JP2000081584A - 走査光学装置 - Google Patents

走査光学装置

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JP2000081584A
JP2000081584A JP11146227A JP14622799A JP2000081584A JP 2000081584 A JP2000081584 A JP 2000081584A JP 11146227 A JP11146227 A JP 11146227A JP 14622799 A JP14622799 A JP 14622799A JP 2000081584 A JP2000081584 A JP 2000081584A
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scanning
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    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/12Scanning systems using multifaceted mirrors
    • G02B26/125Details of the optical system between the polygonal mirror and the image plane

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Abstract

(57)【要約】 【課題】光学特性を良好に補正することができ、また環
境変動(温度変化)によるピント変化に強く、かつ簡易
な構成で、高精細な印字が得られる小型の走査光学装置
を得ること。 【解決手段】光源手段1から射出された光束を偏向手段
5に導光し、該偏向手段により偏向された光束を走査光
学手段6により被走査面7上にスポット状に結像させ、
該被走査面上を光走査する走査光学装置において、該走
査光学手段を構成する光学素子の各光学面のうち、少な
くとも1面にピッチの変化によるパワーを有する回折格
子8を形成し、該回折格子を形成した光学素子面内にお
いて、該回折格子のパワーは主走査方向、もしくは副走
査方向の少なくとも一方向において、対称軸を持たず非
対称に変化すること。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は走査光学装置に関
し、特に光源手段から射出される光束(光ビーム)を回
転多面鏡等の光偏向器を介して記録媒体面である被走査
面上に導光し、該被走査面上を該光束で走査することに
より、文字や情報等を記録するようにした、例えばレー
ザービームプリンタやデジタル複写機等の装置に好適な
走査光学装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来よりレーザービームプリンタやデジ
タル複写機等に用いられている走査光学装置は、光源手
段から射出された光束を偏向手段で偏向し、該偏向され
た光ビーム(光束)を走査光学手段により被走査面であ
る感光ドラム面上にスポット状に結像させ、該被走査面
上を走査している。
【0003】図28は従来の走査光学装置の要部概略図
である。同図において半導体レーザー等より成る光源手
段11から射出した光束はコリメーターレンズ12によ
って略平行光束に変換され、該変換された略平行光束は
開口絞り13によって最適なビーム形状に整形され、シ
リンドリカルレンズ14に入射する。該シリンドリカル
レンズ14は副走査方向にパワーを有し、回転多面鏡等
より成る光偏向器15の偏向面15a近傍に主走査方向
に長手の線状光束として結像する。ここで主走査方向と
は偏向走査方向に平行な方向、副走査方向とは偏向走査
方向に垂直な方向であり、以後同様とする。そして線状
光束は光偏向器15により等角速度で反射偏向され、f
θ特性を有する走査光学手段としてのfθレンズ系16
により、被走査面である感光ドラム面(記録媒体面)1
8上にスポット状に結像され、該感光ドラム面18上を
等速度で光走査している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この種の走査光学装置
における偏向手段には通常多数の偏向面(反射面)を有
する回転多面鏡を用い、走査光学系全系において、偏向
前後における光軸はある角度を成すように配置されてい
る。即ち走査面内において、光源手段から射出された光
束を偏向手段に対し斜め方向から入射させている。その
ため軸上走査時を基準にした場合、1走査内において偏
向面の出入りが非対称に生じる。偏向面近傍に一旦光束
を結像し、該偏向面と被走査面との間を共役結像関係に
している副走査断面内においては、この非対称性による
影響が顕著であり、像面湾曲補正を困難とする。
【0005】また、さらなる高精細(微小スポット)な
走査光学装置を実現するためには、主走査方向における
像面湾曲やfθ特性に対する非対称性の影響も考慮する
必要がある。これら問題点の1つの解決策として、例え
ば特開平8-122635号公報や特開平8-248308号公報等で提
案されている走査光学装置では副走査方向の曲率半径を
光軸に対し非対称に変化させている。これにより副走査
方向の像面湾曲を走査幅全域に渡り、良好に補正可能と
している。このような形状のレンズを作製するには技術
的・コスト的な観点からプラスチックモールドを行うの
が一般的である。
【0006】しかしながらプラスチックは周知の如く環
境変動に弱いという性質があり、特に環境温度が変化す
