JP2000075357A - 撮像ユニット - Google Patents

撮像ユニット

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JP2000075357A JP10243869A JP24386998A JP2000075357A JP 2000075357 A JP2000075357 A JP 2000075357A JP 10243869 A JP10243869 A JP 10243869A JP 24386998 A JP24386998 A JP 24386998A JP 2000075357 A JP2000075357 A JP 2000075357A
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shape
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image
optical system
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Hiroshi Mukai
弘 向井
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    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 撮像素子の出力を大幅に低下させず、スミア
ーレベルを大幅に改善することができることが可能とな
る撮像ユニットを提供する。 【解決手段】 撮像素子3の受光部上に像を形成する画
像入力光学系である。その画像入力光学系は垂直方向形
状が前記受光部の垂直方向形状に合致した絞りを有して
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、CCDセンサーや
CMOSセンサー等の撮像素子の受光部上に像を形成す
る画像入力光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】撮像素子は縦横にマトリクス状に配され
た受光部と、その受光部で発生した電荷を垂直方向に転
送する垂直転送部とを備えている。この撮像素子1画素
当たりの断面図は図11に示すようになっている。受光
部を成すフォトダイオード(受光)部5’と垂直転送部
を成す垂直レジスタ部6’は基板としてのシリコン層1
0に設けられる。シリコン層10の上にSiO2等の絶
縁膜11が形成されている。レジスタ部6’の上には電
荷転送用の電極8が設けられている。レジスタ部6’の
上部とフォトダイオード部5’の一部の上にはアルミニ
ウムの遮光膜7が設けられている。この遮光膜7によっ
てレジスタ部6’には上部から直接光が照射しないよう
になっている。さらに、レジスタ部6’に斜めから光が
照射されないように、フォトダイオード部5’の受光可
能な部分と一定の距離dが開けられる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この撮
像素子の受光部の形状は一段に縦長の長方形状であり、
一方その撮像素子に光を入力する画像入力光学系からの
光束は断面円形状である。そのため、入力光束が受光部
からはみ出し、しかも受光部に対し斜めに入射する部分
は、そのはみ出した光束部分が上述した図11で示す斜
めに入射して隣接するレジスタ部6’に至る光Aに相当
するので、スミアーが発生して高画質の出力をえること
ができなかった。尚、光Bのように遮光膜で反射した後
に、レジスタ部6’側へ回り込んで影響するものもあ
る。
【0004】本発明はこのような点に鑑みなされたもの
であって、撮像素子におけるスミアーの発生を低減する
ことのできる画像入力光学系を提供することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項1では、マトリックス状に矩形状の
受光部と前記受光部に対応して配置されたマイクロレン
ズが一体的に構成されている撮像素子と、撮像素子上に
像を形成する画像入力光学系と、水平方向の形状が前記
撮像素子の受光部の形状に合致した絞りと、を有するよ
うにしている。
