JP2000058615A - 複数のウエハーの同時処理方法 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数のウエハーの同時処理方法の提供。
【解決手段】 処理室をウエハー処理の順序単位となす
ほか、別に従来の処理ステップにさらに終了信号の出力
ステップを加え、該終了信号を、その処理を行う次の一
つのウエハーの順序を決定するのに用いて、該終了信号
がどの一つの処理室り出力したものかを判断すること
で、次の一つの該処理を行うウエハー箱のウエハーが必
要とする相関順序シリアルナンバーをメモリ中に格納
し、それにより異なるウエハー箱のウエハーを同時に異
なる処理室で処理できるようにし、ウエハー箱の待機時
間を減少し、有効にウエハー製造工程の加工時間を減少
できるようにした。
ほか、別に従来の処理ステップにさらに終了信号の出力
ステップを加え、該終了信号を、その処理を行う次の一
つのウエハーの順序を決定するのに用いて、該終了信号
がどの一つの処理室り出力したものかを判断すること
で、次の一つの該処理を行うウエハー箱のウエハーが必
要とする相関順序シリアルナンバーをメモリ中に格納
し、それにより異なるウエハー箱のウエハーを同時に異
なる処理室で処理できるようにし、ウエハー箱の待機時
間を減少し、有効にウエハー製造工程の加工時間を減少
できるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一種の複数のウエ
ハーの同時処理方法に関し、異なるウエハー箱を同時に
異なる処理室中で処理することで有効に作業時間を減少
して生産効率を高める目的を達成できる方法に関する。
ハーの同時処理方法に関し、異なるウエハー箱を同時に
異なる処理室中で処理することで有効に作業時間を減少
して生産効率を高める目的を達成できる方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、半導体ウエハー製造工程にお
いては、一組ずつのウエハーケースを単位として異なる
処理室に送りウエハーにさらなる処理を行っており、異
なるウエハー処理室があって、異なるウエハー箱を処理
する時には、ウエハー箱の順序を処理の順序の基準とし
て異なるウエハー箱をウエハー処理室に輸送して処理し
ていた。図１は従来のウエハー箱のウエハー処理室への
輸送実施例図である。その中には、三つのウエハー箱を
置く棚が設けられて、この棚は第１の棚１０、第２の棚
２０及び第３の棚３０を含み、第１の棚１０は第１のウ
エハー箱１を収容するのに用いられ、第２、第３の棚２
０、３０は第２、第３のウエハー箱２、３を収容するの
に用いられている。図１中にはさらに一つの通路１５が
あり、該通路１５は第１の処理室１１、第２の処理室１
２、第３の処理室１３及び第４の処理室１４に連接して
いる。これら処理室１１、１２、１３、１４とウエハー
箱１、２、３の棚１０、２０、３０の間の順序関係は以
下のとおりである。
いては、一組ずつのウエハーケースを単位として異なる
処理室に送りウエハーにさらなる処理を行っており、異
なるウエハー処理室があって、異なるウエハー箱を処理
する時には、ウエハー箱の順序を処理の順序の基準とし
て異なるウエハー箱をウエハー処理室に輸送して処理し
ていた。図１は従来のウエハー箱のウエハー処理室への
輸送実施例図である。その中には、三つのウエハー箱を
置く棚が設けられて、この棚は第１の棚１０、第２の棚
２０及び第３の棚３０を含み、第１の棚１０は第１のウ
エハー箱１を収容するのに用いられ、第２、第３の棚２
０、３０は第２、第３のウエハー箱２、３を収容するの
に用いられている。図１中にはさらに一つの通路１５が
あり、該通路１５は第１の処理室１１、第２の処理室１
２、第３の処理室１３及び第４の処理室１４に連接して
いる。これら処理室１１、１２、１３、１４とウエハー
箱１、２、３の棚１０、２０、３０の間の順序関係は以
下のとおりである。
【０００３】第１のウエハー箱１、第２のウエハー箱２
及び第３のウエハー箱３がそれぞれ第１の棚１０、第２
の棚２０、第３の棚３０に置かれ、各一つのウエハー箱
中のウエハーを異なる処理室１１、１２、１３、１４に
送って処理（例えばウエハー上にフォトレジストを塗布
したりエッチング処理を施す）を行う時、その伝送処理
の順序は図１中に示されるように、第１のウエハー箱処
理順序２１、第２のウエハー箱処理順序２２、第３のウ
エハー箱処理順序２３という異なる順序となる。もし第
２のウエハー箱２中のウエハーを第２の処理室１２に送
り処理を行うなら、第１のウエハー箱１中のウエハーに
対する第１の処理室１１中での処理が完了してからでな
ければ第２のウエハー２中のウエハーを第２の処理室１
２中で処理できない。さらに、もし第３のウエハー箱３
中のウエハーを第３の処理室１３中で処理する時には、
第１、第２のウエハー箱１、２中の全てのウエハーの処
理が完了してからでなければ第３のウエハー箱３中のウ
エハーの処理を進行できない。このような処理順序はウ
エハー箱の処理待機時間を増加するほか、このようなウ
エハー伝送処理方式の効率は極めて低く、作業時間が不
必要に長くなった。
及び第３のウエハー箱３がそれぞれ第１の棚１０、第２
の棚２０、第３の棚３０に置かれ、各一つのウエハー箱
中のウエハーを異なる処理室１１、１２、１３、１４に
送って処理（例えばウエハー上にフォトレジストを塗布
したりエッチング処理を施す）を行う時、その伝送処理
の順序は図１中に示されるように、第１のウエハー箱処
理順序２１、第２のウエハー箱処理順序２２、第３のウ
エハー箱処理順序２３という異なる順序となる。もし第
２のウエハー箱２中のウエハーを第２の処理室１２に送
り処理を行うなら、第１のウエハー箱１中のウエハーに
対する第１の処理室１１中での処理が完了してからでな
ければ第２のウエハー２中のウエハーを第２の処理室１
２中で処理できない。さらに、もし第３のウエハー箱３
中のウエハーを第３の処理室１３中で処理する時には、
第１、第２のウエハー箱１、２中の全てのウエハーの処
理が完了してからでなければ第３のウエハー箱３中のウ
エハーの処理を進行できない。このような処理順序はウ
エハー箱の処理待機時間を増加するほか、このようなウ
エハー伝送処理方式の効率は極めて低く、作業時間が不
必要に長くなった。
【０００４】さらに従来の技術においてウエハー箱を異
なる処理室に送り処理するステップについて以下に説明
を行う。
なる処理室に送り処理するステップについて以下に説明
を行う。
【０００５】まず、異なるウエハー箱を異なる棚に入れ
る４１１。それから処理項目、例えばフォトレジスト塗
布を選択し実行開始する４１２。続いてウエハー箱の処
理優先順序を設定する４１３。この時、開始シリアルナ
ンバー設定、位置シリアルナンバー及び処理室シリアル
ナンバーなどの異なるシリアルナンバーの設定を行う。
その後、処理するウエハーの走査を執行する４１４。こ
のステップでは処理したいウエハーを所属のウエハー箱
中より定義する。続いてウエハー箱の処理順序をメモリ
に入力する４１５。このステップでは異なる処理室のシ
リアルナンバー及び位置のシリアルナンバーを、メモリ
のバッファ中に入力し、これによりウエハー全ての処理
ステップ中で、各一つのウエハーの位置と送りたい処理
室と処理の順序を知ることができるようにする。その
後、処理をしたいウエハーを取り出す４１６。そしてウ
エハー処理を実行する４１７。このステップでは例えば
ウエハー上にフォトレジストを塗布する。続いてそのウ
エハーの元々の位置のシリアルナンバーにより該ウエハ
ーを元の位置に戻す。その後、処理したウエハーが該ウ
エハー箱中の最後の一つのウエハーか否かの判断を行う
４１９。もし処理したウエハーが最後の一つのウエハー
であれば、続いて該ウエハー箱が最後の一組のウエハー
箱であるか否かを判断し４２０、もし最後の一組のウエ
ハー箱でなければ、次のウエハー箱を処理する４２１動
作を行い、並びにウエハー箱処理順序をメモリに入力す
る４１５のステップに戻り、継続して実行する。ただし
もし最後の一組のウエハー箱であれば、それは全てのウ
エハー箱のウエハーがいずれも処理を完了したことを示
すので、このときウエハーの処理を終了する４２２。こ
れは即ち全てのウエハーの処理が完了したことを示す。
る４１１。それから処理項目、例えばフォトレジスト塗
布を選択し実行開始する４１２。続いてウエハー箱の処
理優先順序を設定する４１３。この時、開始シリアルナ
ンバー設定、位置シリアルナンバー及び処理室シリアル
ナンバーなどの異なるシリアルナンバーの設定を行う。
その後、処理するウエハーの走査を執行する４１４。こ
のステップでは処理したいウエハーを所属のウエハー箱
中より定義する。続いてウエハー箱の処理順序をメモリ
に入力する４１５。このステップでは異なる処理室のシ
リアルナンバー及び位置のシリアルナンバーを、メモリ
のバッファ中に入力し、これによりウエハー全ての処理
ステップ中で、各一つのウエハーの位置と送りたい処理
室と処理の順序を知ることができるようにする。その
後、処理をしたいウエハーを取り出す４１６。そしてウ
エハー処理を実行する４１７。このステップでは例えば
ウエハー上にフォトレジストを塗布する。続いてそのウ
エハーの元々の位置のシリアルナンバーにより該ウエハ
ーを元の位置に戻す。その後、処理したウエハーが該ウ
エハー箱中の最後の一つのウエハーか否かの判断を行う
４１９。もし処理したウエハーが最後の一つのウエハー
であれば、続いて該ウエハー箱が最後の一組のウエハー
箱であるか否かを判断し４２０、もし最後の一組のウエ
ハー箱でなければ、次のウエハー箱を処理する４２１動
作を行い、並びにウエハー箱処理順序をメモリに入力す
る４１５のステップに戻り、継続して実行する。ただし
もし最後の一組のウエハー箱であれば、それは全てのウ
エハー箱のウエハーがいずれも処理を完了したことを示
すので、このときウエハーの処理を終了する４２２。こ
れは即ち全てのウエハーの処理が完了したことを示す。
【０００６】ゆえに、上述のウエハー箱処理ステップに
関しては、異なるウエハー箱中のウエハーを異なる処理
室中で処理する時、順序により先の一つのウエハー箱の
ウエハーの処理が完了した後でなければ処理を実行でき
ず、即ち従来の技術では、シリアルナンバー決定後に一
度開始ボタンを押して実行すると、全てのウエハー処理
順序ステップがいずれも決定されてしまい、異なるウエ
ハーの異なる処理ステップがあろうとなかろうと状況は
変わらなかった。このため大幅に作業時間がかかり、異
なるウエハー箱の待機時間を浪費するため、改善の必要
があった。
関しては、異なるウエハー箱中のウエハーを異なる処理
室中で処理する時、順序により先の一つのウエハー箱の
ウエハーの処理が完了した後でなければ処理を実行でき
ず、即ち従来の技術では、シリアルナンバー決定後に一
度開始ボタンを押して実行すると、全てのウエハー処理
順序ステップがいずれも決定されてしまい、異なるウエ
ハーの異なる処理ステップがあろうとなかろうと状況は
変わらなかった。このため大幅に作業時間がかかり、異
