TWI604183B - 分析裝置 - Google Patents

Description

分析裝置

本發明是有關於一種分析裝置。

作為現有的分析裝置，例如專利文獻1所示，有用於半導體清洗裝置等半導體製造裝置的測定化學藥品的濃度的分光分析裝置。該分光分析裝置包括：收容化學藥品的測定單元(cell)，對該測定單元照射測定光的光照射部，對穿過上述測定單元的穿透光進行檢測的光檢測部，以及根據藉由該光檢測部而獲得的光強度信號來算出上述化學藥品的濃度的運算裝置。而且，該分光分析裝置構成為如下：藉由使形成於光照射部及光檢測部之間的光路與測定單元相對移動，而定期地對測定單元位於光路上的測定位置與測定單元不處於上述光路上的退開(receding)位置進行切換，藉此進行光照射部或光檢測部等的校正。

因此，上述分光分析裝置包括用以將上述測定單元切換為測定位置與退開位置的切換機構。而且，為了檢測藉由該切換機構切換的上述測定單元的位置，而設置使用磁性或者光等的電 氣零件即位置感測器。

然而，在上述測定單元例如配置於半導體製造裝置的內部的情況下，其內部環境為化學藥品環境，有時根據化學藥品的種類而具有易燃性。這樣，當將上述測定單元配置於具有易燃性的氣體環境下時，一般極力避免使用電氣零件。因此，當為了進行測定單元的位置檢測而使用作為電氣零件的位置感測器時，會出現諸如在具有易燃性的氣體環境下無法使用等使用環境受到限制的情況。

另一方面，在未設置上述位置感測器的情況下，在上述切換機構的控制時無法進行測定單元的位置檢測，且無法在裝置側區別切換機構對測定單元的切換動作是否正常進行。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2007-155494號公報

因此，本發明的主要課題在於無需使用作為電氣零件的位置感測器而區別測定單元的位置。

亦即，本發明的分析裝置包括：單元切換機構，對收容測定試料的測定單元位於光路上的測定位置、與上述測定單元自上述光路上退開的退開位置進行切換，且所述單元切換機構以自上述測定位置向上述退開位置的第1移動速度、與自上述退開位置向上述測定位置的第2移動速度不同的方式構成；以及區別機 構，使用用於進行上述測定試料的測定的光來檢測與上述第1移動速度及上述第2移動速度關聯的速度資訊，並區別上述測定位置及上述退開位置。

據此，使自測定位置向退開位置的第1移動速度、與自退開位置向測定位置的第2移動速度不同，使用光來檢測與該移動速度關聯的速度資訊並區別測定單元的位置，因而不需要作為電氣零件的位置感測器。藉此，即便在將測定單元及單元切換機構配置於具有易燃性的氣體環境下亦可安全地使用。而且，上述區別機構因使用用於進行測定試料的測定的光來檢測上述速度資訊，故無需準備用以檢測速度資訊的另外的檢測光學系統，而使用用於測定的測定光學系統便可區別上述測定位置及上述退開位置。藉此，可使分析裝置的構成簡化及小型化。

此處，第1移動速度及第2移動速度彼此不同時，不僅等速移動等時的移動速度的大小彼此不同，還包括移動速度的時間變化，即橫軸設為時間軸、縱軸設為速度軸的情況下所描繪的波形彼此不同。

而且，亦可構成為在上述退開位置，與上述測定單元不同的另外的測定單元、校正用的參考單元或者校正用的例如光學濾波器等光學元件位於上述光路上。

如此，無需使用作為電氣零件的位置感測器，便可區別位於光路上的測定單元、參考單元或者光學元件。

例如單元切換機構在使用了氣缸等空氣式致動器的情 況下，第1移動速度及第2速度會因對該空氣式致動器的供給空氣壓而發生變動。

因此，上述區別機構理想的是對與上述第1移動速度關聯的速度資訊及與上述第2移動速度關聯的速度資訊之比進行檢測，來區別上述測定位置及上述退開位置。

如此，因對速度資訊之比進行檢測，故可無關於伴隨供給空氣壓的變動的移動速度的變化，而正確地區別出上述測定位置及上述退開位置。

理想的是設置著光路阻斷構件，該光路阻斷構件伴隨上述單元切換機構在上述測定位置及上述退開位置之間的移動而阻斷上述光路，上述區別機構將藉由上述光路阻斷構件阻斷上述光路的時間作為上述速度資訊而加以檢測，並區別上述測定位置及上述退開位置。

