JP2000072527A - 摺動部材用磁器及びその製造方法 - Google Patents
摺動部材用磁器及びその製造方法Info
- Publication number
- JP2000072527A JP2000072527A JP10262399A JP26239998A JP2000072527A JP 2000072527 A JP2000072527 A JP 2000072527A JP 10262399 A JP10262399 A JP 10262399A JP 26239998 A JP26239998 A JP 26239998A JP 2000072527 A JP2000072527 A JP 2000072527A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- porcelain
- sliding
- sliding member
- grain size
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被摺動部材と対向する摺動部材の摺動面をケ
ミカルエッチングにより粗面化するに際し、摺動面の鏡
面仕上げを維持あるいは同等の丙端面を維持しながら空
気流路が十分に得られ、前記摺動部材の摺動特性の向上
を達成できる構成からなる摺動部材用磁器とその製造方
法の提供。 【解決手段】 仮焼や焼結時に拡散する拡散成分と拡散
を受ける被拡散成分の両者の平均結晶粒径の比率を適宜
制御して粉末冶金手段にて磁器化することにより、被エ
ッチング性が異なる少なくとも２種の化合物相が混在す
る摺動部材用磁器を得ることができ、この数種の化合物
相が混在する磁器は、その各化合物相が有する化学結合
的安定性に起因して被エッチング性が異なるため、該磁
器を摺動部材として用い、鏡面仕上げされた摺動面をエ
ッチングすると、各々凸部先端が略平坦面である凹凸粗
面を容易に形成することができ、摺動部材と被摺動部材
との対向摺動面における摺動時の空気の流れが良くな
り、摺動部材用磁器の摺動特性の向上が達成できる。
ミカルエッチングにより粗面化するに際し、摺動面の鏡
面仕上げを維持あるいは同等の丙端面を維持しながら空
気流路が十分に得られ、前記摺動部材の摺動特性の向上
を達成できる構成からなる摺動部材用磁器とその製造方
法の提供。 【解決手段】 仮焼や焼結時に拡散する拡散成分と拡散
を受ける被拡散成分の両者の平均結晶粒径の比率を適宜
制御して粉末冶金手段にて磁器化することにより、被エ
ッチング性が異なる少なくとも２種の化合物相が混在す
る摺動部材用磁器を得ることができ、この数種の化合物
相が混在する磁器は、その各化合物相が有する化学結合
的安定性に起因して被エッチング性が異なるため、該磁
器を摺動部材として用い、鏡面仕上げされた摺動面をエ
ッチングすると、各々凸部先端が略平坦面である凹凸粗
面を容易に形成することができ、摺動部材と被摺動部材
との対向摺動面における摺動時の空気の流れが良くな
り、摺動部材用磁器の摺動特性の向上が達成できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば磁気ヘッ
ド用摺動部材などに用いられるＣａＯ−ＴｉＯ2系、Ａ
ｌＴｉＣ系などの摺動部材用磁器の改良に係り、摺動部
材の被摺動媒体との対向摺動面に凸部先端が略平坦面で
ある凹凸粗面をケミカルエッチング方法により形成し
て、摺動特性の向上を図り、特に磁気ヘッドにおける磁
気記録媒体との摺動性に好適となした摺動部材用磁器及
びその製造方法に関する。
ド用摺動部材などに用いられるＣａＯ−ＴｉＯ2系、Ａ
ｌＴｉＣ系などの摺動部材用磁器の改良に係り、摺動部
材の被摺動媒体との対向摺動面に凸部先端が略平坦面で
ある凹凸粗面をケミカルエッチング方法により形成し
て、摺動特性の向上を図り、特に磁気ヘッドにおける磁
気記録媒体との摺動性に好適となした摺動部材用磁器及
びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、磁気ヘッドは高密度記録媒体へ
のすぐれた摺動特性が要求され、鏡面仕上げされた摺動
部材の摺動面は、同じく鏡面仕上げされた被摺動媒体
（記録媒体）との摺動特性において、いわゆる鳴きや吸
着などの問題を生じることがあり、良好な電磁気特性と
摺動特性の両立を目的に鏡面仕上げされた摺動面をある
程度粗化して対応していた。
のすぐれた摺動特性が要求され、鏡面仕上げされた摺動
部材の摺動面は、同じく鏡面仕上げされた被摺動媒体
（記録媒体）との摺動特性において、いわゆる鳴きや吸
着などの問題を生じることがあり、良好な電磁気特性と
摺動特性の両立を目的に鏡面仕上げされた摺動面をある
程度粗化して対応していた。
【０００３】特公昭６３−５５１５７号には、酸化アル
ミニウムと炭化チタンを含むセラミック製の摺動部材に
反応性イオンエッチングを施して、チタン成分を除去し
てピットを設ける方法、また特公平４−３４２０３号に
は、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト製の
摺動部材の摺動面を鏡面仕上げした後、リアクティブイ
オンエッチングを施して所定の粗面にする方法、さらに