【0006】このような構成によると、絞りが撮像素子
の受光部の垂直方向の形状に合致しているので、撮像素
子の両サイドの両サイドでは光束が斜めからの照射され
ることによっても直接又は遮光膜での反射によってレジ
スタ部に入り込む光が少なくなり、撮像素子で生じるス
ミアーが低減される。
【0007】また、本発明の請求項2では、上記請求項
1において、前記絞りは、垂直方向に円弧形状、水平方
向に直線状をした小判形状となっている。
【0008】このような構成によると、絞りが小判型と
なっており、水平方向には絞りの有効径にしたがって円
形状となっており、垂直方向には受光部の垂直形状に合
致して直線状となっているので、スミアー低減の効果が
得られる。
【0009】また、本発明の請求項3では、マトリック
ス状に矩形状の受光部と前記受光部に対応して配置され
たマイクロレンズが一体的に構成されている撮像素子
と、撮像素子上に像を形成する画像入力光学系と、絞り
とは別体に設けられ、水平方向の形状が前記撮像素子の
受光部の形状に合致した光規制板と、を有するようにし
ている。
【0010】このような構成によると、絞りとは別に水
平方向のみ遮光する光規制板が設けられているので、こ
の光規制板によって光束が規制されてレジスタ部に至る
光量が小さくなり、スミアー低減の効果が得られる。
【0011】また、本発明の請求項4では、上記請求項
3において、前記光規制板は、水平方向のいずれか一方
の側に設けられている。
【0012】このような構成によると、撮像素子のスミ
アーレベルが左側と右側とで異なっている場合、左右の
一方のみにおいて光規制板で光束を規制するだけでスミ
アーレベルの低減の効果が得られる。
【0013】また、本発明の請求項5では、上記請求項
3又は請求項4において、前記光規制板は、垂直方向に
円弧形状、水平方向に直線状をした小判形状となってい
る。
【0014】また、本発明の請求項6では、請求項1〜
請求項5において、前記撮像素子は、前記受光部に隣接
した電荷転送部を備えている。
【0015】このような構成によると、受光部列に隣接
した電荷転送部で受光部ごとの信号電荷を転送すること
によって信号を取り出すことができる。
【0016】
【発明の実施の形態】<第1の実施形態>以下、本発明
の実施形態について説明する。図1は本発明の第1の実
施形態の撮像ユニットの構造を示す図である。複数のレ
ンズから成る画像入力光学系の内部に光規制板1と絞り
2が挿入されている。この画像入力光学系の像面にはC
CDから成る撮像素子3が設けられている。
【0017】図2は撮像素子3の画素の構造を示す図で
ある。撮像素子3はマトリクス状に配された受光部5と
垂直転送部6とから成る。受光部5は例えばフォトダイ
オードで構成され、受けた光の強度に比例した電荷を発
生させる。垂直転送部6は受光部列に隣接して形成され
ている。この撮像素子3の詳細な構成は図11に示され
る。
【0018】尚、撮像素子3の画素の高密度化を達成し
ようとすると、受光部5のサイズが小さくなるので、大
きな出力が取り出せなくなる。そのため、最近の撮像素
子3には、大きな開口率を得るために、図3に示すよう
に、マイクロレンズ8が各受光部ごとに対応して配置さ
れている。なお、7は受光部5以外の領域に施された遮
光用のアルミニウム膜である。図示のように、マイクロ
レンズ8によって受光部5よりも広い面積で集光するこ
とができるので受光部5における信号の電荷量が増大す
る。尚、マイクロレンズを有する撮像素子の場合、厳密
にはマイクロレンズの頂点に画像が形成されることにな
る。このとき、画像はマイクロレンズの作用によって入
力光学系の絞りと撮像素子の受光部とが共役関係となっ
ている。このような関係が満たされているときに絞りの
形状(あるいは規制板の形状)が後述のように大きな意
味をもつ。
【0019】図4は受光部5に対してレンズの口径すな
わちFナンバーの違いによって入射する光束幅の違いを
示している。ここで、小さい円18は画像入力光学系が
小口径の場合の光束を示し、大きい円17が大口径の場
合の光束を示す。受光部5は水平方向よりも垂直方向に
サイズが長くできているので大口径になると円17に示
すように水平方向にはみ出してしまい、Fナンバー3.