なるウエハー箱の待機時間を浪費するため、改善の必要
があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の技術の実
際上の運用の欠点から、本発明では、使用者が同時に異
なるウエハー箱中のウエハーの個別加工処理が行える方
法を提供する。具体的には、本発明は、一種の経済的で
且つ作業時間を節約できる複数のウエハーの同時処理方
法を提供し、その中、ウエハーの処理室をウエハー加工
処理の順序の根拠となし、即ち同時に異なる処理室で異
なるウエハー箱中のウエハーをそれぞれ加工できるよう
にして、有効に異なるウエハー箱の処理待ち時間をなく
し、作業時間を節約し且つウエハー加工の経済性を高
め、従来の技術の欠点を改善することを課題としてい
る。
際上の運用の欠点から、本発明では、使用者が同時に異
なるウエハー箱中のウエハーの個別加工処理が行える方
法を提供する。具体的には、本発明は、一種の経済的で
且つ作業時間を節約できる複数のウエハーの同時処理方
法を提供し、その中、ウエハーの処理室をウエハー加工
処理の順序の根拠となし、即ち同時に異なる処理室で異
なるウエハー箱中のウエハーをそれぞれ加工できるよう
にして、有効に異なるウエハー箱の処理待ち時間をなく
し、作業時間を節約し且つウエハー加工の経済性を高
め、従来の技術の欠点を改善することを課題としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、異な
るウエハー箱のウエハーを同時に異なる処理室中で処理
することを特徴とする、複数のウエハーの同時処理方法
としている。
るウエハー箱のウエハーを同時に異なる処理室中で処理
することを特徴とする、複数のウエハーの同時処理方法
としている。
【０００９】請求項２の発明は、前述の異なる処理室を
ウエハー処理の順序の根拠となして各一つの処理室で一
つのウエハーの処理が完了した後に、一つの終了信号を
出力して、次の処理を行うウエハーの順序の根拠となす
ことを特徴とする、請求項１に記載の複数のウエハーの
同時処理方法としている。
ウエハー処理の順序の根拠となして各一つの処理室で一
つのウエハーの処理が完了した後に、一つの終了信号を
出力して、次の処理を行うウエハーの順序の根拠となす
ことを特徴とする、請求項１に記載の複数のウエハーの
同時処理方法としている。
【００１０】請求項３の発明は、前述の処理室での処理
がフォトレジストのウエハーへの塗布であることを特徴
とする、請求項１に記載のウエハーの同時処理方法とし
ている。
がフォトレジストのウエハーへの塗布であることを特徴
とする、請求項１に記載のウエハーの同時処理方法とし
ている。
【００１１】請求項４の発明は、前述の処理室での処理
がウエハーに対するエッチングであることを特徴とす
る、請求項１に記載のウエハーの同時処理方法としてい
る。
がウエハーに対するエッチングであることを特徴とす
る、請求項１に記載のウエハーの同時処理方法としてい
る。
【００１２】請求項５の発明は、以下の（ａ）から
（ｍ）のステップ、即ち、 （ａ） 異なるウエハー箱を異なる棚中に収容するステ
ップ （ｂ） 処理項目を選択し並びに実行開始するステップ （ｃ） ウエハー処理の優先順序を設定するステップ （ｄ） 処理するウエハーを走査するステップ （ｅ） ウエハー箱の処理順序をメモリ中に入力するス
テップ （ｆ） 処理するウエハーを取り出すステップ （ｇ） ウエハーの処理を執行し、処理終了後に一つの
終了信号を出力するステップ （ｈ） 該終了信号がどの処理室から出力されたかを判
断するステップ （ｉ） 次の一つのウエハー箱の処理順序をメモリ中に
入力するステップ （ｊ） 処理後のウエハーを戻すステップ （ｋ） ウエハー箱の最後の一つのウエハーであるか否
かを判定してもし否であれば（ｅ）のステップに戻るス
テップ （ｌ） 最後のウエハー箱であるか否かを判定してもし
否であれば次の一つのウエハー箱を処理し、その後に
（ｅ）のステップに戻るステップ （ｍ）ウエハー処理を終了するステップ 以上を包括することを特徴とする、請求項１に記載の複
数のウエハーの同時処理方法としている。
（ｍ）のステップ、即ち、 （ａ） 異なるウエハー箱を異なる棚中に収容するステ
ップ （ｂ） 処理項目を選択し並びに実行開始するステップ （ｃ） ウエハー処理の優先順序を設定するステップ （ｄ） 処理するウエハーを走査するステップ （ｅ） ウエハー箱の処理順序をメモリ中に入力するス
テップ （ｆ） 処理するウエハーを取り出すステップ （ｇ） ウエハーの処理を執行し、処理終了後に一つの
終了信号を出力するステップ （ｈ） 該終了信号がどの処理室から出力されたかを判
断するステップ （ｉ） 次の一つのウエハー箱の処理順序をメモリ中に
入力するステップ （ｊ） 処理後のウエハーを戻すステップ （ｋ） ウエハー箱の最後の一つのウエハーであるか否
かを判定してもし否であれば（ｅ）のステップに戻るス
テップ （ｌ） 最後のウエハー箱であるか否かを判定してもし
否であれば次の一つのウエハー箱を処理し、その後に
（ｅ）のステップに戻るステップ （ｍ）ウエハー処理を終了するステップ 以上を包括することを特徴とする、請求項１に記載の複
数のウエハーの同時処理方法としている。
【００１３】請求項６の発明は、（ｄ）の処理するウエ
ハーを走査するステップにおいて、ウエハーに設定され
たウエハーシリアルナンバーを処理するウエハーを走査
する根拠となすことを特徴とする、請求項５に記載の複
数のウエハーの同時処理方法としている。
ハーを走査するステップにおいて、ウエハーに設定され
たウエハーシリアルナンバーを処理するウエハーを走査
する根拠となすことを特徴とする、請求項５に記載の複
数のウエハーの同時処理方法としている。
【００１４】請求項７の発明は、（ｅ）のウエハー箱の
処理順序をメモリ中に入力するステップにおいて、異な
る処理室シリアルナンバー及び位置シリアルナンバーが
設定されることで、ウエハーの処理の優先順序が決定さ
れることを特徴とする、請求項５に記載の複数のウエハ
ーの同時処理方法としている。
処理順序をメモリ中に入力するステップにおいて、異な
る処理室シリアルナンバー及び位置シリアルナンバーが
設定されることで、ウエハーの処理の優先順序が決定さ
れることを特徴とする、請求項５に記載の複数のウエハ
ーの同時処理方法としている。
【００１５】請求項８の発明は、（ｆ）の処理するウエ
ハーを取り出すステップにおいて、設定された処理室シ
リアルナンバーにより処理するウエハーを対応する処理
室に送って処理を行うことを特徴とする、請求項５に記
載の複数のウエハーの同時処理方法としている。
ハーを取り出すステップにおいて、設定された処理室シ
リアルナンバーにより処理するウエハーを対応する処理
室に送って処理を行うことを特徴とする、請求項５に記
載の複数のウエハーの同時処理方法としている。
【００１６】請求項９の発明は、（ｉ）の次の一つのウ
エハー箱の処理順序をメモリ中に入力するステップにお
いて、異なる処理室シリアルナンバーと位置シリアルナ
ンバーが設定されて次の一つのウエハーの処理優先順序
が決定されることを特徴とする、請求項５に記載の複数
のウエハーの同時処理方法としている。
エハー箱の処理順序をメモリ中に入力するステップにお
いて、異なる処理室シリアルナンバーと位置シリアルナ
ンバーが設定されて次の一つのウエハーの処理優先順序
が決定されることを特徴とする、請求項５に記載の複数
のウエハーの同時処理方法としている。
【００１７】請求項１０の発明は、（ｊ）の処理後のウ
エハーを戻すステップにおいて、該ウエハーの元の位置
シリアルナンバーにより該ウエハーが元の位置に戻され
ることを特徴とする、請求項５に記載の複数のウエハー
の同時処理方法としている。
エハーを戻すステップにおいて、該ウエハーの元の位置
シリアルナンバーにより該ウエハーが元の位置に戻され
ることを特徴とする、請求項５に記載の複数のウエハー
の同時処理方法としている。
【００１８】請求項１１の発明は、（ｌ）の最後のウエ
ハー箱であるか否かを判定してもし否であれば次の一つ
のウエハー箱を処理し、その後に（ｅ）のステップに戻
るステップにおいて、ウエハーの位置シリアルナンバー
により次の一つのウエハー箱の処理を行うことを特徴と
する、請求項５に記載の複数のウエハーの同時処理方法
としている。
ハー箱であるか否かを判定してもし否であれば次の一つ
のウエハー箱を処理し、その後に（ｅ）のステップに戻
るステップにおいて、ウエハーの位置シリアルナンバー
により次の一つのウエハー箱の処理を行うことを特徴と
する、請求項５に記載の複数のウエハーの同時処理方法
としている。
【００１９】
【発明の実施の形態】上述の課題を達成するために、本
発明では処理室をウエハー処理の順序単位となすほか、
別に従来の処理ステップにさらに終了信号の出力ステッ
プを加え、該終了信号を、その処理を行う次の一つのウ
エハーの順序を決定するのに用いて、該終了信号がどの
一つの処理室り出力したものかを判断することで、次の
一つの該処理を行うウエハー箱のウエハーが必要とする
相関順序シリアルナンバーをメモリ中に格納し、それに
より異なるウエハー箱のウエハーを同時に異なる処理室
で処理できるようにし、ウエハー箱の待機時間を減少
し、有効にウエハー製造工程の加工時間を減少するよう
にしてある。
発明では処理室をウエハー処理の順序単位となすほか、
別に従来の処理ステップにさらに終了信号の出力ステッ
プを加え、該終了信号を、その処理を行う次の一つのウ
エハーの順序を決定するのに用いて、該終了信号がどの
一つの処理室り出力したものかを判断することで、次の
一つの該処理を行うウエハー箱のウエハーが必要とする
相関順序シリアルナンバーをメモリ中に格納し、それに
より異なるウエハー箱のウエハーを同時に異なる処理室
で処理できるようにし、ウエハー箱の待機時間を減少
し、有効にウエハー製造工程の加工時間を減少するよう
にしてある。
【００２０】望ましくは、異なるウエハー処理室での処
理にフォトレジスト塗布ステップが含まれるものとす
る。
理にフォトレジスト塗布ステップが含まれるものとす
る。
【００２１】望ましくは、異なるウエハー処理室での処
理にウエハーに対するエッチングステップが含まれるも
のとする。
理にウエハーに対するエッチングステップが含まれるも
のとする。
【００２２】望ましくは、異なるウエハー箱のウエハー
自体に異なる開始シリアルナンバー、位置シリアルナン
バー、処理室シリアルナンバー及びウエハーシリアルナ
ンバーを設定するものとする。
自体に異なる開始シリアルナンバー、位置シリアルナン
バー、処理室シリアルナンバー及びウエハーシリアルナ
ンバーを設定するものとする。
【００２３】
【実施例】図３を参照されたい。図３は本発明の実施例
のウエハー処理順序表示図である。図３中には従来の技
術と同様に第１のウエハー箱１を収容するための第１の
棚１０、及び第２、第３のウエハー箱２、３を収容する
ために第２、第３の棚２０、３０が示されている。異な