特開平２−２７６０７４号には、Ｍｎ−Ｚｎフェライト
製の摺動部材の摺動面を鏡面仕上げした後、逆スパッタ
リングを施して５０〜１００Å深さのピットを設ける方
法が提案されている。
ミニウムと炭化チタンを含むセラミック製の摺動部材に
反応性イオンエッチングを施して、チタン成分を除去し
てピットを設ける方法、また特公平４−３４２０３号に
は、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライト製の
摺動部材の摺動面を鏡面仕上げした後、リアクティブイ
オンエッチングを施して所定の粗面にする方法、さらに
特開平２−２７６０７４号には、Ｍｎ−Ｚｎフェライト
製の摺動部材の摺動面を鏡面仕上げした後、逆スパッタ
リングを施して５０〜１００Å深さのピットを設ける方
法が提案されている。
【０００４】また、特開平２−３１０８６９号には、Ｍ
ｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライトなど磁性セ
ラミックスからなる摺動部材の摺動面を塩酸溶液による
エッチング液にて粗面処理する方法、特開平８−３６８
５２号には、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェラ
イトなど磁性セラミックスからなる摺動部材の摺動面を
酸化剤と酸または酸化剤とアルカリを含む水溶液からな
るエッチング液にて粗面処理する方法が提案されてい
た。
ｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライトなど磁性セ
ラミックスからなる摺動部材の摺動面を塩酸溶液による
エッチング液にて粗面処理する方法、特開平８−３６８
５２号には、Ｍｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェラ
イトなど磁性セラミックスからなる摺動部材の摺動面を
酸化剤と酸または酸化剤とアルカリを含む水溶液からな
るエッチング液にて粗面処理する方法が提案されてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のごとく、摺動部
材用磁器に対して、鏡面仕上げ後に所定の粗面化を施す
ために、従来のイオンエッチング、逆スパッタリングで
は、エッチングやスパッタリング雰囲気に所定の真空な
どの雰囲気が必要で、それぞれ特殊な装置を要する他、
作業時間が長くなり、生産効率が悪い問題がある。
材用磁器に対して、鏡面仕上げ後に所定の粗面化を施す
ために、従来のイオンエッチング、逆スパッタリングで
は、エッチングやスパッタリング雰囲気に所定の真空な
どの雰囲気が必要で、それぞれ特殊な装置を要する他、
作業時間が長くなり、生産効率が悪い問題がある。
【０００６】一方、ケミカルエッチング方法は、簡単な
装置を用い生産効率がよいが、通常の単相磁器及び／又
は結晶粒径が１μｍ以下である磁器の場合、摺動面の凹
凸粗面を形成する凸部先端が鋭峰峡谷状となり、摺動部
材と被摺動媒体との対向摺動面における空気流路が十分
に得られずに良好な摺動特性の向上が望めなくなるばか
りでなく、むりやり空気流路を得ようとすると、該峡谷
部谷底を深くえぐり、摺動部材内部まで薬品で損傷を与
えてしまう恐れがある。
装置を用い生産効率がよいが、通常の単相磁器及び／又
は結晶粒径が１μｍ以下である磁器の場合、摺動面の凹
凸粗面を形成する凸部先端が鋭峰峡谷状となり、摺動部
材と被摺動媒体との対向摺動面における空気流路が十分
に得られずに良好な摺動特性の向上が望めなくなるばか
りでなく、むりやり空気流路を得ようとすると、該峡谷
部谷底を深くえぐり、摺動部材内部まで薬品で損傷を与
えてしまう恐れがある。
【０００７】この発明は、磁器が本来有する剛性や耐摩
耗性などの特性を有効活用可能な種々の用途、例えば磁
気ヘッドの如く摺動特性の向上を目的に、被摺動部材と
対向する摺動部材の摺動面をケミカルエッチングにより
粗面化するに際し、摺動面の鏡面仕上げを維持あるいは
同等の平端面を維持しながら空気流路が十分に得られ、
前記摺動部材の摺動特性の向上を達成できる構成からな
る摺動部材用磁器とその製造方法の提供を目的としてい
る。
耗性などの特性を有効活用可能な種々の用途、例えば磁
気ヘッドの如く摺動特性の向上を目的に、被摺動部材と
対向する摺動部材の摺動面をケミカルエッチングにより
粗面化するに際し、摺動面の鏡面仕上げを維持あるいは
同等の平端面を維持しながら空気流路が十分に得られ、
前記摺動部材の摺動特性の向上を達成できる構成からな
る摺動部材用磁器とその製造方法の提供を目的としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】発明者は、かかる摺動特
性の向上を目的に摺動部材の摺動面の凹凸粗面について
種々検討し、摺動時の空気の流れを良くするためには当
該摺動面の凹凸粗面を形成する深さ方向の断面形状が鋭
峰峡谷状であるものを、摺動部材の摺動面に形成した凹
凸粗面の凸部先端を略平坦とすることが必要であること
に着目し、これをケミカルエッチングにより実現する方
法について種々検討した結果、例えばＣａＯ−ＴｉＯ2
系多結晶磁器の如く、少なくとも２種の化合物相が混在