ると、それに従い屈折率も変化する。その結果ピント位
置が変動し、被走査面上におけるスポット形状の肥大化
等により、良好なる印字画像を得ることが難しくなって
くるという問題点がある。
【0007】本発明の第1の目的は走査光学手段を構成
する光学素子の各光学面のうち、少なくとも1面に回折
格子を形成し、該回折格子のパワーを主走査方向、もし
くは副走査方向の少なくとも一方向において、対称軸を
持たず非対称に変化させることにより、光学特性(像面
湾曲等)を良好に補正することができ、また環境変動
(温度変化)によるピント変化に強く、かつ簡易な構成
で、高精細な印字が得られる小型の走査光学装置の提供
にある。
【0008】本発明の第2の目的は走査光学手段を構成
する光学素子の各光学面のうち、少なくとも1面に回折
格子を形成し、該回折格子のピッチを主走査方向、もし
くは副走査方向の少なくとも一方向において、対称軸を
持たず変化させ、かつ該走査光学手段を構成する光学素
子の各光学面のうち、少なくとも1面の形状を主走査方
向、もしくは副走査方向の少なくとも一方向において、
軸上から軸外に向けて非対称に形成することにより、光
学特性(像面湾曲等)を良好に補正することができ、ま
た環境変動(温度変化)によるピント変化に強く、かつ
簡易な構成で、高精細な印字が得られる小型の走査光学
装置の提供にある。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明の走査光
学装置は、光源手段から射出された光束を偏向手段に導
光し、該偏向手段により偏向された光束を走査光学手段
により被走査面上にスポット状に結像させ、該被走査面
上を光走査する走査光学装置において、該走査光学手段
を構成する光学素子の各光学面のうち、少なくとも1面
にピッチの変化によるパワーを有する回折格子を形成
し、該回折格子を形成した光学素子面内において、該回
折格子のパワーは主走査方向、もしくは副走査方向の少
なくとも一方向において、対称軸を持たず非対称に変化
することを特徴としている。
【0010】請求項2の発明は請求項1の発明におい
て、前記回折格子の主走査方向のパワーは基準軸の軸上
から軸外に向かって非対称に変化することを特徴として
いる。
【0011】請求項3の発明は請求項1の発明におい
て、前記回折格子の副走査方向のパワーは基準軸の軸上
から主走査方向軸外に向かうに従い非対称に変化し、該
基準軸の軸上のパワーをPo、軸外のパワーをPyとし
たとき、 Po>Py なる条件を満足することを特徴としている。
【0012】請求項4の発明は請求項1の発明におい
て、前記回折格子の主走査方向と副走査方向のパワーは
ともに基準軸の軸上から軸外に向かって非対称に変化
し、かつ副走査方向のパワーは基準軸の軸上のパワーを
Po、軸外のパワーをPyとしたとき、 Po>Py なる条件を満足することを特徴としている。
【0013】請求項5の発明は請求項1乃至4のいずれ
か1項記載の発明において、前記走査光学手段は装置の
環境変動によるレンズ材質の屈折率変化で生じる主走査
方向、もしくは副走査方向の少なくとも一方向のピント
移動を前記光源手段の波長変動に起因する回折パワーの
変化によって補正することを特徴としている。
【0014】請求項6の発明は請求項1乃至5のいずれ
か1項記載の発明において、前記回折格子を形成する光
学素子はプラスチック材で成形されていることを特徴と
している。
【0015】請求項7の発明は請求項2、3又は4記載
の発明において、前記基準軸とは光軸であることを特徴
としている。
【0016】請求項8の発明の走査光学装置は、光源手
段から射出された光束を偏向手段に導光し、該偏向手段
により偏向された光束を走査光学手段により被走査面上
にスポット状に結像させ、該被走査面上を光走査する走
査光学装置において、該走査光学手段を構成する光学素
子の各光学面のうち、少なくとも1面に回折格子を形成
し、該回折格子を形成した光学素子面内において、該回
折格子のピッチは主走査方向、もしくは副走査方向の少
なくとも一方向において、対称軸を持たずに変化し、か
つ該走査光学手段を構成する光学素子の各光学面のう
ち、少なくとも1面の形状は主走査方向、もしくは副走
査方向の少なくとも一方向において、軸上から軸外に向
けて非対称に形成されていることを特徴としている。
【0017】請求項9の発明は請求項8の発明におい
て、前記回折格子の主走査方向のパワーは基準軸の軸上
から軸外に向かって非対称に変化することを特徴として
いる。
【0018】請求項10の発明は請求項8の発明におい
て、前記回折格子の副走査方向のパワーは基準軸の軸上
から主走査方向軸外に向かうに従い非対称に変化し、該
基準軸の軸上のパワーをPo、軸外のパワーをPyとし
たとき、 Po>Py なる条件を満足することを特徴としている。
【0019】請求項11の発明は請求項8の発明におい
て、前記回折格子の主走査方向と副走査方向のパワーは
ともに基準軸の軸上から軸外に向かって非対称に変化
し、かつ副走査方向のパワーは基準軸の軸上のパワーを
Po、軸外のパワーをPyとしたとき、 Po>Py なる条件を満足することを特徴としている。
【0020】請求項12の発明は請求項8の発明におい
て、前記光学面の形状を非対称に形成した光学素子の主
走査方向のパワーは、軸上から軸外に向けて非対称に変
化することを特徴としている。
【0021】請求項13の発明は請求項8の発明におい
て、前記光学面の形状を非対称に形成した光学素子の副
走査方向のパワーは、軸上から主走査方向軸外に向けて
非対称に変化することを特徴としている。
【0022】請求項14の発明は請求項8の発明におい
て、前記光学面の形状を非対称に形成した光学素子の主