0〜Fナンバー4.0程度の光束しか受光部5に入射さ
れない。上記円18で示すように光束のはみ出しが生じ
ると、そのはみ出した部分が垂直転送部(レジスタ)6
に影響を与えてスミアーを発生させてしまう。
【0020】よって、絞りは例えば図5に示すような小
判型形状であれば、受光部5に対して適切に光束を規制
することができるのでよい。つまり、この形状であれば
受光部5の左右の端の水平方向の光を好適に規制するこ
とができる。これによって垂直レジスタ部6(図11参
照)に光が入射されなくなり、スミアー低減の効果をも
たらすことが可能となる。しかも垂直方向については、
受光部5の広い範囲に光が当たるので、効率がよい。図
5の小判型形状は垂直方向には受光部の形状に対応して
直線状となっているが、水平方向には円形状となってい
る。この水平方向の円形は画像入力光学系のレンズの有
効径によって決められる。また、前記垂直方向は撮像素
子の画角に基づいて決められる。
【0021】このように絞り2が小判型となっているこ
とにより撮像素子3に対し、水平方向の光束をカットし
て、スミアーの発生を抑えるとともに、垂直方向の照射
を多くして効率的に信号電荷を発生させることができ
る。
【0022】そのため、撮像素子3の出力を大幅に低下
させることなくスミアーが少なく高画質の画像が得られ
る。尚、絞り2の形状は小判型でなくてもよく例えば垂
直方向が直線状で水平方向も直線状であってもよい。ま
た、垂直方向の直線形状は片側だけでもよい。次に、図
9は入射瞳と入力光学系の射出瞳のずれによってスミア
ーが発生する現象を示す図である。通常撮像素子3の入
射瞳は無限に設定されている。すなわち、撮像素子3は
画像入力光学系を通して平行光線が入射されるものとし
て設定されている。一方、画像入力光学系の射出瞳は撮
像素子3に対して有限の距離に位置している場合が多
い。そのため、前記入射瞳と射出瞳がずれてしまい、図
9に示すように撮像素子3の受光部5に対し、光束が斜
めより照射されるために、撮像素子3の右側と左側とで
は受光面に対する光束の相対位置関係が変わってしま
う。そのため、図11に示すように垂直転送部6に光が
入り込みスミアーが大きく発生する。尚、このようなス
ミアーの発生を抑えるのに光規制板4を用いて行っても
よい。
【0023】例えば図1において、絞り2とは別に左右
方向の光束を規制する光規制板1が挿入されている。本
例では光規制板1は絞り2の前方にあるレンズ4の直後
に挿入されている。光規制板1の形状は図6に示すよう
に垂直方向に平行に2箇所の直線で切った形状としてい
る。これによって、図12に示すように、受光部5に照
射される光束は絞り2による円形からさらに光規制板1
によって光束が規制され、受光部5の垂直方向形状に合
致するように垂直方向に2箇所平行に直線にカットされ
た形状となっている。
【0024】図12において、30は撮像素子3の右側
の受光部5Rに照射される光束を示し、31は撮像素子
3の左側の受光部5Lに照射される光束を示している。
これにより、撮像素子3の右側と左側では光束の斜めか
らの照射により直接又は遮光膜7での反射によって垂直
レジスタ部6に照射される光量が少なくなり、撮像素子
3で生じるスミアーの低減の効果がある。
【0025】また、撮像素子3で生じるスミアーは右側
と左側でレベルの異なることがある。そのため、図7に
示すようにスミアーレベルの大きい側で遮光するための
光規制板を入れるようにしてもスミアーレベルの低減の
効果がある。この場合は図6に示す光規制板を入れた場
合よりも簡単に構成できるので製造コストの低減が図ら
れる。
【0026】<第2の実施形態>次に、本発明の第2の
実施形態について説明する。図8は第2の実施形態の撮
像ユニットの構造を示す図である。この実施形態の光学
系は負、正の2成分ズームレンズ光学系であり、第1群
20に規制板22が設けられ、第2群21に絞り23が
設けられている。規制板22は特にこれに限る必要がな
いが、図7のように片側のみに設けられている。まず第
1群20を通過した光は光規制板(光規制板)22で光
束が規制されて絞り23で光量が調節される。そして、
第2群21を通過して撮像素子24に到る。撮像素子2
4は図2、図3に示すような構成になっている。図8の
状態はワイド状態(W)であり、第1群20は矢印25
のように一旦第2群21に近づき再び離れるUターン、
第2群21は矢印26のように1群20に近づくことに
よってそれぞれテレ(T)状態となる。
【0027】ここで、絞り23の開口が一定であれば、
画像入力光学系はワイドのときの口径の方がテレのとき
の口径よりも大きくなり、スミアーはワイドの方が大き
くなってしまう。ズームにおいて常に水平方向のFナン
バーを一定に保つことが最もスミアー対策となる。テレ