する材料では相間で被エッチング性が異なるため、エッ
チングによる凹凸粗面の各凸部先端を略平坦面となすこ
とが可能であることを知見した。
性の向上を目的に摺動部材の摺動面の凹凸粗面について
種々検討し、摺動時の空気の流れを良くするためには当
該摺動面の凹凸粗面を形成する深さ方向の断面形状が鋭
峰峡谷状であるものを、摺動部材の摺動面に形成した凹
凸粗面の凸部先端を略平坦とすることが必要であること
に着目し、これをケミカルエッチングにより実現する方
法について種々検討した結果、例えばＣａＯ−ＴｉＯ2
系多結晶磁器の如く、少なくとも２種の化合物相が混在
する材料では相間で被エッチング性が異なるため、エッ
チングによる凹凸粗面の各凸部先端を略平坦面となすこ
とが可能であることを知見した。
【０００９】さらに発明者は、被エッチング性が異なる
少なくとも２種の化合物相が混在する磁器を目的に種々
検討した結果、磁器の粉末冶金的手段を用いた製造方法
における仮焼や焼結時に拡散する拡散成分と拡散を受け
る被拡散成分の両者の平均結晶粒径の比率を適宜制御す
ることにより、有効に少なくとも２種の化合物相が混在
する磁器を得ることができることを知見し、この発明を
完成した。
少なくとも２種の化合物相が混在する磁器を目的に種々
検討した結果、磁器の粉末冶金的手段を用いた製造方法
における仮焼や焼結時に拡散する拡散成分と拡散を受け
る被拡散成分の両者の平均結晶粒径の比率を適宜制御す
ることにより、有効に少なくとも２種の化合物相が混在
する磁器を得ることができることを知見し、この発明を
完成した。
【００１０】すなわち、この発明は、被エッチング性が
異なる少なくとも２種以上の化合物相からなり、該相の
各々の平均結晶粒径が１〜１０μｍであることを特徴と
する摺動部材用磁器である。
異なる少なくとも２種以上の化合物相からなり、該相の
各々の平均結晶粒径が１〜１０μｍであることを特徴と
する摺動部材用磁器である。
【００１１】また、この発明は、複数の原料粉末を通常
の粉末冶金的手段、すなわち混合、仮焼、粉砕、成形、
焼結等の工程よりなる製法において、少なくとも原料粉
に、加熱時に拡散する拡散成分を有する原料Ａと、加熱
時に拡散成分を受ける被拡散成分を有する原料Ｂを有
し、かつ原料Ａの平均結晶粒径が原料Ｂのそれより大き
い、好ましくは２倍以上大きい当該原料粉を粉末冶金手
段にて磁器となすことを特徴とする摺動部材用磁器の製
造方法である。
の粉末冶金的手段、すなわち混合、仮焼、粉砕、成形、
焼結等の工程よりなる製法において、少なくとも原料粉
に、加熱時に拡散する拡散成分を有する原料Ａと、加熱
時に拡散成分を受ける被拡散成分を有する原料Ｂを有
し、かつ原料Ａの平均結晶粒径が原料Ｂのそれより大き
い、好ましくは２倍以上大きい当該原料粉を粉末冶金手
段にて磁器となすことを特徴とする摺動部材用磁器の製
造方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】この発明は、粉末冶金法における
加熱時に拡散する拡散成分を有する原料Ａと、加熱時に
拡散成分を受ける被拡散成分を有する原料Ｂとの平均結
晶粒径差を適宜制御して製造した摺動部材用磁器を特徴
とし、例えばこの磁器の所要面を鏡面研磨後、ケミカル
エッチング方法により、当該摺動部材の摺動面を各々凸
部先端が略平面である凹凸粗面に形成することを特徴と
する。
加熱時に拡散する拡散成分を有する原料Ａと、加熱時に
拡散成分を受ける被拡散成分を有する原料Ｂとの平均結
晶粒径差を適宜制御して製造した摺動部材用磁器を特徴
とし、例えばこの磁器の所要面を鏡面研磨後、ケミカル
エッチング方法により、当該摺動部材の摺動面を各々凸
部先端が略平面である凹凸粗面に形成することを特徴と
する。
【００１３】この発明による磁器において、加熱時に拡
散する拡散成分を有する原料Ａには、ＣａＯ，Ａｌ
2Ｏ3，ＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯ及び／又は前記各酸化物
の誘導体のうち１種又は２種以上が採用でき、また加熱
時に拡散成分を受ける被拡散成分を有する原料Ｂには、
ＴｉＯ2，Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2，Ｃ及び／又は前記各酸化
物並びに元素の各誘導体のうち１種又は２種以上（但
し、原料Ａ，Ｂともに同種の場合はない）が採用でき
る。
散する拡散成分を有する原料Ａには、ＣａＯ，Ａｌ
2Ｏ3，ＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯ及び／又は前記各酸化物
の誘導体のうち１種又は２種以上が採用でき、また加熱
時に拡散成分を受ける被拡散成分を有する原料Ｂには、
ＴｉＯ2，Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2，Ｃ及び／又は前記各酸化
物並びに元素の各誘導体のうち１種又は２種以上（但
し、原料Ａ，Ｂともに同種の場合はない）が採用でき
る。
【００１４】この発明において、酸化物並びに元素の各
誘導体は、例えばＣａＯの場合、Ｃａ（ＯＨ）2、Ｃａ
ＣＯ3、ＣａＳＯ4などの加熱にてＣａＯを生成するもの
で当該磁器の最終成分に影響を及ぼすものでないもので