る棚の作用は従来の技術と同様に、異なるウエハー箱を
異なる処理室に輸送する前に待機させることである。こ
のほか、第３中には一つの通路１５が設けられ、該通路
１５は第１の処理室１、第２の処理室１２、第３の処理
室１３及び第４の処理室１４に連接し、これら異なる処
理室は異なるウエハーに対して加工処理、例えばウエハ
ーへのフォトレジスト塗布或いはウエハーへのエッチン
グのステップを行うのに用いられる。
のウエハー処理順序表示図である。図３中には従来の技
術と同様に第１のウエハー箱１を収容するための第１の
棚１０、及び第２、第３のウエハー箱２、３を収容する
ために第２、第３の棚２０、３０が示されている。異な
る棚の作用は従来の技術と同様に、異なるウエハー箱を
異なる処理室に輸送する前に待機させることである。こ
のほか、第３中には一つの通路１５が設けられ、該通路
１５は第１の処理室１、第２の処理室１２、第３の処理
室１３及び第４の処理室１４に連接し、これら異なる処
理室は異なるウエハーに対して加工処理、例えばウエハ
ーへのフォトレジスト塗布或いはウエハーへのエッチン
グのステップを行うのに用いられる。
【００２４】図３と図１の最大の違いは、図１中の第１
のウエハー箱処理順序２１、第２のウエハー箱処理順序
２２、第３のウエハー箱処理順序２３等の前後の順序処
理方式が、図３では第１のウエハー箱処理順序３１、第
２のウエハー箱処理順序３２及び第３のウエハー箱処理
順序３３という同時処理方式に改変されていることであ
る。異なる処理室１１、１２、１３、１４と異なるウエ
ハー箱１、２、３を収容する異なる棚１０、２０、３０
相互間の同時処理関係は以下のとおりである。
のウエハー箱処理順序２１、第２のウエハー箱処理順序
２２、第３のウエハー箱処理順序２３等の前後の順序処
理方式が、図３では第１のウエハー箱処理順序３１、第
２のウエハー箱処理順序３２及び第３のウエハー箱処理
順序３３という同時処理方式に改変されていることであ
る。異なる処理室１１、１２、１３、１４と異なるウエ
ハー箱１、２、３を収容する異なる棚１０、２０、３０
相互間の同時処理関係は以下のとおりである。
【００２５】第１のウエハー箱１、第２のウエハー箱２
及び第３のウエハー箱３をそれぞれ第１の棚１０、第２
の棚２０、第３の棚３０に置き待機させる。各一つのウ
エハー箱中のウエハーを異なる処理室１１、１２、１
３、１４に送り処理を行う時（例えばウエハーへのフォ
トレジスト塗布或いはウエハーへのエッチング処理な
ど）、その伝送処理の順序は第１のウエハー箱処理順序
２１、第２のウエハー箱処理順序２２、第３のウエハー
箱処理順序２３とされて、異なるウエハー箱のいずれも
が同一時期に異なる処理室に送られて処理されるように
してある。例えば、第２のウエハー箱２中のウエハーを
第２の処理室１２に送って処理する時に、第１のウエハ
ー箱１中の全てのウエハーの第１の処理室１１で処理が
完了するのを待つ必要がなく、即ち同時に第２のウエハ
ー箱２中のウエハーを第２処理室１２に送って処理でき
る。
及び第３のウエハー箱３をそれぞれ第１の棚１０、第２
の棚２０、第３の棚３０に置き待機させる。各一つのウ
エハー箱中のウエハーを異なる処理室１１、１２、１
３、１４に送り処理を行う時（例えばウエハーへのフォ
トレジスト塗布或いはウエハーへのエッチング処理な
ど）、その伝送処理の順序は第１のウエハー箱処理順序
２１、第２のウエハー箱処理順序２２、第３のウエハー
箱処理順序２３とされて、異なるウエハー箱のいずれも
が同一時期に異なる処理室に送られて処理されるように
してある。例えば、第２のウエハー箱２中のウエハーを
第２の処理室１２に送って処理する時に、第１のウエハ
ー箱１中の全てのウエハーの第１の処理室１１で処理が
完了するのを待つ必要がなく、即ち同時に第２のウエハ
ー箱２中のウエハーを第２処理室１２に送って処理でき
る。
【００２６】さらに、もし第３のウエハー箱３中のウエ
ハーを第３の処理室１３に送って処理する場合、同様に
第１、第２のウエハー箱１、２の全てのウエハーが処理
完了するのを待つ必要がなく、同時に第３の処理室１３
中で第３のウエハー箱３中のウエハーの処理を行うこと
ができる。ゆえに、このような処理順序により異なるウ
エハー箱の処理待機時間をなくすことができ、有効にウ
エハー製造工程にかかる時間を節約することができ、こ
のようなウエハー伝送処理方式の効率が非常に良好であ
ることは明らかである。
ハーを第３の処理室１３に送って処理する場合、同様に
第１、第２のウエハー箱１、２の全てのウエハーが処理
完了するのを待つ必要がなく、同時に第３の処理室１３
中で第３のウエハー箱３中のウエハーの処理を行うこと
ができる。ゆえに、このような処理順序により異なるウ
エハー箱の処理待機時間をなくすことができ、有効にウ
エハー製造工程にかかる時間を節約することができ、こ
のようなウエハー伝送処理方式の効率が非常に良好であ
ることは明らかである。
【００２７】さらに詳しく本発明の方法の内容を理解い
ただくために、図４の本発明の実施例のウエハー処理動
作のフローチャートを参照して、本発明によりウエハー
を異なる処理室で処理するステップについて説明を行
う。まず、異なるウエハー箱を異なる棚に収容する５１
１。その後、処理項目、例えばウエハーへのフォトレジ
スト塗布或いはウエハーへのエッチングの処理ステップ
を選択して実行開始する５１２。続いてウエハー箱の処
理優先順序を設定する５１３。この処理優先順序の設定
には、開始シリアルナンバー、位置シリアルナンバー、
処理室シリアルナンバーの異なるシリアルナンバー設定
が含まれる。
ただくために、図４の本発明の実施例のウエハー処理動
作のフローチャートを参照して、本発明によりウエハー
を異なる処理室で処理するステップについて説明を行
う。まず、異なるウエハー箱を異なる棚に収容する５１
１。その後、処理項目、例えばウエハーへのフォトレジ
スト塗布或いはウエハーへのエッチングの処理ステップ
を選択して実行開始する５１２。続いてウエハー箱の処
理優先順序を設定する５１３。この処理優先順序の設定
には、開始シリアルナンバー、位置シリアルナンバー、
処理室シリアルナンバーの異なるシリアルナンバー設定
が含まれる。
【００２８】その後、処理したいウエハーの走査を実行
する５１４。このステップでは処理したいウエハーを所
属するウエハー箱中より定義し、それはウエハーに設定
されたウエハーシリアルナンバーを処理したいウエハー
を走査する根拠となすことで行われる。続いて、ウエハ
ー箱の処理順序をメモリ中に入力する５１５。このステ
ップの入力情報は異なる処理室シリアルナンバー及び位
置シリアルナンバーを含み、これらをメモリのバッファ
中に入力し、全てのウエハーの処理ステップにおいて、
各一つのウエハーの位置、輸送したい処理室の位置及び
処理の順序を知ることができるようにする。メモリに関
しては、それが一般の処理ステップ制御回路中のメモリ
とされるが、これについては本発明のポイントではない
ため詳しい説明は省略する。
する５１４。このステップでは処理したいウエハーを所
属するウエハー箱中より定義し、それはウエハーに設定
されたウエハーシリアルナンバーを処理したいウエハー
を走査する根拠となすことで行われる。続いて、ウエハ
ー箱の処理順序をメモリ中に入力する５１５。このステ
ップの入力情報は異なる処理室シリアルナンバー及び位
置シリアルナンバーを含み、これらをメモリのバッファ
中に入力し、全てのウエハーの処理ステップにおいて、
各一つのウエハーの位置、輸送したい処理室の位置及び
処理の順序を知ることができるようにする。メモリに関
しては、それが一般の処理ステップ制御回路中のメモリ
とされるが、これについては本発明のポイントではない
ため詳しい説明は省略する。
【００２９】続いて、処理したいウエハーを取り出す５
１６。このステップでは、設定された処理室シリアルナ
ンバーに照らして処理したいウエハーを対応する処理室
に送り処理を行う。続いて、ウエハーの処理を実行する
５１７。このステップでは例えばウエハーへのフォトレ
ジスト塗布或いはウエハーへのエッチングを進行する。
ウエハーの処理が終わった後に同時に一つの終了信号を
出力する。続いて該終了信号がどの一つの処理室から出
力されたかを判断する５１８。その後、次の一つのウエ
ハー箱の処理順序をメモリ中に入力する５１９。このス
テップでは、同様に異なる処理室シリアルナンバーと位
置シリアルナンバーをメモリのバッファ中に入力し、そ
れにより次の該処理を行うウエハーを知ることができる
ようになる。さらに該ウエハーの元の位置のシリアルナ
ンバーに照らして該ウエハーを元の位置に戻す５２０。
１６。このステップでは、設定された処理室シリアルナ
ンバーに照らして処理したいウエハーを対応する処理室
に送り処理を行う。続いて、ウエハーの処理を実行する
５１７。このステップでは例えばウエハーへのフォトレ
ジスト塗布或いはウエハーへのエッチングを進行する。
ウエハーの処理が終わった後に同時に一つの終了信号を
出力する。続いて該終了信号がどの一つの処理室から出
力されたかを判断する５１８。その後、次の一つのウエ
ハー箱の処理順序をメモリ中に入力する５１９。このス
テップでは、同様に異なる処理室シリアルナンバーと位
置シリアルナンバーをメモリのバッファ中に入力し、そ
れにより次の該処理を行うウエハーを知ることができる
ようになる。さらに該ウエハーの元の位置のシリアルナ
ンバーに照らして該ウエハーを元の位置に戻す５２０。
【００３０】その後、処理したウエハーが該ウエハー箱
の最後の一つのウエハーであるか否かを判断する５２
１。もし最後の一つのウエハーでなければ、処理するウ
エハーを取り出す５１６のステップに戻り、次の一つの
ウエハーの処理を継続して実行する。もし処理したウエ
ハーがウエハー箱の最後のウエハーであれば、継続して
そのウエハー箱が最後のウエハー箱であるか否かを判断
５２２し、もし最後のウエハー箱でなければ、次のウエ
ハー箱を処理する動作を進行し５２３、並びに処理した
いウエハーを取り出す５１６ステップを継続して執行す
る。もし最後のウエハー箱であった時には、即ち全ての
ウエハー箱のウエハーがいずれも処理完了したことにな
り、即ち全てのウエハーの処理が完了したことを示す。
以上のステップにより、本発明の同時に異なるウエハー
箱のウエハーを処理する方法が完成し、本発明の方法に
より有効に製造工程の作業時間を節約し、生産能を高め
ることができる。
の最後の一つのウエハーであるか否かを判断する５２
１。もし最後の一つのウエハーでなければ、処理するウ
エハーを取り出す５１６のステップに戻り、次の一つの
ウエハーの処理を継続して実行する。もし処理したウエ
ハーがウエハー箱の最後のウエハーであれば、継続して
そのウエハー箱が最後のウエハー箱であるか否かを判断
５２２し、もし最後のウエハー箱でなければ、次のウエ
ハー箱を処理する動作を進行し５２３、並びに処理した
いウエハーを取り出す５１６ステップを継続して執行す
る。もし最後のウエハー箱であった時には、即ち全ての
ウエハー箱のウエハーがいずれも処理完了したことにな
