JP2007518086A - 電圧測定装置 - Google Patents

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Abstract

対象電線(38)の交流電圧を測定する装置は、電気的に絶縁された支持部材に搭載された第1セットの静電容量電圧センサー(32aから32f)を含んでいる。センサーは第1概念サークルに沿って間隔を開けて配置されており、内側信号コンダクター(33)とゼロ電圧基準コンダクター(37)との間で並列に接続されている。第2セットの静電容量電圧センサー(34aから34f)は第2概念サークルに沿って間隔を開けて支持部材上に搭載されており、外側信号コンダクター(35)と基準コンダクター(37)との間で並列に接続されている。支持部材は対象電線(38)を装置内部に導入させ、センサーに対象電線の軸を包囲させる。各センサーは信号コンダクターに接続された信号電極(48)と、基準コンダクターに接続された基準電極(50)とを有し、信号電極を対象電線に対面させて方向付けられる。対象電線の電圧は信号コンダクターと基準コンダクターに印加された電圧の関数として導き出される。
【選択図】 図3A

Description

本発明は、送電線などの電線(導電体)の交流電圧を測定する装置に関する。
力率や電力品質の測定は電気供給のモニターにおいて重要な要素である。特定の送電線の力率や電力品質を計算するため、交流送電線の交流電圧と交流電流が測定されなければならない。高圧送電線の場合、着脱式の非接触型電圧測定装置は利用の容易性とフレキシビリティとの最良バランスを提供する。
図1はJP2002−2131341で開示された非接触型電圧測定装置10を図示する。図は交流電圧が適用される絶縁電線12の縦断面図を示す。装置10で観察されるのは電圧波形である。装置10は電線12を包囲する2体の導電管である内側導体層14と外側導体層16で成る。装置のこれら2つの導体層は普通は誘電層18で分離されている。装置10の出力電圧はシールドされたケーブル(図示せず)で検出することができる。そのシールドは外側導体層16に接続され、その中心は外側導体層16と誘電層18に設けられた小穴(図示せず)を介して内側導体層14に取り付けられる。
図1で示すアレンジは、次の2つの条件が満たされれば、装置の外側導体層の外部に存在する他の電圧源で発生された迷電場からの干渉検出を防止するのに効果絶大である。
1)装置10の外側導体層16が内側導体層14を完全に包囲している。
2)内側導体層14を越えた外側導体層16の縦方向オーバーシュートL1の長さが、外側導体層16の直径よりも長い。
条件(2)は装置10の両端からの干渉電場の侵入が最少限であることを保証するものである。
これら2つの条件が満たされると、装置10の外側導体層16は内側導体層14を外部電場から効果的に遮断し、電線12の電荷によって電場にのみ反応する。
しかし図1で示す装置は、電線12が装置に通すことができる場合にのみ、あるいは装置がクリップ留め、あるいは共に取り付けられる複数の可動部分を有しているときにだけ使用できることは明白である。この種の装置の使用に対する別な規制は、装置の長さが条件(2)を満たすために長くなるので、電線の直径が太い場合に発生する。3.5cmの直径の電線では条件(2)は典型的には9cmの長さの装置を必要とする。
この規制のため、この低干渉構造は高圧送電線に対して事実上使用されていない。
送電線の最もポピュラーなタイプの電圧測定装置は図2に示すものである。ここでは間隙20が誘電層22及び内側導体層24と外側導体層26に設けられる。これで装置は送電線に容易に取り付けられる。装置の長さLも、条件(2)を満たすのに必要とするものよりずっと短くてよい。従って、図2の装置は間隙20と装置の両端を通って侵入する外部電場からの干渉に影響を受ける。結果として、この装置は正確な力率や品質測定が必要な多くの場合に使用できない。特に、干渉位相が装置の間隙20の方向に存在する場合には使用できない。
よって本発明の1目的は、これらの弱点が緩和される改良型交流電圧測定装置の提供である。
従って本発明は試験対象の電線の交流電圧を測定する装置を提供する。装置は絶縁用支持部材上に搭載される第1セットと第2セットの静電容量電圧センサーを含んでいる。第1セットのセンサーは第1概念閉経路に沿って提供され、第1信号コンダクター(導体)と基準コンダクターとの間で並列に接続されており、第2セットのセンサーは第1閉経路を囲む第2概念閉経路に沿って提供され、第2信号コンダクターと、第1セットと同じ基準コンダクターとの間で並列に接続されており、支持部材は対象電線を装置の内部に導入し、センサーが対象電線の軸を囲み、各センサーがそれぞれの信号コンダクターに接続された信号電極と、基準コンダクターに接続された基準電極とを有し、第1セットのセンサーは対象電線に向く信号電極の方向に方向付けられ、第2セットのセンサーは対象電線とは反対向きの信号電極の方向に方向付けられており、測定装置は対象電線の電圧を第1信号コンダクターと基準コンダクターに印加する電圧及び第2信号コンダクターと基準コンダクターに印加する電圧の関数として導き出す手段をさらに含んでいる。