走査方向と副走査方向のパワーは、ともに軸上から軸外
に向けて非対称に変化することを特徴としている。
【0023】請求項15の発明は請求項8乃至14のい
ずれか1項記載の発明において、前記走査光学手段は装
置の環境変動によるレンズ材質の屈折率変化で生じる主
走査方向、もしくは副走査方向の少なくとも一方向のピ
ント移動を前記光源手段の波長変動に起因する回折パワ
ーの変化によって補正することを特徴としている。
【0024】請求項16の発明は請求項8乃至15のい
ずれか1項記載の発明において、前記光学面の形状を非
対称に形成した光学素子の少なくとも1面に前記回折格
子が形成されていることを特徴としている。
【0025】請求項17の発明は請求項8乃至16のい
ずれか1項記載の発明において、前記回折格子を形成す
る光学素子はプラスチック材で成形されていることを特
徴としている。
【0026】請求項18の発明は請求項9、10又は1
1記載の発明において、前記基準軸とは光軸であること
を特徴としている。
【0027】
【発明の実施の形態】[実施形態1]図1は本発明の実
施形態1の主走査方向の要部断面図(主走査断面図)で
ある。
【0028】同図において1は光源手段であり、例えば
半導体レーザーより成っている。2はコリメーターレン
ズであり、光源手段1から射出した発散光束を略平行光
束に変換している。3は開口絞りであり、コリメーター
レンズ2から射出した光束(光ビーム)を所望の最適な
ビーム形状に形成している。4はシリンドリカルレンズ
であり、副走査方向に所定のパワーを有し、開口絞り3
から射出した光束を後述する偏向手段5の偏向面5a近
傍に副走査断面内において結像(主走査断面においては
長手の線像)させている。5は偏向手段としての光偏向
器であり、例えば回転多面鏡より成り、モーター等の駆
動手段(不図示)により図中矢印A方向に一定速度で回
転している。
【0029】6はfθ特性を有する走査光学手段であ
り、屈折系よりなる第1の光学素子(fθレンズ系)6
aと、回折系よりなる第2の光学素子(fθレンズ系)
6bとを有している。屈折系より成る第1の光学素子6
aは主走査方向、副走査方向ともに異なる正(凸)のパ
ワーを有するアナモフィックレンズより成り、第1面
(光線入射面)6a1は球面、第2面(光線射出面)6
a2はトーリック面で構成されている。さらに第2面6
a2に関し主走査方向は非球面形状であり、副走査方向
は曲率半径が光軸からの距離によらず一定となるように
形成している。回折系より成る第2の光学素子6bは主
走査方向、副走査方向ともに平面である透明平板で形成
され、回折系によるパワーが主走査方向、副走査方向と
もに異なる正(凸)になるように第2面(光線射出面)
6b2にピッチの変化によるパワーを有する回折格子8
が形成されている。この回折によるパワーは基準軸の軸
上から軸外に向かい主走査方向、副走査方向ともに対称
軸を持たず非対称に変化している。第1、第2の光学素
子6a,6bは共にプラスチック材料で成形されてい
る。さらに走査光学手段6は副走査断面内において偏向
面5aと被走査面7との間を共役関係にすることによ
り、倒れ補正機能を有している。7は被走査面としての
感光ドラム面である。
【0030】尚、本明細書において基準軸とは光軸のこ
とである。
【0031】また具体的には、後述する回折系の位相関
数を表わす式におけるY軸に一致する軸である。
【0032】本実施形態において半導体レーザー1より
射出した発散光束はコリメーターレンズ2により略平行
光束に変換され、開口絞り3によって所望のビーム形状
に整形してシリンドリカルレンズ4に入射する。シリン
ドリカルレンズ4に入射した光束のうち主走査断面内に
おいてはそのままの状態で射出する。また副走査断面内
においては収束して光偏向器5の偏向面5a近傍にほぼ
線像(主走査方向に長手の線像)として結像する。そし
て光偏向器5の偏向面5aで反射偏向された光束は走査
光学手段6により被走査面7(感光ドラム面)上にスポ
ット形状に結像され、該光偏向器5を矢印A方向に回転
させることによって、該感光ドラム面7上を矢印B方向
(主走査方向)に等速度で光走査している。これにより
記録媒体である感光ドラム面7上に画像記録を行なって
いる。
【0033】本実施形態における走査光学手段6を構成
する第1の光学素子6aの屈折系及び第2の光学素子6
bの回折系の形状は各光学素子面と光軸もしくは基準軸
との交点を原点とし、光軸もしくは基準軸方向をX軸、
主走査断面内において光軸もしくは基準軸に垂直な方向
をY軸、副走査断面内において光軸もしくは基準軸に垂
直な方向をZ軸とすると、各々次のように表わせる。
【0034】屈折系 主走査方向…下式の10次まで
の関数で表される非球面形状
【0035】
【数1】
【0036】+B88 +B1010 (但し、Rは曲率半径、K,B4 ,B6 ,B8 ,B10
非球面係数) (係数に添え字uが付く場合、レーザー側 係数に添え字lが付く場合、反レーザー側) 副走査方向…曲率半径がYの関数で与えられる球面形状 r’=r(1+D22 +D44 +D66 +D8
8 +D1010) (但し、rは曲率半径、D2 ,D4 ,D6 ,D8 ,D10
は非球面係数) (係数に添え字uが付く場合、レーザー側 係数に添え字lが付く場合、反レーザー側) 回折系 Y、Zの10次までの巾多項式の位相関数で
表される回折面 W=C1 Y+C22 +C33 +C44 +C55
+C66 +C77 +C88 +C99 +C1010
+E12 +E2 YZ2 +E322 +E432
+E542+E652 +E762 +E87
2 +E982(C1 〜C10、E1 〜E9 は位相係