如此，因對藉由光路阻斷構件而遮住光的狀態進行檢測，故可正確地檢測出速度資訊，結果，可更正確地區別出上述測定位置及上述退開位置。

理想的是上述單元切換機構包括：空氣式致動器，包括第1供給埠及第2供給埠，上述第1供給埠為了使上述測定單元自上述測定位置向上述退開位置移動而被供給空氣，上述第2供給埠為了使上述測定單元自上述退開位置向上述測定位置移動而被供給空氣；以及流路阻力件，設置於上述第1供給埠或與上述第1供給埠連接的第1供給管、或者上述第2供給埠或與上述第2 供給埠連接的第2供給管，使自上述第1供給埠供給的空氣流量與自上述第2供給埠供給的空氣流量不同。

如此，可藉由物理性的構成要素來決定單元切換機構的第1移動速度及第2移動速度。而且，在錯誤進行第1供給管及第2供給管對第1供給埠及第2供給埠的連接的情況下，因被檢測的與第1移動速度及第2移動速度關聯的速度資訊，與在正常連接時檢測的第1移動速度及第2移動速度所關聯的速度資訊相反，故裝置可自動地判斷出連接的錯誤。

本發明還提供一種分析裝置，包括：單元切換機構，對收容測定試料的測定單元位於光路上的測定位置與上述測定單元自上述光路上退開的退開位置進行切換，且所述單元切換機構以使自上述測定位置向上述退開位置的第1移動速度、與自上述退開位置向上述測定位置的第2移動速度不同的方式構成；以及區別機構，使用光來檢測與上述第1移動速度及上述第2移動速度關聯的速度資訊，並區別上述測定位置及上述退開位置。

根據如此構成的本發明，使自測定位置向退開位置的第1移動速度、與自退開位置向測定位置的第2移動速度不同，且使用用於進行測定試料的測定的光來檢測與該移動速度關聯的速度資訊，並區別測定單元的位置，因而無須使用作為電氣零件的位置感測器，便可區別出測定單元的位置。