本発明の実施例を図面を利用して説明する。
図3Aに図示する電圧測定装置30は絶縁マザーボードを含んでいる(図3Aでは図示しないが、図5から図7に関して解説)。その上に複数の静電容量電圧センサー36が搭載されている。これらセンサー36は内側セットのセンサー32aから32fと外側セットのセンサー34aから34fを含んでいる。内側セットと外側セットのセンサー32aから32fと34aから34fは実質的に共通の平面に搭載され、実質的に同一構造である。内側セットのセンサー32aから32fは第1概念サークル32に沿って実質的に等間隔で配置され、外側セットのセンサー34aから34fは第1サークルと同心の第2概念サークルに沿って実質的に等間隔で配置されている。センサー36はサークル32と34の共通中心に関して放射状にペアで整合する。すなわち、32a/34a、32b/34b、等々のペアである。
各センサー36は平行プレートキャパシターの形態であり、信号電極48と、少なくとも1つの基準電極50を実質的に平行に有している。内側セットのセンサー32aから32fはセンスコンダクター33と基準コンダクター37との間で並列に接続されており、外側セットのセンサー34aから34bはセンスコンダクター35と同じ基準コンダクター37との間で並列に接続されている。後述されるようにコンダクター33、35及び37はマザーボードで導体路として形成される。
マザーボードは間隙40を有しており、測定装置30を配置させ、対象電線38を概念サークル32、34の内部に導入可能とし、対象電線38の軸はセンサーを含む平面に垂直(すなわち図3Aの平面に垂直)とし、サークル32と34の中心と一致させ、各サークル32、34に沿って横たわるセンサー36で対象電線38の軸を囲み、電極面48、50を対象電線38の軸に垂直とする。
内側サークル32のセンサー32aから32fは全てそれらの信号電極48が対象電線38に面するように方向付けられている。これらセンサー32aから32fは入力電圧Vinnerを基準コンダクター37の電圧に関して提供する。外側サークル34のセンサー34aから34fは内側サークルの対応するセンサー32aから32fとペアとなっているが、各センサー36の信号電極37が対象電線38とは逆方向を向くように設置されている。外側セットのセンサー34aから34fの目的は外部源からの干渉を減少させることである。これらセンサー34aから34fは基準電圧に関して入力電圧Vouterを提供する。各センサー36で基準電極50は信号電極48よりも実質的に大きな面積を有し、信号電極に対面するセンサー側の発生源からの電場から信号電極をシールドする。
電場源である対象電線38が測定装置30内の測定位置にあるとき、内側リング32の全センサー32aから32fは対象電線(発生源)38に面した非シールド信号電極48と整合し、大きなVinnerを提供する。外側リング34の全センサー34aから34fは発生源38に面したシールドされた基準電極50と整合する。これで小さなVouterが得られる。発生源38による内側リング32に印加される電圧は外側リング34の検出電圧Vouterより大きくなる。これら電圧が差し引かれても相対的に大きな出力電圧が得られる。それは外部干渉の影響をほとんど受けない。
図3Bは電圧測定装置30の外側に位置する干渉源52を図示する。2つの外側センサー34a及び34dと干渉源52とは直線上にある。しかし、それらは発生源52とは反対向きに整合する。なぜなら、干渉源52はセンサー34dの非シールド(信号電極48)側で、センサー34aのシールドされた(基準電極50)側にあるからである。対応する2つの内側センサー32aと32dも干渉源52に関して干渉源52に面したセンサー32dの非シールド側50及び干渉源52に面したセンサー32aの非シールド側48と反対向きに整合する。同タイプの分析が測定装置の他のセンサーにも適用される。
よって、もし干渉源52が相当に離れていれば、VinnerとVouterはこの干渉源52に関しては等しいことがわかり、外部源からの検出がVouterとVinnerを差し引くことで低減または排除できる。内側センサーおよび外側センサー36のペアが多く使用されるほど、キャンセル効果はよくなる。