状態への第2群21の駆動に合わせて水平方向の絞り2
3の開口径を広げることによって対応することが可能で
ある。
【0028】ただし、この場合には絞り24の口径を変
化させるための駆動機構が必要となるので構成が複雑化
する。そこで、本例では、ワイド状態のときに光規制板
22で対策し、ワイドのスミアーを低減するようにして
いる。テレ状態のときには絞り23で光束の調整が行わ
れる。したがって、簡単な構成でワイドのスミアーを低
減する構成である。これによって、簡単な構成でワイド
のスミアーを改善できる。
【0029】本実施形態のズーム式撮像ユニットによれ
ば、絞り23とは別に設けられた規制板22で水平方向
の光束を規制することができるので、簡単な構成でスミ
アーを低減することが可能となる。また、本実施形態で
は規制板22は撮像素子24の1方向のみ規制するもの
であるので簡単に構成することができる。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
画像入力光学系において、撮像素子の形状に基づいて形
成された絞り又は規制板によって光束を規制しているの
で、撮像素子での出力レベルを大幅に低減させることな
く、スミアーを大幅に改善することができる。
【0031】また、請求項2と請求項6の画像入力光学
系では、光束が小判型に規制されるので、垂直方向には
直線状に規制されてスミアー低減の効果が得られるとと
もに、水平方向には有効径にしたがって光量の大幅な低
下を招かないようになっている。
【0032】また、請求項10の画像入力光学系によれ
ば、ズームレンズによるワイド状態での光束規制を第1
群に設けた光規制板によって行うので、簡単な構成であ
りながら、ワイド状態におけるスミアーを好適に低減す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施形態の撮像ユニットの構
造を示す図。
【図2】 その撮像ユニットのCCDセンサーの一部分
を示す図。
【図3】 そのCCDセンサーの1つの受光部の構成を
示す図。
【図4】 そのCCDセンサーの一部の断面図。
【図5】 その画像入力光学系に有する絞りの形状を示
す図。
【図6】 その絞りの別の形状を示す図。
【図7】 その絞りのさらに別の形状を示す図。
【図8】 本発明の第2の実施形態の撮像ユニットの構
造を示す図。
【図9】 画像入力光学系の瞳と撮像素子の関係を示す
図。
【図10】 その撮像素子の受光部に照射される光束の
位置を示す図。
【図11】 撮像ユニットのスミアーの原因を説明する
ための撮像素子の受光部の一部の断面図。
【図12】 本発明の第1と第3の実施形態の撮像ユニ
ットの撮像素子の両サイドの受光部で照射される光束を
示す図。
【符号の説明】
1 光規制板 2 絞り 3 CCDセンサー 5 受光部(フォトダイオード部) 6 垂直転送部(垂直レジスタ部) 7 アルミニウム膜 8 マイクロレンズ 10 シリコン(Si)層 11 酸化膜 12 瞳 13 光軸 20 第1群 21 第2群 22 光規制板 23 絞り 24 CCDセンサー

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マトリックス状に矩形状の受光部と前記
    受光部に対応して配置されたマイクロレンズが一体的に
    構成されている撮像素子と、 撮像素子上に像を形成する画像入力光学系と、 水平方向の形状が前記撮像素子の受光部の形状に合致し
    た絞りと、 を有することを特徴とする撮像ユニット。
  2. 【請求項2】 前記絞りは、垂直方向に円弧形状、水平
    方向に直線状をした小判形状となっていることを特徴と
    する請求項1記載の撮像ユニット。
  3. 【請求項3】 マトリックス状に矩形状の受光部と前記
    受光部に対応して配置されたマイクロレンズが一体的に
    構成されている撮像素子と、 撮像素子上に像を形成する画像入力光学系と、 絞りとは別体に設けられ、水平方向の形状が前記撮像素
    子の受光部の形状に合致した光規制板と、 を有することを特徴とする撮像ユニット。
  4. 【請求項4】 前記光規制板は、水平方向のいずれか一
    方の側に設けられていることを特徴とする請求項3に記
    載の撮像ユニット。
  5. 【請求項5】 前記光規制板は、垂直方向に円弧形状、
    水平方向に直線状をした小判形状となっていることを特
    徴とする請求項3または請求項4のいずれかに記載の撮
    像ユニット。
  6. 【請求項6】 前記撮像素子は、前記受光部に隣接した
    電荷転送部を備えていることを特徴とする請求項1乃至
    5記載の撮像ユニット。
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