JP2000074857A - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
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- JP2000074857A JP2000074857A JP10241191A JP24119198A JP2000074857A JP 2000074857 A JP2000074857 A JP 2000074857A JP 10241191 A JP10241191 A JP 10241191A JP 24119198 A JP24119198 A JP 24119198A JP 2000074857 A JP2000074857 A JP 2000074857A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 蛍光Ｘ線分析において、指定された合計測定
時間や分析精度、さらに試料における元素濃度に応じ
て、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行う装置
を提供する。 【解決手段】 試料からの蛍光Ｘ線のピークおよびバッ
クグラウンド強度を所定の仮測定時間で測定する第１測
定手段12と、それらの仮測定強度に基づき、指定された
合計測定時間において、最良の分析精度が得られるピー
クおよびバックグラウンド測定時間を算出する第１算出
手段16と、それらの算出された測定時間で、ピークおよ
びバックグラウンド強度を測定する第２測定手段20等を
備える。
時間や分析精度、さらに試料における元素濃度に応じ
て、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行う装置
を提供する。 【解決手段】 試料からの蛍光Ｘ線のピークおよびバッ
クグラウンド強度を所定の仮測定時間で測定する第１測
定手段12と、それらの仮測定強度に基づき、指定された
合計測定時間において、最良の分析精度が得られるピー
クおよびバックグラウンド測定時間を算出する第１算出
手段16と、それらの算出された測定時間で、ピークおよ
びバックグラウンド強度を測定する第２測定手段20等を
備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料に１次Ｘ線を
照射して発生する蛍光Ｘ線の強度を測定し、その測定強
度に基づいて、試料における元素の濃度を求める蛍光Ｘ
線分析装置に関するものである。
照射して発生する蛍光Ｘ線の強度を測定し、その測定強
度に基づいて、試料における元素の濃度を求める蛍光Ｘ
線分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、試料に１次Ｘ線を照射して、
試料中の元素から発生する蛍光Ｘ線の強度を測定し、そ
の測定強度に基づいて、試料における元素の濃度（含有
率）を求めるいわゆる蛍光Ｘ線分析がある。この蛍光Ｘ
線分析でいわゆるバックグラウンド除去を行う場合にお
いて、分析対象の元素について試料が高濃度でピーク強
度が大きい場合には、バックグラウンド強度との比も大
きく、精度的にも、バックグラウンド強度の測定時間
は、ピーク強度の測定時間よりも短くてもよい。一方、
分析対象の元素が微量元素の場合には、ピーク位置（波
長に対応する分光角）とバックグラウンド位置は通常ほ
とんど同一であり、バックグラウンド強度の測定時間を
ピーク強度の測定時間と同一とするのが適切である。す
なわち、ピーク強度とバックグラウンド強度の各測定時
間は、試料における元素濃度や分析精度を考慮して、最
適に定められるべきである。
試料中の元素から発生する蛍光Ｘ線の強度を測定し、そ
の測定強度に基づいて、試料における元素の濃度（含有
率）を求めるいわゆる蛍光Ｘ線分析がある。この蛍光Ｘ
線分析でいわゆるバックグラウンド除去を行う場合にお
いて、分析対象の元素について試料が高濃度でピーク強
度が大きい場合には、バックグラウンド強度との比も大
きく、精度的にも、バックグラウンド強度の測定時間
は、ピーク強度の測定時間よりも短くてもよい。一方、
分析対象の元素が微量元素の場合には、ピーク位置（波
長に対応する分光角）とバックグラウンド位置は通常ほ
とんど同一であり、バックグラウンド強度の測定時間を
ピーク強度の測定時間と同一とするのが適切である。す
なわち、ピーク強度とバックグラウンド強度の各測定時
間は、試料における元素濃度や分析精度を考慮して、最
適に定められるべきである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の蛍光Ｘ
線分析においては、例えば、試料における元素濃度等を
特に考慮せず、一律に、ピーク強度とバックグラウンド
強度をそれぞれ所定の測定時間で測定する等の手段が取
られている。これでは、十分な分析精度が得られなかっ
たり、無駄な測定時間が費やされるおそれがある。ま
た、バックグラウンド除去を行わない場合においても、
ピーク強度の測定時間は、試料における元素濃度や分析
精度を考慮して、最適に定められるべきである。さら
に、測定時間が非現実的に長くならないように配慮する
必要もある。
線分析においては、例えば、試料における元素濃度等を
特に考慮せず、一律に、ピーク強度とバックグラウンド
強度をそれぞれ所定の測定時間で測定する等の手段が取
られている。これでは、十分な分析精度が得られなかっ
たり、無駄な測定時間が費やされるおそれがある。ま
た、バックグラウンド除去を行わない場合においても、
ピーク強度の測定時間は、試料における元素濃度や分析
精度を考慮して、最適に定められるべきである。さら
に、測定時間が非現実的に長くならないように配慮する
必要もある。
【０００４】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、いわゆる蛍光Ｘ線分析において、指定された合
計測定時間や分析精度、さらに試料における元素濃度に
応じて、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行う
装置を提供することを目的とする。
もので、いわゆる蛍光Ｘ線分析において、指定された合
計測定時間や分析精度、さらに試料における元素濃度に
応じて、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行う
装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１の蛍光Ｘ線分析装置は、まず、試料が固定
される試料台と、試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、
試料から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段と
を備える。さらに、以下の第１測定手段、第１算出手段
および第２測定手段段を備える。前記第１測定手段は、
試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度およびバック
グラウンド強度を所定の仮測定時間で前記検出手段に測
定させる。
に、請求項１の蛍光Ｘ線分析装置は、まず、試料が固定
される試料台と、試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、
試料から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段と
を備える。さらに、以下の第１測定手段、第１算出手段
および第２測定手段段を備える。前記第１測定手段は、
試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度およびバック
グラウンド強度を所定の仮測定時間で前記検出手段に測
定させる。
【０００６】前記第１算出手段は、前記第１測定手段に
より測定されたピーク仮測定強度およびバックグラウン
ド仮測定強度に基づいて、指定された合計測定時間にお
いて、最も良い分析精度が得られるピーク測定時間およ
びバックグラウンド測定時間を算出する。前記第２測定
手段は、試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前
記蛍光Ｘ線のピーク強度およびバックグラウンド強度
を、前記第１算出手段により算出されたピーク測定時間
およびバックグラウンド測定時間で、前記検出手段に測
定させる。
より測定されたピーク仮測定強度およびバックグラウン
ド仮測定強度に基づいて、指定された合計測定時間にお
いて、最も良い分析精度が得られるピーク測定時間およ
びバックグラウンド測定時間を算出する。前記第２測定
手段は、試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前
記蛍光Ｘ線のピーク強度およびバックグラウンド強度
を、前記第１算出手段により算出されたピーク測定時間
およびバックグラウンド測定時間で、前記検出手段に測
定させる。
【０００７】請求項１の装置によれば、ピーク仮測定強
度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定
された合計測定時間において、最も良い分析精度が得ら
れるピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間を
算出し、それらの各測定時間で測定を行うので、指定さ
れた合計測定時間および試料における元素濃度に応じ
て、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行うこと
ができる。
度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定
された合計測定時間において、最も良い分析精度が得ら
れるピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間を
算出し、それらの各測定時間で測定を行うので、指定さ
れた合計測定時間および試料における元素濃度に応じ
て、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行うこと
ができる。
【０００８】請求項２の蛍光Ｘ線分析装置は、まず、請
求項１の装置と同様に、試料台と、Ｘ線源と、検出手段
と、第１測定手段とを備える。さらに、以下の第２算出
手段および第３測定手段を備える。前記第２算出手段
は、前記第１測定手段により測定されたピーク仮測定強
度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定
されたネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計測定
時間が最短となるピーク測定時間およびバックグラウン
ド測定時間を算出する。前記第３測定手段は、試料に前
記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピー
ク強度およびバックグラウンド強度を、前記第２算出手
段により算出されたピーク測定時間およびバックグラウ
ンド測定時間で、前記検出手段に測定させる。
求項１の装置と同様に、試料台と、Ｘ線源と、検出手段
と、第１測定手段とを備える。さらに、以下の第２算出
手段および第３測定手段を備える。前記第２算出手段
は、前記第１測定手段により測定されたピーク仮測定強