図4と図4Aから4Cは本発明の実施例に使用されるセンサー36の構造を示す。センサー36の上面が図4に上方に示されており、センサーの底面は図4の下側に示されている。センサー36は図4Aから4Cで個別に図示する3体の実質的に平坦なプリント回路ボード(PCB)の層である上層42、中間層44及び下層46を含んでいる。各PCB層42、44、46は図4Aから図4Cに示すように各面に提供された多様な導電性領域及び/又は経路を有した電気的に絶縁された基板を含んでいる。層42、44、46は互いに接着され、図4で示す積層構造を提供する。図4Cで示すPCB層46は積層前に裏返され、図4の下側で図示するように、図4Cの上面はセンサーの下側に露出される。このタイプの典型的なセンサーは約4cm平方の表面積を有する。もちろんこの寸法は加工されて、特定の適用に合わされる。センサー36のPCB構造は安価、正確、軽量及びコンパクトである。
製造を簡素化するため、センサー36の本体51は略正方形である。そして本体51の1縁部(ベース)から延び出る方形タブ47を有している。信号電極48は上層42の中央部に正方形導体として提供される。バイア45は信号電極48から上層42、中間層44及び下層46を通って延び、信号電極48を下層46に提供された導体路49Aを介してタブ47の下面に位置する信号パッド49に電気的に接続する。
中間層44の全表面はバイア45を囲む空領域を除いて積層された導電層50Aで覆われており、下層46の全表面もバイア45を囲む空領域を除いて積層された導電層50Bで覆われている。信号パッド49と導体路49Aはそれら2つを接続する。バイア41は3層42、46、46を通って延び、層50Aと50Bをタブ47の上面に位置するゼロボルト基準パッド43に電気的に接続する。
よって信号電極48はタブ47の下面の信号パッド49にバイア45で接続される。層50Aと50Bはバイア41でタブ47の上面の基準パッド43に接続される。
このセンサー36は本質的には小型静電容量プローブであり、その静電容量は上層42の信号電極48と中間層44と下層46の層50Aと50Bによって形成される基準電極50との間に存在する。電圧信号は信号電極48と基準電極50の間に、上層42に適用される電場の垂直成分によって誘導される。
測定装置30の最良操作のため、センサー36の中間層44と下層46の基準電極層50Aと50Bの面積は図4Aから図4Cで示すように上層42の信号電線48の面積よりも大きく提供されている。これでセンサー36は、センサー36の下層46の下方の同一距離に位置する同じ電場源からの誘導電圧より高い誘導電圧をセンサー36の上層42の上方の電場源から検出する。その大きな基準コンダクター50が信号コンダクター48と電場源との間にあるとき、それは信号コンダクター48を電場源から部分的にシールドする。センサー36の信号コンダクター48と較べて基準コンダクター50の面積が大きければ大きいほど、このシールド効果は大きくなる。
内側と外側のプリント回路ボードセンサー36は図5で図示するようにプリント回路マザーボード55に垂直に搭載される。
マザーボード55は3枚の別々に提供される平坦なU形状PCB層56、58、60の積層体であり、図6Aから6Cにそれぞれ図示されている。各PCB層はサイズと平面形状が実質的に同一であり、内側セットの4個のスロット62aと外側セットの4個のスロット62bを有した電気的絶縁基板を含む。内側スロット62aはポイントPに中心を置く概念第1サークルに対して接線状に提供され、等間隔で周囲に配置され、外側スロット62bは概念第1サークルと同心であって半径がさらに大きい概念第2サークルに対して接線状に提供され、周囲で等間隔に配置されている。3枚の層56、58、60が積層されると、各3層のスロットは整合する。図6は積層された多層マザーボードの平面図及び上層56の平面図と考えられる。図6Cで示す導体路は実際に多層マザーボードの下面に提供され、図6Cは下層60の平面図と考えられる。絶縁基板は下面構造の解説のために透明に図示されている。
図4で示すように構成された8個のセンサー36は図5で示されるように、センサーのタブ47をマザーボードのスロット62aまたは62bに挿入することでマザーボードに垂直に搭載される。スロット62aと62bはタブ47がスロットにピッタリとフィットするサイズである。図6Aから図6Cで示す構造は図3と図5で示す6ペアではなく4ペアのセンサー36を使用する。各センサー36はポイントPから放射状方向に対して垂直となるように方向付けされる。後者がスロット40に挿入されたとき、後者は対象電線と実質的に一致する。4つのセンサーの外側サークルで、信号電極48はポイントPから離れて外側に向く。4つのセンサーの内側サークルでは信号電極48はポイントP方向に内側に向き、図3と図5で示すアレンジに対応する。
