JP2000082847A - 光電変換素子及びその製造方法 - Google Patents
光電変換素子及びその製造方法Info
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Abstract
小型で薄型の光電変換素子及びその製造方法の提供。 【解決手段】 製造用基板21の表面に形成するディン
プル21a,21bに電極1,2をコーティングすると
共にこれらの電極1,2の間の製造用基板21の表面に
絶縁性の反射層3を形成し、電極1に光学素子を実装し
てこの光学素子と他方の電極2との間をワイヤ5でボン
ディングした後に樹脂層24によって封止し、樹脂層2
4と製造用基板21をダイシングして光学素子とワイヤ
とを少なくとも1組含むピースとし、ピースから製造用
基板21だけを除去して樹脂層24によるパッケージ7
とこれに一体化した電極1,2を表面に露出させ、これ
らの電極1,2と反射層3とを光学素子から抜ける光の
反射面として活用する。
Description
ード等の発光素子やフォトダイオード等の光電変換素子
とその製造方法に関する。
像表示部には、発光ダイオード(以下、「LED」と記
す)が多用されているが、その中でも小型・薄型の面実
装タイプのチップ型LEDが主として利用されている。
チップLEDは、絶縁性の基板の表裏両面に互いに導通
し合う一対の電極を設け、表面の一方の電極にLEDの
下面のたとえばn電極を導通させて搭載するとともに上
面のp電極をワイヤによって他方の電極にボンディング
するというのがその基本的な構成である。このようなチ
ップLEDとしては、たとえば特開平9−181359
号公報に記載されたものがある。
従来のチップLEDでは、発光素子を樹脂封止するパッ
ケージの成形のために、基板の表面に型を載せて溶融樹
脂を注入するという製造工程を踏む。したがって、基板
には型を載せるための掛かり台が必要となり、基板の両
端部に配置する電極はパッケージから突き出る形状なの
で、全体の平面積が占める嵩が大きくなる。また、基板
自体も含んでプリント基板の表面に載せて実装されるの
で、基板とパッケージを合わせた肉厚となり、小型化に
も限界がある。
な大きさとなるような製品が得られる製造方法も既に開
発されている。この製造方法は、パッケージの底面の2
か所に電極を形成しておき、一方の電極に発光素子の底
面側の電極を導通搭載するとともに他方の電極を発光素
子の上面の電極との間でワイヤボンディングするという
ものである。
面に電極を形成するタイプのチップLEDの製造方法に
改良を加え、パッケージとして最終的に創成される樹脂
層と製造用基板とをダイシングによってカットしてチッ
プを得る製造方法を既に提案し、特願平10−2106
06号として出願した。
よれば、型製作に比べると製造の自由度が向上するとと
もに材料の有効使用率も改善されるほか、ダイシングの
パターンを変えることで、複数の光学素子の組合せを一
つのパッケージに納めることができるので、特に発光ダ
イオードとした場合にはフルカラー発光の表示に大きく
貢献できる。
られるチップLEDの概略を示す縦断面図である。
板に積層される樹脂層をダイシングして得られるパッケ
ージ51の底面側に素子搭載電極52とボンディング電
極53が形成されている。素子搭載電極52にはその底
面にpまたはnの電極を持つ半導体発光素子54が搭載
され、その上面のnまたはpの電極とボンディング電極
53との間をAuを利用したワイヤ55によってボンデ
ィングしている。
をプリント配線基板の電極パターンに合わせて表面実装
することによって、半導体発光素子54を導通させて発
光させることができる。そして、たとえば特開平9−1
81359号公報に記載のチップLEDと比較すると明
らかなように、基板を要素として含まずにパッケージ5
1と電極52,53とによる嵩容量となるので、大幅な
小型化及び薄型化が図られる。
素子54からの光を外部に放出させるためには、パッケ
ージ51は光透過性の合成樹脂とすることが条件とな
る。そして、半導体発光素子54からの発光は活性層か
ら上端の主光取出し面からだけでなく、発光層から側方
に抜けるものや、半導体発光素子54の基板を透明とし
たものではその底面部からも抜けるものが含まれる。し
たがって、電極52,53を光反射性が高いものとして
おけば、側方や底面側に抜ける光を主光取出し面側に反
射して回収でき、発光輝度を上げることができる。
短絡防止のために間隔を開ける必要があり、これらの電
極52,53の間のパッケージ51の底面は樹脂層が露
出したままである。したがって、半導体発光素子54か
ら側方に抜ける光は反射されることなく、この露出した
パッケージ51の底面側から漏れてしまい、輝度面での
損失を伴うことになる。
使用率の改善やチップ自身の小型化・薄型化が可能であ
るものの、発光輝度の面での問題が残っている。
使用率を高く維持でき発光輝度も高い小型で薄型の光電