数) 表−1に本実施形態における光学配置を示し、表−2に
屈折系の非球面係数及び回折系の位相係数を示す。
【0037】ここでθ1は偏向手段前後の光学系の、各
々の光軸の成す角、θmaxは最軸外を走査したときの
光束と走査光学手段の光軸との成す角、fは像高をY、
走査角をθとしたときにY=fθで与えられる定数であ
る。
【0038】
【表1】
【0039】
【表2】
【0040】本実施形態における第2の光学素子6bの
主走査方向の回折パワーの変化の様子を図2に示し、副
走査方向の回折パワーの変化の様子を図3に示す。回折
格子のピッチを位置によって変化させることにより、そ
の場所を通過する光束を集束もしくは発散させることが
できる。光線通過点yにおける格子ピッチをP(y)と
すると、その光線通過点における格子空間周波数H
(y)は、 H(y)=1/P(y) と表わされ、回折格子によるパワーφは、 φ=mλ・dH/dy で与えられる。ここでmは次数、λは波長である。
【0041】本実施形態においては回折によるパワーは
基準軸の軸上から軸外に向かい主走査方向、副走査方向
ともに非対称に変化している。さらに副走査方向に関し
ては基準軸の軸上のパワーをPo、軸外のパワーをPy
としたとき、 Po>Py ‥‥‥(1) なる条件を満足させている。条件式(1)を外れると像
面湾曲の補正を困難にしたり、副走査倍率の均一性が保
てず良くない。なお本実施形態においては第1の光学素
子6aの光軸と第2の光学素子6bの基準軸は一致して
おり、全系の光軸に対し0.9mm反レーザー側にシフ
トしている。
【0042】さらに本実施形態において走査光学手段6
は装置の環境変動(温度変化)によるレンズ材質の屈折
率変化で生じる主走査方向と副走査方向とのピント移動
を半導体レーザー1の波長変動に起因する第2の光学素
子6bの回折パワーの変化によって補正している。
【0043】図4は本実施形態における昇温前後の主走
査方向の像面湾曲を示した図、図5は本実施形態におけ
る昇温前後の副走査方向の像面湾曲を示した図、図6は
本実施形態における歪曲収差(fθ特性)及び像高ずれ
等を示した図である。図4、図5に示した像面湾曲にお
いて点線は常温25℃での像面湾曲、実線は25℃昇温
した50℃ときの像面湾曲を示している。ここで25℃
昇温したときの第1の光学素子6a及び第2の光学素子
6bの屈折率n*、及び光源手段1の波長λ*は各々、 n*=1.5212 λ*=786.4nm である。同図より主走査方向、副走査方向ともにピント
移動が良好に補正されていることが解る。
【0044】このように本実施形態では上述の如く走査
光学手段6を構成する光学素子の各光学面のうち、第2
の光学素子6bの第2面6b2にピッチの変化によるパ
ワーを有する回折格子8を形成し、該回折格子8を形成
した第2の光学素子6b面内において、該回折格子8の
パワーを主走査方向、副走査方向ともに、対称軸を持た
ず非対称に変化させることにより、光学特性を良好に補
正することができ、また環境変動(温度変化)によるピ
ント変化に強く、かつ簡易な構成で、高精細な印字が得
られる小型の走査光学装置を得ている。
【0045】[実施形態2]図7は本発明の実施形態2
の主走査方向の要部断面図(主走査断面図)である。同
図において図1に示した要素と同一要素には同符番を付
している。
【0046】本実施形態において前述の実施形態1と異
なる点は走査光学手段を屈折系よりなる第1の光学素子
と、屈折系と回折系の両方を有する第2の光学素子とよ
り構成し、それに伴ない第1、第2の光学素子の形状を
適切に形成したことである。その他の構成及び光学的作
用は実施形態1と略同様であり、これにより同様な効果
を得ている。
【0047】即ち、同図において26はfθ特性を有す
る走査光学手段であり、屈折系よりなる第1の光学素子
(fθレンズ系)26aと、屈折系と回折系の両方を有
する第2の光学素子(fθレンズ系)26bとを有して
いる。屈折系よりなる第1の光学素子26aは正(凸)
のパワーを有する回転対称レンズより成り、第1面(光
線入射面)26a1は球面、第2面(光線射出面)26
a2は非球面で構成されている。ここで第1の光学素子
26aの屈折系の形状は、該光学素子面と光軸との交点
を原点とし、光軸方向をX軸、主走査断面内において光
軸に垂直な方向をY軸、副走査断面内において光軸に垂
直な方向をZ軸とすると、次のように表わせる。
【0048】
【数2】
【0049】+Bh4 +Ch6 +Dh8 +Eh10 (ここで、h=(Y2 +Z21/2 ) (但し、Rは曲率半径、K,B,C,D,Eは非球面係
数) 屈折系と回折系の両方を有する第2の光学素子26bは
第1面(光線入射面)26b1が副走査方向にシリンド
リカル面を有し、第2面(光線射出面)26b2が平面
のシリンドリカルレンズであり、副走査方向に正(凸)
のパワーを有する。シリンドリカル面の曲率半径は第2
の光学素子26bの光軸に対し、軸上から主走査方向軸
外に向かって非対称に変化している。また回折系による
パワーは主走査方向、副走査方向ともに異なる正(凸)
になるように第2面26b2に回折格子28が形成され
ている。この回折によるパワーは基準軸の軸上から軸外
に向かい主走査方向、副走査方向ともに対称軸を持たず
非対称に変化している。この第2の光学素子26bは副
走査方向において屈折系による正のパワーと回折系によ
る正のパワーの両方を有している。これらの第1、第2
の光学素子26a,26bは共にプラスチック材料で成
形されている。さらに走査光学手段26は副走査断面内
において偏向面5aと被走査面7との間を共役関係にす
ることにより、倒れ補正機能を有している。
【0050】表−3に本実施形態における光学配置を示
