JP2000061843A - ワイヤソー用スラリータンク - Google Patents
ワイヤソー用スラリータンクInfo
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- JP2000061843A JP2000061843A JP10234164A JP23416498A JP2000061843A JP 2000061843 A JP2000061843 A JP 2000061843A JP 10234164 A JP10234164 A JP 10234164A JP 23416498 A JP23416498 A JP 23416498A JP 2000061843 A JP2000061843 A JP 2000061843A
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- Japan
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- slurry
- abrasive grains
- shutter
- tank
- wire saw
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 凝集することなく砥粒が均一に分散したスラ
リーを調製し、インゴットのスライシング作業を安定化
させる。 【構成】 砥粒２８は、ホッパー２１からシャッター２
３を経て、固定篩２４及び振動篩２５を通過してタンク
本体１２に収容されているクーラント（スラリー１１）
に添加される。振動篩２５による加振で砥粒２８が解砕
されるため、複数の粒子が集合した凝集物が発生するこ
となく、個々の粒子状態で砥粒２８がスラリー１１に懸
濁される。 【効果】 凝集物のないスラリーがワイヤソーに供給さ
れるため、スライシング作業が安定化し、品質安定性に
優れたウェーハが得られる。
リーを調製し、インゴットのスライシング作業を安定化
させる。 【構成】 砥粒２８は、ホッパー２１からシャッター２
３を経て、固定篩２４及び振動篩２５を通過してタンク
本体１２に収容されているクーラント（スラリー１１）
に添加される。振動篩２５による加振で砥粒２８が解砕
されるため、複数の粒子が集合した凝集物が発生するこ
となく、個々の粒子状態で砥粒２８がスラリー１１に懸
濁される。 【効果】 凝集物のないスラリーがワイヤソーに供給さ
れるため、スライシング作業が安定化し、品質安定性に
優れたウェーハが得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インゴットをウェーハ
にワイヤソーでスライシングする際、砥粒が均一分散し
たスラリーをスライシング領域に供給するスラリータン
クに関する。
にワイヤソーでスライシングする際、砥粒が均一分散し
たスラリーをスライシング領域に供給するスラリータン
クに関する。
【０００２】
【従来の技術】引上げ法等で製造したインゴットは、ト
ップ及びテールを切断分離した後、外径研削，オリエン
テーションフラット加工等の工程を経て所定厚みのウェ
ーハにスライスされる。スライシングには、内周刃を備
えたスライサーが知られているが、最近ではウェーハの
大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる切断が採
用されるようになってきた。ワイヤソー切断装置は、一
般的には図１に示すように３本のグルーブローラ１〜３
を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４に連結さ
れている。グルーブローラ１〜３に複数回周回させるこ
とにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワイヤリー
ル６から巻き出され、他方のワイヤリール７に巻き取ら
れる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態でローラ
１〜３を周回するようにテンショナー８で張力が付与さ
れる。
ップ及びテールを切断分離した後、外径研削，オリエン
テーションフラット加工等の工程を経て所定厚みのウェ
ーハにスライスされる。スライシングには、内周刃を備
えたスライサーが知られているが、最近ではウェーハの
大径化に伴ってピアノ線等のワイヤソーによる切断が採