変換素子及びその製造方法を提供することにある。
は、樹脂のパッケージと、このパッケージの下面に形成
された一対の電極と、前記パッケージの内部に封止され
て前記一対の電極の一方に導通搭載される光学素子と、
この光学素子と前記一対の電極の他方の電極との間にボ
ンディングされ且つ前記パッケージの内部に封止された
ワイヤと、前記一対の電極どうしの間であって前記樹脂
のパッケージの底面に形成した絶縁性の反射層とからな
ることを特徴とする。
一対の電極だけでなく、これらの電極の間に形成した反
射層によっても光学素子から側方等に抜ける光を発光方
向に反射させることができる。
表面に素子搭載用及びワイヤボンディング用の凹状のデ
ィンプルをパターン形成する工程と、前記ディンプルの
それぞれの表面に電極をコーティングする工程と、前記
ディンプルどうしの間の前記製造用基板の表面に絶縁性
の反射層を形成する工程と、前記光学素子搭載用のディ
ンプルに光学素子を実装するとともにこの光学素子と前
記ワイヤボンディング用のディンプルとの間をワイヤで
ボンディングする工程と、前記製造用基板の表面を前記
光学素子とワイヤを含んで樹脂層によって封止する工程
と、前記樹脂層と製造用基板をダイシングして前記光学
素子とワイヤとを少なくとも1組含むピースとする工程
と、前記ピースから製造用基板だけを除去して前記樹脂
層によるパッケージとこれに一体化した前記電極を表面
に露出させる工程とを含むことを特徴とする。
止した樹脂層を製造用基板とともにダイシングするの
で、樹脂層によってパッケージを形成するときの型製作
による工程に比べて加工の自由度が向上し、材料使用率
も改善される。
パッケージと、このパッケージの下面に形成された一対
の電極と、前記パッケージの内部に封止されて前記一対
の電極の一方に導通搭載される光学素子と、この光学素
子と前記一対の電極の他方の電極との間にボンディング
され且つ前記パッケージの内部に封止されたワイヤと、
前記一対の電極どうしの間であって前記樹脂のパッケー
ジの底面に形成した絶縁性の反射層とからなる光電変換
素子であり、反射層によって光学素子から側方等に抜け
る光を発光方向に反射させるので、発光輝度を向上させ
るという作用を有する。
面に素子搭載用及びワイヤボンディング用の凹状のディ
ンプルをパターン形成する工程と、前記ディンプルのそ
れぞれの表面に電極をコーティングする工程と、前記デ
ィンプルどうしの間の前記製造用基板の表面に絶縁性の
反射層を形成する工程と、前記光学素子搭載用のディン
プルに光学素子を実装するとともにこの光学素子と前記
ワイヤボンディング用のディンプルとの間をワイヤでボ
ンディングする工程と、前記製造用基板の表面を前記光
学素子とワイヤを含んで樹脂層によって封止する工程
と、前記樹脂層と製造用基板をダイシングして前記光学
素子とワイヤとを少なくとも1組含むピースとする工程
と、前記ピースから製造用基板だけを除去して前記樹脂
層によるパッケージとこれに一体化した前記電極を表面
に露出させる工程とを含む光電変換素子の製造方法であ
り、光学素子とワイヤを封止した樹脂層を製造用基板と
ともにダイシングするので、複数の光学素子を一体に含
むデバイスとする加工にも対応できるほか、パッケージ
の型製作に比べて材料使用率の向上が図れるという作用
を有する。
LEDを例として図面を参照しながら説明する。
板への電極の形成から発光素子の搭載までを順に示す概
略図であり、図の(a)〜(f)に従って説明する。
材を帯状に繰り出した製造用基板21の表面にスタンピ
ングまたはエッチングによって所定のパターンでディン
プル21a,21bを形成する。一方のディンプル21
aは後工程で発光素子を搭載する部分となり、他方のデ
ィンプル21bはワイヤボンディングエリアとなる部分
であり、いずれもその深さは同じである。
ト膜22を塗布する。この工程では、レジスト材として
たとえば紫外線硬化樹脂(UV樹脂)を利用し、ローラ
転写法によってレジスト膜22がディンプル21a,2
1bを除く表面に一様に形成される。
23をマスキングによって形成する。この工程では、テ
ープまたは紫外線硬化樹脂を材料として製造用基板21
の裏面の全体をマスク23でマスキングする。
ッキ法によって電極1,2をそれぞれ形成する。この電
極1,2はAu/Ni/Auの3層メッキとして形成す
ることが好ましく、その金属光沢を光反射面として利用
する。
をエッチングによって除去した後に、ディンプル21
a,21bの間の製造用基板21の表面に反射層3を形
成する。この反射層3は白レジストを塗布することによ
って形成されたものである。
に半導体発光素子4を実装するとともに他方のディンプ
ル21bの電極2との間でワイヤ5をボンディングす
る。半導体発光素子4は、たとえばGaAlAs系化合
物半導体を利用した赤色発光のもので、底部にp電極を
形成して導電性のAgペースト6によって電極1に導通
固定され、上面に形成したn層の表面電極4aにワイヤ