し、表−4に屈折系の非球面係数及び回折系の位相係数
を示す。
【0051】
【表3】
【0052】
【表4】
【0053】本実施形態における第2の光学素子26b
の主走査方向の回折パワーの変化の様子を図8に示し、
副走査方向の回折パワーの変化の様子を図9に示す。本
実施形態においては回折によるパワーは基準軸の軸上か
ら軸外に向かい主走査方向、副走査方向ともに非対称に
変化している。さらに副走査方向に関しては基準軸の軸
上のパワーをPo、軸外のパワーをPyとしたとき、 Po>Py ‥‥‥(1) なる条件を満足させている。条件式(1)を外れると前
述の実施形態1と同様に像面湾曲の補正を困難にした
り、副走査倍率の均一性が保てず良くない。なお本実施
形態においては第1の光学素子26aの光軸と第2の光
学素子26bの基準軸は一致しており、全系の光軸に対
し0.45mm反レーザー側にシフトしている。
【0054】また第2の光学素子26bの第1面26b
1であるシリンドリカル面の曲率半径は上述の如く該第
2の光学素子26bの光軸に対し、軸上から主走査方向
軸外に向かって非対称に変化している。その様子を図1
0に示す。これらのことにより光学特性を良好に補正す
ることができる。
【0055】さらに本実施形態において走査光学手段2
6は装置の環境変動(温度変化)によるレンズ材質の屈
折率変化で生じる主走査方向と副走査方向のピント移動
を、半導体レーザー1の波長変動に起因する第2の光学
素子26bの回折パワーの変化によって補正している。
【0056】図11は本実施形態における昇温前後の主
走査方向の像面湾曲を示した図、図12は本実施形態に
おける昇温前後の副走査方向の像面湾曲を示した図、図
13は本実施形態における歪曲収差(fθ特性)及び像
高ずれ等を示した図である。図11、図12に示した像
面湾曲において点線は常温25℃での像面湾曲、実線は
25℃昇温した50℃ときの像面湾曲を示している。こ
こで25℃昇温したときの第1の光学素子26a及び第
2の光学素子26bの屈折率n*、及び光源手段1の波
長λ*は各々、 n*=1.5212 λ*=786.4nm である。同図より主走査方向、副走査方向ともにピント
移動が良好に補正されていることが解る。
【0057】このように本実施形態では上述の如く走査
光学手段26を構成する光学素子の各光学面のうち、第
2の光学素子26bの第2面26b2にピッチの変化に
よるパワーを有する回折格子28を形成し、該回折格子
28を形成した第2の光学素子26b面内において、該
回折格子28のパワーを主走査方向、副走査方向ともに
対称軸を持たず非対称に変化させ、また第2の光学素子
26bの第1面26b1であるシリンドリカル面の曲率
半径を該第2の光学素子26bの光軸に対し、軸上から
主走査方向軸外に向かって非対称に変化させることによ
り、光学特性を良好に補正することができ、また環境変
動(温度変化)によるピント変化に強く、かつ簡易な構
成で、高精細な印字が得られる小型の走査光学装置を得
ている。
【0058】[実施形態3]図14は本発明の実施形態
3の主走査方向の要部断面図(主走査断面図)である。
同図において図1に示した要素と同一要素には同符番を
付している。
【0059】本実施形態において前述の実施形態1と異
なる点は走査光学手段を屈折系と回折系の両方を有する
単一の光学素子より構成し、それに伴ない該光学素子の
形状を適切に形成したことである。その他の構成及び光
学的作用は実施形態1と略同様であり、これにより同様
な効果を得ている。
【0060】即ち、同図において36はfθ特性を有す
る走査光学手段であり、屈折系と回折系の両方を有する
単一の光学素子(fθ単レンズ)36aより成ってい
る。単一の光学素子36aの第1面(光線入射面)36
a1はシリンドリカル面であり、主走査方向にパワーを
有する。また回折系によるパワーは主走査方向、副走査
方向ともに異なる正(凸)になるように第1面36a1
に回折格子38が形成されている。この回折によるパワ
ーは基準軸の軸上から軸外に向かい主走査方向、副走査
方向ともに対称軸を持たず非対称に変化している。第2
面(光線射出面)36a2はトーリック面であり、主走
査方向、副走査方向の各々のパワーが単一の光学素子3
6aの光軸に対し軸上から軸外に向かって非対称に変化
している。この単一の光学素子36aはプラスチック材
料で成形されている。さらに走査光学手段36は副走査
断面内において偏向面5aと被走査面7との間を共役関
係にすることにより、倒れ補正機能を有している。
【0061】表−5に本実施形態における光学配置を有
し、表−6に屈折系の非球面係数及び回折系の位相係数
を示す。
【0062】
【表5】
【0063】
【表6】
【0064】本実施形態における単一の光学素子36a
の主走査方向の回折パワーの変化の様子を図15に示
し、副走査方向の回折パワーの変化の様子を図16に示
す。本実施形態においては回折によるパワーは基準軸の
軸上から軸外に向かい主走査方向、副走査方向ともに非
対称に変化している。さらに副走査方向に関しては基準
軸の軸上のパワーをPo、軸外のパワーをPyとしたと
き、 Po>Py ‥‥‥(1) なる条件を満足させている。条件式(1)を外れると前
述の実施形態1と同様に像面湾曲の補正を困難にした
り、副走査倍率の均一性が保てず良くない。なお本実施
形態においては単一の光学素子36aの基準軸は全系の
光軸に対し0.7mm反レーザー側にシフトしている。
【0065】また単一の光学素子36aの第2面36a
2であるトーリック面の主走査方向の形状は該光学素子
36aの光軸に対し軸上から軸外に向かい非対称に変化
している。その様子を図17に示す。またトーリック面