度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定
されたネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計測定
時間が最短となるピーク測定時間およびバックグラウン
ド測定時間を算出する。前記第３測定手段は、試料に前
記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピー
ク強度およびバックグラウンド強度を、前記第２算出手
段により算出されたピーク測定時間およびバックグラウ
ンド測定時間で、前記検出手段に測定させる。
【０００９】請求項２の装置によれば、ピーク仮測定強
度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定
されたネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計測定
時間が最短となるピーク測定時間およびバックグラウン
ド測定時間を算出し、それらの各測定時間で測定を行う
ので、指定されたネット強度の相対精度（分析精度）お
よび試料における元素濃度に応じて、適切な時間と分析
精度での測定を自動的に行うことができる。
度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定
されたネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計測定
時間が最短となるピーク測定時間およびバックグラウン
ド測定時間を算出し、それらの各測定時間で測定を行う
ので、指定されたネット強度の相対精度（分析精度）お
よび試料における元素濃度に応じて、適切な時間と分析
精度での測定を自動的に行うことができる。
【００１０】請求項３の蛍光Ｘ線分析装置は、まず、請
求項１の装置と同様に、試料台と、Ｘ線源と、検出手段
とを備える。さらに、以下の第４測定手段、第３算出手
段および第５測定手段を備える。前記第４測定手段は、
試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度を指定された
ピーク測定時間で、バックグラウンド強度を所定の仮測
定時間で前記検出手段に測定させる。前記第３算出手段
は、前記第４測定手段により測定されたピーク測定強度
およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、前記指
定されたピーク測定時間との合計測定時間に対して最も
良い精度が得られるバックグラウンド測定時間を算出す
る。前記第５測定手段は、試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ
線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のバックグラウンド強度
を、前記第３算出手段により算出されたバックグラウン
ド測定時間で、前記検出手段に測定させる。
求項１の装置と同様に、試料台と、Ｘ線源と、検出手段
とを備える。さらに、以下の第４測定手段、第３算出手
段および第５測定手段を備える。前記第４測定手段は、
試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度を指定された
ピーク測定時間で、バックグラウンド強度を所定の仮測
定時間で前記検出手段に測定させる。前記第３算出手段
は、前記第４測定手段により測定されたピーク測定強度
およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、前記指
定されたピーク測定時間との合計測定時間に対して最も
良い精度が得られるバックグラウンド測定時間を算出す
る。前記第５測定手段は、試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ
線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のバックグラウンド強度
を、前記第３算出手段により算出されたバックグラウン
ド測定時間で、前記検出手段に測定させる。
【００１１】請求項３の装置によれば、ピーク強度につ
いては、指定されたピーク測定時間で測定を行い、バッ
クグラウンド強度については、そのピーク測定強度およ
びバックグラウンド仮測定強度に基づいて、前記指定さ
れたピーク測定時間との合計測定時間に対して最も良い
精度が得られるバックグラウンド測定時間を算出し、そ
のバックグラウンド測定時間で測定を行うので、指定さ
れたピーク測定時間および試料における元素濃度に応じ
て、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行うこと
ができる。
いては、指定されたピーク測定時間で測定を行い、バッ
クグラウンド強度については、そのピーク測定強度およ
びバックグラウンド仮測定強度に基づいて、前記指定さ
れたピーク測定時間との合計測定時間に対して最も良い
精度が得られるバックグラウンド測定時間を算出し、そ
のバックグラウンド測定時間で測定を行うので、指定さ
れたピーク測定時間および試料における元素濃度に応じ
て、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行うこと
ができる。
【００１２】請求項４の蛍光Ｘ線分析装置は、まず、請
求項１の装置と同様に、試料台と、Ｘ線源と、検出手段
とを備える。さらに、以下の第６測定手段、第４算出手
段および第７測定手段を備える。前記第６測定手段は、
試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度を所定の仮測
定時間で前記検出手段に測定させる。前記第４算出手段
は、前記第６測定手段により測定されたピーク仮測定強
度に基づいて、指定された相対精度が得られるピーク測
定時間を算出する。前記第７測定手段は、前記第４算出
手段により算出されたピーク測定時間が指定されたピー
ク測定時間以下である場合には、試料に前記Ｘ線源から
１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピーク強度を前記
算出されたピーク測定時間で前記検出手段に測定させ、
一方、前記算出されたピーク測定時間が前記指定された
ピーク測定時間よりも長い場合には、試料に前記Ｘ線源
から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピーク強度を
前記指定されたピーク測定時間で前記検出手段に測定さ
せる。
求項１の装置と同様に、試料台と、Ｘ線源と、検出手段
とを備える。さらに、以下の第６測定手段、第４算出手
段および第７測定手段を備える。前記第６測定手段は、
試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度を所定の仮測
定時間で前記検出手段に測定させる。前記第４算出手段
は、前記第６測定手段により測定されたピーク仮測定強
度に基づいて、指定された相対精度が得られるピーク測
定時間を算出する。前記第７測定手段は、前記第４算出
手段により算出されたピーク測定時間が指定されたピー
ク測定時間以下である場合には、試料に前記Ｘ線源から
１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピーク強度を前記
算出されたピーク測定時間で前記検出手段に測定させ、
一方、前記算出されたピーク測定時間が前記指定された
ピーク測定時間よりも長い場合には、試料に前記Ｘ線源
から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピーク強度を
前記指定されたピーク測定時間で前記検出手段に測定さ
せる。
【００１３】請求項４の装置によれば、ピーク仮測定強
度に基づいて、指定された相対精度が得られるピーク測
定時間を算出し、それが指定されたピーク測定時間以下
である場合には、算出されたピーク測定時間で測定し、
指定されたピーク測定時間よりも長い場合には、その指
定されたピーク測定時間で測定を行うので、指定された
相対精度およびピーク測定時間、ならびに試料における
元素濃度に応じて、適切な時間と分析精度での測定を自
動的に行うことができる。
度に基づいて、指定された相対精度が得られるピーク測
定時間を算出し、それが指定されたピーク測定時間以下
である場合には、算出されたピーク測定時間で測定し、
指定されたピーク測定時間よりも長い場合には、その指
定されたピーク測定時間で測定を行うので、指定された
相対精度およびピーク測定時間、ならびに試料における
元素濃度に応じて、適切な時間と分析精度での測定を自
動的に行うことができる。
【００１４】請求項５の蛍光Ｘ線分析装置は、まず、請
求項１の装置と同様に、試料台と、Ｘ線源と、検出手段
と、第１測定手段と、第１算出手段とを備える。また、
請求項２の装置と同様に、第２算出手段を備える。さら
に、以下の第８測定手段を備える。前記第８測定手段
は、前記第２算出手段により算出された合計測定時間が
指定された合計測定時間以下である場合には、試料に前
記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピー
ク強度およびバックグラウンド強度を前記第２算出手段
により算出されたピーク測定時間およびバックグラウン
ド測定時間で前記検出手段に測定させ、一方、前記第２
算出手段により算出された合計測定時間が前記指定され
た合計測定時間よりも長い場合には、試料に前記Ｘ線源
から１次Ｘ線を照射させ、前記第１算出手段により算出
されたピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間
で前記検出手段に測定させる。
求項１の装置と同様に、試料台と、Ｘ線源と、検出手段
と、第１測定手段と、第１算出手段とを備える。また、
請求項２の装置と同様に、第２算出手段を備える。さら
に、以下の第８測定手段を備える。前記第８測定手段
は、前記第２算出手段により算出された合計測定時間が
指定された合計測定時間以下である場合には、試料に前
記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピー
ク強度およびバックグラウンド強度を前記第２算出手段
により算出されたピーク測定時間およびバックグラウン
ド測定時間で前記検出手段に測定させ、一方、前記第２
算出手段により算出された合計測定時間が前記指定され
た合計測定時間よりも長い場合には、試料に前記Ｘ線源
から１次Ｘ線を照射させ、前記第１算出手段により算出
されたピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間
で前記検出手段に測定させる。
【００１５】請求項５の装置によれば、ピーク仮測定強
度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定
されたネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計測定
時間が最短となるピーク測定時間およびバックグラウン
ド測定時間を算出し、その合計測定時間が指定された合
計測定時間以下である場合には、算出された各測定時間
で測定を行う。一方、合計測定時間が前記指定された合
計測定時間よりも長い場合には、ピーク仮測定強度およ
びバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定された
