JP2000055994A - 磁界検知装置 - Google Patents
磁界検知装置Info
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Abstract
するための高性能薄型軽量の磁界検知装置を提供するこ
とにある。 【解決手段】本発明は、プリント基板に作製した1以上
のプリントコイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCN
により磁界を検知する磁界検知装置であって、該プリン
トコイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCNは同一形
状の導電パターンと、プリントコイルRC1〜RCNお
よびLC1〜LCNの両端に端子部PT,MTとを有
し、該端子部PT,MTにて該プリントコイルRC1〜
RCNおよびLC1〜LCNを直列接続して直列接続数
を増減し、磁界検知感度を調節する。
Description
れている場において、その磁界の強度を計測するための
極薄型の磁界検知装置に関する。
いる方法が最も簡易である。1mG以下の微弱磁界を検
出しようとするときコイルの巻数は1000ターン程度
必要となる。従来の銅線を巻いて作る方法では、コイル
の寸法・重量のため小型軽量化が困難であった。このほ
かの方法としてホール素子を用いる方法がある。これは
半導体チップで作られているため極めて小型軽量であ
る。しかし、通常100G以上の比較的大きな磁束密度
を測定範囲とするものであるため、1mG程度の信号を
増幅して取り出そうとした場合S/N比が悪くなり、事
実上計測不能である。
鑑みてなされたもので、1mG以下の微弱磁界を検出す
るための高性能薄型軽量の磁界検知装置を提供すること
を目的とする。
に本発明は、プリント基板に作製した1以上のプリント
コイルにより磁界を検知する装置であって、該プリント
コイルは同一形状の導電パターンと、プリントコイルの
両端に端子部とを有し、該端子部にて該プリントコイル
を直列接続して直列接続数を増減し、磁界検知感度を調
節することを特徴とするものである。
以上のプリントコイルにより磁界を検知する装置であっ
て、該プリントコイルは複数の縦長のコイルと横長のコ
イルから構成され、複数の縦長コイルを直列接続した回
路1と複数の横長コイルを直列接続した回路2を組み合
わせて構成されることを特徴とするものである。
て、該プリントコイルは両面基板に作製され、プリント
コイル表面に絶縁層を構成して多数積層した該プリント
コイルを直列接続したことを特徴とするものである。
て、該プリントコイルを直列接続した最終端の二端子部
に起電力の増幅回路とフィルタ回路を作り込んだことを
特徴とするものである。
基板を作るときのプリント基板製作工程を応用して実現
できる。プリント基板は一般に、例えばガラスエポキシ
などの有機材料よりなる基材の上に銅などの導電性金属
薄膜を張り付け、必要な回路パターンを残すようにエッ
チングを施して回路を製作する(サブトラクティブ
法)。このパターンを螺旋状とすることによって巻線コ
イルと同等の磁気検出機能を持つ螺旋状回路のセンサデ
バイスができる。このデバイスはプリント基板の寸法と
厚みであるので極めて薄型軽量の磁界検知装置が実現で
きる。この磁界検知装置を磁界中に置けば磁束密度の変
化によって螺旋状回路に起電力が発生し、回路両端の電
位差を計測することによって磁界の強さを測定できる。
エッチングなどで製作した回路の幅は銅線と比較して非
常に細い。磁界検知感度は螺旋状回路の巻数に比例する
が同一面積内で巻数を多く取ることができるようになり
性能が格段に向上する。
の形態例を詳細に説明する。図1は、螺旋状回路を構成
するプリントコイルと、その出力表示装置からなる薄型
磁界検知装置の例を示す図である。例えばガラスエポキ
シなどの有機材料よりなる基材2の上に導体薄膜の螺旋
状回路を構成するプリントコイル1がエッチングされて
おり、プリントコイル1の両端の端子部61、62の電
位差が結線4を介して電圧計3に表示されるようになっ
ている。これを、たとえば交流磁界5中に置けば磁界強
度に比例し磁界周期に一致する出力電圧が得られる。
明する図である。比較のため、磁界強度が1の場合を図
2(a)に、その2倍の強度の場合を図2(b)に示
す。図2(a1)のように磁界強度が周期pの正弦波上
に変化するとき、図2(a2)のようにプリントコイル
1を通過する磁束(φ)も同一周期で変化する。する
と、電磁誘導の効果によりファラデーの法則 V=−dφ/dt にしたがう起電力Vが図2(a3)のようにプリントコ