の副走査方向の曲率半径は単一の光学素子36aの光軸
に対し軸上から軸外に向かい非対称に変化している。そ
の様子を図18に示す。これらのことにより光学特性を
良好に補正することができる。
【0066】さらに本実施形態において走査光学手段3
6は装置の環境変動(温度変化)によるレンズ材質の屈
折率変化で生じる主走査方向と副走査方向のピント移動
を半導体レーザー1の波長変動に起因する単一の光学素
子36bの回折パワーの変化によって補正している。
【0067】図19は本実施形態における昇温前後の主
走査方向の像面湾曲を示した図、図20は本実施形態に
おける昇温前後の副走査方向の像面湾曲を示した図、図
21は本実施形態における歪曲収差(fθ特性)及び像
高ずれ等を示した図である。図19、図20に示した像
面湾曲において点線は常温25℃での像面湾曲、実線は
25℃昇温した50℃ときの像面湾曲を示している。こ
こで25℃昇温したときの第1の光学素子36a及び第
2の光学素子36bの屈折率n*、及び光源手段1の波
長λ*は各々、 n*=1.5212 λ*=786.4nm である。同図より主走査方向、副走査方向ともにピント
移動が良好に補正されていることが解る。
【0068】このように本実施形態では上述の如く走査
光学手段36を構成する単一の光学素子36aの各光学
面のうち、第1面36a1にピッチの変化によるパワー
を有する回折格子38を形成し、該回折格子38を形成
した光学素子面内において、該回折格子38のパワーを
主走査方向、副走査方向ともに対称軸を持たず非対称に
変化させ、かつ第2面36a2の形状を主走査方向、副
走査方向ともに軸上から軸外に向けて非対称に形成する
ことにより、光学特性を良好に補正することができ、ま
た環境変動(温度変化)によるピント変化に強く、かつ
簡易な構成で、高精細な印字が得られる小型の走査光学
装置を得ている。
【0069】[実施形態4]図22は本発明の実施形態
4の主走査方向の要部断面図(主走査断面図)である。
同図において図1に示した要素と同一要素には同符番を
付している。
【0070】本実施形態において前述の実施形態1と異
なる点は走査光学手段を屈折系よりなる第1の光学素子
と、屈折系と回折系の両方を有する第2の光学素子とよ
り構成し、それに伴ない第1、第2の光学素子の形状を
適切に形成したことである。その他の構成及び光学的作
用は実施形態1と略同様であり、これにより同様な効果
を得ている。
【0071】即ち、同図において46はfθ特性を有す
る走査光学手段であり、屈折系よりなる第1の光学素子
(fθレンズ系)46aと、屈折系と回折系の両方を有
する第2の光学素子(fθレンズ系)46bとを有して
いる。屈折系よりなる第1の光学素子46aは正(凸)
のパワーを有する球面レンズより成り、第1面(光線入
射面)46a1、第2面(光線射出面)46a2ともに
球面で構成されている。
【0072】屈折系と回折系の両方を有する第2の光学
素子46bは第1面(光線入射面)46b1、第2面
(光線射出面)46b2ともにトーリック面で構成され
ている。また回折系によるパワーは主走査方向、副走査
方向ともに異なる正(凸)になるように第2面46b2
に回折格子48が形成されている。この回折によるパワ
ーは基準軸の軸上から軸外に向かい主走査方向、副走査
方向ともに対称軸を持たず非対称に変化している。この
第2の光学素子46bは主走査方向、副走査方向ともに
屈折系によるパワーと回折系によるパワーの両方を有し
ている。これらの第1、第2の光学素子46a,46b
は共にプラスチック材料で成形されている。さらに走査
光学手段46は副走査断面内において偏向面5aと被走
査面7との間を共役関係にすることにより、倒れ補正機
能を有している。
【0073】表−7に本実施形態における光学配置を示
し、表−8に屈折系の非球面係数及び回折系の位相係数
を示す。
【0074】
【表7】
【0075】
【表8】
【0076】本実施形態における第2の光学素子46b
の主走査方向の回折パワーの変化の様子を図23に示
し、副走査方向の回折パワーの変化の様子を図24に示
す。本実施形態においては回折によるパワーは基準軸の
軸上から軸外に向かい主走査方向、副走査方向ともに非
対称に変化している。さらに副走査方向に関しては基準
軸の軸上のパワーをPo、軸外のパワーをPyとしたと
き、 Po>Py ‥‥‥(1) なる条件を満足させている。条件式(1)を外れると前
述の実施形態1と同様に像面湾曲の補正を困難にした
り、副走査倍率の均一性が保てず良くない。
【0077】また本実施形態においては第2の光学素子
46bの両面46b1,46b2に関し、主走査方向は
非球面形状より形成することにより、設計上の自由度を
増大させ、これにより光学特性を良好に補正することが
可能になることにより、より微小スポット径を要求され
る高精細な走査光学装置を得ている。
【0078】さらに本実施形態において走査光学手段4
6は装置の環境変動(温度変化)によるレンズ材質の屈
折率変化で生じる主走査方向と副走査方向のピント移動
を、半導体レーザー1の波長変動に起因する第2の光学
素子46bの回折パワーの変化によって補正している。
【0079】図25は本実施形態における昇温前後の主
走査方向の像面湾曲を示した図、図26は本実施形態に
おける昇温前後の副走査方向の像面湾曲を示した図、図
27は本実施形態における歪曲収差(fθ特性)及び像
高ずれ等を示した図である。図25、図26に示した像
面湾曲において点線は常温25℃での像面湾曲、実線は
25℃昇温した50℃ときの像面湾曲を示している。こ
こで25℃昇温したときの第1の光学素子46a及び第
2の光学素子46bの屈折率n*、及び光源手段1の波