合計測定時間において、最も良い分析精度が得られるピ
ーク測定時間およびバックグラウンド測定時間を算出
し、それらの各測定時間で測定を行う。したがって、指
定されたネット強度の相対精度および合計測定時間、な
らびに試料における元素濃度に応じて、適切な時間と分
析精度での測定を自動的に行うことができる。
度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定
されたネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計測定
時間が最短となるピーク測定時間およびバックグラウン
ド測定時間を算出し、その合計測定時間が指定された合
計測定時間以下である場合には、算出された各測定時間
で測定を行う。一方、合計測定時間が前記指定された合
計測定時間よりも長い場合には、ピーク仮測定強度およ
びバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定された
合計測定時間において、最も良い分析精度が得られるピ
ーク測定時間およびバックグラウンド測定時間を算出
し、それらの各測定時間で測定を行う。したがって、指
定されたネット強度の相対精度および合計測定時間、な
らびに試料における元素濃度に応じて、適切な時間と分
析精度での測定を自動的に行うことができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態の装置
について説明する。まず、この装置の構成について、図
１にしたがって説明する。この装置は、まず、試料３が
固定される試料台８と、試料３に１次Ｘ線２を照射する
Ｘ線源１と、試料３から発生する２次Ｘ線６の強度を測
定する検出手段１０とを備えている。検出手段１０は、
試料３から発生した２次Ｘ線４を分光する分光器５と、
分光器５で分光された波長ごとの２次Ｘ線６の強度を測
定する検出器７からなる。この装置は、分光器５と検出
器７がゴニオメータによって連動されるいわゆるスキャ
ン型の装置である。また、この装置は、以下の第１測定
手段１２、第４測定手段１４、第６測定手段１５、第１
算出手段１６、第２算出手段１７、第３算出手段１８、
第４算出手段１９、第２測定手段２０、第３測定手段２
１、第５測定手段２２、第７測定手段２３、第８測定手
段２４を含む制御手段２５を備えている。
について説明する。まず、この装置の構成について、図
１にしたがって説明する。この装置は、まず、試料３が
固定される試料台８と、試料３に１次Ｘ線２を照射する
Ｘ線源１と、試料３から発生する２次Ｘ線６の強度を測
定する検出手段１０とを備えている。検出手段１０は、
試料３から発生した２次Ｘ線４を分光する分光器５と、
分光器５で分光された波長ごとの２次Ｘ線６の強度を測
定する検出器７からなる。この装置は、分光器５と検出
器７がゴニオメータによって連動されるいわゆるスキャ
ン型の装置である。また、この装置は、以下の第１測定
手段１２、第４測定手段１４、第６測定手段１５、第１
算出手段１６、第２算出手段１７、第３算出手段１８、
第４算出手段１９、第２測定手段２０、第３測定手段２
１、第５測定手段２２、第７測定手段２３、第８測定手
段２４を含む制御手段２５を備えている。
【００１７】前記第１測定手段１２、第４測定手段１
４、第６測定手段１５は、試料３にＸ線源１から１次Ｘ
線２を照射させ、それぞれ以下のように、試料３中の元
素から発生する蛍光Ｘ線４のピーク強度等を検出手段１
０に測定させる。前記第１測定手段１２は、ピーク強度
およびバックグラウンド強度を所定の仮測定時間で測定
させる。前記第４測定手段１４は、ピーク強度を指定さ
れたピーク測定時間で、バックグラウンド強度を所定の
仮測定時間で測定させる。前記第６測定手段１５は、ピ
ーク強度を所定の仮測定時間で測定させる。
４、第６測定手段１５は、試料３にＸ線源１から１次Ｘ
線２を照射させ、それぞれ以下のように、試料３中の元
素から発生する蛍光Ｘ線４のピーク強度等を検出手段１
０に測定させる。前記第１測定手段１２は、ピーク強度
およびバックグラウンド強度を所定の仮測定時間で測定
させる。前記第４測定手段１４は、ピーク強度を指定さ
れたピーク測定時間で、バックグラウンド強度を所定の
仮測定時間で測定させる。前記第６測定手段１５は、ピ
ーク強度を所定の仮測定時間で測定させる。
【００１８】前記第１算出手段１６、第２算出手段１
７、第３算出手段１８、第４算出手段１９は、それぞれ
以下のように、前記第１測定手段１２等により測定され
た強度に基づいて、ピーク測定時間等を算出する。前記
第１算出手段１６は、前記第１測定手段１２により測定
されたピーク仮測定強度およびバックグラウンド仮測定
強度に基づいて、指定された合計測定時間において、最
も良い分析精度が得られるピーク測定時間およびバック
グラウンド測定時間を算出する。前記第２算出手段１７
は、前記第１測定手段１２により測定されたピーク仮測
定強度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、
指定されたネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計
測定時間が最短となるピーク測定時間およびバックグラ
ウンド測定時間を算出する。
７、第３算出手段１８、第４算出手段１９は、それぞれ
以下のように、前記第１測定手段１２等により測定され
た強度に基づいて、ピーク測定時間等を算出する。前記
第１算出手段１６は、前記第１測定手段１２により測定
されたピーク仮測定強度およびバックグラウンド仮測定
強度に基づいて、指定された合計測定時間において、最
も良い分析精度が得られるピーク測定時間およびバック
グラウンド測定時間を算出する。前記第２算出手段１７
は、前記第１測定手段１２により測定されたピーク仮測
定強度およびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、
指定されたネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計
測定時間が最短となるピーク測定時間およびバックグラ
ウンド測定時間を算出する。
【００１９】前記第３算出手段１８は、前記第４測定手
段１４により測定されたピーク測定強度およびバックグ
ラウンド仮測定強度に基づいて、前記指定されたピーク
測定時間との合計測定時間に対して最も良い精度が得ら
れるバックグラウンド測定時間を算出する。前記第４算
出手段１９は、前記第６測定手段１５により測定された
ピーク仮測定強度に基づいて、指定されたピーク強度の
相対精度が得られるピーク測定時間を算出する。
段１４により測定されたピーク測定強度およびバックグ
ラウンド仮測定強度に基づいて、前記指定されたピーク
測定時間との合計測定時間に対して最も良い精度が得ら
れるバックグラウンド測定時間を算出する。前記第４算
出手段１９は、前記第６測定手段１５により測定された
ピーク仮測定強度に基づいて、指定されたピーク強度の
相対精度が得られるピーク測定時間を算出する。
【００２０】前記第２測定手段２０、第３測定手段２
１、第５測定手段２２、第７測定手段２３、第８測定手
段２４は、試料３にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射さ
せ、それぞれ以下のように、試料３中の元素から発生す
る蛍光Ｘ線４のピーク強度等を検出手段１０に測定させ
る。前記第２測定手段２０は、ピーク強度およびバック
グラウンド強度を、前記第１算出手段１２により算出さ
れたピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間で
測定させる。前記第３測定手段２１は、ピーク強度およ
びバックグラウンド強度を、前記第２算出手段１７によ
り算出されたピーク測定時間およびバックグラウンド測
定時間で測定させる。前記第５測定手段２２は、バック
グラウンド強度を、前記第３算出手段１８により算出さ
れたバックグラウンド測定時間で測定させる。
１、第５測定手段２２、第７測定手段２３、第８測定手
段２４は、試料３にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射さ
せ、それぞれ以下のように、試料３中の元素から発生す
る蛍光Ｘ線４のピーク強度等を検出手段１０に測定させ
る。前記第２測定手段２０は、ピーク強度およびバック
グラウンド強度を、前記第１算出手段１２により算出さ
れたピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間で
測定させる。前記第３測定手段２１は、ピーク強度およ
びバックグラウンド強度を、前記第２算出手段１７によ
り算出されたピーク測定時間およびバックグラウンド測
定時間で測定させる。前記第５測定手段２２は、バック
グラウンド強度を、前記第３算出手段１８により算出さ
れたバックグラウンド測定時間で測定させる。
【００２１】前記第７測定手段２３は、前記第４算出手
段１９により算出されたピーク測定時間が指定されたピ
ーク測定時間以下である場合には、ピーク強度を前記算
出されたピーク測定時間で測定させ、一方、前記算出さ
れたピーク測定時間が前記指定されたピーク測定時間よ
りも長い場合には、ピーク強度を前記指定されたピーク
測定時間で測定させる。前記第８測定手段２４は、前記
第２算出手段１７により算出された合計測定時間が指定
された合計測定時間以下である場合には、ピーク強度お
よびバックグラウンド強度を前記第２算出手段１７によ
り算出されたピーク測定時間およびバックグラウンド測
定時間で測定させ、一方、前記第２算出手段１７により
算出された合計測定時間が前記指定された合計測定時間
よりも長い場合には、前記第１算出手段１２により算出
されたピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間
で測定させる。
段１９により算出されたピーク測定時間が指定されたピ
ーク測定時間以下である場合には、ピーク強度を前記算
出されたピーク測定時間で測定させ、一方、前記算出さ
れたピーク測定時間が前記指定されたピーク測定時間よ
りも長い場合には、ピーク強度を前記指定されたピーク
測定時間で測定させる。前記第８測定手段２４は、前記
第２算出手段１７により算出された合計測定時間が指定
された合計測定時間以下である場合には、ピーク強度お
よびバックグラウンド強度を前記第２算出手段１７によ
り算出されたピーク測定時間およびバックグラウンド測
定時間で測定させ、一方、前記第２算出手段１７により
算出された合計測定時間が前記指定された合計測定時間
よりも長い場合には、前記第１算出手段１２により算出
されたピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間
で測定させる。
【００２２】次に、この装置の動作について説明する。
最初に、試料３についてピーク強度ＩP およびバックグ
ラウンド強度ＩB を測定する場合であって、ピーク測定
時間ＴP (sec) とバックグラウンド測定時間ＴB (sec)
との合計測定時間Ｔ(sec) （Ｔ＝ＴP ＋ＴB ）を指定す
る場合について説明する。操作者により、試料３につい
てピーク強度ＩP およびバックグラウンド強度ＩB を測
定する旨、指定の合計測定時間Ｔが、制御手段２５に入
力されると、第１測定手段１２は、試料３にＸ線源１か
ら１次Ｘ線２を照射させ、その試料３中の元素から発生
する蛍光Ｘ線４のピーク強度 TＩP (cps) およびバック