5がボンディングされている。その表面電極4aと他方
のディンプル21bの電極2との間をワイヤ5によって
ボンディングする。
基板21に凹状断面の電極1,2がパターン形成され、
それぞれの電極1に半導体発光素子4が実装され、更に
反射層3が形成される。そして、図2に示す工程によっ
て、樹脂封止からダイシングまでの加工が施される。図
2により各工程を順に説明する。
製造用基板21の表面の全体にモールド成形する。この
樹脂層24は製造用基板21の表面に一様な肉厚として
全ての半導体発光素子4とワイヤ5を封止してパッケー
ジ化する。
板21をダイシングテーブルに移す前に製造用基板21
の裏面にシート25を貼り付け、この後ダイサーによっ
て電極1,2を含む範囲を一つの単位としてダイシング
する。このダイシングでは、シート25はそのままの状
態に残して、樹脂層24と製造用基板21だけをカット
する。
では、図中において一点鎖線で示すように、1個の半導
体発光素子4を含むパターンとするほか、太線で囲んだ
部分で示すように2個の隣接した半導体発光素子4を含
むパターンとしてダイシングするようにしてもよい。こ
れにより、1個のチップLEDに2個の半導体発光素子
4を備えた製品とすることができ、半導体発光素子4の
発光色をそれぞれ異ならせることによって、多色発光の
LEDチップが得られる。
用基板21をウエットエッチング等によって溶融除去し
て、最終製品としてのLEDチップが得られる。
型のLEDチップの拡大縦断面図である。
樹脂層24は、半導体発光素子4とワイヤ5を封止した
パッケージ7として形成されている。そして、電極1,
2をプリント配線基板の電極パターンに合わせて導通搭
載することによって、半導体発光素子4に通電してこれ
を発光させることができる。
の表面にモールドした後にダイシングして半導体発光素
子4を少なくとも1個含む面実装型のLEDが得られ
る。したがって、ダイシングの際のカット幅に相当する
分の材料が失われるだけであり、従来の製造方法に比べ
ると、材料の損失割合を低減できる。また、パッケージ
7に電極1,2が含まれた構成なので平面積を小さくで
きるとともに、基板に相当するものもないので高さ寸法
も短くでき、薄型化が図られる。
によって部分的に被覆されているので、半導体発光素子
4の活性層からの光が底面側や側方に抜ける光をこれら
の電極1,2の金属光沢を利用して発光方向に反射させ
る。そして、電極1,2の間には白レジストを利用した
反射層3を形成しているので、この反射層3によっても
発光方向へ光を回収できる。したがって、図4に示した
構成では、電極1,2の間から下に抜ける光の全てが損
失となっていたのに対し、本発明では反射層3による光
の回収率が上がるので、発光輝度の向上が可能となる。
チップとして説明したが、赤外発光ダイオード等でもよ
い。
ケージの底面に電極を形成して光学素子やボンディング
用のワイヤをパッケージ中に封止するので、小型化及び
薄型化が可能となるとともに、電極どうしの間のパッケ
ージ底面に反射層を設けることによって発光輝度を上げ
ることができ、コンパクト化と発光機能の両面が改善さ
れる。
るパッケージの製作に代えて、樹脂層と製造用基板とを
ダイシングによってカットしてチップを得るので、型製
作に比べると製造の自由度が向上するとともに材料の有
効使用率も改善される。
の形成及び半導体発光素子の実装までの工程を示す概略
図
概略図
縦断面図
606号として出願したチップLEDの概略縦断面図
Claims (2)
- 【請求項1】 樹脂のパッケージと、このパッケージの
下面に形成された一対の電極と、前記パッケージの内部
に封止されて前記一対の電極の一方に導通搭載される光
学素子と、この光学素子と前記一対の電極の他方の電極
との間にボンディングされ且つ前記パッケージの内部に
封止されたワイヤと、前記一対の電極どうしの間であっ
て前記樹脂のパッケージの底面に形成した絶縁性の反射
層とからなる光電変換素子。 - 【請求項2】 製造用基板の表面に素子搭載用及びワイ
ヤボンディング用の凹状のディンプルをパターン形成す
る工程と、 前記ディンプルのそれぞれの表面に電極をコーティング
する工程と、 前記ディンプルどうしの間の前記製造用基板の表面に絶
縁性の反射層を形成する工程と、 前記光学素子搭載用のディンプルに光学素子を実装する
とともにこの光学素子と前記ワイヤボンディング用のデ
ィンプルとの間をワイヤでボンディングする工程と、 前記製造用基板の表面を前記光学素子とワイヤを含んで
樹脂層によって封止する工程と、 前記樹脂層と製造用基板をダイシングして前記光学素子
とワイヤとを少なくとも1組含むピースとする工程と、 前記ピースから製造用基板だけを除去して前記樹脂層に
よるパッケージとこれに一体化した前記電極を表面に露
出させる工程とを含む光電変換素子の製造方法。
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