イル1中に発生する。ただし、φは磁束、tは時間を表
す。その結果図2(a4)のように磁界と同一周期の余
弦波型の出力電圧変化が計測される。
は同一周期で電圧振幅が2倍(図2(b4))の余弦波
型の電圧変化が計測される。図2(b2)は同一周期で
変化するプリントコイル1を通過する磁束(φ)、図2
(b3)はプリントコイル1に発生する起電力Vであ
る。したがって、電圧計3に表示される電圧の周期と振
幅から磁界の周期と振幅を測定することができる。
体が動く場合には、上記と同じ原理によって磁束の変
化、ひいては磁界検知装置の移動の過程を測定すること
ができる。
明する図であって、図3(b)は図3(a)のA−A′
線断面を表す。基材2上にプリントコイル1のパターン
をエッチングによって作製し、その後回路の絶縁と保護
のため電極端子部61、62以外の部分をレジスト7で
被覆する。この方式ではコイルの幅0.14mm、コイ
ル間隔0.1mmの精度で製作できるので、たとえば5
0mm角のコア材上に巻数約100、コイル延長10m
相当の極薄型コイルが実現できる。基材としてポリイミ
ドなどを選択すればフレキシブルな回路を製作すること
もできる。
たが、図4は多層構造のプリントコイル構造の例を説明
する図である。基材2の両面にそれぞれ螺旋状回路のプ
リントコイル1をエッチングによって作製し、その表面
をレジスト7で被覆する。基材2両面のプリントコイル
1の導通はスルーホール801を介して行い、対向する
プリントコイル1の導通は接続導体802で行う。これ
を5枚張り合わせた形で10層の細径線コイルが完成す
る。このとき基材2の厚みは0.1mm、プリントコイ
ル1の導体薄膜厚みは18ミクロン程度なので約1.3
mmの厚みの中に10層のプリントコイルを作り込むこ
とができる。
ルタ回路を構成する導体薄膜と、その出力表示装置から
なる薄型磁界検知装置の例を示す図である。磁気シール
ドを施されていない一般の環境には、電気機器の発生す
る商用電源周波数50/60Hzを代表として多くの磁
気雑音が存在する。必要な信号とこれらの雑音とを分別
するためには、プリントコイル1から出力される信号を
フィルタ回路9および増幅回路10でフィルタリング・
増幅することが有効である。通常そのような回路はプリ
ント基板上に作られるが、その作製工程はプリントコイ
ル1のそれと同一であるためこれらを一体で設計し製作
することにより製作作業の効率化と装置の小型化が可能
になる。
である。図において、OP1〜OP12はオペアンプ、
C1〜C8はコンデンサ、R1〜R29は抵抗、D1,
D2はダイオード、Jは接続部、T1〜T26は端子、
Gは接地である。すなわち、オペアンプOP1〜OP1
2、コンデンサC1〜C8、抵抗R1〜R29などの電
気素子の定数を調整することによって所用のフィルタバ
ンド幅や増幅率を持つ増幅/フィルタ回路を実現でき
る。
を示すグラフであって、(a)は増幅/フィルタ回路が
ない場合、(b)は増幅/フィルタ回路がある場合であ
る。いずれも220Hzの交流磁界を検出しているが、
(a)は高周波のノイズが乗っている上に出力電圧も低
いのに対し、(b)は増幅/フィルタ回路の効果できれ
いな正弦波状の高出力の電圧が得られている。この例で
は、磁束密度1mGのとき出力電圧が1.5Vとなるよ
う設定しており、グラフより1mG以下のレベルでも良
好な精度を持っていることが確認できる。
ットの位置計測の自動化、無人化に応用した例を示す図
である。図において、81はエースモール、82は送信
コイル、83はエースモール制御盤、84はマトリクス
シートセンサ、85は受信コイル、86はシートセンサ
接続装置、87は測定装置、82′は測定送信コイル、
85′は測定受信コイルである。エースモール81と呼
ばれる地中ロボットは地下数メートルの深さを数百メー
トルの長さにわたって掘削するがこの位置をリアルタイ
ムで精度よく遠隔的に測定する必要がある。この例では
エースモール81の内部に送信コイル82を搭載し予め
決めた周波数の磁界を発生させる。地上には本発明磁界
検知装置からなる受信コイル85を埋め込んだ薄型のマ
トリクスシートセンサ84を設置し目的とする周波数成
分の磁界を検出してシートセンサ接続装置86に取り込
みその強度からエースモール81の水平位置・深度を推
定する。また、その情報をエースモール制御盤83に入
力することによりエースモール81の自動制御に活用で
きる。本発明磁界検知装置を受信コイル85に採用する
ことによりマトリクスシートセンサ84の薄型化が実現
でき、道路下を掘削するような場合でも交通の障害や測
定者の危険を伴うことなく計測作業を遂行できる。
マイクロプリントコイルを直列接続する概念図である。