グラウンド強度 TＩB (cps) を、所定の短い仮測定時
間、例えば１(sec) で測定させる（添字 Tは、仮測定で
あることを示す）。
最初に、試料３についてピーク強度ＩP およびバックグ
ラウンド強度ＩB を測定する場合であって、ピーク測定
時間ＴP (sec) とバックグラウンド測定時間ＴB (sec)
との合計測定時間Ｔ(sec) （Ｔ＝ＴP ＋ＴB ）を指定す
る場合について説明する。操作者により、試料３につい
てピーク強度ＩP およびバックグラウンド強度ＩB を測
定する旨、指定の合計測定時間Ｔが、制御手段２５に入
力されると、第１測定手段１２は、試料３にＸ線源１か
ら１次Ｘ線２を照射させ、その試料３中の元素から発生
する蛍光Ｘ線４のピーク強度 TＩP (cps) およびバック
グラウンド強度 TＩB (cps) を、所定の短い仮測定時
間、例えば１(sec) で測定させる（添字 Tは、仮測定で
あることを示す）。
【００２３】続いて、第１算出手段１６が、その第１測
定手段１２により測定されたピーク仮測定強度 TＩP お
よびバックグラウンド仮測定強度 TＩB に基づいて、指
定された合計測定時間Ｔにおいて、最も良い分析精度が
得られるピーク測定時間ＴPおよびバックグラウンド測
定時間ＴB を算出する。
定手段１２により測定されたピーク仮測定強度 TＩP お
よびバックグラウンド仮測定強度 TＩB に基づいて、指
定された合計測定時間Ｔにおいて、最も良い分析精度が
得られるピーク測定時間ＴPおよびバックグラウンド測
定時間ＴB を算出する。
【００２４】ここで、一般に、バックグラウンド測定点
が２点以下のとき、ネット強度ＩNは次式（１）で示さ
れる。ｋB1，ｋB2は、ピーク位置、各バックグラウンド
測定位置の関係から求められる。
が２点以下のとき、ネット強度ＩNは次式（１）で示さ
れる。ｋB1，ｋB2は、ピーク位置、各バックグラウンド
測定位置の関係から求められる。
【００２５】
【数１】
【００２６】また、与えられたピーク測定時間とバック
グラウンド測定時間との合計測定時間Ｔ（Ｔ＝ＴP ＋Ｔ
B1＋ＴB2）に対して、最も良い分析精度が得られると
き、統計的観点から、各測定強度ＩP ，ＩB1，ＩB2と各
測定時間ＴP ，ＴB1，ＴB2との関係は、次式（２）で示
される。
グラウンド測定時間との合計測定時間Ｔ（Ｔ＝ＴP ＋Ｔ
B1＋ＴB2）に対して、最も良い分析精度が得られると
き、統計的観点から、各測定強度ＩP ，ＩB1，ＩB2と各
測定時間ＴP ，ＴB1，ＴB2との関係は、次式（２）で示
される。
【００２７】
【数２】
【００２８】また、前述したように、次式（３）が成立
する。
する。
【００２９】
【数３】
【００３０】なお、ネット強度の精度σN (cps) は、次
式（４）で示される。
式（４）で示される。
【００３１】
【数４】
【００３２】すなわち、所定の短い仮測定時間で、ピー
ク強度 TＩP およびバックグラウンド強度 TＩB1， TＩ
B2を測定すれば、式（２），（３）により、最も良い分
析精度（ネット強度の精度σN ）が得られるときの各測
定時間ＴP ，ＴB1，ＴB2間の比率が算出でき、与えられ
た合計測定時間Ｔを分配して、最も良い分析精度σNが
得られるピーク測定時間ＴP およびバックグラウンド測
定時間ＴB1，ＴB2を算出できる。なお、バックグラウン
ド測定点が１点のときは、式（１）の右辺の第３項、式
（２）の右側の式、式（３）の右辺の第３項、式（４）
の右辺の第３項を無視すればよく、この場合にはｋB1＝
１とすることが多い。すなわち、次式（５）〜（８）に
よることになる。
ク強度 TＩP およびバックグラウンド強度 TＩB1， TＩ
B2を測定すれば、式（２），（３）により、最も良い分
析精度（ネット強度の精度σN ）が得られるときの各測
定時間ＴP ，ＴB1，ＴB2間の比率が算出でき、与えられ
た合計測定時間Ｔを分配して、最も良い分析精度σNが
得られるピーク測定時間ＴP およびバックグラウンド測
定時間ＴB1，ＴB2を算出できる。なお、バックグラウン
ド測定点が１点のときは、式（１）の右辺の第３項、式
（２）の右側の式、式（３）の右辺の第３項、式（４）
の右辺の第３項を無視すればよく、この場合にはｋB1＝
１とすることが多い。すなわち、次式（５）〜（８）に
よることになる。
【００３３】
【数５】
【００３４】
【数６】
【００３５】
【数７】
【００３６】
【数８】
【００３７】本実施形態の装置の第１算出手段１６にお
いても、前記第１測定手段１２により測定されたピーク
仮測定強度 TＩP およびバックグラウンド仮測定強度 T
ＩBに基づいて、式（６），（７）により、指定された
合計測定時間Ｔを分配し、最も良い分析精度σN が得ら
れるピーク測定時間ＴP およびバックグラウンド測定時
間ＴB を算出する。そして、第２測定手段２０が、試料
３にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射させ、前記蛍光Ｘ線
４のピーク強度ＩP およびバックグラウンド強度Ｉ
B を、前記第１算出手段１６により算出されたピーク測
定時間ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB で、検
出手段１０に測定させる。
いても、前記第１測定手段１２により測定されたピーク
仮測定強度 TＩP およびバックグラウンド仮測定強度 T
ＩBに基づいて、式（６），（７）により、指定された
合計測定時間Ｔを分配し、最も良い分析精度σN が得ら
れるピーク測定時間ＴP およびバックグラウンド測定時
間ＴB を算出する。そして、第２測定手段２０が、試料
３にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射させ、前記蛍光Ｘ線
４のピーク強度ＩP およびバックグラウンド強度Ｉ
B を、前記第１算出手段１６により算出されたピーク測
定時間ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB で、検
出手段１０に測定させる。
【００３８】例えば、合計測定時間Ｔ＝１００(sec) が
指定され、ピーク仮測定強度 TＩP＝４００００(cps)
およびバックグラウンド仮測定強度 TＩB ＝１００(cp
s) が得られたとすると、第１算出手段１６において、
式（６），（７）により、ピーク測定時間ＴP ＝９５(s
ec) およびバックグラウンド測定時間ＴB ＝５(sec) が
算出され（小数点以下四捨五入）、第２測定手段２０に
より、それらの各測定時間でピーク強度ＩP およびバッ
クグラウンド強度ＩB が測定される。このときのネット
強度の精度σN は、式（８）より、２１．０(cps) であ
る。
指定され、ピーク仮測定強度 TＩP＝４００００(cps)
およびバックグラウンド仮測定強度 TＩB ＝１００(cp
s) が得られたとすると、第１算出手段１６において、
式（６），（７）により、ピーク測定時間ＴP ＝９５(s
ec) およびバックグラウンド測定時間ＴB ＝５(sec) が
算出され（小数点以下四捨五入）、第２測定手段２０に
より、それらの各測定時間でピーク強度ＩP およびバッ
クグラウンド強度ＩB が測定される。このときのネット
強度の精度σN は、式（８）より、２１．０(cps) であ
る。
【００３９】これを、単純に、ピーク測定時間ＴP およ
びバックグラウンド測定時間ＴB のどちらも５０(sec)
で測定すると、ネット強度の精度σN は、２８．３(cp
s) という悪い値になり、また、ピーク測定時間ＴP お
よびバックグラウンド測定時間ＴB を同一時間にして、
本実施形態の装置と同等の２１．０(cps) という精度を
得るためには、合計１８２(sec) という長い測定時間を
要し、１８２−１００＝８２(sec) が無駄に費やされ
る。
びバックグラウンド測定時間ＴB のどちらも５０(sec)
で測定すると、ネット強度の精度σN は、２８．３(cp
s) という悪い値になり、また、ピーク測定時間ＴP お
よびバックグラウンド測定時間ＴB を同一時間にして、
本実施形態の装置と同等の２１．０(cps) という精度を
得るためには、合計１８２(sec) という長い測定時間を
要し、１８２−１００＝８２(sec) が無駄に費やされ
る。
【００４０】すなわち、本実施形態の装置によれば、ピ
ーク仮測定強度 TＩP およびバックグラウンド仮測定強
度 TＩB に基づいて、指定された合計測定時間Ｔにおい
て、最も良い分析精度σN が得られるピーク測定時間Ｔ
P およびバックグラウンド測定時間ＴB を算出し、それ
らの各測定時間ＴP ，ＴB で測定を行うので、指定され
た合計測定時間Ｔおよび試料３における元素濃度（ピー
ク仮測定強度 TＩP とバックグラウンド仮測定強度 TＩ
B との大小関係に反映）に応じて、適切な時間と分析精
度での測定を自動的に行うことができる。
ーク仮測定強度 TＩP およびバックグラウンド仮測定強
度 TＩB に基づいて、指定された合計測定時間Ｔにおい
て、最も良い分析精度σN が得られるピーク測定時間Ｔ
P およびバックグラウンド測定時間ＴB を算出し、それ
らの各測定時間ＴP ，ＴB で測定を行うので、指定され
た合計測定時間Ｔおよび試料３における元素濃度（ピー
ク仮測定強度 TＩP とバックグラウンド仮測定強度 TＩ
B との大小関係に反映）に応じて、適切な時間と分析精
度での測定を自動的に行うことができる。
【００４１】次に、試料３についてピーク強度ＩP およ
びバックグラウンド強度ＩB を測定する場合であって、
ネット強度の相対精度σR を指定する場合について説明
する。操作者により、ピーク強度ＩP およびバックグラ
ウンド強度ＩB を測定する旨、指定のネット強度の相対
精度σR が、制御手段２５に入力されると、前述した合
計測定時間Ｔが指定される場合と同様に、第１測定手段
１２が、ピーク仮測定強度 TＩP およびバックグラウン
ド仮測定強度 TＩB を検出手段１０に測定させる。
びバックグラウンド強度ＩB を測定する場合であって、
ネット強度の相対精度σR を指定する場合について説明
する。操作者により、ピーク強度ＩP およびバックグラ
ウンド強度ＩB を測定する旨、指定のネット強度の相対
精度σR が、制御手段２５に入力されると、前述した合
計測定時間Ｔが指定される場合と同様に、第１測定手段
１２が、ピーク仮測定強度 TＩP およびバックグラウン
ド仮測定強度 TＩB を検出手段１０に測定させる。
【００４２】続いて、第２算出手段１７が、第１測定手
段１２により測定されたピーク仮測定強度 TＩP および
バックグラウンド仮測定強度 TＩB に基づいて、指定さ
れたネット強度の相対精度σR が得られ、かつ、合計測
定時間Ｔが最短となるピーク測定時間ＴP およびバック
グラウンド測定時間ＴB を、以下のように算出する。
段１２により測定されたピーク仮測定強度 TＩP および
バックグラウンド仮測定強度 TＩB に基づいて、指定さ
れたネット強度の相対精度σR が得られ、かつ、合計測
定時間Ｔが最短となるピーク測定時間ＴP およびバック
グラウンド測定時間ＴB を、以下のように算出する。
【００４３】まず、前式（５）からネット強度ＩN を求
め、次式（９）に代入して、指定されたネット強度の相
対精度σR に対応するネット強度の精度σN を算出す
る。
め、次式（９）に代入して、指定されたネット強度の相
対精度σR に対応するネット強度の精度σN を算出す
る。
【００４４】
【数９】
【００４５】このネット強度の精度σN を用いて、前式