2‧‧‧測定單元

3‧‧‧光源

4‧‧‧光檢測部

5‧‧‧光傳遞部

6‧‧‧單元切換機構

7‧‧‧區別機構

8‧‧‧校正用濾波器

9‧‧‧光路阻斷構件

51‧‧‧第1光纖

52‧‧‧第2光纖

53‧‧‧第1反射構件

54‧‧‧第2反射構件

55、56、57、58‧‧‧聚光透鏡

61‧‧‧搭載台

62‧‧‧移動機構

100‧‧‧分析裝置

621‧‧‧活塞

622‧‧‧缸體

623‧‧‧第1供給埠

624‧‧‧第2供給埠

625‧‧‧第1供給管

626‧‧‧第2供給管

627‧‧‧閥機構

628‧‧‧壓縮空氣源

C1‧‧‧光源收容框體

C2‧‧‧測定單元收容框體

C3‧‧‧光檢測部收容框體

C4‧‧‧單一的框體

L‧‧‧光路

P‧‧‧測定位置

P1‧‧‧第1埠

P2‧‧‧第2埠

P3‧‧‧第3埠

P4‧‧‧第4埠

P5‧‧‧第5埠

Q‧‧‧退開位置

R1‧‧‧第1流路阻力件

R2‧‧‧第2流路阻力件

S1‧‧‧一空間

S2‧‧‧另一空間

v1‧‧‧第1移動速度

v2‧‧‧第2移動速度

T1、T2‧‧‧零光量期間

圖1是表示本實施形態的光學分析裝置的構成的示意圖。

圖2(1)是表示本實施形態的測定位置的示意圖。

圖2(2)是表示本實施形態的退開位置的示意圖。

圖3是表示本實施形態的移動機構的構成的示意圖。

圖4是表示伴隨本實施形態的測定位置及退開位置的移動的光量的示意圖。

圖5是表示變形實施形態的光學分析裝置的構成的示意圖。

圖6(1)是表示變形實施形態的光學分析裝置在測定位置下的構成的示意圖。

圖6(2)是表示變形實施形態的光學分析裝置在退開位置下的構成的示意圖。

以下，參照圖式對本發明的分析裝置進行說明。

本實施形態的分析裝置100例如組裝在半導體生產線上而加以使用，例如為測定半導體製造中的清洗步驟中所使用的化學藥品的濃度的分光吸光光度計。另外，作為化學藥品，為SC-1(銨過氧化氫溶液)、SC-2(鹽酸過氧化氫溶液)、SPM(硫酸過氧化氫溶液)、FPM(氫氟酸過氧化氫溶液)、BHF(緩衝氫氟酸溶液)等。

具體而言分析裝置100如圖1所示，包括：收容例如化學藥品等液體試料的測定單元2；用以對上述測定單元2照射光的 例如鹵素燈等光源3；用以對穿過了上述測定單元2的光進行檢測的光檢測部4；以及光傳遞部5，將來自光源3的光導向上述測定單元2，並且將穿過了上述測定單元2的光導向光檢測部4。

測定單元2為例如設置在循環路徑上的流槽，該循環路徑由連接於半導體清洗裝置的化學藥品槽的化學藥品配管而形成。另外，測定單元2亦可為直接組裝在半導體清洗裝置內的配管的線上(in line)流槽。

光檢測部4為將穿過測定單元2的光予以分光並檢測該分光光譜(每個波長下的光量)的分光器。藉由該分光器4而獲得的分光光譜資料被輸出至未圖示的運算裝置中，由該運算裝置根據藉由分光器4而獲得的分光光譜、與藉由吸光度為已知的校正液而獲得的分光光譜，來算出化學藥品的吸光度光譜，並使用該吸光度光譜來算出液體試料中所含的成分的濃度。

光傳遞部5包括：第1光纖51，設置於光源3與測定單元2之間，將光源3的光導向測定單元2；第2光纖52，設置於測定單元2與光檢測部4之間，將穿過測定單元2的光導向光檢測部4；反射鏡等第1反射構件53，設置在第1光纖51與測定單元2之間；以及反射鏡等第2反射構件54，設置在測定單元2與第2光纖52之間。

而且，在第1光纖51的光導入端面與光源3之間，設置著用以將光源3的光聚集於上述光導入端面的聚光透鏡55。在第1光纖51的光導出端面與第1反射構件53之間，設置著用以 將自上述光導出端面射出的光聚集於測定單元2的聚光透鏡56。

進而，在第2光纖52的光導入端面與第2反射構件54之間，設置著用以將來自第2反射構件54的光聚集於上述光導入端面的聚光透鏡57。在第2光纖52的光導出端面與光檢測部4之間，設置著用以將自上述光導出端面射出的光聚集於分光器4的入射狹縫的聚光透鏡58。