用されるようになってきた。ワイヤソー切断装置は、一
般的には図１に示すように３本のグルーブローラ１〜３
を備えており、そのうちの１本が駆動モータ４に連結さ
れている。グルーブローラ１〜３に複数回周回させるこ
とにより構成したマルチワイヤ５は、一方のワイヤリー
ル６から巻き出され、他方のワイヤリール７に巻き取ら
れる。マルチワイヤ５には、引っ張られた状態でローラ
１〜３を周回するようにテンショナー８で張力が付与さ
れる。
【０００３】スライスされるインゴット９は、接着治具
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
を介してホルダー１０に装着されてグルーブローラ１と
２の間に配置され、マルチワイヤ５により複数のウェー
ハにスライスされる。このとき、スライシング作業を円
滑に行わせるため、マルチワイヤ５にスラリー１１が供
給される。スラリー１１は、スラリータンク１２から供
給管１３を経てノズル１４からマルチワイヤ５に供給さ
れた後、パン１５で回収され、スラリータンク１２に返
送される。また、スラリー１１を冷却するため、熱交換
器１６とスラリータンク１２との間でスラリー１１を循
環させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】スラリー１１は、切断
中のインゴット９及びワイヤ５を冷却する油性又は水溶
性のクーラントに炭化ケイ素，コランダム，シリカ，ジ
ルコニア等の砥粒を添加し懸濁させることにより用意さ
れる。しかし、調合された砥粒は、クーラントに均一分
散されず、凝集物（いわゆる「ダマ」）になることがあ
る。凝集物を含んでいるクーラントをスラリー１１とし
て循環させると、フィルタを目詰りさせ、供給管１３，
ノズル１４等が部分的に又は一時的に閉塞しやすくな
る。目詰りや閉塞が生じると、切断域へのスラリー１１
の供給が不均一化し、正常なワイヤソー切断が阻害さ
れ、スライシングで得られるウェーハの品質が劣化す
る。また、複数個の砥粒が塊状に集合した凝集物がイン
ゴット９とワイヤ５との間に送り込まれ、切り込み量が
局部的に変動し、ウェーハの平坦度を劣化させる原因に
もなる。
中のインゴット９及びワイヤ５を冷却する油性又は水溶
性のクーラントに炭化ケイ素，コランダム，シリカ，ジ
ルコニア等の砥粒を添加し懸濁させることにより用意さ
れる。しかし、調合された砥粒は、クーラントに均一分
散されず、凝集物（いわゆる「ダマ」）になることがあ
る。凝集物を含んでいるクーラントをスラリー１１とし
て循環させると、フィルタを目詰りさせ、供給管１３，
ノズル１４等が部分的に又は一時的に閉塞しやすくな
る。目詰りや閉塞が生じると、切断域へのスラリー１１
の供給が不均一化し、正常なワイヤソー切断が阻害さ
れ、スライシングで得られるウェーハの品質が劣化す
る。また、複数個の砥粒が塊状に集合した凝集物がイン
ゴット９とワイヤ５との間に送り込まれ、切り込み量が
局部的に変動し、ウェーハの平坦度を劣化させる原因に
もなる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような問
題を解消すべく案出されたものであり、クーラントへの
配合に際し砥粒を個々の粒子に分断する機能をスラリー
タンクに付与することにより、スラリー中に砥粒の凝集
物が生じることを抑え、スラリーの安定供給を可能に
し、一定した品質のウェーハを切り出すことを目的とす
る。本発明のワイヤソー用スラリータンクは、その目的
を達成するため、タンク本体に収容されたクーラントを
攪拌するインペラーと、タンク本体の開口部に配置され
た砥粒投入用のホッパーと、ホッパーとタンク本体の内
部を仕切るシャッターと、シャッターの下方に配置され
た固定篩と、固定篩の下方に配置された振動篩とを備
え、タンク本体に投入される砥粒が振動篩を通過する際
に解砕されることを特徴とする。このスラリータンク
は、調合専用のタンク或いはワイヤソー切断装置のスラ
リー循環系に組み込まれたタンクの何れであっても良
い。スラリー循環系に組み込まれるタンクでは、タンク
本体とワイヤソーとの間にノズルを備えた供給管を配
し、ワイヤソーからのスラリーを回収するパンが接続さ
れる。スラリータンク内への塊状砥粒の侵入を確実に防
止する上では、インペラーを回転させる攪拌用モータ及
び振動篩を振動させる加振用モータの双方が稼動してい