（６），（８）、さらにそれらから導かれる次式（１
０）により、指定されたネット強度の相対精度σR が得
られ、かつ合計測定時間Ｔが最短となるピーク測定時間
ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB が算出され
る。そして、第３測定手段２１が、前述した場合の第２
測定手段２０と同様に、試料３にＸ線源１から１次Ｘ線
２を照射させ、前記蛍光Ｘ線４のピーク強度ＩP および
バックグラウンド強度ＩB を、算出されたピーク測定時
間ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB で、検出手
段１０に測定させる。
（６），（８）、さらにそれらから導かれる次式（１
０）により、指定されたネット強度の相対精度σR が得
られ、かつ合計測定時間Ｔが最短となるピーク測定時間
ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB が算出され
る。そして、第３測定手段２１が、前述した場合の第２
測定手段２０と同様に、試料３にＸ線源１から１次Ｘ線
２を照射させ、前記蛍光Ｘ線４のピーク強度ＩP および
バックグラウンド強度ＩB を、算出されたピーク測定時
間ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB で、検出手
段１０に測定させる。
【００４６】
【数１０】
【００４７】このように、本実施形態の装置によれば、
ピーク仮測定強度 TＩP 、バックグラウンド仮測定強度
TＩB に基づいて、指定されたネット強度の相対精度σ
R が得られ、かつ、合計測定時間Ｔが最短となるピーク
測定時間ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB を算
出し、それらの各測定時間ＴP ，ＴB で測定を行うの
で、指定されたネット強度の相対精度σR および試料３
における元素濃度に応じて、適切な時間と分析精度での
測定を自動的に行うことができる。
ピーク仮測定強度 TＩP 、バックグラウンド仮測定強度
TＩB に基づいて、指定されたネット強度の相対精度σ
R が得られ、かつ、合計測定時間Ｔが最短となるピーク
測定時間ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB を算
出し、それらの各測定時間ＴP ，ＴB で測定を行うの
で、指定されたネット強度の相対精度σR および試料３
における元素濃度に応じて、適切な時間と分析精度での
測定を自動的に行うことができる。
【００４８】次に、試料３についてピーク強度ＩP およ
びバックグラウンド強度ＩB を測定する場合であって、
ピーク測定時間ＴP を指定する場合について説明する。
操作者により、ピーク強度ＩP およびバックグラウンド
強度ＩB を測定する旨、指定のピーク測定時間ＴP が、
制御手段２５に入力されると、第４測定手段１４が、試
料３にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射させ、その試料３
中の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度ＩP を指定
されたピーク測定時間ＴP で、バックグラウンド強度 T
ＩB を所定の仮測定時間で検出手段１０に測定させる。
びバックグラウンド強度ＩB を測定する場合であって、
ピーク測定時間ＴP を指定する場合について説明する。
操作者により、ピーク強度ＩP およびバックグラウンド
強度ＩB を測定する旨、指定のピーク測定時間ＴP が、
制御手段２５に入力されると、第４測定手段１４が、試
料３にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射させ、その試料３
中の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度ＩP を指定
されたピーク測定時間ＴP で、バックグラウンド強度 T
ＩB を所定の仮測定時間で検出手段１０に測定させる。
【００４９】続いて、第３算出手段１８が、第４測定手
段により測定されたピーク測定強度ＩP およびバックグ
ラウンド仮測定強度 TＩB に基づいて、前式（６）によ
り、指定されたピーク測定時間ＴP との合計測定時間Ｔ
に対して最も良い精度σN が得られるバックグラウンド
測定時間ＴB を算出する。そして、第５測定手段２２
が、試料３にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射させ、前記
蛍光Ｘ線４のバックグラウンド強度ＩB を、第３算出手
段１８により算出されたバックグラウンド測定時間ＴB
で、検出手段１０に測定させる。
段により測定されたピーク測定強度ＩP およびバックグ
ラウンド仮測定強度 TＩB に基づいて、前式（６）によ
り、指定されたピーク測定時間ＴP との合計測定時間Ｔ
に対して最も良い精度σN が得られるバックグラウンド
測定時間ＴB を算出する。そして、第５測定手段２２
が、試料３にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射させ、前記
蛍光Ｘ線４のバックグラウンド強度ＩB を、第３算出手
段１８により算出されたバックグラウンド測定時間ＴB
で、検出手段１０に測定させる。
【００５０】例えば、高濃度の試料３に対して、ピーク
測定時間ＴP ＝４０(sec) が指定され、ピーク測定強度
ＩP ＝４００００(cps) およびバックグラウンド仮測定
強度 TＩB ＝１００(cps) が得られたとすると、第３算
出手段１８において、式（６）により、バックグラウン
ド測定時間ＴB ＝２．０(sec) が算出され、第５測定手
段２２により、その測定時間ＴB でバックグラウンド強
度ＩB が測定される。このときのネット強度の精度σN
は、式（８）により、３２．４(cps) である。これを、
単純に、バックグラウンド測定時間ＴB もピーク測定時
間ＴP と同じ４０(sec) で測定すると、ネット強度の精
度σN は、３１．７(cps) でほとんど変わらないのに、
合計測定時間Ｔで（４０＋４０）−（４０＋２）＝３８
(sec) も無駄に長くなってしまう。
測定時間ＴP ＝４０(sec) が指定され、ピーク測定強度
ＩP ＝４００００(cps) およびバックグラウンド仮測定
強度 TＩB ＝１００(cps) が得られたとすると、第３算
出手段１８において、式（６）により、バックグラウン
ド測定時間ＴB ＝２．０(sec) が算出され、第５測定手
段２２により、その測定時間ＴB でバックグラウンド強
度ＩB が測定される。このときのネット強度の精度σN
は、式（８）により、３２．４(cps) である。これを、
単純に、バックグラウンド測定時間ＴB もピーク測定時
間ＴP と同じ４０(sec) で測定すると、ネット強度の精
度σN は、３１．７(cps) でほとんど変わらないのに、
合計測定時間Ｔで（４０＋４０）−（４０＋２）＝３８
(sec) も無駄に長くなってしまう。
【００５１】また、低濃度の試料３に対し、ピーク測定
時間ＴP ＝５０(sec) が指定され、ピーク測定強度ＩP
＝１２０(cps) およびバックグラウンド仮測定強度 TＩ
B ＝１００(cps) が得られたとすると、第３算出手段１
８において、バックグラウンド測定時間ＴB ＝４６(se
c) が算出され、第５測定手段２２により、そのバック
グラウンド測定時間ＴB でバックグラウンド強度ＩB が
測定される。このときのネット強度の精度σN は、２．
１(cps) である。これを、単純に、バックグラウンド測
定時間ＴB もピーク測定時間ＴP と同じ５０(sec) で測
定しても、ネット強度の精度σN は、やはり２．１(cp
s) で変わらないのに、合計測定時間Ｔで（５０＋５
０）−（５０＋４６）＝４(sec) だけ長くなる。
時間ＴP ＝５０(sec) が指定され、ピーク測定強度ＩP
＝１２０(cps) およびバックグラウンド仮測定強度 TＩ
B ＝１００(cps) が得られたとすると、第３算出手段１
８において、バックグラウンド測定時間ＴB ＝４６(se
c) が算出され、第５測定手段２２により、そのバック
グラウンド測定時間ＴB でバックグラウンド強度ＩB が
測定される。このときのネット強度の精度σN は、２．
１(cps) である。これを、単純に、バックグラウンド測
定時間ＴB もピーク測定時間ＴP と同じ５０(sec) で測
定しても、ネット強度の精度σN は、やはり２．１(cp
s) で変わらないのに、合計測定時間Ｔで（５０＋５
０）−（５０＋４６）＝４(sec) だけ長くなる。
【００５２】このように、本実施形態の装置によれば、
ピーク強度ＩP については、指定されたピーク測定時間
ＴP で測定を行い、バックグラウンド強度ＩB について
は、そのピーク測定強度ＩP およびバックグラウンド仮
測定強度 TＩB に基づいて、指定されたピーク測定時間
ＴP との合計測定時間Ｔに対して最も良い精度σN が得
られるバックグラウンド測定時間ＴB を算出し、そのバ
ックグラウンド測定時間ＴB で測定を行うので、指定さ
れたピーク測定時間ＴP および試料３における元素濃度
（ピーク測定強度ＩP とバックグラウンド仮測定強度 T
ＩB との大小関係に反映）に応じて、適切な時間と分析
精度での測定を自動的に行うことができる。また、仮測
定をバックグラウンド強度に対してのみ行うので、測定
全体におけるゴニオメータの駆動が少なくて済むという
利点もある。
ピーク強度ＩP については、指定されたピーク測定時間
ＴP で測定を行い、バックグラウンド強度ＩB について
は、そのピーク測定強度ＩP およびバックグラウンド仮
測定強度 TＩB に基づいて、指定されたピーク測定時間
ＴP との合計測定時間Ｔに対して最も良い精度σN が得
られるバックグラウンド測定時間ＴB を算出し、そのバ
ックグラウンド測定時間ＴB で測定を行うので、指定さ
れたピーク測定時間ＴP および試料３における元素濃度
（ピーク測定強度ＩP とバックグラウンド仮測定強度 T
ＩB との大小関係に反映）に応じて、適切な時間と分析
精度での測定を自動的に行うことができる。また、仮測
定をバックグラウンド強度に対してのみ行うので、測定
全体におけるゴニオメータの駆動が少なくて済むという
利点もある。
【００５３】次に、試料３についてピーク強度ＩP のみ
を測定する場合であって、ネット強度の相対精度σR と
ピーク測定時間の上限 LＴP （添字 Lは、上限値である
ことを示す）とを指定する場合について説明する。ま
ず、操作者により、ピーク強度ＩP のみを測定する旨、
指定のネット強度の相対精度σR およびピーク測定時間
の上限 LＴP が、制御手段２５に入力される。
を測定する場合であって、ネット強度の相対精度σR と
ピーク測定時間の上限 LＴP （添字 Lは、上限値である
ことを示す）とを指定する場合について説明する。ま
ず、操作者により、ピーク強度ＩP のみを測定する旨、
指定のネット強度の相対精度σR およびピーク測定時間
の上限 LＴP が、制御手段２５に入力される。
【００５４】ここで、指定すべきピーク測定時間の上限
LＴP は、以下のように求めることができる。まず、こ
の測定において、濃度とピーク強度に直線的な関係があ
るとすると、濃度がそれぞれ０．０１mass％，５．０ma
ss％の試料におけるピーク強度Ｉ0.01，Ｉ5.0 は、次式
（１１），（１２）で表される。