本實施形態中，收容光源3的光源收容框體C1、收容測定單元2的測定單元收容框體C2藉由第1光纖51而連接，上述測定單元收容框體C2與收容光檢測部4的光檢測部收容框體C3藉由第2光纖52而連接。此處，第1光纖51的光導入端部(具有光導入端面的部分)固定於光源收容框體C1的側壁，第1光纖51的光導出端部(具有光導出端面的部分)固定於測定單元收容框體C2的側壁，從而第1光纖51整體得到固定。而且，第2光纖52的光導入端部(具有光導入端面的部分)固定於測定單元收容框體C2的側壁，第2光纖52的光導出端部(具有光導出端面的部分)固定於光檢測部收容框體C3，從而第2光纖52整體得到固定。另外，本實施形態中，第1光纖51的光導出端部及第2光纖52的光導入端部固定於測定單元收容框體C2的同一側壁。藉此，容易進行測定單元收容框體C2的維護。進而，光源收容框體C1內收容聚光透鏡55。測定單元收容框體C2內收容第1反射構件53、第2反射構件54、以及聚光透鏡56、聚光透鏡57。光檢測部收容框體C3中收容聚光透鏡58。另外，將光源收容框體 C1及光檢測部收容框體C3進一步收容於單一的框體C4中，亦可將光源收容框體C1及光檢測部收容框體C3作為單一的框體。而且，上述各框體C1~框體C4覆蓋整個面而與外部空間隔離，除此之外亦可一部分(例如一面)開口。

然後，本實施形態的分析裝置100如圖2(1)、圖2(2)所示，包括：單元切換機構6，對收容測定試料的測定單元2位於光路L上的測定位置P(參照圖2(1))、與使上述測定單元2自上述光路L上退開的退開位置Q(參照圖2(2))進行切換；以及區別機構7，區別上述測定單元2位於測定位置P還是位於退開位置Q。

此處，測定位置P為由光傳遞部5形成的光路L通過測定單元2的位置。而且，退開位置Q為由光傳遞部5形成的光路L通過與測定單元2不同的區域的位置。另外，設為如下構成，即，在本實施形態的退開位置Q，第1反射構件53及第2反射構件54之間的光路L通過校正用濾波器8。

單元切換機構6藉由使搭載著測定單元2及校正用濾波器8的搭載台61移動，而對測定位置P與退開位置Q進行切換，上述測定位置P是測定單元2位於第1反射構件53及第2反射構件54之間的光路L上的位置，上述退開位置Q是測定單元2自第1反射構件53及第2反射構件54之間的光路L上退開而校正用濾波器8位於該光路L上的位置。

而且，單元切換機構6構成為使測定單元2自測定位置 P向退開位置Q移動的第1移動速度v1、與使測定單元2自退開位置Q向測定位置P移動的第2移動速度v2不同。亦即，構成為測定單元2自測定位置P向退開位置Q移動的第1移動時間、與測定單元2自退開位置Q向測定位置P移動的第2移動時間不同。

作為單元切換機構6的具體的構成，如圖1及圖2(1)、圖2(2)所示，包括設置於測定單元收容框體C2內且搭載著測定單元2及校正用濾波器8的搭載台61，以及使該搭載台61直線來回移動的移動機構62。

移動機構62使用作為空氣式致動器的氣缸，尤其如圖3所示包括：活塞621，連接著上述搭載台61；缸體622，具有可來回移動地收容該活塞621的缸體室；第1供給埠623，設置在上述缸體622且用以向藉由上述活塞621而劃分的一空間S1內供給壓縮空氣；以及第2供給埠624，設置在上述缸體622且用以向藉由上述活塞621而劃分的另一空間S2內供給壓縮空氣。

而且，上述第1供給埠623上連接著用以供給壓縮空氣的第1供給管625，且被供給用以使測定單元2自測定位置P向退開位置Q移動的壓縮空氣。而且，上述第2供給埠624上連接著用以供給壓縮空氣的第2供給管626，且被供給用以使測定單元2自退開位置Q向測定位置P移動的壓縮空氣。進而，第1供給管625及第2供給管626經由閥機構627而連接於壓縮空氣源628(參照圖1)。

此處，閥機構627如圖3所示包含電磁5向閥，第1埠 P1連接於上述壓縮空氣源628，第2埠P2連接於上述第1供給管625，第3埠P3連接於上述第2供給管626，第4埠P4及第5埠P5向大氣開放。藉此構成為自單一的壓縮空氣源628向第1供給埠623及第2供給埠624供給壓縮空氣。該閥機構627藉由後述的區別機構7而控制。另外，亦可不同於區別機構7而另行設置專用的控制部。