あれば、いずれの化合物も採用できる。
誘導体は、例えばＣａＯの場合、Ｃａ（ＯＨ）2、Ｃａ
ＣＯ3、ＣａＳＯ4などの加熱にてＣａＯを生成するもの
で当該磁器の最終成分に影響を及ぼすものでないもので
あれば、いずれの化合物も採用できる。
【００１５】例えばＣａＯとＴｉＯ2を終端成分とする
ＣａＯ−ＴｉＯ2系磁器には数種類の化合物が存在し、
粉末冶金的手段中の仮焼および焼結工程ではＣａＯの結
晶粒とＴｉＯ2の結晶粒が接触する接触点を介してＣａ
ＯのＴｉＯ2側への一方拡散により、該化合物の生成反
応が進行する。このＣａＯのＴｉＯ2結晶粒内での濃度
勾配に応じた化合物が順次生成するが、しかし、粉末冶
金的手段の中の混合工程におけるＣａＯとＴｉＯ2の配
合比および該数種類の化合物の熱力学的安定性よって生
成の状況は影響される。
ＣａＯ−ＴｉＯ2系磁器には数種類の化合物が存在し、
粉末冶金的手段中の仮焼および焼結工程ではＣａＯの結
晶粒とＴｉＯ2の結晶粒が接触する接触点を介してＣａ
ＯのＴｉＯ2側への一方拡散により、該化合物の生成反
応が進行する。このＣａＯのＴｉＯ2結晶粒内での濃度
勾配に応じた化合物が順次生成するが、しかし、粉末冶
金的手段の中の混合工程におけるＣａＯとＴｉＯ2の配
合比および該数種類の化合物の熱力学的安定性よって生
成の状況は影響される。
【００１６】上記の機構において、ＴｉＯ2の結晶粒径
がＣａＯの結晶粒径より小さい場合、すなわち比較的Ｔ
ｉＯ2の結晶粒の数が多い場合は、ＣａＯ結晶粒に接触
しないＴｉＯ2結晶粒子が多数存在し、拡散成分ＣａＯ
はそれらＴｉＯ2結晶粒子を通って拡散していくことに
なり、前記濃度勾配は接触点で不連続になり得るので、
前記多数のＴｉＯ2の結晶粒毎のＣａＯ濃度に階層化を
生じ、よって該ＣａＯ−ＴｉＯ2系磁器の数種の化合物
が独立に結晶粒として存在しやすくなるものと推測され
る。
がＣａＯの結晶粒径より小さい場合、すなわち比較的Ｔ
ｉＯ2の結晶粒の数が多い場合は、ＣａＯ結晶粒に接触
しないＴｉＯ2結晶粒子が多数存在し、拡散成分ＣａＯ
はそれらＴｉＯ2結晶粒子を通って拡散していくことに
なり、前記濃度勾配は接触点で不連続になり得るので、
前記多数のＴｉＯ2の結晶粒毎のＣａＯ濃度に階層化を
生じ、よって該ＣａＯ−ＴｉＯ2系磁器の数種の化合物
が独立に結晶粒として存在しやすくなるものと推測され
る。
【００１７】換言すれば、ＣａＯ、すなわち拡散成分を
含む原料Ａの結晶粒径が、ＴｉＯ2、すなわち被拡散成
分を含む原料Ｂの結晶粒径より大きい、好ましくは２倍
以上である場合、該ＣａＯ−ＴｉＯ2系磁器において数
種の化合物ごとの相からなる結晶粒が生成され、これら
の各化合物相間の被エッチング性が異なり、好適であ
る。
含む原料Ａの結晶粒径が、ＴｉＯ2、すなわち被拡散成
分を含む原料Ｂの結晶粒径より大きい、好ましくは２倍
以上である場合、該ＣａＯ−ＴｉＯ2系磁器において数
種の化合物ごとの相からなる結晶粒が生成され、これら
の各化合物相間の被エッチング性が異なり、好適であ
る。
【００１８】上述のごとく、数種の化合物の結晶粒から
なる相が混在する磁器が得られるが、数種の化合物相は
その化学結合的安定性に起因して相毎に被エッチング性
が異なるため、該磁器を摺動部材として用い、鏡面仕上
げされた摺動面をエッチングすると、各々凸部先端が略
平坦面である凹凸粗面を容易に形成することができ、従
って、摺動部材と被摺動部材との対向摺動面における摺
動時の空気の流れが良くなり、摺動部材用磁器の摺動特
性の向上が達成できる。
なる相が混在する磁器が得られるが、数種の化合物相は
その化学結合的安定性に起因して相毎に被エッチング性
が異なるため、該磁器を摺動部材として用い、鏡面仕上
げされた摺動面をエッチングすると、各々凸部先端が略
平坦面である凹凸粗面を容易に形成することができ、従
って、摺動部材と被摺動部材との対向摺動面における摺
動時の空気の流れが良くなり、摺動部材用磁器の摺動特
性の向上が達成できる。
【００１９】この発明において、ケミカルエッチング方
法により前記摺動面を凹凸粗面となして各々凸部先端を
略平面に形成すると、当該先端面の中央部が平坦で端部
の一方又は両方が曲面になったり、先端面の全体が一方
に傾斜したり、先端面の一部又は全体に微小な凹凸が形
成されているなど、種々の形態が見られるが、いずれに
しても上記の傾斜や凹部が全体高さの１／２以下、望ま
しくは１／３以下がである。また、摺動面全面積に対す
る各々凸部先端面の全面積の割合Ｓａは１０％〜７０
％、かつ各々凸部先端面の平均直径Ｄａは１μｍ〜１０
μｍが好ましい範囲である。
法により前記摺動面を凹凸粗面となして各々凸部先端を
略平面に形成すると、当該先端面の中央部が平坦で端部
の一方又は両方が曲面になったり、先端面の全体が一方
に傾斜したり、先端面の一部又は全体に微小な凹凸が形
成されているなど、種々の形態が見られるが、いずれに
しても上記の傾斜や凹部が全体高さの１／２以下、望ま
しくは１／３以下がである。また、摺動面全面積に対す
る各々凸部先端面の全面積の割合Ｓａは１０％〜７０
％、かつ各々凸部先端面の平均直径Ｄａは１μｍ〜１０
μｍが好ましい範囲である。
【００２０】この発明において、前記摺動面全面積に対
する各々凸部先端面の全面積の割合Ｓａは、磁気ヘッド