るときに開放されるようにシャッターの開閉をプログラ
ムすることが好ましい。このように砥粒が均一分散した
スラリーは、半導体ウエーハ，ガラス基板，セラミック
ス基板等の各種ウエーハをインゴット等のブロック体か
ら切り出す際に使用される。また、ラッピング等の多の
研磨装置にも適用できる。
題を解消すべく案出されたものであり、クーラントへの
配合に際し砥粒を個々の粒子に分断する機能をスラリー
タンクに付与することにより、スラリー中に砥粒の凝集
物が生じることを抑え、スラリーの安定供給を可能に
し、一定した品質のウェーハを切り出すことを目的とす
る。本発明のワイヤソー用スラリータンクは、その目的
を達成するため、タンク本体に収容されたクーラントを
攪拌するインペラーと、タンク本体の開口部に配置され
た砥粒投入用のホッパーと、ホッパーとタンク本体の内
部を仕切るシャッターと、シャッターの下方に配置され
た固定篩と、固定篩の下方に配置された振動篩とを備
え、タンク本体に投入される砥粒が振動篩を通過する際
に解砕されることを特徴とする。このスラリータンク
は、調合専用のタンク或いはワイヤソー切断装置のスラ
リー循環系に組み込まれたタンクの何れであっても良
い。スラリー循環系に組み込まれるタンクでは、タンク
本体とワイヤソーとの間にノズルを備えた供給管を配
し、ワイヤソーからのスラリーを回収するパンが接続さ
れる。スラリータンク内への塊状砥粒の侵入を確実に防
止する上では、インペラーを回転させる攪拌用モータ及
び振動篩を振動させる加振用モータの双方が稼動してい
るときに開放されるようにシャッターの開閉をプログラ
ムすることが好ましい。このように砥粒が均一分散した
スラリーは、半導体ウエーハ，ガラス基板，セラミック
ス基板等の各種ウエーハをインゴット等のブロック体か
ら切り出す際に使用される。また、ラッピング等の多の
研磨装置にも適用できる。
【０００６】
【実施の形態】本発明者等は、スラリー中に懸濁してい
る砥粒の分散状態について種々調査検討し、複数の砥粒
粒子が集合した凝集物が生じ易い条件を調査した。凝集
物は、砥粒とクーラントが均一に混合されない場合に凝
集物が発生しやすく、一旦発生すると通常の攪拌を長く
続けても個々の砥粒粒子に解砕されない。このような凝
集物の発生は、クーラントに砥粒を添加するときの砥粒
の状態が大きく影響しており、分散度が進んだ状態で砥
粒を添加することによって効果的に抑制されることを見
出した。そこで、本発明においては、スラリータンクに
砥粒を個々の粒子に分断する機能をもたせている。具体
的には、図２に示すように砥粒投入用のホッパー２１を
上部に設けたスラリータンク１２に加振用モータ２２を
付設している。ホッパー２１は、シャッター２３を底部
に備えている。シャッター２３の下方には、図３の断面
に示すように固定篩２４が配置され、更にその下方に振
動篩２５が配置されている。振動篩２４は、リンク２６
を介して加振用モータ２２の出力軸に連結されている。
固定篩２４及び振動篩２５としては、網目サイズが３〜
７ｍｍ程度のメッシュが使用される。なお、スラリータ
ンク１２には、インゴット９の切断に使用されたスラリ
ー１１を回収するパン１５からのスラリー回収系が内部
に開口しているが、図２，図３においてはスラリー回収
系を省略している。
る砥粒の分散状態について種々調査検討し、複数の砥粒
粒子が集合した凝集物が生じ易い条件を調査した。凝集
物は、砥粒とクーラントが均一に混合されない場合に凝
集物が発生しやすく、一旦発生すると通常の攪拌を長く
続けても個々の砥粒粒子に解砕されない。このような凝
集物の発生は、クーラントに砥粒を添加するときの砥粒
の状態が大きく影響しており、分散度が進んだ状態で砥
粒を添加することによって効果的に抑制されることを見
出した。そこで、本発明においては、スラリータンクに
砥粒を個々の粒子に分断する機能をもたせている。具体
的には、図２に示すように砥粒投入用のホッパー２１を
上部に設けたスラリータンク１２に加振用モータ２２を
付設している。ホッパー２１は、シャッター２３を底部
に備えている。シャッター２３の下方には、図３の断面
に示すように固定篩２４が配置され、更にその下方に振
動篩２５が配置されている。振動篩２４は、リンク２６
を介して加振用モータ２２の出力軸に連結されている。
固定篩２４及び振動篩２５としては、網目サイズが３〜
