料からの光を案内する入射光学系と、
上記入射光学系から与えられた光を分光する分光器と、
上記分光器で分光された光を案内する出射光学系と、
上記出射光学系から与えられた光を検出する検出器とを有し、
上記入射光学系は、
入射側集光レンズと、
上記分光器の近傍に配置され且つ少なくとも一つのスリットを有する光整形部材と、
上記分光器と上記光整形部材との間に配置された補助光源と、
上記補助光源から出射された光を、上記スリットに結像し且つ上記入射側集光レンズを介して上記試料に焦点を結ぶ補助光学系と、
上記補助光源と補助光学系とを、上記入射光学系から上記分光器に与えられる光の光路から退避した第1の位置と上記光路上に進出した第2の位置との間で移動可能に且つ第1の位置と第2の位置に固定可能に保持するホルダとを有し、
上記分光測定装置はまた、上記試料を保持すると共に上記補助光源から出射された光が上記試料に結像されるように上記試料を移動させ得る支持部を有することを特徴とする分光測定装置。 - 分光測定の対象となる試料から得られた光を分光し検出して上記試料の特性を得る分光測定装置において、
上記分光測定装置は、
上記試料からの光を案内する入射光学系と、
上記入射光学系から与えられた光を分光する分光器と、
上記分光器で分光された光を案内する出射光学系と、
上記出射光学系から与えられた光を検出する検出器とを有し、
上記出射光学系は、
出射側集光レンズと、
上記分光器の近傍に配置され且つ少なくとも一つのスリットを有する光整形部材と、
上記分光器と上記光整形部材との間に配置された補助光源と、
上記補助光源から出射された光を、上記スリットに結像し且つ上記出射側集光レンズを介して上記検出器に焦点を結ぶ補助光学系と、
上記補助光源と補助光学系とを、上記分光器から上記出射光学系に与えられる光の光路から退避した第1の位置と上記光路上に進出した第2の位置との間で移動可能に且つ第1の位置と第2の位置に固定可能に保持するホルダとを有し、
上記分光測定装置はまた、上記検出器を保持すると共に上記補助光源から出射された光が上記検出器に結像されるように上記検出器を移動させ得る支持部を有する分光測定装置。 - 分光測定の対象となる試料から得られた光を分光し検出して上記試料の特性を得る分光測定装置において、
上記分光測定装置は、
上記試料からの光を案内する入射光学系と、
上記入射光学系から与えられた光を分光する分光器と、
上記分光器で分光された光を案内する出射光学系と、
上記出射光学系から与えられた光を検出する検出器とを有し、
上記入射光学系は、
入射側集光レンズと、
上記分光器の近傍に配置され且つ少なくとも一つの第1のスリットを有する第1の光整形部材と、
上記分光器と上記第1の光整形部材との間に配置された第1の補助光源と、
上記第1の補助光源から出射された光を、上記第1のスリットに結像し且つ上記入射側集光レンズを介して上記試料に焦点を結ぶ第1の補助光学系と、
上記第1の補助光源と上記第1の補助光学系とを、上記入射光学系から上記分光器に与えられる光に係る第1光路から退避した第1の位置と上記第1光路上に進出した第2の位置との間で移動可能に且つ第1の位置と第2の位置に固定可能に保持する第1のホルダとを有し、
上記出射光学系は、
出射側集光レンズと、
上記分光器の近傍に配置され且つ少なくとも一つの第2のスリットを有する第2の光整形部材と、
上記分光器と上記第2の光整形部材との間に配置された第2の補助光源と、
上記第2の補助光源から出射された光を、上記第2のスリットに結像し且つ上記出射側集光レンズを介して上記検出器に焦点を結ぶ第2の補助光学系と、
上記第2の補助光源と上記第2の補助光学系とを、上記分光器から上記出射光学系に与えられる光に係る第2光路から退避した第3の位置と上記第2光路上に進出した第4の位置との間で移動可能に且つ第3の位置と第4の位置に固定可能に保持する第2のホルダとを有し、
上記分光測定装置はまた、上記試料を保持すると共に上記第1の補助光源から出射された光が上記試料に結像されるように上記試料を移動させ得る第1の支持部と、
上記検出器を保持すると共に上記第2の補助光源から出射された光が上記検出器に結像されるように上記検出器を移動させ得る第2の支持部を有する分光測定装置。
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