り、即ち全てのウエハーの処理が完了したことを示す。
以上のステップにより、本発明の同時に異なるウエハー
箱のウエハーを処理する方法が完成し、本発明の方法に
より有効に製造工程の作業時間を節約し、生産能を高め
ることができる。
【００３１】図５は本発明の実施例中のウエハーの相関
シリアルナンバー表示図である。該図は本発明と従来の
技術の間の違いを説明するのに用いられうる。図５は図
３の三つのウエハー箱を設けた場合を例としてその相関
シリアルナンバーを表にしたものである。該三つのウエ
ハー箱中の各一つのウエハー箱１、２、３にはそれぞれ
開始シリアルナンバーＡ１、Ａ２、Ａ３、位置シリアル
ナンバーＢ１、Ｂ２、Ｂ３、処理室シリアルナンバーＣ
１、Ｃ２、Ｃ３及びウエハーシリアルナンバーＤ１、Ｄ
２、Ｄ３が設定されている。
シリアルナンバー表示図である。該図は本発明と従来の
技術の間の違いを説明するのに用いられうる。図５は図
３の三つのウエハー箱を設けた場合を例としてその相関
シリアルナンバーを表にしたものである。該三つのウエ
ハー箱中の各一つのウエハー箱１、２、３にはそれぞれ
開始シリアルナンバーＡ１、Ａ２、Ａ３、位置シリアル
ナンバーＢ１、Ｂ２、Ｂ３、処理室シリアルナンバーＣ
１、Ｃ２、Ｃ３及びウエハーシリアルナンバーＤ１、Ｄ
２、Ｄ３が設定されている。
【００３２】従来の技術においても本発明と同様に上述
の相関シリアルナンバーの設定はなされていたが、ただ
し、従来の技術では、一旦開始シリアルナンバーの順序
を決定すると、全体のウエハー処理の前後の順序が決定
してしまい、異なる処理室での処理ステップに費やされ
る時間が同じであるか否かに係わらず、いずれの場合に
も一つのウエハー箱の全てのウエハーの処理が完了して
からでなければ次の一つのウエハー箱のウエハーを処理
できず、異なるウエハー箱間の待機時間を浪費した。
の相関シリアルナンバーの設定はなされていたが、ただ
し、従来の技術では、一旦開始シリアルナンバーの順序
を決定すると、全体のウエハー処理の前後の順序が決定
してしまい、異なる処理室での処理ステップに費やされ
る時間が同じであるか否かに係わらず、いずれの場合に
も一つのウエハー箱の全てのウエハーの処理が完了して
からでなければ次の一つのウエハー箱のウエハーを処理
できず、異なるウエハー箱間の待機時間を浪費した。
【００３３】反対に本発明の提供するウエハー処理方式
によると、各一つのウエハー処理が完了した後にいずれ
も一つの終了信号を発生し、該終了信号が次の一つの処
理したいウエハーをどの処理室に送って処理すべきかを
通知するのに用いられ、それにより異なるウエハー箱間
で相互に待機する必要がなくなり、即ち本発明により全
てのウエハー箱の処理時間が節約できる。総合すると、
本発明で使用する終了信号は従来の技術の開始信号と比
較すると、使用上さらに弾性を有しさらに快速であり、
並びに全てのウエハー製造工程の機器を有効に運用でき
るようにするため、ウエハーの大量生産に有利である。
によると、各一つのウエハー処理が完了した後にいずれ
も一つの終了信号を発生し、該終了信号が次の一つの処
理したいウエハーをどの処理室に送って処理すべきかを
通知するのに用いられ、それにより異なるウエハー箱間
で相互に待機する必要がなくなり、即ち本発明により全
てのウエハー箱の処理時間が節約できる。総合すると、
本発明で使用する終了信号は従来の技術の開始信号と比
較すると、使用上さらに弾性を有しさらに快速であり、
並びに全てのウエハー製造工程の機器を有効に運用でき
るようにするため、ウエハーの大量生産に有利である。
【００３４】
【発明の効果】本発明では処理室をウエハー処理の順序
単位となすほか、別に従来の処理ステップにさらに終了
信号の出力ステップを加え、該終了信号を、その処理を
行う次の一つのウエハーの順序を決定するのに用いて、
該終了信号がどの一つの処理室り出力したものかを判断
することで、次の一つの該処理を行うウエハー箱のウエ
ハーが必要とする相関順序シリアルナンバーをメモリ中
に格納し、それにより異なるウエハー箱のウエハーを同
時に異なる処理室で処理できるようにし、ウエハー箱の
待機時間を減少し、有効にウエハー製造工程の加工時間
を減少するようにしてある。
単位となすほか、別に従来の処理ステップにさらに終了
信号の出力ステップを加え、該終了信号を、その処理を
行う次の一つのウエハーの順序を決定するのに用いて、
該終了信号がどの一つの処理室り出力したものかを判断
することで、次の一つの該処理を行うウエハー箱のウエ
ハーが必要とする相関順序シリアルナンバーをメモリ中
に格納し、それにより異なるウエハー箱のウエハーを同
時に異なる処理室で処理できるようにし、ウエハー箱の
待機時間を減少し、有効にウエハー製造工程の加工時間
を減少するようにしてある。
【００３５】総合すると、本発明の複数のウエハーの同
時処理方法は同時に異なる処理室中で異なるウエハー箱
のウエハーを処理する方法であり、全てのウエハー箱の
処理にかかる時間を有効に節約し、経済的であり、本発
明の目的及び機能のいずれにおいても実施上、十分な進
歩性を有しており極めて産業上の利用価値を有してい
る。
時処理方法は同時に異なる処理室中で異なるウエハー箱
のウエハーを処理する方法であり、全てのウエハー箱の
処理にかかる時間を有効に節約し、経済的であり、本発
明の目的及び機能のいずれにおいても実施上、十分な進
歩性を有しており極めて産業上の利用価値を有してい
る。
【図１】従来の異なるウエハー箱のウエハーを異なる処
理室で処理する順序表示図である。
理室で処理する順序表示図である。
【図２】従来の異なるウエハー箱のウエハーを異なる処
理室で処理する動作フローチャートである。
理室で処理する動作フローチャートである。
【図３】本発明の実施例のウエハー処理順序表示図であ
る。
る。
【図４】本発明の実施例のウエハー処理動作フローチャ
ートである。
ートである。
【図５】本発明の実施例のウエハーの相関シリアルナン
バー例表示図である。
バー例表示図である。
１ 第１のウエハー箱 ２ 第２のウエハー箱 ３ 第３のウエハー箱 １０ 第１の棚 １１ 第１の処理室 １２ 第２の処理室 １３ 第３の処理室 １４ 第４の処理室 １５ 通路 ２０ 第２の棚 ２１ 第１のウエハー箱処理順序 ２２ 第２のウエハー箱処理順序 ２３ 第３のウエハー箱処理順序 ３０ 第３の棚 ３１ 第１のウエハー箱処理順序 ３２ 第２のウエハー箱処理順序 ３３ 第３のウエハー箱処理順序
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年８月１０日（１９９９．８．１
０）
０）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 複数のウエハーの同時処理方法
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一種の複数のウエ
ハーの同時処理方法に関し、異なるウエハー箱を同時に
異なる処理室中で処理することで有効に作業時間を減少
して生産効率を高める目的を達成できる方法に関する。
ハーの同時処理方法に関し、異なるウエハー箱を同時に
異なる処理室中で処理することで有効に作業時間を減少
して生産効率を高める目的を達成できる方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、半導体ウエハー製造工程にお
いては、一組ずつのウエハーケースを単位として異なる
処理室に送りウエハーにさらなる処理を行っており、異
なるウエハー処理室があって、異なるウエハー箱を処理
する時には、ウエハー箱の順序を処理の順序の基準とし
て異なるウエハー箱をウエハー処理室に輸送して処理し
ていた。図１は従来のウエハー箱のウエハー処理室への
輸送実施例図である。その中には、三つのウエハー箱を
置く棚が設けられて、この棚は第１の棚１０、第２の棚
２０及び第３の棚３０を含み、第１の棚１０は第１のウ
エハー箱１を収容するのに用いられ、第２、第３の棚２
０、３０は第２、第３のウエハー箱２、３を収容するの
に用いられている。図１中にはさらに一つの通路１５が
あり、該通路１５は第１の処理室１１、第２の処理室１
２、第３の処理室１３及び第４の処理室１４に連接して
いる。これら処理室１１、１２、１３、１４とウエハー
箱１、２、３の棚１０、２０、３０の間の順序関係は以
下のとおりである。
いては、一組ずつのウエハーケースを単位として異なる
処理室に送りウエハーにさらなる処理を行っており、異
なるウエハー処理室があって、異なるウエハー箱を処理
する時には、ウエハー箱の順序を処理の順序の基準とし
て異なるウエハー箱をウエハー処理室に輸送して処理し
ていた。図１は従来のウエハー箱のウエハー処理室への
輸送実施例図である。その中には、三つのウエハー箱を
置く棚が設けられて、この棚は第１の棚１０、第２の棚
２０及び第３の棚３０を含み、第１の棚１０は第１のウ
エハー箱１を収容するのに用いられ、第２、第３の棚２
０、３０は第２、第３のウエハー箱２、３を収容するの
に用いられている。図１中にはさらに一つの通路１５が
あり、該通路１５は第１の処理室１１、第２の処理室１
２、第３の処理室１３及び第４の処理室１４に連接して
いる。これら処理室１１、１２、１３、１４とウエハー
箱１、２、３の棚１０、２０、３０の間の順序関係は以
下のとおりである。
【０００３】第１のウエハー箱１、第２のウエハー箱２
及び第３のウエハー箱３がそれぞれ第１の棚１０、第２
の棚２０、第３の棚３０に置かれ、各一つのウエハー箱
中のウエハーを異なる処理室１１、１２、１３、１４に
送って処理（例えばウエハー上にフォトレジストを塗布
したりエッチング処理を施す）を行う時、その伝送処理
の順序は図１中に示されるように、第１のウエハー箱処
理順序２１、第２のウエハー箱処理順序２２、第３のウ
エハー箱処理順序２３という異なる順序となる。もし第
２のウエハー箱２中のウエハーを第２の処理室１２に送
り処理を行うなら、第１のウエハー箱１中のウエハーに
対する第１の処理室１１中での処理が完了してからでな
ければ第２のウエハー２中のウエハーを第２の処理室１
２中で処理できない。さらに、もし第３のウエハー箱３
中のウエハーを第３の処理室１３中で処理する時には、
第１、第２のウエハー箱１、２中の全てのウエハーの処
理が完了してからでなければ第３のウエハー箱３中のウ
エハーの処理を進行できない。このような処理順序はウ
エハー箱の処理待機時間を増加するほか、このようなウ
エハー伝送処理方式の効率は極めて低く、作業時間が不
必要に長くなった。
及び第３のウエハー箱３がそれぞれ第１の棚１０、第２
の棚２０、第３の棚３０に置かれ、各一つのウエハー箱
中のウエハーを異なる処理室１１、１２、１３、１４に
送って処理（例えばウエハー上にフォトレジストを塗布
したりエッチング処理を施す）を行う時、その伝送処理
の順序は図１中に示されるように、第１のウエハー箱処
理順序２１、第２のウエハー箱処理順序２２、第３のウ
エハー箱処理順序２３という異なる順序となる。もし第