図において、RC1,RC2は右巻きのマイクロプリン
トコイル、LC1,LC2は左巻きのマイクロプリント
コイル、PTは起電力が正極の端子部、MTは起電力が
負極の端子部、LLはリード線、PFは例えば磁束の増
加する方向である。すなわち、コイルRC1の負極の端
子部MTとコイルLC1の正極の端子部PTをリード線
LLで接続し、またコイルRC2の負極の端子部MTと
コイルLC2の正極の端子部PTをリード線LLで接続
して、コイルの接続方向をX方向もしくはY方向に配置
することにより、X方向もしくはY方向のコイルのの起
電力を任意に増加することができる。なお、マイクロプ
リントコイルは螺旋型またはメアンダ型でも可能であ
る。
コイルを直列接続した例であり、X方向に変化する磁束
による起電力感度が、Y方向起電力感度よりも高いの
で、方向性のある磁界の検出装置として優れた特性を有
する。本例では2個のコイルRC1とLC1、およびR
C2とLC2を直列接続しているが、リード線LLを使
用して3個、4個………と接続して起電力感度(起電力
合計値)を増加することが可能である。
のプリントコイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCN
により磁界を検知する磁界検知装置であって、該プリン
トコイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCNは同一形
状の導電パターンと、プリントコイルRC1〜RCNお
よびLC1〜LCNの両端に端子部PT,MTとを有
し、該端子部PT,MTにて該プリントコイルRC1〜
RCNおよびLC1〜LCNを直列接続して直列接続数
を増減し、磁界検知感度を調節する。なお、該プリント
コイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCNを直列接続
した最終端の二端子部PT,MTに起電力の増幅回路と
フィルタ回路を作り込んでもよい。
るようにプリントコイルを組み合わせた回路A、および
Y方向の磁束変化に感度の高くなるようにプリントコイ
ルを組み合わせた回路Bである。前記回路Aおよび回路
Bを同一基板上に沢山作り込むことで感度の調整が自在
にでき、また、回路Aと回路Bを基板上に分散配置する
ことで様々な場所のX方向とY方向の磁束の変化を検知
できる。
のプリントコイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCN
により磁界を検知する磁界検知装置であって、該プリン
トコイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCNは複数の
横長のコイルRC1、RC2、LC1、LC2と縦長の
コイルRC3、RC4、LC3、LC4から構成され、
複数の横長コイルRC1とLC1、およびRC2とLC
2をそれぞれ直列接続した回路Aと複数の縦長コイルL
C3とRC3、およびLC4とRC4をそれぞれを直列
接続した回路Bを組み合わせて構成される。なお、該プ
リントコイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCNを直
列接続した最終端の二端子部PT,MTに起電力の増幅
回路とフィルタ回路を作り込んでもよい。
コイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCNを作製する
例であり、プリントコイルRC1〜RCNおよびLC1
〜LCN面を絶縁して積み重ね、リード線LLまたはス
ルーホールTHでプリントコイルRC1〜RCNおよび
LC1〜LCNを直列接続することで感度調整が自在で
高感度の磁界検知装置が実現できる。
置の構成として、プリントコイルRC1〜RCNおよび
LC1〜LCNを両面プリント基板PCに作製し、プリ
ントコイルRC1〜RCNおよびLC1〜LCNの表面
に絶縁層を構成して多数積層した該プリントコイルRC
1〜RCNおよびLC1〜LCNを直列接続する。な
お、該プリントコイルRC1〜RCNおよびLC1〜L
CNを直列接続した最終端の二端子部PT,MTに起電
力の増幅回路とフィルタ回路を作り込んでもよい。
装置によれば、1mG以下の微弱磁界を検出するための
高性能薄型軽量の磁束密度計測装置が実現可能になる。
特に、磁束密度計測装置の設置スペースが限られている
ような場所での測定には有効である。
成説明図である。
の一例を示す波形図である。
説明する平面図および断面図である。
板で製作する場合の例を説明するための断面図である。
構成説明図である。
回路図である。
すグラフである。