の場合、１０％未満では磁気記録媒体に対するヘッドの
押圧が狭い面積に集中して磁気記録媒体を傷つける恐れ
があり、７０％を超えると空気流路が狭くてかつ少なく
なり、空気の流れが悪くなるため望ましくない。望まし
くは１５％〜５０％である。
する各々凸部先端面の全面積の割合Ｓａは、磁気ヘッド
の場合、１０％未満では磁気記録媒体に対するヘッドの
押圧が狭い面積に集中して磁気記録媒体を傷つける恐れ
があり、７０％を超えると空気流路が狭くてかつ少なく
なり、空気の流れが悪くなるため望ましくない。望まし
くは１５％〜５０％である。
【００２１】また、凸部先端面の平均直径Ｄａは、１μ
ｍ未満では有効な平坦面が得られず、鋭峰状になり磁気
記録媒体などの相手材を傷つける恐れがあり、１０μｍ
を超えると端面形状が多様化して空気の流路、流れにバ
ラツキが生じるため好ましくなく、望ましくは２μｍ〜
７μｍである。
ｍ未満では有効な平坦面が得られず、鋭峰状になり磁気
記録媒体などの相手材を傷つける恐れがあり、１０μｍ
を超えると端面形状が多様化して空気の流路、流れにバ
ラツキが生じるため好ましくなく、望ましくは２μｍ〜
７μｍである。
【００２２】この発明において、前記原料Ａは拡散成分
であり、原料Ｂの被拡散成分の結晶へ拡散していくた
め、その拡散量分だけ原料Ｂの結晶は大きくなる。この
作用は原料Ｂの結晶粒径が小さいほど著しいため、目的
の摺動部材用磁器の結晶粒径が１〜１０μｍであるため
には、原料Ｂの結晶粒径は０．１〜１０μｍが適当であ
る。
であり、原料Ｂの被拡散成分の結晶へ拡散していくた
め、その拡散量分だけ原料Ｂの結晶は大きくなる。この
作用は原料Ｂの結晶粒径が小さいほど著しいため、目的
の摺動部材用磁器の結晶粒径が１〜１０μｍであるため
には、原料Ｂの結晶粒径は０．１〜１０μｍが適当であ
る。
【００２３】この発明による摺動部材用磁器へ適用する
ケミカルエッチング条件は、磁器の組成や目的の面粗度
に応じた公知のいずれのエッチング液も採用することが
できる。またケミカルエッチングにて所要の凹凸粗面に
なした際、摺動面の各々凸部先端を略平坦面にするのに
最適なエッチング液として、酸化剤と酸及びアルカリを
含む水溶液からなるエッチング液があり、例えば、酸化
剤としては、Ｈ2Ｏ2、酸には、酢酸（ＣＨ3ＣＯＯ
Ｈ）、蟻酸（ＨＣＯＯＨ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）など、ア
ルカリには、アンモニア（ＮＨ3）、炭酸ソーダ（Ｎａ2
ＣＯ3）、炭酸カリウム（Ｋ2ＣＯ3）などが採用でき、
他に公知のエッチング用酸、アルカリ液を適宜組み合せ
て利用することができる。
ケミカルエッチング条件は、磁器の組成や目的の面粗度
に応じた公知のいずれのエッチング液も採用することが
できる。またケミカルエッチングにて所要の凹凸粗面に
なした際、摺動面の各々凸部先端を略平坦面にするのに
最適なエッチング液として、酸化剤と酸及びアルカリを
含む水溶液からなるエッチング液があり、例えば、酸化
剤としては、Ｈ2Ｏ2、酸には、酢酸（ＣＨ3ＣＯＯ
Ｈ）、蟻酸（ＨＣＯＯＨ）、硫酸（Ｈ2ＳＯ4）など、ア
ルカリには、アンモニア（ＮＨ3）、炭酸ソーダ（Ｎａ2
ＣＯ3）、炭酸カリウム（Ｋ2ＣＯ3）などが採用でき、
他に公知のエッチング用酸、アルカリ液を適宜組み合せ
て利用することができる。
【００２４】前記のエッチング液の組成比は、純度１０
０％換算で、酸化剤として過酸化水素を１とした時、酸
は、酢酸の場合は０．１５〜０．４、蟻酸の場合は０．
１〜０．３、硫酸の場合は０．２５〜０．５、アルカリ
は、アンモニアの場合は０．２〜１．２、炭酸ソーダの
場合は０．７〜３．５、炭酸カリウムの場合は０．８〜
４．５を含む水溶液の組成比が好ましい。これらの組成
比は、被エッチング材料に応じて、また公知のエッチン
グ用酸、アルカリ液を組み合せに応じて、適宜選定する
とよい。
０％換算で、酸化剤として過酸化水素を１とした時、酸
は、酢酸の場合は０．１５〜０．４、蟻酸の場合は０．
１〜０．３、硫酸の場合は０．２５〜０．５、アルカリ
は、アンモニアの場合は０．２〜１．２、炭酸ソーダの
場合は０．７〜３．５、炭酸カリウムの場合は０．８〜
４．５を含む水溶液の組成比が好ましい。これらの組成
比は、被エッチング材料に応じて、また公知のエッチン
グ用酸、アルカリ液を組み合せに応じて、適宜選定する
とよい。
【００２５】
【実施例】実施例１ 拡散成分を含む原料Ａとして平均結晶粒径３．５μｍの
炭酸カルシウム５８重量部と、拡散成分を受ける被拡散
成分を有する原料Ｂとして平均結晶粒径０．８μｍの酸
化チタニウム４２重量部を秤量し、混合、仮焼、粉砕、
成形、焼結する粉末冶金法にて摺動部材用ＣａＯ−Ｔｉ
Ｏ2系磁器を得た。この時の主要生成物とその量を表１
に示す。
炭酸カルシウム５８重量部と、拡散成分を受ける被拡散
成分を有する原料Ｂとして平均結晶粒径０．８μｍの酸
化チタニウム４２重量部を秤量し、混合、仮焼、粉砕、
成形、焼結する粉末冶金法にて摺動部材用ＣａＯ−Ｔｉ
Ｏ2系磁器を得た。この時の主要生成物とその量を表１
に示す。
【００２６】また、前記磁器の所定面に鏡面仕上げ研磨
を施した後、組成が過酸化水素、アンモニア、酢酸を含