７ｍｍ程度のメッシュが使用される。なお、スラリータ
ンク１２には、インゴット９の切断に使用されたスラリ
ー１１を回収するパン１５からのスラリー回収系が内部
に開口しているが、図２，図３においてはスラリー回収
系を省略している。
【０００７】クーラントとしては、鉱油をベースにした
油性クーラントが通常使用されているが、種々の成分を
もつ水性クーラントも使用できる。クーラントに、粒径
が５〜３０μｍ程度で炭化ケイ素，コランダム，シリ
カ，ジルコニア等の砥粒を調合することによってスラリ
ー１１が調整される。スラリーは、スラリータンク２１
内で調合されるが、別途の調合専用タンクを用いて調合
することもできる。調合済みのスラリーを使用する場
合、ホッパー２１から供給される砥粒２８は、切断に消
費された量を補う追加的な量に定められる。砥粒２８
は、ホッパー２１に投入され、傾斜面２７に沿って流下
し、固定篩２４及び振動篩２５を経てスラリータンク１
２内のクーラントに添加される。砥粒添加時に加振用モ
ータ２２を駆動させ、図３に矢印で示す方向に沿って振
動篩２５を振動させる。振動周期は、たとえば５〜２０
ｍｍのストローク，毎秒０．５〜２サイクルの範囲で設
定される。振動篩２５を通過する砥粒２８は、振動篩２
５で加えられる振動により個々の粒子に分断される。
油性クーラントが通常使用されているが、種々の成分を
もつ水性クーラントも使用できる。クーラントに、粒径
が５〜３０μｍ程度で炭化ケイ素，コランダム，シリ
カ，ジルコニア等の砥粒を調合することによってスラリ
ー１１が調整される。スラリーは、スラリータンク２１
内で調合されるが、別途の調合専用タンクを用いて調合
することもできる。調合済みのスラリーを使用する場
合、ホッパー２１から供給される砥粒２８は、切断に消
費された量を補う追加的な量に定められる。砥粒２８
は、ホッパー２１に投入され、傾斜面２７に沿って流下
し、固定篩２４及び振動篩２５を経てスラリータンク１
２内のクーラントに添加される。砥粒添加時に加振用モ
ータ２２を駆動させ、図３に矢印で示す方向に沿って振
動篩２５を振動させる。振動周期は、たとえば５〜２０
ｍｍのストローク，毎秒０．５〜２サイクルの範囲で設
定される。振動篩２５を通過する砥粒２８は、振動篩２
５で加えられる振動により個々の粒子に分断される。
【０００８】このようにして、複数個の粒子が集合した
状態ではなく、個々の粒子が分断された粒状化状態で砥
粒２８が添加される。他方、砥粒２８が添加されるスラ
リー１１は、攪拌用モータ２９（図２）に連結されてい
るインペラー３０（図１）で攪拌されている。したがっ
て、スラリー１１に投入された砥粒２８は、スラリー１
１内の一部に滞留することなく分散されるため、凝集化
が防止される。シャッター２３は、不用意に砥粒２８が
投入されることを防止するため、好ましくは加振用モー
タ２２及び攪拌用モータ２９が駆動しているときのみに
開放される。そのためには、加振用モータ２２及び攪拌
用モータ２９から駆動状態を表す信号を制御装置に送
り、双方のモータ２２，２９からの信号があるときにシ
ャッター２３を開放する信号を発するプログラムに従っ
てシャッター２３の回閉動作を制御することが好まし
い。
状態ではなく、個々の粒子が分断された粒状化状態で砥
粒２８が添加される。他方、砥粒２８が添加されるスラ
リー１１は、攪拌用モータ２９（図２）に連結されてい
るインペラー３０（図１）で攪拌されている。したがっ
て、スラリー１１に投入された砥粒２８は、スラリー１
１内の一部に滞留することなく分散されるため、凝集化
が防止される。シャッター２３は、不用意に砥粒２８が
投入されることを防止するため、好ましくは加振用モー
タ２２及び攪拌用モータ２９が駆動しているときのみに
開放される。そのためには、加振用モータ２２及び攪拌
用モータ２９から駆動状態を表す信号を制御装置に送
り、双方のモータ２２，２９からの信号があるときにシ
ャッター２３を開放する信号を発するプログラムに従っ
てシャッター２３の回閉動作を制御することが好まし
い。
【０００９】個々の粒子として砥粒２８が投入されたス
ラリー１１は、凝集物がないため供給管１３，ノズル１
４，フィルタ等に目詰りを起こすことなく、スライシン
グされているインゴット９の加工域に均一供給される。
したがって、一定化した条件下でインゴット９がスライ
シングされ、品質安定性に優れたウェーハが切出され