而且，在使閥體移動而第1埠P1及第2埠P2連通的狀態下，第4埠P4被堵住，並且第3埠P3及第5埠P5連通。藉此，自第1供給埠623向一空間S1供給壓縮空氣而活塞621自測定位置P側向退開位置Q側移動。而且，在使閥體移動而第1埠P1及第3埠P3連通的狀態下，第5埠P5被堵住，並且第2埠P2及第4埠P4連通。藉此，自第2供給埠624向另一空間S2供給壓縮空氣而活塞621自退開位置Q側向測定位置P側移動。另外，閥機構627並不限於使用5向閥的構成，亦可使用電磁雙向閥或者電磁3向閥而構成。

而且，本實施形態的移動機構62中，在第1供給埠623設置著第1流路阻力件R1，在第2供給埠624設置著與上述第1流路阻力件R1的阻力值不同的第2流路阻力件R2。即，構成為自第1供給埠623向上述一空間S1供給的壓縮空氣的流量與自第2供給埠624向上述另一空間S2供給的壓縮空氣的流量彼此不同。藉此，移動機構62構成為使測定單元2自測定位置P向退開位置Q移動的第1移動速度v1、與使測定單元2自退開位置Q向 測定位置P移動的第2移動速度v2不同。另外，可將第1流路阻力件R1及第2流路阻力件R2分別設置於第1供給管625及第2供給管626，亦可設置於該些供給管中的其中一者。

另外，上述單元切換機構6中，測定單元2及校正用濾波器8構成為可移動，第1光纖51及第2光纖52以在測定位置P及退開位置Q的切換時不移動的方式被固定。構成光傳遞部5的其他構成要素，亦即聚光透鏡55~聚光透鏡58亦以在測定位置P及退開位置Q的切換時不移動的方式被固定。

區別機構7使用光來檢測與測定單元2自測定位置P向退開位置Q移動時的第1移動速度v1、及測定單元2自退開位置Q向測定位置P移動時的第2移動速度v2關聯的速度資訊，並區別測定位置P及退開位置Q。另外，該區別機構7例如為包含未圖示的中央處理單元(Central Processing Unit，CPU)、記憶體、類比/數位(analog/digital，A/D)轉換器、數位/類比(digital/analog，D/A)轉換器、輸入輸出介面等的專用或通用的電腦，依據記憶於上述記憶體中的規定的程式，CPU及其周邊設備協動，藉此發揮對測定單元2的位置區別功能。

本實施形態的區別機構7使用用於進行測定單元2中所收容的測定試料的濃度測定的測定光，具體而言，使用上述光源3及上述光檢測部4，來檢測與第1移動速度v1及第2移動速度v2關聯的速度資訊，並區別測定位置P及退開位置Q。即，區別機構7使用自光源3照射並進入光檢測部4的光，來區別上述測定 位置P及上述退開位置Q。本實施形態的區別機構7使用自光源3經由第1光纖51而照射並經由第2光纖52而進入光檢測部4的光，來區別上述測定位置P及上述退開位置Q。具體而言，區別機構7在使測定單元2移動時，獲取藉由上述光檢測部4而獲得的光量信號，並算出上述第1移動速度v1及上述第2移動速度v2的速度資訊。