む水溶液であり、純度１００％換算で組成比が１：１：
０．２５のエッチング液を用いて、温度５０℃で３分間
保持するケミカルエッチングを施した。摺動面表面の状
態をＡＦＭ（原子間力顕微鏡、Ｎａｎｏ Ｓｃｏｐｅ３
デジタルインスツルメント社製）を用いて調べ、摺動
面全面積に対する各々凸部先端面の全面積の割合Ｓａ、
凸部先端面の平均直径Ｄａを測定した。測定結果を表１
に示す。
を施した後、組成が過酸化水素、アンモニア、酢酸を含
む水溶液であり、純度１００％換算で組成比が１：１：
０．２５のエッチング液を用いて、温度５０℃で３分間
保持するケミカルエッチングを施した。摺動面表面の状
態をＡＦＭ（原子間力顕微鏡、Ｎａｎｏ Ｓｃｏｐｅ３
デジタルインスツルメント社製）を用いて調べ、摺動
面全面積に対する各々凸部先端面の全面積の割合Ｓａ、
凸部先端面の平均直径Ｄａを測定した。測定結果を表１
に示す。
【００２７】比較例 原料Ａとして平均結晶粒径１．５μｍの炭酸カルシウム
５８重量部と、原料Ｂとして平均結晶粒径１．５μｍの
酸化チタニウム４２重量部を秤量し、実施例１と同様の
粉末冶金的手段にて摺動部材用磁器を得た。この時の主
要生成物とその量を表１に示す。
５８重量部と、原料Ｂとして平均結晶粒径１．５μｍの
酸化チタニウム４２重量部を秤量し、実施例１と同様の
粉末冶金的手段にて摺動部材用磁器を得た。この時の主
要生成物とその量を表１に示す。
【００２８】実施例２ 原料Ａとして平均結晶粒径３．５μｍの炭酸カルシウム
５０重量部及び平均結晶粒径４．０μｍの炭酸マグネシ
ウム４重量部と、原料Ｂとして平均結晶粒径０．８μｍ
の酸化チタニウム４６重量部を秤量し、実施例１と同様
の粉末冶金的手段にて摺動部材用ＣａＯ−ＭｇＯ−Ｔｉ
Ｏ2系磁器を得た。この時の主要生成物とその量を表１
に示す。又、実施例１と同様に摺動面全面積に対する各
々凸部先端面の全面積の割合Ｓａ、凸部先端面の平均直
径ＤａはＡＦＭを用いて測定した。測定結果を表１に示
す。
５０重量部及び平均結晶粒径４．０μｍの炭酸マグネシ
ウム４重量部と、原料Ｂとして平均結晶粒径０．８μｍ
の酸化チタニウム４６重量部を秤量し、実施例１と同様
の粉末冶金的手段にて摺動部材用ＣａＯ−ＭｇＯ−Ｔｉ
Ｏ2系磁器を得た。この時の主要生成物とその量を表１
に示す。又、実施例１と同様に摺動面全面積に対する各
々凸部先端面の全面積の割合Ｓａ、凸部先端面の平均直
径ＤａはＡＦＭを用いて測定した。測定結果を表１に示
す。
【００２９】
【表１】
【００３０】表１より明らかなように、この発明による
磁器は、ケミカルエッチングにおいて異なるエッチング
特性を有する少なくとも２種の化合物相を有しており、
特に実施例２に示すＣａＯ−ＭｇＯ−ＴｉＯ2系磁器
は、鏡面仕上げした摺動面に形成した凹凸面の各凸部先
端を略平坦面となすことができ、摺動時の記録媒体との
間の空気の流れを良くすることが可能で、記録媒体が高
速回転する高密度型のＦＤＤやＨＤＤにおいても良好な
電磁気特性と摺動特性の両立が可能となる。
磁器は、ケミカルエッチングにおいて異なるエッチング
特性を有する少なくとも２種の化合物相を有しており、
特に実施例２に示すＣａＯ−ＭｇＯ−ＴｉＯ2系磁器
は、鏡面仕上げした摺動面に形成した凹凸面の各凸部先
端を略平坦面となすことができ、摺動時の記録媒体との
間の空気の流れを良くすることが可能で、記録媒体が高
速回転する高密度型のＦＤＤやＨＤＤにおいても良好な
電磁気特性と摺動特性の両立が可能となる。
【００３１】実施例において、この発明の摺動部材用磁
器を磁気ヘッド用摺動部材として用いた例を説明した
が、精密測定器の摺動部材など、磁器が本来有する剛性
や耐摩耗性などの特性を有効活用可能な種々の用途にお
ける適用が可能である。
器を磁気ヘッド用摺動部材として用いた例を説明した
が、精密測定器の摺動部材など、磁器が本来有する剛性
や耐摩耗性などの特性を有効活用可能な種々の用途にお
ける適用が可能である。
【００３２】
【発明の効果】この発明は、仮焼や焼結時に拡散する拡
散成分と拡散を受ける被拡散成分の両者の平均結晶粒径
の比率を適宜制御して粉末冶金手段にて磁器化すること
により、被エッチング性が異なる少なくとも２種の化合
物相が混在する摺動部材用磁器を得ることができ、この
数種の化合物相が混在する磁器は、その各化合物相が有
する化学結合的安定性に起因して被エッチング性が異な
るため、該磁器を摺動部材として用い、鏡面仕上げされ
た摺動面をエッチングすると、各々凸部先端が略平坦面
である凹凸粗面を容易に形成することができ、摺動部材
と被摺動部材との対向摺動面における摺動時の空気の流
れが良くなり、摺動部材用磁器の摺動特性の向上が達成
できる。
散成分と拡散を受ける被拡散成分の両者の平均結晶粒径
の比率を適宜制御して粉末冶金手段にて磁器化すること
により、被エッチング性が異なる少なくとも２種の化合
物相が混在する摺動部材用磁器を得ることができ、この
数種の化合物相が混在する磁器は、その各化合物相が有
する化学結合的安定性に起因して被エッチング性が異な
るため、該磁器を摺動部材として用い、鏡面仕上げされ
た摺動面をエッチングすると、各々凸部先端が略平坦面
である凹凸粗面を容易に形成することができ、摺動部材
と被摺動部材との対向摺動面における摺動時の空気の流