る。また、スラリー供給系に目詰りがないため、メンテ
ナンスも容易になる。たとえば、平均粒径２０μｍの炭
化ケイ素を砥粒２８として油性クーラントに１００ｇ／
ｌ／分の割合で添加した。このとき、砥粒２８の流動経
路に５ｍｍの網目をもつ固定篩２４及び振動篩２５を配
置し、振動篩２５を１５ｍｍのストローク，１サイクル
／秒で振動させた。この条件下で砥粒２８を配合したス
ラリー１１を用いてインゴット９をスライシングしたと
ころ、供給管１３やノズル１４の目詰りに起因したスラ
リー供給の不安定化は１０時間スライシングを継続した
時点でも検出されなかった。また、供給管１３を循環し
ているスラリー１１をサンプリングして砥粒の懸濁状態
を調査したところ、３０μｍを超える大きな凝集物が検
出されなかった。
ラリー１１は、凝集物がないため供給管１３，ノズル１
４，フィルタ等に目詰りを起こすことなく、スライシン
グされているインゴット９の加工域に均一供給される。
したがって、一定化した条件下でインゴット９がスライ
シングされ、品質安定性に優れたウェーハが切出され
る。また、スラリー供給系に目詰りがないため、メンテ
ナンスも容易になる。たとえば、平均粒径２０μｍの炭
化ケイ素を砥粒２８として油性クーラントに１００ｇ／
ｌ／分の割合で添加した。このとき、砥粒２８の流動経
路に５ｍｍの網目をもつ固定篩２４及び振動篩２５を配
置し、振動篩２５を１５ｍｍのストローク，１サイクル
／秒で振動させた。この条件下で砥粒２８を配合したス
ラリー１１を用いてインゴット９をスライシングしたと
ころ、供給管１３やノズル１４の目詰りに起因したスラ
リー供給の不安定化は１０時間スライシングを継続した
時点でも検出されなかった。また、供給管１３を循環し
ているスラリー１１をサンプリングして砥粒の懸濁状態
を調査したところ、３０μｍを超える大きな凝集物が検
出されなかった。
【００１０】比較のため、振動付与しない他は同じ条件
下でスラリー１１を調製し、スラリー１１を循環させな
がらインゴット９をスライシングした。この場合、切断
作業開始から２時間経過した時点までノズル１４から噴
出されるスラリー１１に脈流が検出された。また、イン
ゴット９から切り出されたウェーハも、切断作業の時間
経過に伴って平坦度や表面粗さが劣化する傾向がみられ
た。この対比から明らかなように、砥粒２８に振動を加
えて個々の粒子に分断した状態でスラリー１１に投入す
るとき、砥粒２８の均一分散が図られ、安定条件下での
スライシングが可能になることが確認された。
下でスラリー１１を調製し、スラリー１１を循環させな
がらインゴット９をスライシングした。この場合、切断
作業開始から２時間経過した時点までノズル１４から噴
出されるスラリー１１に脈流が検出された。また、イン
ゴット９から切り出されたウェーハも、切断作業の時間
経過に伴って平坦度や表面粗さが劣化する傾向がみられ
た。この対比から明らかなように、砥粒２８に振動を加
えて個々の粒子に分断した状態でスラリー１１に投入す
るとき、砥粒２８の均一分散が図られ、安定条件下での
スライシングが可能になることが確認された。
【００１１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のスラリ
ータンクは、分散度が進んだ解砕状態の砥粒をクーラン
トに添加してスラリーを調製しているため、多数の粒子
が集合した砥粒の塊状凝縮物がスラリー中に懸濁するこ
とがなくなる。そのため、ノズルを始めスラリー供給系
に閉塞等のトラブルを発生させることなく、ワイヤソー
によるインゴット切断作業域に一定流量のスラリーが安
定供給される。したがって、インゴットのスライシング
も安定化し、品質安定性に優れたウェーハが得られる。
ータンクは、分散度が進んだ解砕状態の砥粒をクーラン
トに添加してスラリーを調製しているため、多数の粒子
が集合した砥粒の塊状凝縮物がスラリー中に懸濁するこ
とがなくなる。そのため、ノズルを始めスラリー供給系
に閉塞等のトラブルを発生させることなく、ワイヤソー
によるインゴット切断作業域に一定流量のスラリーが安
定供給される。したがって、インゴットのスライシング
も安定化し、品質安定性に優れたウェーハが得られる。
【図１】 ワイヤソー切断装置の概略図
【図２】 本発明に従ったスラリータンクの斜視図
【図３】 スラリータンクの要部断面図
１〜３：グルーブローラ ４：駆動モータ ５：ワ