進而，區別機構7檢測與第1移動速度v1關聯的速度資訊及與第2移動速度v2關聯的速度資訊之比，並區別測定位置P及退開位置Q。

本實施形態中，如圖1及圖2(1)、圖2(2)所示，在測定單元2及校正用濾波器8之間設置著伴隨單元切換機構6在測定位置P及退開位置Q之間的移動而阻斷光路L的光路阻斷構件9，區別機構7將藉由光路阻斷構件9阻斷光路L的時間作為速度資訊而加以檢測，並區別測定位置P及上述退開位置Q。具體而言，如圖4所示，在自測定位置P向退開位置Q的第1移動速度v1比自退開位置Q向測定位置P的第2移動速度v2快的情況下，自測定位置P向退開位置Q移動時藉由光路阻斷構件9而阻斷且光量為零或大致為零的零光量期間T1，比自退開位置Q向測定位置P移動時藉由光路阻斷構件9而阻斷且光量為零或大致為零的期間T2短。而且，區別機構7根據上述光量信號算出零光量期間T1及零光量期間T2，並算出上述零光量期間T1、零光量期間T2之比(=T2/T1(=v2/v1))，根據該比，區別移動的結果即 測定單元2位於測定位置P還是位於退開位置Q。而且，本實施形態的區別機構7在藉由上述光檢測部4而獲得的光量信號為規定值以上的情況下，判斷為移動結束而可進行測定。

其次，對如上述般構成的分析裝置100的初始動作的一例進行說明。

首先，在起動分析裝置100時，構成區別機構7的控制裝置對單元切換機構6進行控制，使搭載台61移動至初始位置(例如測定位置P)。然後，自作為該初始位置的測定位置P移動至退開位置Q，並算出此時的零光量期間T1，並且自退開位置Q移動至測定位置P，並算出此時的零光量期間T2。然後，區別機構7算出該零光量期間T1與零光量期間T2之比，且與預定的基準值進行比較。判斷該比較的結果即所算出的零光量期間T1、零光量期間T2之比(T2/T1)與基準值之差是否為規定範圍內。若該比較的結果為零光量期間T1、零光量期間T2之比(T2/T1)與基準值之差為規定範圍外，則判斷為與單元切換機構6的第1供給埠623及第2供給埠624連接的第1供給管625及第2供給管626發生錯誤從而向用戶發出警告。另一方面，若零光量期間T1、零光量期間T2之比(T2/T1)與基準值之差為規定範圍內，則藉由上述處理，區別測定單元2位於測定位置P還是位於退開位置Q。上述初始動作的結果為，區別機構7區別出位於測定位置P的結果，並進行其後的通常的化學藥品濃度測定。上述一連串處理不僅在初始動作時進行，亦可在校正處理之前或者之後等定期地進 行，還可在通常的化學藥品濃度測定中，在測定單元的位置產生錯誤的情況下進行。

根據如此構成的本實施形態的分析裝置100，使自測定位置P向退開位置Q的第1移動速度v1與自退開位置Q向測定位置P的第2移動速度v2不同，使用光來檢測與該移動速度關聯的速度資訊並區別測定單元2的位置，因而可不需要作為電氣零件的位置感測器。藉此，即便將測定單元2及單元切換機構6配置於具有易燃性的氣體環境中亦可安全地使用。

而且，區別機構7使用照射至測定單元2的測定光來檢測速度資訊，因而無須準備用以檢測速度資訊的另外的檢測光學系統，使用用於測定的測定光學系統(光源3及光檢測部4)，便可區別上述測定位置P及上述退開位置Q。藉此，可使分析裝置100的構成簡化及小型化。

進而，區別機構7對第1移動速度v1下的零光量期間T1及第2移動速度v2下的零光量期間T2之比(T2/T1)進行檢測，並區別上述測定位置P及上述退開位置Q，從而可無關於供給至氣缸的供給空氣壓所引起的的移動速度的變動，而正確地區別出測定位置P及退開位置Q。

此外，區別機構7將藉由測定單元2與校正用濾波器8之間的光路阻斷構件9而阻斷光路L的時間T1、時間T2作為速度資訊而加以檢測，並區別測定位置P及退開位置Q，因而可正確地檢測速度資訊，結果，可更正確地區別出測定位置P及退開 位置Q。