LＴP は、以下のように求めることができる。まず、こ
の測定において、濃度とピーク強度に直線的な関係があ
るとすると、濃度がそれぞれ０．０１mass％，５．０ma
ss％の試料におけるピーク強度Ｉ0.01，Ｉ5.0 は、次式
（１１），（１２）で表される。
【００５５】
【数１１】
【００５６】
【数１２】
【００５７】両式中、Ｒ1.0 は濃度１mass％あたりのネ
ット強度(cps) 、ＲB は濃度に無関係とした場合のバッ
クグラウンド強度(cps) であり、標準試料を用いて、例
えば、Ｒ1.0 ＝１００００、ＲB ＝１００と求めること
ができる。
ット強度(cps) 、ＲB は濃度に無関係とした場合のバッ
クグラウンド強度(cps) であり、標準試料を用いて、例
えば、Ｒ1.0 ＝１００００、ＲB ＝１００と求めること
ができる。
【００５８】さて、バックグラウンドを除去しない場合
のネット強度の相対精度σR は、ピーク強度の精度σP
を用いて次式（１３）で表され、ピーク強度の精度σP
は、さらに次式（１４）で表される。
のネット強度の相対精度σR は、ピーク強度の精度σP
を用いて次式（１３）で表され、ピーク強度の精度σP
は、さらに次式（１４）で表される。
【００５９】
【数１３】
【００６０】
【数１４】
【００６１】さらに、前式（５）を用いると、次式（１
５）が得られる。
５）が得られる。
【００６２】
【数１５】
【００６３】今、指定しようとする所望の相対精度σR
が０．００２であるとすると、例えば、濃度５．０mass
％の試料に対しては、式（１５），（１２）から、次式
（１６）のように、ピーク測定時間ＴP （この場合はす
なわち測定時間全体）が求められ、十分短時間の測定で
済むことが確認できる。
が０．００２であるとすると、例えば、濃度５．０mass
％の試料に対しては、式（１５），（１２）から、次式
（１６）のように、ピーク測定時間ＴP （この場合はす
なわち測定時間全体）が求められ、十分短時間の測定で
済むことが確認できる。
【００６４】
【数１６】
【００６５】一方、例えば、濃度０．０１mass％の試料
に対しては、所望の相対精度σR を０．０１にまで下げ
てみると、式（１５），（１１）から、次式（１７）の
ように、ピーク測定時間ＴP が求められる。
に対しては、所望の相対精度σR を０．０１にまで下げ
てみると、式（１５），（１１）から、次式（１７）の
ように、ピーク測定時間ＴP が求められる。
【００６６】
【数１７】
【００６７】これに対し、濃度０．０１mass％未満の試
料があったとしても、それについて、所望の相対精度σ
R ＝０．０１に固執して、２００(sec) を超えるピーク
測定時間ＴP で測定することにあまり意味がないと考え
られるときには、２００(sec) をピーク測定時間の上限
LＴP として指定すればよい。
料があったとしても、それについて、所望の相対精度σ
R ＝０．０１に固執して、２００(sec) を超えるピーク
測定時間ＴP で測定することにあまり意味がないと考え
られるときには、２００(sec) をピーク測定時間の上限
LＴP として指定すればよい。
【００６８】このようにして、操作者により、ピーク強
度ＩP のみを測定する旨、指定のネット強度の相対精度
σR およびピーク測定時間の上限 LＴP が、制御手段２
５に入力されると、第６測定手段１５が、試料３にＸ線
源１から１次Ｘ線２を照射させ、その試料３中の元素か
ら発生する蛍光Ｘ線のピーク強度 TＩP を所定の仮測定
時間で検出手段１０に測定させる。続いて、第４算出手
段１９が、第６測定手段１５により測定されたピーク仮
測定強度 TＩP に基づいて、指定されたネット強度の相
対精度σR が得られるピーク測定時間ＴP を、前式（１
５）により算出する。なお、バックグラウンド強度ＩB
については、標準試料を用いて求めた前述のＲB を用い
ることができる。
度ＩP のみを測定する旨、指定のネット強度の相対精度
σR およびピーク測定時間の上限 LＴP が、制御手段２
５に入力されると、第６測定手段１５が、試料３にＸ線
源１から１次Ｘ線２を照射させ、その試料３中の元素か
ら発生する蛍光Ｘ線のピーク強度 TＩP を所定の仮測定
時間で検出手段１０に測定させる。続いて、第４算出手
段１９が、第６測定手段１５により測定されたピーク仮
測定強度 TＩP に基づいて、指定されたネット強度の相
対精度σR が得られるピーク測定時間ＴP を、前式（１
５）により算出する。なお、バックグラウンド強度ＩB
については、標準試料を用いて求めた前述のＲB を用い
ることができる。
【００６９】そして、第７測定手段２３が、第４算出手
段１９により算出されたピーク測定時間ＴP が指定され
たピーク測定時間 LＴP 以下である場合には、試料３に
Ｘ線源１から１次Ｘ線２を照射させ、前記蛍光Ｘ線４の
ピーク強度ＩP を算出されたピーク測定時間ＴP で検出
手段１０に測定させ、一方、算出されたピーク測定時間
ＴP が指定されたピーク測定時間 LＴP よりも長い場合
には、指定されたピーク測定時間 LＴP で同様に測定さ
せる。
段１９により算出されたピーク測定時間ＴP が指定され
たピーク測定時間 LＴP 以下である場合には、試料３に
Ｘ線源１から１次Ｘ線２を照射させ、前記蛍光Ｘ線４の
ピーク強度ＩP を算出されたピーク測定時間ＴP で検出
手段１０に測定させ、一方、算出されたピーク測定時間
ＴP が指定されたピーク測定時間 LＴP よりも長い場合
には、指定されたピーク測定時間 LＴP で同様に測定さ
せる。
【００７０】例えば、前述したように、Ｒ1.0 ＝１００
００、ＲB ＝１００で、ネット強度の相対精度σR が
０．０１に、ピーク測定時間の上限 LＴP が２００に指
定された場合、各濃度の試料３に対する濃度の精度とピ
ーク測定時間は、次表１のようになる。なお、濃度の精
度 (mass％) とは、ネット強度の相対精度σR （濃度の
相対精度でもある）に濃度を乗じたものである。
００、ＲB ＝１００で、ネット強度の相対精度σR が
０．０１に、ピーク測定時間の上限 LＴP が２００に指
定された場合、各濃度の試料３に対する濃度の精度とピ
ーク測定時間は、次表１のようになる。なお、濃度の精
度 (mass％) とは、ネット強度の相対精度σR （濃度の
相対精度でもある）に濃度を乗じたものである。
【００７１】
【表１】
【００７２】以上のように、本実施形態の装置によれ
ば、ピーク仮測定強度 TＩP に基づいて、指定された相
対精度σR が得られるピーク測定時間ＴP を算出し、そ
れが指定されたピーク測定時間 LＴP 以下である場合に
は、算出されたピーク測定時間ＴP で測定し、指定され
たピーク測定時間 LＴP よりも長い場合には、その指定
されたピーク測定時間 LＴP で測定を行うので、指定さ
れた相対精度σR およびピーク測定時間 LＴP 、ならび
に試料３における元素濃度に応じて、適切な時間と分析
精度での測定を自動的に行うことができる。すなわち、
表１に示すように、低濃度においては、指定されたピー
ク測定時間 LＴP を優先して現実的、実際的な測定時間
LＴP で、高濃度においては、指定された相対精度σR
を優先して無駄な測定時間を費やさずその相対精度σR
が得られる最短の測定時間ＴP で、自動的に測定を行う
ことができる。
ば、ピーク仮測定強度 TＩP に基づいて、指定された相
対精度σR が得られるピーク測定時間ＴP を算出し、そ
れが指定されたピーク測定時間 LＴP 以下である場合に
は、算出されたピーク測定時間ＴP で測定し、指定され
たピーク測定時間 LＴP よりも長い場合には、その指定
されたピーク測定時間 LＴP で測定を行うので、指定さ
れた相対精度σR およびピーク測定時間 LＴP 、ならび
に試料３における元素濃度に応じて、適切な時間と分析
精度での測定を自動的に行うことができる。すなわち、
表１に示すように、低濃度においては、指定されたピー
ク測定時間 LＴP を優先して現実的、実際的な測定時間
LＴP で、高濃度においては、指定された相対精度σR
を優先して無駄な測定時間を費やさずその相対精度σR
が得られる最短の測定時間ＴP で、自動的に測定を行う
ことができる。
【００７３】なお、ネット強度の相対精度に代えてピー
ク強度（グロス強度）の相対精度で考えることもでき
る。この場合は、前式（１３），（１５）に代えて、次
式（１８），（１９）を用いる。
ク強度（グロス強度）の相対精度で考えることもでき
る。この場合は、前式（１３），（１５）に代えて、次
式（１８），（１９）を用いる。
【００７４】
【数１８】
【００７５】
【数１９】
【００７６】実際のところ、式（１９）を用いて表１に
相当するものを作成しても、ほとんど差がないものがで
きる。また、この場合には、式（１８）に前式（１４）
を代入して、次式（２０）が得られることから、相対精
度σR として、積算強度（トータルカウント）Ｎの平方
根の逆数を用いることもできる。すなわち、積算強度Ｎ
を指定することは、相対精度σR を指定することと同じ
意味をもち、本願請求項４にいう「指定された相対精
度」には、「指定された積算強度」も含まれる。
相当するものを作成しても、ほとんど差がないものがで
きる。また、この場合には、式（１８）に前式（１４）
を代入して、次式（２０）が得られることから、相対精
度σR として、積算強度（トータルカウント）Ｎの平方
根の逆数を用いることもできる。すなわち、積算強度Ｎ
を指定することは、相対精度σR を指定することと同じ
意味をもち、本願請求項４にいう「指定された相対精
度」には、「指定された積算強度」も含まれる。
【００７７】
【数２０】
【００７８】次に、試料３についてピーク強度ＩP およ
びバックグラウンド強度ＩB を測定する場合であって、
ネット強度の相対精度σR およびピーク測定時間ＴP と
バックグラウンド測定時間ＴB との合計測定時間の上限
LＴを指定する場合について説明する。操作者により、
ピーク強度ＩP およびバックグラウンド強度ＩB を測定
する旨、指定のネット強度の相対精度σR および合計測
定時間の上限 LＴが、制御手段２５に入力されると、前
述した合計測定時間Ｔのみが指定される場合と同様に、
前記第１測定手段１２が、ピーク仮測定強度 TＩP およ
びバックグラウンド仮測定強度 TＩB を検出手段１０に
測定させる。
びバックグラウンド強度ＩB を測定する場合であって、
ネット強度の相対精度σR およびピーク測定時間ＴP と
バックグラウンド測定時間ＴB との合計測定時間の上限
LＴを指定する場合について説明する。操作者により、
ピーク強度ＩP およびバックグラウンド強度ＩB を測定
する旨、指定のネット強度の相対精度σR および合計測
定時間の上限 LＴが、制御手段２５に入力されると、前
述した合計測定時間Ｔのみが指定される場合と同様に、
前記第１測定手段１２が、ピーク仮測定強度 TＩP およ
びバックグラウンド仮測定強度 TＩB を検出手段１０に
測定させる。
【００７９】続いて、前述したネット強度の相対精度σ
R のみが指定される場合と同様に、第２算出手段１７
が、前記第１測定手段１２により測定されたピーク仮測
定強度 TＩP およびバックグラウンド仮測定強度 TＩB
に基づいて、指定されたネット強度の相対精度σR が得
られ、かつ、合計測定時間 2Ｔ（ 2Ｔ＝ 2ＴP ＋
2ＴB）が最短となるピーク測定時間 2ＴP およびバッ
クグラウンド測定時間 2ＴB を算出する。
R のみが指定される場合と同様に、第２算出手段１７
が、前記第１測定手段１２により測定されたピーク仮測