の位置計測の自動化・無人化に応用した例を示す説明図
である。
イル接続例を示す構成説明図である。
コイル接続例を示す構成説明図である。
コイル接続例を示す構成説明図である。
コイル接続例を示す構成説明図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 プリント基板に作製した1以上のプリン
トコイルにより磁界を検知する装置であって、該プリン
トコイルは同一形状の導電パターンと、プリントコイル
の両端に端子部とを有し、該端子部にて該プリントコイ
ルを直列接続して直列接続数を増減し、磁界検知感度を
調節することを特徴とする磁界検知装置。 - 【請求項2】 プリント基板に作製した1以上のプリン
トコイルにより磁界を検知する装置であって、該プリン
トコイルは複数の縦長のコイルと横長のコイルから構成
され、複数の縦長コイルを直列接続した回路1と複数の
横長コイルを直列接続した回路2を組み合わせて構成さ
れることを特徴とする磁界検知装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2記載の磁界検知装置にお
いて、該プリントコイルは両面基板に作製され、プリン
トコイル表面に絶縁層を構成して多数積層した該プリン
トコイルを直列接続したことを特徴とする磁界検知装
置。 - 【請求項4】 請求項1、2又は3記載の磁界検知装置
において、該プリントコイルを直列接続した最終端の二
端子部に起電力の増幅回路とフィルタ回路を作り込んだ
ことを特徴とする磁界検知装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21891898A JP3401436B2 (ja) | 1998-08-03 | 1998-08-03 | 磁界検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21891898A JP3401436B2 (ja) | 1998-08-03 | 1998-08-03 | 磁界検知装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000055994A true JP2000055994A (ja) | 2000-02-25 |
JP3401436B2 JP3401436B2 (ja) | 2003-04-28 |
Family
ID=16727367
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21891898A Expired - Lifetime JP3401436B2 (ja) | 1998-08-03 | 1998-08-03 | 磁界検知装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3401436B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002221513A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Seiji Motojima | マイクロセンサ及びその用途 |
WO2005096007A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Nec Corporation | 磁界センサ |
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KR102335187B1 (ko) * | 2020-08-12 | 2021-12-02 | 한국전기연구원 | 전력기기 장비 및 이에 사용되는 광대역 초고주파 부분 방전 센서 |
-
1998
- 1998-08-03 JP JP21891898A patent/JP3401436B2/ja not_active Expired - Lifetime
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KR102335187B1 (ko) * | 2020-08-12 | 2021-12-02 | 한국전기연구원 | 전력기기 장비 및 이에 사용되는 광대역 초고주파 부분 방전 센서 |
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---|---|
JP3401436B2 (ja) | 2003-04-28 |
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