れが良くなり、摺動部材用磁器の摺動特性の向上が達成
できる。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年１２月２５日（１９９８．１２．
２５）
２５）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【0004】また、特開平2-310869号には、Mn-Znフェライ
ト、Ni-Znフェライトなど磁性セラミックスからなるス
ライダーの摺動面を塩酸溶液によるエッチング液にて粗
面処理する方法、特開平8-36852号には、CaTiO 3 系、AlT
iC系など非磁性セラミックスからなるスライダーの摺動
面を酸化剤と酸または酸化剤とアルカリを含む水溶液か
らなるエッチング液にて処理することにより、同時に鏡
面仕上げされた磁気ヘッドコアを浸食することなく、当
該摺動面を粗面化する方法が提案されていた。
ト、Ni-Znフェライトなど磁性セラミックスからなるス
ライダーの摺動面を塩酸溶液によるエッチング液にて粗
面処理する方法、特開平8-36852号には、CaTiO 3 系、AlT
iC系など非磁性セラミックスからなるスライダーの摺動
面を酸化剤と酸または酸化剤とアルカリを含む水溶液か
らなるエッチング液にて処理することにより、同時に鏡
面仕上げされた磁気ヘッドコアを浸食することなく、当
該摺動面を粗面化する方法が提案されていた。
Claims (6)
- 【請求項１】 被エッチング性が異なる少なくとも２種
以上の化合物相からなる摺動部材用磁器。 - 【請求項２】 請求項１において、各化合物相の平均結
晶粒径が１〜１０μｍである摺動部材用磁器。 - 【請求項３】 少なくとも原料粉に、加熱時に拡散する
拡散成分を有する原料Ａと、加熱時に拡散成分を受ける
被拡散成分を有する原料Ｂを有し、かつ原料Ａの平均結
晶粒径が原料Ｂのそれより大きい当該原料粉を粉末冶金
手段にて磁器となす摺動部材用磁器の製造方法。 - 【請求項４】 請求項３において、原料Ａの平均結晶粒
径が原料Ｂの２倍以上である摺動部材用磁器の製造方
法。 - 【請求項５】 請求項３において、原料Ｂの平均結晶粒
径が０．１〜１０μｍである摺動部材用磁器の製造方
法。 - 【請求項６】 請求項３において、原料ＡはＣａＯ，Ａ
ｌ2Ｏ3，ＭｎＯ，ＮｉＯ，ＭｇＯ及び／又は前記各酸化
物の誘導体のうち１種又は２種以上、原料ＢはＴｉ
Ｏ2，Ａｌ2Ｏ3，ＳｉＯ2，Ｃ及び／又は前記各酸化物並
びに元素の各誘導体のうち１種又は２種以上（但し、原
料Ａ，Ｂともに同種の場合はない）である摺動部材用磁
器の製造方法。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10262399A JP2000072527A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 摺動部材用磁器及びその製造方法 |
| EP99931503A EP1018110A1 (en) | 1998-07-24 | 1999-07-23 | Magnetic head and a method of its production |
| US09/508,639 US6411464B1 (en) | 1997-04-01 | 1999-07-23 | Magnetic head including sliding member having bearing surface formed of protrusions with almost flat tips |
| PCT/JP1999/003945 WO2000005711A1 (en) | 1998-07-24 | 1999-07-23 | Magnetic head and a method of its production |
| TW088112525A TW520490B (en) | 1998-07-24 | 1999-07-23 | Magnetic head and a method of its production |
| KR10-2000-7003049A KR100369872B1 (ko) | 1998-07-24 | 1999-07-23 | 자기 헤드와 그 제조 방법 |
| CN99801212A CN1114901C (zh) | 1998-07-24 | 1999-07-23 | 磁头及其制造方法 |
| IDW20000544D ID30074A (id) | 1998-07-24 | 1999-07-23 | Magnetic head dan metode produksinya |