２のウエハー箱２中のウエハーを第２の処理室１２に送
り処理を行うなら、第１のウエハー箱１中のウエハーに
対する第１の処理室１１中での処理が完了してからでな
ければ第２のウエハー２中のウエハーを第２の処理室１
２中で処理できない。さらに、もし第３のウエハー箱３
中のウエハーを第３の処理室１３中で処理する時には、
第１、第２のウエハー箱１、２中の全てのウエハーの処
理が完了してからでなければ第３のウエハー箱３中のウ
エハーの処理を進行できない。このような処理順序はウ
エハー箱の処理待機時間を増加するほか、このようなウ
エハー伝送処理方式の効率は極めて低く、作業時間が不
必要に長くなった。
【０００４】さらに従来の技術においてウエハー箱を異
なる処理室に送り処理するステップについて以下に説明
を行う。
なる処理室に送り処理するステップについて以下に説明
を行う。
【０００５】まず、異なるウエハー箱を異なる棚に入れ
る４１１。それから処理項目、例えばフォトレジスト塗
布を選択し実行開始する４１２。続いてウエハー箱の処
理優先順序を設定する４１３。この時、開始シリアルナ
ンバー設定、位置シリアルナンバー及び処理室シリアル
ナンバーなどの異なるシリアルナンバーの設定を行う。
その後、処理するウエハーの走査を執行する４１４。こ
のステップでは処理したいウエハーを所属のウエハー箱
中より定義する。続いてウエハー箱の処理順序をメモリ
に入力する４１５。このステップでは異なる処理室のシ
リアルナンバー及び位置のシリアルナンバーを、メモリ
のバッファ中に入力し、これによりウエハー全ての処理
ステップ中で、各一つのウエハーの位置と送りたい処理
室と処理の順序を知ることができるようにする。その
後、処理をしたいウエハーを取り出す４１６。そしてウ
エハー処理を実行する４１７。このステップでは例えば
ウエハー上にフォトレジストを塗布する。続いてそのウ
エハーの元々の位置のシリアルナンバーにより該ウエハ
ーを元の位置に戻す。その後、処理したウエハーが該ウ
エハー箱中の最後の一つのウエハーか否かの判断を行う
４１９。もし処理したウエハーが最後の一つのウエハー
であれば、続いて該ウエハー箱が最後の一組のウエハー
箱であるか否かを判断し４２０、もし最後の一組のウエ
ハー箱でなければ、次のウエハー箱を処理する４２１動
作を行い、並びにウエハー箱処理順序をメモリに入力す
る４１５のステップに戻り、継続して実行する。ただし
もし最後の一組のウエハー箱であれば、それは全てのウ
エハー箱のウエハーがいずれも処理を完了したことを示
すので、このときウエハーの処理を終了する４２２。こ
れは即ち全てのウエハーの処理が完了したことを示す。
る４１１。それから処理項目、例えばフォトレジスト塗
布を選択し実行開始する４１２。続いてウエハー箱の処
理優先順序を設定する４１３。この時、開始シリアルナ
ンバー設定、位置シリアルナンバー及び処理室シリアル
ナンバーなどの異なるシリアルナンバーの設定を行う。
その後、処理するウエハーの走査を執行する４１４。こ
のステップでは処理したいウエハーを所属のウエハー箱
中より定義する。続いてウエハー箱の処理順序をメモリ
に入力する４１５。このステップでは異なる処理室のシ
リアルナンバー及び位置のシリアルナンバーを、メモリ
のバッファ中に入力し、これによりウエハー全ての処理
ステップ中で、各一つのウエハーの位置と送りたい処理
室と処理の順序を知ることができるようにする。その
後、処理をしたいウエハーを取り出す４１６。そしてウ
エハー処理を実行する４１７。このステップでは例えば
ウエハー上にフォトレジストを塗布する。続いてそのウ
エハーの元々の位置のシリアルナンバーにより該ウエハ
ーを元の位置に戻す。その後、処理したウエハーが該ウ
エハー箱中の最後の一つのウエハーか否かの判断を行う
４１９。もし処理したウエハーが最後の一つのウエハー
であれば、続いて該ウエハー箱が最後の一組のウエハー
箱であるか否かを判断し４２０、もし最後の一組のウエ
ハー箱でなければ、次のウエハー箱を処理する４２１動
作を行い、並びにウエハー箱処理順序をメモリに入力す
る４１５のステップに戻り、継続して実行する。ただし
もし最後の一組のウエハー箱であれば、それは全てのウ
エハー箱のウエハーがいずれも処理を完了したことを示
すので、このときウエハーの処理を終了する４２２。こ
れは即ち全てのウエハーの処理が完了したことを示す。
【０００６】ゆえに、上述のウエハー箱処理ステップに
関しては、異なるウエハー箱中のウエハーを異なる処理
室中で処理する時、順序により先の一つのウエハー箱の
ウエハーの処理が完了した後でなければ処理を実行でき
ず、即ち従来の技術では、シリアルナンバー決定後に一
度開始ボタンを押して実行すると、全てのウエハー処理
順序ステップがいずれも決定されてしまい、異なるウエ
ハーの異なる処理ステップがあろうとなかろうと状況は
変わらなかった。このため大幅に作業時間がかかり、異
なるウエハー箱の待機時間を浪費するため、改善の必要
があった。
関しては、異なるウエハー箱中のウエハーを異なる処理
室中で処理する時、順序により先の一つのウエハー箱の
ウエハーの処理が完了した後でなければ処理を実行でき
ず、即ち従来の技術では、シリアルナンバー決定後に一
度開始ボタンを押して実行すると、全てのウエハー処理
順序ステップがいずれも決定されてしまい、異なるウエ
ハーの異なる処理ステップがあろうとなかろうと状況は
変わらなかった。このため大幅に作業時間がかかり、異
なるウエハー箱の待機時間を浪費するため、改善の必要
があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の技術の実
際上の運用の欠点から、本発明では、使用者が同時に異
なるウエハー箱中のウエハーの個別加工処理が行える方
法を提供する。具体的には、本発明は、一種の経済的で
且つ作業時間を節約できる複数のウエハーの同時処理方
法を提供し、その中、ウエハーの処理室をウエハー加工
処理の順序の根拠となし、即ち同時に異なる処理室で異
なるウエハー箱中のウエハーをそれぞれ加工できるよう
にして、有効に異なるウエハー箱の処理待ち時間をなく
し、作業時間を節約し且つウエハー加工の経済性を高
め、従来の技術の欠点を改善することを課題としてい
る。
際上の運用の欠点から、本発明では、使用者が同時に異
なるウエハー箱中のウエハーの個別加工処理が行える方
法を提供する。具体的には、本発明は、一種の経済的で
且つ作業時間を節約できる複数のウエハーの同時処理方
法を提供し、その中、ウエハーの処理室をウエハー加工
処理の順序の根拠となし、即ち同時に異なる処理室で異
なるウエハー箱中のウエハーをそれぞれ加工できるよう
にして、有効に異なるウエハー箱の処理待ち時間をなく
し、作業時間を節約し且つウエハー加工の経済性を高
め、従来の技術の欠点を改善することを課題としてい
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、異な
るウエハー箱のウエハーを同時に異なる処理室中で処理
し、該異なる処理室をウエハー処理の順序の根拠となし
て各一つの処理室で一つのウエハーの処理が完了した後
に、一つの終了信号を出力して、次の処理を行うウエハ
ーの順序の根拠となすことを特徴とする、ウエハーの同
時処理方法としている。
るウエハー箱のウエハーを同時に異なる処理室中で処理
し、該異なる処理室をウエハー処理の順序の根拠となし
て各一つの処理室で一つのウエハーの処理が完了した後
に、一つの終了信号を出力して、次の処理を行うウエハ
ーの順序の根拠となすことを特徴とする、ウエハーの同
時処理方法としている。
【０００９】請求項２の発明は、前述の処理室での処理
がフォトレジストのウエハーへの塗布であることを特徴
とする、請求項１に記載のウエハーの同時処理方法とし
ている。
がフォトレジストのウエハーへの塗布であることを特徴
とする、請求項１に記載のウエハーの同時処理方法とし
ている。
【００１０】請求項３の発明は、前述の処理室での処理
がウエハーに対するエッチングであることを特徴とす
る、請求項１に記載のウエハーの同時処理方法としてい
る。
がウエハーに対するエッチングであることを特徴とす
る、請求項１に記載のウエハーの同時処理方法としてい
る。
【００１１】請求項４の発明は、以下の（ａ）から
（ｍ）のステップ、即ち、 （ａ） 異なるウエハー箱を異なる棚中に収容するステ
ップ （ｂ） 処理項目を選択し並びに実行開始するステップ （ｃ） ウエハー処理の優先順序を設定するステップ （ｄ） 処理するウエハーを走査するステップ （ｅ） ウエハー箱の処理順序をメモリ中に入力するス
テップ （ｆ） 処理するウエハーを取り出すステップ （ｇ） ウエハーの処理を執行し、処理終了後に一つの
終了信号を出力するステップ （ｈ） 該終了信号がどの処理室から出力されたかを判
断するステップ （ｉ） 次の一つのウエハー箱の処理順序をメモリ中に
入力するステップ （ｊ） 処理後のウエハーを戻すステップ （ｋ） ウエハー箱の最後の一つのウエハーであるか否
かを判定してもし否であれば（ｅ）のステップに戻るス
テップ （ｌ） 最後のウエハー箱であるか否かを判定してもし
否であれば次の一つのウエハー箱を処理し、その後に
（ｅ）のステップに戻るステップ （ｍ）ウエハー処理を終了するステップ 以上を包括することを特徴とする、請求項１に記載の複
数のウエハーの同時処理方法としている。
（ｍ）のステップ、即ち、 （ａ） 異なるウエハー箱を異なる棚中に収容するステ
ップ （ｂ） 処理項目を選択し並びに実行開始するステップ （ｃ） ウエハー処理の優先順序を設定するステップ （ｄ） 処理するウエハーを走査するステップ （ｅ） ウエハー箱の処理順序をメモリ中に入力するス
テップ （ｆ） 処理するウエハーを取り出すステップ （ｇ） ウエハーの処理を執行し、処理終了後に一つの
終了信号を出力するステップ （ｈ） 該終了信号がどの処理室から出力されたかを判
断するステップ （ｉ） 次の一つのウエハー箱の処理順序をメモリ中に
入力するステップ （ｊ） 処理後のウエハーを戻すステップ （ｋ） ウエハー箱の最後の一つのウエハーであるか否
かを判定してもし否であれば（ｅ）のステップに戻るス
テップ （ｌ） 最後のウエハー箱であるか否かを判定してもし
否であれば次の一つのウエハー箱を処理し、その後に
（ｅ）のステップに戻るステップ （ｍ）ウエハー処理を終了するステップ 以上を包括することを特徴とする、請求項１に記載の複
数のウエハーの同時処理方法としている。
【００１２】請求項５の発明は、（ｄ）の処理するウエ
ハーを走査するステップにおいて、ウエハーに設定され
たウエハーシリアルナンバーを処理するウエハーを走査
する根拠となすことを特徴とする、請求項４に記載の複
数のウエハーの同時処理方法としている。
ハーを走査するステップにおいて、ウエハーに設定され
たウエハーシリアルナンバーを処理するウエハーを走査
する根拠となすことを特徴とする、請求項４に記載の複
数のウエハーの同時処理方法としている。
【００１３】請求項６の発明は、（ｅ）のウエハー箱の