長λ*は各々、 n*=1.5212 λ*=786.4nm である。同図より主走査方向、副走査方向ともにピント
移動が良好に補正されていることが解る。
【0080】このように本実施形態では上述の如く走査
光学手段46を構成する光学素子の各光学面のうち、第
2の光学素子46bの第2面46b2にピッチの変化に
よるパワーを有する回折格子48を形成し、該回折格子
48を形成した第2の光学素子46b面内において、該
回折格子48のパワーを主走査方向、副走査方向ともに
対称軸を持たず非対称に変化させることにより、光学特
性を良好に補正することができ、また環境変動(温度変
化)によるピント変化に強く、かつ簡易な構成で、高精
細な印字が得られる小型の走査光学装置を得ている。
【0081】尚、各実施形態では変換光学素子2により
光源手段1から射出された光束を略平行光束に変換した
が、光偏向器5の偏向面5aと被走査面8との間の距離
を短縮するために収束光束に変換してもよい。
【0082】また、各実施形態では基準軸を光軸とした
が、回折格子は光学素子面上に自由に形成することが可
能であるので、光軸以外の任意の位置に基準軸を設定し
ても良い。
【0083】
【発明の効果】第1の発明によれば前述の如く走査光学
手段を構成する光学素子の各光学面のうち、少なくとも
1面に回折格子を形成し、該回折格子を形成した光学素
子面内において、該回折格子のパワーを主走査方向、も
しくは副走査方向の少なくとも一方向において、対称軸
を持たず非対称に変化させることにより、光学特性(像
面湾曲等)を良好に補正することができ、また環境変動
(温度変化)によるピント変化に強く、かつ簡易な構成
で、高精細な印字が得られる小型の走査光学装置を達成
することができる。
【0084】第2の発明によれば前述の如く走査光学手
段を構成する光学素子の各光学面のうち、少なくとも1
面に回折格子を形成し、該回折格子を形成した光学素子
面内において、該回折格子のピッチを主走査方向、もし
くは副走査方向の少なくとも一方向において、対称軸を
持たず非対称に変化させ、かつ該走査光学手段を構成す
る光学素子の各光学面のうち、少なくとも1面の形状を
主走査方向、もしくは副走査方向の少なくとも一方向に
おいて、軸上から軸外に向けて非対称に形成することに
より、光学特性(像面湾曲等)を良好に補正することが
でき、また環境変動(温度変化)によるピント変化に強
く、かつ簡易な構成で、高精細な印字が得られる小型の
走査光学装置を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態1の主走査方向の要部断面
図(主走査断面図)
【図2】 本発明の実施形態1の主走査方向の回折パワ
ーの変化の様子を示す図
【図3】 本発明の実施形態1の副走査方向の回折パワ
ーの変化の様子を示す図
【図4】 本発明の実施形態1の昇温前後の主走査方向
の像面湾曲を示す図
【図5】 本発明の実施形態1の昇温前後の副走査方向
の像面湾曲を示す図
【図6】 本発明の実施形態1の歪曲収差(fθ特性)
及び像高ずれを示す図
【図7】 本発明の実施形態2の主走査方向の要部断面
図(主走査断面図)
【図8】 本発明の実施形態2の主走査方向の回折パワ
ーの変化の様子を示す図
【図9】 本発明の実施形態2の副走査方向の回折パワ
ーの変化の様子を示す図
【図10】 本発明の実施形態2のシリンドリカル面の
曲率半径の変化の様子を示す図
【図11】 本発明の実施形態2の昇温前後の主走査方
向の像面湾曲を示す図
【図12】 本発明の実施形態2の昇温前後の副走査方
向の像面湾曲を示す図
【図13】 本発明の実施形態2の歪曲収差(fθ特
性)及び像高ずれを示す図
【図14】 本発明の実施形態3の主走査方向の要部断
面図(主走査断面図)
【図15】 本発明の実施形態3の主走査方向の回折パ
ワーの変化を示す図。
【図16】 本発明の実施形態3の副走査方向の回折パ
ワーの変化の様子を示す図
【図17】 本発明の実施形態3のトーリック面の主走
査断面内の形状を示す図
【図18】 本発明の実施形態3のトーリック面の副走
査方向の曲率半径の変化の様子を示す図
【図19】 本発明の実施形態3の昇温前後の主走査方
向の像面湾曲を示す図
【図20】 本発明の実施形態3の昇温前後の副走査方
向の像面湾曲を示す図
【図21】 本発明の実施形態3の歪曲収差(fθ特
性)及び像高ずれを示す図
【図22】 本発明の実施形態4の主走査方向の要部断
面図(主走査断面図)
【図23】 本発明の実施形態4の主走査方向の回折パ
ワーの変化の様子を示す図
【図24】 本発明の実施形態4の副走査方向の回折パ
ワーの変化の様子を示す図
【図25】 本発明の実施形態4の昇温前後の主走査方
向の像面湾曲を示す図
【図26】 本発明の実施形態4の昇温前後の副走査方
向の像面湾曲を示す図
【図27】 本発明の実施形態4の歪曲収差(fθ特
性)及び像高ずれを示す図
【図28】 従来の走査光学装置の主走査方向の要部断
面図(主走査断面図)
【符号の説明】
1 光源手段 2 変換光学素子 3 開口絞り 4 シリンドリカルレンズ 5 偏向手段(光偏向器) 6,26,36,46 走査光学手段 6a,26a,46a 第1の光学素子 6b,26b,46b 第2の光学素子 36a 光学素子 7 被走査面(感光ドラム面) 8,28,38,48 回折格子

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光源手段から射出された光束を偏向手段
    に導光し、該偏向手段により偏向された光束を走査光学
    手段により被走査面上にスポット状に結像させ、該被走