イヤ ６，７：ワイヤリール ８：テンショナー
９：インゴット １０：ホルダー １１：スラリー １２：スラリータンク １３：供
給管 １４：ノズル １５：パン １６：熱交換器 ２１：ホッパー
２２：加振用モータ ２３：シャッター ２
４：固定篩 ２５：振動篩 ２６：リンク ２７：傾斜面 ２８：砥粒 ２
９：攪拌用モータ ３０：インペラー
イヤ ６，７：ワイヤリール ８：テンショナー
９：インゴット １０：ホルダー １１：スラリー １２：スラリータンク １３：供
給管 １４：ノズル １５：パン １６：熱交換器 ２１：ホッパー
２２：加振用モータ ２３：シャッター ２
４：固定篩 ２５：振動篩 ２６：リンク ２７：傾斜面 ２８：砥粒 ２
９：攪拌用モータ ３０：インペラー
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フロントページの続き
(72)発明者 浅川 慶一郎
群馬県安中市中野谷555番地の１ 株式会
社スーパーシリコン研究所内
(72)発明者 松崎 順一
群馬県安中市中野谷555番地の１ 株式会
社スーパーシリコン研究所内
Ｆターム(参考） 3C047 AA18 AA21 AA32 GG14 GG18
GG20
3C058 AA07 AA16 AA18 AB06 AC04
CB01 DA02 DA03
3C069 AA01 BA06 BB01 BB04 BC01
CA04 DA06 EA02
Claims (2)
- 【請求項１】 タンク本体に収容されたクーラントを攪
拌するインペラーと、タンク本体の開口部に配置された
砥粒投入用のホッパーと、ホッパーとタンク本体の内部
を仕切るシャッターと、シャッターの下方に配置された
固定篩と、固定篩の下方に配置された振動篩とを備え、
タンク本体に投入される砥粒が振動篩を通過する際に解
砕されることを特徴とするワイヤソー用スラリータン
ク。 - 【請求項２】 インペラーを回転させる攪拌用モータ及
び振動篩を振動させる加振用モータの双方が稼動してい
るときに開放されるようにシャッターの開閉がプログラ
ムされている請求項１記載のワイヤソー用スラリータン
ク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23416498A JP4212155B2 (ja) | 1998-08-20 | 1998-08-20 | ワイヤソー用スラリータンク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23416498A JP4212155B2 (ja) | 1998-08-20 | 1998-08-20 | ワイヤソー用スラリータンク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000061843A true JP2000061843A (ja) | 2000-02-29 |
| JP4212155B2 JP4212155B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=16966674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23416498A Expired - Fee Related JP4212155B2 (ja) | 1998-08-20 | 1998-08-20 | ワイヤソー用スラリータンク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4212155B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012512758A (ja) * | 2008-12-20 | 2012-06-07 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | ワイヤーソー切断法 |
| KR20190051064A (ko) | 2016-11-10 | 2019-05-14 | 가부시키가이샤 사무코 | 지립 및 그의 평가 방법 그리고 웨이퍼의 제조 방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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