処理順序をメモリ中に入力するステップにおいて、異な
る処理室シリアルナンバー及び位置シリアルナンバーが
設定されることで、ウエハーの処理の優先順序が決定さ
れることを特徴とする、請求項４に記載の複数のウエハ
ーの同時処理方法としている。
処理順序をメモリ中に入力するステップにおいて、異な
る処理室シリアルナンバー及び位置シリアルナンバーが
設定されることで、ウエハーの処理の優先順序が決定さ
れることを特徴とする、請求項４に記載の複数のウエハ
ーの同時処理方法としている。
【００１４】請求項７の発明は、（ｆ）の処理するウエ
ハーを取り出すステップにおいて、設定された処理室シ
リアルナンバーにより処理するウエハーを対応する処理
室に送って処理を行うことを特徴とする、請求項４に記
載の複数のウエハーの同時処理方法としている。
ハーを取り出すステップにおいて、設定された処理室シ
リアルナンバーにより処理するウエハーを対応する処理
室に送って処理を行うことを特徴とする、請求項４に記
載の複数のウエハーの同時処理方法としている。
【００１５】請求項８の発明は、（ｉ）の次の一つのウ
エハー箱の処理順序をメモリ中に入力するステップにお
いて、異なる処理室シリアルナンバーと位置シリアルナ
ンバーが設定されて次の一つのウエハーの処理優先順序
が決定されることを特徴とする、請求項４に記載の複数
のウエハーの同時処理方法としている。
エハー箱の処理順序をメモリ中に入力するステップにお
いて、異なる処理室シリアルナンバーと位置シリアルナ
ンバーが設定されて次の一つのウエハーの処理優先順序
が決定されることを特徴とする、請求項４に記載の複数
のウエハーの同時処理方法としている。
【００１６】請求項９の発明は、（ｊ）の処理後のウエ
ハーを戻すステップにおいて、該ウエハーの元の位置シ
リアルナンバーにより該ウエハーが元の位置に戻される
ことを特徴とする、請求項４に記載の複数のウエハーの
同時処理方法としている。
ハーを戻すステップにおいて、該ウエハーの元の位置シ
リアルナンバーにより該ウエハーが元の位置に戻される
ことを特徴とする、請求項４に記載の複数のウエハーの
同時処理方法としている。
【００１７】請求項１０の発明は、（ｌ）の最後のウエ
ハー箱であるか否かを判定してもし否であれば次の一つ
のウエハー箱を処理し、その後に（ｅ）のステップに戻
るステップにおいて、ウエハーの位置シリアルナンバー
により次の一つのウエハー箱の処理を行うことを特徴と
する、請求項４に記載の複数のウエハーの同時処理方法
としている。
ハー箱であるか否かを判定してもし否であれば次の一つ
のウエハー箱を処理し、その後に（ｅ）のステップに戻
るステップにおいて、ウエハーの位置シリアルナンバー
により次の一つのウエハー箱の処理を行うことを特徴と
する、請求項４に記載の複数のウエハーの同時処理方法
としている。
【００１８】
【発明の実施の形態】上述の課題を達成するために、本
発明では処理室をウエハー処理の順序単位となすほか、
別に従来の処理ステップにさらに終了信号の出力ステッ
プを加え、該終了信号を、その処理を行う次の一つのウ
エハーの順序を決定するのに用いて、該終了信号がどの
一つの処理室り出力したものかを判断することで、次の
一つの該処理を行うウエハー箱のウエハーが必要とする
相関順序シリアルナンバーをメモリ中に格納し、それに
より異なるウエハー箱のウエハーを同時に異なる処理室
で処理できるようにし、ウエハー箱の待機時間を減少
し、有効にウエハー製造工程の加工時間を減少するよう
にしてある。
発明では処理室をウエハー処理の順序単位となすほか、
別に従来の処理ステップにさらに終了信号の出力ステッ
プを加え、該終了信号を、その処理を行う次の一つのウ
エハーの順序を決定するのに用いて、該終了信号がどの
一つの処理室り出力したものかを判断することで、次の
一つの該処理を行うウエハー箱のウエハーが必要とする
相関順序シリアルナンバーをメモリ中に格納し、それに
より異なるウエハー箱のウエハーを同時に異なる処理室
で処理できるようにし、ウエハー箱の待機時間を減少
し、有効にウエハー製造工程の加工時間を減少するよう
にしてある。
【００１９】望ましくは、異なるウエハー処理室での処
理にフォトレジスト塗布ステップが含まれるものとす
る。
理にフォトレジスト塗布ステップが含まれるものとす
る。
【００２０】望ましくは、異なるウエハー処理室での処
理にウエハーに対するエッチングステップが含まれるも
のとする。
理にウエハーに対するエッチングステップが含まれるも
のとする。
【００２１】望ましくは、異なるウエハー箱のウエハー
自体に異なる開始シリアルナンバー、位置シリアルナン
バー、処理室シリアルナンバー及びウエハーシリアルナ
ンバーを設定するものとする。
自体に異なる開始シリアルナンバー、位置シリアルナン
バー、処理室シリアルナンバー及びウエハーシリアルナ
ンバーを設定するものとする。
【００２２】
【実施例】図３を参照されたい。図３は本発明の実施例
のウエハー処理順序表示図である。図３中には従来の技
術と同様に第１のウエハー箱１を収容するための第１の
棚１０、及び第２、第３のウエハー箱２、３を収容する
ために第２、第３の棚２０、３０が示されている。異な
る棚の作用は従来の技術と同様に、異なるウエハー箱を
異なる処理室に輸送する前に待機させることである。こ
のほか、第３中には一つの通路１５が設けられ、該通路
１５は第１の処理室１、第２の処理室１２、第３の処理
室１３及び第４の処理室１４に連接し、これら異なる処
理室は異なるウエハーに対して加工処理、例えばウエハ
ーへのフォトレジスト塗布或いはウエハーへのエッチン
グのステップを行うのに用いられる。
のウエハー処理順序表示図である。図３中には従来の技
術と同様に第１のウエハー箱１を収容するための第１の
棚１０、及び第２、第３のウエハー箱２、３を収容する
ために第２、第３の棚２０、３０が示されている。異な
る棚の作用は従来の技術と同様に、異なるウエハー箱を
異なる処理室に輸送する前に待機させることである。こ
のほか、第３中には一つの通路１５が設けられ、該通路
１５は第１の処理室１、第２の処理室１２、第３の処理
室１３及び第４の処理室１４に連接し、これら異なる処
理室は異なるウエハーに対して加工処理、例えばウエハ
ーへのフォトレジスト塗布或いはウエハーへのエッチン
グのステップを行うのに用いられる。
【００２３】図３と図１の最大の違いは、図１中の第１
のウエハー箱処理順序２１、第２のウエハー箱処理順序
２２、第３のウエハー箱処理順序２３等の前後の順序処
理方式が、図３では第１のウエハー箱処理順序３１、第
２のウエハー箱処理順序３２及び第３のウエハー箱処理
順序３３という同時処理方式に改変されていることであ
る。異なる処理室１１、１２、１３、１４と異なるウエ
ハー箱１、２、３を収容する異なる棚１０、２０、３０
相互間の同時処理関係は以下のとおりである。
のウエハー箱処理順序２１、第２のウエハー箱処理順序
２２、第３のウエハー箱処理順序２３等の前後の順序処
理方式が、図３では第１のウエハー箱処理順序３１、第
２のウエハー箱処理順序３２及び第３のウエハー箱処理
順序３３という同時処理方式に改変されていることであ
る。異なる処理室１１、１２、１３、１４と異なるウエ
ハー箱１、２、３を収容する異なる棚１０、２０、３０
相互間の同時処理関係は以下のとおりである。
【００２４】第１のウエハー箱１、第２のウエハー箱２
及び第３のウエハー箱３をそれぞれ第１の棚１０、第２
の棚２０、第３の棚３０に置き待機させる。各一つのウ
エハー箱中のウエハーを異なる処理室１１、１２、１
３、１４に送り処理を行う時（例えばウエハーへのフォ
トレジスト塗布或いはウエハーへのエッチング処理な
ど）、その伝送処理の順序は第１のウエハー箱処理順序
２１、第２のウエハー箱処理順序２２、第３のウエハー
箱処理順序２３とされて、異なるウエハー箱のいずれも
が同一時期に異なる処理室に送られて処理されるように
してある。例えば、第２のウエハー箱２中のウエハーを
第２の処理室１２に送って処理する時に、第１のウエハ
ー箱１中の全てのウエハーの第１の処理室１１で処理が
完了するのを待つ必要がなく、即ち同時に第２のウエハ
ー箱２中のウエハーを第２処理室１２に送って処理でき
る。
及び第３のウエハー箱３をそれぞれ第１の棚１０、第２
の棚２０、第３の棚３０に置き待機させる。各一つのウ
エハー箱中のウエハーを異なる処理室１１、１２、１
３、１４に送り処理を行う時（例えばウエハーへのフォ
トレジスト塗布或いはウエハーへのエッチング処理な
ど）、その伝送処理の順序は第１のウエハー箱処理順序
２１、第２のウエハー箱処理順序２２、第３のウエハー
箱処理順序２３とされて、異なるウエハー箱のいずれも
が同一時期に異なる処理室に送られて処理されるように
してある。例えば、第２のウエハー箱２中のウエハーを
第２の処理室１２に送って処理する時に、第１のウエハ
ー箱１中の全てのウエハーの第１の処理室１１で処理が
完了するのを待つ必要がなく、即ち同時に第２のウエハ
ー箱２中のウエハーを第２処理室１２に送って処理でき
る。
【００２５】さらに、もし第３のウエハー箱３中のウエ
ハーを第３の処理室１３に送って処理する場合、同様に
第１、第２のウエハー箱１、２の全てのウエハーが処理
完了するのを待つ必要がなく、同時に第３の処理室１３
中で第３のウエハー箱３中のウエハーの処理を行うこと
ができる。ゆえに、このような処理順序により異なるウ
エハー箱の処理待機時間をなくすことができ、有効にウ
エハー製造工程にかかる時間を節約することができ、こ
のようなウエハー伝送処理方式の効率が非常に良好であ
ることは明らかである。
ハーを第３の処理室１３に送って処理する場合、同様に
第１、第２のウエハー箱１、２の全てのウエハーが処理
完了するのを待つ必要がなく、同時に第３の処理室１３
中で第３のウエハー箱３中のウエハーの処理を行うこと
ができる。ゆえに、このような処理順序により異なるウ
エハー箱の処理待機時間をなくすことができ、有効にウ
エハー製造工程にかかる時間を節約することができ、こ
のようなウエハー伝送処理方式の効率が非常に良好であ
ることは明らかである。
【００２６】さらに詳しく本発明の方法の内容を理解い
ただくために、図４の本発明の実施例のウエハー処理動
作のフローチャートを参照して、本発明によりウエハー
を異なる処理室で処理するステップについて説明を行
う。まず、異なるウエハー箱を異なる棚に収容する５１
１。その後、処理項目、例えばウエハーへのフォトレジ
スト塗布或いはウエハーへのエッチングの処理ステップ
を選択して実行開始する５１２。続いてウエハー箱の処
理優先順序を設定する５１３。この処理優先順序の設定
には、開始シリアルナンバー、位置シリアルナンバー、
処理室シリアルナンバーの異なるシリアルナンバー設定
が含まれる。
ただくために、図４の本発明の実施例のウエハー処理動
作のフローチャートを参照して、本発明によりウエハー
を異なる処理室で処理するステップについて説明を行
う。まず、異なるウエハー箱を異なる棚に収容する５１
１。その後、処理項目、例えばウエハーへのフォトレジ