図7Aから図7Cはマザーボード層56、58、60の上左部分でトラックレイアウトの詳細拡大図であり、マザーボード層上の他の3個のセンサーペアのポジションでの対応構造に等しく、上層56はスロット62a、62bのペア間で延びて囲むように提供されている幅広い基準トラック37Aを有している(図7A参照)。下層60もスロット62aと62bの間を延びて囲む幅広い導電性基準トラック37Bを有している。スロット62a、62bの内側縁部に隣接する導電材料64の小さな領域は除く(図7c参照)。トラック37Bは領域64から離れている。中間層58はスロット62a、62b間で延びるように提供されている2つの狭くて近接する導電信号トラック33と35を有している。
組み立てられたマザーボードにおいて、トラック37Aと37Bはバイア70(図6Bと図7B参照)で電気的に接続されている。それらは3つのマザーボード層全てを通過し、スロット62aと62bの外側縁部でトラック37Aと37Bの一部を電気的に接続する。トラック37Bの内側の導電性領域64はそれぞれのバイア72を介して中央層の信号トラック33に電気的に接続され、トラック37Bの外側の導電性領域64はバイア74を介して中間層の信号トラック35に電気的に接続される。バイア72と74は図7aの上層に提供されているが機能性はない。バイアはPCB全体にドリル加工されるため、それらは上層の基準トラック37Aから絶縁されていなければならない。
個々のセンサー36はセンサー36のタブ47を方形スロット62a、62bに挿入することでマザーボードに搭載され、センサー信号パッド49が導電性領域64に隣接し、センサー基準パッド43がスロット62aまたは62bの外側でトラック37Bの一部に隣接するようにしている。センサー36は、信号パッド49を隣接導電性領域64にハンダ付けし、基準パッド43をスロット62aまたは62bの外側でトラック37Bの隣接部分にハンダ付けすることでその場でハンダ付けされる。よって、各内側センサーの信号電極48は内側信号トラック33に接続され、外側センサーの信号電極は外側信号トラック35に接続され、全基準電極50A、50Bは基準トラック37Aと37Bに共通して接続される。4ペアのセンサー36の使用を除いて、これは図3Aの電気的に均等な回路に相当し、基準トラック37A、37Bは集合的に基準コンダクター37を形成する。
このアレンジの特別な利点は、基準電極50による信号電極48のシールドに加えて、狭くて近接する信号トラック33、35がずっと広い基準トラック37Aと37Bに挟まれ、信号トラック33、35を外部電場から効果的にシールドさせることである。これらトラック33、35は測定電圧の計算のためのアンプ入力部(図示せず)に導く。
別々のシールド(図示せず)がマザーボード54の下層60に必要となろう。そこは、信号パッド49が露出し、干渉を検出する蓋然性が高いため、PCBセンサータブ47がスロット62a、62bの下層を通って突き出すところである。シールドはスロット62a、62bの外側縁部で基準電極37Bの一部76にハンダ付けされ、センサーの突き出し領域を覆う。アンプの第1ステージも基準電線に電気的に繋がれた導電性シールド(図示せず)によってシールドを必要とするであろう。
場合によっては、内側と外側PCBセンサーの各ペアを1つの5層PCBセンサーに組み入れるのが有利であり、その機能を実行するアレンジは図8で示されている。
5層センサー100は別々の内側と外側の3層センサー36と同一の機能を提供する。センサーは上層102と下層104を有する。それらは3層センサーの上層42に対応する。上層102と下層104は信号コンダクターセクション112と113を含む。それらは一般的にセンサー100自体のサイズよりも小さい。上信号コンダクターセクション112と下信号コンダクターセクション113はセンサー36の3層の実施例に存在する信号コンダクターセクション48に対応する。
5層センサー100も第2層106、中間層108及び第4層10を有し、主として基準コンダクター114として作用するコンダクター部分を含む。この基準コンダクター114はセンサー36の3層実施例に存在する基準電線50に対応する。
第2層106、中間層108、第4層110の基準電線114のそれぞれは基準ハンダパッド120に接続されている。2つのそのような基準ハンダパッド120が上層102に提供されており、さらに2つの基準ハンダパッド120が下層104に提供されている。バイア122、124のペアは5層のそれぞれを通過して延び、基準ハンダパッド120と基準コンダクター114がそれぞれ基準電圧であることを確実にする。