    査面上を光走査する走査光学装置において、 該走査光学手段を構成する光学素子の各光学面のうち、
    少なくとも1面にピッチの変化によるパワーを有する回
    折格子を形成し、該回折格子を形成した光学素子面内に
    おいて、該回折格子のパワーは主走査方向、もしくは副
    走査方向の少なくとも一方向において、対称軸を持たず
    非対称に変化することを特徴とする走査光学装置。
  2. 【請求項2】 前記回折格子の主走査方向のパワーは基
    準軸の軸上から軸外に向かって非対称に変化することを
    特徴とする請求項1記載の走査光学装置。
  3. 【請求項3】 前記回折格子の副走査方向のパワーは基
    準軸の軸上から主走査方向軸外に向かうに従い非対称に
    変化し、該基準軸の軸上のパワーをPo、軸外のパワー
    をPyとしたとき、 Po>Py なる条件を満足することを特徴とする請求項1記載の走
    査光学装置。
  4. 【請求項4】 前記回折格子の主走査方向と副走査方向
    のパワーはともに基準軸の軸上から軸外に向かって非対
    称に変化し、かつ副走査方向のパワーは基準軸の軸上の
    パワーをPo、軸外のパワーをPyとしたとき、 Po>Py なる条件を満足することを特徴とする請求項1記載の走
    査光学装置。
  5. 【請求項5】 前記走査光学手段は装置の環境変動によ
    るレンズ材質の屈折率変化で生じる主走査方向、もしく
    は副走査方向の少なくとも一方向のピント移動を前記光
    源手段の波長変動に起因する回折パワーの変化によって
    補正することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1
    項記載の走査光学装置。
  6. 【請求項6】 前記回折格子を形成する光学素子はプラ
    スチック材で成形されていることを特徴とする請求項1
    乃至5のいずれか1項記載の走査光学装置。
  7. 【請求項7】 前記基準軸とは光軸であることを特徴と
    する請求項2、3又は4項記載の走査光学装置。
  8. 【請求項8】 光源手段から射出された光束を偏向手段
    に導光し、該偏向手段により偏向された光束を走査光学
    手段により被走査面上にスポット状に結像させ、該被走
    査面上を光走査する走査光学装置において、 該走査光学手段を構成する光学素子の各光学面のうち、
    少なくとも1面に回折格子を形成し、該回折格子を形成
    した光学素子面内において、該回折格子のピッチは主走
    査方向、もしくは副走査方向の少なくとも一方向におい
    て、対称軸を持たずに変化し、 かつ該走査光学手段を構成する光学素子の各光学面のう
    ち、少なくとも1面の形状は主走査方向、もしくは副走
    査方向の少なくとも一方向において、軸上から軸外に向
    けて非対称に形成されていることを特徴とする走査光学
    装置。
  9. 【請求項9】 前記回折格子の主走査方向のパワーは基
    準軸の軸上から軸外に向かって非対称に変化することを
    特徴とする請求項8記載の走査光学装置。
  10. 【請求項10】 前記回折格子の副走査方向のパワーは
    基準軸の軸上から主走査方向軸外に向かうに従い非対称
    に変化し、該基準軸の軸上のパワーをPo、軸外のパワ
    ーをPyとしたとき、 Po>Py なる条件を満足することを特徴とする請求項8記載の走
    査光学装置。
  11. 【請求項11】 前記回折格子の主走査方向と副走査方
    向のパワーはともに基準軸の軸上から軸外に向かって非
    対称に変化し、かつ副走査方向のパワーは基準軸の軸上
    のパワーをPo、軸外のパワーをPyとしたとき、 Po>Py なる条件を満足することを特徴とする請求項8記載の走
    査光学装置。
  12. 【請求項12】 前記光学面の形状を非対称に形成した
    光学素子の主走査方向のパワーは、軸上から軸外に向け
    て非対称に変化することを特徴とする請求項8記載の走
    査光学装置。
  13. 【請求項13】 前記光学面の形状を非対称に形成した
    光学素子の副走査方向のパワーは、軸上から主走査方向
    軸外に向けて非対称に変化することを特徴とする請求項
    8記載の走査光学装置。
  14. 【請求項14】 前記光学面の形状を非対称に形成した
    光学素子の主走査方向と副走査方向のパワーは、ともに
    軸上から軸外に向けて非対称に変化することを特徴とす
    る請求項8記載の走査光学装置。
  15. 【請求項15】 前記走査光学手段は装置の環境変動に
    よるレンズ材質の屈折率変化で生じる主走査方向、もし
    くは副走査方向の少なくとも一方向のピント移動を前記
    光源手段の波長変動に起因する回折パワーの変化によっ
    て補正することを特徴とする請求項8乃至14のいずれ
    か1項記載の走査光学装置。
  16. 【請求項16】 前記光学面の形状を非対称に形成した
    光学素子の少なくとも1面に前記回折格子が形成されて
    いることを特徴とする請求項8乃至15のいずれか1項
    記載の走査光学装置。
  17. 【請求項17】 前記回折格子を形成する光学素子はプ
    ラスチック材で成形されていることを特徴とする請求項
    8乃至16のいずれか1項記載の走査光学装置。
  18. 【請求項18】 前記基準軸とは光軸であることを特徴
    とする請求項9、10又は11項記載の走査光学装置。
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