スト塗布或いはウエハーへのエッチングの処理ステップ
を選択して実行開始する５１２。続いてウエハー箱の処
理優先順序を設定する５１３。この処理優先順序の設定
には、開始シリアルナンバー、位置シリアルナンバー、
処理室シリアルナンバーの異なるシリアルナンバー設定
が含まれる。
【００２７】その後、処理したいウエハーの走査を実行
する５１４。このステップでは処理したいウエハーを所
属するウエハー箱中より定義し、それはウエハーに設定
されたウエハーシリアルナンバーを処理したいウエハー
を走査する根拠となすことで行われる。続いて、ウエハ
ー箱の処理順序をメモリ中に入力する５１５。このステ
ップの入力情報は異なる処理室シリアルナンバー及び位
置シリアルナンバーを含み、これらをメモリのバッファ
中に入力し、全てのウエハーの処理ステップにおいて、
各一つのウエハーの位置、輸送したい処理室の位置及び
処理の順序を知ることができるようにする。メモリに関
しては、それが一般の処理ステップ制御回路中のメモリ
とされるが、これについては本発明のポイントではない
ため詳しい説明は省略する。
する５１４。このステップでは処理したいウエハーを所
属するウエハー箱中より定義し、それはウエハーに設定
されたウエハーシリアルナンバーを処理したいウエハー
を走査する根拠となすことで行われる。続いて、ウエハ
ー箱の処理順序をメモリ中に入力する５１５。このステ
ップの入力情報は異なる処理室シリアルナンバー及び位
置シリアルナンバーを含み、これらをメモリのバッファ
中に入力し、全てのウエハーの処理ステップにおいて、
各一つのウエハーの位置、輸送したい処理室の位置及び
処理の順序を知ることができるようにする。メモリに関
しては、それが一般の処理ステップ制御回路中のメモリ
とされるが、これについては本発明のポイントではない
ため詳しい説明は省略する。
【００２８】続いて、処理したいウエハーを取り出す５
１６。このステップでは、設定された処理室シリアルナ
ンバーに照らして処理したいウエハーを対応する処理室
に送り処理を行う。続いて、ウエハーの処理を実行する
５１７。このステップでは例えばウエハーへのフォトレ
ジスト塗布或いはウエハーへのエッチングを進行する。
ウエハーの処理が終わった後に同時に一つの終了信号を
出力する。続いて該終了信号がどの一つの処理室から出
力されたかを判断する５１８。その後、次の一つのウエ
ハー箱の処理順序をメモリ中に入力する５１９。このス
テップでは、同様に異なる処理室シリアルナンバーと位
置シリアルナンバーをメモリのバッファ中に入力し、そ
れにより次の該処理を行うウエハーを知ることができる
ようになる。さらに該ウエハーの元の位置のシリアルナ
ンバーに照らして該ウエハーを元の位置に戻す５２０。
１６。このステップでは、設定された処理室シリアルナ
ンバーに照らして処理したいウエハーを対応する処理室
に送り処理を行う。続いて、ウエハーの処理を実行する
５１７。このステップでは例えばウエハーへのフォトレ
ジスト塗布或いはウエハーへのエッチングを進行する。
ウエハーの処理が終わった後に同時に一つの終了信号を
出力する。続いて該終了信号がどの一つの処理室から出
力されたかを判断する５１８。その後、次の一つのウエ
ハー箱の処理順序をメモリ中に入力する５１９。このス
テップでは、同様に異なる処理室シリアルナンバーと位
置シリアルナンバーをメモリのバッファ中に入力し、そ
れにより次の該処理を行うウエハーを知ることができる
ようになる。さらに該ウエハーの元の位置のシリアルナ
ンバーに照らして該ウエハーを元の位置に戻す５２０。
【００２９】その後、処理したウエハーが該ウエハー箱
の最後の一つのウエハーであるか否かを判断する５２
１。もし最後の一つのウエハーでなければ、処理するウ
エハーを取り出す５１６のステップに戻り、次の一つの
ウエハーの処理を継続して実行する。もし処理したウエ
ハーがウエハー箱の最後のウエハーであれば、継続して
そのウエハー箱が最後のウエハー箱であるか否かを判断
５２２し、もし最後のウエハー箱でなければ、次のウエ
ハー箱を処理する動作を進行し５２３、並びに処理した
いウエハーを取り出す５１６ステップを継続して執行す
る。もし最後のウエハー箱であった時には、即ち全ての
ウエハー箱のウエハーがいずれも処理完了したことにな
り、即ち全てのウエハーの処理が完了したことを示す。
以上のステップにより、本発明の同時に異なるウエハー
箱のウエハーを処理する方法が完成し、本発明の方法に
より有効に製造工程の作業時間を節約し、生産能を高め
ることができる。
の最後の一つのウエハーであるか否かを判断する５２
１。もし最後の一つのウエハーでなければ、処理するウ
エハーを取り出す５１６のステップに戻り、次の一つの
ウエハーの処理を継続して実行する。もし処理したウエ
ハーがウエハー箱の最後のウエハーであれば、継続して
そのウエハー箱が最後のウエハー箱であるか否かを判断
５２２し、もし最後のウエハー箱でなければ、次のウエ
ハー箱を処理する動作を進行し５２３、並びに処理した
いウエハーを取り出す５１６ステップを継続して執行す
る。もし最後のウエハー箱であった時には、即ち全ての
ウエハー箱のウエハーがいずれも処理完了したことにな
り、即ち全てのウエハーの処理が完了したことを示す。
以上のステップにより、本発明の同時に異なるウエハー
箱のウエハーを処理する方法が完成し、本発明の方法に
より有効に製造工程の作業時間を節約し、生産能を高め
ることができる。
【００３０】図５は本発明の実施例中のウエハーの相関
シリアルナンバー表示図である。該図は本発明と従来の
技術の間の違いを説明するのに用いられうる。図５は図
３の三つのウエハー箱を設けた場合を例としてその相関
シリアルナンバーを表にしたものである。該三つのウエ
ハー箱中の各一つのウエハー箱１、２、３にはそれぞれ
開始シリアルナンバーＡ１、Ａ２、Ａ３、位置シリアル
ナンバーＢ１、Ｂ２、Ｂ３、処理室シリアルナンバーＣ
１、Ｃ２、Ｃ３及びウエハーシリアルナンバーＤ１、Ｄ
２、Ｄ３が設定されている。
シリアルナンバー表示図である。該図は本発明と従来の
技術の間の違いを説明するのに用いられうる。図５は図
３の三つのウエハー箱を設けた場合を例としてその相関
シリアルナンバーを表にしたものである。該三つのウエ
ハー箱中の各一つのウエハー箱１、２、３にはそれぞれ
開始シリアルナンバーＡ１、Ａ２、Ａ３、位置シリアル
ナンバーＢ１、Ｂ２、Ｂ３、処理室シリアルナンバーＣ
１、Ｃ２、Ｃ３及びウエハーシリアルナンバーＤ１、Ｄ
２、Ｄ３が設定されている。
【００３１】従来の技術においても本発明と同様に上述
の相関シリアルナンバーの設定はなされていたが、ただ
し、従来の技術では、一旦開始シリアルナンバーの順序
を決定すると、全体のウエハー処理の前後の順序が決定
してしまい、異なる処理室での処理ステップに費やされ
る時間が同じであるか否かに係わらず、いずれの場合に
も一つのウエハー箱の全てのウエハーの処理が完了して
からでなければ次の一つのウエハー箱のウエハーを処理
できず、異なるウエハー箱間の待機時間を浪費した。
の相関シリアルナンバーの設定はなされていたが、ただ
し、従来の技術では、一旦開始シリアルナンバーの順序
を決定すると、全体のウエハー処理の前後の順序が決定
してしまい、異なる処理室での処理ステップに費やされ
る時間が同じであるか否かに係わらず、いずれの場合に
も一つのウエハー箱の全てのウエハーの処理が完了して
からでなければ次の一つのウエハー箱のウエハーを処理
できず、異なるウエハー箱間の待機時間を浪費した。
【００３２】反対に本発明の提供するウエハー処理方式
によると、各一つのウエハー処理が完了した後にいずれ
も一つの終了信号を発生し、該終了信号が次の一つの処
理したいウエハーをどの処理室に送って処理すべきかを
通知するのに用いられ、それにより異なるウエハー箱間
で相互に待機する必要がなくなり、即ち本発明により全
てのウエハー箱の処理時間が節約できる。総合すると、
本発明で使用する終了信号は従来の技術の開始信号と比
較すると、使用上さらに弾性を有しさらに快速であり、
並びに全てのウエハー製造工程の機器を有効に運用でき
るようにするため、ウエハーの大量生産に有利である。
によると、各一つのウエハー処理が完了した後にいずれ
も一つの終了信号を発生し、該終了信号が次の一つの処
理したいウエハーをどの処理室に送って処理すべきかを
通知するのに用いられ、それにより異なるウエハー箱間
で相互に待機する必要がなくなり、即ち本発明により全
てのウエハー箱の処理時間が節約できる。総合すると、
本発明で使用する終了信号は従来の技術の開始信号と比
較すると、使用上さらに弾性を有しさらに快速であり、
並びに全てのウエハー製造工程の機器を有効に運用でき
るようにするため、ウエハーの大量生産に有利である。
【００３３】
【発明の効果】本発明では処理室をウエハー処理の順序
単位となすほか、別に従来の処理ステップにさらに終了
信号の出力ステップを加え、該終了信号を、その処理を
行う次の一つのウエハーの順序を決定するのに用いて、
該終了信号がどの一つの処理室り出力したものかを判断
することで、次の一つの該処理を行うウエハー箱のウエ
ハーが必要とする相関順序シリアルナンバーをメモリ中
に格納し、それにより異なるウエハー箱のウエハーを同
時に異なる処理室で処理できるようにし、ウエハー箱の
待機時間を減少し、有効にウエハー製造工程の加工時間
を減少するようにしてある。
単位となすほか、別に従来の処理ステップにさらに終了
信号の出力ステップを加え、該終了信号を、その処理を
行う次の一つのウエハーの順序を決定するのに用いて、
該終了信号がどの一つの処理室り出力したものかを判断
することで、次の一つの該処理を行うウエハー箱のウエ
ハーが必要とする相関順序シリアルナンバーをメモリ中
に格納し、それにより異なるウエハー箱のウエハーを同
時に異なる処理室で処理できるようにし、ウエハー箱の
待機時間を減少し、有効にウエハー製造工程の加工時間
を減少するようにしてある。
【００３４】総合すると、本発明の複数のウエハーの同
時処理方法は同時に異なる処理室中で異なるウエハー箱
のウエハーを処理する方法であり、全てのウエハー箱の
処理にかかる時間を有効に節約し、経済的であり、本発
明の目的及び機能のいずれにおいても実施上、十分な進
歩性を有しており極めて産業上の利用価値を有してい
る。
時処理方法は同時に異なる処理室中で異なるウエハー箱
のウエハーを処理する方法であり、全てのウエハー箱の
処理にかかる時間を有効に節約し、経済的であり、本発
明の目的及び機能のいずれにおいても実施上、十分な進
歩性を有しており極めて産業上の利用価値を有してい
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の異なるウエハー箱のウエハーを異なる処
理室で処理する順序表示図である。
理室で処理する順序表示図である。
【図２】従来の異なるウエハー箱のウエハーを異なる処
理室で処理する動作フローチャートである。
理室で処理する動作フローチャートである。