| MYPI99003114A MY121366A (en) | 1998-07-24 | 1999-07-23 | Magnetic head including sliding member having bearing surface formed of protrusions with almost flat tips. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10262399A JP2000072527A (ja) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | 摺動部材用磁器及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000072527A true JP2000072527A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17375242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10262399A Withdrawn JP2000072527A (ja) | 1997-04-01 | 1998-08-31 | 摺動部材用磁器及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000072527A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866417B1 (ko) | 2008-08-01 | 2008-11-03 | 황경순 | 화력발전소 전기집진기의 집진호퍼 개폐용 세라믹 게이트디스크 시트 |
-
1998
- 1998-08-31 JP JP10262399A patent/JP2000072527A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866417B1 (ko) | 2008-08-01 | 2008-11-03 | 황경순 | 화력발전소 전기집진기의 집진호퍼 개폐용 세라믹 게이트디스크 시트 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000072527A (ja) | 摺動部材用磁器及びその製造方法 | |
| EP1018110A1 (en) | Magnetic head and a method of its production | |
| JPS63285175A (ja) | セラミックス焼結体の製造方法 | |
| JPH03215364A (ja) | 溶融金属用セラミックス焼結体および製造方法 | |
| JP2002037660A (ja) | 耐プラズマ性アルミナセラミックスおよびその製造方法 | |
| JP2000297363A (ja) | 光記録保護膜形成用スパッタリングターゲット及びその製造方法 | |
| JP2020059618A (ja) | 陶磁器用素地とそれを用いた陶磁器焼結体の製造方法 | |
| JP3103165B2 (ja) | 圧電体の製造方法 | |
| JPH0717784A (ja) | セラミック摺動部材およびその製造方法 | |
| JPH08217543A (ja) | 磁気ヘッド用非磁性セラミックスの製造方法 | |
| JP3152853B2 (ja) | アルミナ質焼結体およびその製法 | |
| JPH0664906A (ja) | 窒化珪素粉末 | |
| JPH0723257B2 (ja) | 緑色系ＺｒＯ２セラミツクス及び製造方法 | |
| JPS61291458A (ja) | ジルコニア焼結体およびその製造法 | |
| JPS63170262A (ja) | ＺｒＯ↓２−ＴｉＣ−ＳｉＣ系焼結体の製造方法 | |
| JP2622078B2 (ja) | 磁気ヘッド用非磁性セラミックスの製造法 | |
| Murata et al. | Sinterability of magnesium-oxide powder containing spherical agglomerates | |
| JPS63151682A (ja) | 窒化ケイ素焼結体の製造方法 | |
| JPH0465307A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| JPH11139891A (ja) | 積層セラミックスの製造方法 | |
| JPH04231378A (ja) | 窒化チタン・ジルコニアセラミックの製造方法 | |
| JPH03261652A (ja) | 磁気ヘッド用磁器組成物 | |
| JPH05283230A (ja) | 磁気ヘッド用非磁性基板 | |
| JPH05283231A (ja) | 非磁性基板用原料粉末の製造方法 | |
| JPS63134559A (ja) | 磁気ヘツド用非磁性セラミツクス |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050425 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050425 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050715 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070611 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080425 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20080519 |