定強度 TＩP およびバックグラウンド仮測定強度 TＩB
に基づいて、指定されたネット強度の相対精度σR が得
られ、かつ、合計測定時間 2Ｔ（ 2Ｔ＝ 2ＴP ＋
2ＴB）が最短となるピーク測定時間 2ＴP およびバッ
クグラウンド測定時間 2ＴB を算出する。
【００８０】また、第１算出手段１６も、前述した合計
測定時間Ｔのみが指定される場合と同様に、第１測定手
段１２により測定されたピーク仮測定強度 TＩP および
バックグラウンド仮測定強度 TＩB に基づいて、指定さ
れた合計測定時間 LＴを分配し、最も良い分析精度σN
が得られるピーク測定時間 1ＴP およびバックグラウン
ド測定時間 1ＴB を算出する。なお、添字 1，2 は、そ
れぞれ第１算出手段１６、第２算出手段１７により算出
された値であることを示す。
測定時間Ｔのみが指定される場合と同様に、第１測定手
段１２により測定されたピーク仮測定強度 TＩP および
バックグラウンド仮測定強度 TＩB に基づいて、指定さ
れた合計測定時間 LＴを分配し、最も良い分析精度σN
が得られるピーク測定時間 1ＴP およびバックグラウン
ド測定時間 1ＴB を算出する。なお、添字 1，2 は、そ
れぞれ第１算出手段１６、第２算出手段１７により算出
された値であることを示す。
【００８１】そして、第８測定手段２４は、第２算出手
段１７により算出された合計測定時間 2Ｔが指定された
合計測定時間 LＴ以下である場合には、試料３にＸ線源
１から１次Ｘ線２を照射させ、ピーク強度ＩP およびバ
ックグラウンド強度ＩB を第２算出手段１７により算出
されたピーク測定時間 2ＴP およびバックグラウンド測
定時間 2ＴB で検出手段１０に測定させ、一方、第２算
出手段１７により算出された合計測定時間 2Ｔが指定さ
れた合計測定時間 LＴよりも長い場合には、第１算出手
段１６により算出されたピーク測定時間 1ＴP およびバ
ックグラウンド測定時間 1ＴB で測定させる。
段１７により算出された合計測定時間 2Ｔが指定された
合計測定時間 LＴ以下である場合には、試料３にＸ線源
１から１次Ｘ線２を照射させ、ピーク強度ＩP およびバ
ックグラウンド強度ＩB を第２算出手段１７により算出
されたピーク測定時間 2ＴP およびバックグラウンド測
定時間 2ＴB で検出手段１０に測定させ、一方、第２算
出手段１７により算出された合計測定時間 2Ｔが指定さ
れた合計測定時間 LＴよりも長い場合には、第１算出手
段１６により算出されたピーク測定時間 1ＴP およびバ
ックグラウンド測定時間 1ＴB で測定させる。
【００８２】なお、ネット強度の相対精度σR および合
計測定時間の上限 LＴの指定については、例えば、前述
の第７測定手段２３を用いる場合と同様に、Ｒ1.0 ＝１
００００、ＲB ＝１００で、濃度５．０mass％の試料に
対し所望の相対精度σR が０．００２であるとすると、
式（１０），（６）により、次式（２１）のように、ピ
ーク測定時間ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB
が求められ、十分短時間の合計測定時間で済むことが確
認できる。
計測定時間の上限 LＴの指定については、例えば、前述
の第７測定手段２３を用いる場合と同様に、Ｒ1.0 ＝１
００００、ＲB ＝１００で、濃度５．０mass％の試料に
対し所望の相対精度σR が０．００２であるとすると、
式（１０），（６）により、次式（２１）のように、ピ
ーク測定時間ＴP およびバックグラウンド測定時間ＴB
が求められ、十分短時間の合計測定時間で済むことが確
認できる。
【００８３】
【数２１】
【００８４】一方、濃度０．０１mass％の試料に対して
は、所望の相対精度σR を０．０２にまで下げてみる
と、式（１０），（６）から、次式（２２）のように、
ピーク測定時間ＴP およびバックグラウンド測定時間Ｔ
B が求められ、それぞれ小数点以下を四捨五入すると、
合計測定時間Ｔは、１４５(sec) となる。
は、所望の相対精度σR を０．０２にまで下げてみる
と、式（１０），（６）から、次式（２２）のように、
ピーク測定時間ＴP およびバックグラウンド測定時間Ｔ
B が求められ、それぞれ小数点以下を四捨五入すると、
合計測定時間Ｔは、１４５(sec) となる。
【００８５】
【数２２】
【００８６】これに対し、濃度０．０１mass％未満の試
料があったとしても、それについて、所望の相対精度σ
R ＝０．０２に固執して、１４５(sec) を超える合計測
定時間Ｔで測定することにあまり意味がないと考えられ
るときには、１４５(sec) を合計測定時間の上限 LＴと
して指定すればよい。
料があったとしても、それについて、所望の相対精度σ
R ＝０．０２に固執して、１４５(sec) を超える合計測
定時間Ｔで測定することにあまり意味がないと考えられ
るときには、１４５(sec) を合計測定時間の上限 LＴと
して指定すればよい。
【００８７】実際の測定については、このように、Ｒ
1.0 ＝１００００、ＲB ＝１００で、ネット強度の相対
精度σR が０．０１に、合計測定時間の上限 LＴが１４
５に指定された場合、各濃度の試料に対する濃度の精度
とピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間は、
次表２のようになる。
1.0 ＝１００００、ＲB ＝１００で、ネット強度の相対
精度σR が０．０１に、合計測定時間の上限 LＴが１４
５に指定された場合、各濃度の試料に対する濃度の精度
とピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間は、
次表２のようになる。
【００８８】
【表２】
【００８９】このように、本実施形態の装置によれば、
ピーク仮測定強度 TＩP 、バックグラウンド仮測定強度
TＩB に基づいて、指定されたネット強度の相対精度σ
R が得られ、かつ、合計測定時間 2Ｔが最短となるピー
ク測定時間 2ＴP およびバックグラウンド測定時間 2Ｔ
B を算出し、その合計測定時間 2Ｔが指定された合計測
定時間 LＴ以下である場合には、算出された各測定時間
2ＴP ， 2ＴB で測定を行う。一方、合計測定時間 2Ｔ
が指定された合計測定時間 LＴよりも長い場合には、ピ
ーク仮測定強度 TＩP 、バックグラウンド仮測定強度 T
ＩB に基づいて、指定された合計測定時間 LＴにおい
て、最も良い分析精度σN が得られるピーク測定時間 1
ＴP およびバックグラウンド測定時間 1ＴB を算出し、
それらの各測定時間 1ＴP ， 1ＴB で測定を行う。した
がって、指定されたネット強度の相対精度σR および合
計測定時間 LＴ、ならびに試料３における元素濃度に応
じて、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行うこ
とができる。
ピーク仮測定強度 TＩP 、バックグラウンド仮測定強度
TＩB に基づいて、指定されたネット強度の相対精度σ
R が得られ、かつ、合計測定時間 2Ｔが最短となるピー
ク測定時間 2ＴP およびバックグラウンド測定時間 2Ｔ
B を算出し、その合計測定時間 2Ｔが指定された合計測
定時間 LＴ以下である場合には、算出された各測定時間
2ＴP ， 2ＴB で測定を行う。一方、合計測定時間 2Ｔ
が指定された合計測定時間 LＴよりも長い場合には、ピ
ーク仮測定強度 TＩP 、バックグラウンド仮測定強度 T
ＩB に基づいて、指定された合計測定時間 LＴにおい
て、最も良い分析精度σN が得られるピーク測定時間 1
ＴP およびバックグラウンド測定時間 1ＴB を算出し、
それらの各測定時間 1ＴP ， 1ＴB で測定を行う。した
がって、指定されたネット強度の相対精度σR および合
計測定時間 LＴ、ならびに試料３における元素濃度に応
じて、適切な時間と分析精度での測定を自動的に行うこ
とができる。
【００９０】すなわち、表２に示すように、低濃度にお
いては、指定された現実的、実際的な合計測定時間 LＴ
を優先して、最も良い分析精度σN が得られるピーク測
定時間 1ＴP およびバックグラウンド測定時間 1Ｔ
B で、高濃度においては、指定された相対精度σR を優
先して、無駄な測定時間を費やさずその相対精度σR が
得られる最短のピーク測定時間 2ＴP およびバックグラ
ウンド測定時間 2ＴB で、自動的に測定を行うことがで
きる。
いては、指定された現実的、実際的な合計測定時間 LＴ
を優先して、最も良い分析精度σN が得られるピーク測
定時間 1ＴP およびバックグラウンド測定時間 1Ｔ
B で、高濃度においては、指定された相対精度σR を優
先して、無駄な測定時間を費やさずその相対精度σR が
得られる最短のピーク測定時間 2ＴP およびバックグラ
ウンド測定時間 2ＴB で、自動的に測定を行うことがで
きる。
【００９１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、蛍光Ｘ線分析において、指定された合計測定時間
や分析精度、さらに試料における元素濃度に応じて、適
切な時間と分析精度での測定を自動的に行うことができ
る。
れば、蛍光Ｘ線分析において、指定された合計測定時間
や分析精度、さらに試料における元素濃度に応じて、適
切な時間と分析精度での測定を自動的に行うことができ
る。
【図１】本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分析装置を示す
概略図である。
概略図である。
１…Ｘ線源、２…１次Ｘ線、３…試料、４，６…２次Ｘ
線（蛍光Ｘ線）、８…試料台、１０…検出手段、１２…
第１測定手段、１４…第４測定手段、１５…第６測定手
段、１６…第１算出手段、１７…第２算出手段、１８…
第３算出手段、１９…第４算出手段、２０…第２測定手
段、２１…第３測定手段、２２…第５測定手段、２３…
第７測定手段、２４…第８測定手段。
線（蛍光Ｘ線）、８…試料台、１０…検出手段、１２…
第１測定手段、１４…第４測定手段、１５…第６測定手
段、１６…第１算出手段、１７…第２算出手段、１８…
第３算出手段、１９…第４算出手段、２０…第２測定手
段、２１…第３測定手段、２２…第５測定手段、２３…
第７測定手段、２４…第８測定手段。
Claims (5)
- 【請求項１】 試料が固定される試料台と、 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 試料から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段
と、 試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度およびバック
グラウンド強度を所定の仮測定時間で前記検出手段に測
定させる第１測定手段と、 その第１測定手段により測定されたピーク仮測定強度お
よびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定され
た合計測定時間において、最も良い分析精度が得られる
ピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間を算出
する第１算出手段と、 試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ
線のピーク強度およびバックグラウンド強度を、前記第
１算出手段により算出されたピーク測定時間およびバッ
クグラウンド測定時間で、前記検出手段に測定させる第