【図３】本発明の実施例のウエハー処理順序表示図であ
る。
る。
【図４】本発明の実施例のウエハー処理動作フローチャ
ートである。
ートである。
【図５】本発明の実施例のウエハーの相関シリアルナン
バー例表示図である。
バー例表示図である。
【符号の説明】 １ 第１のウエハー箱 ２ 第２のウエハー箱 ３ 第３のウエハー箱 １０ 第１の棚 １１ 第１の処理室 １２ 第２の処理室 １３ 第３の処理室 １４ 第４の処理室 １５ 通路 ２０ 第２の棚 ２１ 第１のウエハー箱処理順序 ２２ 第２のウエハー箱処理順序 ２３ 第３のウエハー箱処理順序 ３０ 第３の棚 ３１ 第１のウエハー箱処理順序 ３２ 第２のウエハー箱処理順序 ３３ 第３のウエハー箱処理順序
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高 徳穎 台湾新竹市武陵路271巷57弄59號２樓 (72)発明者 范 厚博 台湾嘉義市劉▲つぉ▼里自強街84巷67弄20 號 (72)発明者 李 時傑 台湾新竹縣竹北市文山路２號２樓 Ｆターム(参考） 5F031 BB05 GG19 KK04 KK06 MM11
Claims (11)
- 【請求項１】 異なるウエハー箱のウエハーを同時に異
なる処理室中で処理することを特徴とする、複数のウエ
ハーの同時処理方法。 - 【請求項２】 前述の異なる処理室をウエハー処理の順
序の根拠となして各一つの処理室で一つのウエハーの処
理が完了した後に、一つの終了信号を出力して、次の処
理を行うウエハーの順序の根拠となすことを特徴とす
る、請求項１に記載の複数のウエハーの同時処理方法。 - 【請求項３】 前述の処理室での処理がフォトレジスト
のウエハーへの塗布であることを特徴とする、請求項１
に記載のウエハーの同時処理方法。 - 【請求項４】 前述の処理室での処理がウエハーに対す
るエッチングであることを特徴とする、請求項１に記載
のウエハーの同時処理方法。 - 【請求項５】 以下の（ａ）から（ｍ）のステップ、即
ち、 （ａ） 異なるウエハー箱を異なる棚中に収容するステ
ップ （ｂ） 処理項目を選択し並びに実行開始するステップ （ｃ） ウエハー処理の優先順序を設定するステップ （ｄ） 処理するウエハーを走査するステップ （ｅ） ウエハー箱の処理順序をメモリ中に入力するス
テップ （ｆ） 処理するウエハーを取り出すステップ （ｇ） ウエハーの処理を執行し、処理終了後に一つの
終了信号を出力するステップ （ｈ） 該終了信号がどの処理室から出力されたかを判
断するステップ （ｉ） 次の一つのウエハー箱の処理順序をメモリ中に
入力するステップ （ｊ） 処理後のウエハーを戻すステップ （ｋ） ウエハー箱の最後の一つのウエハーであるか否
かを判定してもし否であれば（ｅ）のステップに戻るス
テップ （ｌ） 最後のウエハー箱であるか否かを判定してもし
否であれば次の一つのウエハー箱を処理し、その後に
（ｅ）のステップに戻るステップ （ｍ）ウエハー処理を終了するステップ 以上を包括することを特徴とする、請求項１に記載の複
数のウエハーの同時処理方法。 - 【請求項６】 （ｄ）の処理するウエハーを走査するス
テップにおいて、ウエハーに設定されたウエハーシリア
ルナンバーを処理するウエハーを走査する根拠となすこ
とを特徴とする、請求項５に記載の複数のウエハーの同
時処理方法。 - 【請求項７】 （ｅ）のウエハー箱の処理順序をメモリ
中に入力するステップにおいて、異なる処理室シリアル
ナンバー及び位置シリアルナンバーが設定されること
で、ウエハーの処理の優先順序が決定されることを特徴
とする、請求項５に記載の複数のウエハーの同時処理方
法。 - 【請求項８】 （ｆ）の処理するウエハーを取り出すス
テップにおいて、設定された処理室シリアルナンバーに
より処理するウエハーを対応する処理室に送って処理を
行うことを特徴とする、請求項５に記載の複数のウエハ
ーの同時処理方法。 - 【請求項９】 （ｉ）の次の一つのウエハー箱の処理順
序をメモリ中に入力するステップにおいて、異なる処理
室シリアルナンバーと位置シリアルナンバーが設定され
て次の一つのウエハーの処理優先順序が決定されること
を特徴とする、請求項５に記載の複数のウエハーの同時
処理方法。 - 【請求項１０】 （ｊ）の処理後のウエハーを戻すステ
ップにおいて、該ウエハーの元の位置シリアルナンバー
により該ウエハーが元の位置に戻されることを特徴とす
る、請求項５に記載の複数のウエハーの同時処理方法。 - 【請求項１１】 （ｌ）の最後のウエハー箱であるか否
かを判定してもし否であれば次の一つのウエハー箱を処
理し、その後に（ｅ）のステップに戻るステップにおい
て、ウエハーの位置シリアルナンバーにより次の一つの
ウエハー箱の処理を行うことを特徴とする、請求項５に
記載の複数のウエハーの同時処理方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10229454A JP2000058615A (ja) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | 複数のウエハーの同時処理方法 |
| US09/128,982 US6194232B1 (en) | 1998-07-31 | 1998-08-03 | Multi-track wafer processing method |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10229454A JP2000058615A (ja) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | 複数のウエハーの同時処理方法 |
| US09/128,982 US6194232B1 (en) | 1998-07-31 | 1998-08-03 | Multi-track wafer processing method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000058615A true JP2000058615A (ja) | 2000-02-25 |
Family
ID=26528805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10229454A Pending JP2000058615A (ja) | 1998-07-31 | 1998-07-31 | 複数のウエハーの同時処理方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6194232B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000058615A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6745783B2 (en) * | 2000-08-01 | 2004-06-08 | Tokyo Electron Limited | Cleaning processing method and cleaning processing apparatus |
| TWI558636B (zh) * | 2015-03-16 | 2016-11-21 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 晶圓運輸方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120189421A1 (en) | 2011-01-21 | 2012-07-26 | Samsung Austin Semiconductor, L.P. | Parallel multi wafer axial spin clean processing using spin cassette inside movable process chamber |
| CN104779134B (zh) * | 2014-01-13 | 2017-07-28 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 派货系统及派货方法 |
| JP7209556B2 (ja) * | 2019-02-05 | 2023-01-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5024570A (en) * | 1988-09-14 | 1991-06-18 | Fujitsu Limited | Continuous semiconductor substrate processing system |
| US5402350A (en) * | 1991-06-28 | 1995-03-28 | Texas Instruments Incorporated | Scheduling for multi-task manufacturing equipment |
| US5928389A (en) * | 1996-10-21 | 1999-07-27 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for priority based scheduling of wafer processing within a multiple chamber semiconductor wafer processing tool |
| US5855681A (en) * | 1996-11-18 | 1999-01-05 | Applied Materials, Inc. | Ultra high throughput wafer vacuum processing system |
-
1998
- 1998-07-31 JP JP10229454A patent/JP2000058615A/ja active Pending
- 1998-08-03 US US09/128,982 patent/US6194232B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6745783B2 (en) * | 2000-08-01 | 2004-06-08 | Tokyo Electron Limited | Cleaning processing method and cleaning processing apparatus |
| TWI558636B (zh) * | 2015-03-16 | 2016-11-21 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 晶圓運輸方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6194232B1 (en) | 2001-02-27 |
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