上層102の信号コンダクターコンポーネント112はバイア115aで上層102から中間層108に接続されている。これはバイア115bにより中間層108から上層102に接続されており、そこでその信号用のハンダパッド116に接続される。対応するバイア116aと116b並びにセンサー100の下層104上の信号ハンダパッド118で同じ信号経路が下層104上の信号コンポーネント113から中間層108に、そして下層104に戻してコピーされる。
信号バイアとハンダパッドは包囲コンダクターから絶縁されている。
その場合、マザーボードのいくらかの手直しが必要である。
内側セットのプローブ間の電圧Vinnerと基準電圧を誘導する物理的プロセスの電気的に等価な回路は図9に図示されている。抵抗RとキャパシターCがVinnerとVreference間で接続されていると想定する。Cs1は送電線と内側セットのプローブとの間の浮遊容量を表し、Cs2はVreferenceに接続されて接地された全コンダクター間の浮遊容量を表す。測定装置を流れる電流Iは次の式で与えられる。

Figure 2007518086
最大予想浮遊容量Cs1とCs2は10pfであり、もしCが10nf以上であれば、RC組み合わせのインピーダンスはその浮遊容量のインピーダンスよりもずっと少なく、近似値は次の式で得られる。
Figure 2007518086
電圧は次の式で得られる。

Figure 2007518086
対象周波数ωでCRがωCR>>1となるように充分に大きく選択されるとする。
Figure 2007518086
となり、電圧Vinner−Vreferenceは歪みも位相シフトもないVsourceの減少バージョンである。
減衰ファクターは次の式で与えられ、浮遊容量によって定まる。
Figure 2007518086
inner−VreferenceからVsourceの大きさを正確に予測することは、浮遊容量Cs1とCs2が知られているか、評価可能であるときのみ可能である。しかし、電力ファクターと電力品質測定のためには電圧の絶対値は必須ではない。重要なファクターは電圧の位相と、高調波の相対振幅並びに測定電流パラメータを知ることである。式(1)からVinner−Vreferenceがモニターされている位相の電圧のレプリカであることがわかる。
アンプステージのついた完全電圧測定装置の電気的等価回路は図10で示されている。
2つの電圧Vinner−VreferenceとVouter−Vreferenceは2つの同一アンプAMP1とAMP2で増幅される。これら2つのアンプの出力は減算され、AMP3で増幅される。他の位相からの干渉検出の減少が達成されるのはこの最後の段階である。
送電線モニター用の正確でコンパクトであり、非接触型の安価な電圧測定装置を説明した。図2で示す形態の従来の測定装置と較べると、この干渉検出は、図2の測定装置を使用したときに記録されるレベルよりも7以上少ないレベルである。
完全電力ファクターと電力品質の測定装置を実現するため、送電線の電力の電流が測定されなければならない。解説した電圧測定装置と類似した電流測定装置はアイルランド特許願S2001/0370で開示されている。その特許願では幾つかの誘導PCBセンサーが、マザーボードの電流源周囲で対称的に垂直搭載される。図11は、本実施例の電圧測定装置と前述のアイルランド特許願の電流測定装置の両方を利用させる電力ファクター及び電力品質の測定装置を搭載するマザーボードを図示する。電圧測定装置201は前述通りであり、電流測定装置202は電圧測定装置201の外側のサークル周囲に搭載される。電流測定値と電圧測定値の両方を増幅する手段(図示せず)は同じマザーボード200に搭載でき、電力ファクターと電力品質の測定のための軽量で安価であって、コンパクトな非接触型測定装置を提供する。
本発明はここで解説する実施例に限定されない。それらは本発明のスコープの範囲内で改良することが可能である。
図1は、既述の従来技術による電圧測定装置である。 図2も、既述の従来技術による電圧測定装置である。 図3Aは、本発明の1実施例による電圧測定装置の概略図である。 図3Bは、干渉する電線に隣接して設置された図3Aの電圧測定装置の概略図である。 図4は、図3Aの装置で使用される静電容量センサーの1つの上側斜視図と下側斜視図である。 図4Aは、図4のセンサーの上層の斜視図である。 図4Bは、図4のセンサーの中間層の斜視図である。 図4Cは、図4のセンサーの下層の斜視図である。 図5は、マザーボードに搭載された8個の静電容量センサーのセットの斜視図である。 図6Aは、図3Aの装置において図4の個別センサーが搭載された多層マザーボードの上層の斜視図である。 