另外，本發明並不限於上述實施形態。

例如，上述單元切換機構6藉由使搭載著測定單元2的搭載台61移動，來切換測定位置P及退開位置Q，亦可如圖5所示，藉由使第1反射構件53及第2反射構件54移動來切換測定位置P及退開位置Q。亦即，僅藉由第1反射構件53及第2反射構件54的移動來進行測定位置P及退開位置Q的切換。而且，亦可使第1反射構件53及第2反射構件54與測定單元2雙方相對移動。另外，只要連接於測定單元2的配管為具有柔軟性的管則可如上述實施形態般構成，在為不具有柔軟性的管的情況下，會出現異常，理想的是設為使第1反射構件53及第2反射構件54移動的構成。

而且，上述實施形態中，因環境中存在化學藥品氣體，故自安全性的觀點考慮，利用氣缸等空氣式致動器，亦可利用使用了其他作動流體的致動器或機械式致動器。

而且，如圖6(1)、圖6(2)所示，亦可不經由第1反射構件53及第2反射構件54，而將來自第1光纖51的光照射至測定單元2，並將穿過測定單元2的光導入至第2光纖52。在圖6(1)、圖6(2)所示的構成中，亦可構成為不使第1光纖51及第2光纖52移動而使測定單元2移動，還可構成為使第1光纖51及第2光纖52移動，還可構成為使第1光纖51及第2光纖52與測定單元2雙方相對移動。

進而，上述實施形態的光傳遞部5具有第1光纖51及 第2光纖52，亦可僅具有其中一者，還可不具有第1光纖51及第2光纖52。另外，測定單元2的周圍附近存在化學藥品氣體，或者有設置空間受到制約之虞，而難以配置光源3或光檢測部4。因此，理想的是使用第1光纖51及第2光纖52雙方，在離開測定單元2的位置配置光源3及光檢測部4。

此外，上述實施形態中，構成為在測定單元2位於退開位置Q的狀態下，在第1反射構件53及第2反射構件54之間的光路L上配置著校正用濾波器8，亦可設為在第1反射構件53及第2反射構件54之間的光路L上無任何構件的構成並設為該光路L穿過空氣的構成。而且，亦可設為如下構成，即，在測定單元2位於退開位置Q的狀態下，在第1反射構件53及第2反射構件54之間的光路L上配置其他參考單元(例如對照(blank)單元)或其他測定單元等光學單元，並設為該光路L穿過其他光學單元的構成。

此外，上述實施形態的區別機構7，將光路阻斷構件9所引起的零光量期間之比作為與移動速度關聯的速度資訊而加以檢測，亦可構成為檢測光路阻斷構件9所引起的零光量期間T1、零光量期間T2而進行區別。具體而言，考慮藉由進行零光量期間T1與預定的第1基準值的比較或者進行零光量期間T2與預定的第2基準值的比較來區別。如此，無須使單元切換機構6來回動作，而僅利用一方向的動作便可區別出測定位置P及退開位置Q。而且，區別機構7亦可將藉由光路阻斷構件9生成的表示零或者 大致零的光量信號的取樣數作為速度資訊。

進而，此外，上述實施形態中，將光路阻斷構件9所引起的零光量期間作為速度資訊而加以檢測，亦可使用其他光量變動、例如光量的峰值間的移動時間等來作為速度資訊。

而且，上述實施形態中，將測定單元2在測定位置P與退開位置Q這兩個位置之間進行切換，亦可不僅在例如測定位置P與退開位置Q這兩個位置之間，還在其他位置進行切換等在3個以上的位置之間進行切換。認為即便在該情況下，亦構成為使自各位置向其他位置移動時的移動速度各不相同。

而且，上述實施形態中，將光源3收容於光源收容框體C1，測定單元2收容於測定單元收容框體C2，光檢測部4收容於光檢測部收容框體C3，亦可在測定單元收容框體C2內，收容光源3及/或光檢測部4。