２測定手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項２】 試料が固定される試料台と、 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 試料から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段
と、 試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度およびバック
グラウンド強度を所定の仮測定時間で前記検出手段に測
定させる第１測定手段と、 その第１測定手段により測定されたピーク仮測定強度お
よびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定され
たネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計測定時間
が最短となるピーク測定時間およびバックグラウンド測
定時間を算出する第２算出手段と、 試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ
線のピーク強度およびバックグラウンド強度を、前記第
２算出手段により算出されたピーク測定時間およびバッ
クグラウンド測定時間で、前記検出手段に測定させる第
３測定手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項３】 試料が固定される試料台と、 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 試料から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段
と、 試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度を指定された
ピーク測定時間で、バックグラウンド強度を所定の仮測
定時間で前記検出手段に測定させる第４測定手段と、 その第４測定手段により測定されたピーク測定強度およ
びバックグラウンド仮測定強度に基づいて、前記指定さ
れたピーク測定時間との合計測定時間に対して最も良い
精度が得られるバックグラウンド測定時間を算出する第
３算出手段と、 試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ
線のバックグラウンド強度を、前記第３算出手段により
算出されたバックグラウンド測定時間で、前記検出手段
に測定させる第５測定手段とを備えた蛍光Ｘ線分析装
置。 - 【請求項４】 試料が固定される試料台と、 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 試料から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段
と、 試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度を所定の仮測
定時間で前記検出手段に測定させる第６測定手段と、 その第６測定手段により測定されたピーク仮測定強度に
基づいて、指定された相対精度が得られるピーク測定時
間を算出する第４算出手段と、 その第４算出手段により算出されたピーク測定時間が指
定されたピーク測定時間以下である場合には、試料に前
記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピー
ク強度を前記算出されたピーク測定時間で前記検出手段
に測定させ、一方、前記算出されたピーク測定時間が前
記指定されたピーク測定時間よりも長い場合には、試料
に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線の
ピーク強度を前記指定されたピーク測定時間で前記検出
手段に測定させる第７測定手段とを備えた蛍光Ｘ線分析
装置。 - 【請求項５】 試料が固定される試料台と、 試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、 試料から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段
と、 試料に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させ、その試料中
の元素から発生する蛍光Ｘ線のピーク強度およびバック
グラウンド強度を所定の仮測定時間で前記検出手段に測
定させる第１測定手段と、 その第１測定手段により測定されたピーク仮測定強度お
よびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定され
たネット強度の相対精度が得られ、かつ、合計測定時間
が最短となるピーク測定時間およびバックグラウンド測
定時間を算出する第２算出手段と、 前記第１測定手段により測定されたピーク仮測定強度お
よびバックグラウンド仮測定強度に基づいて、指定され
た合計測定時間において、最も良い分析精度が得られる
ピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間を算出
する第１算出手段と、 前記第２算出手段により算出された合計測定時間が指定
された合計測定時間以下である場合には、試料に前記Ｘ
線源から１次Ｘ線を照射させ、前記蛍光Ｘ線のピーク強
度およびバックグラウンド強度を前記第２算出手段によ
り算出されたピーク測定時間およびバックグラウンド測
定時間で前記検出手段に測定させ、一方、前記第２算出
手段により算出された合計測定時間が前記指定された合
計測定時間よりも長い場合には、試料に前記Ｘ線源から
１次Ｘ線を照射させ、前記第１算出手段により算出され
たピーク測定時間およびバックグラウンド測定時間で前
記検出手段に測定させる第８測定手段とを備えた蛍光Ｘ
線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24119198A JP3291253B2 (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24119198A JP3291253B2 (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000074857A true JP2000074857A (ja) | 2000-03-14 |
| JP3291253B2 JP3291253B2 (ja) | 2002-06-10 |
Family
ID=17070582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24119198A Expired - Fee Related JP3291253B2 (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3291253B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003042978A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析装置 |
| KR101440236B1 (ko) | 2013-06-13 | 2014-09-12 | 전북대학교산학협력단 | X선 형광 분석 방법 및 이를 위한 백그라운드 제거 방법 |
| JP2020165757A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| WO2021235037A1 (ja) | 2020-05-18 | 2021-11-25 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| WO2022113481A1 (ja) | 2020-11-30 | 2022-06-02 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
-
1998
- 1998-08-27 JP JP24119198A patent/JP3291253B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003042978A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-13 | Rigaku Industrial Co | 蛍光ｘ線分析装置 |
| KR101440236B1 (ko) | 2013-06-13 | 2014-09-12 | 전북대학교산학협력단 | X선 형광 분석 방법 및 이를 위한 백그라운드 제거 방법 |
| US11402343B2 (en) | 2019-03-29 | 2022-08-02 | Rigaku Corporation | X-ray fluorescence spectrometer |
| JP2020165757A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| WO2020202644A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| CN113692533A (zh) * | 2019-03-29 | 2021-11-23 | 株式会社理学 | 荧光x射线分析装置 |
| WO2021235037A1 (ja) | 2020-05-18 | 2021-11-25 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| US11513086B2 (en) | 2020-05-18 | 2022-11-29 | Rigaku Corporation | X-ray fluorescence spectrometer |
| WO2022113481A1 (ja) | 2020-11-30 | 2022-06-02 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| JP7178725B2 (ja) | 2020-11-30 | 2022-11-28 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| JP2022086669A (ja) * | 2020-11-30 | 2022-06-09 | 株式会社リガク | 蛍光ｘ線分析装置 |
| CN116507943A (zh) * | 2020-11-30 | 2023-07-28 | 株式会社理学 | 荧光x射线分析装置 |
| CN116507943B (zh) * | 2020-11-30 | 2023-12-01 | 株式会社理学 | 荧光x射线分析装置 |
| US11832981B2 (en) | 2020-11-30 | 2023-12-05 | Rigaku Corporation | X-ray fluorescence spectrometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3291253B2 (ja) | 2002-06-10 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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