図6Bは、図3Aの装置において図4の個別センサーが搭載された多層マザーボードの中間層の斜視図である。 図6Cは、図3Aの装置において図4の個別センサーが搭載された多層マザーボードの下層の斜視図である。 図7Aは、図7Aから7Cに示される、マザーボード上の2センサーのための搭載位置の詳細な平面図の1図である。 図7Bも、マザーボード上の2センサーのための搭載位置の詳細な平面図の1図である。 図7Cも、マザーボード上の2センサーのための搭載位置の詳細な平面図の1図である。 図8は、本発明の別実施例による5層のプリント回路ボード静電容量電圧センサーの分解図である。 図9は、内側セットのセンサー間の電圧Vinnerと基準電圧を印加させる物理的プロセスの電気的均等回路の概略図である。 図10は、本発明の実施例による増幅ステージを備えた完全電圧測定装置の電気的均等回路の概略図である。 図11は、1体のマザーボードで組み合わされた本発明実施例による電圧測定装置とアイルランド特許出願S2001/0370による電流センサーの平面図である。

Claims (11)

  1. 対象電線の交流電圧の測定装置であって、電気絶縁支持部材に搭載された第1セットと第2セットの静電容量電圧センサーを含んでおり、前記第1セットのセンサーは第1概念閉経路に沿って配置され、第1信号コンダクターと基準コンダクターとの間に並列に接続されており、前記第2セットのセンサーは前記第1閉経路を囲む第2概念閉経路に沿って配置され、第2信号コンダクターと、前記第1セットと同じ基準コンダクターとの間で並列に接続されており、前記支持部材は対象電線を本装置の内部に導入し、前記センサーに対象電線の軸を包囲させ、各センサーは前記信号コンダクターに接続された信号電極と、前記基準コンダクターに接続された基準電極とを有しており、前記第1セットのセンサーは対象電線に向く信号電極の方向に方向付けられており、前記第2セットのセンサーは対象電線とは反対向きの信号電極の方向に方向付けられており、本測定装置は対象電線の電圧を前記第1信号コンダクターと前記基準コンダクターに印加する電圧及び前記第2信号コンダクターと前記基準コンダクターに印加する電圧の関数として導き出す手段をさらに含んでいることを特徴とする測定装置。
  2. 第2セットの各センサーは対象電線の軸に対して第1セットの対応センサーと放射状に整合していることを特徴とする請求項1記載の装置。
  3. 各センサーは実質的に同一であることを特徴とする請求項1または2に記載の装置。
  4. 概念閉経路はサークルであることを特徴とする請求項1記載の装置。
  5. 各センサーは閉経路に実質的等間隔に配置されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の装置。
  6. 第2セットの各センサーは第1セットの1センサーと一体的であり、複数の複合センサーが、近接する第1と第2概念経路の周囲で配置された第1と第2セットを提供するようにアレンジされていることを特徴とする請求項2記載の装置。
  7. 各基準電極は対応する信号電極よりも面積が実質的に大きく、該信号電極とは反対側のセンサー側で電場から該信号電極をシールドすることを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の装置。
  8. 各センサーは平行プレートキャパシターを含んでおり、信号電極と基準電極で構成されるそのプレートは対象電線の放射方向に対して実質的に垂直であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の装置。
  9. 各センサーは、信号電極及び少なくとも1つの絶縁基板で分離された少なくとも1つの基準電極と共に積層された複合絶縁基板を含んでいることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の装置。
  10. 支持部材は、基板の整合する開口部に挿入されたセンサーと共に積層された複合絶縁基板を含んでおり、前記センサーは少なくとも1つの信号コンダクター及び支持部材基板の非隣接面に提供された少なくとも1つの基準コンダクターによって並列に接続されていることを特徴とする請求項9記載の装置。
  11. 多層支持構造体において、信号コンダクターは導電トラックとして形成され、これも導電トラックとして形成された基準電極ペア間に挟まれており、該基準導電トラックの幅は前記信号導電トラックの幅よりも実質的に広く、該信号導電トラックは外部の電場からシールドされることを特徴とする請求項10記載の装置。
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