另外，上述實施形態的區別機構7使用具有光源3及光檢測部4的測定光學系統來區別測定單元2的位置，亦可使用測定光以外的光來檢測與第1移動速度v1及第2移動速度v2關聯的速度資訊，並區別測定位置P及退開位置Q。具體而言，區別機構7亦可使用與上述測定光學系統不同的另外的光學系統來區別測定單元的位置。例如，亦可使用藉由與上述第1光纖不同的光纖等光傳遞要素傳遞自光源3射出的光的一部分所得的光，還可使用藉由上述光傳遞要素傳遞自與上述光源3不同的光源射出的光所得的光。而且，亦可利用上述光檢測部4來檢測藉由上述 光傳遞要素傳遞的光，還可藉由與上述光檢測部4不同的光檢測部來進行檢測。如此，使自測定位置向退開位置的第1移動速度與自退開位置向測定位置的第2移動速度不同，使用光來檢測與該移動速度關聯的速度資訊並區別測定單元的位置，因而可簡便地進行對測定單元的位置區別。

此外，本發明並不限於上述實施形態，在不脫離其主旨的範圍內當然可進行各種變形。

2‧‧‧測定單元

3‧‧‧光源

4‧‧‧光檢測部

5‧‧‧光傳遞部

6‧‧‧單元切換機構

7‧‧‧區別機構

8‧‧‧校正用濾波器

9‧‧‧光路阻斷構件

51‧‧‧第1光纖

52‧‧‧第2光纖

53‧‧‧第1反射構件

54‧‧‧第2反射構件

55、56、57、58‧‧‧聚光透鏡

61‧‧‧搭載台

62‧‧‧移動機構

100‧‧‧分析裝置

623‧‧‧第1供給埠

624‧‧‧第2供給埠

625‧‧‧第1供給管

626‧‧‧第2供給管

627‧‧‧閥機構

628‧‧‧壓縮空氣源

C1‧‧‧光源收容框體

C2‧‧‧測定單元收容框體

C3‧‧‧光檢測部收容框體

C4‧‧‧單一的框體

L‧‧‧光路

Claims (4)

1. 一種分析裝置，包括：單元切換機構，對收容測定試料的測定單元位於光路上的測定位置、與上述測定單元自上述光路上退開的退開位置進行切換，且所述單元切換機構以自上述測定位置向上述退開位置的第1移動速度、與自上述退開位置向上述測定位置的第2移動速度不同的方式構成；以及區別機構，使用用於進行上述測定試料的測定的光來檢測與上述第1移動速度及上述第2移動速度關聯的速度資訊，並區別上述測定位置及上述退開位置。
2. 如申請專利範圍第1項所述的分析裝置，其中設置著光路阻斷構件，上述光路阻斷構件伴隨上述單元切換機構在上述測定位置及上述退開位置之間的移動而阻斷上述光路，上述區別機構將藉由上述光路阻斷構件阻斷上述光路的時間作為上述速度資訊而加以檢測，並區別上述測定位置及上述退開位置。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的分析裝置，其中上述單元切換機構包括：空氣式致動器，包括第1供給埠及第2供給埠，上述第1供給埠為了使上述測定單元自上述測定位置向上述退開位置移動而 被供給空氣，上述第2供給埠為了使上述測定單元自上述退開位置向上述測定位置移動而被供給空氣；以及流路阻力件，設置於上述第1供給埠或與上述第1供給埠連接的第1供給管、或者上述第2供給埠或與上述第2供給埠連接的第2供給管，使自上述第1供給埠供給的空氣流量與自上述第2供給埠供給的空氣流量不同。
4. 一種分析裝置，包括：單元切換機構，對收容測定試料的測定單元位於光路上的測定位置與上述測定單元自上述光路上退開的退開位置進行切換，且所述單元切換機構以使自上述測定位置向上述退開位置的第1移動速度、與自上述退開位置向上述測定位置的第2移動速度不同的方式構成；以及區別機構，使用光來檢測與上述第1移動速度及上述第2移動速度關聯的速度資訊，並區別上述測定位置及上述退開位置。